CN109689221A - 液体涂布单元及液体涂布装置 - Google Patents

Abstract

提供液体涂布单元和液体涂布装置，与现有的液体涂布单元和液体涂布装置相比，能抑制多次连续地涂布高粘度的液体材料时的涂布量的变化。液体涂布单元包括涂布针(1)、储存液体材料(L)的液体材料容器(5)、使涂布针(1)相对于液体材料容器(5)升降的驱动部。在液体材料容器(5)中，形成有用于储存液体材料(L)的空间(50)、用于供涂布针(1)插通空间(50)的第一孔(51)和第二孔(52)。第一孔(51)形成于比空间(50)更靠重力方向下方的位置。第二孔(52)隔着空间(50)而形成于与第一孔(51)相反一侧。液体材料容器(5)包括防水层(9)，所述防水层(9)形成为从第一孔(51)的内周面上延伸至液体材料容器(5)的外周面中围住第一孔(51)的部分区域上。

Description

液体涂布单元及液体涂布装置

技术领域

本发明涉及一种液体涂布单元及液体涂布装置，涉及用于使用涂布针将液体材料涂布于对象物的液体涂布单元及液体涂布装置。

背景技术

通过印刷(涂布)方式形成RFID标签等细微电路的印刷电子技术获得了急速发展。在印刷电子技术中，使用涂布针的方式也能使用大范围粘度的材料来进行细微涂布，这也是选择之一。

作为使用涂布针进行细微涂布的方法，存在使用日本专利特开2015-112576号公报(专利文献1)中记载的那样的涂布单元进行的方法。在上述涂布单元中，液体材料收容于液体材料容器。在液体材料容器中，在相对于收容液体材料的内部空间的上方和下方，形成有将该内部空间和外部连接且能供涂布针插通的两个孔。

上述涂布单元设置成能在第一状态和第二状态之间切换，上述第一状态是涂布针的针尖在液体材料容器内浸渍于液体材料的状态即涂布针仅插通上方的孔的状态，上述第二状态是涂布针的针尖从液体材料容器向下方突出而能将液体材料涂布于对象物的状态即涂布针插通上方和下方的两个孔的状态。上述涂布单元也能对包含金属粉末的高粘度的液体材料进行涂布。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015-112576号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，若使用现有的涂布单元多次连续地涂布上述那样的高粘度的液体材料，即连续地增加上述状态的切换次数，则在液体材料容器的外周面(下表面)，在位于上述下方的孔的周围的环状区域上以及上述下方的孔的下方，会发生液体材料的积存。

例如，附着于涂布针的液体材料的一部分附着于上述环状区域，在上述环状区域上和被环状区域围住的上述下方的孔的下方，液体材料润湿扩散。此外，储存于液体材料容器的液体材料的一部分沿着上述下方的孔的内周面而向液体材料容器的上述环状区域流出，润湿扩散。其结果是，发生上述液体材料的积存。

在上述涂布单元中，上述那样的液体材料的积存能成为向涂布针的液体材料的供给源。涂布针例如从第一状态切换为第二状态时，浸入上述那样的液体材料的积存。因此，附着于第二状态下的涂布针的液体材料的量随着上述液体材料的积存量而改变。其结果是，存在当多次连续地进行涂布时，涂布于对象物的液体材料的量会随着涂布次数而改变这样的技术问题。

本发明为解决上述技术问题而作。本发明的主要目的在于，提供一种液体涂布单元和液体涂布装置，与现有的液体涂布单元和液体涂布装置相比，能抑制多次连续地涂布高粘度的液体材料时的涂布量的变化。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的液体涂布单元是用于使用涂布针将液体材料涂布于对象物的表面的液体涂布单元，包括涂布针、储存液体材料的液体材料容器、使涂布针相对于液体材料容器升降的驱动部。在液体材料容器中，形成有用于储存液体材料的空间、用于供涂布针插通空间的第一孔和第二孔。第一孔形成于比空间更靠重力方向下方的位置。第二孔隔着空间而形成于与第一孔相反一侧。液体材料容器包括防水层，上述防水层形成为至少从第一孔的内周面上延伸至液体材料容器的外周面中围住第一孔的部分区域上。

发明效果

根据本发明，能提供液体涂布单元和液体涂布装置，与现有的液体涂布单元和液体涂布装置相比，抑制多次连续地涂布高粘度的液体材料时的涂布量的变化。

附图说明

图1是表示实施方式的液体涂布单元的侧视图。

图2是表示实施方式的液体涂布单元的主视图。

图3是表示实施方式的液体涂布单元的液体材料容器的局部剖视图。

图4是图3中的区域IV的局部放大图。

图5是从下方观察本实施方式的液体涂布单元的液体材料容器的俯视图。

图6是表示本实施方式的液体涂布单元的液体材料容器的局部剖视图。

图7是表示本实施方式的液体涂布装置的整体结构的立体图。

图8是表示本实施方式的液体涂布单元的液体材料容器的变形例的局部剖视图。

图9是表示本实施方式的液体涂布单元的液体材料容器的又一变形例的局部剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。另外，在以下附图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并不重复其说明。

[液体涂布单元的结构]

参照图1～图6，本实施方式的液体涂布单元100是用于使用涂布针1向作为对象物的基板140(参照图3)的表面涂布液体材料的装置。液体涂布单元100主要包括涂布针1、伺服电动机2、底座部3、液体材料容器5及容器保持部4。

涂布针1具有一端和另一端(图3和图6所示的针尖1E)。涂布针1的针尖1E可以具有任意形状，例如可以具有圆锥形状。涂布针1的具有一端的部分(图3和图6所示的部分1B)的外径比涂布针的具有另一端的部分(图3和图6所示的部分1A)的外径大。涂布针1的一端与后述的从动构件7(涂布针保持件11、涂布针保持件收容部12、涂布针保持件固定部13、凸轮连结部15及轴承16)连接。

涂布针1设置成通过伺服电动机2能和从动构件7一起沿重力方向移动。液体涂布单元100通过伺服电动机2驱动，从而能在第一状态和第二状态之间改变，上述第一状态是涂布针1的针尖1E收容于后述的液体材料容器5内的状态，上述第二状态是涂布针1的针尖1E能与基板140的表面接触的状态。重力方向是例如沿涂布针1的轴向的方向，例如重力方向(图1中的Z轴方向)。图1和图2表示处于上述第一状态的液体涂布单元100。

具体而言，液体涂布单元100设置成通过凸轮构件6和从动构件7，能将伺服电动机2的旋转运动转换为涂布针1的重力方向上的运动(上下运动)。伺服电动机2具有旋转部21，上述旋转部21设置成能以沿重力方向的轴为中心旋转。在旋转部21连接有凸轮构件6。凸轮构件6能以伺服电动机2的旋转轴为中心旋转。凸轮构件6的上部表面(伺服电动机2侧的表面)是凸轮面6A。凸轮面6A与从动构件7的轴承16的外圈的外周面接触。

底座部3保持有涂布针1、从动构件7、伺服电动机2及容器保持部4。底座部3包括引导部33，上述引导部33对从动构件的向重力方向的移动进行引导、限制向重力方向之外的方向的移动。容器保持部4与底座部3的位于最下方的部分连接。

容器保持部4保持有液体材料容器5。容器保持部4例如包括磁体，利用该磁体产生的磁力对液体材料容器5进行保持。

在液体材料容器5的内部，形成有用于储存液体材料L(参照图3)的空间50。如图3和图6所示，在液体材料容器5的底部，形成有连接上述空间50的下方端部和外部的第一孔51。在液体材料容器5的上部，形成有连接上述空间50的上方端部和外部的第二孔52。第一孔51和第二孔52的形状可以是任意形状，例如是圆形。第一孔51和第二孔52设置成在重力方向上重合。第一孔51的孔轴和第二孔52的孔轴设置成例如在重力方向上重合。第一孔51的内周面形成为例如沿重力方向延伸。另外，空间50例如形成于连接第一孔51和第二孔52的第三孔53的内部。图3表示处于上述第一状态的液体涂布单元100的涂布针1和液体材料容器5。图6表示处于上述第二状态的液体涂布单元100的涂布针1和液体材料容器5。如图3和图4所示，液体材料容器5包括在其外周面上形成为围住第一孔51的周围的壁部54和比壁部54更向下方突出的凸部55。从重力方向的下方俯视观察液体材料容器5时，壁部54和凸部55分别设置成例如以第一孔51的孔轴为中心的环状。另外，在图4中，液体材料L未图示。

如图3和图4所示，上述俯视观察的壁部54的内周端部与第一孔51的下端连接。上述俯视观察的壁部54的外周端部与凸部55的上端(根部)连接。作为与作为对象物的基板140的表面相对的下表面，壁部54具有第一面54A和第二面54B。第一面54A形成为例如沿与重力方向和水平方向交叉的方向延伸。第二面54B形成为例如沿水平方向延伸。在壁部54中与第一孔51的下端连接的内周部分例如具有第一面54A。在壁部54中与凸部55连接的外周部分例如具有第二面54B。壁部54的第一面54A相对于第一孔51的孔轴形成的角度中的小的角度例如为大于0度小于90度，例如为30度以上60度以下。以第一孔51的孔轴为中心轴的径向上的第一面54A的宽度例如为0.05mm以上1mm以下，例如为0.2mm左右。上述径向上的第二面54B的宽度例如为0.05mm以上1mm以下，例如为0.2mm左右。

如图3和图4所示，上述俯视观察的凸部55的内周端部与壁部54的上述外周端部连接。凸部55形成为围住壁部54的周围。凸部55具有例如沿水平方向延伸的顶面55T和沿重力方向延伸的侧面55S。顶面55T的内周端部与侧面55S的下端连接。顶面55T是例如位于液体材料容器5的外周面的最下方的面。侧面55S例如比与顶面55T连接的另一侧面更靠近第一孔51的孔轴。侧面55S的上端与壁部54的上述第二面的外周端部连接。也就是说，壁部54的第一面54A、第二面54B、凸部55的侧面55S及顶面55T在以第一孔51的孔轴为中心轴的径向上，依次连接。壁部54的第一面54A、第二面54B、凸部55的侧面55S及顶面55T分别也可以是曲面，但例如是平面。相对于壁部54的第二面54B的、凸部55的高度例如为0.05mm以上1mm以下，例如为0.1mm左右。以第一孔51的孔轴为中心轴的径向上的凸部55的宽度例如为0.05mm以上1mm以下，例如为0.1mm左右。

液体材料容器5包括防水层9，上述防水层9形成为从第一孔51的内周面上延伸至液体材料容器5的外周面中的围住第一孔51的部分区域上。上述部分区域包括壁部54的上述第一面54A和第二面54B以及凸部55的上述侧面55S和上述顶面55T。也就是说，防水层9形成为覆盖第一孔51的内周面、壁部54的第一面54A、第二面54B、上述凸部55的侧面55S及顶面55T上。防水层9具有比液体材料容器5高的防水性。构成防水层9的材料只要是具有比构成液体材料容器5的材料更好的防水性的任意材料即可，例如是氟类树脂。防水层9与水的接触角比0°大。较为理想的是，防水层9与水的接触角为45°以上。

防水层9由任意方法成膜得到，例如由氟类树脂涂覆材料在液体材料容器5的外周面和内周面上局部地成膜从而形成。例如，首先，在液体材料容器5的外周面和内周面上，仅应形成防水层9的区域开口，形成覆盖其它区域的屏蔽膜。接着，在液体材料容器5的外周面和内周面的整个表面上使氟类树脂涂覆材料成膜。接着，将屏蔽膜从液体材料容器5的外周面和内周面剥离、去除，从而去除在上述屏蔽膜上成膜的涂覆层。这样，形成防水层9。另外，防水层9的成膜例如也可以利用等离子处理法来进行，在上述情况下，作为工艺气体，例如使用含氟气体。

液体材料容器5设置成，例如在液体涂布单元100处于第一状态时，储存于液体材料容器5的液体材料L的下表面与形成于壁部54的第一面54A上的防水层9接触。

第一孔51的孔径为涂布针1的部分1A的外径以上且小于部分1B的外径。第二孔52的孔径例如大于涂布针1的部分1B的外径。藉此，涂布针1的部分1A可以插通第一孔51。涂布针1的部分1B可以插通第二孔52，但不能插通第一孔51。

从动构件7包括涂布针保持件11、涂布针保持件收容部12、涂布针保持件固定部13、凸轮连结部15及轴承16。通过引导部33限制从动构件7向重力方向之外的方向的移动例如向上述交叉方向的移动。在比后述的容器保持部4更靠重力方向的上方，通过引导部33限制从动构件向重力方向之外的方向的移动，例如向上述交叉方向的移动。

如上所述，涂布针保持件11对涂布针1进行保持。涂布针保持件11以能装拆的方式收容于涂布针保持件收容部12。涂布针保持件收容部12固定于涂布针保持件固定部13。凸轮连结部15与涂布针保持件固定部13和轴承16的内圈(未图示)固定。轴承16的内圈固定于例如凸轮连结部15中比与涂布针保持件固定部13连接的部分更靠重力方向上方位置的部分。轴承16的外圈以能滑动的方式与凸轮构件6(详细见后述)连接。轴承16的外圈的外周面是与凸轮面6A接触并能滑动的滑动面。

凸轮面6A沿着中心部的外周形成为圆环状，并以距凸轮构件6的下部表面(涂布针1侧的表面)的距离发生变动的方式形成为斜坡状。例如，凸轮面6A包括：上端扁平区域，该上端扁平区域的距凸轮构件6的下部表面的距离最大；下端扁平区域，该下端扁平区域被配置成与上端扁平区域隔着间隔，距凸轮构件6的下部表面的距离最小；以及斜坡部，该斜坡部将上端扁平区域和下端扁平区域之间连接。上端部扁平区域在图1和图2中是与轴承16的外周面接触的区域。

张力施加部8包括第一部81、第二部82及弹性部83。弹性部83具有一端和另一端。弹性部83的一端固定于第一部81，弹性部83的另一端固定于第二部82。第一部81固定于底座部3。第二部82在比第一部81更靠上方固定于涂布针保持件固定部13。

弹性部83设置成在一端与另一端之间可以弹性变形。弹性部83是例如弹簧构件。弹性部83设置成当处于上述第一状态和上述第二状态时，能将朝向重力方向下方的力向从动构件施加。弹性部83产生的上述力经由第二部82、涂布针保持件固定部13及凸轮连结部15作用于轴承16。张力施加部8设置成在处于第一状态和第二状态中的任一个状态的情况下，都能维持将轴承16按压于凸轮构件6的凸轮面6A的状态。第一部81和第二部82之间的重力方向上的距离设置成能通过调节部84改变。调节部84设置成能改变由弹性部83向轴承16施加的力的大小。

[液体涂布装置的结构]

本实施方式的液体涂布装置200包括上述液体涂布单元100。液体涂布装置200包括液体涂布单元100、观察光学系统110、与观察光学系统110连接的CCD摄像头111、Z轴工作台120、X轴工作台121、Y轴工作台122、基台123及控制部130。

观察光学系统110是用于对涂布对象的基板140的涂布位置进行观察而设置的。观察光学系统110的CCD摄像头111将观察到的图像转换为电信号。液体涂布单元100和观察光学系统110装设于Z轴工作台120的移动体。藉此，液体涂布单元100和观察光学系统110由Z轴工作台120支承成能在图7中的Z轴方向上移动。Z轴工作台120装设于X轴工作台121的移动体。藉此，Z轴工作台120由X轴工作台121支承成能在图7中的X轴方向移动。涂布对象的基板140载置于Y轴工作台122的移动体。藉此，涂布对象的基板140由Y轴工作台122支承成能在图7中的Y轴方向移动。Y轴工作台122设置于基台123的上表面。Y轴工作台122设置成能装设作为对象物的基板140。Y轴工作台122设置成能在Y轴方向上移动。另外，图7中的Z轴方向是沿重力方向的方向。

控制部130包括操作面板131、显示器132及控制用计算机133。控制部130控制液体涂布单元100、观察光学系统110、Z轴工作台120、X轴工作台121及Y轴工作台122。操作面板131用于向控制用计算机133输入指令。显示器132显示由观察光学系统110的CCD摄像头111转换来的图像数据以及来自控制用计算机133的输出数据。

[液体涂布方法]

接着，对使用液体涂布装置200的液体涂布方法进行说明。在液体涂布方法中，首先，移动X轴工作台121、Y轴工作台122及Z轴工作台120，以使涂布对象物即基板140的涂布位置中的第一涂布位置位于观察光学系统110的正下方。通过观察光学系统110的观察，决定基板140的涂布位置。通过X轴工作台121、Y轴工作台122及Z轴工作台120来移动基板140，以使上述那样决定的涂布位置到达液体涂布单元100的正下方。此时的液体涂布单元100处于上述第一状态。接着，在决定的涂布位置，使液体涂布单元100处于上述第二状态，从而将液体材料涂布于基板140的上述涂布位置。然后，液体涂布单元100再次处于第一状态。此外，通过X轴工作台121、Y轴工作台122及Z轴工作台120来移动基板140，以使下一个涂布位置到达液体涂布单元100的正下方。移动结束后，使液体涂布单元100处于上述第二状态，从而将液体材料涂布于基板140的上述涂布位置。上述各工序可以连续地反复执行。其结果是，利用本实施方式的液体涂布方法，能短时间地在基板140的上表面形成规定的电路图案。

[作用効果]

本实施方式的液体涂布单元100是用于使用涂布针1向对象物的表面涂布液体材料的液体涂布单元。液体涂布单元100包括涂布针1、储存液体材料L的液体材料容器5、使涂布针1相对于液体材料容器5升降的驱动部2。在液体材料容器5中，形成有用于储存液体材料L的空间50、用于供涂布针1插通空间50的第一孔51和第二孔52。第一孔51形成于比空间50更靠重力方向下方的位置。第二孔52隔着空间50而形成于与第一孔51相反一侧。液体材料容器5包括防水层9，上述防水层9形成为从第一孔51的内周面上延伸至液体材料容器5的外周面中围住第一孔51的部分区域上。

液体材料L从液体材料容器5的空间50向液体材料容器5的外周面上润湿扩散时的流通路径以及顺着涂布针1向液体材料容器5的外周面上润湿扩散时的流通路径形成于从第一孔51的内周面至液体材料容器5的外周面中围住第一孔51的部分区域上之间。在液体涂布单元100中，防水层9形成为在从第一孔51的内周面至液体材料容器5的外周面中围住第一孔51的部分区域上之间延伸，因此，与现有的液体涂布单元相比，液体材料L很难润湿扩散至液体材料容器5的外周面(例如壁部54的第一面54A和第二面54B)上。因此，在液体涂布单元100中，即使在多次连续地执行了液体材料L的涂布后的第一状态和第二状态下，也不会在第二面54B上形成液体材料L的积存，而能维持与图3所示的第一状态和图6所示的第二状态大致相同的状态。因此，在液体涂布单元100中，与现有的液体涂布单元相比，例如在与第一孔51相邻的壁部54的第二面54B上不容易发生液体材料L的积存，液体材料L的积存不容易变得大型化。其结果是，与现有的液体涂布单元相比，液体涂布单元100能抑制多次连续地涂布高粘度的液体材料L时的涂布量的变化。

在上述液体涂布单元100中，液体材料容器5包括在其外周面上形成为围住第一孔51的周围的壁部54和形成为围住壁部54的周围且比壁部54更向下方突出的凸部55。上述部分区域具有在壁部54与作为对象物的基板140的表面相对的第一面54A、第二面54B、凸部55的顶面55T、将凸部55的顶面55T和壁部54的第一面54A、第二面54B连接的凸部55的侧面55S。换言之，防水层9形成为从第一孔51的内周面上延伸至壁部54的第一面54A、第二面54B、凸部55的侧面55S及凸部55的顶面55T。

这样，假设在液体材料L润湿扩散至液体材料容器5的壁部54的第二面54B上的情况下，液体材料L也不易润湿扩散至凸部55的侧面55S和顶面55T。因此，与现有的液体涂布单元相比，在液体涂布单元100中，在第二面54B上不易发生液体材料L的积存，液体材料L的积存不易形成为在第一面54A、第二面54B、侧面55S及顶面55T上相连。其结果是，与现有的液体涂布单元相比，液体涂布单元100能抑制多次连续地涂布高粘度的液体材料L时的涂布量的变化。

[变形例]

本实施方式的液体涂布单元100例如可以具有以下结构。

如图8所示，液体材料容器5也可以不包括凸部55。在上述那样的液体材料容器5中，与图3～图6所示的液体材料容器5相比，壁部54的第二面54B在以第一孔51的孔轴为中心轴的径向上设置得更大。以第一孔51的孔轴为中心轴的径向上的壁部54的第二面54B的宽度例如为0.1mm以上2mm以下，例如为0.2mm左右。

这样，防水层9也形成为从第一孔51的内周面上延伸至壁部54的第一面54A、第二面54B。因此，在上述那样的液体涂布单元100的变形例中，与现有的液体涂布单元相比，在与第一孔51相邻的壁部54的第二面54B上也不容易发生液体材料L的积存，液体材料L的积存也不容易变得大型化。其结果是，图8所示的上述变形例能起到与液体涂布单元100相同的效果。

如图9所示，防水层9也可以形成于液体材料容器5的整个表面上。液体材料容器5的整个表面包括液体材料容器5的外周面和液体材料容器5的内周面。液体材料容器5的内周面具有第一孔51和第二孔52的内周面以及与空间50面对的面。在上述那样的液体涂布单元100的变形例中，防水层9形成于与第一孔51相邻的壁部54的第二面54B上，因此，在第二面54B上也不易发生液体材料L的积存。其结果是，图9所示的上述变形例能起到与液体涂布单元100相同的效果。此外，上述变形例的防水层9能比上述液体涂布单元100中的防水层9更容易形成。上述变形例中的防水层9不在液体材料容器5的外周面和内周面上形成屏蔽膜就能成膜。因此，与上述液体涂布单元100相比，上述变形例的液体涂布单元的制造成本低。

另外，防水层9也可以例如由构成液体材料容器5的外周面或者内周面的材料改质而形成。

此外，在本实施方式中，例示了使用液体涂布装置200在基板140上形成电路图案的示例，但本发明并不局限于此。即，本发明的液体涂布单元100和具有该液体涂布单元100的液体涂布装置200能优选应用于以下用途：例如，晶体振荡器的安装中的导电材料的涂布、向MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)气体传感器涂布催化剂材料及向LED(Light Emitting Diode：发光二极管)涂布粘接剂等对微量的液体材料进行稳定涂布的用途。

应考虑到此次公开的实施方式在所有点上均为例示，并不作限制。本发明的范围是由权利要求书来表示的而不是由上述说明来表示的，本发明包括与权利要求书等同的意思和范围内的所有变更。

产业上的可利用性

本发明特别有利地适用于具有储存高粘度的液体材料的液体材料容器的液体涂布单元以及具有上述液体涂布单元的液体材料涂布装置。

符号说明

1 涂布针、

1A、1B 部分、

1E 针尖、

2 伺服电动机(驱动部)、

3 底座部、

4 容器保持部、

5 液体材料容器、

6 凸轮构件、

7 从动构件、

8 张力施加部、

9 防水层、

11 涂布针保持件、

12 涂布针保持件收容部、

13 涂布针保持件固定部、

15 凸轮连结部、

16 轴承、

21 旋转部、

33 引导部、

34 调节部、

50 空间、

51 第一孔、

52 第二孔、

53 第三孔、

54 壁部、

54A 第一面、

54B 第二面、

55 凸部、

55S 侧面、

55T 顶面、

81 第一部、

82 第二部、

83 弹性部、

100 液体涂布单元、

110 观察光学系统、

111 摄像头、

120 Z轴工作台、

121 X轴工作台、

122 Y轴工作台、

123 基台、

130 控制部、

131 操作面板、

132 显示器、

133 控制用计算机、

140 基板、

200 液体涂布装置。

Claims (4)

1.一种液体涂布单元，是使用涂布针将液体材料涂布于对象物的表面的液体涂布单元，其特征在于，

包括：所述涂布针；

储存所述液体材料的液体材料容器；以及

使所述涂布针相对于所述液体材料容器升降的驱动部，

在所述液体材料容器中，形成有用于储存所述液体材料的空间、用于供所述涂布针插通所述空间的第一孔和第二孔，

所述第一孔形成于比所述空间更靠重力方向下方的位置，

所述第二孔隔着所述空间而形成于与所述第一孔相反一侧，

所述液体材料容器包括防水层，所述防水层形成为至少从所述第一孔的内周面上延伸至所述液体材料容器的外周面中围住所述第一孔的部分区域上。

2.如权利要求1所述的液体涂布单元，其特征在于，

所述液体材料容器包括：在所述外周面上形成为围住所述第一孔的周围的壁部；以及形成为围住所述壁部的周围且比所述壁部更向下方突出的凸部，

所述部分区域具有在所述壁部与所述对象物的所述表面相对的下表面、所述凸部的顶面、将所述凸部的所述顶面和所述壁部的所述下表面连接的所述凸部的侧面。

3.如权利要求1或2所述的液体涂布单元，其特征在于，

所述防水层形成于所述液体材料容器的整个表面上。

4.一种液体涂布装置，其特征在于，

包括：权利要求1～3中任一项所述的液体涂布单元；以及

对所述对象物进行保持的保持台。