CN108776422B - 清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机，属于光刻版加工领域。将辅助载具设置为包括载板及至少2个压块，载板上设置有安装槽，光刻版平行放置在安装槽内。在清洗机对光刻版进行清洗时，固定放置在清洗机上的辅助载具随载台一同旋转。至少2个的压块的转动轴均位于压块的中部，并将其分为第一部分与第二部分，第一部分与第二部分分别延伸至安装槽的上方与下方，其重心设置在第二部分上，在辅助载具的旋转过程中，便于压块将光刻版压紧在载板上对光刻版进行固定，使得光刻版不会脱离载台而受损。

Description

清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机

技术领域

本发明涉及光刻版加工领域，特别涉及清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机。

背景技术

光刻版在发光二极管外延片的加工制作过程中应用非常广泛，其上具有一定的图形结构，该图形结构可通过曝光、显影及刻蚀操作转移至芯片上以在芯片上形成特征图形。光刻版在使用一段时间后，其表面会染上脏污，因此需要对光刻版进行定期清洗以保证其正常使用。

现有的光刻版通常都是通过清洗机进行清洗，清洗机包括载台与清洁刷，载台上具有矩形固定挡块，矩形固定挡块与光刻版的四周相贴，清洗机控制载台绕光刻版的垂线进行旋转，同时清洗机控制清洁刷一边转动一边对光刻版进行清洗。由于载台上的固定挡块所围成的形状固定，不能适用于不同周长及形状的光刻版，如果强行清洗与固定挡块所围成的形状不同的光刻版，会导致其在载台内晃动甚至脱离载台，进而造成光刻版损坏。

发明内容

为了使清洗机能够对不同周长及形状的光刻版进行清洗，本发明实施例提供了清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机。所述技术方案如下：

本发明实施例提供了一种清洗光刻版的辅助载具，所述辅助载具用于可拆卸固定在清洗机的载台上；

所述辅助载具包括载板及至少两个压块，所述载板上设置有安装槽，所述安装槽内开设有用于供清洗液流过的第一通孔，所述至少两个压块沿所述安装槽的边沿间隔均匀布置，每个所述压块可转动地设置在所述载板上，所述压块的转动轴位于所述压块的中部，所述压块被所述转动轴分为第一部分和第二部分，所述第一部分延伸到所述载板的上方，所述第二部分延伸到所述载板的下方，所述压块的重心位于所述第二部分上。

可选地，所述压块上设置有第二通孔，所述第二通孔内插设有所述转动轴，所述转动轴与所述第二通孔为间隙配合；

所述载板上设置有至少两对安装耳部，所述至少两对安装耳部与所述至少两个压块一一对应，所述压块的转动轴的两端分别固定在一对所述安装耳部上。

可选地，所述第一部分的端部设置有弧形凸起。

可选地，所述安装槽的深度为2mm。

可选地，所述安装槽的形状为长方体。

可选地，所述第一通孔为矩形孔。

可选地，所述第一通孔的相对设置的两侧上分别设置有一个半圆形通孔。

可选地，所述辅助载具采用聚醚醚酮制作。

可选地，所述载板为长方体状，所述载板的四角处设置有直角凹槽。

本发明实施例还提供了一种光刻版清洗机，所述光刻版清洗机包括如前所述的清洗光刻版的辅助载具。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：辅助载具包括载板及至少2个压块，载板上设置有安装槽，安装槽内开设有第一通孔，清洗时的清洗液由安装槽内的第一通孔流出。工作时，将辅助载具固定放置在清洗机上的载台上，将光刻版放置在安装槽内，由于压块可转动地设置在载板上的，且压块的转动轴位于压块的中部，压块被转动轴分为第一部分和第二部分，第一部分延伸到载板的上方，第二部分延伸到载板的下方，所以在放置光刻版时，可以将压块的第一部分拉起，进行光刻版的放置，光刻版放置好后，压块的第一部分压在光刻版上。由于压块的重心位于第二部分上，在辅助载具的旋转时，离心力的作用使得压块的第一部分将光刻版压紧在载板上，使得光刻版不会脱离载台而受损；同时，压块对于不同周长及形状的光刻版均能起到较好的固定作用，使得清洗机能够对不同周长及形状的光刻版进行清洗。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种清洗机的载台的结构示意图；

图2是图1的侧视图；

图3是本发明实施例提供的一种清洗光刻版的辅助载具的结构示意图；

图4是图3的A向示意图；

图5是本发明实施例提供的载板的结构示意图；

图6是图3提供的清洗光刻版的辅助载具的侧视图；

图7是本发明实施例提供的一种清洗光刻版的辅助载具的一种状态示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

图1是本发明实施例提供的一种清洗机的载台的结构示意图，图2是图1的侧视图。本发明实施例中的辅助载具可应用于图1与图2中的清洗机的载台上，为便于理解本发明，下文对本发明实施例中的辅助载具所应用的清洗机的载台的结构进行简单说明。

结合图1与图2，清洗机的载台1可包括转动轴11、多个支撑杆12及多个挡块13，转动轴11沿竖直方向布置，每个支撑杆12的一端连接转动轴11的一端，支撑杆12的轴线垂直于转动轴11的轴线，每个支撑杆12的另一端设置有一一对应的挡块13。当光刻版需要清洗时，将光刻版放在由挡块13围绕成的空间内，多个支撑杆12对光刻版进行支撑，转动轴11转动带动其上的光刻版一同转动。清洗机上清洁刷再对载台1上的光刻版进行清洗。

需要说明的是，此处只是简单介绍一下本发明的使用背景，上述结构对本发明并不构成限制。

图3是本发明实施例提供的一种清洗光刻版的辅助载具的结构示意图。需要说明的是，该辅助载具用于可拆卸固定在清洗机的载台1上。

图4是图3的A向示意图，结合图3与图4，该辅助载具包括载板2及至少两个压块3，载板2上设置有安装槽21，安装槽21内开设有用于供清洗液流过的第一通孔22，至少两个压块3沿安装槽21的边沿间隔均匀布置，每个压块3可转动地设置在载板2上，压块3的转动轴4位于压块3的中部，压块3被转动轴4分为第一部分31和第二部分32，第一部分31延伸到载板2的上方，第二部分32延伸到载板2的下方，压块3的重心位于第二部分32上。

其中，由于压块3的重心位于第二部分32上，所以在重力作用下，第二部分32处于第一部分31的下方，即第一部分31延伸到载板2的上方，第二部分32延伸到载板2的下方。而当辅助载具的旋转时，离心力的作用使得第一部分31和第二部分32的位置发生变化，此时第一部分31延伸到安装槽21的上方，第二部分32延伸到载板2之外。

在本发明实施例中，辅助载具包括载板及至少2个压块，载板上设置有安装槽，安装槽内开设有第一通孔，清洗时的清洗液由安装槽内的第一通孔流出。工作时，将辅助载具固定放置在清洗机上的载台上，将光刻版放置在安装槽内，由于压块可转动地设置在载板上的，且压块的转动轴位于压块的中部，压块被转动轴分为第一部分和第二部分，第一部分延伸到载板的上方，第二部分延伸到载板的下方，所以在放置光刻版时，可以将压块的第一部分拉起，进行光刻版的放置，光刻版放置好后，压块的第一部分压在光刻版上。由于压块的重心位于第二部分上，在辅助载具的旋转时，离心力的作用使得压块的第一部分将光刻版压紧在载板上，使得光刻版不会脱离载台而受损；同时，压块对于不同周长及形状的光刻版均能起到较好的固定作用，使得清洗机能够对不同周长及形状的光刻版进行清洗。

在本发明实施例中，辅助载具可以包括两个压块3，两个压块3相对设置在安装槽21的两侧，设计两个压块既能满足压紧放置在安装槽21内的光刻版的需求又能够减少本发明所需要花费的成本。

当然，压块3也可设置为4个或者其他数量，以便于压紧安装槽内的光刻版，本发明对此不做限制。

如图3所示，载板2可为长方体状，载板2的四角处设置有直角凹槽23。在载板的四角处设置直角凹槽，能够方便辅助载具在载台上的安装拆卸。

在本发明的其他实施例中，本领域技术人员也可将载板的形状设置为圆形或者三角形等其他结构，本发明对此不做限制。

可选地，载板2的长度与宽度均可设置为126.5mm。使得辅助载具能够与清洗机的载台相配合。

在本发明的其他实施例中，载板2的长度与宽度也可根据实际情况进行调整，本发明对此不做限制。

如图3所示，安装槽22的形状可为长方体。长方体形状的安装槽能够与通常为长方体状的光刻版进行良好的配合，有利于光刻版的清洗。

在本发明的其他实施例中，也可根据实际情况将安装槽设置为圆形或者其他形状，本发明对此不做限制。

可选地，载板1的厚度可为4mm。载板的厚度设置为4mm，使得载板上有足够的的空间开设安装槽，并且能够对光刻版进行良好的支撑。

示例性地，安装槽22的深度可为2mm。常规光刻版的厚度为2.4mm，将安装槽的深度设置为2mm，这样可以保证光刻版放置在该载具上会有0.4mm高度的表面突出，使得光刻版的表面充分暴露在清洗机的清洁刷下，清洁刷能够充分清洁光刻版的表面。

可选地，第一通孔22为矩形孔。矩形状的第一通孔可与长方体状的安装槽相适应，有利于清洗液从第一通孔内均匀流出。

可选地，第一通孔22的两侧上分别设置有一个半圆形通孔22a。在将光刻版放置于载具的安装槽上时，半圆形通孔的设置可允许工作人员有一定的操作空间将光刻版放置于安装槽内，半圆形通孔的设置有利于光刻版在安装槽上的安装。

进一步地，两个半圆形通孔22a可沿第一通孔22的对称轴对称设置在第一通孔22的两侧，在工作人员将光刻版放置在安装槽内时也便于工作人员对光刻版进行定位。

可选地，如图3所示，载板2上还可设置辅助通孔22b，辅助通孔22b的设置可满足两侧具有凸起的光刻版的安装，有利于提高本申请的通用性。

可选地，辅助通孔22b可设置为两个，其可分别设置在安装槽21的底部的两侧。辅助通孔22b的形状可以为矩形。

可选地，辅助载具采用聚醚醚酮制作。这种材料耐有机清洗液腐蚀，并且变形较小，能够保证辅助载具的使用寿命。

图5是本发明实施例提供的载板的结构示意图，结合图3至图5，压块3上可设置有第二通孔3b，第二通孔3b内插设有转动轴4，转动轴4与第二通孔3b为间隙配合。

载板2上设置有至少两对安装耳部2a，至少两对安装耳部2a与至少两个压块3一一对应，压块3的转动轴4的两端分别固定在一对安装耳部2a上。采用这种结构将压块固定在载板上，便于压块的拆卸与安装。

可选地，转动轴4可通过螺母固定设置在载板2的安装耳部2a上，具体地，转动轴4的两端可设置螺纹，安装耳部2a上设置有对应转动轴4上螺纹的光孔，转动轴4的两端分别穿过安装耳部2a上的通孔，螺母将转动轴4的两端固定在安装耳部2a上。。本发明对此不做限制。

图6是图3提供的清洗光刻版的辅助载具的侧视图，如图6所示，压块3的第一部分31的端部设置有弧形凸起31a。在压块的第一部分设置弧形凸起，使得压块可通过凸起压紧光刻版，避免压块与光刻版接触的面积过大对光刻版造成磨损。有利于光刻版的长期使用。

结合图4与图6，压块3的第一部分31与第二部分32朝向载板2的一侧之间的夹角为θ，其中120°≤θ＜180°。在辅助载具与清洗机的载台一同旋转时，压块的第二部分在离心力的作用下会有向压块的第一部分转动靠近的趋势，因此将压块的第一部分与第二部分朝向载板的一侧之间的夹角设置为在120°至180°之间，能够使得压块的第一部分在压块的第二部分的作用下，进一步压紧光刻版，可避免光刻版飞出载板。

图7是本发明实施例提供的一种清洗光刻版的辅助载具的一种状态示意图，如图7所示，此时压块3压紧在光刻版5上，使得光刻版5不会脱离载板2，保证了清洗机对光刻版5的清洗效果。

清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机

为进一步说明本发明，此处可解释说明本发明的具体应用过程，以下陈述对本发明并不构成限制。

第一步，将本发明中的辅助载具安装在清洗机的载台上。

第二步，将光刻版放置在载板上的安装槽内。

第三步，选择该辅助载具的清洗程序，对清洗机进行程序设定。

第四步，载台带动辅助载具旋转，辅助载具的压块压紧光刻版，清洗机的清洁刷对光刻版进行清洗。

当清洗结束，载台停止转动后，作业人员直接拿去光刻版确认清洗状况

其中，对清洗机进行程序设定可包括：设定清洗机的清洗参数，清洗参数可包括：清洁刷的位置参数，载台的转速和清洗液冲洗时间。

以上仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述辅助载具用于可拆卸固定在清洗机的载台上；

所述辅助载具包括载板及至少两个压块，所述载板上设置有安装槽，所述安装槽内开设有用于供清洗液流过的第一通孔，所述至少两个压块沿所述安装槽的边沿间隔均匀布置，每个所述压块可转动地设置在所述载板上，所述压块的转动轴位于所述压块的中部，所述压块被所述转动轴分为第一部分和第二部分，所述第一部分延伸到所述载板的上方，所述第二部分延伸到所述载板的下方，所述压块的重心位于所述第二部分上，所述第一部分与所述第二部分朝向所述载板的一侧之间的夹角为θ，120°≤θ＜180°。

2.根据权利要求1所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述压块上设置有第二通孔，所述第二通孔内插设有所述转动轴，所述转动轴与所述第二通孔为间隙配合；

所述载板上设置有至少两对安装耳部，所述至少两对安装耳部与所述至少两个压块一一对应，所述压块的转动轴的两端分别固定在一对所述安装耳部上。

3.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述第一部分的端部设置有弧形凸起。

4.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述安装槽的深度为2mm。

5.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述安装槽的形状为长方体。

6.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述第一通孔为矩形孔。

7.根据权利要求6所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述第一通孔的相对设置的两侧上分别设置有一个半圆形通孔。

8.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述辅助载具采用聚醚醚酮制作。

9.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述载板为长方体状，所述载板的四角处设置有直角凹槽。

10.一种光刻版清洗机，其特征在于，所述光刻版清洗机包括如权利要求1-9任一项所述的清洗光刻版的辅助载具。

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