CN109576648A - 一种防着板 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种用于蒸镀工艺中的防着板。在不改动设备内部结构的基础上,通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。多孔结构有利于吸附有机材料或金属材料,使得材料不容易脱落,并且聚酰亚胺塑料膜还具有耐高温的性能,还可以承受一定的高温,有效避免防着板长期的拆除与安装。并且当材料在塑料薄膜上达到一定量时,只要小心撕下这层薄膜就可以,不仅可以节约时间,还可以节省人力成本。
Description
技术领域
本发明涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种用于蒸镀工艺中的防着板。
背景技术
制备OLED薄膜会采用真空蒸镀技术,即在高真空环境下,加热有机材料或金属材料,使其受热后蒸发出来,透过具有图案的金属研磨板,沉积在基板的表面形成单层薄膜,经过连续的沉积成膜就形成多层薄膜的OLED器件结构。
然而在高真空蒸镀过程中,材料不仅会沉积在基板上,而且还会飘散到腔体的其它位置,造成腔体的污染。因此,为了避免材料对腔体的污染,会在腔体附上一层防着板,起到保护作用,但是日积月累,当材料达到一定的量,就会从防着板上掉落,造成腔体的污染,因此,需要更换防着板。然而更换防着板是一件繁杂、艰苦的工程,不仅需要耗费许多时间,而且还需要人力的支持。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种可长期使用但无需更换的防着板。
为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:
一种防着板,设置在有机蒸镀腔体的侧壁内表面上,所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。
进一步的,所述防着板上设有安装孔,所述聚酰亚胺塑料膜上设有与所述安装孔对应设置的通孔,螺丝依次穿过所述通孔和安装孔与有机蒸镀腔体的侧壁固定连接。
进一步的,所述多孔结构中的孔结构为盲孔。
进一步的,所述多孔结构中的孔结构为直通孔,所述直通孔的内侧壁上涂覆有磁粉。
进一步的,所述多孔结构中的孔结构为螺纹孔。
进一步的,所述螺纹孔的内侧壁上涂覆有黏胶层。
本发明的有益效果在于:
本发明提供的防着板,在不改动设备内部结构的基础上,通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。多孔结构有利于吸附有机材料或金属材料,使得材料不容易脱落,并且聚酰亚胺塑料膜还具有耐高温的性能,还可以承受一定的高温,有效避免防着板长期的拆除与安装。并且当材料在塑料薄膜上达到一定量时,只要小心撕下这层薄膜就可以,不仅可以节约时间,还可以节省人力成本。
附图说明
图1为本发明的防着板的结构示意图;
图2为本发明的聚酰亚胺塑料膜的实施例一的结构示意图;
图3为本发明的聚酰亚胺塑料膜的实施例二的结构示意图;
图4为本发明的聚酰亚胺塑料膜的实施例三的结构示意图;
标号说明:
1、有机蒸镀腔体;2、防着板;3、聚酰亚胺塑料膜;31、盲孔;32、直通孔;321、磁粉;33、螺纹孔。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图予以说明。
本发明最关键的构思在于:通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。
请参照图1-4,本发明提供的一种防着板,设置在有机蒸镀腔体的侧壁内表面上,所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。
从上述描述可知,本发明的有益效果在于:
本发明提供的防着板,在不改动设备内部结构的基础上,通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。多孔结构有利于吸附有机材料或金属材料,使得材料不容易脱落,并且聚酰亚胺塑料膜还具有耐高温的性能,还可以承受一定的高温,有效避免防着板长期的拆除与安装。并且当材料在塑料薄膜上达到一定量时,只要小心撕下这层薄膜就可以,不仅可以节约时间,还可以节省人力成本。
进一步的,所述防着板上设有安装孔,所述聚酰亚胺塑料膜上设有与所述安装孔对应设置的通孔,螺丝依次穿过所述通孔和安装孔与有机蒸镀腔体的侧壁固定连接。
由上述描述可知,防着板上的安装孔以及有机蒸镀腔体的侧壁上的安装结构都是原先已有的结构,因此无需增加这部分的加工步骤,只需根据防着板上的安装孔的位置直接裹上一层耐高温薄膜,然后螺丝锁上去,依据腔体的原先结构铺在上面,避免对腔体进行改造和造成不必要的资源浪费。
进一步的,所述多孔结构中的孔结构为盲孔。
由上述描述可知,此结构在设计上较为简单,然而在生产加工上具有一定难度,由于在薄膜上制作盲孔,需要对加工精度要求极高,若不考虑成本问题,可使用本方案,此结构可使有机材料或金属材料进入孔结构且不会穿过与防着板接触。
进一步的,所述多孔结构中的孔结构为直通孔,所述直通孔的内侧壁上涂覆有磁粉。
由上述描述可知,直通孔结构较为简单且生产加工方面也较为简单,然其容易使有机材料或金属材料穿过孔结构,因而配合了在直通孔的内侧壁上涂覆有磁粉,以进一步吸附有机材料或金属材料,尽可能避免其穿过。
进一步的,所述多孔结构中的孔结构为螺纹孔。
由上述描述可知,通过将孔结构设计为螺纹孔,使得进入孔结构的有机材料或金属材料充分与侧壁结构,使得其不易穿过该螺纹孔。
进一步的,所述螺纹孔的内侧壁上涂覆有黏胶层。
由上述描述可知,在上述螺纹孔的基础上进一步受黏胶层的黏性被吸附在孔内。
请参照图1和图2,本发明的实施例一为:
本发明提供的一种防着板,设置在有机蒸镀腔体1的侧壁内表面上,所述防着板2的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜3,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。所述多孔结构中的孔结构为盲孔31。
所述防着板上设有安装孔,所述聚酰亚胺塑料膜上设有与所述安装孔对应设置的通孔,螺丝依次穿过所述通孔和安装孔与有机蒸镀腔体的侧壁固定连接。
此结构在设计上较为简单,然而在生产加工上具有一定难度,由于在薄膜上制作盲孔,需要对加工精度要求极高,若不考虑成本问题,可使用本方案,此结构可使有机材料或金属材料进入孔结构且不会穿过与防着板接触。
请参照图1和图3,本发明的实施例二为:
本发明提供的一种防着板,设置在有机蒸镀腔体1的侧壁内表面上,所述防着板2的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜3,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。所述多孔结构中的孔结构为直通孔32,所述直通孔的内侧壁上涂覆有磁粉321。磁粉的厚度为0.1-0.5mm。
所述防着板上设有安装孔,所述聚酰亚胺塑料膜上设有与所述安装孔对应设置的通孔,螺丝依次穿过所述通孔和安装孔与有机蒸镀腔体的侧壁固定连接。
直通孔结构较为简单且生产加工方面也较为简单,然其容易使有机材料或金属材料穿过孔结构,因而配合了在直通孔的内侧壁上涂覆有磁粉,以进一步吸附有机材料或金属材料,尽可能避免其穿过。
请参照图1和图4,本发明的实施例二为:
本发明提供的一种防着板,设置在有机蒸镀腔体1的侧壁内表面上,所述防着板2的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜3,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。所述多孔结构中的孔结构为螺纹孔33。所述螺纹孔的内侧壁上涂覆有黏胶层。黏胶层的厚度为0.1-0.5mm。
所述防着板上设有安装孔,所述聚酰亚胺塑料膜上设有与所述安装孔对应设置的通孔,螺丝依次穿过所述通孔和安装孔与有机蒸镀腔体的侧壁固定连接。
通过将孔结构设计为螺纹孔,使得进入孔结构的有机材料或金属材料充分与侧壁结构,使得其不易穿过该螺纹孔。在上述螺纹孔的基础上进一步受黏胶层的黏性被吸附在孔内。
综上所述,本发明提供的一种防着板,在不改动设备内部结构的基础上,通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。多孔结构有利于吸附有机材料或金属材料,使得材料不容易脱落,并且聚酰亚胺塑料膜还具有耐高温的性能,还可以承受一定的高温,有效避免防着板长期的拆除与安装。并且当材料在塑料薄膜上达到一定量时,只要小心撕下这层薄膜就可以,不仅可以节约时间,还可以节省人力成本。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换,或直接或间接运用在相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种防着板,其特征在于,设置在有机蒸镀腔体的侧壁内表面上,所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜,所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。
2.根据权利要求1所述的防着板,其特征在于,所述防着板上设有安装孔,所述聚酰亚胺塑料膜上设有与所述安装孔对应设置的通孔,螺丝依次穿过所述通孔和安装孔与有机蒸镀腔体的侧壁固定连接。
3.根据权利要求1所述的防着板,其特征在于,所述多孔结构中的孔结构为盲孔。
4.根据权利要求1所述的防着板,其特征在于,所述多孔结构中的孔结构为直通孔,所述直通孔的内侧壁上涂覆有磁粉。
5.根据权利要求1所述的防着板,其特征在于,所述多孔结构中的孔结构为螺纹孔。
6.根据权利要求5所述的防着板,其特征在于,所述螺纹孔的内侧壁上涂覆有黏胶层。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1738926A (zh) * | 2003-02-19 | 2006-02-22 | 株式会社爱发科 | 成膜装置用结构部件及其清洗方法 |
CN102061445A (zh) * | 2009-11-12 | 2011-05-18 | 株式会社日立高新技术 | 真空蒸镀装置、真空蒸镀方法及有机el显示装置的制造方法 |
CN103228814A (zh) * | 2010-08-27 | 2013-07-31 | 株式会社爱发科 | 水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件 |
CN107287559A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-10-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled蒸镀设备及其防粘板 |
CN207512253U (zh) * | 2017-09-21 | 2018-06-19 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 蒸镀用掩模板及掩模板组件 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1738926A (zh) * | 2003-02-19 | 2006-02-22 | 株式会社爱发科 | 成膜装置用结构部件及其清洗方法 |
CN102061445A (zh) * | 2009-11-12 | 2011-05-18 | 株式会社日立高新技术 | 真空蒸镀装置、真空蒸镀方法及有机el显示装置的制造方法 |
CN103228814A (zh) * | 2010-08-27 | 2013-07-31 | 株式会社爱发科 | 水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件 |
CN107287559A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-10-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled蒸镀设备及其防粘板 |
CN207512253U (zh) * | 2017-09-21 | 2018-06-19 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 蒸镀用掩模板及掩模板组件 |
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