CN109716101A - 用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件(110)。传感器元件(110)包括至少一个载体(114)，其中，在所述载体(114)上施加有至少一个第一电极装置(116)和至少一个第二电极装置(118)，其中，所述第一电极装置(116)和所述第二电极装置(118)分别具有至少一个电极指(112)，其中，所述电极指(112)具有层构造(120)，其中，所述层构造(120)包括至少一个第一金属层(124)和至少一个第二金属层(124)。
Description
背景技术
由现有技术已知用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的多种传感器元件。测量气体例如可以是内燃机的排气。所述颗粒尤其可以是炭黑颗粒或灰尘颗粒。下面在没有另外的实施方式和应用的限制的情况下尤其参照用于探测炭黑颗粒的传感器元件来描述本发明。
在电绝缘载体上可以安装有两个或更多个金属电极。在电压的作用下积聚的微粒、尤其是炭黑颗粒在传感器元件的聚集阶段中形成在例如构型为梳状地相互插入的叉指形电极的电极之间的导电桥并且使这些电极短路。在恢复阶段中，电极通常借助集成的加热元件进行自洁式燃烧。通常，颗粒传感器分析处理电极结构的基于颗粒积聚而改变的电特性。例如可以在施加有稳定电压的情况下测量出减小的电阻或增大的电流。
按照该原则工作的传感器元件通常被称为电阻式传感器，并且存在于多个实施方式中，如由DE 103 19 664 A1、DE 10 2004 0468 82A1、DE 10 2006 042 362 A1、DE 10353 860 A1、DE 101 49 333 A1和WO 2003/006976 A2已知。构型为炭黑传感器的传感器元件通常用于监控柴油机颗粒过滤器。在内燃机的排气管道中，所描述的类型的颗粒传感器通常被接收到保护管中，该保护管同时例如允许以排气流经颗粒传感器。
尽管由现有技术已知的用于感测颗粒的传感器元件具有优点，所述传感器元件仍包含改进潜力。通常，电极结构构型为具有小质量的薄的贵金属层。如可以通过烧损所产生的少量金属的损耗可能导致传感器元件的功能变化和/或失效。颗粒传感器的叉指形电极尤其在聚集和恢复阶段期间承载不同的表面反应并且一般例如在λ传感器的外电极处不能被多孔的、陶瓷的保护层保护。例如由DE10 2008 042 770 A1和DE 103 19 664 A1已知一种能够提升颗粒传感器和其他设备的外电极的抗烧损性的材料和保护层。然而，在传感器元件相对于待感测的颗粒、尤其是炭黑和/或灰尘颗粒具有高敏感性的同时，始终仍存在外电极例如相对于如可能在内燃机的排气管道中出现的高温以及还原和/或氧化条件的稳固性方面的显著的改善潜力。
发明内容
因此，在本发明的框架中，提出一种用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件。在本发明的框架中，传感器元件理解为任意的适用于定性地和/或定量地感测颗粒并且例如可以产生相应于所感测的颗粒的电测量信号、如电压或电流的设备。
传感器元件尤其可以设置成用于机动车中。测量气体尤其可以是机动车的排气。其他气体和气体混合物原则上也是可能的。测量气体室原则上可以是以下任意的、敞开的或闭合的室，在所述室中接收有测量气体和/或所述室由测量气体流经。测量气体室例如可以是内燃机、例如内燃发动机的排气管道。
传感器元件包括至少一个载体，其中，在载体上施加有至少一个第一电极装置和至少一个第二电极装置。第一电极装置和第二电极装置分别具有至少一个电极指。电极指具有层构造，其中，层构造包括至少一个第一金属层和至少一个第二金属层。
在本发明的框架中，载体原则上理解为以下任意的衬底，所述衬底适用于承载第一电极装置和第二电极装置，和/或，第一电极装置和第二电极装置可以被施加到该衬底上。
在本发明的框架中，电极装置原则上理解为以下任意的电导体，所述电导体适用于电流测量和/或电压测量，和/或，所述电导体可以能够以一电压和/或电流加载与电极装置接触的至少一个元件。在本发明的框架中，概念“电极指”原则上理解为电极装置的以下任意的实施方式，该实施方式在一个维度中的尺寸明显地、例如至少以系数2、优选至少以系数3、特别优选至少以系数5大于在至少一个另外的维度中的尺寸。在本发明的框架中，层构造原则上理解为以下任意的构造，该构造包括不同材料的至少两个层。在本发明的框架中，“金属的”意味着，所述结构由纯金属或者由合金或金属陶瓷复合材料制造，其中，所述金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。
传感器元件可以包括至少一种电绝缘材料。载体尤其可以包括电绝缘材料。传感器元件可以包括至少一种陶瓷材料。载体尤其可以包括至少一种陶瓷材料。载体可以具有载体表面。在本发明的框架中，载体表面原则上理解为以下任意的层，该层将载体与该载体的周围环境隔开，并且传感器元件的第一和第二电极装置被施加到该层上。
第一电极装置和第二电极装置可以分别具有至少两个电极指。第一电极装置的所述至少两个电极指和第二电极装置的所述至少两个电极指可以相互插入。第一电极装置的电极指和第二电极装置的电极指尤其可以梳状地相互插入。此外，第一电极装置与第二电极装置可以具有从由鱼骨状结构、锯齿形结构和绕组结构组成的组中选择的结构。
电极指的第二金属层可以完全遮盖电极指的第一金属层。第二金属层尤其可以完全遮盖电极指的第一金属层的背面和侧面。在本发明的框架中，电极指的第一金属层的背面原则上理解为电极指的第一金属层的表面的区域，其中，表面的区域平行于载体表面地走向。在本发明的框架中，表面原则上理解为任意的将对象与该对象的周围环境隔开的层。在本发明的框架中，电极指的第一金属层的侧面理解为电极指的第一金属层的背面与载体表面的连接面。
然而第二金属层也可以仅部分地遮盖第一金属层。第二金属层尤其可以仅部分地这样遮盖第一金属层，使得电极指的第一金属层具有至少一个可暴露给测量气体的、露出的表面。第二金属层尤其可以仅遮盖电极指的第一金属层的背面或侧面。
电极指的横截面轮廓可以是矩形的或梯形的。在本发明的框架中，电极指的横截面轮廓理解为电极指的垂直于电极指的主延伸方向的型廓。横截面轮廓例如可以是垂直于电极指的延伸方向并且垂直于载体表面地布置的截平面的轮廓。
第一金属层可以包括从一个组中选择出的至少一种材料，该组由以下材料组成：纯金属、尤其是从由铂和钯组成的组中选择的纯金属；合金、尤其是包括金属铂和钯中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，所述金属、尤其是从由铂和钯组成的组中选择的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。第二金属层可以包括从一个组中选择出的至少一种材料，该组由以下材料组成：纯金属、尤其是铑、铱或铼；合金、尤其是包括金属铑、铱和铼中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，所述金属、尤其是从由铑、铱和铼组成的组中选择的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。
电极指的第一金属层的宽度b可以处于5μm和150μm之间、优选处于25μm和125μm之间、并且特别优选处于50μm和100μm之间。在本发明的框架中，电极指的第一金属层的宽度b在电极指具有矩形的横截面轮廓的情况下理解为电极指的第一金属层在平行于载体表面并且垂直于电极指的主延伸方向的空间维度中的延展尺度。在本发明的框架中，电极指的第一金属层的宽度b在电极指具有梯形的横截面轮廓的情况下理解为两个尺寸e和g的和。在此，e是电极指的第一金属层的背面在平行于载体表面并且垂直于电极指的主延伸方向走向的空间维度中的延展尺度。在此，g是两个尺寸f和e的差的一半。在此，f是电极指的第一金属层的层接触面在平行于载体表面并且垂直于电极指的主延伸方向的空间维度中的延展尺度。在本发明的框架中，层接触面原则上理解为电极指的第一金属层的表面的接触载体表面的区域。尤其在电极指具有梯形的横截面轮廓的情况下，尺寸f可以大于尺寸e。宽度b通常例如可以是第一金属层在一半高度处的宽度，例如所谓的FWHM。在这里，在德语中常用的缩写FWHF代表英文表述“full width at half maximum”，即代表在最大高度的一半处的整个宽度。
电极指的宽度B可以处于5μm和150μm之间、优选处于25μm和125μm之间、并且特别优选处于50μm和110μm之间。在本发明的框架中，电极指的宽度B在电极指具有矩形的横截面轮廓的情况下理解为电极指在平行于载体表面并且垂直于电极指的主延伸方向的空间维度中的延展尺度。在本发明的框架中，电极指的宽度B在电极指具有梯形的横截面轮廓的情况下理解为两个尺寸h和i的和。在此，h是电极指的背面在平行于载体表面并且垂直于电极指的主延伸方向走向的空间维度中的延展尺度。在此，i是两个尺寸k和h的差的一半。在此，k是电极指的电极指接触面在平行于载体表面并且垂直于电极指的主延伸方向的空间维度中的延展尺度。在本发明的框架中，电极指接触面原则上理解为电极指的第一金属层的表面的接触载体表面的区域。电极指的第二金属层的表面的区域也接触载体表面，那么电极指接触面也包括电极指的第二金属层的该区域。尺寸k尤其可以在电极指具有梯形的横截面轮廓的情况下大于尺寸h。宽度B通常例如可以是电极指在一半高度处的宽度，例如所谓的FWHM。
电极指的厚度可以处于0.1μm和50μm之间、优选处于1μm和30μm之间、并且特别优选处于2μm和20μm之间。在本发明的框架中，对象的厚度原则上理解为对象的垂直于载体表面延伸的尺寸。第一金属层的厚度可以处于0.1μm和50μm之间、优选处于1μm和25μm之间、并且特别优选处于1.5μm和20μm之间。第二金属层的厚度可以处于0.01μm和15μm之间、优选处于0.05μm和10μm之间、并且特别优选处于0.5μm和5μm之间。电极指的厚度与电极指的宽度B的商可以处于0.03和0.6之间、优选处于0.05和0.5之间、并且特别优选处于0.2和0.4之间。
下面描述根据本发明的传感器元件在第一金属层和第二金属层的材料方面和在第一金属层和第二金属层的厚度方面的优选实施例。然而第一金属层与第二金属层的任意其他组合原则上也是可能的，其中，第一金属层和第二金属层分别具有从上面关于第一金属层和第二金属层限定的材料组中选择的材料。在优选的实施例中，传感器元件的第一金属层可以包括铂陶瓷复合材料，并且第二金属层可以包括铱。在该实施例中，包括铱的第二层例如可以具有0.1μm至0.5μm的厚度。此外，传感器元件的第一金属层包括铂陶瓷复合材料，并且第二金属层可以包括铑。在该实施例中，包括铑的第二层例如可以具有0.1μm至0.5μm的厚度。第二金属层尤其可以具有均匀的厚度。此外，传感器元件的第一金属层包括铂陶瓷复合材料，并且传感器元件的第二金属层可以包括铼。在该实施例中，包括铼的第二层例如可以具有0.1μm至0.9μm的厚度。在另一实施选择方案中，传感器元件的第一金属层可以包括纯铂，并且传感器元件的第二金属层可以包括铱。在该实施例中，包括铂的第一层例如可以具有0.5μm至3.0μm的厚度。此外，第一金属层可以包括钯，并且第二金属层可以包括铑。
传感器元件尤其可以构型为炭黑颗粒传感器。此外，传感器元件可以接收在至少一个保护管中。
在本发明的另一方面中，提出一种用于制造用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件的方法，所述方法包括以下步骤(优选以指明的顺序)。另外的顺序原则上也是可能的。此外，所述方法步骤中的一个或多个或所有方法步骤也可以重复地实施。此外，所述方法步骤中的两个或更多个方法步骤也可以在时间上完全或部分重叠地实施或者同时实施。除了所提到的方法步骤之外附加地，所述方法也可以包括另外的方法步骤。
所述方法步骤是：
a)提供至少一个载体；
b)将至少一个第一电极装置和至少一个第二电极装置施加到所述至少一个载体上，其中，第一电极装置和第二电极装置分别具有至少一个电极指，其中，电极指具有层构造，其中，层构造具有至少一个第一金属层和至少一个第二金属层。
所述方法尤其可以用于制造根据本发明、即根据上面提到的实施方式或根据下面还要详细描述的实施方式的传感器元件。与此相应地，针对定义和可选的构型可以在很大程度上参见对传感器元件的描述。然而其他构型原则上也是可能的。
所述方法的步骤b)尤其可以包括下面的分步骤：
b1)施加第一金属层；和
b2)将第二金属层施加到第一金属层上。
此外，所述方法的步骤b)可以包括下面的分步骤：
b3)焙烧第二金属层。
此外，可以在步骤b1)和b2)中使用不同的涂覆方法以施加第一和第二金属层。在步骤b1)中，第一金属层的施加例如可以包括丝网印刷方法。此外，在可以包括丝网印刷方法的步骤b1)之后可以紧接着烧结过程。
此外，在步骤b2)中，第二金属层的施加可以通过从由电化学或电镀沉积和无电流沉积组成的组中选择出的方法实现。此外，在步骤b1)中，第一金属层作为平面层的施加可以通过喷镀或通过蒸镀实现。第一金属层作为平面层的施加尤其可以通过喷镀或通过蒸镀实现，其中，第一金属层具有纯铂和/或纯钯。此外，在步骤b2)中，除了上面已经提到的一个或多个方法之外替代地或附加地，第二金属层作为平面层的施加可以通过喷镀或通过蒸镀实现。第二金属层作为平面层的施加尤其可以通过喷镀或蒸镀实现，其中，第二金属层具有铱和/或铼。在本发明的框架中，平面层理解为遮盖载体表面的至少一个区域的层，在该区域上施加有第一和第二电极装置的电极指。
第一金属层和/或第二金属层变为第一和/或第二电极装置的结构化例如可以在沉积之前、期间或之后进行。之后的结构化例如可以借助于激光结构化进行。此外，可以在步骤b1)之后进行第一金属层的光刻结构化。平面施加的、包括钯的第一金属层尤其可以通过光刻过程、例如光刻还原来结构化。钯晶种尤其可以通过钯前体的光照、尤其通过在掩膜下的光照来产生。光刻结构化的第一金属层、例如包括钯的、光刻结构化的第一金属层可以借助电镀沉积来强化。然后，在步骤b2)中例如可以通过电镀沉积和/或无电流沉积来施加第二金属层。在步骤b2)中尤其可以通过电镀沉积和/或无电流沉积将第二金属层、例如包括铑的第二金属层施加到包括钯的、光刻结构化的、通过电镀沉积强化的第一金属层上。
载体在步骤a)中可以作为载体薄膜来提供。载体薄膜可以包括至少一种陶瓷材料。
相对于已知的设备和方法，所提出的设备和所提出的方法具有大量优点。传感器元件的电极装置的高稳固性、尤其是外电极的高稳固性尤其是高品质的传感器元件、尤其是颗粒传感器、例如炭黑颗粒传感器的主要的关键特征。在本发明的框架中，电极装置可以通过层构造尤其这样构型为多层的叉指形电极，使得第一金属层、尤其引导结构可以由第二金属层、尤其是稳固的和抗烧损的遮盖层保护。
此外，层构造、尤其是层设计可以以有利的方式将针对第一金属层优化的施加方法和针对第一金属层优化的材料选择与针对第二金属层优化的施加方法和针对第二金属层优化的材料选择进行组合。尤其可能的是，通过本发明满足对电极装置的特性、尤其是第一和/或第二电极装置的特性的相反要求。
这样例如可能的是，将尤其可以具有传感器元件的高探测敏感性和/或高精度的尽可能精细的电极结构与尽可能高的稳固性、尤其是排气适用性和/或抗烧损性和/或抗老化性进行结合。
此外可能的是，例如通过金属选择和/或通过施加方法在关于在载体上、尤其在陶瓷载体上的精细结构化方面优化第一金属层，和/或，在抗烧损性、尤其在温度直至1250℃的情况下在氧化和/或还原的排气中的抗氧化性方面优化第二金属层。此外，第一金属层尤其可以这样选择，使得所述第一金属层具有在载体上、尤其在陶瓷载体上的尽可能好的粘附特性。此外，第二金属层尤其可以这样选择，使得所述第二金属层具有合适的催化特性、尤其是关于在恢复期间的炭黑氧化方面的合适的催化特性。
附图说明
本发明的其他可选的细节和特征有下面对附图中示意性示出的优选实施例的说明得出。
附图示出：
图1本发明的传感器元件的实施方式，其中，以俯视图示出传感器元件；和
图2至7两个用于制造传感器元件的根据本发明的方法的方法步骤，其中，以横截面视图示出不同的电极指和不同的中间产品。
具体实施方式
图1以横截面视图示出用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的根据本发明的传感器元件110的实施方式。图2至7示出两个用于制造传感器元件110的根据本发明的方法的方法步骤。图3和4示出具有矩形横截面轮廓的电极指112的两个不同的实施方式的横截面视图。图6和7示出具有梯形横截面轮廓的电极指112的两个不同的实施方式的横截面视图。图2和5同样以横截面视图示出两个中间产品。下面一起阐释这些图。
传感器元件110尤其可以设置成使用在机动车中。测量气体尤其可以是机动车的排气。传感器元件110尤其可以包括一个或多个在图中未示出的另外的功能元件，如电极、电极引线和触点、多个层、加热元件、电化学电池或例如在上面提到的现有技术中示出的其他元件。此外，传感器元件110例如可以被接收在同样未示出的保护管中。
传感器元件110包括至少一个载体114，其中，在载体上施加有至少一个第一电极装置116和至少一个第二电极装置118。第一电极装置116和第二电极装置118分别具有至少一个电极指112。电极指112具有层构造120，其中，层构造120包括至少一个第一金属层122和至少一个第二金属层124。
图1示出根据本发明的传感器元件110。传感器元件110可以包括至少一种陶瓷材料。载体114尤其可以包括至少一种陶瓷材料。此外，载体114可以包括至少一种电绝缘材料。载体114可以具有载体表面126。
第一电极装置116和第二电极装置118可以分别具有两个或分别具有超过两个的电极指112，如图1所示。如在图1中示出，第一电极装置116的电极指112和第二电极装置118的电极指112相互插入。但第一电极装置116也可以与第二电极装置118一起具有另外的结构。第一电极装置116与第二电极装置118尤其可以具有从以下组中选择的结构，所述组由梳状结构、鱼骨状结构、锯齿形结构和绕组结构。
图2和5以横截面视图示出电极指112的第一金属层122的两个不同实施方式。图3、4、6和7同样以横截面视图示出电极指112的层构造120。电极指112的横截面轮廓可以是矩形的，如在图3和4中示出的那样。但是所述横截面轮廓也可以是梯形的，如在图6和7中示出的那样。层构造120包括至少一个第一金属层122和至少一个第二金属层124。电极指112的第二金属层124可以完全遮盖电极指112的第一金属层122，如在图3和6中示出的那样。电极指112的第二金属层124尤其可以遮盖电极指112的第一金属层122的背面128和侧面130，如在图3和6中示出的那样。
然而电极指112的第二金属层124也可以仅部分地遮盖电极指112的第一金属层122。第二金属层124例如可以仅遮盖电极指112的第一金属层116的背面128，如在图4和7的实施例中示出的那样。
第一金属层122可以包括从一个组中选择的至少一种材料，所述组由以下材料组成：纯金属，尤其是从由铂和钯组成的组中选择的纯金属；合金，尤其是包括金属铂和/或钯中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，所述金属、尤其是从由铂和钯组成的组中选择的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。第二金属层124可以包括从一个组中选择的至少一种材料，所述组由以下材料组成：纯金属，尤其是铑、铱或铼；合金，尤其是包括金属铑、铱或铼中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，所述金属、尤其是从由铑、铱和铼组成的组中选择的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。
电极指的宽度B可以处于5μm和150μm之间、优选处于25μm和125μm之间、并且特别优选处于50μm和110μm之间。电极指112的第一金属层122的宽度b可以处于5μm和150μm之间、优选处于25μm和125μm之间、并且特别优选处于50μm和100μm之间。电极指112的厚度可以处于0.1μm和50μm之间、优选处于1μm和30μm之间、并且特别优选处于2μm和20μm之间。第一金属层122的厚度d可以处于0.1μm和50μm之间、优选处于1μm和25μm之间、并且特别优选处于1.5μm和20μm之间。第二金属层124的厚度可以处于0.01μm和15μm之间、优选处于0.05μm和10μm之间、并且特别优选处于0.5μm和5μm之间。电极指112的厚度与电极指112的宽度B的商可以处于0.03和0.6之间、优选处于0.05和0.5之间、并且特别优选处于0.2和0.4之间。
在本发明的另一方面，提出一种用于制造用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件110的方法。图2和5以第一金属层122的两个实施变型方案的形式示出用于制造传感器元件110的方法的中间产品。所述方法可以包括第一金属层122的施加。此外，所述方法可以包括将第二金属层124施加到第一金属层122上。尤其可以使用不同的方法用于施加第一金属层122并且用于施加第二金属层124。第一金属层122的施加例如可以包括丝网印刷方法。第二金属层124的施加例如可以通过从一个组中选择的方法实现，所述组由电镀沉积和无电流沉积组成。
Claims (11)
1.用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件(110)，其中，所述传感器元件(110)包括至少一个载体(114)，其中，在所述载体(114)上施加有至少一个第一电极装置(116)和至少一个第二电极装置(118)，其中，所述第一电极装置(116)和所述第二电极装置(118)分别具有至少一个电极指(112)，其中，所述电极指(112)具有层构造(120)，其中，所述层构造(120)包括至少一个第一金属层(124)和至少一个第二金属层(124)。
2.根据前述权利要求所述的传感器元件(110)，其中，所述第一电极装置(116)和所述第二电极装置(118)分别具有至少两个电极指(112)。
3.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第一金属层(122)包括从一个组中选择出的至少一种材料，该组由以下材料组成：纯金属，尤其是从由铂和钯组成的组中选择出的纯金属；合金，尤其是包括金属铂和/或钯中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，金属、尤其是从由铂和钯组成的组中选择出的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。
4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第二金属层(124)包括从一个组中选择出的至少一种材料，该组由以下材料组成：纯金属，尤其是铑、铱或铼；合金，尤其是包括金属铑、铱或铼中的至少一种金属的合金；金属陶瓷复合材料，其中，金属、尤其是从由铑、铱和铼组成的组中选择出的金属在所述金属陶瓷复合材料中所占质量含量超过50％。
5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第一金属层(122)的厚度处于0.1μm至50μm的范围内。
6.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述第二金属层(124)的厚度处于0.01μm至15μm的范围内。
7.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件(110)，其中，所述电极指(112)的厚度与所述电极指(112)的宽度的商处于0.03至0.6的范围内。
8.用于制造用于感测在测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件(110)的方法，其中，所述方法包括以下步骤：
a)提供至少一个载体(114)；
b)将至少一个第一电极装置(116)和至少一个第二电极装置(118)施加到所述至少一个载体(114)上，其中，所述第一电极装置(116)和所述第二电极装置(118)分别具有至少一个电极指(112)，其中，所述电极指(112)具有层构造(120)，其中，所述层构造(120)具有至少一个第一金属层(122)和至少一个第二金属层(124)。
9.根据前一权利要求所述的方法，其中，步骤b)包括下面的分步骤：
b1)施加第一金属层(122)；和
b2)将第二金属层(124)施加到所述第一金属层(122)上。
10.根据前一权利要求所述的方法，其中，步骤b)还包括下面的分步骤：
b3)焙烧所述第二金属层(124)。
11.根据前面两个权利要求中任一项所述的方法，其中，在步骤b1)和b2)中使用不同的涂覆方法以施加所述第一金属层(122)和所述第二金属层(124)。
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