CN207148525U - 一种光刻版夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种光刻版夹具，属于双面光刻技术领域，包括底座，其特征在于，底座包括芯层以及分别设置在芯层上表面和下表面的上片夹和下片夹，上片夹和下片夹的两端向前延伸分别形成上悬臂和下悬臂，上悬臂和下悬臂均包括对称设置的左支臂和右支臂，上悬臂与下悬臂之间连接有光刻版组件，芯层的厚度小于光刻版组件的厚度，光刻版组件的外侧端与上悬臂和下悬臂之间形成开板通道，上悬臂和下悬臂的侧面还设置有挂钩，挂钩的两端对称设置有与所述开板通道相配合的钩头；具有光刻板与晶片结合紧密性好的优点，有效提高光刻线条的清晰度，提高了产品质量和工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及双面光刻技术领域，更具体的说是一种光刻版夹具。
背景技术
光刻是目前半导体制造工艺核心技术之一，目前双面光刻方法一般是将两块软板对齐粘在一起使用，但是软板受温度湿度影响容易变形，且使用寿命短，容易划伤，晶片放入光刻版之间后，用压块物理作用使晶片与光刻版贴在一起或者用真空方式将光刻版吸住，如申请号为201420537941.4的实用新型专利公布了一种用于曝光的新型光刻板夹具，将光刻板叠放在玻璃板上，然后将硅片放入光刻板与玻璃板之间，采用压条将光刻板和玻璃板贴合，开启真空连通框架上的中空管将硅片吸住固定，但这种方式存在光刻板与晶片结合紧密性差的问题，影响光刻线条的清晰度，而且需要反复启闭真空，操作比较麻烦。
发明内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种操作简单、光刻版与晶片贴合更加紧密的光刻版夹具，能够有效提高光刻线条的清晰度，提高产品质量和工作效率。
本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：一种光刻版夹具，包括底座，其特征在于，底座包括芯层以及分别设置在芯层上表面和下表面的上片夹和下片夹，所述上片夹和下片夹的两端向前延伸分别形成上悬臂和下悬臂，所述上悬臂和下悬臂均包括对称设置的左支臂和右支臂，上悬臂与下悬臂之间连接有光刻版组件，所述芯层的厚度小于光刻版组件的厚度，所述光刻版组件包括对应贴合设置的第一光刻版和第二光刻版，第一光刻版与上悬臂相连，第二光刻版与下悬臂相连，所述第一光刻版和第二光刻版的两侧端分别设置在左支臂和右支臂的中部，光刻版组件的外侧端与上悬臂和下悬臂之间形成开板通道，所述上悬臂和下悬臂的侧面还设置有挂钩，所述挂钩的两端对称设置有与所述开板通道相配合的钩头。
进一步的，所述钩头设置为螺母，螺母的厚度不大于光刻版组件的厚度，螺母的外径大于光刻版组件的厚度。
进一步的，所述上悬臂与上片夹以及下悬臂与上片夹分别连接呈U型结构。
进一步的，所述上悬臂与下悬臂尺寸一致。
进一步的，所述第一光刻版以胶粘的方式与上悬臂固定相连，第二光刻版以胶粘的方式与下悬臂固定相连。
进一步的，所述第一光刻版和第二光刻版之间夹持有晶片。
进一步的，所述上片夹、下片夹及芯层以焊接的方式固定相连。
进一步的，所述底座及上悬臂、下悬臂均采用不锈钢板。
进一步的，所述光刻版组件设置在靠近上悬臂和下悬臂的端部。
本实用新型的有益效果是，通过设置的底座和与之一体设计的上下悬臂为光刻版提供夹持的空间，设置的芯层厚度小于光刻版组件的厚度，上悬臂和下悬臂之间产生向内挤压的作用，使第一光刻版和第二光刻版在不锈钢板的上悬臂和下悬臂的作用下非常紧密的夹在一起，用于双面光刻工艺，解决了光刻板与晶片结合紧密性差以及光刻版易变形导致上下光刻版错位的问题，使用寿命长，能够有效提高光刻线条的清晰度，提高产品质量；设置的挂钩用于为悬臂施加开启力量，通过挂钩的简单转动即可实现悬臂的开启和压实，进而实现光刻版分离和紧密压合，以达到高效迅速地将晶片放入进行曝光再取出，提高了操作的便利性，大大提高了工作效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的侧视结构示意图。
图中：1.底座，11.上片夹，12.下片夹，13.芯层，21.上悬臂，22.下悬臂，31.左支臂，32.右支臂，4.光刻版组件，41.第一光刻版，42.第二光刻版，5.开板通道，6.挂钩，7.钩头，8.晶片。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1和图2所示，本实用新型公开了一种光刻版夹具，包括底座1，底座1包括芯层13以及分别设置在芯层13上表面和下表面的上片夹11和下片夹12，所述上片夹11和下片夹12的两端向前延伸分别形成上悬臂21和下悬臂22，所述上悬臂21和下悬臂22均包括对称设置的左支臂31和右支臂32，上悬臂21与下悬臂22之间连接有光刻版组件4，所述芯层13的厚度小于光刻版组件4的厚度，所述光刻版组件4包括对应贴合设置的第一光刻版41和第二光刻版42，第一光刻版41和第二光刻版42之间夹持有晶片8，第一光刻版41与上悬臂21相连，第二光刻版42与下悬臂22相连，所述第一光刻版41和第二光刻版42的两侧端分别设置在左支臂31和右支臂32的中部，光刻版组件4的外侧端与上悬臂21和下悬臂22之间形成开板通道5，所述上悬臂21和下悬臂22的侧面还设置有挂钩6，所述挂钩6的两端对称设置有与所述开板通道5相配合的钩头7。
本实用新型所述的钩头7设置为螺母，螺母的厚度不大于光刻版组件4的厚度，螺母的外径大于光刻版组件4的厚度，螺母边缘设置为圆滑状，利于挂钩6的转动，提高耐磨性。
本实用新型所述的上悬臂21与上片夹11以及下悬臂22与上片夹11分别连接呈U型结构，为光刻版组件4的放置提供夹持空间。
本实用新型所述的上悬臂21与下悬臂22尺寸一致。
本实用新型所述的第一光刻版41以胶粘的方式与上悬臂21固定相连，第二光刻版42以胶粘的方式与下悬臂22固定相连。
本实用新型所述的上片夹11、下片夹12及芯层13以焊接的方式固定相连。
本实用新型所述的底座1及上悬臂21、下悬臂22均采用不锈钢板。
本实用新型在未使用状态下，上片夹11、下片夹12及芯层13通过焊接固定，与上片夹11自成一体的上悬臂21以及与下片夹12自成一体的下悬臂22之间形成光刻版夹持空间，由于芯层13的厚度小于光刻版组件4的厚度，上悬臂21和下悬臂22之间产生向内挤压的作用，为最大程度利用悬臂的夹持力，可将光刻版组件4放置在靠近悬臂端部的位置，而第一光刻版41与上悬臂21固定相连，第二光刻版42与下悬臂22固定相连，因此第一光刻版41和第二光刻版42在不锈钢板的上悬臂21和下悬臂22的作用下非常紧密的夹在一起；使用时，将螺母分别放置在夹具两侧的开板通道5中，此时螺母的厚度与开板通道尺寸相匹配能够使螺母沿开板通道5滑移，将螺母滑移至靠近悬臂的开口端，将挂钩6旋转90度，此时螺母随之转动至其外沿与上悬臂21和下悬臂22相抵，由于螺母的外径大于光刻版组件4的厚度，因此通过螺母的顶起作用能够实现悬臂的开启，使第一光刻版41和第二光刻版42发生相对分离，晶片8便可无阻碍放入第一光刻版41和第二光刻版42之间，回转挂钩6即可恢复上悬臂21和下悬臂22之间的压紧作用，使晶片8稳定的固定在光刻版组件4内，用于双面光刻工艺，解决了光刻板与晶片结合紧密性差以及光刻版易变形导致上下光刻版错位的问题，使用寿命长达10000片以上，能够有效提高光刻线条的清晰度，提高产品质量。
Claims (9)
1.一种光刻版夹具，包括底座（1），其特征在于，底座（1）包括芯层（13）以及分别设置在芯层（13）上表面和下表面的上片夹（11）和下片夹（12），所述上片夹（11）和下片夹（12）的两端向前延伸分别形成上悬臂（21）和下悬臂（22），所述上悬臂（21）和下悬臂（22）均包括对称设置的左支臂（31）和右支臂（32），上悬臂（21）与下悬臂（22）之间连接有光刻版组件（4），所述芯层（13）的厚度小于光刻版组件（4）的厚度，所述光刻版组件（4）包括对应贴合设置的第一光刻版（41）和第二光刻版（42），第一光刻版（41）与上悬臂（21）相连，第二光刻版（42）与下悬臂（22）相连，所述第一光刻版（41）和第二光刻版（42）的两侧端分别设置在左支臂（31）和右支臂（32）的中部，光刻版组件（4）的外侧端与上悬臂（21）和下悬臂（22）之间形成开板通道（5），所述上悬臂（21）和下悬臂（22）的侧面还设置有挂钩（6），所述挂钩（6）的两端对称设置有与所述开板通道（5）相配合的钩头（7）。
2.根据权利要求1所述的光刻版夹具，其特征在于，所述钩头（7）设置为螺母，螺母的厚度不大于光刻版组件（4）的厚度，螺母的外径大于光刻版组件（4）的厚度。
3.根据权利要求1所述的光刻版夹具，其特征在于，所述上悬臂（21）与上片夹（11）以及下悬臂（22）与上片夹（11）分别连接呈U型结构。
4.根据权利要求1或3所述的光刻版夹具，其特征在于，所述上悬臂（21）与下悬臂（22）尺寸一致。
5.根据权利要求1所述的光刻版夹具，其特征在于，所述第一光刻版（41）以胶粘的方式与上悬臂（21）固定相连，第二光刻版（42）以胶粘的方式与下悬臂（22）固定相连。
6.根据权利要求1或5所述的光刻版夹具，其特征在于，所述第一光刻版（41）和第二光刻版（42）之间夹持有晶片（8）。
7.根据权利要求1所述的光刻版夹具，其特征在于，所述上片夹（11）、下片夹（12）及芯层（13）以焊接的方式固定相连。
8.根据权利要求1所述的光刻版夹具，其特征在于，所述底座（1）及上悬臂（21）、下悬臂（22）均采用不锈钢板。
9.根据权利要求1所述的光刻版夹具，其特征在于，所述光刻版组件（4）设置在靠近上悬臂（21）和下悬臂（22）的端部。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108776422A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-11-09 | 华灿光电(苏州）有限公司 | 清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机 |
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- 2017-09-18 CN CN201721194463.1U patent/CN207148525U/zh active Active
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| CN108776422A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-11-09 | 华灿光电(苏州）有限公司 | 清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机 |
| CN108776422B (zh) * | 2018-04-25 | 2022-02-11 | 华灿光电(苏州）有限公司 | 清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机 |
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