CN109890489A - 分离膜的干燥方法及分离膜结构体的制造方法 - Google Patents
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Abstract
分离膜(12)的干燥方法具备：按干燥用气体在分离膜(12)的膜面的流速的最大值与最小值之差除以流速的最小值得到的值为15％以下的方式向分离膜供给干燥用气体的工序。所述干燥用气体为包含40℃、1个大气压下在1cm3水中的溶解度为0.5cm3以上的水溶性气体的40℃以下的气体。
Description
技术领域
本发明涉及分离膜的干燥方法以及分离膜结构体的制造方法。
背景技术
以往，在化学工业、电子工业、制药工业等众多领域中实际使用分离膜。作为气体分离膜，根据待分离的气体分子的大小而使用沸石膜、二氧化硅膜、碳膜、高分子膜等。
由于上述分离膜的细孔微细，所以，例如在保存分离膜时或将其组装于壳体时，容易因空气中的水分吸附而将细孔堵塞。如果细孔堵塞，则气体的透过受到抑制，无法充分发挥出膜性能，因此，必须在组装后使分离膜干燥。
作为分离膜的干燥方法，已知：对分离膜的壳体进行加热的方法(参见专利文献1)、将加热后的气体向分离膜供给的方法(参见专利文献2)、以及将分离膜用低级醇混合溶液湿润后使其干燥的方法(参见专利文献3)。另外，已知向多个管状分离膜供给气体而使其干燥的方法(参见专利文献4)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2012－246207号公报
专利文献2:日本特开2016－104486号公报
专利文献3:日本特开昭60－216811号公报
专利文献4:日本特开2016－159211号公报
发明内容
然而，专利文献1、2的方法中，需要设置对壳体或气体进行加热的装置，专利文献3的方法中，必须设置供给低级醇混合溶液的装置。另外，专利文献4的方法中，由于使用挡板，所以膜表面的气流不均匀，至干燥完毕所需要的时间较长，并且，未对何种性状的气体适合于分离膜的干燥进行研究。
本发明是鉴于上述的状况而实施的，其目的在于，提供一种能够简便且迅速地将分离膜干燥的干燥方法、以及使用了该干燥方法的分离膜结构体的制造方法。
本发明所涉及的分离膜的干燥方法具备：按干燥用气体在分离膜的膜面的流速的最大值与最小值之差除以流速的最小值得到的值为15％以下的方式向分离膜供给干燥用气体的工序。所述干燥用气体为包含水溶性气体的40℃以下的气体，所述水溶性气体在40℃、1个大气压下于1cm3水中的溶解度为0.5cm3以上。
发明的效果
根据本发明，能够提供一种可以简便且迅速地将分离膜干燥的干燥方法、以及使用了该干燥方法的分离膜结构体的制造方法。
附图说明
图1是实施方式所涉及的分离膜组件的截面图。
图2是用于说明干燥处理中水分蒸发的情况的示意图。
图3是另一分离膜组件的截面图。
图4是用于说明另一干燥方法的示意图。
具体实施方式
(分离膜组件100的构成)
图1是分离膜组件100的截面图。组件100具备：分离膜结构体1、壳体2、以及O型环3。
分离膜结构体1为整体状。整体状是指：具有沿着长度方向贯通的多个隔室的形状，是包括蜂窝在内的概念。分离膜结构体1的形状除了为整体状以外，还可以为管状、圆筒状、圆柱状、棱柱状、以及平板状等，不过，从能够使每单位体积的膜面积增大、且能够减小流速分布考虑，优选为整体状。
分离膜结构体1配置于壳体2的内部。在壳体2设置有供给路21、第一回收路22以及第二回收路23。分离膜结构体1的两端部由O型环3密封。
分离膜结构体1具备：多孔质基材11以及分离膜12。
1.多孔质基材11
多孔质基材11为沿着长度方向延伸的整体状。在多孔质基材11的内部形成有多个隔室CL。各隔室CL沿着长度方向延伸。各隔室CL被形成为圆筒状。各隔室CL与多孔质基材11的两端面连接。
多孔质基材11由骨料和粘合材料构成。作为骨料，可以使用氧化铝、碳化硅、二氧化钛、多铝红柱石、陶瓷碎粒、以及堇青石等。作为粘合材料，可以使用包含碱金属以及碱土金属中的至少一方、硅(Si)、以及铝(Al)的玻璃材料。基材11中的粘合材料的含有率可以为20体积％～40体积％，优选为25体积％～35体积％。
多孔质基材11的气孔率没有特别限制，例如可以为25％～50％。多孔质基材11的气孔率可利用水银压入法来测定。多孔质基材11的平均细孔径没有特别限制，可以为0.1μm～50μm。多孔质基材11的平均细孔径可以根据细孔径的大小而利用水银压入法、ASTM F316中记载的气流法、毛细管孔隙度法来测定。
2.分离膜12
分离膜12形成于各隔室CL的内表面。分离膜12被形成为筒状。使混合流体中所包含的透过成分从分离膜12透过。
作为分离膜12，可以举出：沸石膜(例如参见日本特开2004－66188号公报)、二氧化硅膜(例如参见国际公开第2008/050812号小册子)、碳膜(例如参见日本特开2003－286018号公报)、有机无机杂化膜(例如参见日本特开2013－203618号)、陶瓷膜(例如参见日本特开2008－246304号公报)等。
分离膜12的平均细孔径基于所要求的过滤性能以及分离性能而适当确定即可，例如可以为0.0002μm～1.0μm。应予说明，本申请的干燥方法对于平均细孔径为10nm以下的分离膜的干燥而言更加有用，对于平均细孔径为1nm以下的分离膜的干燥而言特别有用。
分离膜12的平均细孔径可以根据细孔径的大小而适当选择测定方法。例如，在分离膜12为沸石膜的情况下，将形成沸石的细孔的骨架由n元氧环以下的环构成时的n元氧环细孔的短径与长径的算术平均作为平均细孔径。n元氧环是：构成形成细孔的骨架的氧原子的数为n个、且包含Si原子、Al原子、P原子中的至少1种、各氧原子与Si原子、Al原子或P原子等键合而形成环状结构的部分。在沸石具有n相等的多个n元氧环细孔的情况下，将所有n元氧环细孔的短径与长径的算术平均作为沸石的平均细孔径。由此，沸石膜的平均细孔径可根据骨架结构而唯一确定，能够由The International Zeolite Association(IZA)“Database of Zeolite Structures”[online]、网址<URL：http://www.iza-structure.org/databases/>中公开的值求出平均细孔径。
另外，在分离膜12为氧化硅膜、碳膜、有机无机杂化膜的情况下，平均细孔径可以基于下式(1)而求出。式(1)中，dp为平均细孔径，f为标准化的克努森型渗透率，dk、i为克努森渗出试验中使用的分子的直径，dk、He为氦分子的直径。
f＝(1－dk、i/dp)3/(1－dk、He/dp)3…(1)
克努森渗出试验以及平均细孔径的求法的详细内容在Hye Ryeon Lee等5人、“Evaluation and fabrication of pore－size－tuned silica membranes withtetraethoxydimethyl disiloxane for gas separation”、AIChE Journal volume57、Issue10、2755－2765、October 2011中所有公开。
例如，在分离膜12为陶瓷膜的情况下，平均细孔径可以根据细孔径的大小而由毛细管孔隙度法或纳米毛细管孔隙度法求出。
(分离膜结构体1的制造方法)
对分离膜结构体1的制造方法的一例进行说明。
1.多孔质基材11的制作
首先，在骨料和粘合材料中加入甲基纤维素等有机粘合剂、分散材料以及水，进行混炼，由此，制备坯土。
接下来，利用采用了真空挤出成型机的挤出成型法、压制成型法、或铸造成型法，使用所制备的坯土，形成多孔质基材11的成型体。
接下来，对多孔质基材11的成型体进行烧成(例如、500℃～1500℃、0.5小时～80小时)，由此，形成具有多个隔室CL的多孔质基材11。
2.分离膜12的制作
在多孔质基材11的各隔室CL的内表面上形成分离膜12。对于分离膜12的形成，使用适合于分离膜12的膜种的方法即可。
3.分离膜12的组装和干燥
在形成有分离膜12的多孔质基材11的两端部装配O型环3，并密封于壳体2的内部。
此时，容易因空气中的水分吸附于分离膜12的细孔而导致细孔堵塞。如果细孔堵塞，则无法充分发挥出膜性能，因此，必须在组装后使分离膜12干燥。因此，本实施方式中，实施以下的干燥处理。
具体而言，一边从供给路21向壳体2的内部供给干燥用气体，一边从第一回收路22回收在各干燥用气体流路中通过后的干燥用气体，并且，从第二回收路23回收从分离膜12透过的透过气体。本实施方式中，连续性地或者间歇性地进行干燥用气体的供给。通过间歇性地供给干燥用气体，能够抑制干燥用气体的使用量。
该工序中，按干燥用气体在分离膜12的膜面的流速分布为15％以下的方式将干燥用气体向分离膜12供给规定时间。关于流速分布，在使分离膜12的第一主面S1侧(图1中未图示，参照图2)和第二主面S2侧(图1中未图示，参照图2)的压力相同的状态下，在被供给干燥用气体的一侧的分离膜12的膜面各处求出膜面附近(距离膜面为1～2mm左右)的干燥用气体的流速(膜面流速)，并以膜面流速的最大值与膜面流速的最小值之差除以膜面流速的最小值得到的值([最大流速-最小流速]/最小流速)的形式求出流速分布。通过将透过气体的第二回收路23密封，能够使分离膜12的第一主面S1侧和第二主面S2侧的压力相同。在间歇性地供给干燥用气体的情况等膜面流速随着时间而变化的情况下，以供给干燥用气体期间的膜面流速的平均值为膜面流速的值。
通过使流速分布为15％以下，能够使分离膜12的整体以大致相同的速度干燥。因此，能够减小分离膜12整体的干燥速度之差，所以能够在短时间内有效率地使分离膜12干燥。流速分布更优选为10％以下。应予说明，在难以测定实际的膜面流速的情况下，可以通过流体模拟来测定流速分布。
为了使流速分布为15％以下，优选按使干燥用气体与分离膜12的膜面大致平行地流通的方式配置分离膜12，且与干燥用气体的流通方向垂直的截面上的干燥用气体流路的形状在膜面的任何部分都大致均匀。
干燥用气体流路是：供干燥用气体流通的空间。干燥用气体流路设置成与分离膜12相接触。本实施方式中，干燥用气体流路为分离膜12的内侧的空间。图1中，在干燥用气体流路内流通的干燥用气体的流通方向表示为Fd。图1的例子中，与干燥用气体的流通方向Fd垂直的截面上的干燥用气体流路的形状为在整个流通方向上尺寸大致相同的圆形。
另外，如图1所示，在具有多个干燥用气体流路的情况下，优选在与干燥用气体的流通方向Fd垂直的截面上、邻接的干燥用气体流路彼此的最短距离的平均值为5mm以下。由此，能够进一步减小各干燥用气体流路中的流速分布。
本实施方式中，水溶性气体是：40℃、1个大气压下在1cm3水中的溶解度为0.5cm3以上的气体。作为上述水溶性气体，可以举出CO2、乙炔、H2S等，不过，从获得容易度、安全性的观点考虑，特别优选为CO2。干燥用气体中所包含的水溶性气体以外的气体(非水溶性气体)没有特别限制，从获得容易度、价格的观点考虑，优选为干燥空气、氮、氩。
干燥用气体中所包含的水溶性气体的种类可以为1种，也可以为2种以上。另外，干燥用气体中所包含的非水溶性气体的种类可以为1种，也可以为2种以上。
干燥用气体中含有水溶性气体即可，通过提高水溶性气体的含有率，能够实现干燥处理的迅速化。具体而言，水溶性气体的含有率优选为10摩尔％以上，更优选为20摩尔％以上，特别优选为50摩尔％以上。干燥用气体实质上可以仅包含水溶性气体。应予说明，在干燥用气体中包含2种以上的水溶性气体的情况下，将各水溶性气体的含有率之和作为水溶性气体的含有率。
优选干燥用气体中所包含的水溶性气体中的、至少1种水溶性气体的动态分子直径为分离膜12的平均细孔径以下。由此，能够有效率地进行后述的水溶性气体的透过。水溶性气体的动态分子直径的值在D.W.Breck,“Zeolite Molecular Sieves:Structure,Chemistry and Use”,John Wiley&Sons,New York,1974,p.636中有所公开。
干燥用气体的温度为40℃以下即可。干燥用气体为40℃以下意味着没有对干燥用气体实施积极的加热处理。因此，不需要在分离膜的干燥设备中另行加入加热用的装置。此外，由于干燥用气体为40℃以下，所以能够使后述的水溶性气体在水分中的溶解量增大。另外，干燥用气体的温度的下限没有特别限制，为了能够实现干燥处理的迅速化，优选为－20℃以上，更优选为0℃以上，特别优选为10℃以上。
优选干燥用气体不含水分。具体而言，干燥用气体中的含水率优选为2g/m3以下，更优选为0.1g/m3以下，特别优选为0.03g/m3以下。
供给干燥用气体的规定时间(即、干燥时间)可以考虑水溶性气体的种类、干燥用气体中的水溶性气体的含有率、干燥用气体的温度等而适当设定。
优选干燥开始时(即、干燥用气体的供给开始时)的干燥用气体的压力高于干燥结束时(即、在将干燥用气体向分离膜12连续性地供给的情况下为干燥用气体的供给停止时；在将干燥用气体向分离膜12间歇性地供给的情况下为干燥用气体的供给停止后再次开始供给干燥用气体之前)的干燥用气体的压力。通过像这样在干燥结束时降低干燥用气体的压力，能够抑制分离膜12的干燥所伴随的干燥用气体的流通量，因此，可以不使用白白浪费的干燥用气体。应予说明，在将干燥用气体向分离膜12间歇性地供给的情况下，在各供给循环中使干燥结束时的干燥用气体的压力低于干燥开始时的压力即可。
此处，图2是用于说明干燥处理中水分蒸发的情况的示意图。图2中，图示了分离膜12的细孔12a被水分堵塞的状态。
如图2所示，将干燥用气体向分离膜12的第一主面S1供给。干燥用气体中所包含的水溶性气体溶解在细孔12a内的水分中而透过到第二主面S2侧。此时，将细孔12a堵塞的水分以水蒸气的形式蒸发。另外，虽然没有图示，但是，在分离膜12存在没有被水分堵塞的细孔的情况下、以及在通过干燥而在分离膜12产生将细孔堵塞的水分被除去的细孔的情况下，干燥用气体中所包含的水溶性气体和非水溶性气体可以经过这些细孔而透过到第二主面S2侧。根据以上的2种机理，将透过到第二主面S2侧的水溶性气体和非水溶性气体合并作为透过气体。透过气体与将细孔12a堵塞的水分蒸发产生的水蒸气一同从多孔质基材11透过，从而从第二回收路23被回收。
另一方面，没有透过分离膜12的干燥用气体与水分接触后，与水分蒸发产生的水蒸气一同从隔室CL中通过。从第一回收路22回收在隔室CL中通过的干燥用气体和水蒸气。
由此，根据本实施方式所涉及的干燥方法，通过水溶性气体从被水分堵塞的细孔12a透过，能够增大使将细孔12a堵塞的水分从第一主面S1侧和第二主面S2侧两方蒸发的效果，因此，无需在高于40℃的温度下实施加热处理，就能够简便且迅速地使分离膜12干燥。
本实施方式所涉及的干燥方法中，优选被供给干燥用气体的第一主面S1侧的水溶性气体的分压(以下称为“第一分压”。)高于第二主面S2侧的水溶性气体的分压(以下称为“第二分压”。)。由此，能够使水溶性气体有效率地溶解于将细孔12a堵塞的水分，因此，能够更迅速地使分离膜12干燥。
特别优选第一分压比第二分压高20kPa以上。第一分压与第二分压之间的压差可以通过调整从供给路21供给的干燥用气体的加压力而简便地控制。另外，第一分压与第二分压之间的压差还可以通过从第二回收路23以真空泵进行抽吸而使第二主面S2侧产生负压来进行控制。
以上的干燥处理结束，由此，分离膜结构体1完成。
(变形例)
以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，不过，本发明并不限定于上述实施方式，可以在不脱离发明的主旨的范围进行各种变更。
上述实施方式中，对将本发明所涉及的干燥方法应用于整体状分离膜结构体1的情形进行了说明，但并不限定于此。本发明所涉及的干燥方法可以应用于管状、圆筒状、圆柱状、棱柱状、以及平板状等各种形状的分离膜结构体。例如，图3中图示了将本发明所涉及的干燥方法应用于平板状分离膜结构体1’的构成。但是，在分离膜结构体的形状为整体状以外的形状(例如、圆筒状或者图3所示的平板状等)的情况下，在将分离膜结构体安装于实际的壳体时，不易使流路形状变得均匀，因此，难以减小流速分布。
上述实施方式中，向分离膜12的第一主面S1供给干燥用气体，但并不限于此。例如，如图4所示，干燥用气体可以向分离膜12的第二主面S2供给。即，干燥用气体可以从多孔质基材11侧向分离膜12供给。这种情况下，如图4所示，在壳体2追加供给路21’，并且将供给路21密封即可。从供给路21’供给来的干燥用气体中所包含的水溶性气体从将分离膜12的细孔12a堵塞的水分透过后，经过隔室CL而从第二回收路23’进行回收。剩余的干燥用气体从第一回收路22’进行回收。但是，如图4所示，在将干燥用气体与分离膜12的膜面大致垂直地导入的情况下，难以减小流速分布，因此，优选如图1所示通过将干燥用气体与分离膜的膜面大致平行地导入来减小流速分布。
上述实施方式中，将干燥用气体向分离膜12连续性地供给，不过，可以将干燥用气体向分离膜12断续性地供给。具体而言，可以反复进行如下循环，该循环为：在将干燥用气体填充于壳体2的内部的时刻，将供给路21和第一回收路22密封，在将透过气体和水蒸气从第二回收路23中回收后，更换壳体2内的干燥用气体。这种情况下，能够减少分离膜12的干燥处理中使用的干燥用气体的量。另外，回收的干燥用气体、透过气体可以除湿进行再利用。
上述实施方式中，分离膜12直接形成于多孔质基材11上，不过，可以在分离膜12与多孔质基材11之间配置1层或多层的中间层。中间层可以由与多孔质基材11同样的材料构成。优选中间层的细孔径小于多孔质基材11的细孔径。
实施例
(样品No.1～5)
首先，向70体积％的平均粒径12μm的氧化铝粒子(骨料)中添加30体积％的无机粘合材料，进而，添加有机粘合剂等成型助剂、造孔剂，进行干式混合后，加入水、表面活性剂，进行混合、混炼，由此，制备坯土。作为无机粘合材料，使用平均粒径为1～5μm的滑石、高岭土、长石、粘土等，使其成为SiO2(70质量％)、Al2O3(16质量％)、碱土金属以及碱金属(11质量％)的混合物。
接下来，将坯土挤出成型，制作整体状多孔质基材的成型体。然后，对多孔质基材的成型体进行烧成(1250℃、1小时)，得到具有多个隔室的氧化铝基体。
接下来，向氧化铝粉末中添加PVA(有机粘合剂)，制备浆料，使用该浆料通过过滤法在氧化铝基体的隔室的内表面上形成中间层的成型体。接下来，对中间层的成型体进行烧成(1250℃、1小时)，由此，形成中间层。
接下来，将氧化铝基体的两端面用玻璃密封。通过以上操作，整体状多孔质基材得以完成。
接下来，基于国际公开号WO2011105511中记载的方法，在多孔质基材的各隔室的内表面的中间层上形成DDR型沸石膜(平均细孔径：4.0nm)作为分离膜。然后，为了再现空气中的水分吸附于DDR型沸石膜的状况，将DDR型沸石膜暴露于水蒸气气氛中1分钟。
接下来，对于样品No.1～4，如图1所示将形成有DDR型沸石膜的多孔质基材安装于壳体内，对于样品No.5，如图4所示将形成有DDR型沸石膜的多孔质基材安装于壳体内。
接下来，使干燥用气体流动，由此，实施DDR型沸石膜的干燥处理。干燥条件如表1所示。对于样品No.1、5，作为干燥用气体，使用水溶性气体CO2，对于样品No.2～4，作为干燥用气体，使用非水溶性气体、即He、N2、Ar。干燥用气体的温度统一为27℃(室温)。另外，对于样品No.1，以干燥用气体(水溶性气体)的供给侧与透过侧的压差为10kPa、20kPa、100kPa的3个模式进行实施，对于样品No.2～5，将干燥用气体(非水溶性气体)的供给侧与透过侧的压差统一为100kPa。另外，对于样品No.1，在压差100kPa时，通过改变供给路的形状而以流速分布为10％和15％的2个模式进行实施。本实施例中，作为干燥用气体，使用单成分的气体，因此，供给侧与透过侧的压差与水溶性气体或非水溶性气体的分压差相同。另外，确认：对于样品No.1～4，流速分布的大小为15％以下，与此相对，对于样品No.5，流速分布的大小大于15％。
并且，使从DDR型沸石膜透过的气体的流量恒定的时刻下的各气体的流量为100％，将从开始使干燥用气体流动的时刻至从DDR型沸石膜透过的各气体的流量为95％所需要的时间作为干燥时间。将各样品的干燥时间汇总示于表1。应予说明，使用质量流量计来测定从DDR型沸石膜透过的气体的流量。
[表1]
如表1所示，根据使流速分布恒定且分压差恒定为100kPa时的干燥时间的比较可知，对于使用了40℃、1个大气压下在1cm3水中的溶解度为0.5cm3以上的水溶性气体(CO2)的样品No.1，与使用了非水溶性气体的样品No.2～4相比，能够缩短干燥时间。这是因为：能够使将DDR型沸石膜的细孔堵塞的水分从DDR型沸石膜的两面侧蒸发。
另外，根据使分压差恒定为100kPa时的干燥时间的比较可知，对于流速分布的大小为15％以下的样品No.1，与流速分布的大小大于15％的No.5相比，能够缩短干燥时间。此外，可知：对于样品No.1，通过使流速分布为10％以下，能够在5分钟以内干燥至气体透过量为95％以上。这是因为：通过使DDR型沸石膜整体以大致相同的速度干燥，能够使膜整体有效率地干燥。
另外，对于样品No.1，根据使流速分布恒定且使分压差变化时的干燥时间的比较可知，通过使分压差为20kPa以上，能够在15分钟以内干燥至气体透过量为95％以上。
另外，认为样品No.2的干燥时间比样品No.3、4的干燥时间短是因为：He的动态分子直径小于N2、Ar的动态分子直径，所以与N2、Ar相比容易透过细孔。但是，从使用了动态分子直径大于He的动态分子直径的CO2的样品No.1能够缩短干燥时间可知：与动态分子直径相比，在水中的溶解度对干燥时间的影响更大。由于在水中的溶解度对干燥时间造成较大的影响，所以在使用了CO2以外的水溶性气体的情况下也得到同样的效果，因此，显然能够与样品No.1同样地缩短干燥时间。
另外，由于通过水溶性气体透过将细孔堵塞的水分而使得干燥时间缩短，所以，显然即便在使用了包含2种以上水溶性气体的干燥用气体的情况下，也能够缩短干燥时间。此外，显然即便在使用了包含2种以上水溶性气体的干燥用气体的情况下，也是供给侧的水溶性气体的分压越高于透过侧的水溶性气体的分压，越能够缩短干燥时间。
另外，本实施例中，使用DDR型沸石膜作为分离膜，不过，样品No.1的干燥方法对于由容易使水吸附于细孔的材料构成的分离膜也是有效的。样品No.1的干燥方法对于由细孔径为10nm以下的材料构成的分离膜特别有用。
符号说明
1 分离膜结构体
11 多孔质基材
12 分离膜
2 壳体
21 供给路
22 第一回收路
23 第二回收路
CL 隔室
Claims (12)
1.一种分离膜的干燥方法，其中，
具备：按干燥用气体在分离膜的膜面的流速的最大值与最小值之差除以流速的最小值得到的值为15％以下的方式向分离膜供给干燥用气体的工序，
所述干燥用气体为包含水溶性气体的40℃以下的气体，所述水溶性气体在40℃、1个大气压下于1cm3水中的溶解度为0.5cm3以上。
2.根据权利要求1所述的分离膜的干燥方法，其中，
被供给所述干燥用气体的所述分离膜的第一主面侧的所述水溶性气体的分压、即第一分压高于所述分离膜的第二主面侧的所述水溶性气体的分压、即第二分压。
3.根据权利要求2所述的分离膜的干燥方法，其中，
所述第一分压比所述第二分压高20kPa以上。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的分离膜的干燥方法，其中，
所述水溶性气体中的至少一部分为二氧化碳。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的分离膜的干燥方法，其中，
所述干燥用气体包含10摩尔％以上的所述水溶性气体。
6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的分离膜的干燥方法，其中，
在整体状多孔质基材的隔室的内表面形成有所述分离膜。
7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的分离膜的干燥方法，其中，
按所述干燥用气体与分离膜的膜面大致平行地被导入的方式配置所述分离膜和干燥用气体流路，与干燥用气体的流通方向垂直的截面上的干燥用气体流路的形状在膜面的任何部分都大致相同。
8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的分离膜的干燥方法，其中，
具有多个所述干燥用气体流路，并且，所述干燥用气体流路彼此的最短距离的平均值为5mm以下。
9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的分离膜的干燥方法，其中，
干燥开始时的所述干燥用气体的压力高于干燥结束时的所述干燥用气体的压力。
10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的分离膜的干燥方法，其中，
间歇性地向所述分离膜供给所述干燥用气体。
11.一种分离膜结构体的制造方法，其中，具备：
将形成有分离膜的多孔质基材组装于壳体的工序，以及，
向所述分离膜供给包含水溶性气体的40℃以下的干燥用气体的工序，所述水溶性气体在40℃、1个大气压下于1cm3水中的溶解度为0.5cm3以上。
12.根据权利要求11所述的分离膜结构体的制造方法，其中，
所述干燥用气体包含10摩尔％以上的所述水溶性气体。
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