CN111123561B - 金属线制备装置和金属线制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种金属线制备装置和金属线制备方法，该金属线制备装置包括承载平台、金属线形成构件和金属线溶解构件，所述承载平台用于承载基板，所述金属线形成构件用于使用第一溶液形成第一金属线，所述金属线溶解构件用于使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线；通过设置金属线形成构件和金属线溶解构件，金属线形成构件在使用第一溶液形成第一金属线后，金属线溶解构件使用第二溶液溶解了第一金属线的部分，从而使得第一金属线减小形成第二金属线，从而解决了现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题。

Description

金属线制备装置和金属线制备方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种金属线制备装置和金属线制备方法。

背景技术

现有液晶显示屏为实现高分辨率，会提升显示面板的开口率，相应的会需要金属间连线的宽度变小，而由于现有液晶显示面板曝光机解析度的限制，现有金属线宽较宽，极大影响分辨率的提升。

所以，现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题。

发明内容

本发明提供一种金属线制备装置和金属线制备方法，用于解决现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种金属线制备装置，该金属线制备装置包括：

承载平台，用于承载基板；

金属线形成构件，用于使用第一溶液形成第一金属线；

金属线溶解构件，用于使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线。

在本发明提供的金属线制备装置中，所述金属线形成构件包括固化光源、反射镜和物镜，所述固化光源用于发出固化光线，以固化所述第一溶液形成第一金属线，所述反射镜用于反射所述固化光线，以使所述固化光线照射第一溶液，所述物镜用于聚合所述固化光线。

在本发明提供的金属线制备装置中，所述金属线形成构件包括多个交叉设置的固化光源和挡光板，所述固化单元用于发出固化光线，以固化所述第一溶液形成第一金属线，所述挡光板用于防止所述固化光线照射到第一金属线区域外。

在本发明提供的金属线制备装置中，该金属线制备装置还包括第一溶液容纳构件，所述第一溶液容纳构件用于容纳所述第一溶液，并将所述第一溶液滴至所述基板。

在本发明提供的金属线制备装置中，所述第一溶液容纳构件包括底板和盖板，所述底板与所述盖板之间形成容纳腔，所述容纳腔内设有第一溶液，所述底板上设有活动孔，所述活动孔用于第一溶液滴至所述基板。

在本发明提供的金属线制备装置中，所述金属线溶解构件包括第二溶液容纳单元和第三溶液容纳单元，以及设置于所述第二溶液容纳单元的第二溶液，设置于所述第三溶液容纳单元的第三溶液，所述第二溶液用于溶解第一金属线的部分，以形成第二金属线，所述第三溶液用于清洗第二金属线。

在本发明提供的金属线制备装置中，所述金属线溶解构件还包括控制单元，所述控制单元用于控制所述第二溶液的流量。

在本发明提供的金属线制备装置中，该金属线制备装置还包括干燥构件，用于干燥所述第二金属线。

在本发明提供的金属线制备装置中，还包括模板制备构件和模板去除构件，所述模板制备构件用于在所述基板上制备模板，所述模板用于限定第一溶液的滴入区域，所述模板去除构件用于在形成第二金属线后，去除所述模板。

同时，本发明提供一种金属线制备方法，该金属线制备方法包括：

提供承载平台，所述承载平台上承载有基板；

使用金属线形成构件使用第一溶液形成第一金属线；

使用金属线溶解构件使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线。

有益效果：本发明提供一种金属线制备装置和金属线制备方法，该金属线制备装置包括承载平台、金属线形成构件和金属线溶解构件，所述承载平台用于承载基板，所述金属线形成构件用于使用第一溶液形成第一金属线，所述金属线溶解构件用于使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线；通过设置金属线形成构件和金属线溶解构件，金属线形成构件在使用第一溶液形成第一金属线后，金属线溶解构件使用第二溶液溶解了第一金属线的部分，从而使得第一金属线减小形成第二金属线，从而解决了现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本发明实施例提供的金属线制备装置的第一示意图。

图2为本发明实施例提供的金属线制备装置的第二示意图。

图3为本发明实施例提供的金属线制备方法的流程图。

图4为本发明实施例提供的金属线形成效果图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

本发明针对现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题，本发明实施例用以解决该问题。

如图1所示，本发明实施例提供一种金属线制备装置，该金属线制备装置包括：

承载平台11，用于承载基板111；

金属线形成构件13，用于使用第一溶液124形成第一金属线；

金属线溶解构件14，用于使用第二溶液1411溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线。

本发明实施例提供一种金属线制备装置，该金属线制备装置包括承载平台、金属线形成构件和金属线溶解构件，所述承载平台用于承载基板，所述金属线形成构件用于使用第一溶液形成第一金属线，所述金属线溶解构件用于使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线；通过设置金属线形成构件和金属线溶解构件，金属线形成构件在使用第一溶液形成第一金属线后，金属线溶解构件使用第二溶液溶解了第一金属线的部分，从而使得第一金属线减小形成第二金属线，从而解决了现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题。

需要说明的是，金属线包括电路走线、电极图案，但金属线不限于此，金属线包括所有由金属形成的走线或者以金属形成的电极。

在一种实施例中，如图1所示，所述金属线形成构件13包括固化光源132、反射镜133和物镜131，所述固化光源132用于发出固化光线1321，以固化所述第一溶液124形成第一金属线，所述反射镜133用于反射所述固化光线1321，以使所述固化光线1321照射第一溶液124，所述物镜131用于聚合所述固化光线1321，通过使用固化光源、反射镜和物镜三者的配合，使得固化光源发出的固化光线能照射到第一溶液，从而使得第一溶液能够固化形成第一金属线，且考虑到固化光源发出的光较为发散，可使用物镜聚合固化光线，从而使得固化光线能聚合照射到第一溶液上，从而使第一溶液快速固化为第一金属线。

在一种实施例中，所述反射镜为活动反射镜，所述活动反射镜用于将固化光线反射至不同角度，考虑到将固化光线聚合到特定的区域，即第一金属线形成的区域，以形成第一金属线，可使反射镜为活动反射镜，通过移动活动反射镜来控制固化光线的角度，从而使得在特定的区域固化第一溶液形成第一金属线，所述活动反射镜可沿任意角度旋转以反射固化光线。

在一种实施例中，所述金属线形成构件包括多个交叉设置的固化光源和挡光板，所述固化单元用于发出固化光线，以固化所述第一溶液形成第一金属线，所述挡光板用于防止所述固化光线照射到第一金属线区域外，对特定的区域进行照射，即对第一金属线区域进行照射，可通过挡光板和固化光源的交叉设置，以使固化光源沿第一金属线区域进行照射，固化第一溶液形成第一金属线，同时可以防止第一溶液流动到第一金属线外被固化，从而使得第一金属线只会形成在第一金属线区域；且可将挡光板向下延伸，使得固化光线只会沿挡光板之间的区域照射，使照射区域与第一金属线区域对应。

在一种实施例中，金属线形成构件还包括烘烤单元，所述烘烤单元用于烘烤所述第一金属线，以使第一金属线固定在基板上，为了使第一金属线紧固的固定在基板上，可在形成第一金属线后，使用烘烤单元对第一金属线进行烘烤，从而使得第一金属线与基板之间的附着力更大，较好的固定在基板上。

在一种实施例中，如图1所示，还包括第一溶液容纳构件12，所述第一溶液容纳构件12用于容纳所述第一溶液124，并将所述第一溶液124滴至所述基板111，为使第一溶液设置在基板，且使第一溶液设置在第一金属线区域，可使用第一溶液容纳构件容纳第一溶液，在形成第一金属线时，将第一溶液滴至所述基板上。

在一种实施例中，如图1所示，所述第一溶液容纳构件12包括底板121和盖板123，所述底板121与所述盖板123之间形成容纳腔，所述容纳腔内设有第一溶液124，所述底板上设有活动孔1211，所述活动孔1211用于第一溶液124滴至所述基板111，在容纳腔内设置第一溶液，然后在底板上形成活动孔，在需要将第一溶液滴至基板时，移动活动孔，使第一溶液沿活动孔滴至基板，从而在基板上形成第一金属线。

需要说明的是，活动孔为多个，在图1中只示出了1个活动孔，活动孔对应第一金属线区域。

在一种实施例中，图1中的侧板122由盖板123向下延伸形成，或者所述侧板122由底板121形成，或者所述侧板独立，可将侧板在容纳腔阵列设置，使得侧板限定出的区域与第一金属线区域对应，在所述侧板限定出的区域内设置活动孔，使得第一溶液设置在侧边限定出的区域，且可沿活动孔滴至基板。

在一种实施例中，如图1所示，所述金属线溶解构件14包括第二溶液容纳单元141和第三溶液容纳单元142，以及设置于所述第二溶液容纳单元141的第二溶液1411，设置于所述第三溶液容纳单元142的第三溶液1421，所述第二溶液1411用于溶解第一金属线的部分，以形成第二金属线，所述第三溶液1421用于清洗第二金属线；为了减小金属线的宽度，可在形成第一金属线后，使用金属线溶解构件溶解第一金属线，从而使得第一金属线的宽度减小，且同时可降低金属线的厚度，从而进一步实现金属线的微型化。

在一种实施例中，可使用第二溶液容纳单元容纳第二溶液，在形成第一金属线后，通过第二溶液容纳单元向第一金属线滴或者浇第二溶液，使第二溶液溶解第一金属线，从而形成第二金属线，减小第一金属线，得到线宽较小的第二金属线，且可控制第二溶液溶解第一金属线的部分，例如减小第一金属线的线宽，还可以同时减小第一金属线的厚度，以实现金属线的微型化。

在一种实施例中，为了防止第二溶液残留在第二金属线上，继续腐蚀第二金属线，可设置第三溶液容纳单元，使用第三溶液容纳单元向第二金属线浇第三溶液，以去除第二溶液。

在一种实施例中，可在使用第二溶液溶解第一金属线的短暂间隔后，使用第三溶液清洗第一金属线，然后再次使用第二溶液溶解第一金属线，在短暂间隔后，使用第三溶液再次清洗第一金属线，直到形成第二金属线，该实施方式可以防止第二溶液直接将第一金属线溶断，使第一金属线失效；或者在第二溶液溶解第一金属线形成第二金属线后，使用第三溶液清洗第二金属线，该实施方式可快速形成第二金属线，且节约成本。

在一种实施例中，所述第二溶液容纳单元与第三溶液容纳单元连接，可使第二溶液容纳单元与第三溶液容纳单元层叠设置，然后通过移动第二溶液容纳单元和第三溶液容纳单元，以使两者交替使用或者同时使用，或者将第二溶液容纳单元与第三溶液容纳单元设置在同一平面，通过移动金属线溶解构件，以使两者交替使用或者同时使用，且金属线溶解单元与承载平台连接，金属线溶解单元可伸缩，以使金属线溶解构件移动到第一金属线上，从而对第一金属线进行溶解，或者金属线溶解构件沿承载平台移动，以使以使金属线溶解构件移动到第一金属线上。

在一种实施例中，所述金属线溶解构件还包括控制单元，所述控制单元用于控制所述第二溶液的流量，在使用第二溶液溶解第一金属线时，需要控制第二溶液，以防止第二溶液将第一金属线溶解过小，或者将第一金属线溶解穿孔等问题，造成第二金属线失效，通过使用控制单元控制第二溶液的流量，同时可控制第二溶液的使用时间，使得第二溶液能部分溶解第一金属线，从而形成所需的第二金属线。

在一种实施例中，所述金属线制备装置还包括干燥构件，所述干燥构件用于干燥所述第二金属线，在第三溶液清洗第二金属线后，对第二金属线进行干燥，可去除第三溶液，同时可去除残留的第二溶液，以得到第二金属线。

在一种实施例中，如图2所示，所述金属线制备装置还包括模板制备构件21和模板去除构件22，所述模板制备构件21用于在所述基板111上形成模板20，所述模板20用于限定第一溶液的滴入区域，所述模板去除构件22用于在形成第二金属线后，去除所述模板20，在形成金属线时，为了防止第一金属线形成在第一金属线区域外，通过使用模板制备构件在第一金属线区域外形成模板，限定出第一金属线区域，使得第一金属线能够第一金属线区域形成，且在形成第二金属线后，使用模板去除构件去除所述模板，从而防止模板占用空间，以及影响第二金属线的正常工作。

在一种实施例中，如图2所示，所述模板制备构件21包括曝光光源213和掩模版212，在基板上形成一层模板层后，通过曝光光源和掩模版的配合，可去除模板层的部分从而形成模板20，所述模板去除构件22包括第四溶液221，所述第四溶液用于去除所述模板，在形成第二金属线后，可使用第四溶液去除所述模板，防止所述模板影响第二金属线的正常工作。

在一种实施例中，所述第四溶液包括碱性溶液，例如氢氧化钠，第四溶液不限于此，但第四溶液应尽量采用不会溶解掉第二金属线的溶液。

在一种实施例中，所述第二溶液包括氯化氢溶液和氯化镁溶液中的至少一种，考虑到金属线为金属，使用酸性溶液以及能与金属反应的盐溶液来溶解第一金属线，但第二溶液不限于此，第二溶液包括所有能溶解第一金属线的溶液。

在一种实施例中，所述第三溶液包括水，但不限于此，例如可使用碱性溶液来中和酸性溶液以去除第二溶液，但以不影响第二金属线为前提选取第三溶液。

在一种实施例中，所述第一溶液包括含金属前驱体溶液，所述第一溶液为金属配合物与丙烯酸酯水凝胶溶液组成的溶液。

在一种实施例中，所述含金属前驱体溶液包括丙烯酸酯金属前驱体、丙烯酸酰胺酯、丙烯酸树脂、双光子起始剂、溶剂和助剂，进一步的，限定各个成分的比例，以达到较好的效果，丙烯酸酯金属前驱体的质量占比为10％至60％，所述丙烯酸酰胺酯的质量占比为10％至20％，所述丙烯酸树脂的质量占比为1％至30％，所述双光子起始剂的质量占比为0.5％至10％，所述助剂的质量占比为0.5％至2％，所述溶剂的质量占比依其他成分的质量占比决定，为100％减去其他成分的质量占比的和。

在一种实施例中，所述丙烯酸酯金属前驱体的化学通式为

其中M可为银、金、铜、镁、铝、锌中的一种，而含金属前驱体溶液可包括多种丙烯酸酯金属前驱体。

在一种实施例中，所述丙烯酸酰胺酯的化学通式为

在一种实施例中，所述丙烯酸酯，包括多官能基丙烯酸酯单体。

在一种实施例中，所述双光子起始剂的化学通式为

在一种实施例中，所述助剂包括流平助剂和附着助剂。

如图3所示，本发明实施例提供一种金属线制备方法，该金属线制备方法包括：

S1，提供承载平台，所述承载平台上承载有基板；

S2，使用金属线形成构件使用第一溶液形成第一金属线；

S3，使用金属线溶解构件使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线。

本发明实施例提供一种金属线制备方法，该金属线制备方法使用的金属线制备装置包括承载平台、金属线形成构件和金属线溶解构件，所述承载平台用于承载基板，所述金属线形成构件用于使用第一溶液形成第一金属线，所述金属线溶解构件用于使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线；通过设置金属线形成构件和金属线溶解构件，金属线形成构件在使用第一溶液形成第一金属线后，金属线溶解构件使用第二溶液溶解了第一金属线的部分，从而使得第一金属线减小形成第二金属线，从而解决了现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题。

在一种实施例中，该金属线制备方法还包括使用模板制备构件在所述基板上形成模板，所述模板用于限定第一溶液的滴入区域，在形成第一金属线前，先在基板上形成模板，以时第一金属线形成在第一金属线区域。

在一种实施例中，该金属线制备方法还包括使用模板去除构件在形成第二金属线后，去除所述基板上的模板，在形成第二金属线后，去除模板，以防止模板影响第二金属线工作。

在一种实施例中，所述使用金属线形成构件使用第一溶液形成第一金属线的步骤包括：使用固化光源发出固化光线固化所述第一溶液形成第一金属线。

在一种实施例中，该金属线制备方法还包括使用第一溶液容纳构件容纳第一溶液，以使用第一溶液容纳构件在基板上设置第一溶液。

在一种实施例中，该金属线制备方法还包括使用第二溶液容纳构件容纳第二溶液，以使用第二溶液溶解第一金属线形成第二金属线。

如图4所示，本发明实施例提供一种金属线形成效果图，在形成第一金属线311后，将第一金属线311溶解后形成第二金属线312，从图4中可以看出，第二金属线相对第一金属线从宽度和厚度均减小，在实际需求中，可形成较小的第一金属线，然后通过溶解第一金属线形成第二金属线，以实现金属线的微型化。

根据以上实施例可知：

本发明实施例提供一种金属线制备装置和金属线制备方法，该金属线制备装置包括承载平台、金属线形成构件和金属线溶解构件，所述承载平台用于承载基板，所述金属线形成构件用于使用第一溶液形成第一金属线，所述金属线溶解构件用于使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线；通过设置金属线形成构件和金属线溶解构件，金属线形成构件在使用第一溶液形成第一金属线后，金属线溶解构件使用第二溶液溶解了第一金属线的部分，从而使得第一金属线减小形成第二金属线，从而解决了现有显示面板存在金属线宽较宽的技术问题。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上对本申请实施例所提供的金属线制备装置和金属线制备方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种金属线制备装置，其特征在于，包括：

承载平台，用于承载基板；

金属线形成构件，所述金属线形成构件包括固化光源，所述固化光源用于发出固化光线，以固化第一溶液形成第一金属线；

金属线溶解构件，所述金属线溶解构件包括第二容纳单元和第三溶液容纳单元，以及设置于所述第二溶液容纳单元的第二溶液，设置于所述第三溶液容纳单元的第三溶液，所述第二溶液用于溶解第一金属线的部分，减小第一金属线的线宽，以形成线宽较小第二金属线，所述第三溶液用于清洗第二金属线。

2.如权利要求1所述的金属线制备装置，其特征在于，所述金属线形成构件还包括反射镜和物镜，所述反射镜用于反射所述固化光线，以使所述固化光线照射第一溶液，所述物镜用于聚合所述固化光线。

3.如权利要求1所述的金属线制备装置，其特征在于，所述金属线形成构件包括多个交叉设置的固化光源和挡光板，所述挡光板用于防止所述固化光线照射到第一金属线区域外。

4.如权利要求1所述的金属线制备装置，其特征在于，还包括第一溶液容纳构件，所述第一溶液容纳构件用于容纳所述第一溶液，并将所述第一溶液滴至所述基板。

5.如权利要求4所述的金属线制备装置，其特征在于，所述第一溶液容纳构件包括底板和盖板，所述底板与所述盖板之间形成容纳腔，所述容纳腔内设有第一溶液，所述底板上设有活动孔，所述活动孔用于第一溶液滴至所述基板。

6.如权利要求1所述的金属线制备装置，其特征在于，所述金属线溶解构件还包括控制单元，所述控制单元用于控制所述第二溶液的流量。

7.如权利要求1所述的金属线制备装置，其特征在于，还包括干燥构件，用于干燥所述第二金属线。

8.如权利要求1所述的金属线制备装置，其特征在于，还包括模板制备构件和模板去除构件，所述模板制备构件包括曝光光源和掩膜版，所述模板去除构件包括第四溶液，所述模板制备构件用于在所述基板上制备模板，所述模板用于限定第一溶液的滴入区域，所述模板去除构件用于在形成第二金属线后，去除所述模板。

9.一种金属线制备方法，其特征在于，使用如权利要求1至8所述的金属线制备装置制备第二金属线，所述金属线制备方法包括：

提供承载平台，所述承载平台上承载有基板；

使用金属线形成构件使用第一溶液形成第一金属线；

使用金属线溶解构件使用第二溶液溶解所述第一金属线的部分形成第二金属线。

Images