CN109791352A - 感光性树脂组合物、导电性图案的制造方法、基板、触摸面板及显示器 - Google Patents

感光性树脂组合物、导电性图案的制造方法、基板、触摸面板及显示器 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于提供能够同时实现微细图案的分辨率和基板上的残渣抑制的感光性树脂组合物。提供含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合物的感光性树脂组合物。

Description

感光性树脂组合物、导电性图案的制造方法、基板、触摸面板 及显示器
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物、导电性图案的制造方法、基板、触摸面板及显示器。
背景技术
近年来，伴随着显示器的高精细化、电子部件的小型化或高密度化等，对电子布线的微细化的要求逐渐提高。作为使用含有导电性粒子的树脂组合物来制作电子布线中使用的导电性图案的方法，通常为在基板上形成图案后进行加热、由此使导电性粒子相接触而得到导电性图案的方法。作为在基板上形成图案的方法，例如，可举出丝网印刷法、喷墨法或光刻法。它们中，认为丝网印刷法、喷墨法不适于形成微细图案，而光刻法适于微细图案的形成。
光刻法中，在感光性组合物的涂布及干燥后，隔着描绘有微细布线图案的形状的光掩模照射紫外线等，由此在涂膜上形成曝光部及未曝光部。接着，利用显影液对其进行显影，由此在基板上形成微细图案。进而，通过之后的导电化处理，从而形成微细的导电性图案。该方法中使用的感光性组合物由导电性粒子、感光剂及树脂等构成(专利文献1～4)。
进而，为了形成5μm以下的超微细图案，需要使用具有更微小粒径的粒子作为导电性粒子、以及需要抑制凝集粒子的产生。此时，就前者而言，从图案的表面平滑性及侧面直线性的观点考虑，针对要求的布线宽度，必须使用粒径充分小的微粒。就后者而言，为了获得导电性粒子的分散稳定性，必须使用粒子表面经被覆的粒子。此处，作为使用了粒径充分小且进行了表面被覆的微粒的感光性树脂组合物，已知使用了通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的银微粒(专利文献5～6)的感光性树脂组合物。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2000-199954号公报
专利文献2：日本特开2014-142587号公报
专利文献3：日本特开2002-82428号公报
专利文献4：日本特开2013-101861号公报
专利文献5：日本特开2013-196997号公报
专利文献6：WO2016/158864
发明内容
发明要解决的课题
然而，在使用了通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的银微粒的感光性树脂组合物中，在形成图案时容易在基板上、尤其是包含有机成分的膜上产生残渣。因此，将该感光性树脂组合物形成图案而得到的物质存在外观不良或可靠性降低等问题。
本发明是鉴于上述现有技术的缺点而作出的，其目的在于提供一种感光性树脂组合物，其即使在包含有机成分的膜上，也能够同时实现微细图案的分辨率和基板上的残渣抑制。通过使用这样的感光性树脂组合物，能够得到外观极为良好且可靠性高的微细的导电性图案。
用于解决课题的手段
本申请的发明人进行了深入研究，结果发现，含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合性化合物(C)的感光性树脂组合物对于解决上述课题极其有效。
即，本发明提供含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合性化合物(C)的感光性树脂组合物。
发明的效果
根据本发明的感光性树脂组合物，能够得到外观良好且可靠性高的微细的导电图案。
具体实施方式
本发明的感光性树脂组合物的特征在于含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合性化合物(C)。需要说明的是，该感光性树脂组合物的感光性可以为正型感光性也可以为负型感光性，优选为负型感光性。
(通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A))
就通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)而言，通过将表面被覆的层(以下记为“表面被覆层”)的存在，从而能够抑制低温时的导电性粒子彼此的融合。
作为通过碳单质及/或碳化合物将粒子表面被覆的方法，例如，可举出在利用热等离子体法制作导电性粒子时使其与反应性气体接触的方法(日本特开2007-138287号公报)。优选导电性粒子的表面被完全地被覆，但只要能够实现本发明的目的，允许存在一部分被覆不完全的粒子。
作为通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)，例如可举出金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)、锡(Sn)、铋(Bi)、铅(Pb)、锌(Zn)、钯(Pd)、铂(Pt)、铝(Al)、钨(W)或钼(Mo)等金属微粒。其中，优选为含有选自由金、银、铜、镍、锡、铋、铅、锌、钯、铂、铝及碳组成的组中的至少一种元素的金属微粒，更优选为银的金属微粒。
为了形成具有期望的导电性的微细导电图案，通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的一次粒径优选为1～700nm。此处，所谓通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的一次粒径，可以根据使用扫描电子显微镜随机选择的100个一次粒子的粒径的平均值算出。对于各一次粒子的粒径而言，可以测定一次粒子的长径和短径，由其平均值算出。通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的一次粒径优选为10～200nm，更优选为10～60nm。
表面被覆层的平均厚度优选为0.1～10nm。在该范围内时，抑制导电性微细粒子彼此的融合，由此能够提高微细图案加工性，并且通过于300℃以下的温度进行热处理，从而能够呈现出期望的导电性。
就表面被覆层的平均厚度而言，利用热天平测定通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的质量减少，假定该值全部来自碳的燃烧，以碳的密度为2.0，根据粒径可算出表面被覆层的平均厚度。设为在粒径(Dp)已知的导电性粒子上以平均厚度A(μm)被覆碳。将经碳被覆的粒子的个数设为n。将热天平测定中最初称取的质量设为W1(g)、将碳完全飞散后的质量设为W2(g)、将导电性粒子的密度设为ρ时，若已知Dp和W2，则可根据下式算出n。
W2＝π/6×Dp3ρ×n
进而，可根据下式算出表面被覆层的平均厚度A。
W1-W2＝{4/3×π(Dp/2+A)3-π/6×Dp3}×2.0×n
作为感光性树脂组合物中的通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的含量，优选为65～95质量％，更优选为70～95质量％，进一步优选为70～90质量％。通过在该范围内含有导电性粒子(A)，能够同时实现图案加工性和导电性的呈现。此处，所谓全部固态成分，是指感光性树脂组合物所含有的成分中除去溶剂之外的全部成分。
就通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)在全部固态成分中所占的比例而言，可以通过对感光性树脂组合物的全部成分进行定量分析而算出。需要说明的是，后述各成分的比例也可利用同样的方法算出。
感光性树脂组合物的全部成分分析方法如下所述。
(i)用有机溶剂稀释感光性树脂组合物，进行1H-NMR测定、GC测定及GC/MS测定，调查其大概情况。
(ii)将感光性树脂组合物用有机溶剂萃取后进行离心分离，分离可溶成分和不溶成分。
(iii)针对上述不溶成分，用高极性有机溶剂萃取后进行离心分离，进一步分离可溶成分和不溶成分。
(iv)针对由上述(ii)及(iii)得到的可溶成分的混合液，进行IR测定、1H-NMR测定及GC/MS测定。进而，对上述混合液进行GPC分级。针对得到的分级物进行IR测定及1H-NMR测定。另外，针对该分级物，根据需要进行GC测定、GC/MS测定、热分解GC/MS测定及MALDI/MS测定。
(v)针对由上述(iii)得到的不溶成分，进行IR测定或TOF-SIMS测定。确认到存在有机物时，进行热分解GC/MS或TPD/MS测定。
(vi)通过对上述(i)、(iv)及(v)的测定结果进行综合判断，从而可求出感光性树脂组合物所含有的各成分的含有率。需要说明的是，作为上述(iii)中使用的高极性有机溶剂，优选氯仿或甲醇等。
(具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B))
通过在碱溶性树脂中含有酸解离性基团，从而在形成图案后的热处理中，酸解离性基团脱离分解、气化，图案收缩。由此，能够促进通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触，提高导电性，同时形成微细的图案。
具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)通常可以通过使含有羧基的化合物与具有酸解离性基团的化合物及其他单体进行共聚而得到。具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)优选为(甲基)丙烯酸系共聚物。此处，(甲基)丙烯酸系共聚物是指在共聚成分中至少含有(甲基)丙烯酸系单体的共聚物。此处，作为(甲基)丙烯酸系单体，例如可举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸正戊酯、(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、丁氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸环己基酯、(甲基)丙烯酸二环戊基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯基酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸基酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙基酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙基酯、(甲基)丙烯酸异癸基酯、(甲基)丙烯酸异辛基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙基酯、甲氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸八氟戊基酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸硬脂基酯、(甲基)丙烯酸三氟乙基酯、(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸氨基乙基酯、(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸1-萘基酯、(甲基)丙烯酸2-萘基酯、(甲基)丙烯酸苯硫酚酯或(甲基)丙烯酸苄硫醇酯。
作为(甲基)丙烯酸系单体以外的共聚成分，可使用具有碳-碳双键的化合物。作为这样的化合物，例如可举出苯乙烯、对甲基苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯或α-甲基苯乙烯等芳香族乙烯基化合物、(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺或N-乙烯基吡咯烷酮等酰胺系不饱和化合物、(甲基)丙烯腈、烯丙醇、乙酸乙烯酯、环己基乙烯基醚、正丙基乙烯基醚、异丙基乙烯基醚、正丁基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、2-羟基乙基乙烯基醚或4-羟基丁基乙烯基醚。
作为含有羧基的化合物(其为对具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)赋予碱溶性的共聚成分)，例如可举出(甲基)丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸或富马酸或它们的酸酐。
使用(甲基)丙烯酸系共聚物时，为了增加感光性树脂组合物的由曝光带来的固化反应的速度，优选在侧链或分子末端具有碳-碳双键的(甲基)丙烯酸系共聚物。作为具有碳-碳双键的官能团，例如可举出乙烯基、烯丙基或(甲基)丙烯酸系基团。为了使这样的官能团加成至(甲基)丙烯酸系共聚物上，有下述方法：使具有缩水甘油基(或异氰酸酯基)和碳-碳双键的化合物或者(甲基)丙烯酰氯或烯丙基氯、与(甲基)丙烯酸系共聚物中的巯基、氨基、羟基或羧基进行加成反应。
作为具有缩水甘油基和碳-碳双键的化合物，例如，可举出(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油醚或丙烯酸缩水甘油基乙基酯、巴豆基缩水甘油醚、巴豆酸缩水甘油酯或异巴豆酸缩水甘油酯。作为具有异氰酸酯基和碳-碳双键的化合物，例如，可举出(甲基)丙烯酰基异氰酸酯或(甲基)丙烯酰氧基乙基异氰酸酯。
作为具有酸解离性基团的化合物，可举出具有酸解离性基团的(甲基)丙烯酸酯。
为了使酸解离性基团在脱离后分解、气化，酸解离性基团优选为碳原子数4～15的有机基团，更优选为碳原子数6～15的有机基团。酸解离性基团的碳原子数小于4时，脱离后于低温发生气化，因此存在下述情况：在膜中产生大的气泡，妨碍通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触，导电性变差。另一方面，酸解离性基团的碳原子数超过15时，存在下述情况:脱离后,解离性基团残留在膜中，妨碍通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触，导电性仍然变差。需要说明的是，酸解离性基团为碳原子数6～15的有机基团时，即使在膜中产生气泡也容易通过后烘烤使其消失，能够形成导电性良好的导电性图案。
作为酸解离性基团，例如可举出叔丁基、叔丁氧基羰基、苄基、甲基金刚烷基或四氢吡喃基。
作为具有酸解离性基团的(甲基)丙烯酸酯，例如可举出(甲基)丙烯酸1-甲基金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸苄基酯或(甲基)丙烯酸四氢吡喃基酯。
本发明的感光性树脂组合物中，在考虑感光性呈现的情况下，具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)的含量相对于全部固态成分而言优选在5～30质量％的范围内。
具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)优选为自由基共聚有20～80摩尔％的具有酸解离性基团的化合物的碱溶性树脂。尤其优选在碱溶性树脂中含有20～80摩尔％的具有酸解离性基团的(甲基)丙烯酸酯作为单体成分。通过使用具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)，酸解离性基团容易在空气下、于100～300℃发生热氧化分解及脱离，膜大幅收缩，从而能够使全部固态成分中的通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)浓度容易地上升。而且，作为其结果，易于得到比电阻为10～1,000μΩ·cm的期望的导电性。此时并用后述的热产酸剂及/或光产酸剂的话，其效果更加显著。
具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)的羧酸当量优选为200～1,400g/mol，更优选为400～1,000g/mol。丙烯酸树脂的羧酸当量可通过测定酸值而算出。另外，为了能够以高的水平同时实现硬度和耐裂纹性，具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)的双键当量优选为150～10,000g/mol。丙烯酸树脂的双键当量可以通过测定碘值而算出。
就具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)的重均分子量(Mw)而言，通过凝胶渗透色谱法(GPC)测定并以聚苯乙烯换算计优选为1,000～100,000。通过使重均分子量(Mw)为上述范围，可获得良好的涂布特性，形成图案时在显影液中的溶解性也良好。
(金属螯合性化合物(C))
金属螯合性化合物(C)是具有中心金属、和在两个以上的部位与该中心金属配位的配体的化合物，配体容易脱离，能够与碱溶性官能团形成络合物。通过与碱溶性树脂形成络合物，能够控制树脂成分的显影性，抑制图案剥落的效果变得显著。
作为金属螯合性化合物(C)的金属元素，例如，可举出Au(金)、Ag(银)、Cu(铜)、Cr(铬)、Fe(铁)、Co(钴)、Ni(镍)、Bi(铋)、Sn(锡)、Pb(铅)、Zn(锌)、Pd(钯)、In(铟)、Pt(铂)、Mg(镁)、Al(铝)、Ti(钛)、Zr(锆)、W(钨)、Mo(钼)。从配体的易脱离性的观点考虑，优选Mg(镁)、Al(铝)、Ti(钛)、Zr(锆)、Bi(铋)，从与碱溶性官能团的络合物稳定性的观点考虑，更优选Al(铝)、Zr(锆)、Bi(铋)。金属螯合性化合物(C)可通过使螯合剂与金属醇盐反应而容易地得到。作为螯合剂，例如，可举出乙酰丙酮、苯甲酰丙酮或二苯甲酰甲烷等β-二酮或者乙酰乙酸乙酯或苯甲酰乙酸乙酯等β-酮酯。
作为金属螯合性化合物(C)，例如可举出：双(乙酰丙酮根)合镁、双(乙基乙酰乙酸根)合镁、异丙氧基单(乙酰丙酮根)合镁或异丙氧基单(乙基乙酰乙酸根)合镁等镁螯合物；乙酰乙酸乙基铝二异丙酯、三(乙基乙酰乙酸根)合铝、乙酰乙酸烷基酯二异丙基铝酸酯、单乙酰丙酮根双(乙基乙酰乙酸根)合铝、三(乙酰丙酮根)合铝等铝螯合物；四(乙酰丙酮根)合钛、二异丙氧基双(乙基乙酰乙酸根)合钛、二异丙氧基双(乙酰丙酮根)合钛、二正辛氧基双(辛二醇根)合钛、二异丙氧基双(三乙醇胺根)合钛、二羟基双(2-羟基丙酸根)合钛或二羟基双(2-羟基丙酸根)钛铵盐等钛螯合物；四(乙酰丙酮根)合锆、二丁氧基双(乙基乙酰乙酸根)合锆、三丁氧基单(乙酰丙酮根)锆、三丁氧基单硬脂酸锆等锆螯合物；双(乙酰丙酮根)合金或双(乙基乙酰乙酸根)合金等金螯合物；双(乙酰丙酮根)合银或双(乙基乙酰乙酸根)合银等银螯合物；双(乙酰丙酮根)合铜或双(乙基乙酰乙酸根)合铜等铜螯合物；双(乙酰丙酮根)合铬或双(乙基乙酰乙酸根)合铬等铬螯合物；双(乙酰丙酮根)合铁或双(乙基乙酰乙酸根)合铁等铁螯合物；(乙酰丙酮根)合钴或双(乙基乙酰乙酸根)合钴等钴螯合物；双(乙酰丙酮根)合镍或双(乙基乙酰乙酸根)合镍等镍螯合物；双(乙酰丙酮根)合铋或双(乙基乙酰乙酸根)合铋等铋螯合物；双(乙酰丙酮根)合锡或双(乙基乙酰乙酸根)合锡等锡螯合物；双(乙酰丙酮根)合铅或双(乙基乙酰乙酸根)合铅等铅螯合物；双(乙酰丙酮根)合锌或双(乙基乙酰乙酸根)合锌等锌螯合物；双(乙酰丙酮根)合钯或双(乙基乙酰乙酸根)合钯等钯螯合物；双(乙酰丙酮根)合铟或双(乙基乙酰乙酸根)合铟等铟螯合物；双(乙酰丙酮根)合铂或双(乙基乙酰乙酸根)合铂等铂螯合物；双(乙酰丙酮根)合钨或双(乙基乙酰乙酸根)合钨等钨螯合物；双(乙酰丙酮根)合钼或双(乙基乙酰乙酸根)合钼等钼螯合物。
作为金属螯合性化合物(C)，例如，可举出通式(1)表示的化合物。
[化学式1]
(M表示镁、铝、钛、锆或铋，R1表示氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数4～10的环烷基或碳原子数6～15的芳基，R2及R3各自独立地表示氢、碳原子数1～20的烷基、碳原子数4～10的环烷基、碳原子数6～15的芳基、碳原子数1～6的烷氧基或羟基，n及m表示0～4的整数，n+m＝2～4。)
R1优选为氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数4～7的环烷基或碳原子数6～10的芳基，R2及R3各自独立地优选为氢、碳原子数1～18的烷基、碳原子数4～7的环烷基、碳原子数6～10的芳基、碳原子数1～4的烷氧基或羟基。上述的烷基、环烷基、芳基及烷氧基可以为未取代体或取代体中的任意。M优选为铝、锆或铋。
作为通式(1)表示的化合物，例如，可举出双(乙酰丙酮根)合镁、双(乙基乙酰乙酸根)合镁、异丙氧基单(乙酰丙酮根)合镁或异丙氧基单(乙基乙酰乙酸根)合镁等镁螯合物、乙酰乙酸乙基铝二异丙酯、三(乙基乙酰乙酸根)合铝、乙酰乙酸烷基酯铝二异丙酯、单(乙酰丙酮根)双(乙基乙酰乙酸根)合铝、三(乙酰丙酮根)合铝等铝螯合物、四(乙酰丙酮根)合钛、二异丙氧基双(乙基乙酰乙酸根)合钛、二异丙氧基双(乙酰丙酮根)合钛、二正辛氧基双(辛二醇根)钛、二异丙氧基双(三乙醇胺根)钛、二羟基双(2-羟基丙酸根)钛或二羟基双(2-羟基丙酸根)钛铵盐等钛螯合物、四(乙酰丙酮根)合锆、二丁氧基双(乙基乙酰乙酸根)合锆、三丁氧基单(乙酰丙酮根)合锆、三丁氧基单硬脂酸锆等锆螯合物、双(乙酰丙酮根)合铋或双(乙基乙酰乙酸根)合铋等铋螯合物。
金属螯合性化合物(C)在全部固态成分中所占的比例优选为0.01～10质量％，更优选为0.05～5质量％，进一步优选为0.1～5质量％。金属螯合性化合物(C)含量为0.01质量％以上时，基板上的残渣抑制的效果进一步显著。另一方面，金属螯合性化合物(C)的含量为10质量％以下时，导电性高，并且能够形成微细的图案。
(分散剂)
本发明的感光性树脂组合物可以含有分散剂。通过含有分散剂，能够使通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)稳定地存在于感光性树脂组合物中。
作为分散剂，优选胺系分散剂。作为市售的胺系分散剂，例如，可举出DISPERBYK(注册商标)106、108、112、116、142、145、166、180、2001、2008、2022、2150、6919或21116(以上均为BYK-Chemie Japan制)或Efka(注册商标)4300、4400、4401、4403、4406、4510、4570、4800、5054、5055或5207(以上均为BASF制)。
为了进一步提高分散性，分散剂优选具有丙烯酸系嵌段共聚物结构。作为具有丙烯酸系嵌段共聚物结构的市售的胺系分散剂，例如，可举出DISPERBYK(注册商标)2001、2008、2022、2150、6919或21116或Efka(注册商标)4300。
作为感光性树脂组合物中的分散剂的含量，相对于通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)与后述其他粒子的合计100质量份，优选为1～7质量份。通过使分散剂的含量在该范围内，通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的分散良好，能够实现更微细的图案加工，通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的接触及融合得以进行，能够得到更高的导电性。
(光聚合引发剂)
本发明的感光性树脂组合物可以含有光聚合引发剂。通过含有光聚合引发剂，从而能够对感光性树脂组合物赋予负型感光性。
作为光聚合引发剂，例如，可举出苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物、苯偶姻醚系化合物、α-氨基烷基苯甲酮系化合物(α-aminoalkyl phenone)、噻吨酮系化合物、有机过氧化物、咪唑系化合物、二茂钛(titanocene)系化合物、三嗪系化合物、酰基氧化膦化合物、醌化合物或肟酯系化合物。优选为即使少量添加其敏感度也高的肟酯系化合物，更优选为具有咔唑骨架的肟酯系化合物。作为不具有咔唑骨架的肟酯系化合物，例如可举出Irgacure(注册商标)OXE01(BASF公司制)，作为具有咔唑骨架的肟酯系化合物，例如可举出Irgacure(注册商标)OXE02(BASF公司制)、ADEKA OPTOMER(注册商标)N1919(株式会社ADEKA制)或ADEKA ARKLS(注册商标)NCI-831(株式会社ADEKA制)。
(溶剂)
本发明的感光性树脂组合物可以含有溶剂。
作为溶剂，例如，可举出丙二醇单甲基醚、丙二醇单丁基醚、2-庚醇、环己醇、环戊醇、2-丁醇、2-戊醇、叔丁醇、二丙酮醇、α-松油醇、2-羟基异丁酸甲酯、2-羟基异丁酸乙酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、乙酰乙酸乙酯、乙酰乙酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、环戊酮、环己酮、苄基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、碳酸亚乙基酯、碳酸亚丙基酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、丙二酸二乙酯、β-丙内酯、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯、γ-己内酯、ε-己内酯、乙二醇单丁基醚乙酸酯、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单丁基醚乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二丙二醇二甲基醚、丙二醇二乙酸酯、1,3-丁二醇二乙酸酯、环己醇乙酸酯、二甲基亚砜、甲基乙基酮、乙酸异丁酯、乙酸异丁酯、乙酸丁酯、乙酸丙酯、乙酸异丙酯、乙酰丙酮、三乙酸甘油酯或2-庚酮。
(其他粒子)
为了提高分散性、控制导电性，本发明的感光性树脂组合物可以含有除通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)以外的其他粒子。作为其他粒子，例如，可举出未进行表面被覆的金属微粒或金属氧化物微粒、有机颜料或无机颜料。
这些其他粒子的粒径优选为10～100nm。粒径小于10nm时，用于分散稳定化的分散剂使用增多，有时难以得到期望的导电性。另一方面，粒径大于100nm时，图案的分辨率降低，有时难以形成5μm以下的超微细图案。
作为这些其他粒子，优选有助于控制导电性的碳黑。
作为碳黑，例如，可举出MA77、7、8、11、100、100R、100S、230、220或14(以上均为三菱化学株式会社制)、#52、47、45、45L、44、40、33、32、30、25、20、10、5、95、85或260(以上均为三菱化学株式会社制)、Special Black100、250、350或550(以上均为Evonik Degussa公司制)或者Printex95、90、55、45、40、P、60、L6、L、300、30、ES23、9、ES22、35、25、200、A或G(以上均为Evonik Degussa公司制)。其中，优选pH值为4以下的MA77、7、8、11、100、100R、100S、230、220或14或者Special Black100、250、350或550。需要说明的是，碳黑的pH值可按照JISK5101进行测定。
(热产酸剂及光产酸剂)
本发明的感光性树脂组合物可以含有热产酸剂及/或光产酸剂。通过产生的酸，具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)中的酸解离性基团的分解被促进，能够使空气下的热处理温度降低。
作为通过热而产生酸的化合物即热产酸剂，例如可举出SI-60、SI-80、SI-100、SI-110、SI-145、SI-150、SI-60L、SI-80L、SI-100L、SI-110L、SI-145L、SI-150L、SI-160L、SI-180L或SI-200(以上均为三新化学工业(株)制)、4-羟基苯基二甲基锍、苄基-4-羟基苯基甲基锍、2-甲基苄基-4-羟基苯基甲基锍、2-甲基苄基-4-乙酰基苯基甲基锍或2-甲基苄基-4-苯甲酰基氧基苯基甲基锍或者它们的甲磺酸盐、三氟甲磺酸盐、樟脑磺酸盐或对甲苯磺酸盐。其中，可优选使用4-羟基苯基二甲基锍、苄基-4-羟基苯基甲基锍、2-甲基苄基-4-羟基苯基甲基锍、2-甲基苄基-4-乙酰基苯基甲基锍或2-甲基苄基-4-苯甲酰基氧基苯基甲基锍或者它们的甲磺酸盐、三氟甲磺酸盐、樟脑磺酸盐或对甲苯磺酸盐。
作为感光性树脂组合物中的热产酸剂的含量，相对于具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)100质量份，优选0.01～20质量份。其原因在于，通过使热产酸剂的含量在该范围内，具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)中的酸解离性基团的分解被促进，不妨碍通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触，可获得更高的导电性。
对于由光产酸剂(其是通过光而产生酸的化合物)产生的酸而言，为了促进酸解离性基团的分解，优选全氟烷基磺酸或对甲苯磺酸等强酸。
作为光产酸剂，例如，可举出SI-101、SI-105、SI-106、SI-109、PI-105、PI-106、PI-109、NAI-100、NAI-1002、NAI-1003、NAI-1004、NAI-101、NAI-105、NAI-106、NAI-109、NDI-101、NDI-105、NDI-106、NDI-109、PAI-01、PAI-101、PAI-106或PAI-1001(以上均为MidoriKagaku(株)制)、SP-077或SP-082(以上均为(株)ADEKA制)、TPS-PFBS(东洋合成工业(株)制)、CGI-MDT或CGI-NIT(以上均为Ciba Japan(株)制)或WPAG-281、WPAG-336、WPAG-339、WPAG-342、WPAG-344、WPAG-350、WPAG-370、WPAG-372、WPAG-449、WPAG-469、WPAG-505或WPAG-506(以上均为和光纯药工业(株)制)。
作为感光性树脂组合物中的光产酸剂的含量，相对于具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)100质量份，优选0.01～20质量份。其原因在于，通过使光产酸剂的含量在该范围内，具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)中的酸解离性基团的分解被促进，不妨碍通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触，可获得更高的导电性。另外，为了进一步促进酸解离性基团的分解，可以并用热产酸剂和光产酸剂。
(阻聚剂)
本发明的感光性树脂组合物可以含有阻聚剂。通过含有适量阻聚剂，显影后的分辨率提高。作为阻聚剂，没有特别限定，可使用已知的阻聚剂。例如，可举出二叔丁基羟基甲苯、丁基羟基苯甲醚、氢醌、4-甲氧基苯酚、1,4-苯醌、叔丁基邻苯二酚。另外，作为市售的阻聚剂，可举出“IRGANOX1010”、“IRGANOX 1035”、“IRGANOX 1076”、“IRGANOX 1098”、“IRGANOX 1135”、“IRGANOX 1330”、“IRGANOX1726”、“IRGANOX 1425”、“IRGANOX 1520”、“IRGANOX 245”、“IRGANOX 259”、“IRGANOX 3114”、“IRGANOX565”、“IRGANOX 295”(以上均为BASF制)等。
(敏化剂)
本发明的感光性树脂组合物含有光产酸剂的情况下，感光性树脂组合物可以还含有敏化剂。敏化剂优选为因热处理而气化的敏化剂、或即使残留在固化膜中时也会因光照射而褪色的敏化剂。从图案加工的高分辨率的观点考虑，敏化剂更优选为因光照射而褪色的敏化剂。
作为因热处理而气化、或因光照射而褪色的敏化剂，例如可举出3,3’-羰基双(二乙基氨基香豆素)等香豆素、9,10-蒽醌等蒽醌、二苯甲酮、4,4’-二甲氧基二苯甲酮、苯乙酮、4-甲氧基苯乙酮或苯甲醛等芳香族酮或联苯、1,4-二甲基萘、9-芴酮、芴、菲、苯并菲、芘、蒽、9-苯基蒽、9-甲氧基蒽、9,10-二苯基蒽、9,10-双(4-甲氧基苯基)蒽、9,10-双(三苯基甲硅烷基)蒽、9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、9,10-二丙氧基蒽(DPA；川崎化成(株)制)、9,10-二丁氧基蒽(DBA；川崎化成(株)制)、9,10-二戊氧基蒽、2-叔丁基-9,10-二丁氧基蒽或9,10-双(三甲基甲硅烷基乙炔基)蒽等稠合芳香族。
作为因热处理而气化的敏化剂，优选因热处理而升华、蒸发的敏化剂或者因热分解而得到的热分解物升华或蒸发的敏化剂。作为敏化剂的气化温度，为了于预烘烤温度不气化而在热固化时分解及气化、使通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)接触及融合，优选150～300℃。
另外，就敏化剂而言，从能够实现高敏感度及高分辨率的方面、以及通过光照射而二聚化并褪色的方面考虑，优选蒽系化合物。尤其优选对热稳定的9,10-二取代蒽系化合物，从敏化剂的溶解性提高和光二聚化反应的反应性的观点考虑，进一步优选通式(2)表示的9,10-二烷氧基蒽系化合物。
[化学式2]
(R4～R11各自独立地表示氢、碳原子数1～20的烷基、烷氧基、链烯基、乙炔基、芳基或酰基或者它们被取代而形成的有机基团，R12及R13各自独立地表示碳原子数1～20的烷氧基或者被其他有机基团取代的烷氧基。)
作为R4～R11中的烷基，例如，可举出甲基、乙基或正丙基。作为烷氧基，例如，可举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基或戊氧基。作为链烯基，例如，可举出乙烯基、丙烯酰氧基丙基或甲基丙烯酰氧基丙基。作为芳基，例如，可举出苯基、甲苯基或萘基。作为酰基，例如，可举出乙酰基。需要说明的是，从化合物的气化性及光二聚化的反应性的观点考虑，优选R4～R11为氢或碳原子数1～6的有机基团，更优选R4、R7、R8及R11为氢。
作为R12及R13中对烷氧基进行取代的取代基，例如，可举出烷氧基或酰基。作为这种情况下的烷氧基，例如，可举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基、甲氧基乙氧基、1-甲氧基-2-丙氧基或1-乙酰基-2-丙氧基，从化合物的溶解性及由光二聚化带来的褪色反应的观点考虑，优选丙氧基或丁氧基。
作为感光性树脂组合物中的敏化剂含量，相对于碱溶性树脂(B)100质量份，优选0.001～20质量份，更优选0.005～15质量份。其原因在于，通过使敏化剂的含量在该范围内，用于使光产酸剂感光的敏化效果变得充分，不妨碍通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触，可获得更高的导电性。
(对可见光具有吸收的颜料及/或染料)
本发明的感光性树脂组合物可以在不损害通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触及融合的范围内含有对可见光具有吸收的颜料及/或染料。通过使感光性树脂组合物含有对可见光具有吸收的颜料及/或染料，能够抑制后烘烤后的导电性图案的可见光反射。
作为对可见光具有吸收的颜料，例如，可举出内酰胺系颜料、苝系颜料、酞菁系颜料、异吲哚啉系颜料、二氨基蒽醌系颜料、二噁嗪系颜料、阴丹酮系颜料、碳黑或无机颜料。
作为蓝色颜料，例如可举出C.I.颜料蓝(以下称为“PB”)15、PB15：1、PB15：2、PB15：3、PB15：4、PB15：5、PB15：6、PB16或PB60。作为紫色颜料，例如可举出C.I.颜料紫(以下称为“PV”)19、PV23或PV37。作为红色颜料，例如可举出C.I.颜料红(以下称为“PR”)149、PR166、PR177、PR179、PR209或PR254。作为绿色颜料，例如可举出C.I.颜料绿(以下称为“PG”)7、PG36或PG58。作为黄色颜料，例如可举出C.I.颜料黄(以下称为“PY”)150、PY138、PY139或PY185。作为黑色颜料，例如可举出HCF、MCF、LFF、RCF、SAF、ISAF、HAF、XCF、FEF、GPF或SRF等炉黑(Furnace Black)、FT或MT等热裂黑(Thermal Black)、槽黑(Channel Black)或乙炔黑等碳黑或者内酰胺系颜料(例如，“Irgaphor”(注册商标)Black S0100CF；BASF公司制)。其中，优选耐热性、耐光性及可见光的吸收性优异的碳黑，从导电性及分散性的观点考虑，更优选炉黑或内酰胺系颜料。
作为碳黑，例如可举出MA77、7、8、11、100、100R、100S、230、220或14(以上均为三菱化学株式会社制)、#52、47、45、45L、44、40、33、32、30、25、20、10、5、95、85或260(以上均为三菱化学株式会社制)、Special Black100、250、350或550(以上均为Evonik Degussa公司制)、或Printex95、90、55、45、40、P、60、L6、L、300、30、ES23、9、ES22、35、25、200、A或G。其中，优选pH值为4以下的MA77、7、8、11、100、100R、100S、230、220或14或者Special Black100、250、350或550。碳黑的pH值可以按照JIS K5101进行测定。
作为感光性树脂组合物中的对可见光具有吸收的颜料的添加量，相对于组合物中的全部固态成分，优选为0.1～10质量％。
作为对可见光具有吸收的染料，例如可举出二茂铁系染料、芴酮系染料、苝系染料、三苯基甲烷系染料、香豆素系染料、二苯基胺系染料、喹吖啶酮系染料、喹酞酮系染料、酞菁系染料或呫吨系染料，优选耐热性、耐光性及可见光的吸收性优异的黑色染料，优选VALIFAST(注册商标)Black 1888、VALIFAST(注册商标)Black 3830、NUBIAN(注册商标)Black PA-2802或OIL Black 860。
作为感光性树脂组合物中的对可见光具有吸收的染料的添加量，相对于组合物中的全部固态成分，优选为0.1～10质量％。
(其他成分)
就本发明的感光性树脂组合物而言，从调节感光性能、提高图案加工性的观点考虑，也可以在不损害通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)彼此的接触及融合的范围内含有丙烯酸系单体。
作为丙烯酸系单体，例如可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯或二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯或它们的烷基改性物、烷基醚改性物或烷基酯改性物。
本发明的感光性树脂组合物也可以根据需要进一步含有密合改良剂、表面活性剂或阻聚剂等。
作为密合改良剂，例如可举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷或3-巯基丙基三甲氧基硅烷等硅烷偶联剂。
作为表面活性剂，例如可举出十二烷基硫酸铵或聚氧乙烯烷基醚硫酸三乙醇胺等阴离子表面活性剂、十八烷基胺乙酸酯或十二烷基三甲基氯化铵等阳离子表面活性剂、十二烷基二甲基氧化胺或十二烷基羧基甲基羟基乙基咪唑鎓甜菜碱等两性表面活性剂、聚氧乙烯十二烷基醚、聚氧乙烯十八烷基醚或失水山梨糖醇单硬脂酸酯等非离子表面活性剂、氟系表面活性剂或硅系表面活性剂。
作为感光性树脂组合物中的表面活性剂的添加量，为了使涂布性及涂膜表面的均匀性良好，相对于组合物整体，优选为0.001～10质量％，更优选为0.01～1质量％。添加量少于0.001质量％时，存在涂布性及涂膜表面的均匀性的效果变得不充分的情况。另一方面，添加量超过10质量％时，存在引起收缩、凹陷等涂膜缺陷、粒子凝集的情况。
作为阻聚剂，例如可举出氢醌系、邻苯二酚系、磷系、硫系、胺系或受阻酚系的化合物。其中，对于氢醌系和邻苯二酚系的阻聚剂，优选不损害在溶剂中的溶解性及颜料的分散稳定性的氢醌系或邻苯二酚系的化合物，更优选氢醌、叔丁基氢醌、2,5-双(1,1,3,3-四甲基丁基)氢醌、2,5-双(1,1-二甲基丁基)氢醌、邻苯二酚或叔丁基邻苯二酚。
(感光性树脂组合物的制造方法)
本发明的感光性树脂组合物可以使用球磨机、砂磨机、三辊磨机、温和(Mild)分散机、无介质分散机(medialess dispersion machine)等分散机进行制造。想要将通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)均匀地分散时，也可以利用下述方法制造：预先使用分散剂制备使通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)分散至有机溶剂中而成的分散液，并将该分散液与含有单体、聚合物、密合改良剂、表面活性剂及阻聚剂等的溶液混合。对于通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的分散液而言，为了防止表面被覆层受到损害，优选使用温和分散机或无介质分散机使其分散，更优选使用无介质分散机使其分散。通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)的分散液使用例如温和分散机NANO GETTER(注册商标)(AshizawaFinetech(株))或高压湿式无介质微粒化装置NANOMIZER(NANOMIZER(株))等分散机，使通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)分散在有机溶剂中进行制造。
(导电性图案的制造方法)
接下来，针对使用本发明的感光性树脂组合物、利用光刻法来制造导电性图案的方法进行说明。
本发明的导电性图案的制造方法通过具备下述工序的工艺来进行：将本发明的感光性树脂组合物涂布于基板面上的涂布工序；对其进行干燥的预烘烤工序；对其进行曝光及显影而形成图案的工序(曝光工序、显影工序)；及对其进行后烘烤的后烘烤工序。
作为涂布工序中使用的基板，例如可举出硅晶片、陶瓷基板或有机系基板。作为陶瓷基板，例如可举出钠玻璃(soda glass)、无碱玻璃、硼硅酸玻璃或石英玻璃等玻璃基板、氧化铝基板、氮化铝基板或碳化硅基板。作为有机系基板，例如可举出环氧基板、聚醚亚酰胺树脂基板、聚醚酮树脂基板、聚砜系树脂基板、聚酰亚胺膜或聚酯膜。
作为将本发明的感光性树脂组合物涂布在基板面上的方法，例如可举出使用旋涂机、棒涂机、刮刀涂布机、辊涂机、模涂机、压延涂布机或液面弯曲式涂布机进行的涂布、丝网印刷、喷涂或浸涂。
作为预烘烤工序中的干燥方法，例如可举出通过加热板、热风干燥机(烘箱)、减压干燥、真空干燥或红外线照射进行的干燥。
预烘烤的温度及时间可以根据感光性树脂组合物的组成、要干燥的涂布膜的膜厚适当地确定，优选在50～150℃的温度范围内加热10秒～30分钟。
其中，将使用加热板或热风干燥机(烘箱)进行的加热与减压干燥并用，能够在抑制涂布膜含有的树脂的热固化的同时将溶剂干燥除去，故而优选。作为减压干燥所达到的压力，优选10～200Pa，更优选为30～100Pa。
作为曝光工序中使用的光源，例如优选汞灯的j线、i线、h线或g线。
作为显影工序中用于碱性显影液的碱性物质，例如可举出氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、硅酸钠、偏硅酸钠或氨水等无机碱类、乙基胺或正丙基胺等伯胺类、二乙基胺或二正丙基胺等仲胺类、三乙基胺或甲基二乙基胺等叔胺类、四甲基氢氧化铵(TMAH)等四烷基氢氧化铵类、胆碱等季铵盐、三乙醇胺、二乙醇胺、单乙醇胺、二甲基氨基乙醇或二乙基氨基乙醇等醇胺类或吡咯、哌啶、1,8-二氮杂双环[5,4,0]十一碳-7-烯、1,5-二氮杂双环[4,3,0]-5-壬烷或吗啉等环状胺类等有机碱类，也可以向这些碱性显影液中适当地加入乙醇、γ-丁内酯、二甲基甲酰胺或N-甲基-2-吡咯烷酮等水溶性有机溶剂。
另外，为了得到更良好的导电性图案，还优选向这些碱性显影液中进一步添加0.01～1质量％的非离子系表面活性剂等表面活性剂。
作为后烘烤工序中的干燥方法，可举出与预烘烤工序同样的方法。后烘烤的气氛、温度及时间可以根据感光性树脂组合物的组成、要干燥的涂布膜的膜厚而适当地确定，优选在空气中、100～300℃的温度范围内加热5～120分钟。
在基板上以网眼状形成导电性图案时，能够作为触摸面板、液晶或有机EL等显示器面板或可穿戴终端等所具备的透明导电布线使用。
上述导电性图案不透明，因此，若图案的宽度大，则布线会被设备的使用者所看到。因此，导电性图案的宽度优选为5μm以下。
(包含有机成分的膜)
对本发明中使用的包含有机成分的膜进行说明。
作为构成本发明中使用的包含有机成分的膜的成分，优选含有碱溶性树脂。通过具有碱溶性基团，能够与本发明的感光性树脂组合物中的金属螯合性化合物(C)形成络合物。由于金属螯合物(C)与本发明的感光性树脂组合物中的具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)也能形成络合物，因此显影密合性提高。由此，能够在严苛的显影条件下处理，能够减少显影残渣。
包含有机成分的膜中的碱溶性树脂优选具有极性基团。作为极性基团，可举出羟基、羰基、羧基、氨基、硝基、氰基等，从碱显影性的观点考虑，优选羧基。
另外，作为包含有机成分的膜中的碱溶性树脂，从可靠性的观点考虑，优选固化后成为高膜密度的Cardo树脂。此外，优选除了Cardo树脂外还含有丙烯酸聚合物、且Cardo系树脂与丙烯酸聚合物的含量以重量比计为1：10～10：1，更优选为1：8～7：1。
作为包含有机成分的膜中的Cardo系树脂，可优选使用市售品，可举出“WR-301(商品名)”((株)ADEKA制)、“V-259ME(商品名)”(新日铁住金化学(株)制)、“OGSOL CR-TR1(商品名)”、“OGSOL CR-TR2(商品名)”、“OGSOL CR-TR3(商品名)”、“OGSOL CR-TR4(商品名)”、“OGSOL CR-TR5(商品名)”、“OGSOL CR-TR6(商品名)”(以上为Osaka Gas Chemicals(株)制)等。
另外，作为丙烯酸聚合物，例如可使用在侧链具有脂环式骨架的丙烯酸聚合物。
丙烯酸聚合物优选为将含有羧基及/或酸酐基的(甲基)丙烯酸化合物、及(甲基)丙烯酸酯、及/或马来酰亚胺或马来酰亚胺衍生物进行自由基共聚后、与具有烯键式不饱和双键基团的环氧化合物进行加成反应而得到的物质。
自由基聚合的催化剂没有特别限制，通常可使用偶氮二异丁腈等偶氮化合物、过氧化苯甲酰等有机过氧化物等。
具有烯键式不饱和双键基团的环氧化合物的加成反应中使用的催化剂没有特别限制，可使用已知的催化剂，例如可使用二甲基苯胺、2,4,6-三(二甲基氨基甲基)苯酚、二甲基苄胺等氨基系催化剂、2-乙基己酸锡(II)、月桂酸二丁基锡等锡系催化剂、2-乙基己酸钛(IV)等钛系催化剂、三苯基膦等磷系催化剂及乙酰丙酮铬、氯化铬等铬系催化剂等。
作为含有羧基及/或酸酐基的(甲基)丙烯酸化合物，可使用(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸酐、衣康酸、衣康酸酐、琥珀酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、邻苯二甲酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、四氢邻苯二甲酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯等。
作为(甲基)丙烯酸酯，可使用(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸环丙酯、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸环己烯酯、(甲基)丙烯酸4-甲氧基环己酯、(甲基)丙烯酸2-环丙氧基羰基乙酯、(甲基)丙烯酸2-环戊氧基羰基乙酯、(甲基)丙烯酸2-环己氧基羰基乙酯、(甲基)丙烯酸2-环己烯氧基羰基乙酯、(甲基)丙烯酸2-(4-甲氧基环己基)氧基羰基乙酯、(甲基)丙烯酸降冰片酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯、(甲基)丙烯酸四环癸酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基甲酯、(甲基)丙烯酸1-甲基金刚烷酯等。另外，可以将苯乙烯、对甲基苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、α-甲基苯乙烯等芳香族乙烯基化合物与上述(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸酯进行共聚。
作为马来酰亚胺或马来酰亚胺衍生物，例如，可举出马来酰亚胺、N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-正丙基马来酰亚胺、N-异丁基马来酰亚胺、N-正丁基马来酰亚胺、N-叔丁基马来酰亚胺、N-正己基马来酰亚胺、N-十二烷基马来酰亚胺、N-环戊基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-(2,4-二甲基环己基)马来酰亚胺、N-乙烯基马来酰亚胺、N-(甲基)丙烯酰基马来酰亚胺、N-甲氧基甲基马来酰亚胺、N-(2-乙氧基乙基)马来酰亚胺、N-[3-(甲基)丙烯酰氧基丙基]马来酰亚胺、N-甲氧基羰基马来酰亚胺、N-(3-甲氧基羰基丙基)马来酰亚胺、N-(2-羟基乙基)马来酰亚胺、N-(4-羟基正丁基)马来酰亚胺、N-(2-羧基乙基)马来酰亚胺、N-(3-羧基丙基)马来酰亚胺、N-(5-羧基戊基)马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-(4-甲基苯基)马来酰亚胺、N-(3-甲基苯基)马来酰亚胺、N-(2-甲基苯基)马来酰亚胺、N-(2,6-二甲基苯基)马来酰亚胺、N-(2,6-二乙基苯基)马来酰亚胺、N-(4-苯乙烯基)马来酰亚胺、N-(4-甲氧基苯基)马来酰亚胺、N-(3-甲氧基苯基)马来酰亚胺、N-(2-甲氧基苯基)马来酰亚胺、N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺、N-(3-羟基苯基)马来酰亚胺、N-(2-羟基苯基)马来酰亚胺、N-(4-羧基苯基)马来酰亚胺、N-(1-萘基)马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-(2-苯基乙基)马来酰亚胺等。
作为具有烯键式不饱和双键基团的环氧化合物，例如，可举出(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸(α-乙基)缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸(α-正丙基)缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸(α-正丁基)缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸(3,4-环氧基)丁酯、(甲基)丙烯酸(3,4-环氧基)庚酯、(甲基)丙烯酸(3,4-环氧基环己基甲基)酯、(甲基)丙烯酸(α-乙基-6,7-环氧基)庚酯、烯丙基缩水甘油醚、乙烯基缩水甘油醚、2-乙烯基苄基缩水甘油醚、3-乙烯基苄基缩水甘油醚、4-乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-2-乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-3-乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-4-乙烯基苄基缩水甘油醚、2,3-二缩水甘油氧基甲基苯乙烯、2,4-二缩水甘油氧基甲基苯乙烯、2,5-二缩水甘油氧基甲基苯乙烯、2,6-二缩水甘油氧基甲基苯乙烯、2,3,4-三缩水甘油氧基甲基苯乙烯、2,3,5-三缩水甘油氧基甲基苯乙烯、2,3,6-三缩水甘油氧基甲基苯乙烯、3,4,5-三缩水甘油氧基甲基苯乙烯、2,4,6-三缩水甘油氧基甲基苯乙烯等。
丙烯酸聚合物也可以使用通过迈克尔加成(关于羰基，为β位)将多官能(甲基)丙烯酸酯化合物与多巯基化合物进行聚合而得到的物质。
作为多官能(甲基)丙烯酸酯化合物的优选具体例，可举出乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四亚甲基二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性六氢邻苯二甲酸二(甲基)丙烯酸酯、羟基三甲基乙酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性羟基三甲基乙酸酯新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性邻苯二甲酸二(甲基)丙烯酸酯、聚(乙二醇四亚甲基二醇)二(甲基)丙烯酸酯、聚(丙二醇四亚甲基二醇)二(甲基)丙烯酸酯、聚酯(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇-聚丙二醇-聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性双酚A二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、聚硅氧烷二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性磷酸三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、HPA改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷苯甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、三((甲基)丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、烷氧基改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇聚(甲基)丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、双(三羟甲基)丙烷四(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯。这些化合物可以仅单独使用一种，也可以并用两种以上。
作为多巯基化合物，可举出1,2-二巯基乙烷、1,3-二巯基丙烷、1,4-二巯基丁烷、双二巯基乙硫醇(HS-CH2CH2-S-CH2CH2-SH)、三羟甲基丙烷三(巯基乙酸酯)、三羟甲基丙烷三(巯基丙酸酯)、季戊四醇四(巯基乙酸酯)、季戊四醇三(巯基乙酸酯)、季戊四醇四(巯基丙酸酯)、二季戊四醇六(巯基乙酸酯)、二季戊四醇六(巯基丙酸酯)等。这些化合物可以仅单独使用一种，也可以并用两种以上。
实施例
以下，对本发明的实施例进行说明。首先，对实施例及比较例中使用的材料进行说明。
[通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)]
(A-1)表面碳被覆层的平均厚度为1nm、且一次粒径为50nm的银粒子(NisshinEngineering株式会社制)。
[具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)]
(B-1)
向500ml烧瓶中加入2,2’-偶氮二异丁腈2g、PGMEA 50g。然后，加入甲基丙烯酸15.69g、苯乙烯37.45g、甲基丙烯酸二环戊基酯46.86g，于室温搅拌片刻，通过鼓泡将烧瓶内进行充分的氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，向所得的溶液中加入甲基丙烯酸缩水甘油酯10.46g、二甲基苄基胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，得到丙烯酸树脂(B-1)的溶液。向得到的丙烯酸树脂(B-1)的溶液中加入PGMEA使固态成分浓度成为40质量％。丙烯酸树脂(B-1)的重均分子量(Mw)为25,000。
(B-2)
向500ml的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异丁腈2g、PGMEA(丙二醇甲基醚乙酸酯)50g。然后，加入甲基丙烯酸23.26g、甲基丙烯酸苄基酯31.46g、甲基丙烯酸二环戊基酯32.80g，于室温搅拌片刻，通过鼓泡将烧瓶内进行充分的氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，向所得的溶液中加入甲基丙烯酸缩水甘油酯12.69g、二甲基苄基胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，得到丙烯酸树脂(B-2)的溶液。向所得的丙烯酸树脂(B-2)的溶液中加入PGMEA使固态成分浓度成为40质量％。丙烯酸树脂(B-2)的重均分子量(Mw)为24,000。
[金属螯合性化合物(C)]
(C-1)ALCH：乙酰乙酸乙基铝二异丙酯(Kawaken Fine Chemicals(株)制)
(C-2)ALCH-TR：三(乙基乙酰乙酸根)合铝(Kawaken Fine Chemicals(株)制)
(C-3)Alumichelate M：乙酰乙酸烷基酯铝二异丙酯(Kawaken Fine Chemicals(株)制)
(C-4)Alumichelate D：单(乙酰丙酮根)双(乙基乙酰乙酸根)合铝(Kawaken FineChemicals(株)制)
(C-5)Alumichelate A(W)：三(乙酰丙酮根)合铝(Kawaken Fine Chemicals(株)制)
(C-6)ZC-150：四(乙酰丙酮根)合锆(Matsumoto Fine Chemical(株)制)
(C-7)ZC-540：三丁氧基单(乙酰丙酮根)合锆(Matsumoto Fine Chemical(株)制)
(C-8)Neostann U-600：三辛酸铋/三(2-乙基己酸)铋(bismuth tri octoate/2-ethyl hexanoic acid)(日东化成(株)制)
[分散剂]
DISPERBYK(注册商标)21116(BYK-Chemie Japan株式会社制)。
[溶剂]
PGMEA：丙二醇单甲基醚乙酸酯(三协化学(株)制)
DPM：二丙二醇单甲基醚(东邦化学工业(株)制)。
[光聚合引发剂]
NCI-831(注册商标)(肟酯系化合物；ADEKA(株)制)。
[丙烯酸系单体]
Light acrylate(注册商标)PE-3A(共荣社化学(株)制)。
[包含有机成分的膜]
(X-1)
向500ml的烧瓶中加入AIBN 1g、PGMEA 50g。然后，加入甲基丙烯酸38.6g、甲基丙烯酸甲酯16.4g、苯乙烯16.4g，于室温搅拌片刻，通过鼓泡将烧瓶内进行充分地氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，向得到的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯28.6g、二甲基苄胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，得到丙烯酸聚合物的溶液。得到的丙烯酸聚合物的重均分子量(Mw)为29,000。
在黄色灯下，使OXE-02：0.25g、LA-87：0.50g、制成10wt％PGMEA溶液的TBC：0.50g溶解于PGMEA：14.19g、DAA：30.00g中，加入制成10wt％PGMEA溶液的BYK-333：0.30g(相当于浓度300ppm)，进行搅拌。向其中加入制成50wt％PGMEA溶液的TEPIC-VL：6.49g、制成20wt％PGMEA溶液的EG-200：12.49g、DPHA：6.19g、得到的丙烯酸聚合物：9.36g、“V-259ME(商品名)”(新日铁住金化学(株)制)：18.73g、及KBM-403：1.00g，进行搅拌。接着，用0.45μm的过滤器进行过滤，得到组合物(X-1)。
(X-2)
向“SUMIKAEXCEL PES 4100P(商品名)”(住友化学(株)制)10g中添加40g环己酮并搅拌。通过这样的方式得到固态成分浓度为20wt％的组合物(X-2)。
(X-3)
在干燥氮气流下，将2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷(BAHF；中央硝子(株)制)29.3g(0.08摩尔)、1,3-双(3-氨基丙基)四甲基二硅氧烷1.24g(0.005摩尔)、作为封端剂的3-氨基苯酚3.27g(0.03摩尔)溶解于N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)150g中。向其中与50gNMP一同加入3,3’,4,4’-二苯基醚四甲酸二酐(ODPA；MANAC(株)制)31.0g(0.1摩尔)，于20℃搅拌1小时，接着于50℃搅拌4小时。然后，添加15g的二甲苯，使水与二甲苯一同共沸，同时于150℃搅拌5小时。搅拌结束后，将溶液投入水3L中，收集白色沉淀。通过过滤收集该沉淀，用水洗涤3次后，通过80℃的真空干燥机干燥24小时，得到聚酰亚胺聚合物。向该聚酰亚胺聚合物7.5g中添加42.5g的GBL并搅拌。通过这样的方式得到固态成分浓度为15wt％的组合物(X-3)。
(X-4)
在黄色灯下，使“PBG-305(商品名)”(强力电子公司制)：0.25g、“LA-87(商品名)”(ADEKA(株)制)：0.50g、制成10wt％PGMEA溶液的TBC：0.50g溶解于PGMEA：2.24g、DAA：30.00g中，加入制成10wt％PGMEA溶液的BYK-333：0.30g(相当于浓度300ppm)，并进行搅拌。向其中，加入“TAIC(商品名)”(日本化成(株)制)：4.25g、制成10wt％PGMEA溶液的“OGSOLPG-100(商品名)”(Osaka Gas Chemicals(株)制)：24.50g、“OGSOL EA-0250P(商品名)”(Osaka Gas Chemicals(株)制)：1.25g、“M-315(商品名)”(共荣社(株)制)：2.75g、“SIRIUS-501(商品名)”(大阪有机工业(株)制)：3.12g、“V-259ME(商品名)”(新日铁住金化学(株)制)：29.34g、及“KBM-403(商品名)”(信越化学工业(株)制)：1.00g，并进行搅拌。接着，用0.45μm的过滤器进行过滤，得到组合物(X-4)。
[包含有机成分的膜的制作]
(Y-1)
使用旋涂机(MIKASA(株)制“1H-360S(商品名)”)，以650rpm、5秒的条件将组合物(X-1)旋涂于无碱玻璃基板(OA-10G；日本电气硝子株式会社制)上，使用加热板(大日本网屏制造(株)制“SCW-636(商品名)”)，将基板于100℃预烘烤2分钟，得到膜厚为2.5μm的预烘烤膜。使用平行光式掩模对准曝光机(CANON(株)制“PLA-501F(商品名)”)，以超高压汞灯作为光源，隔着期望的掩模对预烘烤膜进行曝光。然后，使用自动显影装置(泷泽产业(株)制“AD-2000(商品名)”)，用0.045wt％氢氧化钾水溶液喷淋显影60秒，接着用水漂洗30秒，进行图案加工。然后，使用烘箱(“IHPS-222”；ESPEC(株)制)，于230℃实施(空气中)后烘烤30分钟，由此制作包含有机成分的膜(Y-1)。
(Y-2)
使用旋涂机(MIKASA(株)制“1H-360S(商品名)”)，以650rpm、5秒的条件将组合物(X-2)旋涂于无碱玻璃基板(OA-10G；日本电气硝子株式会社制)上，使用加热板(大日本网屏制造(株)制“SCW-636(商品名)”)，将基板于100℃预烘烤2分钟，得到膜厚为2.5μm的预烘烤膜，然后，使用烘箱(“IHPS-222”；ESPEC(株)制)，于230℃实施(空气中)后烘烤30分钟，由此制作包含有机成分的膜(Y-2)。
(Y-3)
利用与上述(Y-2)的制作方法同样的步骤，由(X-3)制作(Y-3)。
(Y-4)
利用与上述(Y-1)的制作方法同样的步骤，由(X-4)制作(Y-4)。
[图案加工性评价]
使用无碱玻璃基板(OA-10；日本电气硝子株式会社制)或者涂布有上述(Y-1)～(Y-4)的基板，进行感光性树脂组合物的图案加工性评价。需要说明的是，使预烘烤后的膜厚为2.5μm，曝光时使用敏感度测定用的灰阶掩模。
将显影后以1比1的宽度形成30μm的线与间隙图案的曝光量(以下，将其称为最佳曝光量)作为敏感度，将最佳曝光量下的显影后的最小图案尺寸作为分辨率。
分辨率优选为5μm以下，更优选为2μm以下。
[导电性评价]
使用无碱玻璃基板(OA-10；日本电气硝子株式会社制)或者涂布有上述(Y-1)～(Y-4)的基板，制作体积电阻率评价用导电图案。需要说明的是，使预烘烤后的膜厚为0.6μm，隔着具有长方形透光图案(10mm×15mm)的光掩模进行曝光。
针对得到的体积电阻率评价图案，用表面电阻测定机(三菱油化株式会社制“Loresta(注册商标)-FP”)对表面电阻值ρs(Ω/□进行测定，用表面粗糙度形状测定机((株)东京精密制“Surfcom(注册商标)1400D”)对膜厚t(cm)进行测定，将两值相乘，从而算出体积电阻率(μΩ·cm)。体积电阻率优选小于100μΩ·cm，更优选小于65μΩ·cm。
[基板上残渣评价]
针对形成有上述体积电阻率评价图案的基板的未曝光部分，利用透射率评价对基板上的残渣进行评价。具体而言，针对未曝光部分，使用紫外可见分光光度计((株)岛津制作所制“MultiSpec-1500(商品名)”)，测定膜形成前后的400nm处的透射率。然后，将膜形成前的透射率设为T0、膜形成后的透射率设为T时，算出由式(T0-T)/T0表示的透射率变化。透射率变化优选小于1.0％，更优选小于0.7％。
(实施例1)
首先，使用均化器，对80.00g的通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A-1)、6.25g的DISPERBYK21116、146.25g的PGMEA、150.00g的DPM，以1200rpm实施30分钟混合处理，进而，使用高压湿式无介质微粒化装置NANOMIZER(NANOMIZER(株))进行分散，得到银粒子分散体。针对382.50g的该银微粒分散体，混合10.00g的具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)、0.3g的金属螯合性化合物(C-1)、1.20g的NCI-831、6.00g的PE-3A，向由此得到的物质中添加50.00g的PGMEA、50.00g的DPM并进行搅拌，由此得到感光性树脂组合物1。
使用旋涂机(MIKASA(株)制“1H-360S(商品名)”)，在以300rpm进行10秒、以500rpm进行2秒的条件下，将感光性树脂组合物1旋涂于包含有机成分的膜(Y-1)上，使用加热板(大日本网屏制造(株)制“SCW-636(商品名)”)，将基板于100℃预烘烤2分钟，得到膜厚为1μm的预烘烤膜。使用平行光式掩模对准曝光机(CANON(株)制“PLA-501F(商品名)”)、以超高压汞灯作为光源，隔着期望的掩模对预烘烤膜进行曝光。然后，使用自动显影装置(泷泽产业(株)制“AD-2000(商品名)”)，用0.045wt％氢氧化钾水溶液喷淋显影60秒，接着用水漂洗30秒，进行图案加工。将在曝光、显影后以1比1的宽度形成5μm的线与间隙图案的曝光量(以下记为“最佳曝光量”)作为敏感度。曝光量采用I线照度计进行测定。进而，测定最佳曝光量下的显影后的最小图案尺寸，作为分辨率。
另外，使用旋涂机(MIKASA(株)制“1H-360S(商品名)”)，在以300rpm进行10秒、以500rpm进行2秒的条件，将感光性树脂组合物1另行地旋涂于包含有机成分的膜(Y-1)上，使用加热板(大日本网屏制造(株)制“SCW-636(商品名)”)将基板于100℃预烘烤2分钟，得到膜厚为1μm的预烘烤膜。使用平行光式掩模对准曝光机(CANON(株)制“PLA-501F(商品名)”)、以超高压汞灯作为光源，隔着期望的掩模对预烘烤膜进行曝光。然后，使用自动显影装置(泷泽产业(株)制“AD-2000(商品名)”)，用0.045wt％氢氧化钾水溶液喷淋显影60秒，接着用水漂洗30秒，进行图案加工。然后，使用烘箱(“IHPS-222”；ESPEC(株)制)于230℃实施(空气中)后烘烤30分钟，由此得到体积电阻率评价图案。
针对得到的体积电阻率评价图案，用表面电阻测定机(Loresta(注册商标)-FP；三菱油化株式会社制)对表面电阻值ρs(Ω/□)进行测定，用表面粗糙度形状测定机(Surfcom(注册商标)1400D；株式会社东京精密制)对膜厚t(cm)进行测定，将两值相乘，由此算出体积电阻率(μΩ·cm)。
进而，针对形成有上述体积电阻率评价图案的基板的未曝光部分，利用透射率评价对基板上的残渣进行评价。具体而言，针对未曝光部分，使用分光光度计(U-3410；日立制作所株式会社制)测定膜形成前后的400nm处的透射率。然后，将膜形成前的透射率设为T0、膜形成后的透射率设为T时，算出由式(T0-T)/T0表示的透射率变化。透射率变化小于1％的情况下，可判断为残渣抑制的效果充分。将测得的分辨率及算出的体积电阻率及透射率变化的结果示于表1。
(实施例2～21及比较例1～11)
利用与实施例1同样的方法，得到表1记载的组成的感光性树脂组合物，针对各感光性树脂组合物，在表1～3中记载的基板上进行与实施例1同样的评价。将评价结果示于表1～3。需要说明的是，作为表中的玻璃基板，使用无碱玻璃基板(OA-10G；日本电气硝子株式会社制)。
[表1]
[表2]
[表3]
就实施例1～21而言，由添加金属螯合性化合物带来的残渣抑制的效果充分，并且分辨率为2μm以下。
另一方面，就比较例1～9而言，由于碱溶性树脂不具有酸解离性基团，因此微细图案的形成不充分。就比较例10及11而言，由于未添加金属螯合性化合物，因此残渣抑制的效果不充分。
产业上的可利用性
本发明的感光性树脂组合物可合适地用于在触摸面板、显示器、图像传感器、有机电致发光照明或太阳能电池等中使用的导电性图案的形成。

Claims (22)

1.感光性树脂组合物，其含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合性化合物(C)。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述金属螯合性化合物(C)包含Au、Ag、Cu、Cr、Fe、Co、Ni、Bi、Pb、Zn、Pd、Pt、Al、Ti、Zr、W及/或Mo。
3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述金属螯合性化合物(C)包含Al、Zr及/或Bi。
4.如权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述金属螯合性化合物(C)包含2个以上的配体。
5.如权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述导电性粒子(A)包含银。
6.如权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述导电性粒子(A)的一次粒径为1～700nm。
7.导电性图案的制造方法，其具备下述工序：
涂布工序，将权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上而得到涂布膜；
干燥工序，对所述涂布膜进行干燥而得到干燥膜；
曝光显影工序，对所述干燥膜进行曝光及显影而形成图案；和
后烘烤工序，对所述图案进行后烘烤而得到导电性图案。
8.如权利要求7所述的导电性图案的制造方法，其中，所述导电性图案的宽度为5μm以下。
9.基板，其具备由权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物形成的导电性图案。
10.如权利要求9所述的基板，其至少在包含有机成分的膜上具备导电性图案。
11.如权利要求9或10所述的基板，其从基材侧起至少具备导电性图案、包含有机成分的膜与导电性图案的层叠体。
12.如权利要求10或11所述的基板，其中，所述包含有机成分的膜含有碱溶性树脂。
13.如权利要求12所述的基板，其中，所述包含有机成分的膜中的碱溶性树脂含有极性基团。
14.如权利要求12所述的基板，其中，所述包含有机成分的膜中的碱溶性树脂含有Cardo系树脂。
15.如权利要求14所述的基板，其中，所述包含有机成分的膜中的碱溶性树脂还包含丙烯酸树脂，并且Cardo系树脂与丙烯酸树脂的含量比(重量比)为1：10～10：1。
16.如权利要求10～15中任一项所述的基板，其中，所述包含有机成分的膜含有聚酰亚胺树脂、聚酰亚胺硅氧烷树脂、聚醚砜树脂、聚苯并噁唑树脂、芳族聚酰胺树脂、环氧树脂及/或磺酰胺树脂。
17.如权利要求16所述的基板，其中，所述包含有机成分的膜含有聚酰亚胺树脂、聚酰亚胺硅氧烷树脂、聚苯并噁唑树脂及/或芳族聚酰胺树脂。
18.触摸面板的制造方法，其至少具备下述工序：对将权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上并进行干燥而得到的膜进行曝光、显影。
19.显示器的制造方法，其至少具备对权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物进行显影的工序。
20.图像传感器的制造方法，其至少具备对权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物进行显影的工序。
21.有机电致发光照明的制造方法，其至少具备对权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物进行显影的工序。
22.太阳能电池的制造方法，其至少具备对权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物进行显影的工序。
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