CN102455590A

CN102455590A - 一种光罩夹具

Info

Publication number: CN102455590A
Application number: CN2010105222880A
Authority: CN
Inventors: 马玉玲
Original assignee: Peking University Founder Group Co Ltd; Shenzhen Founder Microelectronics Co Ltd
Current assignee: Peking University Founder Group Co Ltd; Shenzhen Founder Microelectronics Co Ltd
Priority date: 2010-10-22
Filing date: 2010-10-22
Publication date: 2012-05-16

Abstract

本发明公开了一种光罩夹具，用以防止光罩夹具夹持光罩时，光罩的滑落。该光罩夹具包括：第一手柄(1)、第一支架(21)、第二支架(22)和第一卡头(3)，其中，第一支架(21)的一端与所述第一手柄(1)连接，另一端设置有第二卡头(4)；所述第二支架(22)两端分别设置有第三卡头(5)和第四卡头(6)，并和第一支架(21)十字型连接；所述第一卡头(3)一端与所述第一支架(21)的一端活动连接，另一端通过第一弹性件(7)与第一手柄(1)连接，且受所述第一手柄(1)通过第一弹性件(7)施加的牵引力向第一手柄(1)方向旋转。

Description

一种光罩夹具

技术领域

本发明涉及半导体器件生产技术领域，特别涉及一种光罩夹具。

背景技术

在生产半导体器件中的光罩时，需要通过夹具夹持光罩进行移动，检测，安装，或者其他的工艺。目前，横向光罩与光罩盒之间是无缝隙的，因此，现有的光罩夹具的结构如图1所示，包括：第一手柄1、第一支架2，第一卡头3，以及第二卡头4。

其中，第一手柄1与第一支架2的第一端连接；第一卡头3与第一支架2的第一端活动连接，并且，第一卡头3通过一个弹簧与第一手柄1连接；第二卡头4与第一支架的第二端连接。

第一卡头3和第二卡头4为带有弯勾的结构，这样，操作第一手柄1，让其上下运动，这样，通过第一卡头3与第一手柄1之间的弹簧即可带动第一卡头3以第一支架2为轴进行运动，从而，可以抓起或松开光罩。一般，第一卡头3和第二卡头4的弯勾处于同一水平面，这样，可以防止该夹具在夹持光罩过程中带来的变形。

根据上述结构可知，目前的光罩夹具只有一个方向上有定位，如图1所示，只有与第一手柄1平行的方向上有定位，即该夹具只定位了光罩平面的纵向，这样，在夹具夹持光罩进行转移或者检查时，光罩容易从另一方向滑落，这里，光罩容易从横向滑落。

因此，目前的光罩夹具在夹持光罩时还不是很稳固，容易滑落。

发明内容

本发明实施例提供一种光罩夹具，用以防止光罩夹具夹持光罩时，光罩的滑落。

本发明实施例提供一种光罩夹具，包括：第一手柄(1)、第一支架(21)、第二支架(22)和第一卡头(3)，其中，

第一支架(21)的一端与所述第一手柄(1)连接，另一端设置有第二卡头(4)；

所述第二支架(22)两端分别设置有第三卡头(5)和第四卡头(6)，并和第一支架(21)十字型连接；

所述第一卡头(3)一端与所述第一支架(21)的一端活动连接，另一端通过第一弹性件(7)与第一手柄(1)连接，且受所述第一手柄(1)通过第一弹性件(7)施加的牵引力向第一手柄(1)方向旋转。

本发明实施例中，通过夹具第一支架和第二支架，以及与每个支架对应的卡头，在两个方向对光罩进行了定位，从而有效地防止了夹具夹持光罩时，光罩的滑落。

附图说明

图1为现有技术中光罩夹具的结构图；

图2为本发明实施例一中光罩夹具的结构图；

图3为本发明实施例二中光罩夹具的结构图；

图4为本发明实施例三中光罩夹具的结构图。

具体实施方式

本发明实施例中，对现有的光罩夹具进行了改造，不仅定位了光罩平面的纵向，还定位了光罩平面的横向，避免了光罩夹具在夹持光罩时，光罩容易滑落的现象。

下面结合说明书附图对本发明实施例作进一步详细描述。

实施例一，参见图2，本实施例中光罩夹具包括：第一手柄1、第一支架21、第二支架22，第一卡头3，第二卡头4，第三卡头5和第四卡头6。

其中，第一支架21与第二支架22之间十字型连接，可是是正十字型连接，或者斜十字型连接。一般，第一支架21与第二支架22垂直，第一支架21与第二支架22之间的交叉点可以位于第一支架21或第二支架22上的任意位置。较佳地，第一支架21关于交叉点中心对称，第二支架22也关于交叉点中心对称。

在本实施例中，第一手柄1、第一支架21、第一卡头3和第二卡头4的连接关系可以与现有技术中的光罩夹具一致。即可以由第一手柄1、第一支架21、第一卡头3和第二卡头4组成现有技术中的光罩夹。具体结构为：

第一支架21的一端与第一手柄1连接，另一端设置第二卡头4。本发明实施例中与第一手柄1平行的方向可设定为纵向，如图2所示，第一手柄1与第一支架21的一端一般为平行的固定连接，即第一支架为纵向架。

这里，第一支架21与第二卡头4可以是一体结构，或者，第二卡头4与第一支架21的另一端连接，该连接包括：固定连接，或者活动连接。当为活动连接时，该第二卡头4的另一端还需通过一个弹性件与第一支架21连接。在如图2所示的结构中，第二卡头4与第一支架21是一体结构。

第一卡头3的一端与第一支架21的一端活动连接，并且，该第一卡头3的另一端通过第一弹性件7与第一手柄1连接，并且受到第一手柄1通过第一弹性件7施加的牵引力向第一手柄1方向旋转。

在上述结构中，第一卡头3和第二卡头4一般都为带有弯勾的结构，这样，操作第一手柄1，让其上下运动，这样，通过第一弹性件7即可带动第一卡头3以第一支架21为轴向第一手柄方向旋转，从而，可以抓起或松开光罩。

为防止光罩夹具在夹持光罩时，光罩从横向滑落，本发明实施中，还包括了第二支架22。第二支架22与第一支架21十字型连接，当第一支架21为纵向架时，第二支架22为横向架。并且，该第二支架22两端分别设置有第三卡头5和第四卡头6。

第三卡头5，第四卡头6，和第二支架22可以为一体结构，或者，第三卡头5与第二支架22为一体结构，而第四卡头6与第二支架22进行连接，或者，第三卡头5与第二支架22进行连接，而而第四卡头6与第二支架22为一体结构。其中，连接包括：固定连接或者活动连接。

在如图2所示的夹具中，第三卡头5、第四卡头，和第二支架22为一体结构。

这样，可根据光罩的横向大小，确定第三卡头5与第四卡头6之间的距离，使得该距离略大于光罩的横向大小，或者，距离略等于光罩的横向大小，这样，便于光罩的夹持。并且，第三卡头5或第四卡头6为挡板，从而，在该夹具夹持光罩时，由于第三卡头5以及第四卡头6的阻挡，光罩不容易从横向滑落。

实施例二、在上述实施例中，第三卡头5，第四卡头6与第二支架22组成一体结构。当第三卡头5与第四卡头6之间的距离略大于光罩的横向大小时，在该夹具夹持光罩时，还是容易造成光罩的移动。为进一步提供该夹具的稳固性，在该实施例中，分别改进第三卡头5以及第四卡头6与第二支架22之间的连接。

参见图3，该夹具包括：第一手柄1、第一支架21、第二支架22、第一卡头3，第二卡头4，第三卡头5、第四卡头6、第一弹性件7、第二弹性件8以及第三弹性件9。

本实施例中，第一手柄1、第一支架21、第一卡头3、第二卡头4和第一弹性件7的连接关系如实施例一中所述，具体就不再累述了。但是第三卡头5以及第四卡头6与第二支架22之间的连接进行了改进，具体为：

第三卡头5一端与第二支架22的第一端活动连接，并且，第三卡头5的另一端通过第二弹性件8与第二支架22连接。

第四卡头6一端与第二支架22的第二端活动连接，并且，第四卡头6的另一端通过第三弹性件9与第二支架22连接。

如图3所示，第三卡头5一端与第二支架22的第一端采用活动轴联，以及第四卡头6一端与第二支架22的第二端也采用活动轴联。

这样，第三卡头5能以第二支架22为轴上下翻转，同样，第四卡头6也以第二支架22为轴上下翻转。

在使用该夹具时，先将第三卡头5以及第四卡头6翻上去，然后待该夹具夹持光罩后，再将第三卡头5以及第四卡头6翻下来，从而，该夹具可以牢牢的固定住光罩，防止光罩的移动以及滑落，进一步提高了夹具的稳固性。

在上述两个实施例中，第三卡头5，第四卡头6与第二支架22组成一体结构。或者，第三卡头5与第二支架22的第一端活动连接，第四卡头6与第二支架22的第二端活动连接。当然，在本发明其他实施例中，第三卡头5与第二支架22的第一端固定连接，第四卡头6与第二支架22的第二端活动连接。或者，第三卡头5与第二支架22的第一端活动连接，第四卡头6与第二支架22的第二端固定连接。或者，第三卡头5与第二支架22的第一端固定连接，第四卡头6与第二支架22组成一体结构。或者，第三卡头5与第二支架22的第一端活动连接，第四卡头6与第二支架22组成一体结构。或者，第三卡头5与第二支架22组成一体结构，第四卡头6与第二支架22的第二端活动连接。或者，第三卡头5与第二支架22组成一体结构，第四卡头6与第二支架22的第二端固定连接。具体的连接结构就不再累述。

实施例三、本实施例对光罩夹具进行了进一步的改造，通过增加一个第二手柄来控制第三卡头、或、第四卡头、或、第三卡头和第四卡头。从而，可以更加方便地操作光罩夹具。

参见图4，该夹具不仅包括：第一手柄1、第一支架21，第二支架22，第一卡头3，第二卡头4，第三卡头5、第四卡头6、第一弹性件7、第二弹性件8以及第三弹性件9。并且，还包括：第二手柄10。其中，第二手柄10与第二支架22活动连接。连接点可以位于第二支架22的任意位置，较佳地，该连接点为第二支架22的中心点。

第一手柄1、第一支架21、第一卡头3、第二卡头4和第一弹性件7的连接关系如实施例一或实施二中所述，具体就不再累述了。

这里，第三卡头5，以及第四卡头6的连接方式又进行了改动，具体为：

第三卡头5一端与第二支架22的第一端活动连接，并且，第三卡头5另一端通过第二弹性件8与第二手柄10连接，从而，第三卡头5受到第二手柄10通过第二弹性件8施加的牵引力向与第二支架22垂直的方向旋转。

第四卡头6一段与第二支架22的第二端活动连接，并且，第四卡头6另一端通过第三弹性件9与第二手柄10连接，从而，第四卡头6受到第二手柄10通过第三弹性件9施加的牵引力向与第二支架22垂直的方向旋转。

这样，由于第二手柄10与第二支架22活动连接，操作第二手柄10，就可以通过第二弹性件8控制第三卡头5以第二支架22为轴进行摆动，以及通过第三弹性件9控制第四卡头6以第二支架22为轴进行摆动。

本实施例中，在使用该夹具时，先如图4中箭头1方向压下第二手柄10，这样，通过第二弹性件8带动第三卡头5朝箭头2方向摆动，通过第三弹性件9带动第四卡头6也朝箭头2方向摆动，然后，待该夹具夹持光罩后，再松开第二手柄10使其恢复到最初位置，这样，第三卡头5以及第四卡头6也恢复到初始位置，从而，该夹具也牢牢的固定住光罩，防止光罩的移动以及滑落，提高了夹具的稳固性。并且，使用过程中，可以通过手柄来控制卡头的运动，方便了该夹具的使用，增加了该夹具的实用性。

同样，在该实施例中，第二手柄10同时控制了第三卡头5和第四卡头6的运动。当然，在本发明其他实施例中，第二手柄10可以只控制第三卡头5或第四卡头6的运动。这样，第三卡头一端5与第二支架22的第一端活动连接，并且，第三卡头另一端通过第二弹性件8与第二手柄10连接，而第四卡头6一端与第二支架22的第二端的连接可以如上述实施例一或实施例二所示。或者，第三卡头5与中的第二支架22的连接可以如上述实施例一或实施例二所示，而第四卡头6一端与第二支架22的第二端活动连接，并且，第四卡头另一端通过第三弹性件9与第二手柄10连接。

在上述所有实施例中，活动连接包括：折页或活动轴联。弹性件包括：弹簧或气压杆。

在上述所有实施例中，较佳地，第一卡头3和第二卡头4为带有弯勾的结构。第三卡头5和第四卡头6为挡板结构，其形状包括：矩形或圆柱形。当然，本发明其他实施例中，也可以是第一卡头3和第二卡头4为挡板结构，而第三卡头5和第四卡头6为带有弯勾的结构。或者，第一卡头3、第二卡头4、第三卡头5和第四卡头6都为带有弯勾的结构。

在上述所有实施例中，卡头的材质一般为防静电材料，例如：特氟隆或陶瓷。

本发明实施例中，光罩夹具包括：第一支架和第二支架，以及与第一支架和第二支架的每端分别对应的卡头，这样，该夹具可以在两个方向对光罩进行了定位，从而有效地防止了夹具夹持光罩时，光罩的滑落。并且，夹具夹持光罩可以随意变化角度，从而方便从各个方向对光罩进行检查。

并且，本发明实施例中，与第二支架连接的每个卡头可以上下或前后摆动，可以进一步提高夹具的稳固性。另外，本发明实施例中，通过第一手柄控制与第一支架连接的卡头，通过第二手柄控制与第二支架连接的卡头，便于该光罩夹具的使用，提高了光罩夹具的实用性。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种光罩夹具，其特征在于，包括：第一手柄(1)、第一支架(21)、第二支架(22)和第一卡头(3)，其中，

2.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述第三卡头(5)一端与所述第二支架(22)的第一端活动连接，另一端通过第二弹性件(8)与第二支架(22)连接。

3.如权利要求1或2所述的夹具，其特征在于，所述第四卡头(6)一端与所述第二支架(22)的第二端活动连接，另一端通过第三弹性件(9)与第二支架(22)连接。

4.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，还包括：第二手柄(10)；

所述第二手柄(10)与所述第二支架(22)活动连接。

5.如权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述第三卡头(5)一端与所述第二支架(22)的第一端活动连接，另一端通过第二弹性件(8)与第二手柄(10)连接，且受所述第二手柄(10)通过第二弹性件(8)施加的牵引力向与第二支架(22)垂直的方向旋转。

6.如权利要求4或5所述的夹具，其特征在于，所述第四卡头(6)一端与所述第二支架(22)的第二端活动连接，另一端通过第三弹性件(9)与第二手柄(10)连接，且受所述第二手柄(10)通过第三弹性件(9)施加的牵引力向与第二支架(22)垂直的方向旋转。

7.如权利要求1或4所述的夹具，其特征在于，所述第一卡头(3)和第二卡头(4)为带有弯勾的结构。

8.如权利要求1或4所述的夹具，其特征在于，所述第二卡头(5)或第四卡头(6)为挡板结构，其形状包括：矩形或圆柱形。

9.如权利要求1或4所述的夹具，其特征在于，所述第一卡头(3)、第二卡头(4)、第二卡头(5)、或第四卡头(6)为防静电材料。

10.如权利要求1或4所述的夹具，其特征在于，所述活动连接包括：折页或活动轴联。