CN201188170Y - 光刻版夹具 - Google Patents
光刻版夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201188170Y CN201188170Y CNU2008200925981U CN200820092598U CN201188170Y CN 201188170 Y CN201188170 Y CN 201188170Y CN U2008200925981 U CNU2008200925981 U CN U2008200925981U CN 200820092598 U CN200820092598 U CN 200820092598U CN 201188170 Y CN201188170 Y CN 201188170Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- reticle
- anchor clamps
- model
- clamping part
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种光刻版夹具，包括一底座，所述底座上固设有一安装架，所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部，所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫，其中，所述夹持部由韧性材料制成；所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。所述转动装置为设置于底座中心的可与马达/电机轴干配合转动的通孔，或所述转动装置为设置于底座中心的转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮。本实用新型对光刻版的表面冲洗更充分，清洗效果好，且光刻版与夹具通过过盈配合固定在一起，夹具与光刻版的接触面积很小，可以很好地保护光刻版特别是版图面不受损坏。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及半导体制造工艺，尤其涉及用于清洗光刻版的夹具。
【背景技术】
在半导体制造工艺中，每一个环节对环境、器具的清洁干净度都有很高的要求，即使是一丁点的沾污都会对产品的质量产生重要的影响，因此每一个细节的控制都非常重要，其中光刻版表面的清洁干净程度尤其重要。
目前，光刻版的清洗过程一般是将花篮固定在甩版机上的夹具，再将光刻版放在花篮里，大约每次放置十五块版，然后对光刻版进行低速冲水以及高速甩干。
但是，上述冲洗过程中仅仅从光刻版一个方向上进行冲水，难以彻底对光刻版进行清洁，而且光刻版与花篮之间存在一定空间，在高速旋转时容易发生光刻版撞碎的情况。
【发明内容】
本实用新型的目的是提供一种光刻版夹具，以提高光刻版的清洁效果，并有效地防止光刻版在甩干过程中受到损坏。
为达到上述发明目的，本实用新型提出以下的技术方案：
一种光刻版夹具，包括一底座，所述底座上固设有一安装架，所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部，所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫，其中，所述夹持部由韧性材料制成；所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。
其中，所述转动装置为设置于底座中心的可与马达/电机轴干配合转动的通孔。
优选地，所述通孔上还加装有一螺钉。
优选地，所述通孔边缘设有防水孔。
其中，所述转动装置为设置于底座中心的转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮。
优选地，所述凸垫的面积为0.01～4cm2。
优选地，所述安装架为“十”字型。
其中，所述安装架的夹持部为直角，且四个夹持部围成矩形。
优选地，所述安装架为“人”字形。
优选地，所述韧性材料为聚四氟乙烯。
从以上技术方案可以看出，本实用新型由韧性材料制作而成，有一定韧性，光刻版与夹具通过过盈配合固定在一起，且一个夹具只放置一块光刻版，不会产生相互撞击而损坏。此外，本实用新型与光刻版的接触面积很小，可以很好地保护光刻版的版图面不受划伤或污染，且对光刻版的表面冲洗更充分，提高了清洗的效果。
【附图说明】
图1为本实用新型的结构图；
图2为本实用新型的俯视图。
【具体实施方式】
下面结合具体的实施例对本实用新型的技术方案进行详细的描述。
实施例一：
如图1、图2所示，本实施例中夹具包括底座1，底座1上设有安装架2和通孔3。其中安装架2边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部2.1，夹持部2.1内侧设有放置光刻版的凸垫2.2，其中，所述夹持部2.1由韧性材料制成，可与光刻版过盈配合，一般而言，夹持部2.1内径可比光刻版外径略小0.5mm，由于夹持部2.1由韧性材料制成，具有一定的伸缩性，稍用力即可将光刻版压入夹持部2.1，直至凸垫2.2。
底座1中心还设有一可与马达/电机轴干配合转动的通孔3，为了防止水与马达/电机轴干接触，达到放水的目的，本实用新型还在通孔3上还加装有一由聚四氟乙烯制成的螺钉4，在通孔3边缘设有防水孔5。
由于光刻版与夹具通过过盈配合在一起，非常牢固，即使在3600RPM的高转速下也不会甩出，不会产生相互撞击而损坏。
实施例二：
本实施例与实施例一相比，在夹光刻版处结构不变的情况下，通过改变夹具与马达/电机的传动方式来完成本实用新型的目的。本实施例的夹具包括底座1，底座1上设有安装架2和通孔3。其中安装架2边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部2.1，夹持部2.1内侧设有放置光刻版的凸垫2.2，其中，所述夹持部2.1由韧性材料制成，可与光刻版过盈配合，一般而言，夹持部2.1内径可比光刻版外径略小0.5mm，由于夹持部2.1由韧性材料制成，具有一定的伸缩性；底座1中心还设有一转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮，马达/电机可通过传动带或传动齿轮带动夹具高速转动，对光刻版进行甩干。
进一步，为了保护光刻版版图面，夹具与光刻版的接触面积要尽可能的小，特别是光刻版的版图面要尽量不与夹具进行接触，在本实用新型中，支撑光刻版的凸垫2.2的面积很小，一般仅仅为0.01～4cm2(优选为1cm2左右)，不会与光刻版的版图面接触。
进一步，为了更好地对光刻版进行冲洗，本实用新型中将安装架2制成“十”字型或“人”字形等中心对称的形状，既便于冲洗，又能保证平稳的转动甩干。如图2所示，当安装架2制成“十”字型时，安装架2的夹持部2.1为直角，且四个夹持部2.1围成矩形，与光刻版的形状相适配。
在本实用新型，韧性材料可以采用聚四氟乙烯，聚四氟乙烯的特点是耐腐蚀，耐强酸强碱，且韧性好具有较好的弹性，是制造夹具的良好材料。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1、一种光刻版夹具，其特征在于，包括：
一底座，所述底座上固设有一安装架，所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部，所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫，其中，所述夹持部由韧性材料制成；
所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。
2、根据权利要求1所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述转动装置为设置于底座中心的可与马达/电机轴干配合转动的通孔。
3、根据权利要求2所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述通孔上还加装有一螺钉。
4、根据权利要求2所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述通孔边缘设有防水孔。
5、根据权利要求1所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述转动装置为设置于底座中心的转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮。
6、根据权利要求1所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述凸垫的面积为0.01～4cm2。
7、根据权利要求1所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述安装架为“十”字型。
8、根据权利要求7所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述安装架的夹持部为直角，且四个夹持部围成矩形。
9、根据权利要求1所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述安装架为“人”字形。
10、根据权利要求1～9中任一项所述的一种光刻版夹具，其特征在于：所述韧性材料为聚四氟乙烯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200925981U CN201188170Y (zh) | 2008-03-14 | 2008-03-14 | 光刻版夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200925981U CN201188170Y (zh) | 2008-03-14 | 2008-03-14 | 光刻版夹具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201188170Y true CN201188170Y (zh) | 2009-01-28 |
Family
ID=40311193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2008200925981U Expired - Fee Related CN201188170Y (zh) | 2008-03-14 | 2008-03-14 | 光刻版夹具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201188170Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102455590A (zh) * | 2010-10-22 | 2012-05-16 | 北大方正集团有限公司 | 一种光罩夹具 |
| CN108776422A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-11-09 | 华灿光电(苏州）有限公司 | 清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机 |
-
2008
- 2008-03-14 CN CNU2008200925981U patent/CN201188170Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102455590A (zh) * | 2010-10-22 | 2012-05-16 | 北大方正集团有限公司 | 一种光罩夹具 |
| CN108776422A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-11-09 | 华灿光电(苏州）有限公司 | 清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机 |
| CN108776422B (zh) * | 2018-04-25 | 2022-02-11 | 华灿光电(苏州）有限公司 | 清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206526605U (zh) | 一种过滤滤网清洗装置 | |
| CN205628733U (zh) | 离心甩干装置以及基板清洗装置 | |
| CN201188170Y (zh) | 光刻版夹具 | |
| CN216095062U (zh) | 一种轴承加工用清洗装置 | |
| JP2008258212A (ja) | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | |
| CN207462591U (zh) | 一种排球清洗机 | |
| CN205324282U (zh) | 一种基板清洗装置 | |
| CN108043776A (zh) | 一种玻璃清洗机 | |
| CN217423779U (zh) | 一种硅晶片甩干机 | |
| TWM528448U (zh) | 自動清洗裝置 | |
| CN213781996U (zh) | 甩干机清洗装置 | |
| CN210017801U (zh) | 一种蔬菜脱水装置 | |
| CN218424361U (zh) | 一种接触网绝缘子清洗结构 | |
| CN112316392A (zh) | 一种篮球清洗机 | |
| JPH08229524A (ja) | 液晶用カセット洗浄装置 | |
| KR200298919Y1 (ko) | Ｃｍｐ 장비의 스핀 린스 드라이 척의 지지핀 | |
| CN205337523U (zh) | 一种蔬菜清洗组件 | |
| CN211071007U (zh) | 一种肚脐贴生产用中草药材清洗装置 | |
| CN220862191U (zh) | 一种中药材原料清洗装置 | |
| KR200268368Y1 (ko) | 신발 세탁 장치 | |
| CN213967951U (zh) | 一种医疗器械循环清洗装置 | |
| CN213856015U (zh) | 一种光刻板清洗机用除胶滤网 | |
| CN214348151U (zh) | 一种立式机械零部件清洗装置 | |
| KR20140040879A (ko) | 자동 청소 기능을 가지는 세탁기 | |
| CN219982028U (zh) | 一种葡萄清洗烘干设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: SHENZHEN SI SEMICONDUCTORS CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: SHENZHEN SI SEMICONDUCTORS CO., LTD. |
|
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: Baolong Baolong Industrial City seven road in Longgang District of Shenzhen City, Guangdong Province, No. 3 518118 Patentee after: Shenzhen Si Semiconductors Co., Ltd. Address before: 518029, 3 floor, building 2, three optical fiber street, Bagua Road, Shenzhen, Guangdong, Futian District Patentee before: Shenzhen SI Semiconductor Co., Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090128 Termination date: 20160314 |