CN108873599B - 大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围，并且将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，每个评价区域中的平坦度为至多3μm。从具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的石英玻璃衬底制备大尺寸光掩模。

Description

大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法

相关申请的交叉引用

该非临时申请根据35U.S.C.§119(a)要求2017年5月8日在日本提交的专利申请号2017-092330的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法以及制造方法。

背景技术

随着通过光刻法使图案小型化的近来进展，对形成掩模的合成石英玻璃衬底的高平坦性的要求正在增加。在现有技术中，衬底平坦度的规范通常由衬底的整个前或后表面上的平坦度值确定。然而，在较大面积的掩模用于符合大尺寸显示器如平板显示器的领域中，不仅衬底应当在整个表面上具有低的平坦度，而且减少在衬底表面内的平坦度变化也是重要的。专利文献1公开了一种通过将衬底划分为多个部位并比较每个部位内的局部平坦度来评价衬底表面内的平坦度变化的方法。

引文列表

专利文献1：JP-A2004-200600(USP7,230,680)

发明内容

形成掩模的衬底具有高平坦度是重要的。即使在整个衬底上的平坦度落入特定规范内时，也存在整个衬底上的平坦度具有变化或不均匀性，并且该表面包括具有大起伏梯度的局部区域的情况。这导致沉积在衬底上的薄膜的不均匀性或者通过掩模曝光时聚焦的变化。在专利文献1的方法中，将晶片表面分成多个部位，并且在评价中使用每个部位的平坦度以使形状接近期望的形状。由于部位不是重叠而是分开的，因此没有评价部位之间的平坦度例如位于部位侧面的局部起伏梯度。

本发明的一个目的是提供一种大尺寸合成石英玻璃衬底，它在该衬底表面中具有高的平坦度和最小的局部梯度，因此它可用作起始衬底以形成允许以高精度曝光的掩模；一种评价方法；和一种制造方法。

发明人已经发现以下内容。在用作形成掩模的起始衬底的大尺寸合成石英玻璃衬底中，在前表面和/或后表面上限定有效范围。将有效范围划分为多个评价区域，使得评价区域彼此部分重叠。基于每个评价区域内的平坦度数据以及一个评价区域内的平坦度和与所述一个评价区域重叠的另一个评价区域内的平坦度之间的进一步差异数据来评价平坦度是有效的。通过基于评价结果确定抛光中的材料去除量并根据确定的量局部抛光该衬底表面，获得大尺寸合成石英玻璃衬底表面，其在衬底表面中具有高平坦度和最小局部梯度，使得它可用作起始衬底以形成允许以高精度曝光的掩模。

一方面，本发明提供一种具有前表面和后表面以及至少1,000mm的对角线长度的大尺寸合成石英玻璃衬底，其中在前表面和/或后表面上限定有效范围，该有效范围被划分成多个评价区域，使得评价区域彼此部分重叠，并且每个评价区域中的平坦度为至多3μm。

在一个优选实施方案中，衬底是矩形的，有效范围是通过去除从衬底表面的每侧延伸10mm的带而限定在衬底表面上的矩形范围，该矩形范围具有两对相对侧边，评价区域由该有效范围的一对相对侧边和平行于另一对相对侧边的两条直线划定，且沿着所述一对相对侧边具有100至300mm的宽度。

在一个优选实施方案中，对于每个评价区域，在该评价区域与重叠评价区域中最接近的一个之间的重叠面积为每个评价区域的面积的50％至98％。

在一个优选实施方案中，对于每个评价区域，在该评价区域和重叠的评价区域中最接近的一个之间的平坦度差异为至多0.8μm。

另一方面，本发明提供了一种用于评价具有前表面和后表面以及至少1,000mm的对角线长度的大尺寸合成石英玻璃衬底的平坦度的方法，其中在前表面和/或后表面上限定有效范围，该方法包括以下步骤：

将有效范围划分成多个评价区域，使得评价区域彼此部分重叠，

测量每个评价区域内的平坦度，以及

任选地计算一个评价区域中的平坦度和与所述一个评价区域重叠的另一个评价区域中的平坦度之间的差异。

另一方面，本发明提供了一种制造大尺寸合成石英玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

根据上述方法评价大尺寸石英玻璃衬底的平坦度，

基于所测量的平坦度确定抛光中的材料去除量，以及

根据确定的抛光中的材料去除量局部抛光石英玻璃衬底的表面。

在又一方面，本发明提供了一种用于制造大尺寸合成石英玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

根据上述方法评价大尺寸石英玻璃衬底的平坦度，

基于所测量的平坦度和平坦度差异确定抛光中的材料去除量，以及

根据确定的抛光中的材料去除量局部抛光石英玻璃衬底的表面。

本发明的有益效果

提供了在衬底表面内具有高平坦度和最小局部梯度的大尺寸合成石英玻璃衬底。该衬底用于形成用于面板曝光的大尺寸光掩模，使得能够以改善的临界尺寸(CD)精度曝光精细尺寸的图案。

附图说明

作为唯一的图，图1示意性地示出了将有效范围划分为多个评价区域的一种示例性划分。

具体实施方式

通常通过如下方式制备用作形成掩模的起始衬底的大尺寸合成石英玻璃衬底：提供由直接或间接工艺所制备的合成石英玻璃块，通过例如线锯的方式将玻璃块切成预定厚度，外形机加工至预定尺寸，研磨，打磨，粗抛光和精抛光。这样获得的石英玻璃衬底通常成形为对角线长度为至少1,000mm且优选厚度为5至30mm的矩形板材。在这个意义上，衬底有前表面和后表面和四个侧面。典型地，石英玻璃衬底具有最大3,500mm的对角线长度。石英玻璃衬底在其整个表面上具有在前表面或后表面上优选至多30μm，更优选至多20μm，并且甚至更优选至多10μm的平坦度，以及在前表面和后表面之间优选至多30μm，更优选至多20μm，甚至更优选地至多10μm的平行度。

在衬底的前表面和后表面的每一个上限定有效范围。特别地，有效范围是排除外周围部分的衬底表面的范围，并且更特别是通过从衬底表面排除从每侧延伸10mm的带而限定在衬底表面上的范围。在其中大尺寸合成石英玻璃衬底是矩形的一个实施方案中，通过去除从每侧延伸10mm的带而限定矩形范围。值得注意的是，矩形范围有两对相对的侧边。

根据本发明，将石英玻璃衬底的前表面和/或后表面上的有效范围划分为多个评价区域，使得评价区域彼此部分重叠，例如，任何评价区域位于整体有效范围中。例如，与矩形大尺寸合成石英玻璃衬底一起描述划分评价区域的方式。如图1所示，一个评价区域由衬底表面S上的有效范围E的一对相对侧边和平行于有效范围E的另一对相对侧边的两条直线(特别是两条直线包括另一对相对侧边本身)划定。在这种情况下，所有评价区域都是矩形的并且以评价区域1,2,3，...，n的顺序沿着一对相对侧边来并置。每个评价区域沿着一对相对的侧边具有至少100mm的宽度，尤其是至少150mm并且至多300mm，尤其是至多250mm的宽度。优选地，宽度在所有评价区域中是相同的。即，评价区域优选以相同的间距划分。一对相对侧边(评价区域沿其并置)可以在矩形衬底的任一较长侧边或较短侧边上，优选在便于计算抛光量或测量平坦度的方向上，例如抛光工具的移动方向或在平坦度测量期间的轴向方向。

随着评价区域之间的重叠程度增加，评价区域的总数增加，这是有利的，因为获得具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的大尺寸合成石英玻璃衬底，但是不利的是评价和加工需要更长的时间。随着评价区域之间重叠程度的降低，评价区域的总数量减少，这是有利的，因为用于评价和加工的时间更短，但是对于获得具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的大尺寸合成石英玻璃衬底无效。因此，根据期望的平坦度和加工时间选择适当的重叠度。从这个观点来看，优选地确定评价区域之间的重叠程度，使得对于每个评价区域，优选对于通常所有评价区域，该评价区域和重叠的评价区域中的最接近的一个之间的重叠面积是每个评价区域的面积的至少50％，更优选至少60％，甚至更优选至少70％并且至多98％，更优选至多90％，甚至更优选至多80％。现在参考一个实施方案，其中一对相对侧边(短侧边)上的有效范围为800毫米，另一对相对侧边(长侧边)上的有效范围为900毫米，所述评价区域沿着一对相对侧边具有200毫米的宽度或节距，并且对于每个评价区域，该评价区域与重叠的评价区域中的最接近的一个之间的重叠面积是每个评价区域的面积的50％。在该实施方案中，将有效范围划分为7个评价区域1,2,3...，7(总共n＝7)，其中心线(平行于另一对相对侧边)以100毫米的间隔沿着一对相对的侧边布置。

关于整个有效范围和每个评价区域的平坦度和平行度的测量，可以在石英玻璃衬底被保持为其表面设为竖直(在重力方向)同时在石英玻璃衬底的前表面和/或后表面上进行测量。平坦度可以通过市售的平坦度仪测量。平行度可以用千分尺测量。假设将从衬底表面(分析时)计算出的最小二乘平面用作参考平面，则此处所使用的“平坦度”是实际衬底表面上的凸起部分(基于测量的坐标上的表面)和基准表面之间的距离的最大值以及实际衬底表面上的凹陷部分(基于测量的坐标上的表面)和基准表面之间的距离的最大值之和。

根据本发明，提供了在每个评价区域中，优选在所有评价区域中，具有至多3μm，优选至多2.5μm，并且更优选至多2μm的平坦度的石英玻璃衬底。在优选实施方案中，提供了一种石英玻璃衬底，其中对于每个评价区域，优选对于所有评价区域，该评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个之间的平坦度差异为至多0.8μm，特别是至多0.5μm。

根据本发明，一旦如上所限定的那样划分评价区域，就可以评价大尺寸合成石英玻璃衬底的平坦度。特别地，本发明提供了一种用于评价对角线长度为至少1,000mm的大尺寸合成石英玻璃衬底的平坦度的方法，其中在前表面和/或后表面上限定有效范围，所述方法包括以下步骤：将有效范围，优选整个有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，测量每个评价区域内的平坦度，以及任选地计算一个评价区域的平坦度和与所述一个评价区域重叠的评价区域的平坦度之间的差异。

通过根据上述评价方法评价大尺寸石英玻璃衬底的平坦度，基于测量的平坦度和任选计算的平坦度差异来确定抛光中的材料去除量，并且根据确定的抛光中的材料去除量局部抛光石英玻璃衬底的前表面或后表面，可以制造具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的大尺寸合成石英玻璃衬底，典型是其中每个评价区域的平坦度为至多3μm，优选至多2.5μm，并且更优选至多2μm，并且该评价区域和重叠的评价区域中最接近的一个之间的平坦度差异为至多0.8μm，优选至多0.5μm的大尺寸合成石英玻璃衬底。

从平坦度的测量结果，即基于每个评价区域的测量的平坦度来确定抛光中的材料去除量的工序可以为如下。该工序涉及每个划分的评价区域。如果第一评价区域的平坦度超过目标平坦度，例如超过3μm，则确定对于抛光和去除该评价区域内的任何凸起部分使得平坦度可变成目标平坦度或更小所需的抛光中的材料去除量，例如2.5μm或更小。如果第一评价区域的平坦度等于或小于目标平坦度，例如等于或小于3μm，则将抛光中的材料去除量设定为零(0)，并且工序转移到第2评价区域。对于第2和随后的评价区域中的每一个，抛光中的材料去除量如对于第1区域那样确定。通过重复在每个评价区域中确定抛光中的材料去除量的步骤，对所有评价区域确定抛光中的材料去除量。对于两个评价区域之间的重叠，将在重叠的评价区域内的抛光中的材料去除量的平均值计算为用于该重叠的抛光中的材料去除量。以这种方式，对所有评价区域收集抛光中的材料去除量。

此外，可以基于评价区域之间的平坦度差异来确定抛光中的另外材料去除量。在一个实施方案中，从测量的平坦度值确定抛光中另外材料去除量。在另一个实施方案中，在以抛光中的材料去除的量(其基于每个评价区域的平坦度确定)抛光之后模拟衬底表面的形状，并且计算由模拟产生的评价区域内的平坦度和与该评价区域重叠的其他评价区域内的平坦度之间的差异。

在另一个实施方案中，该工序涉及每个划分的评价区域。计算第一评价区域内的平坦度和与第一评价区域重叠的其他评价区域内的平坦度之间的差异。如果该差异超过目标差异，例如超过0.5μm，则确定对于抛光和去除这两个评价区域内的任何凸起部分以使该差异可变成目标差异所需的抛光中的另外材料去除量。如果该差异等于或小于目标差异，例如等于或小于0.5μm，则将抛光中的另外材料去除量设定为零(0)，并且工序转移至第二评价区域。对于第2和随后的评价区域中的每一个，抛光中的材料去除量如对于第1区域的那样确定。通过重复在每个评价区域中确定抛光中的另外材料去除量的步骤，对于所有评价区域确定抛光中的另外材料去除量。以这种方式，对所有评价区域收集抛光中的另外材料去除量。如果必要的话，将抛光中的另外材料去除量添加到基于每个评价区域的平坦度所确定的上述抛光中的材料去除量。

根据所确定的抛光中的材料去除量，可以使用例如一种设备进行局部抛光石英玻璃衬底的工序，该设备包括用于以其表面维持水平的状态保持大尺寸合成石英玻璃衬底的台板，以及适于在石英玻璃衬底上移动以进行局部抛光的抛光工具。根据抛光中的必要材料去除量，通过改变衬底上的抛光工具的移动速度来局部抛光石英玻璃衬底。抛光工具包括例如旋转轴、盘形抛光板和用于将抛光板压向衬底的机构。特别地，如果必要，通过弹性体诸如橡胶片将研磨垫(例如研磨布)附接到抛光板。使研磨垫与衬底接触，同时向其供应浆料。抛光板优选由选自不锈钢(SUS)、铝合金、钛和黄铜的金属材料制成。抛光板优选具有至少100mm，更优选至少300mm并且至多800mm，更优选至多600mm的直径。在抛光步骤期间，抛光板可以根据抛光中的目标材料去除量在不同尺寸的抛光板之间改变。例如，在评价区域内的平坦度与另一重叠评价区域内的平坦度之间的具有大差异的部分上，将抛光工具改变为较小尺寸的工具以便能够精确控制抛光和去除，这是因为在相对窄的范围内有较大的起伏梯度。

研磨布可以选自无纺布、绒面革和发泡聚氨酯，并通过粘合剂固定在抛光板上。这里使用的粘合剂没有特别限制，只要它提供足够的粘合强度以防止在抛光操作期间研磨布与抛光板或弹性体分离即可。合适的粘合剂包括丙烯酸基粘合剂、环氧树脂基粘合剂和聚氨酯基粘合剂。浆料可以是分散在水中的磨粒诸如碳化硅、氧化铝、氧化铈和胶体二氧化硅。

在局部抛光步骤之后，可以再次评价石英玻璃衬底的平坦度。如果由该评价确认没有达到目标平坦度或目标平坦度差异，则基于该评价结果再次确定抛光中的材料去除量，并且再次执行局部抛光步骤。可以重复平坦度评价和局部抛光步骤，直到最终达到目标平坦度和进一步的目标平坦度差异。

具体实施方式

实施例

下面以举例说明而非限制的方式给出本发明的实施例。

实施例1

将合成石英玻璃衬底原料进行打磨(或粗抛光)，并在其前和后表面上进行精抛光，从而提供起始合成石英玻璃衬底。起始衬底的尺寸为1600mm×1800mm×17.2mm(厚)，且具有在整个前表面上的20μm的平坦度、在整个后表面上的22μm的平坦度、在整个衬底上的15μm的平行度。平坦度通过平坦度测量仪(Kuroda Precision Industries Ltd.)测量，平行度通过千分尺(Mitsutoyo Corp.)测量，下文相同。

由起始衬底的平坦度和平行度的所测量数据，确定抛光中的材料去除量，以在整个前表面和后表面的每个上实现10μm以内的平坦度和10μm以内的平行度。之后，通过使用在其表面保持水平的起始衬底上移动抛光工具进行局部抛光的设备，根据所确定的抛光中的材料去除量改变工具在衬底上的移动速度来进行抛光操作。获得了中间衬底，其具有17.0mm的厚度、在整个前表面上的9μm平坦度、在整个后表面上的12μm的平坦度、和整个衬底上的10μm的平行度。

通过去除从前表面或后表面的每侧延伸10mm的带而在前表面和后表面上限定有效范围。将具有1780mm的长侧边和1580mm的短侧边的有效范围划分为具有两对相对侧边的多个评价区域。特别地，各评价区域由在1,780mm长侧边上的有效范围的一对相对侧边和与在1580mm短侧边上的有效范围的另一对相对侧边平行的两条直线划定，并且沿着长侧边上的一对相对侧边具有280mm的宽度。与短侧边上的每个评价区域的另一对相对侧边平行的中心线沿长侧边上的一对相对侧边以10mm的间隔按顺序布置。以这种方式，划分了151个(每表面总计)评价区域。特定评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个的重叠面积为各评价区域的面积的96％。

接着，测量每个评价区域中的平坦度。对每个评价区域，计算该评价区域与重叠评价区域中最接近的一个之间的平坦度差异(以下简称为“平坦度差异”)。为了获得在每个评价区域中具有至多3μm的平坦度和至多0.5μm的平坦度差异的石英玻璃衬底，评价了测量结果，发现在评价区域中，15个评价区域具有超过3μm的平坦度，且7个评价区域具有超过0.5μm的平坦度差异。

接着，计算将各评价区域的平坦度降低至3μm以下所需的抛光中的材料去除量。首先，基于各评价区域中的平坦度的测量数据，对于每个评价区域，将该评价区域内的最凹下位置(或最低点)用作基准，将超过基准至少2.5μm的部分认为是要抛光的部分，并且确定抛光中必要的材料去除量。然后，对于每个评价区域收集抛光中的材料去除量，确定在整个衬底上在抛光中的材料去除量。对于两个评价区域之间的重叠，计算在重叠的评价区域内在抛光中的材料去除量的平均值作为用于该重叠的在抛光中的材料去除量。

接着，计算将平坦度差异减小到0.5μm以下所需的抛光中的另外材料去除量。首先，基于平坦度差异的测量数据，对于平坦度差异超过0.5μm的评价区域，使用这些评价区域内的最凹下位置(或最低点)作为基准，将突出超过基准至少0.4μm的部分认为是要抛光的部分，并且确定抛光中的必要材料去除量。然后对每个评价区域收集抛光中的另外材料去除量，确定在整个衬底上在抛光中的另外材料去除量。

接着，基于由各评价区域内的平坦度所确定的在抛光中的材料去除量和由平坦度差异所确定的抛光中的另外材料去除量，通过使用在衬底上移动具有盘形抛光板的抛光工具用于进行局部抛光的抛光设备从而在中间衬底的前表面或后表面上进行局部抛光。值得注意的是，在应用由平坦度差异确定的抛光中的另外材料去除量的评价区域中，在抛光中使用直径200mm的抛光板以便能够精确控制抛光的量和范围，这是因为在相对窄的范围内有较大的起伏梯度；且在其余的评价区域中，使用直径400mm的抛光板。

结果，获得了大尺寸合成石英玻璃衬底，其具有在整个前表面上8μm的平坦度、在整个后表面上的10μm的平坦度、在整个衬底上的9μm的平行度、评价区域内最大2.3μm的平坦度、和最大0.4μm的平坦度差异。

实施例2

将合成石英玻璃衬底原料进行打磨(或粗抛光)，并在其前表面和后表面上进行精抛光，从而提供起始合成石英玻璃衬底。起始衬底的尺寸为800mm×900mm×13.2mm(厚)，且具有在整个前表面上的15μm的平坦度、在整个后表面上的17μm的平坦度、在整个衬底上的12μm的平行度。

由起始衬底的平坦度和平行度的所测量数据，确定抛光中必要的材料去除量，以在整个前表面和后表面的每个上实现10μm以内的平坦度和10μm以内的平行度。之后，通过使用在其表面保持水平的起始衬底上移动抛光工具进行局部抛光的设备，根据所确定的抛光中的材料去除量改变工具在衬底上的移动速度来进行抛光操作。获得了中间衬底，其具有13.0mm的厚度、在整个前表面上的9μm的平坦度、在整个后表面上的10μm的平坦度、和整个衬底上的9μm的平行度。

通过去除从前表面或后表面的每侧延伸10mm的带而在前表面和后表面上限定有效范围。将具有880mm的长侧边和780mm的短侧边的有效范围划分为具有两对相对侧边的多个评价区域。特别地，各评价区域由在880mm长侧边上的有效范围的一对相对侧边和与在780mm短侧边上的有效范围的另一对相对侧边平行的两条直线划定，并且沿着长侧边上的一对相对侧边具有280mm的宽度。与短侧边上的每个评价区域的另一对相对侧边平行的中心线沿长侧边上的一对相对侧边以50mm的间隔按顺序布置。以这种方式，划分了13个(每表面总计)评价区域。特定评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个的重叠面积为各评价区域的面积的82％。

接着，测量每个评价区域的平坦度。对每个评价区域，计算该评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个之间的平坦度差异(平坦度差异)。为了获得在每个评价区域中具有至多3μm的平坦度和至多0.5μm的平坦度差异的石英玻璃衬底，评价了测量结果，发现在评价区域中，2个评价区域具有超过3μm的平坦度，且没有评价区域具有超过0.5μm的平坦度差异。

接着，计算将各评价区域的平坦度降低至3μm以下所需的抛光中的材料去除量。首先，基于各评价区域中的平坦度的测量数据，对于每个评价区域，将该评价区域内的最凹下位置(或最低点)用作基准，将超过基准至少2.5μm的部分认为是要抛光的部分，并且确定抛光中必要的材料去除量。然后，对于每个评价区域收集抛光中的材料去除量，确定在整个衬底上在抛光中的材料去除量。对于两个评价区域之间的重叠，计算在重叠的评价区域内在抛光中的材料去除量的平均值作为用于该重叠的在抛光中的材料去除量。

接着，根据由各评价区域内的平坦度确定的抛光中的材料去除量，使用具有直径300mm的盘形抛光板的抛光工具，在中间衬底的前表面或后表面上进行局部抛光。

结果，获得了大尺寸合成石英玻璃衬底，其具有在整个前表面上7μm的平坦度、在整个后表面上的8μm的平坦度、在整个衬底上的9μm的平行度、评价区域内最大2.8μm的平坦度、和最大0.4μm的平坦度差异。

Claims (6)

1.一种具有对角线长度至少1,000mm的前表面和后表面、以及5至30mm的厚度的大尺寸矩形合成石英玻璃衬底，其中，

在所述前表面和后表面的每个上限定有效范围，所述有效范围为通过去除从衬底表面的每侧延伸10mm的带而限定在所述衬底表面上的矩形范围，所述矩形范围具有两对相对的侧边，

将所述有效范围划分为多个评价区域，所述评价区域具有矩形形状，并且由有效范围的一对相对侧边和与另一对相对侧边平行的两条直线划定，且沿着所述一对相对侧边具有100至300mm的宽度，并且整个所述有效范围被任意评价区域占据，

所述评价区域彼此部分重叠，

整个的前表面和后表面各自具有至多30μm的平坦度，

并且每个评价区域中的平坦度为至多3μm。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃衬底，其中对于每个评价区域，所述评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个之间的重叠面积为每个评价区域的面积的50％至98％。

3.根据权利要求1所述的石英玻璃衬底，其中对于每个评价区域，所述评价区域与重叠的评价区域中最接近的一个之间的平坦度差异为至多0.8μm。

4.一种用于评价具有对角线长度至少1,000mm的前表面和后表面、以及5至30mm的厚度的大尺寸矩形合成石英玻璃衬底的平坦度的方法，其中在前表面和后表面中的一个或两个上限定有效范围，该方法包括以下步骤：

将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，

测量每个评价区域内的平坦度，以及

计算一个评价区域中的平坦度和与所述一个评价区域重叠的另一评价区域中的平坦度之间的差异。

5.一种制造大尺寸矩形合成石英玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

根据权利要求4的方法评价大尺寸矩形合成石英玻璃衬底的平坦度，

基于所测量的平坦度确定抛光中的材料去除量，以及

根据确定的抛光中的材料去除量局部抛光石英玻璃衬底的表面。

6.一种制造大尺寸矩形合成石英玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

根据权利要求4所述的方法评价大尺寸矩形合成石英玻璃衬底的平坦度，

基于所测量的平坦度和平坦度差异确定抛光中的材料去除量，以及

根据确定的抛光中的材料去除量局部抛光石英玻璃衬底的表面。