CN109459914A - 光固化树脂组合物及其应用 - Google Patents

光固化树脂组合物及其应用 Download PDF

Info

Publication number
CN109459914A
CN109459914A CN201710796351.1A CN201710796351A CN109459914A CN 109459914 A CN109459914 A CN 109459914A CN 201710796351 A CN201710796351 A CN 201710796351A CN 109459914 A CN109459914 A CN 109459914A
Authority
CN
China
Prior art keywords
methyl
acrylate
ester
glycol
photoinitiator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710796351.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109459914B (zh
Inventor
钱晓春
胡春青
于培培
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taixing Qiangli Xianxian Electronic New Materials Co ltd
Changzhou Tronly New Electronic Materials Co Ltd
Changzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co Ltd
Original Assignee
Changzhou Tronly New Electronic Materials Co Ltd
Changzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Tronly New Electronic Materials Co Ltd, Changzhou Tronly Advanced Electronic Materials Co Ltd filed Critical Changzhou Tronly New Electronic Materials Co Ltd
Priority to CN201710796351.1A priority Critical patent/CN109459914B/zh
Priority to KR1020197032437A priority patent/KR102362859B1/ko
Priority to JP2019558470A priority patent/JP7034175B2/ja
Priority to PCT/CN2018/082761 priority patent/WO2018196619A1/zh
Priority to TW107113343A priority patent/TWI680118B/zh
Publication of CN109459914A publication Critical patent/CN109459914A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109459914B publication Critical patent/CN109459914B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/22—Absorbing filters
    • G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Abstract

本发明提供了一种光固化树脂组合物及其应用。该光固化树脂组合物包括光引发剂和聚合物单体，聚合物单体中含有烯属双键，光引发剂包括含芴肟酯的光引发剂，含芴肟酯的光引发剂具有式(Ⅰ)所示结构。该光引发剂自身具有较大的分子量，同时其还带有可聚合的基团，在光固化过程中上述光引发剂能够与聚合物单体中的烯属双键发生聚合反应，形成具有较大分子量的聚合物。一方面，这有利于使上述光固化组合物在较为均一的速率下进行固化，从而能够有效抑制光固化过程中图案的咬边现象的发生。另一方面，由于固化后得到的聚合物的分子量比较大，其在加热状态下很难产生升华物，因而上述光固化组合物形成的固化物还具有较高的热稳定性。

Description

光固化树脂组合物及其应用
技术领域
本发明涉及光固化领域，具体而言，涉及一种光固化树脂组合物及其应用。
背景技术
肟酯类光引发剂在光固化领域的应用已被熟知，相对于一般的光引发剂，肟酯类光引发剂感光性能优异，相当多种类的含肟酯类感光性树脂组合物被研发并应用到包含彩色光阻、黑色矩阵、光间隙物和肋壁的液晶显示器的制造中。但随着电子设备的轻薄化、微型化和高集成化，液晶显示器正向小型、高精细的方向发展，这就对感光性树脂组合物在应用中的感光度、透明性、密合性、图案显影性等性能提出了更高要求。
近年来，在制造液晶显示器时，人们一直尝试着提高黑底显像管的遮光性和进一步提高液晶显示器上图像的对比度。为了解决上述问题，通常需要向用于形成黑底显像管的感光性树脂组合物中添加大量的遮光剂。但是，如果将大量的遮光剂添加到感光性树脂组合物中，在对感光性树脂组合物的膜进行曝光时，用于使其固化的光难于到达膜的底部，从而随着光固化树脂组合物灵敏度的急剧下降，感光性树脂组合物会产生固化不良的问题。
使用芴酯类化合物作为光聚合引发剂来形成黑底显像管时，虽然其具有良好的灵敏度，但非常容易过度显影而导致形成的黑底显像管的图案咬边。通常，在使用感光性树脂组合物来形成用于液晶显示器的滤色器的图案的情况下，如图1所示，该图案在宽度方向上的截面即截面1一般为梯形，上述梯形呈离底边1a越近宽度越宽、离顶边1b越近宽度越窄的形状，此时，图案的截面1与滤色器基板之间所成的角θ为锐角。但是有时感光性树脂组合物来形成黑色显像管时，其会随着显像过程，与形成的显影图案的部分底部发生溶解，如图2所示，在该图案宽度方向上的截面即截面2的底边2a的两端生成咬边21，此时图案的截面2与滤色器基板之间所形成的角θ为钝角。这样，如果角θ为钝角，则在形成与黑色显像管邻接的各像素区域时，咬边21局部产生气泡，从而严重损害液晶显示装置的图画质量。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种光固化树脂组合物及其应用，以解决现有的光固化组合物容易过度显影而导致显影图案出现咬边的问题。
为了实现上述目的，本发明一个方面提供了一种光固化树脂组合物，光固化树脂组合物包括光引发剂和聚合物单体，聚合物单体中含有烯属双键，光引发剂包括含芴肟酯的光引发剂，含芴肟酯的光引发剂具有式(Ⅰ)所示结构：
其中，n为1～4的整数；
X为空或羰基；
R1选自H、硝基、卤原子、C1～C20直链烷基或支链烷基、C6～C20芳基、C6～C14芳基取代的C1～C10烷基、含有双键的C3～C5杂环基、以含有双键的C3～C5杂环基封端的C1～C12烷基、或且R1中的-CH2-可被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-COO-或-OCO-取代；
两个R2分别选自含有烯属双键的取代基、含有三元环氧基团的取代基或含有四元环氧基团的取代基，且两个R2相同或不同；
R3选自C1～C20直链烷基或支链烷基、C3～C20环烷基、C3～C8环烷基取代的C1～C10烷基、C1～C20烷基取代的C3～C8环烷基、苯基、苯基中至少一个氢原子被C1～C4烷基取代得到的基团、C1～C4烷氧基、C1～C4烷氧基中的至少一个氢原子被氟原子取代的得到的基团、噻吩基、或以噻吩基封端的C1～C4烷基；
R4选自C1～C20直链或支链烷基、C3～C20环烷基、C3～C8环烷基取代的C1～C10烷基、C6～C20的芳基、C1～C5烷基取代的C6～C20芳基、C4～C20的杂芳基、C2～C20的链烯基或C1～C5烷基取代的C6～C20杂芳基。
应用本发明的技术方案，上述光固化树脂组合物中，具有式(Ⅰ)所示结构的光引发剂自身具有较大的分子量，同时其还带有可聚合的基团，因而光固化过程中上述光引发剂能够与聚合物单体中的烯属双键发生聚合反应，形成具有较大分子量的聚合物。一方面，这有利于使上述光固化组合物在较为均一的速率下进行固化，从而能够有效抑制光固化过程中图案的咬边现象的发生。另一方面，由于固化后得到的聚合物的分子量比较大，其在加热状态下很难产生升华物，因而上述光固化组合物形成的固化物还具有较高的热稳定性。综上所述，即使在感光性树脂组合物含有遮光剂或曝光量不足等情况下，本申请提供的光固化组合物也能够抑制显影后的图案生成咬边的现象，且在显影后具有较高的热稳定性。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了采用本申请提供的光固化组合物形成的显影图案的示意图；以及
图2示出了采用现有的光固化组合物形成的显影图案发生的咬边现象的示意图。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将结合实施例来详细说明本发明。
正如背景技术所描述的，现有的光固化组合物容易过度显影而导致显影图案出现咬边的问题。为了解决上述技术问题，本发明提供了一种光固化树脂组合物，光固化树脂组合物包括光引发剂和聚合物单体，该聚合物单体中含有烯属双键，光引发剂包括含芴肟酯的光引发剂，含芴肟酯的光引发剂具有式(Ⅰ)的结构：
其中，n为1～4的整数；
X为空或羰基；
R1选自H、硝基、卤原子、C1～C20直链烷基或支链烷基、C6～C20芳基、C6～C14芳基取代的C1～C10烷基、含有双键的C3～C5杂环基、以含有双键的C3～C5杂环基封端的C1～C12烷基、或且R1中的-CH2-可被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-COO-或-OCO-取代；
两个R2分别选自含有烯属双键的取代基、含有三元环氧基团的取代基或含有四元环氧基团的取代基，且两个R2相同或不同；
R3选自C1～C20直链烷基或支链烷基、C3～C20环烷基、C3～C8环烷基取代的C1～C10烷基、C1～C20烷基取代的C3～C8环烷基、苯基、苯基中至少一个氢原子被C1～C4烷基取代得到的基团、C1～C4烷氧基、C1～C4烷氧基中的至少一个氢原子被氟原子取代的得到的基团、噻吩基、或以噻吩基封端的C1～C4烷基；
R4选自C1～C20直链或支链烷基、C3～C20环烷基、C3～C8环烷基取代的C1～C10烷基、C6～C20芳基、C1～C5烷基取代的C6～C20芳基、C4～C20杂芳基、C2～C20链烯基或C1～C5烷基取代的C6～C20杂芳基。
上述光固化树脂组合物中，具有式(Ⅰ)所示结构的光引发剂自身具有较大的分子量，同时其还带有可聚合的基团，在光固化过程中上述光引发剂能够与聚合物单体中的烯属双键发生聚合反应，形成具有较大分子量的聚合物。一方面，这有利于使上述光固化组合物在较为均一的速率下进行固化，从而能够有效抑制光固化过程中图案的咬边现象的发生。另一方面，由于固化后得到的聚合物的分子量比较大，其在加热状态下很难产生升华物，因而上述光固化组合物形成的固化物还具有较高的热稳定性。综上所述，即使在感光性树脂组合物含有遮光剂或曝光量不足等情况下，本申请提供的光固化组合物也能够抑制显影后的图案生成咬边的现象，且在显影后具有较高的热稳定性。
优选地，含芴肟酯的光引发剂包括但不限于
组成的组中的一种或多种。
即使在感光性树脂组合物含有遮光剂或曝光量不足等情况下，本申请提供的光固化组合物也能够抑制显影后的图案生成咬边的现象，且在显影后具有较高的热稳定性。在一种优选的实施方式中，光固化树脂组合物还包括碱溶性树脂和助剂。上述碱溶性树脂可从选用本领域常用的与树脂中。在光固化组合物中加入碱溶性树脂，有利于进一步提高碱显影性。优选地，上述碱溶性树脂为(甲基)丙烯酸酯类共聚物。更优选为已公开专利(CN106397752A)中公开的碱溶性树脂。
优选地，按重量份计，光固化组合物包括0.5～10份的含芴肟酯的光引发剂、10～100份的上述聚合物单体、0～80份的碱溶性树脂和0～500份的助剂。
进一步优选的，按重量份计，光固化组合物包括0.5～5份的含芴肟酯的光引发剂、10～80份的上述聚合物单体、0～60份的碱溶性树脂和0～200份的助剂。
在一种优选的实施方式中，上述聚合物单体包括但不限于(甲基)丙烯酰胺、羟甲基(甲基)丙烯酰胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、巴豆酸、2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸、叔丁基丙烯酰胺磺酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羟基丙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰基氧基-2-羟基丙酯、甘油单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、二甲基氨基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯、邻苯二甲酸衍生物的(甲基)丙烯酸半酯等。1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,12-十二烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚(乙烯-丙烯)二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、2,2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-(甲基)丙烯酰基氧基丙酯、乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚缩水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(即，甲苯二异氰酸酯)、三甲基-1,6-己二异氰酸酯、1,6-己二异氰酸酯、亚甲基双(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酰胺亚甲基醚、多元醇与N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺的缩合物、1,3,5-三丙烯酰基六氢-1,3,5-三嗪、2,4,6-三氧代六氢-1,3,5-三嗪-1,3,5-三乙醇三丙烯酸酯和2,4,6-三氧代六氢-1,3,5-三嗪-1,3,5-三乙醇二丙烯酸酯组成的组中的一种或多种。
上述光固化树脂组合物中还可以包含本领域中各种添加剂，包括但不限于溶剂、染料、颜料、填充剂、表面调节剂、消泡剂、流平剂、湿润剂、分散剂、消光剂、固化促进剂、链转移剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、抗絮凝剂、热聚合阻止剂和密合促进剂组成的组中的一种或多种。
优选地，表面活性剂包括但不限于阴离子系化合物、阳离子系化合物和非离子系化合物组成的组中的一种或多种。
优选地，密合性提高剂包括但不限于硅烷偶联剂。
优选地，热聚合阻止剂包括但不限于氢醌和/或氢醌单乙基醚。
优选地，消泡剂包括但不限于聚硅氧烷系化合物和/或氟系化合物。
优选地，上述光固化树脂组合物还可与本领域现有的光引发剂或增感剂配合使用。
优选地，本领域现有的光引发剂包括但不限于二苯甲酮类、硫杂蒽酮类、苯乙酮类、α-羟基酮类、α-氨基酮类、苯甲酰甲酸酯类和三嗪类组成的组中的一种或多种。
优选地，增感剂包括但不限于香豆素类化合物、蒽醌类化合物、蒽酯类化合物和吖啶类化合物组成的组中的一种或多种。
本申请的另一方面还提供了一种感光性树脂组合物的制备方法。具体地，该制备方法包括按所需组成进行配料；将上述配料放入搅拌机混合而得到。优选地，采用过滤器对上述光固化组合物的各组分进行过滤，以使配制的感光性树脂组合物均匀。
本申请的另一方面还提供了一种滤色器，该滤色器包括显像图案，该显像图案由本申请提供的光固化组合物形成。
优选地，上述显像图案的制备方法如下包括：
1)使用滚涂机或涂布机将光固化树脂组合物涂布在基板上。
2)对被涂布的光固化树脂组合物进行干燥，形成涂膜。
3)经由负像掩模用紫外线或准分子激光等活性能量线照射该涂膜，以使其部分曝光。
4)采用显影液对上述曝光后的涂膜进行显影，以形成所需形状的图案。
5)在一定温度下对显影后的图案进行后烘焙，优选为200℃～250℃。
本申请另一方面还提供了一种显示装置，该显示装置包括上述滤色器。
如前文所述，通过使用本发明的光固化树脂组合物，可抑制显影后所形成的图案中的咬边。当使用本发明的光固化树脂组合物制作滤色器上的显影图案时，其可抑制气泡进入各像素的交界部附近，进而有利于提高包括上述滤光器的液晶显示装置的图画质量。
以下结合具体实施例对本发明作进一步详细描述，这些实施例不能理解为限制本发明所要求保护的范围。
为了更好地说明本身请提供的光固化组合物的有益效果，采用光引发剂1至10和本领域常规的光引发剂制得光固化组合物的性能进行了比较。各光固化组合物的组成见表1和表2。
表1
表2
其中，化合物1至10具有以下结构式：
化合物A、B、C、D具有以下结构：
碱溶性树脂A1具有以下结构：
性能评价：
(1)灵敏度
按照以下步骤分别对实施例1至19和对比例1至6的感光性树脂组合物灵敏度进行评价，首先，取料于PET模板上，利用线棒涂膜，在90℃下干燥5min除去溶剂，形成膜厚度约2μm的涂膜。将形成有涂膜的基板冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯1PCS光源，通过FWHM滤光片实现长波长辐射。通过掩膜板的缝隙在370～420nm波长的紫外线对涂膜进行曝光，随后于25℃下在2.5％的碳酸钠溶液中浸渍20s显影，再用超纯水洗，风干，在220℃下硬烘烤30min使图形定影，对得到的图形进行评价。
曝光时，将在曝光步骤中光辐照区域显影后残膜率在90％或以上的最小曝光量评价为曝光需求量。曝光需求量越小表示灵敏度越高。
(2)对图案形状的评价
按照以下步骤分别对实施例1至19和对比例1至6的感光性树脂组合物形成图案的形状进行评价，首先，取料于PET模板上，利用线棒涂膜，在90℃下干燥5min除去溶剂，形成膜厚度约2μm的涂膜。将形成有涂膜的基板冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯1PCS光源，通过FWHM滤光片实现长波长辐射。通过掩膜板的缝隙在370～420nm波长的紫外线对涂膜进行充分曝光(曝光量100mJ/cm2)，随后于25℃下在2.5％的碳酸钠溶液中浸渍20s显影，再用超纯水洗，风干，在220℃下硬烘烤30min使图形定影，用扫描电子显微镜测定图案与基板之间的接合角度(圆锥角)，该圆锥角与图1和图2中相应地角θ相对应。如果圆锥角为锐角，则表示图案不存在咬边，如果圆锥角为钝角，则表示图案中存在咬边。具体结果见表3。
表3
从表3可以看出，本申请实施例1至19中制得的光固化组合物形成图案的形状与基板的接合角度为锐角，如图1所示；而对比例1至6中制得的光固化组合物形成图案的形状与基板的接合角度为钝角。因而本发明所述的可聚合芴类光引发剂感光性能优异，无论是单独使用还是和其他光引发剂配合使用，都具能够有效的解决咬边问题。
(3)升华性评价
对曝光后组合物中引发剂的升华产物进行检测，在100mJ/cm2条件下，针对上述实施例1、9、10、14及对比例1、6的配方，分别制取80片膜进行曝光，曝光后采用等量的四氢呋喃将掩模清洗干净，采用岛津液相色谱仪(LC-200)，对掩模附着物进行定量分析，在引发剂的出峰位置记录峰面积及峰值高度，峰面积及峰值高度越高，说明升华明显。结果见表4。
表4
从表4可以看出，采用本发明的感光性组合物，表现出可抑制升华物产生的特点。
综上所述，本发明所述的感光性树脂组合物，能够抑制显影后的图案生成咬边，并且在显影后的加热中很少产生升华物。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种光固化树脂组合物，其特征在于，所述光固化树脂组合物包括光引发剂和聚合物单体，所述聚合物单体中含有烯属双键，所述光引发剂包括含芴肟酯的光引发剂，所述含芴肟酯的光引发剂具有式(Ⅰ)所示结构：
其中，所述n为1～4的整数；
所述X为空或羰基；
所述R1选自H、硝基、卤原子、C1～C20直链烷基或支链烷基、C6～C20芳基、C6～C14芳基取代的C1～C10的烷基、含有双键的C3～C5杂环基、以含有双键的C3～C5杂环基封端的C1～C12烷基、或且所述R1中的-CH2-可被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-COO-或-OCO-取代；
两个所述R2分别选自含有烯属双键的取代基、含有三元环氧基团的取代基或含有四元环氧基团的取代基，且两个所述R2相同或不同；
所述R3选自C1～C20直链烷基或支链烷基、C3～C20环烷基、C3～C8环烷基取代的C1～C10的烷基、C1～C20烷基取代的C3～C8的环烷基、苯基、苯基中至少一个氢原子被C1～C4烷基取代得到的基团、C1～C4烷氧基、C1～C4烷氧基中的至少一个氢原子被氟原子取代的得到的基团、噻吩基、或以噻吩基封端的C1～C4烷基；
所述R4选自C1～C20直链或支链烷基、C3～C20环烷基、C3～C8环烷基取代的C1～C10的烷基、C6～C20芳基、C1～C5烷基取代的C6～C20的芳基、C4～C20杂芳基、C2～C20的链烯基或C1～C5烷基取代的C6～C20杂芳基。
2.根据权利要求1所述的光固化树脂组合物，其特征在于，所述含芴肟酯的光引发剂选自
组成的组中的一种或多种。
3.根据权利要求1或2所述的光固化树脂组合物，其特征在于，所述光固化树脂组合物还包括碱溶性树脂和添加剂。
4.根据权利要求3所述的光固化树脂组合物，其特征在于，所述聚合物单体选自(甲基)丙烯酰胺、羟甲基(甲基)丙烯酰胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、巴豆酸、2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸、叔丁基丙烯酰胺磺酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羟基丙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰基氧基-2-羟基丙酯、甘油单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、二甲基氨基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯、邻苯二甲酸衍生物的(甲基)丙烯酸半酯、1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,12-十二烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚(乙烯-丙烯)二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、2,2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-(甲基)丙烯酰基氧基丙酯、乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚缩水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、三甲基-1,6-己二异氰酸酯、1,6-己二异氰酸酯、亚甲基双(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酰胺亚甲基醚、多元醇与N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺的缩合物、1,3,5-三丙烯酰基六氢-1,3,5-三嗪、2,4,6-三氧代六氢-1,3,5-三嗪-1,3,5-三乙醇三丙烯酸酯和2,4,6-三氧代六氢-1,3,5-三嗪-1,3,5-三乙醇二丙烯酸酯组成的组中的一种或多种。
5.根据权利要求3所述的光固化树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂为(甲基)丙烯酸酯类共聚物。
6.根据权利要求3所述的光固化树脂组合物，其特征在于，所述添加剂选自溶剂、染料、颜料、填充剂、表面调节剂、消泡剂、流平剂、湿润剂、分散剂、消光剂、固化促进剂、链转移剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、抗絮凝剂、热聚合阻止剂和密合促进剂组成的组中的一种或多种。
7.一种滤色器，包括显像图案，其特征在于，所述显像图案采用权利要求1至6中任一项所述的光固化组合物形成。
8.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括权利要求7所述的滤色器。
CN201710796351.1A 2017-04-25 2017-09-06 光固化树脂组合物及其应用 Active CN109459914B (zh)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710796351.1A CN109459914B (zh) 2017-09-06 2017-09-06 光固化树脂组合物及其应用
KR1020197032437A KR102362859B1 (ko) 2017-04-25 2018-04-12 중합성 기를 함유하는 플루오렌 옥심 에스테르 광 개시제, 및 이의 제조방법 및 용도
JP2019558470A JP7034175B2 (ja) 2017-04-25 2018-04-12 重合可能基含有フルオレンオキシムエステル系光開始剤、製造方法およびその応用
PCT/CN2018/082761 WO2018196619A1 (zh) 2017-04-25 2018-04-12 含有可聚合基团的芴肟酯类光引发剂、制备方法及其应用
TW107113343A TWI680118B (zh) 2017-04-25 2018-04-19 含有可聚合基團的芴肟酯類光引發劑、製備方法及其應用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710796351.1A CN109459914B (zh) 2017-09-06 2017-09-06 光固化树脂组合物及其应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109459914A true CN109459914A (zh) 2019-03-12
CN109459914B CN109459914B (zh) 2021-07-13

Family

ID=65606071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710796351.1A Active CN109459914B (zh) 2017-04-25 2017-09-06 光固化树脂组合物及其应用

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109459914B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014137466A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Jsr Corp 感放射線性着色組成物、着色硬化膜及び表示素子
CN104614940A (zh) * 2015-02-05 2015-05-13 常州强力先端电子材料有限公司 一种感光性树脂组合物及其应用
CN104661997A (zh) * 2012-05-03 2015-05-27 韩国化学研究院 新型芴类肟酯化合物,及含有该芴类肟酯化合物的光聚合引发剂和光阻剂组合物
WO2017023067A2 (ko) * 2015-07-31 2017-02-09 (주)켐이 플루오렌 유도체, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
CN106537254A (zh) * 2014-07-15 2017-03-22 东京应化工业株式会社 感光性组合物及化合物
CN108727517A (zh) * 2017-04-25 2018-11-02 常州强力先端电子材料有限公司 含有可聚合基团的芴肟酯类光引发剂、其制备方法及应用

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104661997A (zh) * 2012-05-03 2015-05-27 韩国化学研究院 新型芴类肟酯化合物,及含有该芴类肟酯化合物的光聚合引发剂和光阻剂组合物
JP2014137466A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Jsr Corp 感放射線性着色組成物、着色硬化膜及び表示素子
CN106537254A (zh) * 2014-07-15 2017-03-22 东京应化工业株式会社 感光性组合物及化合物
CN104614940A (zh) * 2015-02-05 2015-05-13 常州强力先端电子材料有限公司 一种感光性树脂组合物及其应用
WO2017023067A2 (ko) * 2015-07-31 2017-02-09 (주)켐이 플루오렌 유도체, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
CN108727517A (zh) * 2017-04-25 2018-11-02 常州强力先端电子材料有限公司 含有可聚合基团的芴肟酯类光引发剂、其制备方法及应用

Also Published As

Publication number Publication date
CN109459914B (zh) 2021-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104035283B (zh) 着色组成物、喷墨用墨水、彩色滤镜及其制造方法以及固态影像传感器与显示设备
CN101281368B (zh) 黑色阻焊剂组合物及其固化物
KR100805863B1 (ko) 감광성 조성물
JP5490475B2 (ja) 近赤外吸収性色素を含有する硬化性組成物、インク用組成物および近赤外線吸収フィルタの製造方法
CN106980230B (zh) 感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的滤色器和显示装置
KR20170031717A (ko) 옥심-에스테르 광개시제를 함유하는 감광성 조성물 및 이의 응용
KR101887241B1 (ko) 감광성 수지 조성물, 그리고 그것을 사용한 컬러 필터 및 표시 장치
CN109557765A (zh) 感光性树脂组合物、固化膜、显示装置及图案形成方法
JP2010507104A (ja) カルド樹脂を含む樹脂組成物、前記樹脂組成物を用いたパターンの形成方法、および前記方法によって形成されたパターンを用いたカラーフィルター
CN105189569A (zh) 着色组合物、着色硬化膜、彩色滤光片、固体摄像元件及图像显示装置
CN105074570A (zh) 着色感放射线性组合物、着色硬化膜、彩色滤光片、着色图案形成方法、彩色滤光片的制造方法、固体摄像元件及液晶显示装置
TWI554567B (zh) Alkali soluble resin and its photosensitive resin composition and its application
CN109426079A (zh) 感光性组合物、固化物形成方法、固化物、图像显示装置用面板及图像显示装置
CN103890128A (zh) 拒墨剂的制造方法、负型感光性树脂组合物、分隔壁以及光学元件
KR101288564B1 (ko) 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 제조된 컬러필터
KR102674718B1 (ko) 흑색 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 블랙 컬럼 스페이서
CN104345565B (zh) 感光树脂组合物和使用其的彩色滤光片
CN105377997A (zh) 色素多聚体的制造方法以及着色组合物的制造方法
CN109459914A (zh) 光固化树脂组合物及其应用
KR102613079B1 (ko) 옥심에스테르 화합물 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물
CN105467755B (zh) 感光性树脂组合物
CN109134712A (zh) 芴类多官能度光引发剂、其制备方法及其应用
JP5986671B2 (ja) 着色組成物、インクジェット用インク、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、並びに表示装置
CN110806676A (zh) 感光性树脂组合物及其应用
KR100550938B1 (ko) 광중합성 감광 수지 조성물

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20211130

Address after: 213159 Wucheng Industrial Park, Zhenglu Town, Tianning District, Changzhou City, Jiangsu Province

Patentee after: CHANGZHOU TRONLY ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS Co.,Ltd.

Patentee after: Changzhou Tronly New Electronic Materials Co.,Ltd.

Patentee after: Taixing Xianxian Chemical Co.,Ltd.

Address before: 213159 Wucheng Industrial Park, Zhenglu Town, Tianning District, Changzhou City, Jiangsu Province

Patentee before: CHANGZHOU TRONLY ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS Co.,Ltd.

Patentee before: Changzhou Tronly New Electronic Materials Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 213000 Wucheng Industrial Park, Zhenglu Town, Tianning District, Changzhou City, Jiangsu Province

Patentee after: CHANGZHOU TRONLY ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS Co.,Ltd.

Patentee after: Changzhou Tronly New Electronic Materials Co.,Ltd.

Patentee after: Taixing Qiangli Xianxian Electronic New Materials Co.,Ltd.

Address before: 213159 Wucheng Industrial Park, Zhenglu Town, Tianning District, Changzhou City, Jiangsu Province

Patentee before: CHANGZHOU TRONLY ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS Co.,Ltd.

Patentee before: Changzhou Tronly New Electronic Materials Co.,Ltd.

Patentee before: Taixing Xianxian Chemical Co.,Ltd.