CN214751318U - 光罩清洗治具及光罩清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光罩清洗治具及光罩清洗装置。本实用新型的光罩清洗治具包括框体和固定部。固定部设于所述框体的内侧的边端，用于固定光罩，且所述固定部避开所述框体的内侧的角端，与所述框体的内侧的角端形成第一排水区，第一排水区用于使所述框体的内侧的角端与光罩形成间隔。所述固定部设于框体的内侧的边端，第一排水区形成于框体的内侧的角端，使光罩与框体的内侧的角端留有间隔，在该光罩清洗治具旋转甩干光罩上的水时，光罩与框体的内侧的角端之间不产生积水，提高光罩清洗效果。

Description

光罩清洗治具及光罩清洗装置

技术领域

本实用新型涉及光罩清洁技术领域，特别涉及一种光罩清洗治具及光罩清洗装置。

背景技术

如今在显示行业内，对光罩的制作要求越来越高，不断向高精度和高洁净度方向迈进，因此光罩对于贴光学膜来管控光罩洁净度的需求越来越多，这对光罩清洗工艺提出了更高的要求。一般的光罩清洗工艺是将光罩放在清洗治具上，在清洗完后，高速旋转清洗治具，甩干光罩上的水。

相关技术中，光罩清洗治具，包括框体，所述框体上开设有用于容置待清洗光罩的容纳槽，所述容纳槽内侧壁上设置有定位结构，所述定位结构用于固定光罩。

上述技术中，治具的边角处与光罩接触，水会在治具的边角处与光罩之间积压，水无法完全甩干，容易污染光罩玻璃面，导致光罩污染严重，返工率高，清洗效率低下，无法满足量产需求。

发明内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种光罩清洗治具，能够避免治具的边角处与光罩接触，防止治具的边角处与光罩之间留有积水。

本实用新型还提出一种具有上述光罩清洗治具的光罩清洗装置。

根据本实用新型的第一方面实施例的光罩清洗治具，包括：框体和固定部；

固定部设于所述框体的内侧的边端，用于固定光罩，且所述固定部避开所述框体的内侧的角端，与所述框体的内侧的角端形成第一排水区。

根据本实用新型实施例的光罩清洗治具，至少具有如下有益效果：所述固定部设于框体的内侧的边端，第一排水区形成于框体的内侧的角端，使光罩与框体的内侧的角端留有间隔，在该光罩清洗治具旋转甩干光罩上的水时，光罩与框体的内侧的角端之间不产生积水，提高光罩清洗效果。

根据本实用新型的一些实施例，各个所述框体的内侧的边端至少设有一个固定部，所述框体的内侧的角端与相邻的两个固定部形成第一排水区。

根据本实用新型的一些实施例，各个所述框体的内侧的边端至少设有两个固定部，位于所述框体内侧同一边端且相邻的两个固定部之间形成第二排水区。

根据本实用新型的一些实施例，所述固定部的一端连接于所述框体，另一端设有台阶结构，所述台阶结构用于固定光罩。

根据本实用新型的一些实施例，所述台阶结构包括至少两个阶级，所述阶级呈阶梯状排列设置，相邻的两个所述阶级中，位于下方的所述阶级的上端面构成所述支撑面，位于上方的所述阶级的侧面构成所述定位面，所述支撑面用于支撑所述光罩，所述定位面用于所述光罩侧面的定位。

根据本实用新型的一些实施例，所述定位面具有用于与所述光罩线接触的弧面。

根据本实用新型的一些实施例，所述阶级的侧面为圆弧面。

根据本实用新型的一些实施例，所述框体的内壁设有导流面，所述导流面用于导流。

根据本实用新型的一些实施例，所述导流面为倾斜面，所述倾斜面由所述框体的内侧朝所述框体的外侧倾斜。

根据本实用新型的第二方面实施例的光罩清洗装置，包括所述光罩清洗治具。

根据本实用新型实施例的光罩清洗装置，至少具有如下有益效果：包括有如上所述的光罩清洗治具的有益效果，此处不再赘述。

根据本实用新型的一些实施例，所述光罩清洗治具，还包括驱动装置，所以驱动装置用于驱动所述光罩清洗治具旋转。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型光罩清洗治具一些实施例的结构示意图；

图2为本实用新型光罩清洗治具一些实施例的俯视图；

图3为图2所示的光罩清洗治具中A处的剖视图；

图4为图2所示的光罩清洗治具中B处的剖视图；

图5为本实用新型光罩清洗治具一些实施例安装有光罩后的立体图；

图6为本实用新型光罩清洗治具一些实施例安装有光罩后的俯视图；

图7为图1所示的光罩清洗治具中C处的放大图。

附图标记：

框体100、角端201、边端202、固定部300、第一阶级310、定位面311、第二阶级320、支撑面321、台阶结构330、第一排水区410、第二排水区420、导流面210、光罩600，固定槽710。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

如图1至2所示，根据本实用新型的第一方面实施例的光罩清洗治具，包括框体100和固定部300。其中，框体100的内侧包括角端201和边端202，相邻的边端202之间通过角端201连接；固定部300设于框体100的内侧的边端202，用于固定光罩600，且固定部300避开框体100的内侧的角端201，与框体100的内侧的角端201形成第一排水区410。

例如，框体100的整体形状呈四棱柱，框体100的整体形状不仅仅可为四棱柱，也可为圆柱、其他多边形棱柱或不规则形状等，框体100的整体形状与用于旋转框体100的旋转装置上的固定结构相匹配即可。

如图2所示，角端201即框体100的内侧的边角处，边端202即框体100的内侧的直线边处。

框体100的内侧的各个边端202上至少设置有一个固定部300，固定部300呈柱状，一端固定于框体100的内侧的边端，另一端朝向远离框体的外侧的方向延伸，且另一端设有固定结构，光罩600通过各个固定部300的固定结构安装于框体100的内侧内，固定结构可通过夹持固定光罩600、通过顶靠光罩600的侧面固定光罩600等的方式固定光罩600，为避免光罩600与固定部300之间留有积水，可以想到的是减少光罩600与固定部300的接触面，如图5至图6所示，固定部300通过顶靠的光罩600的四边的方式固定光罩600。为提高固定部300的固定效果，可增加各个边端202上设置固定部300的数量，但是，为了节省生产成本，如图2所示，框体100的内侧的各个边端202上设置两个固定部300即可。

如图2以及图6所示，靠近角端201的两个固定部300与框体100的内侧的角端201形成第一排水区410，当光罩600安装于固定部300上时，光罩600的四个角对应放于第一排水区410，使光罩600的四个角与角端201留有间隔。

当旋转该光罩清洗治具时，水将从光罩600上朝外甩出，由于离心力的作用，首先大部分水珠体积较大，质量较大，容易从光罩600的表面脱离，将由光罩600的边缘的各个位置甩出，一段时间后，光罩600上剩下部分体积较小的水珠，由于水的表面张力，水珠不易从光罩600脱离，将沿光罩600的表面朝光罩600的四个角滑动，最后由光罩600的四个角甩出。由于光罩600的四个角与框体100的内侧的角端201之间留有间隔，水将从第一排水区410排出，光罩600与框体100的内侧的角端201之间不产生积水，提高光罩600清洗效果，减少返工，提高清洗效率。

如图1、图2、图6所示，根据本实用新型的一些实施例，各个框体100的内侧的边端202至少设有两个固定部300。位于框体100的内侧的同一边端202上，且相邻的两个固定部300之间形成第二排水区420，第二排水区420使框体100的内侧的边端202与光罩600形成间隔。

例如，各个边端202上设有两个或者两个以上的固定部300，相邻的两个固定部300与边端202形成第二排水区420，如图6所示，当光罩600安装于固定部300上时，光罩600的四个边对应放于第二排水区420，使光罩600的四个边与边端202留有间隔。

当旋转该光罩清洗治具时，水将从光罩600上朝外甩出，部分水将由光罩600的四个边处甩出，由于光罩600的四个边与框体100的内侧的边端202之间留有间隔，水将从第二排水区420排出，光罩600与框体100的内侧的边端202之间不产生积水，进一步提高光罩600清洗效果。

如图1至2所示，根据本实用新型的一些实施例，第一排水区410、第二排水区420分别沿框体100的厚度方向贯通。便于水由第一排水区410和第二排水区420排出。

如图1至图2所示，根据本实用新型的一些实施例，固定部300的连接于框体100，另一端设有台阶结构330。例如，为减少生产成本，固定部300的一端与框体100固定连接，固定部300与框体100一体成型。可以想到的是，为了便于维修或其他需要便于拆卸固定部300的原因，固定部300的一端可与框体100可拆卸连接。

如图2所示，位于同一边端202的固定部300相互平行设置，且固定部300与所在边端202相垂直设置。

如图1、图7所示，根据本实用新型的一些实施例，台阶结构包括至少两个阶级，阶级呈阶梯状排列设置，相邻的两个阶级中，位于下方的阶级的上端面设有支撑面321，位于上方的阶级的侧面设有定位面311，支撑面321用于支撑光罩，定位面311用于光罩侧面的定位。

例如，如图7所示，台阶结构330包括第一阶级310和第二阶级320，第一阶级310位于第二阶级320的上端，且第一阶级310与第二阶级320呈阶梯状排列设置，即第二阶级320的上端面设置有支撑面321，第一阶级310靠近光罩600的一侧设置有定位面311，光罩600安装于固定部300时，光罩600的下端与第二阶级320的上端面接触，光罩600的侧面能够与第一阶级310的侧面接触。能够想到的是，台阶结构330还可以包括更多阶级，例如，在第一阶级310上设置另一阶级，从而使第一阶级310的上端面形成另一个支撑面321，另一阶级的侧面形成另一定位面311，以适配另一尺寸的光罩600，如此类推，该光罩清洗治具可适配更多尺寸的光罩600。

例如，台阶结构330通过支撑面321与光罩600的下端接触，并通过支撑面321给予光罩600向上的支撑力。台阶结构330通过定位面311能够与光罩600的侧面接触，并通过定位面311给予光罩600水平方向的力，避免光罩600水平方向滑出，使光罩600固定于台阶结构330上。

如图5至图6所示，根据本实用新型的一些实施例，定位面311具有用于与光罩线接触的弧面。

例如，定位面311可以为圆弧面、也可以设有凸起，使定位面311与光罩600线接触。为进一步减少光罩600与固定部300之间留有积水的可能，使定位面311与光罩600线接触，使台阶结构330与光罩600的侧面无法留有积水。

例如，阶级的侧面呈圆弧面，可使阶级的定位面311与阶级之间线接触，减少光罩600与阶级之间积水的可能，同时，可更加便于水沿圆弧面滑走。

如图4所示，根据本实用新型的一些实施例，框体100的内壁设有导流面210，导流面210用于导流。

在该光罩清洗治具旋转时，光罩600上部分水会甩脱至框体100的内侧的内壁上，由于光罩清洗治具的高速旋转，水可能会残留在框体100的内侧的内壁上，在框体100的内侧的内壁上设置导流面210，可引导框体100的内侧的内壁上的水离开，进一步提高该光罩清洗治具的清洗效果。

如图4所示，根据本实用新型的一些实施例，导流面210为倾斜面，倾斜面由框体100的内侧朝框体100的外侧倾斜。

例如，为更好的将水导流离开框体100的内侧的内壁，导流面210设为倾斜面，且倾斜面的自框体100的内侧的上端径向方向朝向框体100的外侧倾斜，即倾斜面是由框体100的内侧的内壁朝框体100的外侧倾斜，且倾斜面朝下。当旋转该光罩清洗治具时，水将从光罩600上朝外甩出，附着在框体100的内侧的内壁上的水将沿倾斜面滑离框体100。

根据本实用新型的第二方面实施例的光罩清洗装置，包括光罩清洗治具。

根据本实用新型实施例的光罩清洗装置，至少具有如下有益效果：包括有上述的光罩清洗治具的有益效果，此处不再赘述。

根据本实用新型的一些实施例，光罩清洗治具，还包括：驱动装置，用于驱动光罩清洗治具旋转。

例如，将光罩固定于光罩清洗治具上，光罩清洗装置通过驱动装置驱动光罩清洗治具旋转，同时带动光罩旋转。为提高光罩的清洗效果，光罩清洗治具绕光罩清洗治具的中心位置自转，使光罩上的水能够较均匀的由光罩的各个边缘处甩出。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.光罩清洗治具，其特征在于，包括：

框体；

固定部，设于所述框体的内侧的边端，用于固定光罩，且所述固定部避开所述框体的内侧的角端，所述固定部与所述框体的内侧的角端形成第一排水区。

2.根据权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，各个所述框体的内侧的边端至少设有一个固定部，所述框体的内侧的角端与相邻的两个固定部形成第一排水区。

3.根据权利要求2所述的光罩清洗治具，其特征在于，各个所述框体的内侧的边端至少设有两个固定部，位于所述框体内侧同一边端且相邻的两个固定部之间形成第二排水区。

4.根据权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述固定部的一端连接于所述框体，另一端设有台阶结构。

5.根据权利要求4所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述台阶结构包括至少两个阶级，所述阶级呈阶梯状排列设置，相邻的两个所述阶级中，位于下方的所述阶级的上端面构成支撑面，位于上方的所述阶级的侧面构成定位面，所述支撑面用于支撑所述光罩，所述定位面用于所述光罩侧面的定位。

6.根据权利要求5所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述定位面具有用于与所述光罩线接触的弧面。

7.根据权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述框体的内壁设有导流面，所述导流面用于导流。

8.根据权利要求7所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述导流面为倾斜面，所述倾斜面由所述框体的内侧朝所述框体的外侧倾斜。

9.光罩清洗装置，其特征在于，包括有权利要求1至8中任一项所述的光罩清洗治具。

10.根据权利要求9所述的光罩清洗装置，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述光罩清洗治具旋转。

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