CN109898133A - 一种用于高掺杂硅单晶生长的气体导引装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于高掺杂硅单晶生长的气体导引装置,该气体导引装置具有锥形结构,其顶端具有一通孔,该通孔直径为籽晶夹持器外径的1.05‑1.15倍;其下端直径为目标晶体直径0.9‑1.2倍;该气体导引装置设置在熔体上方,通过被籽晶夹持器穿过通孔而位于籽晶夹持器的周围。采用本发明的气体导引装置,在NECK>>BODY阶段即使用较小的氩气流量,也能促使熔体上方的气流改善;较小的氩气流量,能够减少熔体上方气流刷新速度,减少了熔体内掺杂剂流失量,获得高掺杂的硅单晶。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于高掺杂硅单晶生长的气体导引装置。
背景技术
在半导体硅单晶中掺入一定量的掺杂剂以满足对其电性能的要求,对以电子为载流子的硅单晶,常见的掺杂剂有:磷(Phosphor)、砷(As)、锑(Sb)。相对硅的熔点而言,均为低熔点、磷、砷和锑均为低熔点、易升华挥发的元素。
专利文献CN01136694.X公开了一种用于直拉单晶制备中的掺杂方法及其装置。在原料多晶硅熔化后形成的熔体上方,装载有掺杂剂的料斗降到熔体正上方,硅熔体的辐射热能使料斗中掺杂元素(磷、砷)升华,掺杂元素升华形成蒸汽吹向硅熔体表面,汽态磷、汽态砷扩散进入到硅的熔体,硅的熔体对流作用将磷、砷带到熔体内部,完成熔体掺杂。
对于常规掺杂浓度(熔体砷浓度(4.0-8.0)E19atoms/cm3)的熔体晶体生长,掺杂完成后单晶炉内很干净,无位错晶体生长成功率高,得到了广泛的应用。随着对于掺杂量的增加,达到高掺杂浓度(例如,熔体砷浓度达到(10.0-12.0)E19atoms/cm3),掺入量较常规增加80%~120%达到以上,一方面由于硅熔体表面吸收掺杂元素速度的制约,有一部分的气态砷(As)将从熔体上方逃逸损失;另一方面硅熔体近表层吸收掺杂元素形成高浓度区,高浓度的掺杂元素显著地增加了形成位错的风险,无位错生长晶体有很大几率失去晶体结构(无位错生长失败),必须再重复晶体生长流程,已溶入熔体中的掺杂元素有部分从熔体中挥发出来。
在相同的炉室压力下,当熔体中的掺杂元素挥发量达到一定量时,此时熔体中的掺杂元素浓度低于8.0E19atoms/cm3,即使拉晶尝试成功,生长出无位错的晶体其电阻率也将超出规范要求而成为废品;为了避免这种情况,当熔体中的掺杂元素挥发量达到一定量时,操作人员必须进行补掺杂,再继续进行拉晶尝试,但这样尝试需要付出很高的成本,并且可能尝试次数是有限的,例如受熔化石英坩埚在熔硅中使用寿命的限制,将不可能拉成无缺陷单晶;高掺杂单晶硅生产效率低,制造成本高。
为了减少“引晶(Neck)→放肩(Crown)→转肩(Shoulder)→等径(Body)”(NECK>>BODY)阶段,熔体内掺杂剂的挥发损失,用足够低的惰性气体流量维持较高的炉室压力。现有技术将炉室压力设定在100torr条件下,利用足够低的惰性气体流量(不超过2000升/小时=33.3SLPM),炉室压力设定100torr,惰性气流不能将气相内所含掺杂剂及SiO异物排除,含掺杂剂及SiO气相在单晶炉室内壁沉积,弄脏单晶炉,失去拉晶条件。另一方面,利用足够高的惰性气体流量(超过6000升/小时=100SLPM),炉室压力设定100torr,惰性气流能够及时将气相内所含掺杂剂及SiO异物排除,单晶炉保持干净,但惰性气流对熔体上方刷新速度太快,熔体中掺杂剂流失速度快,不能获得高掺杂的单晶。
发明内容
针对现有技术难于兼顾惰性气体的低流量和保持炉室较高的压力,在NECK>>BODY阶段有较多的掺杂剂流失的技术问题,本发明的目的在于提供一种用于高掺杂硅单晶生长的气体导引装置,减少熔体上方的气流刷新速度,获得高掺杂的硅单晶。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种用于高掺杂硅单晶生长的气体导引装置,该气体导引装置具有锥形结构,其顶端具有一通孔,该通孔直径为籽晶夹持器外径的1.05-1.15倍;其下端直径为目标晶体直径的0.9-1.2倍;该气体导引装置设置在熔体上方,通过被籽晶夹持器穿过通孔而位于籽晶夹持器的周围。
优选地,所述气体导引装置的下端距离熔体表面150-400mm。
优选地,所述气体导引装置的锥度为39-47度。
优选地,所述气体导引装置的材质可以选择石英、石墨或硅等非金属耐热材料或高温金属钼、钨,优选石英、石墨或硅晶体。
本发明的优点在于:
采用本发明的气体导引装置,在NECK>>BODY阶段即使用较小的氩气流量,也能促使熔体上方的气流按图2所示A方向流动;较小的氩气流量,能够减少熔体上方气流刷新速度,减少了熔体内掺杂剂流失量,获得高掺杂的硅单晶。
附图说明
图1为本发明的气体导引装置的结构示意图。
图2为带有本发明的气体导引装置的单晶生长装置的原理图。
图3为现有单晶生长装置的原理图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本发明做进一步说明,但并不意味着对本发明保护范围的限制。
如图1所示,为本发明的气体导引装置的结构示意图。本发明的气体导引装置1具有锥形结构,其顶端具有一通孔5,该通孔5的直径为籽晶夹持器2的外径的1.05-1.15倍;其下端6的直径为目标晶体直径的0.9-1.2倍;该气体导引装置1设置在被掺杂的硅熔体5上方,通过被籽晶夹持器2穿过其通孔而位于籽晶夹持器2的周围,籽晶3连接在籽晶夹持器2的下端。该气体导引装置1的下端距离熔体表面150-400mm。该气体导引装置1的锥度为39-47度。
该气体导引装置1的材质可以选择石英、石墨或硅等非金属耐热材料或高温金属钼、钨,优选石英、石墨或硅晶体。如图2所示,为带有本发明的气体导引装置的单晶生长装置的原理图。由于气体导引装置为锥形,在其正下方形成氩气覆盖层,减少气流的刷新速度;锥形的气体导引装置1可迫使氩气在气体导引装置1和导流筒4之间向下移动,氩气流动方向如图2中箭头A所示,在相同的炉室压力条件下,氩气流量减少50%单晶炉壁仍然保持干净。
实施例
(一)熔体中砷的掺杂浓度为8.0E19atoms/cm3,设定单晶炉室压力100托,在氩气流量为40slpm、60slpm条件下生长单晶,结束后观察单晶炉壁挥发物情况。
实施例1:采用图2所示的生长装置实施,氩气流动方式A。
22英寸石英坩埚,装入110kg多晶硅;熔化阶段氩气流量为100slpm、炉室压力为20托;稳定时间为60min,稳定过程坩埚旋转速度为1r/min。氩气流量设定为40slpm,炉室压力设定为100托。进行“引晶-放肩-转肩-等径-收尾”过程,单晶生长完整。单晶生长结束后,单晶炉壁干净。
实施例2:采用图3所示的生长装置实施,氩气流动方式B。
22英寸石英坩埚,装入110kg多晶硅;熔化阶段氩气流量100slpm、炉室压力20托;稳定时间60min,稳定过程坩埚旋转速度1r/min。氩气流量设定为40slpm,炉室压力设定为100托。进行“引晶-放肩-转肩-等径-收尾”过程,单晶生长过程发生生长失败。单晶生长结束后,单晶炉壁沉积挥发较多。
实施例3:采用图3所示的生长装置实施,氩气流动方式B。
22英寸石英坩埚,装入110kg多晶硅;熔化阶段氩气流量100slpm、炉室压力20托;稳定时间60min,稳定过程坩埚旋转速度1r/min。氩气流量设定为60slpm,炉室压力设定为100托。进行“引晶-放肩-转肩-等径-收尾”过程,单晶生长完整。单晶生长结束后,单晶炉壁基本干净。
表1砷的掺杂浓度8.0E19atoms/cm3,炉室压力100托
序号 | 气流方式 | 熔体掺杂浓度 | 氩气流量 | 炉室压力 | 单晶炉壁沉积物 |
(atoa/cm3) | (SLPM) | (托) | |||
实例1 | A | 8.00E+19 | 40 | 100 | 单晶炉壁干净,晶体完整。 |
实例2 | B | 8.00E+19 | 40 | 100 | 单晶炉壁沉积挥发物,晶体不完整。 |
实例3 | B | 8.00E+19 | 60 | 100 | 单晶炉壁基本干净,晶体完整。 |
表1结果显示,以现有技术条件,熔体中砷的掺杂浓度8.0E19atoms/cm3,炉室压力100托。较低的氩气流量40SLPM,气流方式B不能有效带走熔体产生的挥发物,挥发物沉积在单晶炉壁上(实施例2);为了带走挥发物,必须增加氩气流量50%(实施例3)。本发明的气体导流装置,气流方式A带走熔体产生的挥发物效率增加,氩气流量40SLPM保持单晶炉壁干净(实施例1)。
(二)熔体中砷的掺杂浓度为1.1E20atoms/cm3,设定单晶炉室压力150托,在氩气流量为60slpm、90slpm条件下生长单晶,结束后观察单晶炉壁挥发物情况。
实施例4:采用图2所示的生长装置实施,氩气流动方式A。
22英寸石英坩埚,装入110kg多晶硅;熔化阶段氩气流量为100slpm、炉室压力为20托;稳定时间为60min,稳定过程坩埚旋转速度为1r/min。氩气流量设定为60slpm,炉室压力设定为150托。进行“引晶-放肩-转肩-等径-收尾”过程,单晶生长完整。单晶生长结束后,单晶炉壁干净。
实施例5:采用图3所示的生长装置实施,氩气流动方式B。
22英寸石英坩埚,装入110kg多晶硅;熔化阶段氩气流量100slpm、炉室压力20托;稳定时间60min,稳定过程坩埚旋转速度1r/min。氩气流量设定为60slpm,炉室压力设定为150托。进行“引晶-放肩-转肩-等径-收尾”过程,单晶生长过程发生生长失败。单晶生长结束后,单晶炉壁沉积挥发较多。
实施例6:采用图3所示的生长装置实施,氩气流动方式B。
22英寸石英坩埚,装入110kg多晶硅;熔化阶段氩气流量100slpm、炉室压力20托;稳定时间60min,稳定过程坩埚旋转速度1r/min。氩气流量设定为90slpm,炉室压力设定为150托。进行“引晶-放肩-转肩-等径-收尾”过程,单晶生长完整。单晶生长结束后,单晶炉壁有沉积物,晶体不完整。
表2:砷的掺杂浓度1.1E20atoms/cm3,炉室压力150托
序号 | 气流方式 | 熔体掺杂浓度 | 氩气流量 | 炉室压力 | 单晶炉壁沉积物 |
(atom/cm3) | (SIPM) | (托) | |||
实例4 | A | 1.10E+20 | 60 | 150 | 单晶炉壁干净,晶体完整。 |
实例5 | B | 1.10E+20 | 60 | 150 | 单晶炉壁沉积挥发物严重,晶体生长失败。 |
实例6 | B | 1.10E+20 | 90 | 150 | 单晶炉壁有沉积,晶体不完整。 |
表2结果显示,熔体中砷的掺杂浓度1.1E20atoms/cm3,炉室压力150托。现有技术的气流方式B不能有效带走熔体产生的挥发物,挥发物沉积在单晶炉壁上(实施例5);为了带走挥发物,即使增加氩气流量50%(实施例6),效果也不理想。在150托压力条件下,采用本发明的气体导流装置,气流方式A带走挥发物的效率更优(实施例6)。
Claims (5)
1.一种用于高掺杂硅单晶生长的气体导引装置,其特征在于,该气体导引装置具有锥形结构,其顶端具有一通孔,该通孔直径为籽晶夹持器外径的1.05-1.15倍;其下端直径为目标晶体直径的0.9-1.2倍;该气体导引装置设置在熔体上方,通过被籽晶夹持器穿过通孔而位于籽晶夹持器的周围。
2.根据权利要求1所述的气体导引装置,其特征在于,所述气体导引装置的下端距离熔体表面150-400mm。
3.根据权利要求1所述的气体导引装置,其特征在于,所述气体导引装置的锥度为36-54度。
4.根据权利要求3所述的气体导引装置,其特征在于,所述气体导引装置的锥度为39-47度。
5.根据权利要求1所述的气体导引装置,其特征在于,所述气体导引装置的材质为石英、石墨、硅、钼或钨。
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