CN110789042B - 树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法，着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形，所述树脂成形装置包括：第一模(2)，保持成形对象物(W1)的第一面(Wa)，具有与第一面(Wa)之间形成空间的凹部(2M)；第二模(3)，与第一模(2)相向地设置，具有容纳树脂材料(J)的模腔(3C)；气体供给部(6)，向凹部(2M)内供给气体；变形测量部(8)，测量与成形对象物(W1)的变形相关的信息；以及控制部(9)，基于变形测量部(8)的测量结果，控制由气体供给部(6)供给的气体量。

Description

树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法
技术领域
本发明涉及一种树脂成形装置、树脂成形用的成形模及树脂成形品的制造方法。
背景技术
以往，作为通过使用热塑性树脂的压缩成形对两面安装的基板的一个面进行树脂密封的装置，认为是专利文献1所示的树脂密封装置。
所述树脂密封装置在上模的模腔容纳基板上表面的安装零件并保持基板，并且使容纳热塑性树脂的下模上升，而对基板下表面进行树脂密封。而且，所述树脂密封装置在自下模向基板施加成形压力(树脂压力)时，向上模的模腔供给与成形压力相同压力的空气，由此抑制基板的翘曲。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2017-92220号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
但是，在所述树脂密封装置中，未考虑树脂成形时基板的变形量，未具体地记载如何控制上模的模腔的气压。
因此，本发明是为了解决所述问题点而成者，其主要问题在于着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形。
[解决问题的技术手段]
即，本发明的树脂成形装置包括：第一模，保持成形对象物的第一面，具有与所述第一面之间形成空间的凹部；第二模，与所述第一模相向地设置，具有容纳树脂材料的模腔；气体供给部，向所述凹部内供给气体；变形测量部，测量与所述成形对象物的变形相关的信息；以及控制部，基于所述变形测量部的测量结果，控制由所述气体供给部供给的气体量。
[发明的效果]
根据如此构成的本发明，可以着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形。
附图说明
图1是示意性地表示本发明实施方式的树脂成形装置的构成的图。
图2是示意性地表示所述实施方式的树脂成形模块的构成的图。
图3是示意性地表示所述实施方式的树脂成形方法的第一阶段的图。
图4是示意性地表示所述实施方式的树脂成形方法的第二阶段的图。
图5是示意性地表示所述实施方式的树脂成形方法的第三阶段的图。
图6是示意性地表示所述实施方式的成形对象物向上方变形时的控制内容的图。
图7是示意性地表示所述实施方式的成形对象物向下方变形时的控制内容的图。
图8是示意性地表示所述实施方式的成形压力及气体压力的经时变化的图表。
图9是示意性地表示所述实施方式的树脂成形方法的第四阶段的图。
图10是示意性地表示本发明变形实施方式的树脂成形模块的构成的图。
[符号的说明]
2：第一模(上模)
2M：凹部
3：第二模(下模)
3C：模腔
4：合模机构
5：吸附机构
6：气体供给部
7：气体排出部
8：变形测量部/压力传感器
9：控制部
21：上表面构件
22、32：侧面构件
23、33：弹性构件
31：底面构件
41：上部固定盘
42：可动盘
43：驱动机构
44：下部固定盘
45：支柱部
46：上模保持部
47：下模保持部
51：抽吸流路
52、71：抽吸装置
53：压力传感器
61：压缩空气源
62：供给路
63：流量调整设备
72：气体排出管
73：排气路
100：树脂成形装置
100A：树脂供给模块
100B：树脂成形模块
100C：供给/收纳模块
301：移动机构
401：导轨
431：滚珠螺杆机构
501：分配器
502：喷嘴
601：供给部
602：装载器
701：收纳部
702：卸载器
F：脱模膜
J：树脂材料
W1：成形前的成形对象物
W2：成形后的成形对象物
Wa：第一面
Wb：第二面
具体实施方式
接下来，举例对本发明进行更详细的说明。但是，本发明并不受以下说明的限定。
本发明的树脂成形装置如前所述，包括：第一模，保持成形对象物的第一面，具有与所述第一面之间形成空间的凹部；第二模，与所述第一模相向地设置，具有容纳树脂材料的模腔；气体供给部，向所述凹部内供给气体；变形测量部，测量与所述成形对象物的变形相关的信息；以及控制部，基于所述变形测量部的测量结果，控制由所述气体供给部供给的气体量。
如果是所述树脂成形装置，则测量与成形对象物的变形相关的信息，基于所述测量结果控制向凹部内的气体的供给量，因此可以根据成形对象物的变形量控制气体的供给量。因此，可以着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形。
通过成形对象物变形，凹部内的压力或与凹部连通的流路内的压力也发生变化。因此，所述变形测量部理想的是压力传感器，所述压力传感器测量所述凹部内的压力或与所述凹部连通的流路内的压力来作为与所述成形对象物的变形相关的信息。在这里，如果测量与凹部连通的流路内的压力，则可以增加压力传感器的安装位置的自由度。
通过成形对象物变形，在与凹部连通的流路中流动的气体的流量也发生变化。因此，所述变形测量部理想的是流量传感器，所述流量传感器测量在与所述凹部连通的流路中流动的气体的流量来作为与所述成形对象物的变形相关的信息。
树脂成形装置理想的是还包括将所述凹部内的气体排出的气体排出部。
如果是这种构成，则通过由气体供给部进行的气体的供给及由气体排出部进行的气体的排出，凹部内的压力调整变得容易，可以进一步减少成形对象物的变形。
所述气体排出部具有设置于所述凹部内的气体排出管，所述气体排出管理想的是在所述凹部内朝向所述成形对象物的第一面开口。
如果是这种构成，则在成形对象物变形的情况下，气体排出管的开口与成形对象物的第一面的距离发生变化，从而流入气体排出部的气体的流量发生变化。通过测量所述气体的流量或压力，可以测量与成形对象物的变形量相关的信息。
树脂成形装置还包括用于使成形对象物吸附保持于第一模的吸附机构。所述吸附机构设置于所述第一模，吸附保持所述成形对象物的第一面。
在这种构成中，为了简化装置构成，理想的是所述气体排出部使用所述吸附机构而构成。
在所述吸附机构，为了监视吸附力而设置有压力传感器。
在所述构成中，为了简化装置构成，所述变形测量部理想的是使用设置于所述吸附机构的压力传感器而构成。
另外，本发明的成形模是保持成形对象物的第一面的成形模，包括：凹部，与所述成形对象物的第一面之间形成空间；以及气体排出管，在所述凹部内朝向所述凹部的开口侧开口。
如果是所述成形模，则在对成形对象物的与第一面为相反侧的第二面进行树脂成形时，若成形对象物变形，则气体排出管的开口与成形对象物的第一面的距离发生变化，从而流入气体排出部的气体的流量发生变化。通过测量所述气体的流量或压力，可以测量与成形对象物的变形相关的信息。基于与所述变形相关的信息向凹部内供给气体，由此可以着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形。
进而，本发明的树脂成形品的制造方法是一种树脂成形品的制造方法，其使用第一模及第二模，并将所述第一模及所述第二模合模，由此对所述成形对象物的与所述第一面为相反侧的第二面进行树脂成形而制造树脂成形品，所述第一模保持成形对象物的第一面，具有与所述第一面之间形成空间的凹部；所述第二模与所述第一模相向地设置，具有容纳树脂材料的模腔，且所述树脂成形品的制造方法包括：测量步骤，测量与所述成形对象物的变形相关的信息；以及合模步骤，基于所述测量步骤的测量结果，控制气体的供给量同时向所述凹部供给气体，并且将所述第一模及所述第二模合模。
如果是所述树脂成形品的制造方法，则测量与成形对象物的变形相关的信息，基于所述测量结果控制向凹部内的气体的供给量，因此可以根据成形对象物的变形量控制气体的供给量。因此，可以着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形。
＜本发明的一个实施方式＞
以下，参照附图对本发明的树脂成形装置的一个实施方式进行说明。此外，对于以下所示的任何图，为了便于理解，都进行了适当省略或夸张地示意性描绘。对于相同的构成元件，标注相同的符号并适当省略说明。
＜树脂成形装置的整体构成＞
本实施方式的树脂成形装置100通过使用树脂材料J的压缩成形，而对在两面安装了电子零件的成形对象物W1的一个面进行树脂密封。
在这里，作为成形对象物W1，例如是金属基板、树脂基板、玻璃基板、陶瓷基板、电路基板、半导体基板、配线基板、引线框架等，无论有无配线。另外，用于树脂成形的树脂材料J是热硬化性树脂，树脂材料J的形态是颗粒状、粉末状、液状、片状或平板状等。另外，作为安装于成形对象物W1的上表面的电子零件，例如可以是经树脂密封的芯片，也可以是未经树脂密封的裸芯片。
具体而言，如图1所示，树脂成形装置100分别包括如下构件来作为构成元件：树脂供给模块100A，供给树脂材料J；四个树脂成形模块100B，在减压下进行压缩成形；以及供给/收纳模块100C，供给成形前的成形对象物W1，并且容纳成形后的成形对象物W2(树脂成形品)。此外，树脂供给模块100A、四个树脂成形模块100B、以及供给/收纳模块100C可以分别相对于其他构成元件相互装卸，且可以进行更换。
在树脂供给模块100A设置有移动机构301。移动机构301由导轨401支撑，沿着导轨401移动。在安装有树脂供给模块100A及树脂成形模块100B的状态下，移动机构301沿着树脂供给模块100A及树脂成形模块100B排列的方向(X方向)移动。
在移动机构301设置有作为树脂供给机构的分配器(dispenser)501。分配器501相对于移动机构301在Y方向上移动。也可以设为使移动机构301也在Y方向上移动。在图1的例子中，在分配器501的前端安装有喷嘴502。通过分配器501及喷嘴502向树脂成形模块100B供给树脂材料J。
各树脂成形模块100B具有保持成形对象物W1的第一模即上模2、与上模2相向地设置，容纳树脂材料J的第二模即下模3、以及将上模2及下模3合模的合模机构4(图2)。具体的构成将在后面叙述。
在供给/收纳模块100C设置有供给成形对象物W1的供给部601及收纳成形对象物W2的收纳部701。在供给/收纳模块100C设置有装载器602及卸载器702。进而，在供给/收纳模块100C，沿着X方向设置有支撑装载器602及卸载器702的导轨401。装载器602及卸载器702沿着导轨401移动。
由导轨401支撑的装载器602及卸载器702在供给/收纳模块100C、各树脂成形模块100B与树脂供给模块100A之间在X方向上移动。在安装有供给/收纳模块100C及树脂成形模块100B的状态下，装载器602及卸载器702沿着供给/收纳模块100C及树脂成形模块100B排列的方向(X方向)移动。
此外，装载器602及卸载器702在Y方向上移动。即，装载器602及卸载器702在水平方向上移动。
由供给部601供给了成形对象物W1的装载器602沿着导轨401移动，并到达树脂成形模块100B的任一个。到达了树脂成形模块100B的任一个的装载器602将成形对象物W1供给至树脂成形模块100B。
通过树脂成形模块100B而进行了树脂成形的成形对象物W2搭载于卸载器702。搭载了成形对象物W2的卸载器702移动至供给/收纳模块100C，成形对象物W2被收纳于供给/收纳模块100C的收纳部701。
＜树脂成形模块100B的具体构成＞
接下来，以下对本实施方式的树脂成形模块100B的具体构成进行说明。
如图2所示，树脂成形模块100B具有：上模2，保持成形对象物W1；下模3，与上模2相向地设置，容纳树脂材料J；以及合模机构4，安装有上模2及下模3并且将上模2及下模3合模。
合模机构4具有安装有上模2的上部固定盘41、安装有下模3的可动盘42、以及用于使可动盘42升降移动的驱动机构43。
上部固定盘41在其下表面安装有上模2，被固定于设置于下部固定盘44的多个支柱部45的上端部。在本实施方式中，通过设置于下部固定盘44的四角的支柱部45固定上部固定盘41。
可动盘42在其上表面安装有下模3，通过左右一对支柱部45与上部固定盘41相向而可升降移动地受到支撑。
驱动机构43设置于可动盘42与下部固定盘44之间，是通过使可动盘42升降移动，将下模3及上模2合模，并且施加规定的成形压力的动力产生机构。本实施方式的驱动机构43是利用将伺服马达等的旋转转换为直线移动的滚珠螺杆机构431向可动盘42传递的直动方式的机构，但也可以是使用例如肘节连杆(toggle link)等连杆机构将伺服马达等动力源传递至可动盘42的连杆方式的机构。此外，驱动机构43例如基于合模压力的测量结果由控制装置进行控制，所述合模压力的测量结果通过设置于支柱部45的例如应变仪等合模压力测量部(未图示)而获得。
在上模2与上部固定盘41之间设置有上模保持部46。所述上模保持部46具有对上模2进行加热的加热板等。另外，在下模3与可动盘42之间设置有下模保持部47。所述下模保持部47具有对下模3进行加热的加热板等。
上模2吸附并保持成形对象物W1的第一面Wa，具有与第一面Wa之间形成空间的凹部2M。具体而言上模2具有形成凹部2M的底面的上表面构件21、形成凹部2M的侧周面的侧面构件22、以及设置于上表面构件21与侧面构件22之间的弹性构件23。侧面构件22被设为通过弹性构件23可相对于上表面构件21相对地上下移动。由所述上表面构件21的下表面及侧面构件22的内周面形成凹部2M。通过合模，弹性构件23收缩，上表面构件21与侧面构件22接触，由此形成所述凹部2M。凹部2M与成形对象物W1的第一面Wa相向，容纳安装于所述第一面Wa的电子零件。
另外，在上模2连接有用于吸附并保持成形对象物W1的第一面Wa的吸附机构5。所述吸附机构5包括朝上模2的下表面(具体而言为侧面构件22的下表面)开口的抽吸流路51、以及与所述抽吸流路51连接的例如真空泵等抽吸装置52。另外，在抽吸流路51设置有用于监视吸附力的压力传感器53。
如图2所示，下模3具有容纳用于对成形对象物W1的第二面Wb进行树脂密封的树脂材料J的模腔3C。具体而言，下模3具有形成模腔3C的底面的底面构件31、包围所述底面构件31的侧面构件32、以及设置于底面构件31与侧面构件32之间的弹性构件33。侧面构件32被设为通过弹性构件33可相对于底面构件31相对地上下移动。由所述底面构件31的上表面及侧面构件32的内周面形成模腔3C。下模3的弹性构件33与上模2的弹性构件23相比弹性力更强。
而且，本实施方式的树脂成形模块100B包括：气体供给部6，向凹部2M内供给气体；气体排出部7，排出凹部2M内的气体；变形测量部8，测量与成形对象物W1的变形相关的信息；以及控制部9，基于变形测量部8的测量结果控制由气体供给部6供给的气体量。
气体供给部6包括：压缩空气源61；供给路62，与所述压缩空气源61连接并将压缩空气供给至凹部2M内；以及流量调整设备63，设置于所述供给路62并调整压缩空气的供给量。
本实施方式的流量调整设备63使用电动气动调节器而构成。所述流量调整设备63根据来自控制部9的控制信号来调整压缩空气的供给量。另外，在图2中，供给路62朝上模2的上表面构件21开口，但不限于此，也可以朝侧面构件22开口。
气体排出部7包括抽吸装置71、设置于凹部2M内的气体排出管72、以及将抽吸装置71及气体排出管72予以连接的排气路73。
本实施方式的抽吸装置71及排气路73的至少一部分使用与上模2连接的吸附机构5而构成。具体而言，通过将气体排出管72连接于吸附机构5的抽吸流路51，利用吸附机构5的构成来构成抽吸装置71及排气路73。
气体排出管72贯通形成凹部2M的上表面构件21而设置，其下端开口朝向凹部开口侧。即，气体排出管72的下端开口朝向保持于上模2的成形对象物W1的第一面Wa开口。在这里，气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离在成形对象物W1未变形的情况下，例如被设定为0.1mm～0.5mm左右。此外，图2的气体排出管72呈直管状，但形状不限定于此。另外，气体排出管72也可以是不贯通上表面构件21，而与形成于上表面构件21的内部流路连接的构成。此时，形成于上表面构件21的内部流路与抽吸流路51连接。
变形测量部8是测量与凹部2M连通的流路内的压力的压力传感器。所述压力传感器8设置于气体排出部7的排气路73。本实施方式的压力传感器8是吸附机构5的压力传感器53。由所述压力传感器53产生的压力检测信号被发送至控制部9。
控制部9基于压力传感器53的压力检测信号，控制气体供给部6的流量调整设备63，从而控制供给至凹部2M的气体的供给量。具体而言，控制部9预先存储由实验等决定的树脂成形时的基准压力，以由压力传感器53产生的检测压力成为基准压力的方式控制气体的供给量。
＜树脂成形模块100B的动作＞
接下来，对树脂成形模块100B的动作进行说明。
首先，如图3所示，将成形对象物W1吸附保持于上模2的侧面构件22的下表面。本实施方式的气体排出部7使用吸附机构5，因此与吸附保持成形对象物W1一并也开始由气体排出部7进行的凹部2M内的气体排出。
另外，向下模3的模腔3C供给脱模膜F及树脂材料J。在这里，下模3通过加热板预热至例如170℃～200℃，因此树脂材料J成为在模腔3C内软化或熔融的状态。此外，利用上模2吸附保持成形对象物W1及向下模3供给脱模膜F及树脂材料J的顺序可以与所述相反，也可以同时。
然后，如图4所示，当通过合模机构4的驱动机构43使可动盘42上升时，上模2的侧面构件22及下模3的侧面构件32夹持成形对象物W1，其后上模2的弹性构件23收缩，而上模2的上表面构件21与侧面构件22接触。由此，在上模2形成凹部2M。
当通过驱动机构43使可动盘42进一步上升时，如图5所示，下模3的弹性构件33收缩，而成形对象物W1与树脂材料J接触。在这种状态下，驱动机构43使下模3的底面构件31产生规定的成形压力。自此时起气体供给部6开始运转。
在这里，作为控制部9对气体供给部6的控制，可以考虑以下。
如图6所示，在凹部2M的气体压力相对于成形压力低的情况下，成形对象物W1向上方(凹部侧)变形。由此，气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离变短。其结果，流入气体排出管72的气体排出量变少，压力传感器53的值变小(真空度变好)。获取所述压力传感器53的压力检测信号的控制部9为了使成形对象物W1向下方(树脂侧)返回，而控制流量调整设备63，增加气体的供给量，提高凹部2M的气体压力。于是，成形对象物W1的变形得以抑制。
另一方面，如图7所示，在凹部2M的气体压力相对于成形压力高的情况下，成形对象物向下方(树脂侧)变形。由此，气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离变大。其结果，流入气体排出管72的气体变多，压力传感器53的值变大(真空度变差)。获取所述压力传感器53的压力检测信号的控制部9为了使成形对象物W1向上方(凹部侧)返回，而控制流量调整设备63，减少气体的供给量，降低凹部2M的气体压力。于是，成形对象物W1的变形得以抑制。
如上所述，通过控制气体的供给量，如图8所示，凹部2M的气体压力追随成形压力而变化。
如上所述，在以规定的成形压力进行了树脂成形后，驱动机构43如图9所示般使可动盘42下降，使上模2与下模3分离。此时，在上模2保持着成形对象物W2。其后，成形对象物W2被交接给卸载器702，并被收纳于供给/收纳模块100C的收纳部701。
＜本实施方式的效果＞
根据本实施方式的树脂成形装置100，测量与成形对象物W1的变形相关的信息，基于所述测量结果控制向凹部2M内的气体的供给量，因此可以根据成形对象物W1的变形量控制气体的供给量。因此，可以着眼于树脂成形时的成形对象物W1的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物W1的变形。另外，在树脂成形过程中，可以始终抑制成形对象物W1的变形，因此可以在树脂成形过程中防止成形对象物W1的损伤。
在本实施方式中，由于使用吸附机构5的构成来构成气体排出部7，所以可以简化装置构成。另外，由于使用吸附机构5的压力传感器53来构成变形测量部8，所以可以简化装置构成。
＜其他变形实施方式＞
此外，本发明并不限于所述实施方式。
例如，所述实施方式的变形测量部是测量与凹部连通的流路(具体而言为排气路)内的压力的压力传感器，但也可以是直接测量凹部内的压力的压力传感器。
另外，变形测量部除了压力传感器之外，也可以是测量在与凹部连通的流路中流动的气体的流量的流量传感器。通过如此测量流量，也可以检测出成形对象物的变形。在这种情况下，流量传感器例如可以考虑设置于与凹部连通的排气路。
进而，作为变形测量部，除了压力传感器或流量传感器之外，也可以是直接测量成形对象物的变形的例如光学式等的位移计。
所述实施方式的气体排出部使用设置于上模的吸附机构而构成，但也可以与吸附机构分开构成。
在所述实施方式中，表示了使用一个气体排出管的例子，但也可以使用多个气体排出管。
在所述实施方式中，上模具有上表面构件、弹性构件及侧面构件，且是通过弹性构件收缩而上表面构件与侧面构件接触来形成凹部的构成，但也可以不分割成这些零件而是形成有凹部的一体的第一模(上模)。
进而，在所述实施方式中，通过弹性构件23收缩而上表面构件21与侧面构件22接触，来决定气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离，但也可以是与弹性构件23的收缩无关，而决定气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离的构成。
具体而言，如图10所示，设为将侧面构件22固定于上表面构件21，并且将弹性构件23设置于上表面构件21与上模保持部46之间的构成。另外，气体排出管72固定于上表面构件21。即，与弹性构件23的收缩无关，上表面构件21、侧面构件22及气体排出管72的相对位置固定而不发生变化。其结果，成形对象物W1被吸附保持于侧面构件22的下表面，同时确定气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离。
如果是这种构成，则与弹性构件的收缩无关，而确定气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离，因此可通过高精度地确定气体排出管72的下端开口与成形对象物W1的第一面Wa的距离，来控制流入的气体的流量。
将所述实施方式的树脂成形装置(树脂成形模块)设为在减压下进行压缩成形的装置，但也可以设为在大气压下进行压缩成形的装置等除此以外的装置。另外，作为用于在减压下进行压缩成形的构成，可以采用迄今为止提出的公知的构成(例如日本专利特开2017-209845号、日本专利特开2016-181548号等)。
此外，在所述内容中，虽然对只对成形对象物的第二面进行树脂成形的例子进行了说明，但是，也可以在对第二面进行树脂成形后，同样地对第一面进行树脂成形，由此对成形对象物的两面进行树脂成形。
另外，本发明当然不限于所述实施方式，在不脱离其主旨的范围内可以进行各种变形。

Claims (7)

1.一种树脂成形装置，包括：
第一模，保持成形对象物的第一面，具有与所述第一面之间形成空间的凹部；
第二模，与所述第一模相向地设置，具有容纳树脂材料的模腔；
气体供给部，向所述凹部内供给气体；
气体排出部，将所述凹部内的气体排出；
变形测量部，测量与所述成形对象物的变形相关的信息；以及
控制部，基于所述变形测量部的测量结果，控制由所述气体供给部供给的气体量；且
所述气体排出部具有设置于所述凹部内的气体排出管，
所述气体排出管在所述凹部内朝向所述成形对象物的第一面开口，
在所述成形对象物变形的情况下，所述气体排出管的开口与所述成形对象物的第一面的距离发生变化，所述变形测量部通过测量伴随所述变化而流入所述气体排出部的气体的流量或压力，测量与所述成形对象物的变形量相关的信息。
2.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其中
所述变形测量部是压力传感器，所述压力传感器测量所述凹部内的压力或与所述凹部连通的流路内的压力来作为与所述成形对象物的变形相关的信息。
3.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其中
所述变形测量部是流量传感器，所述流量传感器测量在与所述凹部连通的流路中流动的气体的流量来作为与所述成形对象物的变形相关的信息。
4.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其还包括：
吸附机构，设置于所述第一模，用于吸附保持所述成形对象物的第一面，
所述气体排出部构成为使用所述吸附机构。
5.根据权利要求4所述的树脂成形装置，其中
所述变形测量部构成为使用设置于所述吸附机构的压力传感器。
6.一种成形模，保持成形对象物的第一面，且包括：
凹部，与所述成形对象物的第一面之间形成空间；以及
气体排出管，在所述凹部内朝向所述凹部的开口侧开口；且
在所述成形对象物变形的情况下，所述气体排出管的开口与所述成形对象物的第一面的距离发生变化，从而流入所述气体排出部的气体的流量发生变化。
7.一种树脂成形品的制造方法，使用根据权利要求1至5中任一项所述的树脂成形装置，且包括：
测量步骤，测量与所述成形对象物的变形相关的信息；以及
合模步骤，基于所述测量步骤的测量结果，控制气体的供给量同时向所述凹部供给气体，并且将所述第一模及所述第二模合模。
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