JP2016177018A - 感光性樹脂層の形成方法、ホトレジストパターンの製造方法、及びメッキ造形物の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の触媒活性を有する金属表面上に、酸発生剤(A)、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)及び有機溶剤(S)を含有する化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を積層する積層工程と、前記感光性樹脂層に対し加熱を行う加熱工程と、を含む、感光性樹脂層の形成方法であって、前記酸発生剤(A)は、露光により酸を発生し、且つ、前記触媒活性を有する金属表面上において前記加熱によって酸を発生する酸発生剤(A1)を含有し、前記感光性樹脂層は、前記加熱により、前記基板との界面に近い部位ほどアルカリに対する溶解性が高いものとなる、感光性樹脂層の形成方法。
【選択図】なし
Description
また、めっき造形物周辺の基板部分とめっき造形物との角度は同一ホトレジストでも任意に設定できる手法が望ましい。
基板の触媒活性を有する金属表面上に、酸発生剤(A)、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)及び有機溶剤(S)を含有する化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を積層する積層工程と、
上記感光性樹脂層に対し加熱を行う加熱工程と、
を含む、感光性樹脂層の形成方法であって、
上記酸発生剤(A)は、露光により酸を発生し、且つ、上記触媒活性を有する金属表面上において上記加熱によって酸を発生する酸発生剤(A1)を含有し、
上記感光性樹脂層は、上記加熱により、上記基板との界面に近い部位ほどアルカリに対する溶解性が高いものとなる、
感光性樹脂層の形成方法である。
上記第一の態様の感光性樹脂層の形成方法により形成された上記感光性樹脂層に対して、位置選択的に露光する露光工程と、
露光された上記感光性樹脂層を現像して、ホトレジストパターンを形成する、現像工程と、
を含む、ホトレジストパターンの製造方法であって、
上記ホトレジストパターン中のレジスト部と非レジスト部とを横断し基板に垂直な断面における上記非レジスト部の断面形状において、上記基板との界面における幅L1と、上記基板と反対側の表面の幅L2とがL2≦L1で表される、ホトレジストパターンの製造方法である。
上記第二の態様のホトレジストパターンの製造方法により形成される上記ホトレジストパターン中の上記非レジスト部に、メッキを施すメッキ工程を含む、メッキ造形物の形成方法である。
基板の触媒活性を有する金属表面上に、酸発生剤(A)、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)及び有機溶剤(S)を含有する化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を積層する積層工程と、
上記感光性樹脂層に対し加熱を行う加熱工程と、
上記感光性樹脂層に対して、位置選択的に露光する露光工程と、
露光された上記感光性樹脂層を現像して、ホトレジストパターンを形成する、現像工程と、
を含む、ホトレジストパターンの製造方法であって、
上記酸発生剤(A)は、露光により酸を発生し、且つ、上記触媒活性を有する金属表面上において上記加熱によって酸を発生する酸発生剤(A1)を含有し、
上記金属表面上で発生した酸は、ホトレジストパターンの形状を制御することができる、ホトレジストパターンの製造方法である。
本発明において用いる化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物(以下、単に「感光性樹脂組成物」ということがある。)は、酸発生剤(A1)と、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)及び有機溶剤(S)とを少なくとも含有するものである。
酸発生剤(A)は、露光により酸を発生し、且つ、触媒活性を有する金属表面上において加熱によって酸を発生する酸発生剤(A1)(以下、単に「酸発生剤(A1)」ということがある。)を含有する。
酸発生剤(A1)が触媒金属元素の不存在下では酸を発生しないが触媒金属元素の存在下では酸を発生する上記加熱の条件としては、60〜150℃、60〜300秒程度が望ましい。
かかる方法により選定される酸発生剤(A1)は、例えば、下記酸発生剤(A)の中からでも選定することができる。
下記一般式(ii)、(iii)で表されるもの。
本発明において、酸発生剤(A1)の含有量は、感光性樹脂組成物における後述の樹脂(B)の固形分と、所望により用いるアルカリ可溶性樹脂(C)の固形分との合計を100質量部とした場合、0.1〜10質量部とすることが好ましく、0.5〜5質量部とすることがより好ましく、1〜4質量部とすることがさらに好ましい。
酸発生剤(A1)の使用量を上記の範囲とすることにより、良好な感度を備え、均一な溶液であって、保存安定性に優れる感光性樹脂組成物を調製しやすい。
また、本発明において、酸発生剤(A1)は、酸発生剤(A1)以外の酸発生剤(A)を組み合わせて用いてもよいが、酸発生剤として酸発生剤(A1)のみを用いることによっても十分に本発明の目的を達成することができる。
酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)(本明細書において、単に「樹脂(B)」ということがある。)としては、特に限定されず、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する任意の樹脂を用いることができる。その中でも、ノボラック樹脂(B1)、ポリヒドロキシスチレン樹脂(B2)、ノボラック−ポリヒドロキシスチレン架橋樹脂(B3)及びアクリル樹脂(B4)からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂を含有することが好ましい。
酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するノボラック樹脂(B1)としてはノボラック樹脂(C1)と酸解離性溶解抑制基に対応する化合物との付加反応により合成することができる。
かかる酸解離性溶解抑制基としては、前述の酸発生剤(A)から発生する酸により解離するものであればよい。
中でも下記化学式(b1)で表されるエチルビニル基(エトキシエチル基)及び下記化学式(b2)で表されるt−ブトキシカルボニル基が、解像性に優れたホトレジスト組成物を得るうえで好ましく、特にエチルビニル基が好ましい。
酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するポリヒドロキシスチレン樹脂(B2)としてはポリヒドロキシスチレン樹脂(C2)と酸解離性溶解抑制基に対応する化合物との付加反応により合成することができる。
中でも、ヒドロキシスチレン系構成単位とその他に少なくともスチレン系構成単位を含むコポリマーは、レジスト組成物の高耐熱性、高感度が得られるため好ましい。
かかる酸解離性溶解抑制基としては、前述の酸発生剤(A)から発生する酸により解離するものであればよい。
中でも上記化学式(b1)で表されるエチルビニル基(エトキシエチル基)及び上記化学式(b2)で表されるt−ブトキシカルボニル基が、解像性に優れたホトレジスト組成物を得るうえで好ましく、特にエチルビニル基が好ましい。
酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するノボラック−ポリヒドロキシスチレン架橋樹脂(B3)としては前述のノボラック樹脂(C1)とポリヒドロキシスチレン樹脂(C2)の共存下で酸解離性溶解抑制基に対応する化合物として前述の架橋剤(b3)を付加反応することにより合成することができる。
中でも上記化学式(b1)で表されるエチルビニル基(エトキシエチル基)及び上記化学式(b2)で表されるt−ブトキシカルボニル基が、解像性に優れたホトレジスト組成物を得るうえで好ましく、特にエチルビニル基が好ましい。
アクリル樹脂(B4)としては、下記一般式(b5)〜(b7)で表される構成単位を含む樹脂を使用することができる。
樹脂(B)は単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
樹脂(B)には、前述の酸発生剤(A1)から発生する酸により、アルカリに対する溶解性が増大する樹脂が1種以上必ず含まれる。
本発明において感光性樹脂組成物は、クラック耐性を向上させるため、さらにアルカリ可溶性樹脂(C)を含有していてもよい。ここで、アルカリ可溶性樹脂とは、樹脂濃度20質量%の樹脂溶液(溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)により、膜厚1μmの樹脂膜を基板上に形成し、2.38質量%のTMAH水溶液に1分間浸漬した際、0.01μm以上溶解するものをいう。アルカリ可溶性樹脂(C)としては、ノボラック樹脂(C1)、ポリヒドロキシスチレン樹脂(C2)、及びアクリル樹脂(C4)からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂であることが好ましい。
ノボラック樹脂(C1)としては、特に制限されるものでなく、ポジ型ホトレジスト組成物において被膜形成物質として通常用いられ得るものの中から任意に選ぶことができ、好ましくは、芳香族ヒドロキシ化合物とアルデヒド類又はケトン類とを縮合反応させて得られるノボラック樹脂を挙げることができる。
ヒドロキシスチレン系樹脂は、一般にレジスト組成物に用いられるものであって、ヒドロキシスチレン構成単位を含んでいれば特に限定するものではない。例えば、ヒドロキシスチレンの単独重合体や、ヒドロキシスチレンと他のヒドロキシスチレン系単量体あるいはスチレン系単量体との共重合体、ヒドロキシスチレンとアクリル酸又はメタクリル酸あるいはその誘導体との共重合体等が挙げられる。
中でも、ヒドロキシスチレン系構成単位とその他に少なくともスチレン系構成単位を含むコポリマーは、レジスト組成物の高耐熱性、高感度が得られるため好ましい。
アクリル樹脂(C4)としては、エーテル結合を有する重合性化合物から誘導された構成単位、及びカルボキシル基を有する重合性化合物から誘導された構成単位を含むことが好ましい。
本発明において感光性樹脂組成物は、ホトレジストパターン形状、引き置き安定性等の向上のため、さらに酸拡散制御剤(D)を含有することが好ましい。酸拡散制御剤(D)としては、含窒素化合物(D1)が好ましく、さらに必要に応じて、有機カルボン酸、又はリンのオキソ酸若しくはその誘導体(D2)を含有させることができる。
含窒素化合物(D1)としては、トリメチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリベンジルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、エチレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノジフェニルアミン、ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、プロピオンアミド、ベンズアミド、ピロリドン、N−メチルピロリドン、メチルウレア、1,1−ジメチルウレア、1,3−ジメチルウレア、1,1,3,3,−テトラメチルウレア、1,3−ジフェニルウレア、イミダゾール、ベンズイミダゾール、4−メチルイミダゾール、8−オキシキノリン、アクリジン、プリン、ピロリジン、ピペリジン、2,4,6−トリ(2−ピリジル)−S−トリアジン、モルホリン、4−メチルモルホリン、ピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン、ピリジン、2,6−ジ−tert−ブチルピリジン、2,6−ジフェニルピリジン等を挙げることができ、また、テトラキス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル)1,2,3,4−ブタンテトラカルボキシレート、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸と1,2,2,6,6,−ペンタメチル−4−ピペリジノールとβ,β,β’,β’−テトラメチル−3,9−(2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5,5]ウンデカン)−ジエタノールとの縮合物、コハク酸ジメチルと4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチル−1−ピペリジンエタノールの重合物等のヒンダードアミン化合物も用いることができる。これらは単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
有機カルボン酸、又はリンのオキソ酸若しくはその誘導体(D2)のうち、有機カルボン酸としては、具体的には、マロン酸、クエン酸、リンゴ酸、コハク酸、安息香酸、サリチル酸等が好適であり、特にサリチル酸が好ましい。
本発明における感光性樹脂組成物は、有機溶剤(S)を含有する。有機溶剤(S)の種類は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、従来より化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物に使用されている有機溶剤から適宜選択して使用することができる。
本発明において感光性樹脂組成物は、可塑性を向上させるため、さらにポリビニル樹脂を含有していてもよい。ポリビニル樹脂の具体例としては、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリヒドロキシスチレン、ポリ酢酸ビニル、ポリビニル安息香酸、ポリビニルメチルエーテル、ポリビニルエチルエーテル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルフェノール、及びこれらの共重合体等が挙げられる。ポリビニル樹脂は、ガラス転移点の低さの点から、好ましくはポリビニルメチルエーテルである。
本発明において感光性樹脂組成物の調製は、上記各成分を通常の方法で混合、撹拌するだけでよく、必要に応じ、ディゾルバー、ホモジナイザー、3本ロールミル等の分散機を用いて分散、混合してもよい。また、混合した後で、さらにメッシュ、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
本発明の感光性樹脂層の形成方法は、基板の触媒活性を有する金属表面上に、上述の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を積層する積層工程と、この感光性樹脂層に対し加熱を行う加熱工程と、を含むものである。
触媒活性を有する金属は、特に限定されないが、例えばスパッタリング、蒸着等の薄膜形成方法により、基板の表面上に設けることができる。
上記での酸発生は触媒活性を持つ金属との界面部で起こるため、上記加熱後の感光性樹脂層において、好ましくは、基板からの距離に応じて酸濃度に勾配をつけることができ、より好ましくは、基板との界面に近いほど酸濃度を高くすることができる。
感光性樹脂層の膜厚は特に限定されないが、1〜200μmが好ましく、2〜100μmがより好ましく、3〜50μmが特に好ましい。
本発明のホトレジストパターンの製造方法は、上記感光性樹脂層に対して位置選択的に露光する露光工程と、露光された感光性樹脂層を現像してホトレジストパターンを形成する現像工程と、を含むものである。
本発明のメッキ造形物の形成方法は、上記のようにして得られたホトレジストパターンの非レジスト部(現像液で除去された部分)に、メッキを施すメッキ工程を含むものである。具体的には、メッキ等によって金属等の導体を埋め込むことにより、配線層の形成やバンプ、メタルポスト等の接続端子のようなメッキ造形物を形成することができる。なお、メッキ処理方法は特に制限されず、従来から公知の各種方法を採用することができる。メッキ液としては、特にハンダメッキ、銅メッキ、金メッキ、ニッケルメッキ液が好適に用いられる。残っているホトレジストパターンは、最後に、定法に従って剥離液等を用いて除去する。
酸発生剤
以下のようにして、銅に触媒活性を示す酸発生剤(A1)を選定した。
酸発生剤0.2gをガンマブチロラクトン(GBL)に溶解し、1質量%溶液〔1〕を作成し、100℃にて20分間加熱した〔3〕。別途、上記溶液〔1〕5gに対し銅粉末2gを加えた銅共存液〔2〕を調製し、100℃にて20分間加熱した〔4〕。〔1〕〜〔4〕の試料を核磁気共鳴(NMR)及び逆相クロマトグラフィーをそれぞれ用いて、酸発生剤の分解の有無を分析した。評価基準としては、ピークの変化が検出されたものを分解あり(〇)とし、検出限界以下のものを分解無し(×)とした。NMRの結果を表1に、逆相クロマトグラフィーの結果を表2にそれぞれ示す。本発明においては、〔1〕分解無し、〔2〕分解無し、〔3〕分解無し且つ〔4〕分解ありとなる酸発生剤が好ましく、この基準から、PAG−A及びPAG−Bを酸発生剤(A1)として選定した。PAG−A及びPAG−Bは、上記加熱後の銅共存液〔4〕において、10〜50質量%程度が分解していた。
銅粉末としては、表面酸化膜除去のため、予め5%硫酸にて洗浄したのち、純水で洗浄して残留酸を除去し、次いで、水分除去のためイソプロパノール(IPA)で洗浄したのち、真空デシケーターにて24時間以上乾燥することによる前処理を施した粉末を使用した。
尚、銅に代え、銅以外の金属粉末、又は、銅と混合する金属粉末を用いることによっても、同様にして、酸発生剤(A1)、また、触媒活性を有する金属を選定することができる。銅以外の金属粉末については金属の種類に応じて適切な前処理を行う。
酸触媒下においてノボラック樹脂(分子量5000〜6000、m−クレゾール/p−クレゾール=70/30〜80/20)にエチルビニルエーテルの付加反応を行い、精製後付加率15〜20%のノボラック樹脂(樹脂B1−A)を合成した。
樹脂 B1−A 100質量部、酸発生剤(PAG−A)3質量部、サリチル酸0.2質量部、トリアミルアミン0.08質量部をPGMEA/酢酸ブチル(80/20)混合溶剤に溶解混合して化学増幅ポジ型レジスト組成物を調製した。
調製例1により得た化学増幅ポジ型レジスト組成物を、シリコン基板表面上にスパッタリングによりチタンのバリア薄層を形成したのちさらに表面上に形成した銅薄層(以下、該基板を「銅スパッタリング基板」ともいう。)上にスピンコートした後、100℃で180秒間プリベークし膜厚10μmの感光性樹脂層を形成した。その後、幅10μmのスペースと備えるラインアンドスペースデザインのマスクを用いて露光装置 Prisma GHI5452(Ultratech社製)にてghi線露光を実施した。次いで、100℃で90秒間の露光後加熱(PEB)を行った後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの2.38質量%水溶液であるNMD−3 2.38%(東京応化工業株式会社製)を用いて液温23℃で60秒の2回パドル現像処理をした。その後、純水洗浄、スピンドライを行った。(以下、スピンコート、プリベーク、露光、PEB、現像、純水洗浄、スピンドライの一連の工程を「パターニング」ともいう。)。
なお、最適露光量は上記パターニングした基板をCD−SEM(測長用走査電子顕微鏡)を用いて測定し、スペース幅10μmとなる露光量とした。
最適露光量で処理したホトレジストパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した。SEM写真を図1(a)に示す。
銅スパッタリング基板に代えて、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)処理をしたシリコン基板を用いること以外は実施例1と同様にして、化学増幅ポジ型レジスト組成物を用いて得たホトレジストパターンの断面形状をSEMにて観察した。SEM写真を図1(b)に示す。
これに対し、図1(b)から、感光性樹脂層を金属表面上に積層しなかった比較例1では、非レジスト部の断面形状において、基板との界面(ボトム)と、基板と反対側の表面(トップ)とが同じ幅であることが判り、このような形状は露光による像形成と思われることから、露光により発生した酸により樹脂の脱保護反応が進行し、未露光部のアルカリに対する溶解性は基板からの距離に関係なく同程度であったと思われる。
プリベークの条件を下記条件1〜3の何れかに代えること以外は実施例1と同様にして、化学増幅ポジ型レジスト組成物を用いてパターニングした。なお、最適露光量は上記パターニングした基板をCD−SEM(測長用走査電子顕微鏡)を用いて測定し、マスクデザインと同じスペース幅10μmとなる露光量とした。
最適露光量で処理したホトレジストパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した。SEM写真を図2に示す。
条件1.プリベーク:100℃において180秒間
条件2.プリベーク:105℃において180秒間
条件3.プリベーク:110℃において180秒間
プリベークを下記条件4〜6の何れかにし、露光後加熱(PEB)を90℃で90秒間に代えること以外は実施例1と同様にして、化学増幅ポジ型レジスト組成物を用いてパターニングした。なお、最適露光量は上記パターニングした基板をCD−SEM(測長用走査電子顕微鏡)を用いて測定し、マスクデザインと同じスペース幅10μmとなる露光量とした。
最適露光量で処理したホトレジストパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した。SEM写真を図3に示す。
条件4.プリベーク:80℃において180秒間
条件5.プリベーク:90℃において180秒間
条件6.プリベーク:100℃において180秒間
プリベークを90℃で90秒間、露光後加熱(PEB)を下記条件7〜9の何れかに代えること以外は実施例1と同様にして、化学増幅ポジ型レジスト組成物を用いてパターニングした。なお、最適露光量は上記パターニングした基板をCD−SEM(測長用走査電子顕微鏡)を用いて測定し、マスクデザインと同じスペース幅10μmとなる露光量とした。
最適露光量で処理したホトレジストパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した。SEM写真を図4に示す。
条件7.PEB:80℃において90秒間
条件8.PEB:90℃において90秒間
条件9.PEB:100℃において90秒間
現像を毎回現像装置で規定した一定量の新たな現像液を用いて現像時間として45秒間を2回、120秒間を1回、60秒間を2回、40秒間を3回、70秒間を2回、60秒間を3回の何れかにして行うこと以外は実施例1と同様にして、化学増幅ポジ型レジスト組成物を用いてパターニングした。なお、最適露光量は上記パターニングした基板をCD−SEM(測長用走査電子顕微鏡)を用いて測定し、マスクデザインと同じスペース幅10μmとなる露光量とした。
最適露光量で処理したホトレジストパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した。SEM写真を図5に示す。
また、同図から現像の総時間が90秒間、120秒間、140秒間、180秒間と長くなる方が、レジスト部の断面形状が、基板との界面においてアンダーカット形状をなすものとして得られる傾向があること、非レジスト部の断面形状において、基板との界面に近い部位ほど該非レジスト部の断面の幅が大きいホトレジストパターンが得られること、及び、非レジスト部の断面形状における幅を、基板との界面に近い部位ほど半シグモイド状に広くすることができることが判った。
Claims (8)
- 基板の触媒活性を有する金属表面上に、酸発生剤(A)、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)及び有機溶剤(S)を含有する化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を積層する積層工程と、
前記感光性樹脂層に対し加熱を行う加熱工程と、
を含む、感光性樹脂層の形成方法であって、
前記酸発生剤(A)は、露光により酸を発生し、且つ、前記触媒活性を有する金属表面上において前記加熱によって酸を発生する酸発生剤(A1)を含有し、
前記感光性樹脂層は、前記加熱により、前記基板との界面に近い部位ほどアルカリに対する溶解性が高いものとなる、
感光性樹脂層の形成方法。 - 前記金属表面を構成する触媒活性を有する金属は、銅又は銅を含有する合金である、請求項1記載の感光性樹脂層の形成方法。
- 前記加熱は、60〜150℃で行う、請求項1又は2記載の感光性樹脂層の形成方法。
- 請求項1〜3の何れか1項記載の感光性樹脂層の形成方法により形成された前記感光性樹脂層に対して、位置選択的に露光する露光工程と、
露光された前記感光性樹脂層を現像して、ホトレジストパターンを形成する、現像工程と、
を含む、ホトレジストパターンの製造方法であって、
前記ホトレジストパターン中のレジスト部と非レジスト部とを横断し基板に垂直な断面における前記非レジスト部の断面形状において、前記基板との界面における幅L1と、前記基板と反対側の表面の幅L2とがL2≦L1で表される、ホトレジストパターンの製造方法。 - 前記ホトレジストパターン中のレジスト部と非レジスト部とを横断し基板に垂直な断面における前記非レジスト部の断面形状において、前記基板との界面に近い部位ほど前記非レジスト部の断面の幅が大きい、請求項4記載のホトレジストパターンの製造方法。
- 前記ホトレジストパターン中のレジスト部と非レジスト部とを横断し基板に垂直な断面における前記レジスト部の断面形状は、前記基板との界面においてアンダーカット形状をなす、請求項4又は5記載のホトレジストパターンの製造方法。
- 請求項4〜6の何れか1項記載のホトレジストパターンの製造方法により形成される前記ホトレジストパターン中の前記非レジスト部に、メッキを施すメッキ工程を含む、メッキ造形物の形成方法。
- 基板の触媒活性を有する金属表面上に、酸発生剤(A)、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)及び有機溶剤(S)を含有する化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を積層する積層工程と、
前記感光性樹脂層に対し加熱を行う加熱工程と、
前記感光性樹脂層に対して、位置選択的に露光する露光工程と、
露光された前記感光性樹脂層を現像して、ホトレジストパターンを形成する、現像工程と、
を含む、ホトレジストパターンの製造方法であって、
前記酸発生剤(A)は、露光により酸を発生し、且つ、前記触媒活性を有する金属表面上において前記加熱によって酸を発生する酸発生剤(A1)を含有し、
前記金属表面上で発生した酸は、ホトレジストパターンの形状を制御することができる、ホトレジストパターンの製造方法。
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