JP5120497B2 - 弾性境界波装置 - Google Patents
弾性境界波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5120497B2 JP5120497B2 JP2011509266A JP2011509266A JP5120497B2 JP 5120497 B2 JP5120497 B2 JP 5120497B2 JP 2011509266 A JP2011509266 A JP 2011509266A JP 2011509266 A JP2011509266 A JP 2011509266A JP 5120497 B2 JP5120497 B2 JP 5120497B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- electrode layer
- boundary acoustic
- wave device
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14538—Formation
- H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
上記実施形態に従って、第1の実施例の縦結合共振子型の弾性境界波装置1を以下の仕様で作製し、その減衰量周波数特性を測定した。
酸化珪素層6=760nm
電極積層構造:上から順にTi/Al/Ti/Pt/Ti=10/150/10/76/10(単位はいずれもnm)
オイラー角のθを132°に変更したことを除いては第1の実施例と同様にして、第2の実施例の3IDT型の縦結合共振子型の弾性境界波装置を作製した。この弾性境界波装置の伝送特性を図4に実線で示す。比較のために、溝埋込量Aを86nmから0nmとしたことを除いては、すなわち溝を形成しなかったことを除いては上記と同様にして構成された比較例の弾性境界波装置を作製した。この比較例の弾性境界波装置の伝送特性を図4に破線で示す。
以下のようにして、第3の実施例の弾性境界波装置を作製した。IDT電極3A〜3Cの積層構造を、Al/Ti/Ptの3層構造とした。
デューティを0.50としたことを除いては、第3の実施例と同様の構造の弾性境界波装置を設計した。この弾性境界波装置を中心条件とし、溝の深さAを5〜7%、酸化珪素層の膜厚を40〜80%、Pt膜12の膜厚を4〜6%、Ti膜11,13,15の内、Pt膜12より上方に位置しているTi膜13,15の膜厚の合計を2〜6%とし、デューティが0.45、0.50または0.55とした場合のエネルギー集中度が最大となるθ0を有限要素法により求めた。
2…圧電基板
2a…溝
3…IDT電極
3A〜3C…IDT電極
3a…電極指
4,5…反射器
6…酸化珪素層
7…誘電体層(窒化珪素層)
11,13,15…Ti膜
12…Pt膜
14…Al膜
Claims (9)
- LiTaO3からなり、上面に溝が形成されている圧電基板と、
前記圧電基板の前記溝に少なくとも一部が埋め込まれるようにして形成されたIDT電極と、
前記圧電基板上に積層された酸化珪素層と、
前記酸化珪素層よりも音速が速い誘電体からなる誘電体層とを備え、
前記IDT電極が、密度が16g/cm3以上の金属からなる主電極層と、密度が4g/cm3以上、16g/cm3未満の金属からなる補助電極層とを備え、
前記IDT電極で励振される弾性境界波の波長をλとしたときに、IDT電極の溝への埋め込み量に相当する溝の深さAがλの0.1〜10%の範囲内であり、前記酸化珪素層の膜厚Bが、λの20〜140%の範囲内にあり、前記主電極密度をC(g/cm3)とし、前記主電極層の厚みDがλの1〜10%の範囲内であり、前記補助電極の密度をE(g/cm3)とし、前記主電極層よりも上部にある補助電極の厚みFがλの0〜10%の範囲内にあり、IDT電極のデューティGが0.4〜0.7の範囲内にあるときに、前記LiTaO3からなる圧電基板のオイラー角(0°,θ,0°)のθが、下記の式(1)で表わされるθ0に対し、(θ0−20°)以上〜(θ0+20°)以下の範囲内とされている、弾性境界波装置。
θ0=65.53G+0.7568F+0.8454E+7.091D+1.609C−0.03789B−3.535A+60.85 ・・・式(1) - 前記IDT電極の前記溝への埋込量Aが波長λの3〜10%の範囲であり、酸化珪素層の膜厚Bがλの30〜80%の範囲内にあり、前記主電極層の厚みDがλの1〜10%の範囲内にあり、主電極層よりも上部に位置している補助電極層の厚みFが5%以下であり、IDT電極のデューティGが0.45〜0.55の範囲にある、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記θが、(θ0−10°)以上、(θ0+10°)以下の範囲にある、請求項1または2に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDT電極が、密度が4g/cm3未満の金属からなる低密度電極層をさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記低密度電極層が、AlまたはAlを主体とする合金からなる、請求項4に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDT電極が、主電極層と、主電極層の上方に積層されている補助電極層と、前記主電極層の下方に積層されている補助電極層をさらに備える、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記主電極層を構成している前記金属が、Pt、W、Ta、Au及びIrからなる群から選択された少なくとも1種の金属または該金属を主体とする合金からなる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記補助電極層が、Ti、TiO2、TiN、Ni及びNiCrからなる群から選択された少なくとも1種の金属からなる、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記誘電体層が、窒化珪素、酸窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム及び珪素からなる群から選択された1種の誘電体材料からなる、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011509266A JP5120497B2 (ja) | 2009-04-14 | 2010-04-07 | 弾性境界波装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009097931 | 2009-04-14 | ||
JP2009097931 | 2009-04-14 | ||
JP2011509266A JP5120497B2 (ja) | 2009-04-14 | 2010-04-07 | 弾性境界波装置 |
PCT/JP2010/056301 WO2010119796A1 (ja) | 2009-04-14 | 2010-04-07 | 弾性境界波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010119796A1 JPWO2010119796A1 (ja) | 2012-10-22 |
JP5120497B2 true JP5120497B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=42982458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011509266A Active JP5120497B2 (ja) | 2009-04-14 | 2010-04-07 | 弾性境界波装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8525385B2 (ja) |
JP (1) | JP5120497B2 (ja) |
WO (1) | WO2010119796A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102893521B (zh) * | 2010-05-19 | 2015-08-12 | 株式会社村田制作所 | 声表面波装置 |
JPWO2012127793A1 (ja) * | 2011-03-22 | 2014-07-24 | パナソニック株式会社 | 弾性波素子 |
CN108141198B (zh) * | 2015-10-23 | 2022-04-29 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
WO2018131454A1 (ja) * | 2017-01-13 | 2018-07-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR102306240B1 (ko) * | 2017-04-17 | 2021-09-30 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
EP3832887A4 (en) * | 2018-07-30 | 2022-05-11 | Kyocera Corporation | COMPOSITE SUBSTRATE |
CN112655150B (zh) * | 2018-09-07 | 2024-02-09 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置 |
CN112673570B (zh) * | 2018-09-07 | 2023-10-10 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、弹性波滤波器以及复合滤波器装置 |
CN112653409B (zh) * | 2020-12-17 | 2024-04-12 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种用于制造金属电极的制造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998052279A1 (fr) * | 1997-05-12 | 1998-11-19 | Hitachi, Ltd. | Dispositif a onde elastique |
WO2006114930A1 (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
WO2007097151A1 (ja) * | 2006-02-23 | 2007-08-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
JP2008294538A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008044411A1 (fr) | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif à ondes limites élastiques |
JP4826633B2 (ja) * | 2006-11-24 | 2011-11-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置 |
JP2010011440A (ja) * | 2008-05-30 | 2010-01-14 | Hitachi Ltd | 弾性波装置及びそれを用いた高周波フィルタ |
JP5304898B2 (ja) * | 2009-08-10 | 2013-10-02 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
-
2010
- 2010-04-07 JP JP2011509266A patent/JP5120497B2/ja active Active
- 2010-04-07 WO PCT/JP2010/056301 patent/WO2010119796A1/ja active Application Filing
-
2011
- 2011-10-04 US US13/252,221 patent/US8525385B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998052279A1 (fr) * | 1997-05-12 | 1998-11-19 | Hitachi, Ltd. | Dispositif a onde elastique |
WO2006114930A1 (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
WO2007097151A1 (ja) * | 2006-02-23 | 2007-08-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
JP2008294538A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010119796A1 (ja) | 2010-10-21 |
US20120262028A1 (en) | 2012-10-18 |
JPWO2010119796A1 (ja) | 2012-10-22 |
US8525385B2 (en) | 2013-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5120497B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
KR102290079B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
CN109698681B (zh) | 弹性波装置 | |
JP5035421B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5581739B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP5141763B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4968334B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2016084526A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4811516B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
WO2011018913A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
WO2009098840A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
WO2009139108A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
KR102345524B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
WO2016047255A1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2006126327A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
WO2017187724A1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2015182521A1 (ja) | 弾性波装置及びラダー型フィルタ | |
JP4947055B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP5152342B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2007125733A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP5321678B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2009090715A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2009194895A (ja) | 弾性表面波装置 | |
KR102107393B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
WO2023048256A1 (ja) | 弾性波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121008 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5120497 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |