CN109482582A - 清洗器具、清洗方法以及液体供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种清洗器具、清洗方法以及液体供给装置，利用清洗液更良好地且在短时间内清洗联接器，所述联接器具有能够装卸于液体贮存体上的盖部和贯通设置于所述盖部的配管，通过将所述配管插入所述液体贮存体的内部，能经由所述配管取出在所述内部贮存的液体，所述清洗器具具有：容器，具有能够插入配管的开口、能够经由所述开口容纳所述配管的内部空间，以及保持部，安装于所述容器的所述开口附近，保持从所述液体贮存体卸下的所述联接器；通过使所述清洗液在间隙空间与所述配管的内部之间流通，来清洗所述配管，所述间隙空间为，所述配管容纳于所述内部空间而在所述容器的内表面与所述配管的外表面之间形成的空间。

Description

清洗器具、清洗方法以及液体供给装置

技术领域

本发明涉及利用清洗液清洗联接器(Coupler)的清洗技术以及应用了该清洗技术的液体供给装置，所述联接器将贯通设置于盖部的配管插入液体贮存体的内部，经由所述配管取出贮存于所述液体贮存体的内部的液体，其中，所述盖部能够相对于所述液体贮存体进行自由装卸。

背景技术

以往，在向基板涂敷涂敷液的基板处理装置中，例如一般采用如日本特许第5346643号公报所记载那样从喷出口喷出涂敷液的喷嘴。虽然在该日本特许第5346643号公报没有进行详细说明，但是为了向喷嘴供给涂敷液，在基板处理装置上设置有液体供给装置，该液体供给装置将用于贮存涂敷液的液体贮存体内的涂敷液供给至喷嘴。作为该液体供给装置，例如能够采用日本特开2000-153213号公报记载的结构。

在日本特开2000-153213号公报中，作为液体贮存体的一例，设置有间接加压罐。在该间接加压罐的内部配置有处理液瓶。并且，将送液配管插入处理液瓶，向间接加压罐提供加压气体，从而将处理液瓶内的涂敷液经过送液配管取出到间接加压罐的外部。该涂敷液经由具有捕集罐、泵等的送液机构送至喷嘴。

但是，在更换处理液瓶时，需要从处理液瓶卸下送液配管。并且，在将该送液配管插入贮存有其它种类的涂敷液或其它液体的处理液瓶的情况下，需要在进行该插入之前清洗送液配管。由操作者的人工操作进行该清洗操作，因此存在进行清洗处理需要时间的问题。另外，还存在清洗质量不均匀的问题。

另外，送液配管并不是单独插入处理液瓶，而是将使送液配管贯通盖部而成的联接器安装于间接加压罐。因此，不仅是送液配管，盖部的背面也会附着涂敷液，因此优选还考虑盖部的清洗。此外，这样的问题并不是间接加压罐特有的问题，在对其它液体贮存体(桶、Nowpak(注册商标)等)装卸联接器时，也会产生这样的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够利用清洗液更良好地且在短时间内清洗联接器的清洗技术以及应用该清洗技术的液体供给装置，所述联接器将贯通设置于盖部的配管插入液体贮存体的内部，能经由配管取出贮存于所述液体贮存体的内部的液体，其中，所述盖部能够相对于所述液体贮存体自由装卸。

根据本发明的第一方面，提供一种清洗器具，用于利用清洗液清洗联接器，联接器将具有能够装卸于液体贮存体上的盖部和贯通设置于盖部的配管，通过将配管插入液体贮存体的内部，能经由配管取出在内部贮存的液体，清洗器具的特征在于，具有：容器，具有能够插入配管的开口、能够经由开口容纳配管的内部空间，以及保持部，安装于容器的开口附近，保持从液体贮存体卸下的联接器；通过使清洗液在间隙空间与配管的内部之间流通，来清洗配管，所述间隙空间为，配管容纳于内部空间而在容器的内表面与配管的外表面之间形成的空间。

另外，根据本发明的第二方面，提供一种清洗方法，用于清洗联接器，联接器具有能够装卸于液体贮存体的盖部和贯通设置于盖部的配管，通过将配管插入液体贮存体的内部，能经由配管取出在内部贮存的液体，清洗方法的特征在于，包括：将从液体贮存体卸下的联接器的配管插入清洗器具的容器，并且利用清洗器具保持盖部的工序；以及使清洗液在间隙空间与配管的内部流通来清洗配管的工序，间隙空间为，形成于容器的内表面与配管的外表面之间的空间。

另外，根据本发明的第三方面，提供一种液体供给装置，将贮存于液体贮存体的液体供给至被供给部，液体供给装置的特征在于，具有：联接器，具有能够装卸于液体贮存体的盖部和贯通设置于盖部的配管，通过将配管插入液体贮存体的内部，能经由配管取出液体，供给部，将从联接器取出的液体供给至被供给部，以及清洗器具，用于利用清洗液清洗联接器；清洗器具具有：容器，具有能够插入配管的开口、能够经由开口容纳配管的内部空间，以及保持部，安装于容器的开口附近，保持从液体贮存体卸下的联接器；通过使清洗液在间隙空间与配管的内部之间流通来清洗配管，间隙空间为，配管容纳于内部空间而在容器的内表面与配管的外表面之间形成的空间。

在这样构成的发明中，在从液体贮存体卸下联接器之后，将该联接器的配管插入清洗器具的容器。并且，清洗液在间隙空间与配管的内部流通来清洗配管，其中，所述间隙空间为，形成于容器的内表面与配管的外表面之间的空间。这样在容器内，利用清洗液清洗联接器的配管。

如上所述，在插入有联接器的配管的清洗器具的容器内，清洗液在上述间隙空间与配管的内部流动来清洗配管，因此与利用操作者等人为操作清洗配管的情况相比，能够在短时间内且良好地清洗联接器。

附图说明

图1是示意性地示出具有本发明的一实施方式的液体供给装置的涂敷装置的整体结构的图。

图2是示出本发明的一实施方式的液体供给装置的结构的图。

图3是示出桶、联接器以及清洗器具的外观的立体图。

图4是联接器与清洗器具的局部剖视图。

图5是示出利用清洗器具清洗联接器时的配管状况的图。

图6是示意性地示出清洗器具的内部的流通空间、间隙空间以及流入路径的相对位置关系的图。

图7是示出本发明的其它实施方式的液体供给装置的结构的图。

附图标记的说明

8…液体供给装置

71…喷嘴(被供给部)

81…桶(液体贮存体)

82…联接器

83…送液机构(供给部)

84…清洗器具

841…容器

841a…开口

841b…(容器的)内部空间

843…保持部

844…流通部(流入部、流出部)

845…排气部

D1…流入方向

D2…流出方向

PS1…流入位置

PS2…流出位置

SP1…流通空间

SP2…间隙空间

具体实施方式

图1是示意性地示出具有本发明的一实施方式的液体供给装置的涂敷装置的整体结构的图。该涂敷装置1是向基板W的上表面Wf涂敷涂敷液的狭缝式涂敷机，其中，所述基板W从图1的左手侧朝向右手侧以水平姿势被搬运。此外，在下面的各图中，为了明确装置各部分的配置关系，将基板W的搬运方向称为“X方向”，将从图1的左手侧朝向右手侧的水平方向称为“+X方向”，将其相反方向称为“-X方向”。另外，在与X方向垂直的水平方向Y中，将装置的正面侧称为“-Y方向”，并且将装置的背面侧称为“+Y方向”。并且，将铅垂方向Z中的上方以及下方分别称为“+Z方向”以及“-Z方向”。

首先，利用图1，对于该涂敷装置1的结构以及动作的概要进行说明，然后对于液体供给装置的结构以及动作进行详细说明。此外，涂敷装置1的基本结构、动作原理与本申请人之前公开的日本特许第5346643号公报中记载的通用。因此，在本说明书中，对于涂敷装置1的各结构中的能够应用与上述公知文献所记载的内容同样的结构的部分、以及能够从这些文献的记载容易地理解结构的部分省略详细说明，主要对本实施方式的特征性的部分进行说明。

在涂敷装置1中，沿着基板W的搬运方向Dt(+X方向)依次相邻地配置有输入输送机100、输入移载部2、浮起载物台部3、输出移载部4以及输出输送机110，如下面详细说明，通过这些结构形成沿着大致水平方向延伸的基板W的搬运路径。此外，在下面的说明中，在与基板W的搬运方向Dt关联起来表示位置关系时，有时将“基板W的搬运方向Dt上的上游侧”仅称为“上游侧”，另外，将“基板W的搬运方向Dt上的下游侧”仅称为“下游侧”。在该例中，在某一基准位置观察时，相对来说，-X侧相当于“上游侧”，+X侧相当于“下游侧”。

作为处理对象的基板W从图1的左手侧搬入输入输送机100。输入输送机100具有滚轮式输送机101、用于对该滚轮式输送机101进行旋转驱动的旋转驱动机构102，通过滚轮式输送机101的旋转，将基板W以水平姿势向下游侧、即+X方向搬运。输入移载部2具有滚轮式输送机21和旋转升降驱动机构22，所述旋转升降驱动机构22具有用于对该滚轮式输送机21进行旋转驱动的功能以及用于使该滚轮式输送机21升降的功能。通过使滚轮式输送机21旋转，进一步向+X方向搬运基板W。另外，通过使滚轮式输送机21升降，变更基板W的铅垂方向位置。通过这样构成的输入移载部2，将基板W从输入输送机100移栽至浮起载物台部3。

浮起载物台部3具有沿着基板的搬运方向Dt分割为3个的平板状的载物台。即，浮起载物台部3具有入口浮起载物台31、涂敷载物台32以及出口浮起载物台33，这样的各载物台的上表面彼此形成同一平面的一部分。在入口浮起载物台31以及出口浮起载物台33各自的上表面，以矩阵状设置有多个喷出孔，该喷出孔喷出从浮起控制机构35供给的压缩空气，借助喷出的气流所赋予的浮力使基板W浮起。这样基板W的下表面Wb以与载物台的上表面分离的状态被支撑为水平姿势。基板W的下表面Wb与载物台的上表面之间的距离、即浮起量例如可以是10微米至500微米。

另一方面，在涂敷载物台32的上表面，交替地配置有用于喷出压缩空气的喷出孔和用于吸引基板W的下表面Wb与载物台的上表面之间的空气的吸引孔。浮起控制机构35控制来自喷出孔的压缩空气的喷出量与来自吸引孔的吸引量，从而精密地控制基板W的下表面Wb与涂敷载物台32的上表面之间的距离。由此，将在涂敷载物台32的上方经过的基板W的上表面Wf的铅垂方向位置控制为规定值。作为浮起载物台部3的具体结构，例如能够应用日本特许第5346643号公报所记载的内容。此外，就在涂敷载物台32的浮起量而言，由控制单元9基于后面详细说明的传感器61、62检测的检测结果计算，另外，能够通过气流控制高精度地进行调整。

此外，在入口浮起载物台31配设有图中未出现的升降销，在浮起载物台部3设置有用于使该升降销升降的升降销驱动机构34。

经由输入移载部2搬入浮起载物台部3的基板W，通过滚轮式输送机21的旋转而被赋予向+X方向的推动力，被搬运至入口浮起载物台31上。入口浮起载物台31、涂敷载物台32以及出口浮起载物台33将基板W支撑为浮起状态，但是并不具有使基板W沿着水平方向移动的功能。，利用配置于入口浮起载物台31、涂敷载物台32以及出口浮起载物台33的下方的基板搬运部5来对浮起载物台部3中的基板W进行搬运。

基板搬运部5具有：装夹机构51，通过与基板W的下表面的周缘部局部抵接，来从下方支撑基板W；以及吸附移动控制机构52，具有向设置于装夹机构51的上端的吸附构件的吸附垫(省略图示)提供负压来吸附保持基板W的功能、以及使装夹机构51沿着X方向往复移动的功能。在装夹机构51保持基板W的状态下，基板W的下表面Wb位于比浮起载物台部3的各载物台的上表面更高的位置。因此，一边利用装夹机构51对基板W的周缘部进行吸附保持，一边借助浮起载物台部3所赋予的浮力将整体维持为水平姿势。此外，为了在利用装夹机构51局部保持基板W的下表面Wb的阶段，检测基板W的上表面的铅垂方向位置，将板厚测定用的传感器61配置于滚轮式输送机21的附近。未保持基板W的状态的装夹(省略图示)位于该传感器61的正下方位置，由此传感器61能够检测吸附构件的上表面、即吸附面的铅垂方向位置。

装夹机构51保持从输入移载部2搬入浮起载物台部3的基板W，在该状态下，装夹机构51向+X方向移动，由此将基板W从入口浮起载物台31的上方经由涂敷载物台32的上方向出口浮起载物台33的上方搬运。将搬运来的基板W交给配置于出口浮起载物台33的+X侧的输出移载部4。

输出移载部4具有：滚轮式输送机41；以及旋转升降驱动机构42，具有用于对该滚轮式输送机41进行旋转驱动的功能以及用于使该滚轮式输送机41升降的功能。通过使滚轮式输送机41旋转，向基板W赋予向+X方向的推动力，进一步沿着搬运方向Dt搬运基板W。另外，通过使滚轮式输送机41升降，变更基板W的铅垂方向位置。对于利用滚轮式输送机41的升降来实现的作用，在后面进行说明。利用输出移载部4，将基板W从出口浮起载物台33的上方向输出输送机110移载。

输出输送机110具有滚轮式输送机111和用于对该滚轮式输送机111进行旋转驱动的旋转驱动机构112，利用滚轮式输送机111的旋转，进一步向+X方向搬运基板W，最终向涂敷装置1的外部取出基板W。此外，输入输送机100以及输出输送机110可以作为涂敷装置1的结构的一部分而设置，但是也可以与涂敷装置1分开独立设置。另外，例如也可以将设置于涂敷装置1的上游侧的其它单元的基板取出机构用作输入输送机100。另外，也可以将设置于涂敷装置1的下游侧的其它单元的基板接收机构用作输出输送机110。

在这样搬运的基板W的搬运路径上，配置有用于向基板W的上表面Wf涂敷涂敷液的涂敷机构7。涂敷机构7具有作为狭缝喷嘴的喷嘴71。从后面详细说明的液体供给装置8向喷嘴71供给涂敷液，从在喷嘴下部朝下开口的喷出口喷出涂敷液。

喷嘴71能够利用定位机构79沿着X方向以及Z方向进行移动并定位。利用定位机构79，将喷嘴71定位于涂敷载物台32的上方的涂敷位置(用虚线表示的位置)。从定位于涂敷位置的喷嘴71喷出涂敷液，并涂敷于在与涂敷载物台32之间搬运的基板W。这样，向基板W涂敷涂敷液。

另外，在涂敷装置1设置有用于控制装置各部分的动作的控制单元9。控制单元9具有如下结构等：存储单元，存储规定的控制程序、各种数据；CPU等运算单元，通过执行该控制程序，来使装置各部分执行规定的动作；以及接口单元，承担与用户或外部装置之间的信息交换。在本实施方式中，运算单元根据作为控制程序的一个的联接器清洗程序，执行设置于液体供给装置8的联接器的清洗处理。下面，对于液体供给装置8的结构以及联接器的清洗处理进行详细说明。

图2是示出本发明的一实施方式的液体供给装置的结构的图。液体供给装置8具有：桶81，贮存涂敷液；联接器82，以能够自由装卸的方式安装于桶81；送液机构83，将由联接器82取出的涂敷液送至喷嘴71；以及清洗器具84，用于利用清洗液清洗联接器82。

图3是示出桶、联接器以及清洗器具的外观的立体图。桶81具有耐药合成树脂制成的内侧容器811(图2)与金属制成的外侧容器812。内侧容器811形成为筒状，在该内侧容器811的内部贮存涂敷液。并且，作为内侧容器811的外壳，设置有外侧容器812。内侧容器811与口部813连接，该口部813以能够取出涂敷液的方式形成开口。在口部813的外周形成有外螺纹，在搬运桶81时，用罩(省略图示)封固口部813的开口，并且用盖(省略图示)螺合来对口部813进行密闭。另一方面，在从桶81取出涂敷液来向喷嘴71供给时，在口部813上安装联接器82。

联接器82具有：盖部821，能够与口部813螺合；送液配管822，贯通盖部821并延伸至桶81的内侧容器811的内部；以及通气配管823，与盖部821连接，能够向内侧容器811的内部输送压缩空气。在盖部821的一端形成有圆形的开口，在该开口的内周形成有内螺纹。因此，在将联接器82安装在桶81的状态下，使盖部821与口部813进行螺纹结合，从而能够密封口部813。并且，如图2所示，从省略图示的压缩空气供给源经由阀V0向通气配管823提供压缩空气，从而向内侧容器811的内部导入压缩空气。由此，经由送液配管822取出涂敷液，来送至送液机构83。

送液机构83具有过滤器831、脱气部832，捕集罐833以及泵834、835，将这些结构构件以及喷嘴71用配管连接。另外，运算单元控制设置于配管的阀的开闭，从而能够向喷嘴71输送涂敷液。下面，进行更详细的说明。

联接器82的送液配管822中的与插入内侧容器811的一侧(图2的下方侧)的端部相反的一侧(图2的上方侧)的端部，利用配管P1与过滤器831连接，其中，在所述配管P1上设置有两个阀V1、V2。另外，过滤器831利用配管P2与脱气部832连接，其中，在所述配管P2上设置有一个阀V3。并且，脱气部832利用配管P3与捕集罐833连接，其中，在所述配管P3上设置有三通阀V4。该三通阀V4除了脱气部832以及捕集罐833之外，还与冲洗液供给源(省略图示)连接。因此，在根据来自运算单元的指令，该三通阀V4切换为将脱气部832以及捕集罐833连接的状态且阀V1～V3切换为打开状态的状态下，打开阀V0来向桶81提供压缩空气，从而经由送液配管822朝向过滤器831取出涂敷液。并且，该涂敷液在通过过滤器831进行异物除去处理并且通过脱气部832进行脱气处理之后，暂时性地贮存于捕集罐833。

在捕集罐833上连接有排气孔用排气配管P4，能够根据来自运算单元的指令打开设置于排气配管P4的阀V5，来从捕集罐833除去积存于捕集罐833的气体成分。另外，捕集罐833利用配管P5与送液泵834连接，其中，在所述配管P5上设置有阀V6。另外，送液泵834利用配管P6与喷嘴71连接。该配管P6在途中分支为两个，分支配管分别与喷嘴71的两端部连接。在配管P6，在比分支部分更靠送液泵834的一侧设置有三通阀V7，并且在分支配管上分别设置有阀V8、V9。三通阀V7除了送液泵834以及喷嘴71之外，还与冲洗液供给源(省略图示)连接。因此，在根据来自运算单元的指令，该三通阀V7切换为将送液泵834以及喷嘴71连接的状态并且阀V6、V8、V9切换为打开状态的状态下，使送液泵834运转，从而将捕集罐833内的涂敷液压送至喷嘴71。这样，从喷嘴71喷出涂敷液。

在喷嘴71的上表面设置有排出口，排出配管P7与该排出口连接。在排出配管P7上设置有阀V10。并且，在根据来自运算单元的指令打开阀V10的状态下，经由三通阀V7向喷嘴71供给冲洗液时，混入喷嘴71的内部的气泡与冲洗液一起经由排出配管P7向外部排出。由此，从喷嘴71除去气泡。

另外，如图2所示，在配管P5的途中分支设置有配管P51，但是分支配管P51为排液配管。在打开设置于该配管P51的阀V11的状态下，使排液泵835运转，从而能够排出残留于捕集罐833的涂敷液。

如上所述，在将贮存于桶81的涂敷液涂敷于基板W的期间，联接器82如图2所示那样安装于桶81。另一方面，当达到桶81的更换时期时，操作者从桶81卸下联接器82。在此，在贮存于更换后的桶81的涂敷液与刚刚进行更换之前的涂敷液为同一种的情况下，也可以在更换后的桶81直接安装联接器82。但是，在种类不同的涂敷液或者除了涂敷液之外的处理液贮存于更换后的桶81的情况下，在将卸下的联接器82向新的桶81安装之前，需要清洗该联接器82。

因此，在本实施方式中，以与桶81的设置地点相邻的方式，配置有清洗器具84。下面，一边参照图3至图6，一边对于清洗器具84的结构以及利用清洗器具84清洗联接器82的清洗方法进行详细说明。

图4是联接器与清洗器具的局部剖视图，示出了在清洗器具上安装有联接器的状态。另外，图5是示出利用清洗器具清洗联接器时的配管状况的图。而且，图6是示意性地示出清洗器具的内部的流通空间、间隙空间以及流入路径的相对位置关系的图。如图5所示，清洗器具84配置于桶81的设置位置附近。清洗器具84具有容器841、支撑构件842(图4)以及保持部843。在保持部843上，与桶81同样地，设置有向铅垂上方突出设置的圆柱状的突起部843a。如图3所示，在该突起部843a的上表面设置有：能够插入送液配管822的开口843b；以及能够堵塞通气配管823的封固构件843c。另外，沿着铅垂下方延伸设置有内部空间841b，该内部空间841b能够经由开口843b容纳送液配管822。而且，如图4所示，在下方侧与容器841的上端具有规定距离的位置，大致圆筒形状的支撑构件842外套于容器841，另一方面，容器841的与支撑构件842相比更靠上方侧或下方侧的上方侧端部以及下方侧端部，并不被支撑构件842支撑，而成为外表面露出的露出端部。并且，如图4所示，以使容器841的开口841a与保持部843的开口843b处于同一面的方式，上方侧的露出端部以及支撑构件842的上端部固定于保持部843。通过采用这样的连接结构，如图3所示，容器841从保持部843向铅垂下方延伸。

在保持部843中，在突起部843a的外周形成有外螺纹。该外螺纹能够与设置于联接器82的盖部821的内螺纹螺合。因此，在将联接器82的送液配管822从开口843b插入并容纳于容器841的内部空间841b的状态下，使盖部821与突起部843a螺纹结合，从而将联接器82保持于保持部843。此外，为了将送液配管822插入容器841的内部空间841b，内部空间841b的内径大于送液配管822的外径，尤其在本实施方式中，内部空间841b的内径与送液配管822的外径之差设定为10mm以内。由此，能够抑制在容器841的内表面与送液配管822的外表面之间形成的间隙空间SP2大幅度扩大。另外，在本实施方式中，在如上述那样利用保持部843保持联接器82时，盖部821的下表面中央区域与突起部843a的上表面中央区域彼此相向并分离来形成流通空间SP1。该流通空间SP1与上述间隙空间SP2连通。

如图4所示，在保持部843中，从侧面沿着水平方向设置有横孔843d，而且，从横孔843d的底部以相对于铅垂方向倾斜的方式，在突起部843a的上表面中央区域贯穿设置有纵孔843e。这样形成的横孔843d以及纵孔843e彼此连通，发挥用于使流体从保持部843的侧面朝向突起部843a的上表面中央区域流通的路径的功能。在本实施方式中，管状的流通部844的前端部插入横孔843d。如图5所示，流通部844利用配管P8与清洗液供给源(省略图示)连接，所述清洗液供给源供给用于清洗联接器82的清洗液。在该配管P8上设置有阀V12。另外，配管P8在阀V12与流通部844之间分支，该分支配管P9与压缩空气供给源连接，在该分支配管P9上设置有阀V13。因此，通过利用运算单元对阀V12、V13进行开闭控制，能够选择性地向流通部844提供清洗液以及压缩空气。在本实施方式中，在清洗联接器82时，交替地反复执行清洗液供给动作以及压缩空气供给动作，所述清洗液供给动作是打开阀V12并且关闭V13来供给清洗液的动作，所述压缩空气供给动作是关闭阀V12以及打开V13来供给压缩空气的动作。

这样提供至流通部844的流体(清洗液、压缩空气)经由横孔843d以及纵孔843e送入流通空间SP1，进而从流通空间SP1流入间隙空间SP2。在此，在将纵孔843e、流通空间SP1以及容器841的开口843b提取来图示时，将具有图6所示的位置关系。即，纵孔843e以及开口843b在彼此不同的位置与流通空间SP1连通，从流入部流入流通空间SP1的流入位置PS1与从流通空间SP1向间隙空间SP2流出的流出位置PS2不同。而且，间隙空间SP2沿着铅垂方向延伸设置，相对于此，纵孔843e相对于铅垂方向倾斜。因此，从流通部844流入流通空间SP1的流入方向D1与从流通空间SP1向间隙空间SP2流出的流出方向D2不平行。因此，从流通部844流入流通空间SP1的流体遍及整个流通空间SP1，在与盖部821的整个下表面接触之后流入间隙空间SP2。另外，如图4所示，流入间隙空间SP2的流体向铅垂下方移动并在容器841的内底面折回，在送液配管822的内部流动后送至送液机构83。

另外，如图4所示，在保持部843中，除了流入部用的横孔843d之外，还设置有排气用的横孔843f。该横孔843f与设置于容器841的贯通孔(省略图示)连通。并且，排气部845的前端部插入横孔843f。如图5所示，在排气部845连接有排气孔用排气配管P10，根据来自运算单元的指令打开设置于排气配管P10的阀V14，从而能够从容器841的内部空间841b除去气体成分。

而且，如图5所示，在容器841的内底部连接有排液配管P11。根据来自运算单元的指令打开设置于排液配管P11的阀V15，从而能够从容器841的内部空间841b除去液体成分。

接着，对于利用上述那样构成的清洗器具84清洗联接器82的动作进行说明。在需要清洗从桶81卸下的联接器82时，操作者将该联接器82的送液配管822从开口843b插入并容纳于容器841的内部空间841b。此时，阀V12、V13关闭，停止向清洗器具84供给压缩空气以及清洗液。另外，阀V0也关闭。

当结束容纳送液配管822时，操作者使盖部821与突起部843a进行螺纹结合，来使联接器82保持于保持部843，从而结束联接器82的清洗准备。此外，联接器82保持于清洗器具84的方式并不限定于螺纹方式，也可以利用其它方式进行保持。

接着，当操作者操作接口单元来将清洗指令提供给控制单元9时，运算单元根据预先存储于存储单元的联接器清洗程序控制装置各部分，来执行联接器清洗。即，将上述的清洗液供给动作与压缩空气供给动作交替地反复执行多次。执行这样的反复动作的主要理由如下。当执行清洗液供给动作时，清洗液从流通部844流入清洗器具84的内部，依次在流通空间SP1、间隙空间SP2以及送液配管822的内部流动，从而除去附着于联接器82的被清洗部位(盖部821的下表面和送液配管822)的涂敷液。另外，用于联接器清洗的清洗液经过送液配管822送至送液机构83，清洗送液机构83的各部分，并且最终从喷嘴71喷出。在此，就在配管内流动的清洗液的流速而言，在管中央部流速比较大，相对于此，在管壁附近流速迅速变弱，因此当连续地进行清洗液供给动作时，涂敷液可能残留于配管的管壁。相对于此，在供给清洗液之后向配管供给压缩空气时，利用压缩空气使清洗液扩散并推送至整个管内。结果，还能够有效地除去在配管的管壁存在的涂敷液，能够提高清洗效率。因此，在本实施方式中，如上述那样并用清洗液供给动作与压缩空气供给动作。

在进行了上述的反复动作之后，运算单元使压缩空气供给动作持续进行规定时间来使联接器82干燥。然后，运算单元打开阀V14、V15。这样，残留于容器841的内底面的清洗液经由排液配管P11排出，并且经由排气配管P10使容器841的内部空间641c向大气开放。然后运算单元关闭阀V14、V15，利用接口单元向操作者通知清洗处理结束。接收了该通知的操作者从清洗器具84卸下联接器82，如图2所示那样安装于新设置的桶81。

如上所述，在本实施方式中，在将从桶81卸下的联接器82安装于清洗器具84之后，使清洗液依次在流通空间SP1、间隙空间SP2以及送液配管822的内部流动，来除去附着于联接器82的被清洗部位(盖部821的下表面和送液配管822)的涂敷液。因此，人工操作仅仅是联接器82的更换操作，与将整个工序依赖于人工操作的以往技术相比，能够更良好地且在短时间内清洗联接器82。另外，清洗处理的主要工序、即利用清洗液进行的清洗并不伴随着人工操作，因此不会产生因进行清洗操作的人不同而清洗性不同的问题，能够获得均匀且再现性高的清洗性。而且，在利用人工操作清洗联接器82的情况下，需要使联接器82浸渍于容量比较大的容器来进行清洗处理，相对于此，在本实施方式中，能够利用能够容纳联接器82的送液配管822的程度的容器841来进行清洗处理，因此能够大幅度地削减清洗液的使用量，从环境保护的角度出发也是有益的。

另外，保持将联接器82的送液配管822连接于送液机构83的状态，来进行联接器82的清洗处理，用于联接器82的清洗的清洗液直接送至送液机构83，最终送至喷嘴71并喷出。因此，能够与联接器82的清洗一起对送液机构83以及喷嘴71进行清洗。

另外，如图6所示，从流通部844流入流通空间SP1的流入位置PS1与从流通空间SP1向间隙空间SP2流出的流出位置PS2不同，而且从流通部844流入流通空间SP1的流入方向D1与从流通空间SP1向间隙空间SP2流出的流出方向D2不平行。因此，从流通部844流入流通空间SP1的流体遍及整个流通空间SP1，能够与盖部821的整个下表面接触来进行清洗。

另外，在保持部843设置有橡胶片等封固构件843c，在联接器82保持于保持部843时，通气配管823被封固构件843c堵塞。因此，能够有效地防止在清洗联接器82的过程中清洗液经由通气配管823漏出，能够稳定地执行清洗处理。

这样在本实施方式中，涂敷液以及用于贮存该涂敷液的桶81分别相当于本发明的“液体”以及“液体贮存体”的一例。另外，构成联接器82的送液配管822相当于本发明的“贯通设置于盖部的配管”的一例。另外，流通部844相当于本发明的“流入部”的一例。另外，喷嘴71相当于本发明的“被供给部”的一例。而且，送液机构83相当于本发明的“供给部”的一例。

此外，本发明并不限定于上述的实施方式，在不脱离其宗旨的情况下，能够进行上述实施方式之外的各种变更。例如，在上述实施方式中，在保持将联接器82的送液配管822连接于送液机构83的状态下，进行联接器82的清洗处理，但是也可以从送液机构83分离联接器82之后，利用清洗器具84进行清洗处理。

另外，在上述实施方式中，从流通部844供给清洗液，使清洗液依次在流通空间SP1、间隙空间SP2以及送液配管822的内部流动，但是也可以使清洗液以与上述情况相反的顺序流动，来清洗联接器82。例如如图7所示，在配管P1上追加三通阀V16，如同图中的粗线所示，在进行联接器82的清洗处理时，将清洗液经由三通阀V16送入送液配管822，使清洗液以及压缩空气依次流入送液配管822的内部、间隙空间SP2以及流通空间SP1，从流通部844排出清洗液以及压缩空气。此时，流通部844相当于本发明的“流出部”的一例。

另外，在上述实施方式中，交替地反复进行清洗液供给动作与压缩空气供给动作，但是也可以仅持续地执行清洗液供给动作。

另外，在上述实施方式中，设置有用于使容器841内向大气开放的排气机构(排气部845、排气配管P10和阀V14)。另外，设置有用于从容器841排出清洗液的排液机构(配管P11和阀V15)。这些机构并不是本发明的必须结构，可以省略排气机构以及排液机构中的一个，或者省略排气机构以及排液机构这两者。

另外，也可以利用氮气等非活性气体，来代替压缩空气。

另外，在上述实施方式中，在作为本发明的“液体贮存体”利用了桶81的液体供给装置8应用本发明，但是也可以在利用了其它液体贮存体，例如Nowpak(注册商标)或间接加压罐等的液体供给装置应用本发明。另外，本发明的应用对象并不限定于在涂敷装置1设置的液体供给装置8，对于将贮存于液体贮存体的液体(药液、处理液等)供给至喷嘴等被供给部的所有液体供给装置，都能够应用本发明。

本发明能够引用于利用清洗液清洗联接器的清洗技术以及应用该清洗技术的所有液体供给装置，所述联接器将贯通设置于盖部的配管插入液体贮存体的内部，经由配管取出贮存于液体贮存体的内部的液体，其中，所述盖部能够相对于液体贮存体进行自由装卸。

Claims (11)

1.一种清洗器具，用于利用清洗液清洗联接器，所述联接器具有能够装卸于液体贮存体上的盖部和贯通设置于所述盖部的配管，通过将所述配管插入所述液体贮存体的内部，能经由所述配管取出在所述内部贮存的液体，所述清洗器具的特征在于，

具有：

容器，具有能够插入所述配管的开口、能够经由所述开口容纳所述配管的内部空间，以及

保持部，安装于所述容器的所述开口的附近，保持从所述液体贮存体卸下的所述联接器；

通过使所述清洗液在间隙空间与所述配管的内部之间流通，来清洗所述配管，所述间隙空间为，所述配管容纳于所述内部空间而在所述容器的内表面与所述配管的外表面之间形成的空间。

2.根据权利要求1所述的清洗器具，其特征在于，

在所述配管容纳于所述内部空间的状态下，所述保持部与所述盖部卡合来进行保持，并且所述保持部与所述盖部局部相向，来形成与所述间隙空间连通的流通空间，

所述清洗液能够在所述流通空间与所述间隙空间之间流通。

3.根据权利要求2所述的清洗器具，其特征在于，

还具有流入部，所述流入部安装于所述保持部，使所述清洗液流入所述流通空间，来使所述清洗液依次流入所述间隙空间以及所述配管的内部。

4.根据权利要求3所述的清洗器具，其特征在于，

从所述流入部流入所述流通空间的流入位置与从所述流通空间向所述间隙空间流出的流出位置不同，

从所述流入部流入所述流通空间的流入方向与从所述流通空间向所述间隙空间流出的流出方向不平行。

5.根据权利要求2所述的清洗器具，其特征在于，

还具有流出部，所述流出部安装于所述保持部，使经由所述配管的内部以及所述间隙空间流出至所述流通空间的所述清洗液流出。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的清洗器具，其特征在于，

还具有排液配管，所述排液配管与所述容器的铅垂下方端部连接，排出所述内部空间内的所述清洗液。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的清洗器具，其特征在于，

还具有排气部，所述排气部安装于所述保持部，排出所述内部空间内的气体。

8.一种清洗方法，用于清洗联接器，所述联接器具有能够装卸于液体贮存体的盖部和贯通设置于所述盖部的配管，通过将所述配管插入所述液体贮存体的内部，能经由所述配管取出在所述内部贮存的液体，所述清洗方法的特征在于，

包括：

将从所述液体贮存体卸下的所述联接器的所述配管插入清洗器具的容器，并且利用所述清洗器具保持所述盖部的工序；以及

使清洗液在间隙空间与所述配管的内部流通来清洗所述配管的工序，所述间隙空间为，形成于所述容器的内表面与所述配管的外表面之间的空间。

9.一种液体供给装置，将贮存于液体贮存体的液体供给至被供给部，所述液体供给装置的特征在于，

具有：

联接器，具有能够装卸于所述液体贮存体的盖部和贯通设置于所述盖部的配管，通过将所述配管插入所述液体贮存体的内部，能经由所述配管取出所述液体，

供给部，将从所述联接器取出的所述液体供给至所述被供给部，以及

清洗器具，用于利用清洗液清洗所述联接器；

所述清洗器具具有：

容器，具有能够插入所述配管的开口、能够经由所述开口容纳所述配管的内部空间，以及

保持部，安装于所述容器的所述开口的附近，保持从所述液体贮存体卸下的所述联接器；

通过使所述清洗液在间隙空间与所述配管的内部之间流通，来清洗所述配管，所述间隙空间为，所述配管容纳于所述内部空间而在所述容器的内表面与所述配管的外表面之间形成的空间。

10.根据权利要求9所述的液体供给装置，其特征在于，

在所述配管容纳于所述内部空间的状态下，所述保持部与所述盖部卡合来进行保持，并且所述保持部与所述盖部局部相向来形成与所述间隙空间连通的流通空间，

所述清洗液能够在所述流通空间与所述间隙空间之间流通。

11.根据权利要求10所述的液体供给装置，其特征在于，

所述清洗器具还具有流入部，所述流入部安装于所述保持部，并且所述流入部使所述清洗液流入所述流通空间，来使所述清洗液依次流入所述间隙空间以及所述配管的内部，

从所述配管流出的所述清洗液经由所述供给部供给至所述被供给部。