JP2010016523A - 弾性波共振子及びラダー型フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のバスバー21,22が、それぞれ、複数本の第1の電極指23または第2の電極指24の端部からバスバー側に延ばされた複数本の第1の電極指延長部23a及び第2の電極指延長部24aと、電極指延長部23aまたは24aを被覆し、電極指延長部23a,24aの外側端よりも外側に延ばされている第1の金属膜28,29とを有し、金属膜28,29の内側端縁28a,29aが第1,第2のバスバー21,22の内側端縁をそれぞれ構成しており、電極指延長部23a,24aの平均密度をρ1、膜厚をH1、金属膜28,29の平均密度をρ2、膜厚をH2としたときに、ρ1×H1がρ2×H2よりも大きい、弾性波共振子。
【選択図】図1
Description
2…圧電基板
3…デュプレクサ
4…アンテナ端子
5…送信端子
6,7…受信側帯域フィルタ
8,9…第2の平衡端子
11…接続点
12,13…弾性波共振子
14,15…第1,第2の弾性波フィルタ部
16,17…第3,第4の弾性波フィルタ
18…櫛歯電極
21,22…第1,第2のバスバー
23,24…第1,第2の電極指
23a,24a…第1,第2の電極指延長部
25,26…第1,第2のダミー電極指
25a,26a…第1,第2のダミー電極指延長部
27…絶縁膜
28,29…第1の金属膜
28a,29a…内側端縁
28b…電極指延長部被覆部
28c…電極指延長部非被覆部
30,31…第2の金属膜
30a,31a…内側端縁
32…絶縁膜
33,34…反射器
L1〜L4…インダクタンス
P1〜P3…並列腕共振子
S1〜S8…直列腕共振子
Claims (7)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられたIDT電極とを備える弾性波共振子であって、
前記IDT電極が、第1のバスバーと、第1のバスバーと対向するように配置された第2のバスバーと、第1のバスバーから第2のバスバーに向かって、ただし第2のバスバーには至らないように延ばされた複数本の第1の電極指と、第2のバスバーから第1のバスバーに向かって、ただし第1のバスバーには至らないように延ばされており、かつ前記第1の電極指と間挿し合うように配置された複数本の第2の電極指とを有し、
前記第1,第2のバスバーが、それぞれ、複数本の第1の電極指の端部または複数本の第2の電極指の端部から外側に延ばされた複数本の第1,第2の電極指延長部と、複数本の第1,第2の電極指延長部を被覆している電極指延長部被覆部及び複数本の第1,第2の電極指延長部よりも弾性波伝搬方向と直交する方向において外側に延ばされており、前記第1,第2の電極指延長部を被覆していない電極指延長部非被覆部とを有する金属膜とを備え、該金属膜の内側端縁がバスバーの内側端縁を構成しており、
前記第1,第2の電極指延長部の平均密度をρ1、膜厚をH1とし、前記金属膜の平均密度をρ2とし、膜厚をH2としたときに、ρ1×H1がρ2×H2よりも大きいことを特徴とする、弾性波共振子。 - 前記IDT電極が、電極指交叉幅が最大となる部分から、弾性波伝搬方向両側に行くにつれて電極指交叉幅が減少するように交叉幅重み付けされており、前記複数本の第1の電極指の先端を結ぶことにより形成される第1の包絡線に対し一定の距離を隔てて前記第2のバスバーの内側端縁が位置するように、かつ前記複数本の第2の電極指の先端を結ぶことにより形成される第2の包絡線に対し一定の距離を隔てて前記第1のバスバーの内側端縁が位置するように、前記第1,第2のバスバーの内側端縁が、弾性波伝搬方向に対して傾斜された傾斜部分を有する、請求項1に記載の弾性波共振子。
- 電極指延長部非被覆部を有すく前記金属膜を構成している金属が、AlまたはAlを主体とする合金である、請求項1または2に記載の弾性波共振子。
- 前記第1,第2の電極指及び前記第1,第2の電極指延長部が、Al膜と、Al膜よりも圧電基板側に積層されておりかつAlよりも密度の大きい高密度金属からなる電極膜とを主体とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波共振子。
- 前記第1,第2のバスバーの前記金属膜を第1の金属膜としたときに、該第1の金属膜の上面に積層された第2の金属膜をさらに備え、該第2の金属膜の内側端縁が、前記電極指延長部の外側端縁よりも外側に位置しており、それによって、前記第1の金属膜の電極指延長部非被覆部が、前記電極指延長部と前記第2の金属膜の内側端縁との間に位置している、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波共振子。
- 前記第1の金属膜の平均導電率をσ2、前記第2の金属膜の平均導電率をσ3及び膜厚H3としたときσ2×H2<σ3×H3である、請求項5に記載の弾性波共振子。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波共振子を直列腕共振子または並列腕共振子として備える、ラダー型フィルタ。
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