CN108588728A - 利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法 - Google Patents

利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108588728A
CN108588728A CN201810467952.2A CN201810467952A CN108588728A CN 108588728 A CN108588728 A CN 108588728A CN 201810467952 A CN201810467952 A CN 201810467952A CN 108588728 A CN108588728 A CN 108588728A
Authority
CN
China
Prior art keywords
nitric acid
aqueous solution
workpiece surface
surface film
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810467952.2A
Other languages
English (en)
Inventor
熊志红
张远
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Shi Shang Electronic Science And Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Shi Shang Electronic Science And Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Shi Shang Electronic Science And Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen Shi Shang Electronic Science And Technology Co Ltd
Priority to CN201810467952.2A priority Critical patent/CN108588728A/zh
Publication of CN108588728A publication Critical patent/CN108588728A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G1/00—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
    • C23G1/02—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions
    • C23G1/08—Iron or steel
    • C23G1/085—Iron or steel solutions containing HNO3
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G1/00—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
    • C23G1/02—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions
    • C23G1/12—Light metals
    • C23G1/125—Light metals aluminium

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

本发明公开一种利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，该方法包括下述步骤：（1）、硝酸水溶液浸泡：硝酸水溶液对工件进行浸泡处理，采用的硝酸水溶液为体积比为HNO3：H2O=1：1配制而成，反应温度为40℃下进行浸泡反应，反应时间为3~5小时，直至目测工件表面无残留膜为止；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（4）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。本发明利用硝酸水溶液进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。

Description

利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法
技术领域
本发明公开一种覆膜剥离方法，特别是一种利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法。
背景技术
随着半导体和液晶显示面板产业的不断发展，我国的半导体产业和液晶面板产业得到了很大提升，行业产能也越来越高。半导体和液晶显示面板等产业属于精细化产业，其对生产设备要求非常高，因此就要求设备的零部件需要进行定期维护，以保证生产精度。
由于有些工件要求比较特殊，工件自身母材采用Al（铝）或SUS（不锈钢）材质制成，为了达到某些特殊性能，其表面附着有MO(钼)、ITO（氧化铟锡）、AL（铝）或GZO（氧化镓氧化锡）材质制成的膜，保持其性能。然而，在此种零部件维修维护时，需要对原有附着的膜进行去除，才能进行新的覆膜的操作，而现有技术中，去除工件表面附着的膜通常有化学溶液溶泡或采用机械剥离的方式去除等，去除效果不好，而且容易损伤工件本身。
发明内容
针对上述提到的现有技术中的工件表面的膜去除时效果不好的缺点，本发明提供一种利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其利用硝酸水溶液进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，效果较好。
本发明解决其技术问题采用的技术方案是：一种利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，该方法包括下述步骤：
（1）、硝酸水溶液浸泡：硝酸水溶液对工件进行浸泡处理，采用的硝酸水溶液为体积比为HNO3：H2O=（0.8~1.2）：（0.8~1.2）配制而成，反应温度为35℃~45℃下进行浸泡反应，反应时间为3~5小时，直至目测工件表面无残留膜为止；
（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；
（3）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；
（4）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。
本发明解决其技术问题采用的技术方案进一步还包括：
所述的步骤（1）中采用的硝酸水溶液为体积比为HNO3：H2O=1：1。
所述的步骤（1）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。
所述的步骤（1）中采用的硝酸为浓度为68％的浓硝酸。
所述的步骤（2）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。
所述的步骤（3）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。
所述的步骤（4）中采用CDA吹干，干燥温度为150±5°，干燥时间为6小时以上。
本发明的有益效果是：本发明利用硝酸水溶液进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。
下面将结合附图和具体实施方式对本发明做进一步说明。
附图说明
图1为本发明操作流程图。
具体实施方式
本实施例为本发明优选实施方式，其他凡其原理和基本结构与本实施例相同或近似的，均在本发明保护范围之内。
请参看附图1，本发明主要为一种利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其包括下述步骤：
（1）、工件（或称为部品）确认，对照工程表内容确认待加工工件的品种，主要包括：工件的母材是否为SUS（即不锈钢）或Al（铝）、工件的数量与具体产品是否与清单一致、工件表面是否有划伤、破损等；
（2）、硝酸水溶液浸泡：本实施例中，采用硝酸水溶液对工件进行浸泡处理，浸泡时，以硝酸水溶液没过工件为准，即保证工件全部浸泡入硝氟酸溶液中，采用的硝酸水溶液为体积比为HNO3：H2O=（0.8~1.2）：（0.8~1.2）配制而成，优选为HNO3：H2O=1：1，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水，浸泡温度为35℃~45℃，优选为40℃，反应时间为3-5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜为止，本实施例中，采用的硝酸为市售的质量百分比浓度为68％的浓硝酸；
本实施例中，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，当硝酸浓度低于10%需更换，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。
（3）、漂洗：采用流动的超纯水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒，以清洗干净工件表面，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水；
（4）、纯水浸泡：采用流动的超纯水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水；
（5）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理，采用CDA(去油去水压缩空气)吹干，常温吹至表面物流动水，放至干燥箱进行干燥，干燥温度为150±5℃，烘烤2小时以上。
（6）、确认：目测确认有无残留膜，如果有残留膜则需要再次进行处理，如果没有残留膜则确认为合格品。
本发明利用硝酸水溶液进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。

Claims (7)

1.一种利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：
（1）、硝酸水溶液浸泡：硝酸水溶液对工件进行浸泡处理，采用的硝酸水溶液为体积比为HNO3：H2O=（0.8~1.2）：（0.8~1.2）配制而成，反应温度为35℃~45℃下进行浸泡反应，反应时间为3~5小时，直至目测工件表面无残留膜为止；
（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；
（3）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；
（4）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。
2.根据权利要求1所述的利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的硝酸水溶液为体积比为HNO3：H2O=1：1。
3.根据权利要求1所述的利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。
4.根据权利要求1所述的利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的硝酸为浓度为68％的浓硝酸。
5.根据权利要求1所述的利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（2）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。
6.根据权利要求1所述的利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（3）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。
7.根据权利要求1所述的利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（4）中采用CDA吹干，干燥温度为150±5°，干燥时间为6小时以上。
CN201810467952.2A 2018-05-16 2018-05-16 利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法 Pending CN108588728A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810467952.2A CN108588728A (zh) 2018-05-16 2018-05-16 利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810467952.2A CN108588728A (zh) 2018-05-16 2018-05-16 利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108588728A true CN108588728A (zh) 2018-09-28

Family

ID=63631363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810467952.2A Pending CN108588728A (zh) 2018-05-16 2018-05-16 利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108588728A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111822418A (zh) * 2020-06-17 2020-10-27 四川富乐德科技发展有限公司 一种简易的精密部件洗净生产线
CN112255362A (zh) * 2020-07-28 2021-01-22 安徽富乐德科技发展股份有限公司 一种应用于半导体领域的石英罩离子污染的检测工艺

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5941479A (ja) * 1982-08-31 1984-03-07 Citizen Watch Co Ltd 窒化チタン被膜の除去方法
JPS60187681A (ja) * 1984-03-06 1985-09-25 Citizen Watch Co Ltd 窒化チタン被膜の除去方法
CN101709471A (zh) * 2009-12-16 2010-05-19 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 一种钛合金叶片的化铣方法
CN103194756A (zh) * 2013-04-26 2013-07-10 南开大学 一种氮化钛膜层的退镀方法
CN104195575A (zh) * 2014-08-27 2014-12-10 富乐德科技发展（天津）有限公司 去除附着于金属零件表面TiN及Ti薄膜的清洗方法
TW201816187A (zh) * 2016-07-08 2018-05-01 關東化學股份有限公司 蝕刻液組成物及蝕刻方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5941479A (ja) * 1982-08-31 1984-03-07 Citizen Watch Co Ltd 窒化チタン被膜の除去方法
JPS60187681A (ja) * 1984-03-06 1985-09-25 Citizen Watch Co Ltd 窒化チタン被膜の除去方法
CN101709471A (zh) * 2009-12-16 2010-05-19 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 一种钛合金叶片的化铣方法
CN103194756A (zh) * 2013-04-26 2013-07-10 南开大学 一种氮化钛膜层的退镀方法
CN104195575A (zh) * 2014-08-27 2014-12-10 富乐德科技发展（天津）有限公司 去除附着于金属零件表面TiN及Ti薄膜的清洗方法
TW201816187A (zh) * 2016-07-08 2018-05-01 關東化學股份有限公司 蝕刻液組成物及蝕刻方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111822418A (zh) * 2020-06-17 2020-10-27 四川富乐德科技发展有限公司 一种简易的精密部件洗净生产线
CN112255362A (zh) * 2020-07-28 2021-01-22 安徽富乐德科技发展股份有限公司 一种应用于半导体领域的石英罩离子污染的检测工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108754511A (zh) 利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法
EP2192086B1 (en) Apparatus and method for washing polycrystalline silicon
CN108588728A (zh) 利用硝酸水溶液剥离工件表面膜的方法
JP2009506538A5 (zh)
CN108906763A (zh) 利用丙酮清洗剂溶液剥离工件表面膜的方法
CN108754515A (zh) 利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法
JP2016523796A (ja) ガラスキャリアを有する薄い可撓性ガラス基板の加工方法
CN104324922A (zh) 一种清除触摸屏残胶的方法
CN107324662A (zh) 一种tft玻璃基板减薄处理工艺
CN106430991B (zh) 平板玻璃基板酸蚀液及其减薄工艺
CN108707899A (zh) 利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法
CN101166397A (zh) 一种柔性印刷线路板剥除感光膜的方法
CN108690744A (zh) 一种机器人pcb电路板用高效清洗液
CN108842153A (zh) 利用氢氧化钾溶液剥离铝膜的方法
CN113894112B (zh) 一种铟箔片表面处理方法
CN106783528B (zh) 蓝宝石衬底回收再使用的方法
CN104818490B (zh) 金属制件表面清洗方法及其采用的水基清洗剂
CN104241173A (zh) 一种低温多晶硅薄膜的制备机构及方法
CN106833962A (zh) 用于去除半导体蚀刻腔体陶瓷涂层零件污染物的清洗剂及其制备和应用
CN208570570U (zh) 一种半导体基板搬运装置
JP3879827B2 (ja) フォトマスクブランクスの製造方法
JP2008153272A (ja) 半導体製造装置用部品の洗浄方法及び洗浄液組成物
JP2001107244A (ja) 半導体成膜装置の洗浄方法及び洗浄装置
CN107740104B (zh) 3j1扎线的制件表面氧化皮去除方法
JP2008153271A (ja) 使用済み治具の洗浄方法および洗浄組成物

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180928

RJ01 Rejection of invention patent application after publication