CN108695219A - 行驶车系统 - Google Patents

行驶车系统 Download PDF

Info

Publication number
CN108695219A
CN108695219A CN201810279587.2A CN201810279587A CN108695219A CN 108695219 A CN108695219 A CN 108695219A CN 201810279587 A CN201810279587 A CN 201810279587A CN 108695219 A CN108695219 A CN 108695219A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
track
siding track
downstream
upstream
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810279587.2A
Other languages
English (en)
Inventor
泉孝宪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN108695219A publication Critical patent/CN108695219A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G9/00—Apparatus for assisting manual handling having suspended load-carriers movable by hand or gravity
    • B65G9/008—Rails or switches
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Operating, Guiding And Securing Of Roll- Type Closing Members (AREA)

Abstract

本发明的行驶车系统即使在上游侧轨道和下游侧轨道的位置变动了的情况下，也能够使可动轨道退避，并且抑制上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变宽。行驶轨道(20)具备：安装在系统顶棚(13)上的上游侧轨道(21)和下游侧轨道(22)，能够在第1位置(P1)与第2位置(P2)之间移动的可动轨道(23)，设置在上游侧轨道(21)上、第1端部(40a)与上游侧轨道(21)连接并且第2端部(40b)为自由端、靠弹性部件(43)伸缩的伸缩轨道(24)；伸缩轨道(24)的第2端部(40b)被向第1位置(P1)移动的可动轨道(23)推挤，在留有进一步收缩的余地的状态下收缩，在可动轨道(23)移动到第2位置(P2)之际，在第2端部(40b)与下游侧轨道(22)之间形成厂房(50)所具备的防火卷帘(12b)能够通过的空间(K)。

Description

行驶车系统
技术领域
本发明涉及行驶车系统。
背景技术
在半导体制造工厂等中，为了输送容纳了半导体晶圆或掩模版等的各种容器(FOUP、掩模版盒等)，使用了沿铺设在顶棚的行驶轨道行驶的行驶车系统。在这样的制造工厂的厂房内，存在根据消防法要求的消防分区设定，有时利用厂房具备的防火卷帘形成消防分区，但有时在防火卷帘通过的空间内配置行驶车系统的行驶轨道。因此提出了为了关闭防火卷帘而使行驶轨道的一部分为可动轨道，通过使该可动轨道从防火卷帘通过的空间退避来关闭防火卷帘的结构(参照例如专利文献1)。
【专利文献1】日本特许第4193174号公报
在所述行驶车系统中，上游侧轨道和下游侧轨道有时安装在厂房所具备的系统顶棚上。这种情况下，如果由于地震等原因系统顶棚的位置在水平方向上变动，则上游侧轨道和下游侧轨道的位置也变动，可动轨道有时被夹在上游侧轨道与下游侧轨道之间被保持，存在不能移动了的情况。在这种情况下，有时成为关闭防火卷帘时的障碍。并且，有时也由于系统顶棚的变动而使上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变大了，这种情况下，存在行驶车不能行驶或者在行驶时向行驶车的振动变大的问题。
发明内容
鉴于以上情形，本发明的目的在于：提供即使在上游侧轨道和下游侧轨道的位置变动了的情况下也能够使可动轨道退避、而且能够抑制上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变宽的行驶车系统。
本发明为具备行驶车的行驶轨道的行驶车系统，行驶轨道具备：安装在厂房所具备的系统顶棚上的上游侧轨道和下游侧轨道，能够在与上游侧轨道和下游侧轨道连通的第1位置、和在相对于行驶轨道的延伸方向倾斜的方向上移动了的第2位置之间移动的可动轨道，以及设置在上游侧轨道和下游侧轨道中的一方上、一端与上游侧轨道或下游侧轨道连接并且另一端为自由端、利用弹性部件伸缩的伸缩轨道；伸缩轨道，在该伸缩轨道的另一端被向第1位置移动的可动轨道推挤而留有进一步收缩的余地的状态下收缩，当可动轨道移动到了第2位置之际，在另一端与上游侧轨道或上述下游侧轨道之间形成厂房所具备的防火卷帘能够通过的空间。
并且，也可以在可动轨道和伸缩轨道中的一方上设置有引导辊，该引导辊当可动轨道朝向第1位置移动之际与另一方轨道相抵接而滚动，在另一方轨道上设置有当可动轨道到达了第1位置时引导辊进入的凹陷部。并且，也可以伸缩轨道具备：沿着行驶轨道的延伸方向设置的引导部，以及能够沿着引导部移动的多个分段轨道；弹性部件分别设置在多个分段轨道彼此之间。并且，也可以在上游侧轨道或下游侧轨道上设置有止动件，该止动件限制可动轨道在从第2位置朝向第1位置移动的方向上越过第1位置地移动。
发明的效果：根据本发明的行驶车系统，由于可动轨道配置在第一位置时伸缩轨道变成收缩的状态，因此即使在上游侧轨道和下游侧轨道的位置变动了的情况下，通过伸缩轨道伸缩也能良好地维持与可动轨道的连接状态。由此，能够可靠地使可动轨道向第2位置退避，能够关闭防火卷帘。并且，能够抑制上游侧轨道或下游侧轨道与可动轨道之间的间隔变宽，由此能够避免行驶车不能行驶或者给行驶车带来大的振动，能够确保行驶车顺畅地行驶。
并且，在可动轨道和伸缩轨道中的一方轨道上设置所述引导辊、在另一方轨道上设置所述凹陷部的情况下，能够利用引导辊顺畅地进行可动轨道与伸缩轨道的连接，而且，通过引导辊进入凹陷部，能够容易地确定可动轨道和伸缩轨道的位置。并且，在伸缩轨道具备所述引导部和所述分段轨道、弹性部件分别设置在多个分段轨道彼此之间的情况下，能够容易地确保伸缩轨道的伸缩，而且，通过改变分段轨道的数量，能够容易地调整伸缩轨道的长度。
并且，在上游侧轨道或下游侧轨道上设置有限制可动轨道在从第2位置向第1位置移动的方向上越过第1位置地移动的止动件的情况下，能够利用止动件限制可动轨道越过第1位置地移动，能够可靠地进行可动轨道与伸缩轨道的连接。
附图说明
图1为表示实施方式所涉及的行驶车系统的一例的图；
图2为表示行驶轨道和行驶车的一部分的剖视图；
图3为表示可动轨道的动作的俯视图，(A)为可动轨道位于第1位置的状态，(B)为可动轨道位于第2位置的状态；
图4为表示伸缩轨道的一例的图；
图5为表示可动轨道与伸缩轨道的连接部分的俯视图，(A)为引导辊与引导面相抵接的状态，(B)为引导辊进入了凹陷部的状态；
图6为表示可动轨道与伸缩轨道的连接部分的剖视图，(A)为两者分离的状态，(B)为两者连接的状态；
图7为表示图6的连接部分的俯视图，(A)为两者分离的状态，(B)为两者连接的状态；
图8为表示系统顶棚沿靠近防火墙的方向移动了的状态的图；
图9为表示系统顶棚沿远离防火墙的方向移动了的状态的图。
图中，K—空间；P1—第1位置；P2—第2位置；10—防火结构；12b—防火卷帘；13—系统顶棚；20—行驶轨道；21—上游侧轨道；22—下游侧轨道；23—可动轨道；23g—引导面；24—伸缩轨道；26—止动件；27—引导辊；28—凹陷部；29—定位机构；29a—辊；29b—辊；30—行驶车；40a—第1端部(一端)；40b—第2端部(另一端)；41—引导部；42—分段轨道；42g—引导面；43—弹性部件；50—厂房；51—消防分区；52—顶棚部；100—行驶车系统
具体实施方式
下面参照附图说明本发明的实施方式。但是，本发明并不局限于此。并且，在附图中，为了说明实施方式，将一部分放大或者强调进行描述等，适当变更比例进行表达。在以下各图中，使用XYZ坐标系说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面作为XY平面。
在该XY平面中，将行驶车30的行驶方向标记为X方向，将与水平方向中的X方向正交的方向标记为Y方向。另外，虽然行驶车30的行驶方向从以下图示的状态变化成其他的方向，但在本说明书中将行驶车30的行驶方向作为X方向进行说明。并且，将与XY平面垂直的方向标记为Z方向。X方向、Y方向和Z方向分别以图中的箭头方向为“+”方向、与箭头方向相反的方向为“－”方向进行说明。
图1为表示行驶车系统100的一例的侧视图。如图1所示，行驶车系统100以穿过形成防火结构10的区域的方式设置，具有行驶轨道20和行驶车30。
防火结构10具有安装在防火墙11上的防火门12。防火墙11在厂房50内围绕消防分区51而设置。另外，消防分区51根据消防法等的要求围绕厂房50的预定区域而设定。防火墙11用混凝土或耐火板等与厂房50一体地设置在厂房50的顶棚部52上。顶棚部52具备系统顶棚13。
如图1所示，系统顶棚13安装在厂房50的顶棚部52。系统顶棚13以用多个悬吊构件13a从顶棚部52悬吊的状态支承。另外，系统顶棚13的支承结构并不局限于用悬吊构件13a悬吊支承，也可以使用其他的支承结构。系统顶棚13隔着防火墙11配置在两侧。
如图1所示，防火门12具有防火门主体12a和防火卷帘12b。该防火门12安装于设置在防火墙11的一部分上的未图示的开口部，通过放下防火卷帘12b能够将防火墙11的开口部关闭。防火门主体12a利用未图示的固定部件固定在防火墙11上。防火门主体12a具备将防火卷帘12b容纳在上端部的容纳部。防火卷帘12b使用例如具有一定厚度的板状部件，通过操作者手动操作或者未图示的卷帘驱动部等从防火门主体12a的容纳部下降。另外，防火卷帘12b也可以是沿着设置在防火门主体12a或者防火墙11上的导轨下降的结构。通过相对于防火门主体12a升降，防火卷帘12b能够开闭防火墙11的开口部。
多辆行驶车30在行驶轨道20上行驶。行驶轨道20具备上游侧轨道21、下游侧轨道22、可动轨道23和伸缩轨道24。上游侧轨道21和下游侧轨道22用多个悬吊构件13b分别以从系统顶棚13悬吊的状态支承。上游侧轨道21和下游侧轨道22沿行驶车30的行驶方向配置。在本实施方式中，上游侧轨道21和下游侧轨道22在X方向上配置。另外，对于上游侧轨道和下游侧轨道的名称，将配置在行驶车30的行驶方向的上游一侧的轨道称为上游侧轨道，将配置在行驶车30的行驶方向的下游一侧的轨道称为下游侧轨道。
在本实施方式中，由于行驶车30沿+X方向行驶，因此将行驶轨道20中的配置在－X一侧的轨道称为上游侧轨道21，将配置在+X一侧的轨道称为下游侧轨道22，但并不局限于此。例如，在行驶车30向－X方向行驶的情况下，配置在+X一侧的轨道为上游侧轨道，配置在－X一侧的轨道成为下游侧轨道。在上游侧轨道21与下游侧轨道22之间设置用于配置可动轨道23和后述的伸缩轨道24的空间。上游侧轨道21和下游侧轨道22设定为相同或大致相同的高度。由此，能够使行驶车30在上游侧轨道21与下游侧轨道22之间顺畅地行驶。
图2为表示行驶轨道20和行驶车30的一部分的剖视图。如图2所示，上游侧轨道21和下游侧轨道22在剖视图上以上部板状部20a、－Y一侧的侧部板状部20b、+Y一侧的侧部板状部20c、－Y一侧的下部板状部20d和+Y一侧的下部板状部20e这5块板状部互相连接的状态形成。
如图2所示，行驶车30具有行驶驱动部31、连接部32、受电部33、主体部34和移载装置34a。行驶驱动部31具有与行驶轨道20的下部板状部20d、20e的上表面相抵接的多个行驶轮31a和旋转驱动这些行驶轮31a的驱动装置31b。多个行驶轮31a中的至少一个设定为例如驱动轮。并且，驱动装置31b使用例如电动机或线性电动机等。
连接部32从行驶驱动部31延伸到下方地设置，连接行驶驱动部31和主体部34。并且，在连接部32的一部分上形成受电部33。受电部33经由设置在供电轨道35上的非接触供电线36受电，给行驶驱动部31等提供电力。非接触供电线36沿着上游侧轨道21和下游侧轨道22连续或者断续配置。另外，在图1等中，省略了供电轨道35。
主体部34具备保持并容纳物品M(参照图1)的盖部，具备移载保持着的物品M的移载装置34a。作为物品M的移载目的地，有例如储藏库或缓冲区等保管装置的装载口或处理装置的装载口等。移载装置34a具备例如保持物品M并沿Y方向突出的横向伸出机构和使物品M移动到下方的升降机构等，通过驱动这些横向伸出机构和升降机构，能够将物品M移交给移载目的地。并且，没有图示，行驶驱动部31和移载装置34a的驱动由未图示的控制装置控制。
如图1所示，可动轨道23配置在上游侧轨道21与下游侧轨道22之间。可动轨道23能够沿导轨25在第1位置P1与第2位置P2之间移动。在图3中对第1位置P1和第2位置P2进行说明。图3为表示可动轨道的动作的俯视图，(A)为可动轨道位于第1位置的状态，(B)为可动轨道位于第2位置的状态。
如图3(A)所示，第1位置P1为可动轨道23将上游侧轨道21与下游侧轨道22连通、行驶车30能够行驶的位置。即，当可动轨道23配置在第1位置P1时，行驶车30能够从上游侧轨道21经由可动轨道23向下游侧轨道22行驶。当可动轨道23配置在第1位置P1时，与例如上游侧轨道21和下游侧轨道22相抵接，使行驶车30能够行驶，但也可以例如在可动轨道23的下游一侧(+X一侧)的端面23b与下游侧轨道22的上游一侧(－X一侧)的端面22a之间形成行驶车30的行驶轮31a不会掉下、能够渡过的间隙(即行驶车30能够行驶的间隙)。
另外，当可动轨道23配置在第1位置P1时，可动轨道23配置在防火门12的防火卷帘12b通过的轨道上。第1位置P1的可动轨道23设置成与上游侧轨道21和下游侧轨道22相同或者大致相同的高度上。由此，能够使行驶车30分别在上游侧轨道21与可动轨道23之间、以及可动轨道23与下游侧轨道22之间顺畅地行驶。另外，当可动轨道23配置在第1位置P1时，为了阻止因受来自后述的伸缩轨道24的弹力或行驶车30行驶产生的摩擦力等而错位，也可以例如使用磁铁等防止位置偏移。磁铁等为例如配置在下游侧轨道22或后述的伸缩轨道24的一部分上的电磁铁，吸附配置在第1位置P1的可动轨道23的一部分而将可动轨道23保持在第1位置P1上。
并且，可动轨道23也可以是被弹簧等弹性部件或者悬吊重物的钢丝绳一直向第2位置P2拖曳的状态。即使在可动轨道23被向第2位置P2拖曳的状态下，通过利用所述电磁铁吸附可动部件23的一部分，也能够将可动部件23保持在第1位置P1。并且，可动轨道23从第2位置P2向第1位置P1的移动既可以用未图示的驱动装置进行，也可以操作者手动作业来进行。
如图3(B)所示，第2位置P2为沿与行驶轨道20(上游侧轨道21和下游侧轨道22)的延伸方向倾斜的方向移动了的位置。可动轨道23的移动方向设定为与水平面平行。当可动轨道23移动到第2位置P2时，可动轨道23配置在离开防火门12的防火卷帘12b通过的轨道上的位置。因此，可动轨道23通过在与第1位置P1之间移动，能够相对于防火门12的防火卷帘12b通过的轨道上位置而进退。另外，可动轨道23并不局限于移动方向与水平面平行，也可以是例如第2位置P2设定在第1位置P1的斜上方、可动轨道23的移动方向为与水平面倾斜的方向。
并且，当例如确认发生火灾等时，通过切断向将可动轨道23保持在第1位置P1的电磁铁的通电，或者通过操作者手动切断，使电磁铁的磁力为0或者变弱。由此，可动轨道23被弹性部件或钢丝绳拖曳，移动到第2位置P2。结果，能够确保让防火卷帘12b通过的空间K，从而能够自动或者手动使防火卷帘12b降下，形成消防分区51。并且，切断向电磁铁通电的情况也可以通知行驶车系统100的未图示的控制装置。这种情况下，控制装置也可以如下地进行控制：判定可动轨道23移动到了第2位置P2，使行驶车30不在这个地方行驶。
图4为表示伸缩轨道24的一例的图。如图4所示，伸缩轨道24设置在上游侧轨道21的+X一端(与下游侧轨道22相对的端部)。伸缩轨道24能够沿行驶轨道20的延伸方向(X方向)伸缩。伸缩轨道24具有引导部41、多条分段轨道42和多个弹性部件43。引导部41设置在伸缩轨道24的上方、利用多个悬吊构件41a设置在从系统顶棚13悬吊下来的底座41b的下面一侧，沿行驶轨道20的延伸方向(X方向)配置。引导部41在X方向上引导分别设置在多条分段轨道42上面的滑块42a。另外，图4所示的引导部41为一例，也可以配置在分段轨道42的侧面。并且，也可以不设置引导部41。
多条分段轨道42的每一条在剖视图上的形状和尺寸与图2所示的上游侧轨道21和下游侧轨道22相同或大致相同。多条分段轨道42在X方向上的长度相同或大致相同，但对于部分分段轨道42也可以使X方向变长或缩短。多条分段轨道42以隔开预定的间隔的状态在X方向上排列配置。另外，在包含图4的其他图中，分段轨道42彼此之间的间隔为了说明本实施方式而放大(或者强调)进行表示。这些分段轨道42使高度相同或者大致相同地配置。由此，能够使行驶车30在分段轨道42彼此之间顺畅地行驶。并且，各分段轨道42在上表面具备滑块42a，能够在X方向上沿着引导部41移动。
弹性部件43将多条分段轨道42互相间分别连接。弹性部件43使用弹簧、橡胶等。弹性部件43能够在X方向上伸缩。通过多条分段轨道42在X方向上沿着引导部41移动，弹性部件43分别在X方向上伸缩。多条分段轨道42互相之间存在间隔，伸缩轨道24通过弹性部件43伸缩能够使间隔变化。由此，伸缩轨道24作为整体能够在X方向上伸缩。并且，在多条分段轨道42彼此之间分别安装有减振器43a。各减振器43a配置在各弹性部件43附近。减振器43a对分段轨道42彼此之间的间隔因弹性部件43伸缩等引起的急剧变化进行缓冲。但是，是否配置减振器43a是任意的，也可以不配置减振器43a。
通过改变分段轨道42的数量或者更换为变形量不同的弹性部件43，能够容易地调整整个伸缩轨道24的伸缩量。并且，通过调整分段轨道42的数量，能够容易地将伸缩轨道24调整为所希望的长度。并且，分段轨道42的数量能够任意地设定，而且也可以将X方向上的长度不同的多条分段轨道42组合来构成伸缩轨道24。
伸缩轨道24的第1端部(一端)40a利用固定部件44连接在上游侧轨道21上，第2端部(另一端)40b为自由端。另外，在图3中，引导部41用虚线标记。伸缩轨道24的第2端部40b被向第1位置P1移动的可动轨道23推挤到上游一侧(－X方向)而收缩。当可动轨道23配置在第1位置时，如图3(A)所示，伸缩轨道24在留有进一步收缩的余地的状态下收缩。
并且，伸缩轨道24在可动轨道23移动到了第2位置P2之际沿+X方向延伸，但伸缩轨道24与可动轨道23成为仅离开间隔L的状态。由此，如图3(B)所示，在第2端部40b与下游侧轨道22之间形成防火门12能够通过的空间K。另外，伸缩轨道24的结构并不局限于使用了多条分段轨道42和弹性部件43等的结构，也可以使用能够在X方向上延伸的其他的结构。
如图1和图3(A)及(B)所示，可动轨道由导轨25引导。导轨25在可动轨道23的上方配置例如2根。导轨25的根数并不局限于2根，也可以是1根或者3根以上。导轨25在被悬吊构件13c(参照图1)从系统顶棚13悬吊下来的状态下被支承着。2根导轨25例如与XY平面平行地配置，配置成与X方向倾斜成角度θ(例如45°)的状态。导轨25沿与X方向倾斜成45°的方向引导可动轨道23。由此，可动轨道23能够沿与X方向倾斜成45°的方向移动。另外，导轨25与X方向倾斜的角度θ(可动轨道23的引导方向)并不局限于45°，也可以是与45°不同的角度。并且，可动轨道23的端面23b和下游侧轨道22的端面22a也与导轨25一样以与X方向倾斜成角度θ(例如45°)的状态形成。即，2根引导部25、可动轨道23的端面23b和下游侧轨道22的端面22a与X方向倾斜成相同的角度θ。
止动件26安装在下游侧轨道22上。止动件26限制可动轨道23在从第2位置P2朝向第1位置P1移动的方向上越过第1位置P1地移动。止动件26形成为例如矩形块状或板状，具有平面部26a。止动件26的平面部26a的+X一侧的端部固定在下游侧轨道22的+Y一侧的面上、－X一侧的端部从下游侧轨道22向－X方向突出地配置。平面部26a与配置在第1位置P1的可动轨道23的+Y一侧的面相抵接，限制可动轨道23的移动。
止动件26通过限制可动轨道23越过第1位置P1地移动，能够将可动轨道23准确地保持在第1位置P1。另外，是否设置止动件26是任意的，也可以不设置止动件26。并且，为了抑制可动轨道23抵接的冲击，也可以在平面部26a上配置橡胶或弹簧等弹性部件。并且，该止动件26也可以用吸附可动轨道23的一部分而将其保持在第1位置p1的电磁铁形成。
图5(A)和(B)为表示可动轨道23与伸缩轨道24的连接部分的俯视图。图5(A)表示可动轨道23向第1位置P1移动途中的状态，图5(B)表示可动轨道23到达第1位置P1的状态。如图5(A)和(B)所示，可动轨道23具有与伸缩轨道24的第2端部40b相抵接的抵接面23a。抵接面23a与第2端部40b的平面大致平行地形成。
在抵接面23a上设置有引导辊27。如图5(A)所示，引导辊27以从抵接面23a向－X一侧突出的状态配置。当可动轨道23朝向第1位置P1移动之际，引导辊27与第2端部40b相抵接，随着可动轨道23移动而在第2端部40b上滚动。通过可动轨道23从图5(A)所示的状态继续移动，伸缩轨道24被引导辊27推挤而收缩。另外，引导辊27在抵接面23a上配置例如1个，但并不局限于此，也可以配置多个。在配置多个引导辊27的情况下，既可以使从抵接面23a向－X一侧突出的长度相同，也可以不同。
并且，在第2端部40b上形成凹陷部28。凹陷部28形成为能够容纳引导辊27的尺寸。凹陷部28在俯视图上为例如朝向－X方向的V字形，但并不局限于此，也可以是其他形状。如图5(B)所示，凹陷部28设置在当可动轨道23到达了第1位置P1时，引导辊27进入的位置上。此时，伸缩轨道24通过弹性部件43变形而成为收缩的状态。但是，伸缩轨道24留有进一步收缩的余地这一点如上所述。另外，在引导辊27为多个的情况下，凹陷部28也可以与引导辊27一致形成多个。在形成多个凹陷部28的情况下，既可以是相同的形状，也可以是不同的形状。
通过在可动轨道23的抵接面23a上配置引导辊27、在第2端部40b上配置凹陷部28，能够利用引导辊27顺畅地进行可动轨道23与伸缩轨道24的连接，而且，通过引导辊27进入凹陷部28，能够容易地在水平方向上确定可动轨道23和伸缩轨道24的位置。另外，也可以取代所述结构而采用在第2端部40b上配置引导辊27、在抵接面23a上配置凹陷部28的结构。并且，在引导辊27和凹陷部28为多个的情况下，也可以分别在第2端部40b和抵接面23a上设置多个引导辊27和凹陷部28。
图6(A)和(B)为表示可动轨道23和伸缩轨道24的连接部分的剖视图。图7(A)和(B)为表示图6的连接部分的俯视图。图6(A)和图7(A)为两者分离的状态，图6(B)和图7(B)为两者连接的状态。如图6和图7所示，在可动轨道23和伸缩轨道24的连接部分设置上下方向(Z方向)的定位机构29。
定位机构29确定伸缩轨道24和配置在第1位置P1的可动轨道23在上下方向上的位置。定位机构29具有滚轮29a、29b。滚轮29a利用固定部件29c固定在例如配置在最+X一侧的分段轨道42所具备的板状部件的上表面42a上。滚轮29a只设置在一个地方，但并不局限于此，也可以沿Y方向排列配置多个。滚轮29a配置在从分段轨道42突出到+X一侧的位置上。滚轮29a与可动轨道23的移动方向相对应，能够沿45度的方向滚动地设置。在可动轨道23配置在第1位置P1的情况下，滚轮29a与设置在可动轨道23所具备的板状部件的上表面23b上的引导面23g相抵接而滚动。
滚轮29b用固定部件29d固定在可动轨道23上侧的板状部件的上表面23b上。滚轮29b只设置在一个地方，但并不局限于此，也可以沿Y方向排列配置多个。滚轮29b配置在从可动轨道23突出到－X一侧的位置上。与滚轮29a一样，滚轮29b与可动轨道23的移动方向相对应，能够沿45度的方向滚动地设置。在可动轨道23配置在第1位置P1上的情况下，滚轮29b与设置在最+X一侧的分段轨道42所具备的板状部件的上表面42a上的引导面42g相抵接而滚动。
如图6(B)和图7(B)所示，在可动轨道23向第1位置P1移动之际，滚轮29a与可动轨道23的引导面23g相抵接而滚动。并且，滚轮29b与分段轨道42的引导面42g相抵接而滚动。由此，可动轨道23和最+X一侧的分段轨道42由滚轮29a、29b确定在上下方向上的位置。
在本实施方式中，滚轮29a配置在分段轨道42上、滚轮29b配置在可动轨道23上。因此，当可动轨道23移动到第1位置P1之际，分段轨道42一侧的滚轮29a骑行在可动轨道23的引导面上，并且滚轮29b从可动轨道23一侧骑行在分段轨道42的引导面42g上。由此，可动轨道23和分段轨道42处于用滚轮29a、29b限制互相向上下方向移动的状态。因此，即使在分段轨道42的自由端一侧受重力的影响位于比可动轨道23靠下方的情况下，当可动轨道23移动到第1位置P1之际，也能够可靠地确定可动轨道23和分段轨道42在上下方向上的位置。
另外，定位机构29并不局限于使用滚轮29a和滚轮29b的结构。例如，也可以是在分段轨道42和可动轨道23中的一方轨道上设置突出片、在另一方轨道上设置上下方向的V形槽的结构。这种情况下，也可以使用如下结构：通过可动轨道23移动到第1位置P1，突出片被V形槽引导，从而确定分段轨道42(伸缩轨道24)和可动轨道23在上下方向上的位置。
接着，对所述行驶车系统100的动作或者功能进行说明。例如，在行驶车30在行驶轨道20上行驶的情况下，可动轨道23配置在第1位置P1。在可动轨道23配置在第1位置P1上的情况下，伸缩轨道24在留有进一步收缩的余地的状态下收缩，成为分段轨道42之间的间隔变小的状态。
如果在这种状态下发生了地震等，由于系统顶棚13利用悬吊构件13a悬吊在厂房50的顶棚部52上，因此系统顶棚13因厂房50振动而相对于厂房50沿水平方向移动。图8和图9分别为表示系统顶棚13相对于厂房50沿水平方向移动了的状态的图。
如图8所示，在系统顶棚13相对于厂房50(防火墙11)沿－X方向移动了的情况下，下游侧轨道22和可动轨道23随着系统顶棚13的移动而沿－X方向移动。结果，伸缩轨道24被可动轨道23沿－X方向推挤而变成进一步收缩了的状态。由于伸缩轨道24如上所述留有进一步收缩的余地，因此即使在可动轨道23沿－X方向进一步移动了的情况下也能够收缩来应对。另外，弹性部件43因沿－X方向收缩而变成产生+X方向的弹力的状态。
在图8所示的状态下，可动轨道23被伸缩轨道24的弹力沿+X方向推挤，但在该状态下，能够使可动轨道23移动到第2位置P2。另外，在将可动轨道23移动到第2位置P2的情况下，伸缩轨道24解除收缩而伸长，在伸缩轨道24与可动轨道23之间形成空间K(参照图3(B))。
因此，能够经由空间K将防火卷帘12b降下，能够形成所希望的消防分区51。由此，即使在例如地震后的厂房50内发生了火灾的情况下，利用消防分区51来避免火势蔓延的可能性也高。另外，当可动轨道23被伸缩轨道24的弹力沿+X方向强力推挤而从第1位置P1移动了时，能够使可动轨道23移动到第2位置P2。
并且，如图9所示，当系统顶棚13相对于厂房50(防火墙11)沿+X方向移动了时，下游侧轨道22和可动轨道23随着系统顶棚13的移动沿+X方向移动。结果，收缩状态的伸缩轨道24随着可动轨道23的移动而向+X方向伸长。由此，能够抑制伸缩轨道24与可动轨道23之间的间隔变宽，能够避免行驶车30不能行驶或者给行驶车30行驶时带来大的振动，从而能够确保行驶车30的顺畅行驶。
并且，即使在图9所示的状态下，也能够使可动轨道23移动到第2位置P2。通过可动轨道23移动到第2位置P2，能够在伸缩轨道24与可动轨道23之间形成空间K(参照图3(B))，能够使防火卷帘12b下降形成所希望的消防分区51，这一点与图8所示的形态相同。
另外，虽然图8和图9中描绘了下游侧轨道22(系统顶棚13)在X方向上移动了的情况，但在下游侧轨道22除在X方向上移动外还沿其他方向(例如Y方向)移动的情况下，由于可动轨道23能够从第1位置P1向第2位置P2移动，能够形成防火卷帘12b能够通过的空间K，因此能够使防火卷帘12b下降形成消防分区51。
这样，本实施方式所涉及的行驶车系统100由于在可动轨道23配置在第1位置P1的情况下伸缩轨道24成为收缩状态，因此即使在上游侧轨道21和下游侧轨道22的位置变动了的情况下，通过伸缩轨道24伸缩能够良好地维持与可动轨道23的连接状态。由此，能够可靠地使可动轨道23向第2位置P2退避，能够使防火卷帘12b降下。并且，能够利用伸缩轨道24抑制上游侧轨道21与可动轨道23之间的间隔变宽，由此能够避免行驶车30不能行驶或者给行驶车30带来大的振动，能够确保行驶车30顺畅行驶。
虽然以上对实施方式进行了说明，但本发明并不局限于上述说明，在不超出本发明宗旨的范围内能够进行种种变更。例如，在上述实施方式中举在上游侧轨道21上设置伸缩轨道24、可动轨道23在伸缩轨道24与下游侧轨道22之间进退的结构为例进行了说明，但不局限于该结构。例如，也可以使用在下游侧轨道22上设置伸缩轨道24、可动轨道23在伸缩轨道24与上游侧轨道21之间进退的结构。
并且，上述实施方式举上游侧轨道21、下游侧轨道22和可动轨道23安装在系统顶棚13上的结构为例进行了说明，但不局限于此。也可以是上游侧轨道21、下游侧轨道22和可动轨道23安装在例如厂房50的顶棚部52上的结构。

Claims (4)

1.一种行驶车系统，具备行驶车的行驶轨道，上述行驶轨道具备：
安装在厂房所具备的系统顶棚上的上游侧轨道和下游侧轨道，
能够在与上述上游侧轨道和上述下游侧轨道连通的第1位置、和在相对于上述行驶轨道的延伸方向倾斜的方向上移动了的第2位置之间移动的可动轨道，以及
设置在上述上游侧轨道和上述下游侧轨道中的一方上、一端与上述上游侧轨道或上述下游侧轨道连接并且另一端为自由端、利用弹性部件伸缩的伸缩轨道；
上述伸缩轨道，在该伸缩轨道的上述另一端被向上述第1位置移动的上述可动轨道推挤而留有进一步收缩的余地的状态下收缩，
当上述可动轨道移动到了上述第2位置之际，在上述另一端与上述上游侧轨道或上述下游侧轨道之间形成上述厂房所具备的防火卷帘能够通过的空间。
2.如权利要求1所述的行驶车系统，在上述可动轨道和上述伸缩轨道中的一方上设置有引导辊，该引导辊当上述可动轨道朝向上述第1位置移动之际与另一方轨道相抵接而滚动，
在上述另一方轨道上设置有当上述可动轨道到达了上述第1位置时上述引导辊进入的凹陷部。
3.如权利要求1或2所述的行驶车系统，上述伸缩轨道具备：
沿着上述行驶轨道的延伸方向设置的引导部，以及
能够沿着上述引导部移动的多个分段轨道；
上述弹性部件分别设置在上述多个分段轨道彼此之间。
4.如权利要求3所述的行驶车系统，在上述上游侧轨道或上述下游侧轨道上设置有止动件，该止动件限制上述可动轨道在从上述第2位置朝向上述第1位置移动的方向上越过上述第1位置地移动。
CN201810279587.2A 2017-04-11 2018-03-30 行驶车系统 Pending CN108695219A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017078245A JP2018176950A (ja) 2017-04-11 2017-04-11 走行車システム
JP2017-078245 2017-04-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108695219A true CN108695219A (zh) 2018-10-23

Family

ID=63710709

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810279587.2A Pending CN108695219A (zh) 2017-04-11 2018-03-30 行驶车系统

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10442623B2 (zh)
JP (1) JP2018176950A (zh)
CN (1) CN108695219A (zh)
TW (1) TW201838897A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113165807A (zh) * 2018-12-14 2021-07-23 村田机械株式会社 输送车
CN113557186A (zh) * 2019-04-03 2021-10-26 村田机械株式会社 行驶车系统

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6930514B2 (ja) * 2018-12-05 2021-09-01 村田機械株式会社 有軌道搬送車システム
JP6844604B2 (ja) * 2018-12-05 2021-03-17 村田機械株式会社 有軌道搬送車システム

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004058741A (ja) * 2002-07-26 2004-02-26 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 鉄道車両の扉押さえ装置
JP4193174B2 (ja) * 2003-11-05 2008-12-10 村田機械株式会社 搬送車システム
JP2011042306A (ja) * 2009-08-24 2011-03-03 Nippon Shooter Ltd 搬送システム
CN102985307A (zh) * 2010-06-18 2013-03-20 村田机械株式会社 有轨台车系统以及有轨台车系统中的分支控制方法
CN103052573A (zh) * 2010-08-19 2013-04-17 株式会社大福 物品运送设备
CN103717804A (zh) * 2011-10-19 2014-04-09 株式会社Ihi 轨道中继装置以及台车搬运系统
KR101628928B1 (ko) * 2015-09-11 2016-06-09 주식회사 로보스타 텔레스코픽 암 로봇

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2573160A (en) * 1947-05-05 1951-10-30 Norman August Olaf Fire door
USRE30454E (en) * 1979-03-12 1980-12-23 Flexible track for electrically energized miniature vehicles
US4753337A (en) * 1986-09-18 1988-06-28 Grosjean Robert M Apparatus for actuating a breakaway conveyor section
US4885981A (en) * 1988-04-08 1989-12-12 General Signal Corporation Spring return cylinder actuator
JPH061232A (ja) * 1992-06-19 1994-01-11 Yamaha Motor Co Ltd 搬送装置のレール遮断機構
JPH11106005A (ja) * 1997-10-06 1999-04-20 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 台車用レール
JP3659384B2 (ja) 1998-04-16 2005-06-15 株式会社ダイフク 搬送設備
JP4123834B2 (ja) * 2002-06-10 2008-07-23 株式会社ダイフク 移載設備
KR20040049573A (ko) * 2002-12-06 2004-06-12 삼성전자주식회사 오버헤드타입 이송장치
JP2006282140A (ja) * 2005-04-05 2006-10-19 Murata Mach Ltd 搬送車システム
JP2014054660A (ja) * 2012-09-13 2014-03-27 Amada Co Ltd ワゴン装置
JP6327213B2 (ja) * 2015-06-30 2018-05-23 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2019073350A (ja) * 2017-10-12 2019-05-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004058741A (ja) * 2002-07-26 2004-02-26 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 鉄道車両の扉押さえ装置
JP4193174B2 (ja) * 2003-11-05 2008-12-10 村田機械株式会社 搬送車システム
JP2011042306A (ja) * 2009-08-24 2011-03-03 Nippon Shooter Ltd 搬送システム
CN102985307A (zh) * 2010-06-18 2013-03-20 村田机械株式会社 有轨台车系统以及有轨台车系统中的分支控制方法
CN103052573A (zh) * 2010-08-19 2013-04-17 株式会社大福 物品运送设备
CN103717804A (zh) * 2011-10-19 2014-04-09 株式会社Ihi 轨道中继装置以及台车搬运系统
KR101628928B1 (ko) * 2015-09-11 2016-06-09 주식회사 로보스타 텔레스코픽 암 로봇

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113165807A (zh) * 2018-12-14 2021-07-23 村田机械株式会社 输送车
CN113165807B (zh) * 2018-12-14 2022-07-26 村田机械株式会社 输送车
CN113557186A (zh) * 2019-04-03 2021-10-26 村田机械株式会社 行驶车系统
CN113557186B (zh) * 2019-04-03 2024-02-13 村田机械株式会社 行驶车系统

Also Published As

Publication number Publication date
US10442623B2 (en) 2019-10-15
US20180290832A1 (en) 2018-10-11
JP2018176950A (ja) 2018-11-15
TW201838897A (zh) 2018-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108695219A (zh) 行驶车系统
KR102023519B1 (ko) 물품 반송 설비
US3253552A (en) Trolley systems
US10023205B2 (en) Article transport facility
US20180009636A1 (en) Transfer station for a ropeless elevator system with redundancy of subcomponents and parking zone
KR20200010054A (ko) 롱-스테이터 선형 모터
CN105755914B (zh) 应用于高温超导磁悬浮系统的机械道岔及转向方法
CN104367048A (zh) 一种滑移隔震台
CN102985307A (zh) 有轨台车系统以及有轨台车系统中的分支控制方法
CN111591695B (zh) 吊顶输送车
CN103228404A (zh) 对准载物台
CN204260383U (zh) 一种滑移隔震台
EP3254921B1 (en) Shoe for a cable transportation system with at least one carrying cable
JP2014025198A (ja) 床用目地装置
CN100376464C (zh) 升降机滚子引导装置和包括该引导装置的升降机系统
TW200425164A (en) X-Y axis stage device
JP4335704B2 (ja) Ｘ−ｙステージ装置
CN204753277U (zh) 一种磁浮交通曲线轨道梁
CN105060201A (zh) 一种高空作业平台
TWI823546B (zh) 軌道運送車及軌道裝置
JP6241003B2 (ja) 車両走行路支持装置
US20230303129A1 (en) Transfer equipment for self-propelled cars on a route network similar to an elevated railway
US534818A (en) Combined switch
JPS62166709A (ja) 磁気浮上式のリニアモ−タ利用の搬送設備
KR101903034B1 (ko) 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20181023