CN110140295A - 弹性波装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够更加可靠地、且充分地降低低声速区域中的声速的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，具有一个主面(2a)；以及IDT电极(3)，设置在一个主面(2a)上。在弹性波装置(1)中，设置有：中央区域，在俯视下位于与弹性波传播方向正交的方向中央侧；第一低声速区域、第二低声速区域，位于中央区域的外侧；以及第一高声速区域、第二高声速区域，位于第一低声速区域、第二低声速区域的外侧。在一个主面(2a)中的位于第一低声速区域以及第二低声速区域的部分设置有槽部(8)，使得在俯视下与第一电极指(4b)以及第二电极指(5b)中的任一者重叠。在槽部(8)内分别设置有声速调整层(7)。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明涉及利用了活塞模式的弹性波装置。
背景技术
以往，为了抑制无用波，提出了利用了活塞模式的弹性波装置。
例如，在下述的专利文献1示出了利用了活塞模式的弹性波装置的一个例子。该弹性波装置具有设置在压电基板上的IDT电极。IDT电极具有在电极指延伸的方向上位于中央的中央激励区域、和与中央激励区域的电极指延伸的方向两侧相邻的内缘区域。进而，IDT电极具有与内缘区域的外侧相邻的外缘区域。
在内缘区域中，在电极指上层叠由电介质或金属构成的质量附加膜，或者加宽内缘区域中的电极指的宽度。由此，内缘区域中的声速与中央激励区域以及外缘区域中的声速相比成为低速。像这样，内缘区域是低声速区域。外缘区域是声速与中央激励区域相比为高速的高声速区域。通过依次配置中央激励区域、低声速区域以及高声速区域，从而封闭弹性波的能量，且抑制无用波。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特表2013-518455号公报
发明内容
发明要解决的课题
伴随着近年来的电子设备的高频化，产生了缩窄IDT电极的电极指间距的需求。然而，在像上述那样加宽内缘区域中的电极指的宽度的情况下，越缩窄IDT电极的电极指间距，在相邻的电极指间产生短路不良的可能性变得越高。
另一方面，在设置质量附加膜的情况下，有可能产生质量附加膜的位置偏移。进而，若电极指的宽度变窄，则质量附加膜的形成自身变得困难。因此，未能可靠地降低声速。
本发明的目的在于，提供一种能够更加可靠地、且充分地降低低声速区域中的声速的弹性波装置。
用于解决课题的技术方案
本发明涉及的弹性波装置具备：压电基板；以及IDT电极，设置在所述压电基板的一个主面上，所述IDT电极具有：第一汇流条以及第二汇流条，彼此相互对置；多个第一电极指，一端与所述第一汇流条连接；以及多个第二电极指，一端与所述第二汇流条连接，且与所述多个第一电极指相互交替插入，所述IDT电极具有作为所述第一电极指和所述第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分的交叉区域，在俯视下，在将与弹性波传播方向正交的方向设为交叉方向时，所述交叉区域具有：中央区域，位于所述交叉方向中央侧；以及第一低声速区域和第二低声速区域，配置在所述中央区域的所述交叉方向两侧，且声速比所述中央区域低，所述第一低声速区域位于所述第一汇流条侧，所述第二低声速区域位于所述第二汇流条侧，设置有：第一高声速区域，位于所述第一汇流条与所述第一低声速区域之间，且声速比所述中央区域高；以及第二高声速区域，位于所述第二汇流条与所述第二低声速区域之间，且声速比所述中央区域高，在所述压电基板的所述一个主面中的位于所述第一低声速区域以及所述第二低声速区域的部分设置有槽部，使得在俯视下与所述第一电极指以及所述第二电极指中的任一者重叠，在所述槽部内分别设置有由与所述压电基板不同的材料构成的声速调整层。
在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，所述声速调整层设置为填满所述槽部。在该情况下，能够在第一低声速区域以及第二低声速区域中有效地降低声速。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，在将所述第一电极指、所述第二电极指以及所述槽部的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，所述槽部的宽度为所述第一电极指的宽度以下，且为所述第二电极指的宽度以下。在该情况下，即使在制造工序中产生了IDT电极的位置偏移的情况下，也能够得到降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速的效果，且相邻的电极指不易经由声速调整层短路。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述槽部的宽度比所述第一电极指的宽度窄，且比所述第二电极指的宽度窄。在该情况下，即使在制造工序中在IDT电极产生了位置偏移的情况下，在声速调整层中也不易产生未层叠第一电极指以及第二电极指的部分。因此，能够更加可靠地、且稳定地降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，用于所述声速调整层的材料的密度比用于所述IDT电极的材料的平均密度高。在该情况下，能够更进一步降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，设置在所述压电基板的所述一个主面的位于所述第一低声速区域的部分的所述槽部在俯视下与所述第二电极指重叠，设置在位于所述第二低声速区域的部分的所述槽部在俯视下与所述第一电极指重叠。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述槽部到达所述压电基板的所述一个主面的、在俯视下与位于所述多个第一电极指中的所述第二低声速区域的部分以外以及位于所述多个第二电极指中的所述第一低声速区域的部分以外重叠的部分，所述声速调整层具有第一声速调整层和声速比所述第一声速调整层高的第二声速调整层，所述第一声速调整层设置在所述槽部的、在俯视下与位于所述多个第一电极指的所述第二低声速区域的部分以及位于所述多个第二电极指的所述第一低声速区域的部分重叠的部分，所述第二声速调整层设置在所述槽部的、在俯视下设置有所述第一声速调整层的部分以外的部分。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，用于所述第一声速调整层的材料的密度比用于所述IDT电极的材料的平均密度高。在该情况下，能够更进一步降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，在所述压电基板的所述一个主面上设置有第一电介质膜，使得覆盖所述IDT电极。在该情况下，IDT电极不易破损。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，在所述压电基板的所述一个主面上设置有第二电介质膜，所述槽部以及所述声速调整层被所述第二电介质膜覆盖，所述第二电介质膜位于所述IDT电极与所述压电基板以及所述声速调整层之间。在该情况下，在用于声速调整层的材料和用于IDT电极的材料中不易产生相互扩散。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述IDT电极具有：多个第一虚设电极指，一端与所述第一汇流条连接，且隔着间隙与所述多个第二电极指对置；以及多个第二虚设电极指，一端与所述第二汇流条连接，且隔着间隙与所述多个第一电极指对置。
在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，用于所述声速调整层的材料为金属。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够更加可靠地、且充分地降低低声速区域中的声速的弹性波装置。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。
图3是示出在弹性波装置中在声速调整层上层叠有电极指的情况以及在压电基板上直接设置有电极指的情况下的阻抗频率特性的图。
图4是本发明的第一实施方式的第一变形例涉及的弹性波装置的放大主视剖视图。
图5是本发明的第一实施方式的第二变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
图6是本发明的第二实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
图7是本发明的第三实施方式涉及的弹性波装置的放大主视剖视图。
图8是本发明的第四实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
图9是本发明的第四实施方式的变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。
另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。另外，在图1中，省略第一电介质膜，并通过影线示出声速调整层。关于第一电介质膜以及声速调整层将后述。
如图1所示，弹性波装置1具有压电基板2。如图2所示，压电基板2具有一个主面2a。压电基板2由LiNbO3构成。另外，压电基板2也可以由LiTaO3等LiNbO3以外的压电单晶、适当的压电陶瓷构成。
如图1所示，在压电基板2上设置有IDT电极3。通过对IDT电极3施加交流电压，从而激励弹性波。在IDT电极3的弹性波传播方向两侧配置有反射器6a以及反射器6b。本实施方式的弹性波装置1是单端口型的弹性波谐振器。
IDT电极3具有彼此相互对置的第一汇流条4a以及第二汇流条5a。IDT电极3具有一端与第一汇流条4a连接的多个第一电极指4b。进而，IDT电极3具有一端与第二汇流条5a连接的多个第二电极指5b。
多个第一电极指4b和多个第二电极指5b彼此相互交替插入。IDT电极3具有交叉区域A，交叉区域A是第一电极指4b和第二电极指5b在弹性波传播方向上相互重叠的部分。在此，在俯视下，将与弹性波传播方向正交的方向设为交叉方向。此时，交叉区域A具有位于交叉方向中央侧的中央区域B和在交叉方向上配置于中央区域B的两侧的第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb。第一边缘区域Ca位于第一汇流条4a侧，第二边缘区域Cb位于第二汇流条5a侧。
IDT电极3具有位于第一边缘区域Ca与第一汇流条4a之间的第一外侧区域Da。IDT电极3具有位于第二边缘区域Cb与第二汇流条5a之间的第二外侧区域Db。
如图2所示，在本实施方式中，IDT电极3由层叠了多个金属层的层叠金属膜构成。更具体地，在IDT电极3中，从压电基板2侧起依次层叠有第一层3a～第五层3e。第一层3a由NiCr层构成。第二层3b由Pt层构成。第三层3c由Ti层构成。第四层3d由A1层构成。第五层3e由Ti层构成。另外，用于IDT电极3的金属的种类并不限定于上述的金属的种类。IDT电极3也可以由单层的金属膜构成。
在本实施方式中，第一电极指4b的侧面以及第二电极指5b的侧面相对于IDT电极3的厚度方向倾斜。另外，第一电极指4b的侧面以及第二电极指5b的侧面也可以不相对于IDT电极3的厚度方向倾斜。
在压电基板2的一个主面2a设置有多个槽部8。更具体地，在一个主面2a的位于第一边缘区域Ca的部分分别设置有多个槽部8。在一个主面2a的位于第二边缘区域Cb的部分也分别设置有多个槽部8。各槽部8设置为在俯视下与多个第一电极指4b以及多个第二电极指5b中的一个重叠。在本实施方式中，设置在位于第一边缘区域Ca的部分的槽部8在俯视下与第二电极指5b重叠。设置在位于第二边缘区域Cb的部分的槽部8在俯视下与第一电极指4b重叠。
另外，在一个主面2a的位于第一边缘区域Ca的部分，只要设置有至少一个槽部8即可。设置在位于第一边缘区域Ca的部分的槽部8也可以在俯视下与第一电极指4b重叠。同样地，在位于第二边缘区域Cb的部分，只要设置有至少一个槽部8即可。设置在位于第二边缘区域Cb的部分的槽部8也可以在俯视下与第二电极指5b重叠。
在此，将第一电极指4b、第二电极指5b以及槽部8的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度。在本实施方式中，槽部8的宽度比第一电极指4b的宽度窄，且比第二电极指5b的宽度窄。
如图2所示，槽部8的横截面的形状为梯形。另外，槽部8的横截面的形状并不限定于上述的形状，例如，也可以是矩形、大致半圆形等。
在多个槽部8内分别设置有声速调整层7。声速调整层7由与用于压电基板2的材料不同的材料构成。由此，与图1所示的中央区域B中的弹性波的声速相比，第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb中的弹性波的声速变低。在此，将中央区域B中的弹性波的声速设为V1，将第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb中的弹性波的声速设为V2。此时，设为V1＞V2。像这样，第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb是声速比中央区域B低的第一低声速区域以及第二低声速区域。
在弹性波装置1中，声速调整层7设置为填满槽部8。另外，声速调整层7只要设置在槽部8内即可。不过，通过像本实施方式那样将声速调整层7设置为填满槽部8，从而能够有效地降低声速。在本实施方式中，用于声速调整层7的材料为金属。
位于第一外侧区域Da的部分仅为第一电极指4b。位于第二外侧区域Db的部分仅为第二电极指5b。由此，与中央区域B中的弹性波的声速相比，第一外侧区域Da以及第二外侧区域Db中的弹性波的声速变高。在此，将第一外侧区域Da以及第二外侧区域Db中的声速设为V3。此时，设为V3＞V1。像这样，第一外侧区域Da以及第二外侧区域Db是声速比中央区域B高的第一高声速区域以及第二高声速区域。
通过在中央区域B的外侧配置有第一低声速区域以及第二低声速区域，并在第一低声速区域以及第二低声速区域的外侧配置有第一高声速区域以及第二高声速区域，从而能够抑制无用波。像这样，弹性波装置1利用了活塞模式。
将像上述那样的各声速V1、V2、V3的关系示于图1。另外，越朝向图1中的左侧，表示声速越高。
如图2所示，在压电基板2的一个主面2a上设置有第一电介质膜9，使得覆盖IDT电极3。由此，IDT电极3不易破损。进而，在本实施方式中，第一电介质膜9具有第一层9a以及第二层9b。第一层9a由SiO2构成。由此，能够减小频率温度系数的绝对值，能够改善频率温度特性。第二层9b由SiN构成。通过调整第二层9b的膜厚，从而能够容易地调整频率。另外，第一层9a以及第二层9b的材料并不限定于上述材料。第一电介质膜9也可以是单层。未必一定要设置第一电介质膜9。
本实施方式的特征在于，通过在多个槽部8内分别设置有声速调整层7，从而构成了第一低声速区域以及第二低声速区域。由此，能够更加可靠地、且充分地降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。以下对此进行说明。
在制造弹性波装置1时，在压电基板2的一个主面2a设置多个槽部8。接着，在多个槽部8内分别设置声速调整层7。然后，形成IDT电极3。此时，能够得到在声速调整层7上层叠了第一电极指4b以及第二电极指5b的结构。像这样，与IDT电极3的形成同时构成第一低声速区域以及第二低声速区域。在该情况下，在声速调整层7中不易产生未层叠第一电极指4b以及第二电极指5b的部分，因此IDT电极3只要在弹性波装置1的滤波器特性等不特别劣化的程度的位置精度下形成即可。因此，能够更加可靠地降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
另外，例如，在通过剥离法形成了IDT电极3的情况下，第一电极指4b以及第二电极指5b的宽度具有越从压电基板2侧远离变得越窄的倾向。声速调整层7位于设置在压电基板2的一个主面2a的槽部8内。因而，声速调整层7位于第一电极指4b以及第二电极指5b的宽度宽的一侧。因此，能够更加可靠地得到层叠了声速调整层7和第一电极指4b以及第二电极指5b的结构。
在此，对在声速调整层7上层叠有第一电极指4b以及第二电极指5b的结构中的声速和在压电基板2上直接设置有第一电极指4b以及第二电极指5b的结构中的声速进行了比较。另外，通过比较阻抗频率特性，从而对声速进行了比较。在比较的双方中，波长相同。因此，在下述的图3中，例如，谐振频率越低，声速越低。
图3是示出在弹性波装置中在声速调整层上层叠有电极指的情况以及在压电基板上直接设置有电极指的情况下的阻抗频率特性的图。在图3中，实线示出在声速调整层上层叠有电极指的情况下的结果，虚线示出在压电基板上直接设置有电极指的情况下的结果。单点划线X示出在声速调整层上层叠有电极指的情况下的谐振频率，单点划线Y示出在压电基板上直接设置有电极指的情况下的谐振频率。
如图3所示，可知通过在声速调整层上层叠有电极指，从而与在压电基板上直接设置有电极指的情况相比，谐振频率充分变低。如上所述，在图3中进行比较的双方中波长相同，因此，例如谐振频率越低，声速越低。因而，可知通过在声速调整层上层叠电极指，从而声速充分变低。因此，在图1所示的本实施方式中，能够充分地降低在声速调整层7上层叠了多个第一电极指4b以及多个第二电极指5b的第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
优选图2所示的槽部8的宽度为第一电极指4b的宽度以下，且为第二电极指5b的宽度以下。在该情况下，在将声速调整层7的沿着弹性波传播方向的尺寸设为声速调整层7的宽度时，声速调整层7的宽度为第一电极指4b的宽度以下，且为第二电极指5b的宽度以下。例如，在图4所示的第一实施方式的第一变形例中，槽部48以及声速调整层47的宽度与第一电极指4b以及第二电极指5b的宽度相同。在该情况下，即使在制造工序中产生了IDT电极3的位置偏移的情况下，也容易设为层叠了第一电极指4b以及第二电极指5b和声速调整层47的状态。因而，能够得到降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速的效果。进而，相邻的电极指不易经由声速调整层47短路。
像图2所示的本实施方式那样，更优选槽部8以及声速调整层7的宽度比第一电极指4b窄，且比第二电极指5b窄。在该情况下，即使在制造工序中在IDT电极3产生了位置偏移的情况下，在声速调整层7中也不易产生未层叠第一电极指4b以及第二电极指5b的部分。由此，能够更加可靠地使层叠有声速调整层7和第一电极指4b以及第二电极指5b的部分的面积为所希望的面积。因此，能够更加可靠地、且稳定地降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
优选用于声速调整层7的材料的密度比用于IDT电极3的材料的平均密度高。由此，能够更进一步降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
槽部8以及声速调整层7也可以设置在上述以外的部分。在图5所示的第一实施方式的第二变形例中，槽部以及声速调整层7被设置为，在俯视下与压电基板2的一个主面2a的、第一电极指4b中的位于第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb的部分的双方重叠。同样地，槽部以及声速调整层7被设置为，在俯视下与一个主面2a的、第二电极指5b中的位于第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb的部分的双方重叠。在该情况下，能够更进一步降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
可是，在为了构成第一低声速区域以及第二低声速区域而在第一电极指4b上以及第二电极指5b上设置了上述的质量附加膜的情况下，由于质量附加膜的厚度，第一电介质膜9的隆起变大。相对于此，在本实施方式中，能够在不在第一电极指4b上以及第二电极指5b上设置上述的质量附加膜的情况下构成第一低声速区域以及第二低声速区域。因而，第一电介质膜9不易大幅隆起。因此，能够抑制弹性波装置1的滤波器特性等的偏差。
图6是第二实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。在图6中，通过影线示出后述的第一声速调整层以及第二声速调整层。在图6中，省略了第一电介质膜。在图6以后的俯视图中也是同样的。
在本实施方式中，设置有多个槽部的范围与第一实施方式不同。在多个槽部内设置有声速调整层17。除了上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。
更具体地，在本实施方式中，在俯视下与第一电极指4b重叠的槽部在第一电极指4b延伸的整个方向上与第一电极指4b重叠。同样地，在俯视下与第二电极指5b重叠的槽部在第二电极指5b延伸的整个方向上与第二电极指5b重叠。
声速调整层17具有第一声速调整层17a和声速比第一声速调整层17a高的第二声速调整层17b。在本实施方式中，用于第一声速调整层17a以及第二声速调整层17b的材料为金属。用于第一声速调整层17a的材料的密度比用于第二声速调整层17b的材料的密度高。
在本实施方式中，第一声速调整层17a仅设置在多个槽部的、在俯视下与多个第一电极指4b的位于第二边缘区域Cb的部分以及多个第二电极指5b的位于第一边缘区域Ca的部分重叠的部分。第二声速调整层17b设置在多个槽部的、在俯视下设置有第一声速调整层17a的部分以外的部分。由此，构成了声速比中央区域B低的第一低声速区域以及第二低声速区域。
优选用于第一声速调整层17a的材料的密度比用于DT电极3的材料的平均密度高。由此，能够更进一步降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
另外，第一声速调整层17a也可以设置于在俯视下与第一电极指4b重叠的槽部中的、位于第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb的部分的双方。第一声速调整层17a也可以设置于在俯视下与第二电极指5b重叠的槽部中的、位于第一边缘区域Ca以及第二边缘区域Cb的部分的双方。在该情况下，能够更进一步降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
不过，优选像图1所示的第一实施方式那样，槽部以及声速调整层7不设置在中央区域B、第一外侧区域Da以及第二外侧区域Db。由此，能够更进一步增大第一低声速区域以及第二低声速区域与中央区域B、第一高声速区域以及第二高声速区域之间的声速差。
图7是第三实施方式涉及的弹性波装置的放大主视剖视图。另外，图7是在弹性波装置中相当于图1中的I-I线的部分的剖视图。
本实施方式与第一实施方式的不同点在于，在压电基板2的一个主面2a上设置有第二电介质膜29，多个槽部8以及声速调整层7被第二电介质膜29覆盖。除了上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。
第二电介质膜29位于IDT电极3与压电基板2以及声速调整层7之间。由此，在用于声速调整层7的金属和用于IDT电极3的金属中不易产生相互扩散。因而，能够提高用于声速调整层7以及IDT电极3的金属的种类的自由度。
除此以外，在本实施方式中，也与第一实施方式同样地，能够更加可靠地、且充分地降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
图8是第四实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
本实施方式与第一实施方式的不同点在于，IDT电极33具有多个第一虚设电极指34c以及多个第二虚设电极指35c。除了上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。
多个第一虚设电极指34c的一端与第一汇流条4a连接，且隔着间隙与多个第二电极指5b对置。多个第二虚设电极指35c的一端与第二汇流条5a连接，且隔着间隙与多个第一电极指4b对置。
在本实施方式中，也与第一实施方式同样地，能够更加可靠地、且充分地降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
图9是第四实施方式的变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
在本变形例中，在压电基板2的一个主面2a的、在俯视下与第一虚设电极指34c以及第二虚设电极指35c重叠的部分，也设置有槽部以及声速调整层7。在该情况下，也能够更加可靠地、且充分地降低第一低声速区域以及第二低声速区域中的声速。
在第一实施方式～第四实施方式以及各变形例中，作为弹性波装置而示出了单端口型的弹性波谐振器的例子。另外，本发明的弹性波装置并不限于弹性波谐振器。例如，也可以是包含至少一个上述弹性波谐振器的梯型滤波器等。
附图标记说明
1：弹性波装置；
2：压电基板；
2a：一个主面；
3：IDT电极；
3a～3e：第一层～第五层；
4a：第一汇流条；
4b：第一电极指；
5a：第二汇流条；
5b：第二电极指；
6a、6b：反射器；
7：声速调整层；
8：槽部；
9：第一电介质膜；
9a、9b：第一层、第二层；
17：声速调整层；
17a、17b：第一声速调整层、第二声速调整层；
29：第二电介质膜；
33：IDT电极；
34c：第一虚设电极指；
35c：第二虚设电极指；
47：声速调整层；
48：槽部。

Claims (12)

1.一种弹性波装置，具备：
压电基板；以及
IDT电极，设置在所述压电基板的一个主面上，
所述IDT电极具有：第一汇流条以及第二汇流条，彼此相互对置；多个第一电极指，一端与所述第一汇流条连接；以及多个第二电极指，一端与所述第二汇流条连接，且与所述多个第一电极指相互交替插入，所述IDT电极具有作为所述第一电极指和所述第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分的交叉区域，
在俯视下，在将与弹性波传播方向正交的方向设为交叉方向时，所述交叉区域具有：中央区域，位于所述交叉方向中央侧；以及第一低声速区域和第二低声速区域，配置在所述中央区域的所述交叉方向两侧，且声速比所述中央区域低，所述第一低声速区域位于所述第一汇流条侧，所述第二低声速区域位于所述第二汇流条侧，
设置有：第一高声速区域，位于所述第一汇流条与所述第一低声速区域之间，且声速比所述中央区域高；以及第二高声速区域，位于所述第二汇流条与所述第二低声速区域之间，且声速比所述中央区域高，
在所述压电基板的所述一个主面中的位于所述第一低声速区域以及所述第二低声速区域的部分设置有槽部，使得在俯视下与所述第一电极指以及所述第二电极指中的任一者重叠，
在所述槽部内分别设置有由与所述压电基板不同的材料构成的声速调整层。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述声速调整层设置为填满所述槽部。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
在将所述第一电极指、所述第二电极指以及所述槽部的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，所述槽部的宽度为所述第一电极指的宽度以下，且为所述第二电极指的宽度以下。
4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，
所述槽部的宽度比所述第一电极指的宽度窄，且比所述第二电极指的宽度窄。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
用于所述声速调整层的材料的密度比用于所述IDT电极的材料的平均密度高。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，
设置在所述压电基板的所述一个主面的位于所述第一低声速区域的部分的所述槽部在俯视下与所述第二电极指重叠，设置在位于所述第二低声速区域的部分的所述槽部在俯视下与所述第一电极指重叠。
7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，
所述槽部到达所述压电基板的所述一个主面的、在俯视下与位于所述多个第一电极指中的所述第二低声速区域的部分以外以及位于所述多个第二电极指中的所述第一低声速区域的部分以外重叠的部分，
所述声速调整层具有第一声速调整层和声速比所述第一声速调整层高的第二声速调整层，
所述第一声速调整层设置在所述槽部的、在俯视下与位于所述多个第一电极指的所述第二低声速区域的部分以及位于所述多个第二电极指的所述第一低声速区域的部分重叠的部分，
所述第二声速调整层设置在所述槽部的、在俯视下设置有所述第一声速调整层的部分以外的部分。
8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，
用于所述第一声速调整层的材料的密度比用于所述IDT电极的材料的平均密度高。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述压电基板的所述一个主面上设置有第一电介质膜，使得覆盖所述IDT电极。
10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述压电基板的所述一个主面上设置有第二电介质膜，所述槽部以及所述声速调整层被所述第二电介质膜覆盖，
所述第二电介质膜位于所述IDT电极与所述压电基板以及所述声速调整层之间。
11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述DT电极具有：多个第一虚设电极指，一端与所述第一汇流条连接，且隔着间隙与所述多个第二电极指对置；以及多个第二虚设电极指，一端与所述第二汇流条连接，且隔着间隙与所述多个第一电极指对置。
12.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，
用于所述声速调整层的材料为金属。
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