CN107287559A - Oled蒸镀设备及其防粘板 - Google Patents

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魏锋
李金川
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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
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    • C23C14/24—Vacuum evaporation

Abstract

本发明提供一种OLED蒸镀设备及其防粘板，该防粘板包括支撑基板和设于支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料沉积在聚酰亚胺薄膜的表面。本发明提供的OLED蒸镀设备及其防粘板将未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料直接沉积在聚酰亚胺薄膜的表面，有机材料的回收非常方便。

Description

OLED蒸镀设备及其防粘板
技术领域
本发明涉及显示器件技术领域，特别涉及一种OLED蒸镀设备及其防粘板。
背景技术
OLED(Organic Light Emitting Display)蒸镀技术，是将OLED有机材料和被蒸镀基板存放于真空环境下，加热有机材料，使有机材料蒸发或升华，并蒸镀到被蒸镀基板表面凝聚成膜的工艺，目前量产蒸镀机一般采用真空环境下点源或线源蒸发方式，有机材料利用率低于40％，绝大部分有机材料都成膜在蒸镀机腔体的防粘板上，防粘板需定期更换和清洗。
目前防粘板基本采用金属板固定于蒸镀机腔体内；由于防粘板数量多、型号不同，体积大、重量大、更换人工费时，影响生产效率；且防粘板的清洗需要大量的化学品反应清洗，清洗价格昂贵；清洗后的材料加大污染，回收难度大。
发明内容
本发明实施例提供一种OLED蒸镀设备及其防粘板，以解决现有技术中防粘板有机材料回收难度大的问题。
为解决上述技术问题，本发明实施例采用的一个技术方案是：提供一种OLED蒸镀设备，OLED蒸镀设备包括壳体，壳体内形成有蒸镀腔，蒸镀腔内用于放置被蒸镀基板和有机材料并在真空条件下使有机材料蒸发或升华蒸镀到被蒸镀基板表面凝聚成膜，蒸镀设备内设有防粘板，防粘板覆盖壳体的内表面以对未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料进行收集，防粘板包括支撑基板和设于支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料沉积在聚酰亚胺薄膜的表面。
为解决上述技术问题，本发明实施例采用的另一个技术方案是：提供一种用于OLED蒸镀设备的防粘板，防粘板包括支撑基板和设于支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜。
本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明实施例提供的OLED蒸镀设备及其防粘板由于采用了聚酰亚胺薄膜来收集有机材料，在更换防粘板时可方便地将有机材料与聚酰亚胺薄膜进行机械剥离，使得有机材料的回收非常方便。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
图1是本发明实施例提供的OLED蒸镀设备的简化侧面结构示意图；
图2是本发明一实施例提供的用于OLED蒸镀设备的防粘板的简化侧面结构简化示意图；
图3是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的一种侧视结构简化示意图；
图4是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的另一种侧视结构简化示意图；
图5是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的又一种俯视结构简化示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，图1是本发明实施例提供的OLED蒸镀设备的简化侧面结构示意图。
如图1所示，本发明实施例提供一种OLED蒸镀设备10，该OLED蒸镀设备10包括壳体110，壳体110由多块板体围合构成，壳体110内形成有蒸镀腔120。其中，图1中只是示意性的显示了壳体110和蒸镀腔120的形状，在实际产品中，壳体110和蒸镀腔120的形状并不限于此。
蒸镀腔120内用于放置被蒸镀基板130和有机材料140并在真空条件下使有机材料140蒸发或升华并蒸镀到被蒸镀基板130表面凝聚成膜。其中，有机材料140通过容器141装设，容器141可以是任意适合的形状，被蒸镀的有机材料140一部分蒸镀到被蒸镀基板130的下表面，其余部分朝向壳体110蒸镀。
为了避免有机材料140蒸镀到壳体110的内壁上，蒸镀设备10内还设有防粘板150，防粘板150覆盖壳体110的内表面以对未蒸镀到被蒸镀基板130上的有机材料140进行收集。其中，壳体110的每一个内表面上可由一块防粘板150覆盖，或者由多块防粘板150拼接覆盖。防粘板150可为规则或不规则形状，可通过螺栓固定方式或卡扣固定方式固定在壳体110的内表面。
在本发明实施例中，防粘板150包括支撑基板151和设于支撑基板151表层的聚酰亚胺薄膜152，未蒸镀到被蒸镀基板130上的有机材料140可沉积在聚酰亚胺薄膜152的表面。
聚酰亚胺薄膜材料具有耐高温、耐低温、耐腐蚀、自润滑、低磨耗、力学性能优异、尺寸稳定性好、热膨胀系数小、高绝缘、低热导、不熔融、不生锈等特性，可在很多情况下替代金属、陶瓷、聚四氟乙烯和工程塑料等，采用聚酰亚胺薄膜152，不但保证有机材料140可有效成膜于聚酰亚胺薄膜152表面，而且使得整体防粘板150的更换节省人力和物力，有机材料140沉积在聚酰亚胺薄膜152表面可以方便的进行机械剥离、清洗回收。
由于蒸镀是在真空环境下作业，而聚酰亚胺薄膜152较薄(一般可为0.2毫米至2毫米厚)且较软，因此，支撑基板151需要有一定的强度，在一具体实施例中，支撑基板151可采用不锈钢板。聚酰亚胺薄膜152可以是图1中所示的一层，当聚酰亚胺薄膜152上沉积有一定量的有机材料140后，将防粘板150取出，并将聚酰亚胺薄膜152上的有机材料140剥离，再将防粘板150重新放入蒸镀腔120内并覆盖壳体110的内表面。
请一并参阅图2，图2是本发明一实施例提供的用于OLED蒸镀设备的防粘板的简化侧面结构简化示意图。
如图2所示，防粘板150包括支撑基板151和设于支撑基板151表层的聚酰亚胺薄膜152，其中，聚酰亚胺薄膜152可为多层，例如图2中所示的4层，当然，由于聚酰亚胺薄膜152本身非常薄，层数可以是10层、20层等。聚酰亚胺薄膜152为多层时，每一层的外边缘上可设有一凸片(图未示)，且相邻层上的凸片错开设置，以便于在表层上的聚酰亚胺薄膜152沉积有一定量的有机材料140时将表层的聚酰亚胺薄膜152撕下，继续使用下一层聚酰亚胺薄膜152。
支撑基板151上设有多个固定孔158，聚酰亚胺薄膜152上设有多个通孔159，多个通孔159与多个固定孔158相对应。其中，固定孔158和通孔159的数量可以是4个、6个或8个等。
聚酰亚胺薄膜152可通过固定件160与支撑基板151相固定，固定件160可以是夹子、螺钉或磁铁，当固定件160是螺钉或磁铁时，固定件160可包括插入部161和连接在插入部161端部的压帽部162，其中压帽部162的尺寸较大，以便于使聚酰亚胺薄膜152与支撑基板151紧贴，固定孔158可为通孔以接收螺纹旋入连接，或者固定孔158为光孔，以与磁铁相吸合。
在本发明实施例中，聚酰亚胺薄膜152表面经粗化处理形成粗糙结构以增加附着力。
请一并参阅图3，图3是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的一种侧视结构简化示意图。
如图3所示，粗糙结构可为设于聚酰亚胺薄膜152表面的波纹齿结构153。
请一并参阅图4，图4是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的另一种侧视结构简化示意图。
如图4所示，粗糙结构可为设于聚酰亚胺薄膜152表面的锯齿结构154。
请一并参阅图5，图5是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的又一种侧视结构简化示意图。
如图5所示，粗糙结构可为设于聚酰亚胺薄膜152表面的阵列凹陷结构155。多个通孔159分布在聚酰亚胺薄膜152的边缘。当然，在其他实施例中，多个通孔159也可以分布在聚酰亚胺薄膜152的内部。
综上所述，本领域技术人员容易理解，本发明实施例提供的OLED蒸镀设备10及其防粘板150由于采用了聚酰亚胺薄膜152来收集有机材料140，在更换防粘板150时可方便地将有机材料140与聚酰亚胺薄膜152进行机械剥离，极大的提高了防粘板150的更换效率，且使得有机材料的回收非常方便。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种OLED蒸镀设备，其特征在于，所述OLED蒸镀设备包括壳体，所述壳体内形成有蒸镀腔，所述蒸镀腔内用于放置被蒸镀基板和有机材料并在真空条件下使所述有机材料蒸发或升华并蒸镀到所述被蒸镀基板表面凝聚成膜，所述蒸镀设备内设有防粘板，所述防粘板覆盖所述壳体的内表面以对未蒸镀到所述被蒸镀基板上的所述有机材料进行收集，所述防粘板包括支撑基板和设于所述支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到所述被蒸镀基板上的有机材料沉积在所述聚酰亚胺薄膜的表面。
2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述支撑基板为不锈钢板，所述聚酰亚胺薄膜为一层或多层。
3.根据权利要求1所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜通过固定件与所述支撑基板相固定，所述固定件为螺钉或磁铁。
4.根据权利要求1所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜表面经粗化处理形成粗糙结构以增加附着力。
5.根据权利要求4所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述粗糙结构为设于所述聚酰亚胺薄膜表面的波纹齿结构、锯齿结构或阵列凹陷结构。
6.一种用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述防粘板包括支撑基板和设于所述支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜。
7.根据权利要求6所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述支撑基板为不锈钢板，所述聚酰亚胺薄膜为一层或多层。
8.根据权利要求6所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜通过固定件与所述支撑基板相固定，所述固定件为螺钉或磁铁。
9.根据权利要求6所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜表面经粗化处理形成粗糙结构以增加附着力。
10.根据权利要求9所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述粗糙结构为设于所述防粘板表面的波纹齿结构、锯齿结构或阵列凹陷结构。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109023253A (zh) * 2018-07-20 2018-12-18 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀设备
CN109576648A (zh) * 2018-12-29 2019-04-05 福建华佳彩有限公司 一种防着板
CN110453181A (zh) * 2019-08-08 2019-11-15 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀设备及其防着板

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04103636A (ja) * 1990-08-24 1992-04-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 分子センサー薄膜、その形成方法及びこれを用いた分子センサー
US20040000379A1 (en) * 2002-06-27 2004-01-01 Ulvac, Inc. Evaporation container and evaporation source
CN103270187A (zh) * 2010-12-27 2013-08-28 夏普株式会社 蒸镀装置和回收装置
CN103866235A (zh) * 2012-12-10 2014-06-18 上海天马微电子有限公司 薄膜蒸镀设备和制造oled显示装置的方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04103636A (ja) * 1990-08-24 1992-04-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 分子センサー薄膜、その形成方法及びこれを用いた分子センサー
US20040000379A1 (en) * 2002-06-27 2004-01-01 Ulvac, Inc. Evaporation container and evaporation source
CN103270187A (zh) * 2010-12-27 2013-08-28 夏普株式会社 蒸镀装置和回收装置
CN103866235A (zh) * 2012-12-10 2014-06-18 上海天马微电子有限公司 薄膜蒸镀设备和制造oled显示装置的方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘奎武: "《施工现场水电气暖一本通》", 31 August 2010, 冶金工业出版社 *
徐滨士 等: "《表面工程的理论与技术》", 30 April 2010, 国防工业出版社 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109023253A (zh) * 2018-07-20 2018-12-18 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀设备
WO2020015205A1 (zh) * 2018-07-20 2020-01-23 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀设备
CN109576648A (zh) * 2018-12-29 2019-04-05 福建华佳彩有限公司 一种防着板
CN110453181A (zh) * 2019-08-08 2019-11-15 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀设备及其防着板

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