CN110379770B - 扩展方法和扩展装置 - Google Patents

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Abstract

提供扩展方法和扩展装置，能够抑制由于附着在被加工物的正面的露或霜而导致的后续工序中的不良情况。扩展方法具有如下的步骤：板冷却步骤(ST4)，对包含板和珀耳帖元件的冷却加热单元的板进行冷却，其中，该板与被加工物接触，该珀耳帖元件对板进行冷却或加热；被加工物冷却步骤(ST5)，在实施了板冷却步骤(ST4)之后，使板隔着扩展片与被加工物接触而对被加工物进行冷却；扩展步骤(ST6)，在实施了被加工物冷却步骤(ST5)之后，对扩展片进行扩展；板加热步骤(ST7)，在实施了扩展步骤(ST6)之后，对板进行加热；以及被加工物加热步骤(ST8)，在实施了板加热步骤(ST7)之后，使板隔着扩展片与被加工物接触而对被加工物进行加热。

Description

扩展方法和扩展装置
技术领域
本发明涉及扩展方法和扩展装置。
背景技术
在对扩展片进行扩展而对DAF(Die Attach Film：粘片膜)进行分割时，为了提高作为延展性材料的DAF的分割性，一边在冷却腔室内对被加工物进行冷却一边实施扩展(例如，参照专利文献1和专利文献2)。
专利文献1：日本特开2009-64905号公报
专利文献2：日本特开2007-189057号公报
但是，专利文献1和专利文献2所示的分割方法存在如下的问题：由于具有冷却腔室而使装置大型化。因此，考虑了使被加工物与冷却板接触而进行冷却，但通过对被加工物进行冷却，被加工物周围的气氛也被冷却，从而在被加工物正面上产生霜或露。
当在被加工物正面上产生霜或露时，还有可能产生无法利用之后的拾取等进行拾取等不良情况。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供扩展方法和扩展装置，能够抑制由于附着于被加工物的正面的露或霜而导致的后续工序中的不良情况。
根据本发明的一个方式，提供扩展方法，对粘贴有至少包含延展性材料的被加工物的扩展片进行扩展，其中，该扩展方法具有如下的步骤：板冷却步骤，将包含板和珀耳帖元件的冷却加热构件的该板冷却至对被加工物进行冷却的温度，其中，该板具有与被加工物接触的接触面，该珀耳帖元件对该板进行冷却或进行加热；被加工物冷却步骤，在实施了该板冷却步骤之后，使该板隔着该扩展片与被加工物接触而对被加工物进行冷却；扩展步骤，在实施了该被加工物冷却步骤之后，对该扩展片进行扩展；板加热步骤，在实施了该被加工物冷却步骤之后，对该板进行加热；以及被加工物加热步骤，在实施了该扩展步骤和该板加热步骤之后，使该板隔着该扩展片与被加工物接触而对被加工物进行加热。
根据本发明的另一方式，提供扩展装置，其对粘贴有至少包含延展性材料的被加工物的扩展片进行扩展，其中，该扩展装置具有：扩展构件，其对该扩展片进行扩展；冷却加热构件，其包含板和珀耳帖元件，其中，该板具有与被加工物接触的接触面，并且该板隔着该扩展片与被加工物接触，该珀耳帖元件对该板进行冷却或进行加热；以及极性切换构件，其对流过该珀耳帖元件的电流的极性进行切换。
根据本发明，起到能够抑制由于附着于被加工物的正面的露或霜而导致的后续工序中的不良情况的效果。
附图说明
图1是示出实施方式的扩展方法的加工对象的被加工物的立体图。
图2是示出实施方式的扩展装置的结构例的立体图。
图3是示出图2所示的扩展装置的冷却加热单元的结构的侧视图。
图4是示出实施方式的扩展方法的流程的流程图。
图5是示出图4所示的扩展方法的背面磨削步骤的立体图。
图6是示出图4所示的扩展方法的分割起点形成步骤的剖视图。
图7是示出图4所示的扩展方法的扩展片粘贴步骤的概要的立体图。
图8是示出图4所示的扩展方法的扩展片粘贴步骤后的被加工物等的剖视图。
图9是示出图4所示的扩展方法的板冷却步骤的冷却加热单元的侧视图。
图10是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的被加工物冷却步骤前的扩展装置的主要部分的侧视图。
图11是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的被加工物冷却步骤的侧视图。
图12是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的扩展步骤的侧视图。
图13是示出图4所示的扩展方法的板加热步骤的侧视图。
图14是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的被加工物加热步骤的侧视图。
图15是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的框架粘贴步骤的侧视图。
标号说明
1：被加工物；4：DAF(延展性材料)；11：扩展片；20：扩展装置；30：冷却加热单元(冷却加热构件)；31：板；34：上表面(接触面)；40：极性切换电源单元(极性切换构件)；58-1：第一移动单元(扩展构件)；58-2：第二移动单元(扩展构件)；58-3：第三移动单元(扩展构件)；58-4：第四移动单元(扩展构件)；ST4：板冷却步骤；ST5：被加工物冷却步骤；ST6：扩展步骤；ST7：板加热步骤；ST8：被加工物加热步骤。
具体实施方式
参照附图，对本发明的实施方式进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的结构要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
根据附图，对本发明的实施方式的扩展方法和扩展装置进行说明。图1是示出实施方式的扩展方法的加工对象的被加工物的立体图。图2是示出实施方式的扩展装置的结构例的立体图。图3是示出图2所示的扩展装置的冷却加热单元的结构的侧视图。图4是示出实施方式的扩展方法的流程的流程图。
实施方式的扩展方法是对粘贴有图1所示的被加工物1的扩展片11(图7所示)进行扩展而将被加工物1分割成各个器件2的方法。如图1所示，作为实施方式的扩展方法的加工对象的被加工物1至少包含以硅、蓝宝石、砷化镓或SiC(碳化硅)等作为基板的圆板状的半导体晶片或光器件晶片等晶片3和粘贴于晶片3的DAF(Die Attach Film)4。如图1所示，晶片3具有在由相互交叉的多条分割预定线5划分的各区域内分别形成有器件2的正面6。DAF4用于将从晶片3分割出的各个器件2固定于基板等，是具有伸缩性的延展性材料。DAF 4在实施方式中形成为直径比晶片3大的圆板状，并且粘贴于晶片3的正面6的背面侧的背面7上。另外，在实施方式中，作为被加工物1所包含的延展性材料，示出了DAF 4，但在本发明中，延展性材料不限于DAF 4，可以是形成于晶片3的背面7的金属膜(电极或散热片等)、配设于分割预定线5上的TEG(Test Element Group：测试元件组)图案等。
实施方式的图2所示的扩展装置20是使粘贴有被加工物1的扩展片11在第一方向21和与第一方向21垂直的第二方向22上进行扩展而将被加工物1分割成各个器件2的装置。扩展装置20也是将环状的框架10粘贴在已粘贴有被分割成各个器件2的被加工物1的扩展片11上而将被加工物1支承于框架10的开口12的装置。另外，扩展片11具有伸缩性，并且扩展片11具有：基材层，其由合成树脂构成；以及粘接层，其层叠于基材层且粘贴于被加工物1的背面7和框架10。框架10的开口12的平面形状是直径比晶片3和DAF 4大的圆形。
如图2所示，扩展装置20具有：平板状的固定基台23；设置于固定基台23的中央的作为冷却加热构件的冷却加热单元30；作为极性切换构件的极性切换电源单元40(图3所示)；扩展片固定单元50；框架搬送单元60；未图示的被加工物搬送单元；片材切断单元70(图15所示)；以及控制单元100。
冷却加热单元30例如形成为圆板状。另外，在实施方式中，冷却加热单元30形成为圆板状，但在本发明中，不限于圆板状，例如可以为矩形状。如图3所示，冷却加热单元30具有板31、珀耳帖元件层32、散热板33。
如图3所示，板31的上表面34沿着水平方向平坦地形成，是与被加工物1接触的接触面。板31在上表面34上隔着扩展片11而载置被加工物1，从而隔着扩展片11而与被加工物1接触。在实施方式中，载置于板31的上表面34的扩展片11如图7所示那样粘贴于被加工物1的背面7，并且将被加工物1配置在中央。扩展片11形成为平面形状为矩形状且比框架10大的形状。
板31由不锈钢(例如SUS303(日本工业标准))或铝合金(例如AL5052(日本工业标准))等热传导率高的金属构成。板31为了不获得配置有多个珀耳帖元件的珀耳帖元件层32的凹凸而形成为防止板31自身翘曲等的厚度，在实施方式中，板31的厚度形成为1mm以上且3mm以下，优选形成为3mm。
珀耳帖元件层32层叠在板31的下表面。即，珀耳帖元件层32的上表面层叠在板31的下表面。珀耳帖元件层32包含对板31进行冷却或加热的多个珀耳帖元件。
散热板33层叠在珀耳帖元件层32的下表面，在实施方式中，散热板33由金属构成，形成为板状。散热板33由比热容较大的铝合金、质量较大的不锈钢等金属形成为热容量较大。优选散热板33的尺寸及厚度是根据对流热损失或放射热损失而设定的，将散热板例如设为360mm见方，在由铝合金构成的情况下，优选厚度为5mm以上，同样地，在由不锈钢构成的情况下，优选厚度为3mm以上。另外，为了提高板31对被加工物1的冷却速度，在散热板33由不锈钢构成的情况下，例如优选散热板33的厚度为20mm左右。由此，按照增大散热板33的热容量以便积蓄对板31进行冷却时所产生的热量从而充分地积蓄热量的方式来形成散热板33，由此，冷却加热单元30可以不需要用于使移动至散热板33侧的热释放至散热板33外的风扇等机构。
极性切换电源单元40使电流流过珀耳帖元件层32的珀耳帖元件，并且对在珀耳帖元件层32的珀耳帖元件中流过的电流的极性进行切换。极性切换电源单元40具有两个电源单元43，该电源单元43具有相互串联连接的直流电源41和开关42。两个电源单元43相互并联连接并与珀耳帖元件层32连接。当极性切换电源单元40将图3中上侧的一个电源单元43(以下用标号43-1表示)的开关42闭合而对珀耳帖元件层32的珀耳帖元件施加来自一个电源单元43-1的直流电源41的电压时，珀耳帖元件层32的上表面侧进行吸热而对板31进行冷却，下表面侧进行放热而对散热板33进行加热。另外，当极性切换电源单元40将图3中下侧的另一个电源单元43(以下用标号43-2表示)的开关42闭合而对珀耳帖元件层32的珀耳帖元件施加来自另一个电源单元43-2的直流电源41的电压时，珀耳帖元件层32的下表面侧进行吸热而对散热板33进行冷却，上表面侧进行放热而对板31进行加热。这样，冷却加热单元30包含对板31进行冷却或加热的珀耳帖元件。
扩展片固定单元50对粘贴有被加工物1的扩展片11进行保持。扩展片固定单元50具有第一保持单元51-1、第二保持单元51-2、第三保持单元51-3以及第四保持单元51-4。第一保持单元51-1和第二保持单元51-2沿着第一方向21相互对置，在彼此之间定位有冷却加热单元30。第三保持单元51-3和第四保持单元51-4沿着第二方向22相互对置，在彼此之间定位有冷却加热单元30。
第一保持单元51-1、第二保持单元51-2、第三保持单元51-3以及第四保持单元51-4分别对扩展片11的比被加工物1靠外周侧的位置进行夹持而保持。第一保持单元51-1、第二保持单元51-2、第三保持单元51-3以及第四保持单元51-4分别是对扩展片11的各边进行保持的保持构件。第一保持单元51-1、第二保持单元51-2、第三保持单元51-3以及第四保持单元51-4彼此的结构大致相同，因此在相同的部分标记相同的标号而进行说明。
第一保持单元51-1、第二保持单元51-2、第三保持单元51-3以及第四保持单元51-4具有：一对夹持部件53，它们以沿铅垂方向移动自如的方式设置在柱状的移动基台52上，该移动基台52设置在固定基台23上；以及带移动单元54，其使一对夹持部件53在相互接近的方向和相互远离的方向上移动。一对夹持部件53相互在铅垂方向上隔开间隔地配置，通过带移动单元54使一对夹持部件53相互接近而将扩展片11夹持在彼此之间并进行保持。带移动单元54设置于移动基台52。
带移动单元54具有：电动机55，其使一对夹持部件53在铅垂方向上移动自如；滚珠丝杠56，其通过电动机55而绕轴心旋转；以及螺母58，其与滚珠丝杠56螺合且经由臂部件57而与夹持部件53连结。带移动单元54通过电动机55使滚珠丝杠56绕轴心旋转而使螺母58、臂部件57和夹持部件53在铅垂方向上移动。
另外，带移动单元54还能够通过电动机55使滚珠丝杠56绕轴心旋转而使一对夹持部件53在铅垂方向上沿相同方向移动。因此，带移动单元54通过使夹持扩展片11的一对夹持部件53上升，能够使扩展片11沿着铅垂方向在与冷却加热单元30分离的方向上移动。
另外，第一保持单元51-1的设置有一对夹持部件53和带移动单元54的移动基台52被设置成通过第一移动单元58-1在固定基台23上沿第一方向21移动自如。第二保持单元51-2的设置有一对夹持部件53和带移动单元54的移动基台52被设置成通过第二移动单元58-2在固定基台23上沿第一方向21移动自如。第三保持单元51-3的设置有一对夹持部件53和带移动单元54的移动基台52被设置成通过第三移动单元58-3在固定基台23上沿第二方向22移动自如。第四保持单元51-4的设置有一对夹持部件53和带移动单元54的移动基台52被设置成通过第四移动单元58-4在固定基台23上沿第二方向22移动自如。
第一移动单元58-1、第二移动单元58-2、第三移动单元58-3以及第四移动单元58-4彼此的结构大致相同，因此在相同的部分标记相同的标号而进行说明。
第一移动单元58-1、第二移动单元58-2、第三移动单元58-3以及第四移动单元58-4具有：电动机59-1，其能够使保持单元51-1、51-2、51-3、51-4在第一方向21或第二方向22上移动；以及滚珠丝杠59-2，其通过电动机59-1而绕轴心旋转，使移动基台52在第一方向21或第二方向22上移动。
第一移动单元58-1、第二移动单元58-2、第三移动单元58-3以及第四移动单元58-4通过使保持单元51-1、51-2、51-3、51-4在第一方向21或第二方向22上向相互远离的方向移动而构成了对保持单元51-1、51-2、51-3、51-4所保持的扩展片11进行扩展的扩展构件。
在实施方式中，框架搬送单元60配置在扩展片固定单元50的上方并且形成为厚的平板状，在下表面61对框架10进行保持。框架搬送单元60设置成通过升降单元62在铅垂方向上移动自如，并且设置成通过未图示的水平方向移动单元在水平方向上移动自如。框架搬送单元60通过水平方向移动单元将保持于下表面61的框架10的开口12配置于与板31同轴的位置，从而将框架10定位于框架10的开口12与载置于板31上的扩展片11所粘贴的被加工物1在铅垂方向上对置的位置。另外，框架搬送单元60通过升降单元62而下降，从而将框架10粘贴于扩展片11。
被加工物搬送单元配置于扩展片固定单元50的上方，且在下表面对被加工物1进行保持。被加工物搬送单元设置成通过升降单元在铅垂方向上移动自如，并且设置成通过水平方向移动单元在水平方向上移动自如。被加工物搬送单元通过水平方向移动单元将保持于下表面的被加工物1配置在与板31同轴的位置，从而将被加工物1定位于与板31在铅垂方向上对置的位置。另外，被加工物搬送单元通过升降单元而下降，从而将被加工物1粘贴于扩展片11。
片材切断单元70沿着框架10将粘贴于框架10的扩展片11切断。如图15所示，片材切断单元70具有将扩展片11切断的切割器71。
控制单元100对扩展装置20的各结构要素进行控制而使扩展装置20实施扩展片11的扩展动作和扩展片11对框架10的粘贴动作。另外，控制单元100是计算机，其具有如下装置：运算处理装置，其具有CPU(central processing unit：中央处理器)那样的微处理器；存储装置，其具有ROM(read only memory：只读存储器)或RAM(random access memory：随机存取存储器)那样的存储器；以及输入输出接口装置。控制单元100的运算处理装置按照存储于存储装置的计算机程序而实施运算处理，将用于控制扩展装置20的控制信号经由输入输出接口装置而输出至扩展装置20的各结构要素。另外，控制单元100与由显示各种信息或图像等的液晶显示装置等构成的未图示的显示单元以及在操作者登记加工内容信息等时所用的未图示的输入单元连接。输入单元由设置于显示单元的触摸面板和键盘等外部输入装置中的至少一个构成。
另外，在本发明中，除了上述的结构以外，扩展装置20还可以具有：片材保持单元，其对卷绕成卷的扩展片11进行保持；送出单元，其将扩展片11从片材保持单元送出至保持单元51-1、51-2、51-3、51-4；以及切断单元，其将通过送出单元送出的扩展片11切断。
如图4所示，实施方式的扩展方法具有：背面磨削步骤ST1、分割起点形成步骤ST2、扩展片粘贴步骤ST3、板冷却步骤ST4、被加工物冷却步骤ST5、扩展步骤ST6、板加热步骤ST7、被加工物加热步骤ST8以及框架安装步骤ST9。
(背面磨削步骤)
图5是示出图4所示的扩展方法的背面磨削步骤的立体图。背面磨削步骤ST1是对被加工物1的晶片3的背面7进行磨削而将晶片3薄化至期望的完工厚度的步骤。
在背面磨削步骤ST1中，首先在晶片3的正面6上粘贴保护带13。在实施方式中，使用与晶片3同径的保护带13。在背面磨削步骤ST1中，如图5所示，磨削装置80将晶片3的正面6隔着保护带13而吸引保持于卡盘工作台81，一边使卡盘工作台81绕轴心旋转一边使磨削单元82的磨削磨具83绕轴心旋转而与晶片3的背面7接触，从而对背面7进行磨削。在扩展方法中，在背面磨削步骤ST1之后进入至分割起点形成步骤ST2。
(分割起点形成步骤)
图6是示出图4所示的扩展方法的分割起点形成步骤的剖视图。分割起点形成步骤ST2是在被加工物1的晶片3形成沿着分割预定线的作为分割起点的改质层14的步骤。
在分割起点形成步骤ST2中，如图6所示，激光加工装置90将晶片3的正面6隔着保护带13而吸引保持于卡盘工作台91，从被加工物1的背面7侧沿着分割预定线5照射具有透过性的波长的激光光线92。在分割起点形成步骤ST2中，将激光光线92的聚光点93设定在晶片3的内部，一边使被加工物1和激光光线照射单元94沿着分割预定线5相对地移动，一边将激光光线92照射至被加工物1。在分割起点形成步骤ST2中，在晶片3的内部形成有沿着分割预定线5的作为分割起点的改质层14。
另外，改质层14是指密度、折射率、机械强度或其他物理特性处于与周围的这些特性不同的状态的区域，可以例示熔融处理区域、裂纹区域、绝缘破坏区域、折射率变化区域以及这些区域混在一起的区域等。另外，在实施方式中，被加工物1在内部形成有作为分割起点的改质层14，但在本发明中，可以从正面6侧实施切削加工而形成作为分割起点的切削槽，也可以从正面6侧实施激光烧蚀加工而形成作为分割起点的激光加工槽。在扩展方法中，在分割起点形成步骤ST2之后进入至扩展片粘贴步骤ST3。
(扩展片粘贴步骤)
图7是示出图4所示的扩展方法的扩展片粘贴步骤的概要的立体图。图8是示出图4所示的扩展方法的扩展片粘贴步骤后的被加工物等的剖视图。扩展片粘贴步骤ST3是在晶片3的背面7粘贴DAF 4并在被加工物1的DAF 4上粘贴扩展片11的步骤。
在实施方式中，在扩展片粘贴步骤ST3中，如图7所示，扩展装置20被定位于使在中央粘贴有DAF 4的扩展片11远离板31的位置，利用保持单元51-1、51-2、51-3、51-4的一对夹持部件53对扩展片11进行保持。在扩展片粘贴步骤ST3中，扩展装置20在使被加工物搬送单元所保持的晶片3的背面7与DAF 4对置之后，使被加工物搬送单元下降，从而如图8所示，将晶片3的背面7粘贴于DAF 4。本发明可以利用未图示的粘贴辊从扩展片11的下方将粘贴于扩展片11的DAF 4粘贴于晶片3的背面7上。在扩展片粘贴步骤ST3中，将保护带13剥离。
另外，在实施方式中，在扩展片粘贴步骤ST3中，在粘贴于扩展片11的DAF 4上粘贴晶片3的背面7，但在本发明中，也可以在晶片3的背面7上依次粘贴DAF 4和扩展片11。即，本发明也可以利用被加工物搬送单元对预先在背面7上粘贴有DAF4的晶片3进行保持，并粘贴于夹持部件53所保持的扩展片11上。在扩展方法中，在扩展片粘贴步骤ST3之后进入至板冷却步骤ST4。
(板冷却步骤)
图9是示出图4所示的扩展方法的板冷却步骤的冷却加热单元的侧视图。板冷却步骤ST4是将冷却加热单元30的板31冷却至对被加工物1进行冷却的温度的步骤。
在实施方式中，在板冷却步骤ST4中，如图9所示，扩展装置20在将极性切换电源单元40的一个电源单元43-1的开关42闭合、将另一个电源单元43-2的开关42断开的状态下，利用珀耳帖元件层32的珀耳帖元件对板31进行冷却。在实施方式中，在板冷却步骤ST4中，对板31进行冷却，直至上表面34的温度成为冷却温度即-20℃以上且-15℃以下为止。在扩展方法中，在板冷却步骤ST4之后进入至被加工物冷却步骤ST5。
(被加工物冷却步骤)
图10是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的被加工物冷却步骤前的扩展装置的主要部分的侧视图。图11是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的被加工物冷却步骤的侧视图。
被加工物冷却步骤ST5是在实施了板冷却步骤ST4之后使板31隔着扩展片11与被加工物1接触而对被加工物1进行冷却的步骤。在实施方式中，在被加工物冷却步骤ST5中，从图10所示的扩展片11远离板31的上表面34的状态起，扩展装置20通过带移动单元54使扩展片11下降而如图11所示那样使扩展片11与板31的上表面34接触。在实施方式中，在被加工物冷却步骤ST5中，扩展装置20使扩展片11与板31的上表面34接触20秒以上且60秒以下而对被加工物1的晶片3和DAF 4进行冷却。在扩展方法中，在被加工物冷却步骤ST5之后进入至扩展步骤ST6和板加热步骤ST7。
(扩展步骤)
图12是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的扩展步骤的侧视图。扩展步骤ST6是在实施了被加工物冷却步骤ST5之后对扩展片11进行扩展的步骤。
在实施方式中，在扩展步骤ST6中，在扩展装置20通过带移动单元54使扩展片11上升而使扩展片11远离板31的上表面34之后，扩展装置20如图12所示那样通过移动单元58-1、58-2、58-3、58-4使保持单元51-1、51-2、51-3、51-4在第一方向21或第二方向22上向分离的方向移动。于是，随着保持单元51-1、51-2、51-3、51-4的移动，扩展片11向第一方向21和第二方向22这两个方向扩展。扩展片11的扩展结果是，对扩展片11作用第一方向21和第二方向22的拉伸力。
当像这样对粘贴有被加工物1的扩展片11作用第一方向21和第二方向22的拉伸力时，由于被加工物1沿着分割预定线5形成有改质层14，因此以改质层14为基点而沿着分割预定线5分割成各个器件2，并且按照每个器件2对DAF 4进行分割。另外，在实施方式中，扩展步骤ST6在使扩展片11上升而远离板31的上表面34之后进行扩展，但在本发明中，也可以在不使扩展片11上升而与板31的上表面34接触的状态下进行扩展。在扩展方法中，在扩展步骤ST6之后进入至被加工物加热步骤ST8。
(板加热步骤)
图13是示出图4所示的扩展方法的板加热步骤的侧视图。板加热步骤ST7是在实施了被加工物冷却步骤ST5之后对板31进行加热的步骤。
在实施方式中，在板加热步骤ST7中，如图13所示，扩展装置20将极性切换电源单元40的一个电源单元43-1的开关42断开，将另一个电源单元43-2的开关42闭合，利用珀耳帖元件层32的珀耳帖元件对板31进行加热。在实施方式中，在板加热步骤ST7中，对板31进行加热，直至上表面34的温度成为加热温度即20℃以上且30℃以下为止。另外，在实施方式中，冷却加热单元30在除了被加工物1的冷却时即板冷却步骤ST4和被加工物冷却步骤ST5以外的待机期间始终以图13所示的状态流过电流而将板31预先加热至20℃以上且30℃以下的程度。这样，扩展装置20在待机期间也预先将板31加热至常温左右，从而起到如下的效果：蓄积在散热板33中的热被冷却，在对板31进行冷却时能够在短时间内进行冷却。在扩展方法中，在板加热步骤ST7之后进入至被加工物加热步骤ST8。
(被加工物加热步骤)
图14是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的被加工物加热步骤的侧视图。被加工物加热步骤ST8是在实施了扩展步骤ST6和板加热步骤ST7之后使板31隔着扩展片11与被加工物1接触而对被加工物1进行加热的步骤。
在实施方式中，在被加工物加热步骤ST8中，扩展装置20通过带移动单元54使扩展片11下降，从而如图14所示那样使扩展片11与板31的上表面34接触。在实施方式中，在被加工物加热步骤ST8中，扩展装置20使扩展片11与板31的上表面34接触而对被加工物1的晶片3和DAF 4进行加热，从而将在晶片3的正面6上产生的霜或露去除。在扩展方法中，在被加工物加热步骤ST8之后进入至框架安装步骤ST9。
(框架粘贴步骤)
图15是以局部剖视的方式示出图4所示的扩展方法的框架粘贴步骤的侧视图。框架安装步骤ST9是在实施了被加工物加热步骤ST8之后将框架10粘贴于扩展片11的步骤。
在实施方式中，在框架安装步骤ST9中，扩展装置20通过带移动单元54使扩展片11上升，在使扩展片11远离板31的上表面34之后，使框架10的开口12与粘贴于扩展片11的被加工物1面对，将框架10定位于远离扩展片11的位置。在框架安装步骤ST9中，扩展装置20如图15所示那样使框架搬送单元60下降而使框架搬送单元60所保持的框架10粘贴于扩展片11，通过片材切断单元70的切割器71沿着框架10将扩展片11切断。扩展方法在框架安装步骤ST9之后结束。
实施方式的扩展方法和扩展装置20在实施了被加工物冷却步骤ST5之后，实施扩展步骤ST6，接着实施被加工物加热步骤ST8，因此能够通过加热将在被加工物冷却步骤ST5中所产生的露或霜去除，能够防止由于露或霜而导致的后续工序中的不良情况。另外，在扩展方法和扩展装置20中，对被加工物1进行冷却的冷却加热单元30具有与被加工物1接触而进行冷却的板31以及对板31进行冷却的珀耳帖元件层32，因此无需设置收纳被加工物1并进行冷却的冷却腔室，因此能够抑制扩展装置20的大型化。其结果是，实施方式的扩展方法和扩展装置20能够抑制装置的大型化，并且将包含DAF 4的被加工物1分割成各个器件2，能够抑制由于附着在被加工物1的正面6的露或霜而导致的后续工序中的不良情况。
另外，在实施方式的扩展方法和扩展装置20中，冷却加热单元30具有珀耳帖元件层32而对被加工物1进行冷却并且对被加工物1进行加热，因此能够抑制扩展装置20的部件件数增加，能够抑制装置自身的大型化。
另外，在实施方式的扩展方法和扩展装置20中，冷却加热单元30具有珀耳帖元件层32而对被加工物1进行冷却并且对被加工物1进行加热，因此无需利用冷却腔室覆盖对扩展片11的各边进行保持而扩展的扩展装置20整体。其结果是，实施方式的扩展方法和扩展装置20能够抑制对扩展片11的各边进行保持而扩展的扩展装置20的大型化，特别是在具有上述的片材保持单元、送出单元以及切断单元的情况下，能够抑制装置自身的大型化，效果显著。
另外，本发明并不限于上述实施方式。即，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。例如，在实施方式中，扩展装置20通过带移动单元54在被加工物冷却步骤ST5中使扩展片11下降，在扩展步骤ST6中使扩展片11上升，在被加工物加热步骤ST8中使扩展片11下降，在框架安装步骤ST9中使扩展片11上升。但是，本发明也可以是扩展装置20在被加工物冷却步骤ST5、扩展步骤ST6、被加工物加热步骤ST8和框架安装步骤ST9中使冷却加热单元30升降。在该情况下，在框架安装步骤ST9中，也可以不使扩展片11上升而使冷却加热单元30下降、退避，使框架搬送单元60下降而粘贴框架10。
另外，实施方式将晶片3和DAF 4一起进行分割(即，将晶片和延展性材料作为加工对象)，但本发明在仅对沿着分割预定线5进行半切割或在形成了改质层之后进行磨削而单片化成器件2的晶片3上所粘贴的DAF 4(即，加工对象仅为延展性材料)进行分割时也适用。

Claims (2)

1.一种扩展方法，对粘贴有至少包含延展性材料的被加工物的扩展片进行扩展，其中，
该扩展方法具有如下的步骤：
板冷却步骤，将包含板和珀耳帖元件的冷却加热构件的该板冷却至对被加工物进行冷却的温度，其中，该板具有与被加工物接触的接触面，该珀耳帖元件对该板进行冷却或进行加热；
被加工物冷却步骤，在实施了该板冷却步骤之后，使该板隔着该扩展片与被加工物接触而对被加工物进行冷却；
扩展步骤，在实施了该被加工物冷却步骤之后，对该扩展片进行扩展；
板加热步骤，在实施了该被加工物冷却步骤之后，对该板进行加热；以及
被加工物加热步骤，在实施了该扩展步骤和该板加热步骤之后，使该板隔着该扩展片与被加工物接触而对被加工物进行加热。
2.一种扩展装置，其对粘贴有至少包含延展性材料的被加工物的扩展片进行扩展，其中，
该扩展装置具有：
扩展构件，其对该扩展片进行扩展；
冷却加热构件，其包含板和珀耳帖元件，其中，该板具有与被加工物接触的接触面，并且该板隔着该扩展片与被加工物接触，该珀耳帖元件对该板进行冷却或进行加热；以及
极性切换构件，其对流过该珀耳帖元件的电流的极性进行切换，其中，该极性切换构件构成为在该板被冷却的第一状态和该板被加热的第二状态之间切换，以使得该板能够隔着该扩展片与该被加工物接触而对该被加工物进行冷却或进行加热。
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