CN109231819B - 无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用 - Google Patents

无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用 Download PDF

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Abstract

本发明涉及玻璃制造领域,公开了一种无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用。该无碱铝硅酸盐玻璃在1600℃时玻璃熔体的电阻率≤200Ω·cm;粘度为35000泊时对应的温度T35000≥1250℃;粘度为1013泊时对应的退火点≥790℃。本发明提供的无碱铝硅酸盐玻璃具有较低的密度和较高的弹性模量,良好的热稳定性及较低的热收缩率,并且该无碱铝硅酸盐玻璃在308nm和/或550nm处具有高穿透率,适合大型工业化生产。

Description

无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用
技术领域
本发明涉及玻璃制造领域,具体涉及无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用。
背景技术
随着光电行业的快速发展,对各种显示器件的需求正在不断增长,比如有源矩阵液晶显示(AMLCD)、有机发光二极管(OLED)以及应用低温多晶硅技术的有源矩阵液晶显示(LTPS TFT-LCD)器件,这些显示器件都基于使用薄膜半导体材料生产薄膜晶体管(TFT)技术。主流的硅基TFT可分为非晶硅(a-Si)TFT、多晶硅(p-Si)TFT和单晶硅(SCS)TFT,其中非晶硅(a-Si)TFT为现在主流TFT-LCD应用的技术,非晶硅(a-Si)TFT技术,在生产制程中的处理温度可以在300-450℃温度下完成。LTPS多晶硅(p-Si)TFT在制程过程中需要在较高温度下多次处理,基板必须在多次高温处理过程中不能发生变形,这就对基板玻璃性能提出更高的要求,优选的应变点高于650℃,更优选的是高于670℃、700℃、720℃,以使基板在面板制程中具有尽量小的热收缩。同时玻璃基板的膨胀系数需要与硅的膨胀系数相近,尽可能减小应力和破坏,因此基板玻璃优选的线性热膨胀系数在28-41×10-7/℃之间。为了便于生产,作为显示器基板用的玻璃应该具有较低的熔化温度、高温表面张力、高温体积电阻率和液相线温度。
用于平面显示的玻璃基板,需要通过溅射、化学气相沉积(CVD)等技术在底层基板玻璃表面形成透明导电膜、绝缘膜、半导体(多晶硅、无定形硅等)膜及金属膜,然后通过光蚀刻(Photo-etching)技术形成各种电路和图形,如果玻璃含有碱金属氧化物(Na2O,K2O,Li2O),在热处理过程中碱金属离子扩散进入沉积半导体材料,损害半导体膜特性,因此,玻璃应不含碱金属氧化物,首选的是以SiO2、Al2O3、B2O3、碱土金属氧化物RO(RO=Mg、Ca、Sr、BaO)等为主成分的碱土铝硅酸盐玻璃。
大多数硅酸盐玻璃的退火点、应变点随着玻璃形成体含量的增加和改性剂含量的减少而增高。但同时会造成高温熔化和澄清困难,造成耐火材料侵蚀加剧,增加能耗和生产成本。因此,通过组分改良,使得低温粘度增大的同时还要保证高温粘度不会出现大的提升,甚至降低才是提高热稳定性的最佳突破口。
显示用的无碱玻璃因粘度大,在熔化时通常需要加热到1600℃以上。常用的火焰熔制技术在无碱玻璃品质及工艺控制方面已显现不足,必须采取辅助电熔化或全电熔化技术才能实现玻璃的高效熔化。显示用的无碱玻璃在室温下是电的绝缘体,电阻率为1019-1022Ω·cm,当显示用的无碱玻璃被加热时其导电性能随温度升高而明显增强,但是相对于高碱金属硅酸盐玻璃在熔融状态下通常小于10Ω·cm的电阻率来说,显示用的无碱玻璃仍然存在电阻率偏大从而不利于提高热效率的问题。电助熔或全电熔技术利用高温状态下熔融玻璃液的自身导电发热特性将电能转化为热能的形式,使玻璃从内部自身发热来提高其内部的温度,降低玻璃液上、下层温差,提高澄清效果,其热效率要比火焰辐射加热吸收的热量高得多,从而节省能量,大幅提高玻璃熔化率,改善玻璃液品质。高温状态下无碱玻璃液的电阻率大小是影响玻璃焦耳热效应的关键。高温电阻率过小,可能会削弱焦耳热效应,自身发热量无法满足熔化的需要,还会带来高温粘度性能的劣化;高温电阻率过高,则会影响玻璃液的导电性,使通电加热时的电流流向耐火材料而造成耐火材料的高温侵蚀。因此,高温下熔融玻璃液的电阻率必须控制在合理的范围内才能达到提高熔化效率,改善玻璃液品质的目的。
在玻璃基板的加工过程中,基板玻璃是水平放置的,玻璃在自重作用下,有一定程度的下垂,下垂的程度与玻璃的密度成正比、与玻璃的弹性模量成反比。随着基板制造向着大尺寸、薄型化方向的发展,制造中玻璃板的下垂必须引起重视。因此应设计组成,使基板玻璃具有尽可能低的密度和尽可能高的弹性模量。
在一些平面显示制造过程中,需要使用紫外线作为能量将显示单元与其接触的衬底玻璃进行分离。为了降低分离的成本、提高成功几率,需要玻璃基板在紫外区有较高且稳定的穿透率,例如,对于厚度为0.5mm的玻璃基板,要求在波长为308nm下的穿透率高于60%,且批次内不同玻璃基板之间穿透率极差在1%之内。但是由于不可避免的因素,玻璃基板制造过程中总是会过多过少的引入SO3、Fe3O4等在紫外区有较强吸收的组分,因此在玻璃基板制造过程中需要严格控制各类组分对应原材料中杂质组分的含量,然而过低杂质含量的原材料意味着制造成本的升高,连锁反应导致整体产业链成本偏高。因此在玻璃制造过程中通过一定方式控制杂质含量(例如,铁氧化物)不必过分低的前提下实现高紫外透过率玻璃的制造,将会有利于整体产业链成本控制并且符合绿色制造的工业理念。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有的铝硅酸盐玻璃存在显示基板玻璃均化效果不理想和308nm处穿透率偏低的缺陷,提供一种无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用,该无碱铝硅酸盐玻璃具有较低的密度和较高的弹性模量,良好的热稳定性及较低的热收缩率,并且该无碱铝硅酸盐玻璃在308nm和/或550nm处具有高穿透率。
为了实现上述目的,本发明第一方面提供了一种无碱铝硅酸盐玻璃,其中,所述无碱铝硅酸盐玻璃在1600℃时玻璃熔体的电阻率≤200Ω·cm;
粘度为35000泊时对应的温度T35000≥1250℃;
粘度为1013泊时对应的退火点≥790℃。
优选地,所述无碱铝硅酸盐玻璃在1600℃时玻璃熔体的粘度为350-550泊。
优选地,所述无碱铝硅酸盐玻璃中以单质硫S形式表征的硫元素含量≤50ppm。
优选地,所述无碱铝硅酸盐玻璃中羟基含量≤0.3/mm。
优选地,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,该无碱铝硅酸盐玻璃含有69-73mol%的SiO2、11-15mol%的Al2O3、0-2mol%的B2O3、2-8mol%的MgO、2-8mol%的CaO、0-3mol%的SrO、3-10mol%的BaO、0.1-2mol%的ZnO、0.02-0.7mol%RE2O3、0.01-0.5mol%的Se2O3和小于0.05mol%的R2O,其中RE为稀土元素,R为碱金属。
优选地,以无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,该无碱铝硅酸盐玻璃含有70-72mol%的SiO2、12-14mol%的Al2O3、0-1mol%的B2O3、3-5mol%的MgO、3-6mol%的CaO、0.1-1mol%的SrO、4-7mol%的BaO、0.3-1.5mol%的ZnO、0.1-0.5mol%RE2O3、0.02-0.3mol%的Se2O3和小于0.05mol%的R2O。
优选地,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以Fe2O3形式表征,该无碱铝硅酸盐玻璃含有0.001-0.01mol%的Fe2O3
优选地,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以单质F形式表征,该无碱铝硅酸盐玻璃含有0.01-0.8mol%的F。
优选地,以摩尔百分比计,Se2O3/Fe2O3>10。
优选地,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足Z=1.5-4.5,其中,Z由下式计算得出:
Z=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+
3.77×SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO);其中,SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
优选地,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足G=2.5-6,其中,G值由下式计算得出:
G=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×
SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO+214.8×RE2O3+86.3×Se2O3);其中,SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3、Se2O3各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
优选地,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足T=3-6.5,其中,T值由下式计算得出:
T=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×
SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO+214.8×RE2O3+86.3×Se2O3+162.5×F);其中,SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3、Se2O3、F各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
优选地,以摩尔百分比计,(CaO+BaO)/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)≥0.6。
优选地,(MgO+BaO)/(1-MO)≥0.5,其中,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,MO代表无碱铝硅酸盐玻璃中除了SiO2、Al2O3、B2O3之外所有组分摩尔百分比的总和。
优选地,所述RE为钇和镧系元素,所述R为Li、Na和K;所述RE为Y、La、Nd和Lu中的一种或多种。
优选地,所述无碱铝硅酸盐玻璃的密度<2.7g/cm3;50-350℃范围内的热膨胀系数<40×10-7/℃;杨氏模量>80GPa;比模数>30GPa/(g×cm-3)。
优选地,粘度为200泊时对应的温度T200≤1730℃;粘度为35000泊时对应的温度T35000≥1250℃;液相线温度TL≤1260℃;粘度35000泊时对应的温度与液相线温度TL的差值≥50℃。
优选地,波长为308nm处的透过率≥73%;波长为550nm处的透过率≥91%。
优选地,在600℃/20min条件下的热收缩<15ppm。
第二方面,本发明提供了一种制备无碱铝硅酸盐玻璃的方法,该方法包括将本发明所述的无碱铝硅酸盐玻璃依次进行熔融处理、成型处理、退火处理和机械加工处理。
第三方面,提供了本发明所述的无碱铝硅酸盐玻璃在制备显示器件和/或太阳能电池中的应用。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,具有较低的密度和较高的弹性模量,良好的热稳定性及较低的热收缩率,并且该无碱铝硅酸盐玻璃在308nm和/或550nm处具有高穿透率等优点。可用于制备显示器件和/或太阳能电池,尤其适用于制备平板显示产品的衬底玻璃基板材料和/或屏幕表面保护用玻璃膜层材料、柔性显示产品的载板玻璃材料和/或表面封装玻璃材料和/或屏幕表面保护用玻璃膜层材料、柔性太阳能电池的衬底玻璃基板材料、安全玻璃、防弹玻璃、智能汽车玻璃、智能交通显示屏、智能橱窗和智能卡票以及用于其他需要高热稳定性、高紫外透过率和机械稳定性玻璃材料的应用领域。
具体实施方式
以下对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
第一方面,本发明提供了一种无碱铝硅酸盐玻璃,其中,所述无碱铝硅酸盐玻璃在1600℃时玻璃熔体的电阻率≤200Ω·cm;
粘度为35000泊时对应的温度T35000≥1250℃;
粘度为1013泊时对应的退火点≥790℃。
在本发明的优选实施方式中,所述无碱铝硅酸盐玻璃在1600℃时玻璃熔体的粘度为350-550泊;所述无碱铝硅酸盐玻璃中以单质硫S形式表征的硫元素含量≤50ppm;所述无碱铝硅酸盐玻璃中羟基含量≤0.3/mm。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,该无碱铝硅酸盐玻璃含有70-72mol%的SiO2、12-14mol%的Al2O3、0-1mol%的B2O3、3-5mol%的MgO、3-6mol%的CaO、0.1-1mol%的SrO、4-7mol%的BaO、0.3-1.5mol%的ZnO、0.1-0.5mol%RE2O3、0.02-0.3mol%的Se2O3和小于0.05mol%的R2O。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,SiO2是玻璃形成体,若含量过低,不利于热稳定性的增强,会使膨胀系数过高,玻璃容易失透;提高SiO2含量有助于玻璃轻量化,热膨胀系数减小,应变点增高,耐化学性增高,但高温粘度升高,这样又不利于熔解,一般的窑炉难以满足其熔解需求。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述SiO2的含量为69-73mol%,优选为70-72mol%,具体地,例如可以为69mol%、69.2mol%、69.56mol%、69.95mol%、70.2mol%、70.4mol%、70.6mol%、70.7mol%、70.9mol%、71.1mol%、71.4mol%、71.6mol%、71.9mol%、72mol%、72.4mol%、72.97mol%、73mol%以及这些数值中的任意两个数值所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,Al2O3用于提高玻璃结构的强度,若含量低于11mol%,玻璃容易失透,也容易受到外界水气及化学试剂的侵蚀。高含量的A12O3有助于玻璃应变点、抗弯强度的增高,但过高玻璃容易出现析晶现象。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述Al2O3的含量为11-15mol%,优选为12-14mol%,具体地,例如可以为11mol%、11.1mol%、11.3mol%、11.4mol%、11.6mol%、11.95mol%、12mol%、12.4mol%、12.6mol%、12.7mol%、12.8mol%、12.9mol%、13mol%、13.3mol%、13.4mol%、13.5mol%、13.6mol%、13.7mol%、13.8mol%、13.9mol%、14mol%、14.4mol%、14.5mol%、14.69mol%、14.9mol%、15mol%以及这些数值中的任意两个所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,B2O3能单独生成玻璃,是一种很好的助熔剂,高温熔化条件下B2O3难于形成[BO4],可降低高温粘度,低温时B有夺取游离氧形成[BO4]的趋势,使结构趋于紧密,提高玻璃的低温粘度,防止析晶现象的发生。但是过多的B2O3会使玻璃应变点大幅降低。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述B2O3的含量为0-2mol%,优选为0-1mol%,更优选为0,具体地,例如可以为0、0.1mol%、0.11mol%、0.3mol%、0.42mol%、0.46mol%、0.47mol%、0.7mol%、1mol%、1.31mol%、1.4mol%、1.6mol%、1.9mol%、2mol%以及任意两个相邻质量百分含量之间的任意质量百分含量。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,MgO具有大幅提升玻璃杨氏模量和比模数,降低高温粘度,使玻璃易于熔化的特点。当玻璃中碱土金属含量较少时,引入电场强度较大的网络外离子Mg2+,容易在结构中产生局部积聚作用,使短程有序范围增加。在这种情况下引入较多的中间体氧化物Al2O3,以[AlO4]状态存在时,由于这些多面体带有负电,吸引了部分网络外阳离子,使玻璃的积聚程度、析晶能力下降;当碱土金属合量较多、网络断裂比较严重的情况下,引入MgO,可使断裂的硅氧四面体重新连接而使玻璃析晶能力下降。因此在添加MgO时要注意与其他组分的配合比例。相对于其他碱土金属氧化物,MgO的存在会带来较低的膨胀系数和密度,较高的耐化学性能、应变点和弹性模量。如果MgO大于8mol%,玻璃耐化性会变差,同时玻璃容易失透。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述MgO的含量为2-8mol%,优选为3-5mol%,具体地,例如可以为2mol%、2.2mol%、2.8mol%、3mol%、3.2mol%、3.3mol%、3.6mol%、3.9mol%、4.2mol%、4.4mol%、4.6mol%、4.7mol%、4.9mol%、4.96mol%、5mol%、5.5mol%、6.4mol%、7mol%、7.4mol%、7.95mol%、8mol%以及这些数值中的任意两个数值所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,CaO用以促进玻璃的熔解和调整玻璃成型性。如果氧化钙含量少于2mol%,不易降低玻璃的粘度,含量过多,玻璃则会容易出现析晶,热膨胀系数也会大幅变大,脆性增大,对后续制程不利。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述CaO的含量为2-8mol%,优选为3-6mol%,具体地,例如可以为2mol%、2.1mol%、2.4mol%、2.5mol%、2.9mol%、3mol%、3.4mol%、3.7mol%、4.1mol%、4.3mol%、4.5mol%、4.6mol%、5.1mol%、5.4mol%、5.7mol%、5.9mol%、5.95mol%、6mol%、6.6mol%、7mol%、7.4mol%、8mol%以及这些数值中的任意两个数值所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,SrO可作为助熔剂和防止玻璃出现析晶,如果含量过多,玻璃密度会太高,导致产品的比模量下降。Sr2+为离子半径较大的二价金属离子,有较高的配位数,在无碱玻璃中往往填充于四面体网络骨架的间隙中,具有提高化学稳定性和机械稳定性的特点,但是其含量过多会使密度增加,裂纹、失透、分相的发生率提高。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述SrO的含量为0-3mol%,优选为0.1-1mol%,具体地,例如可以为0、0.1mol%、0.2mol%、0.3mol%、0.4mol%、0.5mol%、0.76mol%、0.8mol%、1mol%、1.4mol%、1.5mol%、1.7mol%、2mol%、2.2mol%、2.6mol%、3mol%以及这些数值中的任意两个数值所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,BaO作为助熔剂和防止玻璃出现析晶的成分,如果含量过多,玻璃高温体积电阻率会升高,密度过高,产品的比模量下降。虽然MgO、CaO、SrO、BaO均为碱土金属氧化物,但通过实验发现,各氧化物对玻璃形成稳定性的影响有较大差异,适当提高BaO含量,控制合理配比范围,有助于形成稳定性提高、抗析晶性能(玻璃形成稳定性)提升、整体性能优化。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述BaO的含量为3-10mol%,优选为4-7mol%,具体地,例如可以为3mol%、3.2mol%、3.95mol%、4.1mol%、4.67mol%、4.8mol%、4.84mol%、4.9mol%、5.1mol%、5.9mol%、6.7mol%、6.95mol%、7mol%、7.9mol%、10mol%以及这些数值中的任意两个数值所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,二价金属氧化物根据它在元素周期表中地位与对性质影响不同,可以分为两类:一类是位于主族的碱土金属氧化物,其离子R2+具有8个外电子结构;第二类位于周期表副族(如ZnO、CdO等),其离子R2+具有18个外层电子结构,在玻璃中两者的结构状态与对玻璃性质影响是不同的。ZnO可以降低玻璃高温粘度(如1500℃),有利于消除气泡;同时在软化点以下有提升强度、硬度、增加玻璃的耐化学性,降低玻璃热膨胀系数的作用。在无碱玻璃或低碱玻璃体系中,添加适量ZnO有助于抑制析晶,可以降低析晶温度。在理论上,ZnO在无碱玻璃或低碱玻璃中,作为网络外体引入玻璃后,高温下一般以[ZnO4]的形式存在,较[ZnO6]玻璃结构更加疏松,与不含ZnO的玻璃处于相同的高温状态下比较,含ZnO的玻璃粘度更小,原子运动速度更大,无法形成晶核,需要进一步降低温度,才有利于晶核的形成,因而,降低了玻璃的析晶上限温度。ZnO含量过多则会使玻璃的应变点大幅度降低。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述ZnO的含量为0.1-2mol%,优选为0.3-1.5mol%,具体地,例如可以为0.1mol%、0.13mol%、0.2mol%、0.25mol%、0.3mol%、0.37mol%、0.4mol%、0.43mol%、0.44mol%、0.45mol%、0.5mol%、0.65mol%、0.8mol%、0.9mol%、1mol%、1.2mol%、1.27mol%、1.43mol%、1.48mol%、1.5mol%、2mol%以及这些数值中的任意两个所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,稀土氧化物RE2O3在提高玻璃的某些性能方面具有独特的能力,例如玻璃的抗弯强度、弹性模量、应变点等性能随稀土氧化物的加入而大幅上升,促使玻璃脆性降低,断裂韧性大幅增加,并且能够降低玻璃的高温粘度和高温体积电阻率,为玻璃大型工业制造,特别是电熔和/或电助熔方式熔融玻璃带来巨大便利。碱土金属、ZnO等网络外体引入玻璃组成后,过剩的氧原子使得玻璃结构中的桥氧键断裂生成非桥氧,这些非桥氧的存在显著降低了玻璃的抗弯强度。RE2O3的加入促使玻璃的内部结构发生变化,所生成的Si-O-RE化学键将玻璃中孤立岛状网络单元重新连接,可以改善玻璃的网络结构,从而可以大幅提高玻璃的抗弯强度、弹性模量、应变点、化学稳定性以及降低高温体积电阻率等性能。但是进一步增加RE2O3时,由于可供调整的非桥氧数量减少,过量的RE2O3对玻璃的上述性能影响不大。因此,从吸收光谱等其他性能综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述RE2O3的含量为0.02-0.7mol%,优选为0.1-0.5mol%,所述RE为钇和镧系元素。优选地,所述RE为Y、La、Nd和Lu中一种或多种。在本发明的具体实施方式中,RE为Y或Lu,RE为多种元素的组合,例如可以为La和Nd;Y和La;Y和Nd;La、Nd和Lu,具体地,RE2O3例如可以为0.02mol%、0.1mol%、0.2mol%、0.23mol%、0.26mol%、0.28mol%、0.35mol%、0.36mol%、0.37mol%、0.4mol%、0.41mol%、0.43mol%、0.45mol%、0.48mol%、0.5mol%、0.7mol%以及这些数值中的任意两个所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,Se2O3为助熔剂和防止玻璃出现析晶的成分。对于含铁氧化物(特别是低价态的铁氧化物)玻璃,氧化硒可减少玻璃在308nm处等紫外光谱区域的吸收率,提高玻璃在308nm处的透过率。若含量过多,玻璃在波长380-780nm的透过率会出现降低。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,所述Se2O3的含量为0.01-0.5mol%,优选为0.02-0.3mol%,具体地,例如可以为0.01mol%、0.02mol%、0.03mol%、0.1mol%、0.14mol%、0.19mol%、0.21mol%、0.25mol%、0.27mol%、0.29mol%、0.3mol%、0.35mol%、0.39mol%、0.4mol%、0.43mol%、0.44mol%、0.45mol%、0.5mol%以及这些数值中的任意两个所构成的范围中的任意数值。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,不可避免的通过原材料固有杂质、生产过程接触等途径引入的少量铁氧化物会导致玻璃在紫外光谱区(例如,308nm波长处)的透过率下降,从而对柔性OLED面板制程中的激光剥离技术(LLO)产生不良影响,因此,降低各类原材料中铁氧化物的引入有利于提高紫外透过率,但过分降低又会导致原材料成本大幅上升,而当在玻璃制造过程中引入一定量的氟化物(例如氟化钙)后,其作为高温助溶剂,能够有效降低玻璃熔体粘度、高温表面张力和高温体积电阻率,与硫酸盐组合使用具有一定的澄清效果;另一方面,氟的加入可以在不刻意降低铁氧化物含量的条件下提高玻璃在308nm处的透过率改善含铁玻璃在紫外区308nm处的透过率,但含量过多容易导致玻璃分相或析出,造成乳浊或析晶。因此,综合考虑,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以Fe2O3形式表征,所述Fe2O3的含量为0.001-0.01mol%,优选为0.002-0.008mol%,具体地,例如可以为0.001mol%、0.002mol%、0.003mol%、0.004mol%、0.005mol%、0.006mol%、0.007mol%、0.008mol%、0.009mol%、0.01mol%以及这些数值中的任意两个所构成的范围中的任意数值。以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以单质F形式表征,所述F的含量为0.01-0.8mol%,优选为0.2-0.6mol%。具体地,例如可以为0.01mol%、0.02mol%、0.1mol%、0.2mol%、0.22mol%、0.25mol%、0.31mol%、0.34mol%、0.4mol%、0.42mol%、0.51mol%、0.52mol%、0.55mol%、0.6mol%、0.8mol%以及这些数值中的任意两个所构成的范围中的任意数值。进一步从透过率性能上综合考虑,优选地,以摩尔百分比计,Se2O3/Fe2O3>10,优选>20。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,不可避免的通过原材料固有杂质等途径会引入少量的碱金属氧化物,这对高温面板制程有不良影响,故应严格控制含碱量。以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,碱金属氧化物R2O<0.05mol%,其中,R2O为Li2O、Na2O、K2O含量的总和。
优选情况下,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足Z=1.5-4.5,优选为2.5-3.5,其中,Z由下式计算得出:
Z=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO);其中,SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
优选情况下,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足G=2.5-6,优选为3-4,其中,G值由下式计算得出:
G=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO+214.8×RE2O3+86.3×Se2O3);其中,SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3、Se2O3各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
优选情况下,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足T=3-6.5,优选为4-5,其中,T值由下式计算得出:
T=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO+214.8×RE2O3+86.3×Se2O3+162.5×F);其中,SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3、Se2O3、F各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
优选情况下,以摩尔百分比计,(CaO+BaO)/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)≥0.6。
优选情况下,以摩尔百分比计,(MgO+BaO)/(1-MO)≥0.5,其中,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,MO代表无碱铝硅酸盐玻璃中除了SiO2、Al2O3、B2O3之外所有组分摩尔百分比的总和。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,1600℃时玻璃熔体的电阻率≤200Ω·cm,优选为120-180Ω·cm。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,1600℃时玻璃熔体的粘度为350-550泊。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,粘度为35000泊时对应的温度T35000≥1250℃。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,粘度为1013泊时对应的退火点≥790℃,优选≥800℃。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,粘度为1014.5泊时对应的应变点≥750℃,优选≥760℃。
优选情况下,本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中羟基含量≤0.3/mm。
优选情况下,本发明的无碱铝硅酸盐玻璃的密度<2.7g/cm3,优选<2.65g/cm3;50-350℃范围内的热膨胀系数<40×10-7/℃,优选<39×10-7/℃;杨氏模量>80GPa,优选>81GPa;比模数>30GPa/(g×cm-3),优选>31GPa/(g×cm-3)。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,粘度为200泊时对应的温度,优选T200≤1690℃;粘度为35000泊时对应的温度T35000≥1250℃,优选T35000≥1280℃;液相线温度TL≤1260℃,优选TL≤1180℃;粘度35000泊时对应的温度与液相线温度TL的差值≥50℃,优选差值≥100℃。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,在波长为308nm处的透过率≥73%,优选≥74%;在波长为550nm处的透过率≥91%,优选≥92%。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,在600℃/20min条件下的热收缩<15ppm,优选<10ppm。
在本发明的无碱铝硅酸盐玻璃中,所述无碱铝硅酸盐玻璃还含有澄清剂,以各组分的总摩尔数为基准,所述澄清剂的含量≤0.5mol%,所述化学澄清剂优选为硫酸锶、硫酸钙、硝酸锶、氧化亚锡中的至少一种。
第二方面,本发明提供了一种制备无碱铝硅酸盐玻璃的方法,该方法包括将本发明所述的无碱铝硅酸盐玻璃依次进行熔融处理、成型处理、退火处理和机械加工处理。
本发明的方法中,优选情况下,所述方法还包括在混合料中添加氟化物,以所述混合料的总重为基准,所述氟化物的添加量为0.02-0.7wt%,在本发明的具体实施方式中采用氟化钙。优选地,所述混合料通过连续熔融池窑进行高温熔解;进一步优选地,使用电加热和/或燃气加热方式对混合料进行高温熔解;更进一步优选地,电加热提供能量比例占熔融玻璃全部能量比例的60%以上。其中氟化钙为高温助熔剂,有降低玻璃熔体粘度、高温表面张力和高温体积电阻率的作用,与硫酸盐组合使用具有一定的澄清效果;另一方面,氟可以改善含铁玻璃在紫外区308nm处的透过率。然而,过多含量的氟化物容易在玻璃中分相或析出,造成乳浊或析晶。
优选地,所述混合料通过连续熔融池窑进行高温熔解;进一步优选地,使用电加热和/或燃气加热方式对混合料进行高温熔解;更进一步优选地,电加热提供能量比例占熔融玻璃全部能量比例的60%以上;所述电加热是指通过多组成对的电极直接向混合料和玻璃液加热,促使完成硅酸盐反应、玻璃形成、澄清均化等过程,所述电极可以为氧化锡电极、氧化钼电极和/或铂金电极等。
本发明的方法中,优选情况下,熔融处理的条件包括:温度低于1700℃,时间大于1h。本领域技术人员可以根据实际情况确定具体的熔融温度和熔融时间,此为本领域技术人员所熟知,在此不再赘述。
本发明的方法中,优选情况下,退火处理的条件包括:温度高于780℃,时间大于0.1h。本领域技术人员可以根据实际情况确定具体的退火温度和退火时间,此为本领域技术人员所熟知,在此不再赘述。
本发明的方法中,对于机械加工处理没有特别的限定,可以为本领域常见的各种机械加工方式,例如可以为将退火处理得到的产物进行切割、研磨、抛光等。
优选地,该方法还包括:对机械加工处理得到的产物进行二次熔融拉薄处理。
优选地,控制所述机械加工处理或者二次熔融拉薄处理的条件以制备厚度小于0.1mm的玻璃。
在本发明的具体实施方式中可以添加一定量的硫酸盐,例如硫酸钙、硫酸锶等无机硫酸盐作为消除气态夹杂物的组分。但从紫外区光谱吸收等角度综合考虑,为了得到紫外区高透过率,优选玻璃中以单质硫S形式表征的残留硫元素含量≤50ppm。
第三方面,提供了本发明所述的无碱铝硅酸盐玻璃在制备显示器件和/或太阳能电池中的应用。
本发明的无碱铝硅酸盐玻璃,具有较低的密度和较高的弹性模量,良好的热稳定性及较低的热收缩率,并且该无碱铝硅酸盐玻璃在308nm和/或550nm处具有高穿透率等优点。可用于制备显示器件和/或太阳能电池,尤其适用于制备平板显示产品的衬底玻璃基板材料和/或屏幕表面保护用玻璃膜层材料、柔性显示产品的载板玻璃材料和/或表面封装玻璃材料和/或屏幕表面保护用玻璃膜层材料、柔性太阳能电池的衬底玻璃基板材料、安全玻璃、防弹玻璃、智能汽车玻璃、智能交通显示屏、智能橱窗和智能卡票以及用于其他需要高热稳定性、高紫外透过率和机械稳定性玻璃材料的应用领域。
实施例
以下将通过实施例对本发明进行详细描述。以下实施例中,如无特别说明,所用的各材料均可通过商购获得,如无特别说明,所用的方法为本领域的常规方法。
参照ASTM C-693测定玻璃密度,单位为g/cm3
参照ASTM E-228使用卧式膨胀仪测定50-350℃范围内的玻璃热膨胀系数,单位为10-7/℃。
参照ASTM C-623测定玻璃杨氏模量,单位为GPa。
参照ASTM C-965使用旋转高温粘度计测定玻璃高温粘温曲线,其中,1600℃对应的粘度即为η1600,单位为P;粘度为X泊对应的温度TX,单位为℃。
参照ASTM C-829使用梯温炉法测定玻璃液相线温度TL,单位为℃。
参照ASTM C-336使用退火点应变点测试仪测定玻璃退火点Ta和应变点Tst,单位为℃。
使用岛津UV-2600型紫外可见分光光度计紫外-可见分光光度计测定玻璃透过率,玻璃样品厚度为0.5mm,分别取308nm、550nm处透过率,单位为%。
使用热电iCAP 6300MFC型电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)测试玻璃中的铁含量(以Fe2O3形式表征)和氟含量,单位为mol%或ppm;
使用CS-9900型红外碳硫分析仪测试玻璃中的硫含量,以S形式表征,单位为ppm;
参照专利申请CN201710796764.X中公开的玻璃熔体高温电阻率的测试方法测定玻璃1600℃时熔体的电阻率,单位为Ω·cm;
采用如下热处理的方法(差值计算法)测定经过热处理后的热收缩率:将玻璃从25℃(测定初始长度,标记为L0)以5℃/min的升温速率升温至600℃并在600℃保温20min,然后以5℃/min的降温速率降温至25℃,玻璃长度发生一定量的收缩,再次测量其长度,标记为Lt,则热收缩率Yt表示为:
Figure GDA0002956725310000171
采用如下方法测定玻璃中羟基OH含量:使用PE公司SPECTRUM TWO型傅里叶红外光谱仪测试波数范围400~4000cm-1区间的透过率,采用下式计算得到玻璃羟基含量β-OH,单位为/mm:
β-OH=(1/D)*log10(T1/T2)
其中:
D:玻璃厚度(mm);
T1:在参照波长3846cm-1(2600nm)的透过率(%);
T2:在羟基吸收波长3600cm-1(2800nm)附近的最小透过率(%)
实施例1-8
按照表1所示称量各组分,混匀,将混合料倒入高锆砖坩埚(ZrO2>85wt%)中,然后在1630℃电阻炉中加热24小时,并使用铂铑合金(80wt%Pt+20wt%Rh)搅拌器匀速缓慢搅拌。将熔制好的玻璃液浇注入不锈钢模具内,成形为规定的块状玻璃制品,然后将玻璃制品在退火炉中退火2小时,关闭电源随炉冷却到25℃。将玻璃制品进行切割、研磨、抛光,然后用去离子水清洗干净并烘干,制得厚度为0.5mm的玻璃成品。分别对各玻璃成品的各种性能进行测定,结果见表1。
实施例9-15
按照实施例1的方法,不同的是,混合料成分(对应玻璃组成)和得到的产品的性能测定结果见表2。
对比例1-4
按照实施例1的方法,不同的是,混合料成分(对应玻璃组成)和得到的产品的性能测定结果见表3。
表1
Figure GDA0002956725310000191
表2
Figure GDA0002956725310000201
表3
组分(mol%) 对比例1 对比例2 对比例3 对比例4
SiO<sub>2</sub> 70.6 70.6 70.6 70.6
Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 13.5 13.5 13.5 13.5
B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0.47 0.47 0.47 0.47
MgO 4.2 4.2 4.2 4.2
CaO 5.1 5.1 5.1 5.1
SrO 4.67 0.4 0.2 0.2
BaO 0.2 4.67 4.67 4.67
ZnO 0.4 0.43 0.4 0.37
Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0 0 0 0
La<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0 0 0 0
Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0 0 0 0
Lu<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0.23 0 0.26 0.26
Se<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0.03 0.03 0 0.63
F 0.6 0.6 0.6 0
Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0.006 0.006 0.006 0.006
(CaO+BaO)/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO) 0.4 0.7 0.7 0.7
(MgO+BaO)/(1-M<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) 0.3 0.6 0.6 0.6
Se<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 5.0 5.0 0.0 105.0
Z 1.5 2.6 2.6 2.6
G 2.1 2.6 3.1 3.7
T 3.0 3.6 4.1 3.7
S(ppm) 502.1 1412.7 43.7 45.2
羟基OH(/mm) 0.24 0.22 0.25 0.41
密度(g/cm<sup>3</sup>) 2.51 2.56 2.58 2.63
膨胀(×10<sup>-7</sup>/℃) 35.6 38.1 35.9 35.9
杨氏模量(Gpa) 84.4 83.5 83.3 83.3
比模数(Gpa/g/cm<sup>3</sup>) 33.6 32.7 32.3 31.7
1200℃表面张力(mN/m) 369.0 371.0 365.7 409.5
1600℃体积电阻率(Ω·cm) 121.6 224.8 163.2 160.5
T<sub>200</sub>(℃) 1671.4 1693.7 1683.4 1654.4
T<sub>35000</sub>(℃) 1291.6 1303.2 1295.1 1281.6
T<sub>L</sub>(℃) 1270 1200 1190 1180
T<sub>35000</sub>-T<sub>L</sub>(℃) 22 103 105 102
退火点(℃) 826 774 822 817
应变点(℃) 775 721 773 764
308nm透过率(%) 74.1 74 58.3 54.9
550nm透过率(%) 92.2 92.3 91.5 88.7
热收缩ppm 7.6 17.4 8.2 8.4
将表1-2中的实施例与对比例数据比较可知,本发明方法对于获得高紫外透过率、高应变点(高耐热性)、高温体积电阻率较低的问题有明显效果,通过本发明提供的组成、限定配比、限定的Z/G/T数值范围、不必过分控制原材料中铁氧化物含量、适当含量的Se2O3和氟化物及制造方法得到的无碱铝硅酸盐玻璃具有较高的耐热稳定性、具有较低的高温体积电阻率、具有较高的紫外可见光谱透过率、具有较高的杨氏模量、具有较低的熔化温度和液相线温度,具有较低的表面张力,适合大型工业化制造,适合以部分或全部能量来源为电加热的方式制得熔融玻璃液,适合在制备显示器件和/或太阳能电池中的应用。尤其适用于制备平板显示产品的衬底玻璃基板材料和/或屏幕表面保护用玻璃膜层材料、柔性显示产品的载板玻璃材料和/或表面封装玻璃材料和/或屏幕表面保护用玻璃膜层材料、柔性太阳能电池的衬底玻璃基板材料、安全玻璃、防弹玻璃、智能汽车玻璃、智能交通显示屏、智能橱窗和智能卡票以及用于其他需要高热稳定性、高紫外透过率和机械稳定性玻璃材料的应用领域。
以上详细描述了本发明的优选实施方式,但是,本发明并不限于此。在本发明的技术构思范围内,可以对本发明的技术方案进行多种简单变型,包括各个技术特征以任何其它的合适方式进行组合,这些简单变型和组合同样应当视为本发明所公开的内容,均属于本发明的保护范围。

Claims (18)

1.一种无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,所述无碱铝硅酸盐玻璃在1600℃时玻璃熔体的电阻率为120-180Ω·cm;
粘度为35000泊时对应的温度T35000≥1250℃;
粘度为1013泊时对应的退火点≥790℃;
其中,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以氧化物计,该无碱铝硅酸盐玻璃含有70-72mol%的SiO2、11.95-14mol%的Al2O3、0-1mol%的B2O3、2.8-5mol%的MgO、2.9-6mol%的CaO、0.1-1mol%的SrO、3.95-7mol%的BaO、0.3-1.5mol%的ZnO、0.1-0.5mol%的RE2O3、0.02-0.3mol%的Se2O3和小于0.05mol%的R2O以及0.2-0.6mol%的F,其中RE为稀土元素,R为碱金属;
以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足T=4-5,其中,T值由下式计算得出:
T=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO+214.8×RE2O3+86.3×Se2O3+162.5×F);其中,SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3、Se2O3、F各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
2.根据权利要求1所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,所述无碱铝硅酸盐玻璃在1600℃时玻璃熔体的粘度为350-550泊。
3.根据权利要求2所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,所述无碱铝硅酸盐玻璃中以单质硫S形式表征的硫元素含量≤50ppm。
4.根据权利要求2所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,所述无碱铝硅酸盐玻璃中羟基含量≤0.3/mm,采用如下方法测定所述羟基含量:
使用PE公司SPECTRUM TWO型傅里叶红外光谱仪测试波数范围400~4000cm-1区间的透过率,采用下式计算得到玻璃羟基含量β-OH,单位为/mm:
β-OH=(1/D)*log10(T1/T2)
其中:
D:玻璃厚度(mm);
T1:在参照波长3846cm-1(2600nm)的透过率(%);
T2:在羟基吸收波长3600cm-1(2800nm)附近的最小透过率(%)。
5.根据权利要求1所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以该无碱铝硅酸盐玻璃的总摩尔量为基准,以Fe2O3形式表征,该无碱铝硅酸盐玻璃含有0.001-0.01mol%的Fe2O3
6.根据权利要求1所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以摩尔百分比计,Se2O3/Fe2O3>10。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足Z=1.5-4.5,其中,Z由下式计算得出:
Z=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO);
其中,SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
8.根据权利要求1-6中任意一项所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以摩尔百分比计,所述无碱铝硅酸盐玻璃中各组分的含量满足G=2.5-6,其中,G值由下式计算得出:
G=-10.31+(16.04×SiO2+6×Al2O3+3.29×B2O3-5.47×MgO-5.43×CaO+3.77×SrO+26.65×BaO-7.82×ZnO+214.8×RE2O3+86.3×Se2O3);其中,SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3、Se2O3各自代表该组分占所述无碱铝硅酸盐玻璃中的摩尔百分比。
9.根据权利要求1-6中任意一项所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以摩尔百分比计,(CaO+BaO)/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)≥0.6。
10.根据权利要求1-6中任意一项所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,所述RE为钇和镧系元素,所述R为Li、Na和K。
11.根据权利要求10所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,所述RE为Y、La、Nd和Lu中的一种或多种。
12.根据权利要求1-6中任意一项所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,所述无碱铝硅酸盐玻璃的密度<2.7g/cm3;50-350℃范围内的热膨胀系数<40×10-7/℃;杨氏模量>80GPa;比模数>30GPa/(g×cm-3)。
13.根据权利要求12所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,粘度为200泊时对应的温度T200≤1730℃;液相线温度TL≤1260℃;粘度35000泊时对应的温度与液相线温度TL的差值≥50℃。
14.根据权利要求12所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,波长为308nm处的透过率≥73%;波长为550nm处的透过率≥91%。
15.根据权利要求12所述的无碱铝硅酸盐玻璃,其特征在于,在600℃/20min条件下的热收缩<15ppm。
16.一种制备无碱铝硅酸盐玻璃的方法,其特征在于,该方法包括将权利要求1-15中任意一项所述的无碱铝硅酸盐玻璃所需的混合料依次进行熔融处理、成型处理、退火处理和机械加工处理。
17.根据权利要求16所述的制备铝硅酸盐玻璃的方法,其特征在于,所述混合料含有氟化物,以所述混合料的总重为基准,所述氟化物的添加量为0.02-0.7wt%。
18.权利要求1-15中任意一项所述的无碱铝硅酸盐玻璃在制备显示器件和/或太阳能电池中的应用。
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