CN107937675A - 一种键合丝用立式退火炉 - Google Patents
一种键合丝用立式退火炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107937675A CN107937675A CN201711071061.7A CN201711071061A CN107937675A CN 107937675 A CN107937675 A CN 107937675A CN 201711071061 A CN201711071061 A CN 201711071061A CN 107937675 A CN107937675 A CN 107937675A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rack
- bonding wire
- heating unit
- annealing
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/26—Methods of annealing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/52—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
- C21D9/54—Furnaces for treating strips or wire
- C21D9/56—Continuous furnaces for strip or wire
- C21D9/573—Continuous furnaces for strip or wire with cooling
- C21D9/5732—Continuous furnaces for strip or wire with cooling of wires; of rods
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
一种键合丝用立式退火炉,包括机架和设置在机架上的退火组件,退火组件包括加热装置,其特征在于:机架上靠近加热装置的入线端设有放线轴,机架上靠近加热装置的出线端设有收线轴,退火组件还包括设置在机架上且位于加热装置的出线端与收线轴之间的液冷装置和风干装置,液冷装置包括设置在机架上的上端为敞口的容器用于盛装液面高于容器上端面的退火液,风干装置位于液冷装置之后,靠近加热装置的出线端处还设有第一导向装置用于使从加热装置的出线端处出来的键合丝方向导向为水平方向且浸没在容器上端面之上的退火液中。该键合丝用立式退火炉冷却效果和防氧化效果较好、成本较低。
Description
技术领域
本发明涉及退火炉技术领域,具体涉及一种键合丝用立式退火炉。
背景技术
退火是一种金属热处理工艺,先将金属缓慢加热到一定温度,保持足够时间,然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度,改善切削加工性,消除残余应力,稳定尺寸,减少变形与裂纹倾向,细化晶粒,调整组织,消除组织缺陷。授权公告号为CN204080036U的中国实用新型专利公开了一种立式退火炉,其结构如图1所示,包括主体机箱1a、左张力控制箱2a、右张力控制箱3a、左收线轴4a、右收线轴5a和退火组件6a;所述左张力控制箱2a安装在主体机箱1a上方靠左侧位置,所述左张力控制箱2a包括左机箱、左传动电机、左放线轴、左键合丝线轴;所述右张力控制箱3a安装在该主体机箱1a上方靠右侧位置,所述右张力控制箱3a包括右机箱、右传动电机、右放线轴、右键合丝线轴;所述左收线轴4a安装在主体机箱1a的左侧且位于左张力控制箱2a的斜下方;所述右收线轴5a安装在主体机箱1a的右侧,位于该右张力控制箱3a的斜下方;所述退火组件6a安装在主体机箱1a上位于左张力控制箱2a和右张力控制箱3a的下方,并位于左收线轴4a和右收线轴5a之间;所述退火组件6a包括高温退火箱体61a、高温退火面板62a、两根不锈钢退火主管63a、四个气体交换接头64a、四个不锈钢氮气冷却管65a、四个进氮气管662a、两个进氢气管664a、两个排气管666a、四个不锈钢气体堵头67a、四个高温瓷珠68a、温控探测系统69a。该键合丝用立式退火炉相比水平退火炉,在加工键合丝时可克服键合丝自重导致的一致性不稳定,张力不均匀、抖线、跳线等一系列问题。
但是现有的键合丝用立式退火炉仍然存在以下技术问题:由于采用氮气进行退火冷却,而氮气冷却速度较慢,因而对冷却时间要求较长,并且采用氮气冷却时可能存在键合丝表面冷却了,而里面未完全冷却,导致防氧化效果仍然不够理想,此外采用氮气冷却成本也较高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:提供一种冷却效果和防氧化效果较好、成本较低的键合丝用立式退火炉。
本发明的技术解决方案是:一种键合丝用立式退火炉,包括机架和设置在机架上的退火组件,所述退火组件包括加热装置,其特征在于:所述加热装置竖直设置且上端为入线端,下端为出线端,所述机架上靠近加热装置的入线端设有放线轴,所述放线轴与加热装置的入线端之间还设有张力控制组件,所述机架上靠近加热装置的出线端设有收线轴,所述退火组件还包括设置在机架上且位于加热装置的出线端与收线轴之间的液冷装置和风干装置,所述液冷装置包括设置在机架上的上端为敞口的容器用于盛装液面高于容器上端面的退火液,所述风干装置位于液冷装置之后用于进一步降低键合丝的温度并干燥键合丝上的退火液,靠近所述加热装置的出线端处还设有第一导向装置用于使从加热装置的出线端处出来的键合丝方向导向为水平方向且浸没在容器上端面之上的退火液中。
采用上述结构后,本发明具有以下优点:
本发明键合丝用立式退火炉在加热装置的出线端设置液冷方式代替氮气冷却方式,并且利用了液体在液面稍高于容器上端面时仍可保持静止不会滑落的特性,设置了结构简单的液冷装置,使得从加热装置的出线端处出来的键合丝能浸没在容器上端面之上的退火液中而不会与容器相接触,从而不会对键合丝造成损坏,并且由于键合丝被液体直接且完全包覆,相比气体冷却的方式,冷却效果更好,可迅速将高温的键合丝冷却下来,而且成本相比氮气冷却更低,经液冷之后的键合丝再经风干后可进一步降温并获得干燥,从而使得降温干燥后的键合丝不易被氧化。
作为优选,所述风干装置包括与压缩气源相连通的储存腔室,所述储存腔室的上部或下部设有使键合丝横向穿过的凹槽,所述凹槽内的前后两侧均布满多个出气口用于使压缩气体形成对流。该风干装置是在凹槽内对键合丝进行集中吹气,使气体吹出后不会四处飞散,并且前后均设置出风口有利于对流,从而使得最终的风干效果较好。
作为优选,所述加热装置设置在机架的中间位置,所述放线轴、张力控制组件、第一导向装置、液冷装置、风干装置和收线轴均设有两个且左右对称分布在加热装置的两侧。该设置可使左右两组单元同时工作,提高工作效率。
作为优选,所述风干装置的储存腔室的凹槽内的底部也布满多个出气口。该设置使得风干效果更好。
作为优选,所述风干装置的储存腔室为横向设置的圆柱状。该设置可使储存腔室体积轻巧、通风路径较长。
作为优选,所述凹槽设置在风干装置的储存腔室的上部,所述风干装置的储存腔室的底部通过第一上下调节装置安装在机架上。该设置可根据实际需要调节风干装置的高度。
作为优选,还包括设置在机架上的退火液储存罐、用于连通退火液储存罐与液冷装置的容器的输液管、以及设置在输液管上的流量调节开关。该设置可根据实际需要及时补充退火液。
作为优选,还包括设置在机架上且位于容器下方的底座,所述底座上设有回收槽。该设置可使溢出到液冷装置的容器外的退火液可被回收。
作为优选,所述底座的底部通过第二上下调节装置安装在机架上。该设置可根据实际需要调节液冷装置的高度。
作为优选,所述加热装置的入线端上设有第二导向装置。该设置可将张力控制组件上出来的键合丝很好地导入到加热装置上。
作为优选,所述机架上位于风干装置与收线轴之间设有第三导向装置。该设置可将风干装置上出来的键合丝很好地导入到收线轴上。
附图说明
图1为现有键合丝用立式退火炉的结构示意图;
图2为现有键合丝用立式退火炉的退火组件的结构示意图;
图3为本发明键合丝用立式退火炉的结构示意图;
图4为本发明风干装置的结构示意图;
图5为本发明液冷装置的结构示意图;
现有技术图中:1-主体机箱,2-左张力控制箱,3-右张力控制箱,4-左收线轴,5-右收线轴,6-退火组件,61-高温退火箱体,62-高温退火面板,63-不锈钢退火主管,64-气体交换接头,65-不锈钢氮气冷却管,67-不锈钢气体堵头,68-高温瓷珠,69-温控探测系统,662-进氮气管,664-进氢气管,666-排气管;
本发明图中:1-机架,2-加热装置,3-入线端,4-出线端,5-放线轴,6-张力控制组件,7-收线轴,8-液冷装置,9-风干装置,10-容器,11-退火液液面,12-第一导向装置,13-储存腔室,14-凹槽,15-出气口,16-第一上下调节装置,17-退火液储存罐,18-输液管,19-流量调节开关,20-底座,21-回收槽,22-第二上下调节装置,23-第二导向装置,24-第三导向装置。
具体实施方式
下面结合附图,并结合实施例对本发明做进一步的说明。
实施例:
一种键合丝用立式退火炉,包括机架1和设置在机架1上的退火组件,所述退火组件包括加热装置2,所述加热装置2为现有技术,例如采用石英管加热,所述加热装置2竖直设置且上端为入线端3,下端为出线端4,所述机架1上靠近加热装置2的入线端3设有放线轴5,所述放线轴5与加热装置2的入线端3之间还设有张力控制组件6,所述机架1上靠近加热装置2的出线端4设有收线轴7,所述退火组件还包括设置在机架1上且位于加热装置2的出线端4与收线轴7之间的液冷装置8和风干装置9,所述液冷装置8包括设置在机架1上的上端为敞口的容器10用于盛装液面高于容器10上端面的退火液,所述风干装置9位于液冷装置8之后用于进一步降低键合丝的温度并干燥键合丝上的退火液,靠近所述加热装置2的出线端4处还设有第一导向装置12用于使从加热装置2的出线端4处出来的键合丝方向导向为水平方向且浸没在容器10上端面之上的退火液中。
本发明键合丝用立式退火炉在加热装置2的出线端4设置液冷方式代替氮气冷却方式,并且利用了液体在液面稍高于容器10上端面时仍可保持静止不会滑落的特性,设置了结构简单的液冷装置8,使得从加热装置2的出线端4处出来的键合丝能浸没在容器10上端面之上的退火液中而不会与容器10相接触,从而不会对键合丝造成损坏,并且由于键合丝被液体直接且完全包覆,相比气体冷却的方式,冷却效果更好,可迅速将高温的键合丝冷却下来,而且成本相比氮气冷却更低,经液冷之后的键合丝再经风干后可进一步降温并获得干燥,从而使得降温干燥后的键合丝不易被氧化。
作为优选,所述风干装置9包括与压缩气源相连通的储存腔室13,所述储存腔室13的上部或下部设有使键合丝横向穿过的凹槽14,所述凹槽14内的前后两侧均布满多个出气口15用于使压缩气体形成对流。该风干装置9是在凹槽14内对键合丝进行集中吹气,使气体吹出后不会四处飞散,并且前后均设置出风口有利于对流,从而使得最终的风干效果较好。
作为优选,所述加热装置2设置在机架1的中间位置,所述放线轴5、张力控制组件6、第一导向装置12、液冷装置8、风干装置9和收线轴7均设有两个且左右对称分布在加热装置2的两侧。该设置可使左右两组单元同时工作,提高工作效率。
作为优选,所述风干装置9的储存腔室13的凹槽14内的底部也布满多个出气口15。该设置使得风干效果更好。
作为优选,所述风干装置9的储存腔室13为横向设置的圆柱状。该设置可使储存腔室13体积轻巧、通风路径较长。
作为优选,所述凹槽14设置在风干装置9的储存腔室13的上部,所述风干装置9的储存腔室13的底部通过第一上下调节装置16安装在机架1上。该设置可根据实际需要调节风干装置9的高度。
作为优选,还包括设置在机架1上的退火液储存罐17、用于连通退火液储存罐17与液冷装置8的容器10的输液管18、以及设置在输液管18上的流量调节开关19。该设置可根据实际需要及时补充退火液。
作为优选,还包括设置在机架1上且位于容器10下方的底座20,所述底座20上设有回收槽21。该设置可使溢出到液冷装置8的容器10外的退火液可被回收。
作为优选,所述底座20的底部通过第二上下调节装置22安装在机架1上。该设置可根据实际需要调节液冷装置8的高度。
作为优选,所述加热装置2的入线端3上设有第二导向装置23。该设置可将张力控制组件6上出来的键合丝很好地导入到加热装置2上。
作为优选,所述机架1上位于风干装置9与收线轴7之间设有第三导向装置24。该设置可将风干装置9上出来的键合丝很好地导入到收线轴7上。
Claims (10)
1.一种键合丝用立式退火炉,包括机架(1)和设置在机架(1)上的退火组件,所述退火组件包括加热装置(2),其特征在于:所述加热装置(2)竖直设置且上端为入线端(3),下端为出线端(4),所述机架(1)上靠近加热装置(2)的入线端(3)设有放线轴(5),所述放线轴(5)与加热装置(2)的入线端(3)之间还设有张力控制组件(6),所述机架(1)上靠近加热装置(2)的出线端(4)设有收线轴(7),所述退火组件还包括设置在机架(1)上且位于加热装置(2)的出线端(4)与收线轴(7)之间的液冷装置(8)和风干装置(9),所述液冷装置(8)包括设置在机架(1)上的上端为敞口的容器(10)用于盛装液面(11)高于容器(10)上端面的退火液,所述风干装置(9)位于液冷装置(8)之后用于进一步降低键合丝的温度并干燥键合丝上的退火液,靠近所述加热装置(2)的出线端(4)处还设有第一导向装置(12)用于使从加热装置(2)的出线端(4)处出来的键合丝方向导向为水平方向且浸没在容器(10)上端面之上的退火液中。
2.根据权利要求1所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:所述风干装置(9)包括与压缩气源相连通的储存腔室(13),所述储存腔室(13)的上部或下部设有使键合丝横向穿过的凹槽(14),所述凹槽(14)内的前后两侧均布满多个出气口(15)用于使压缩气体形成对流。
3.根据权利要求1所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:所述加热装置(2)设置在机架(1)的中间位置,所述放线轴(5)、张力控制组件(6)、第一导向装置(12)、液冷装置(8)、风干装置(9)和收线轴(7)均设有两个且左右对称分布在加热装置(2)的两侧。
4.根据权利要求2所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:所述风干装置(9)的储存腔室(13)为横向设置的圆柱状。
5.根据权利要求2所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:所述凹槽(14)设置在风干装置(9)的储存腔室(13)的上部,所述风干装置(9)的储存腔室(13)的底部通过第一上下调节装置(16)安装在机架(1)上。
6.根据权利要求1所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:还包括设置在机架(1)上的退火液储存罐(17)、用于连通退火液储存罐(17)与液冷装置(8)的容器(10)的输液管(18)、以及设置在输液管(18)上的流量调节开关(19)。
7.根据权利要求6所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:还包括设置在机架(1)上且位于容器(10)下方的底座(20),所述底座(20)上设有回收槽(21)。
8.根据权利要求7所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:所述底座(20)的底部通过第二上下调节装置(22)安装在机架(1)上。
9.根据权利要求1所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:所述加热装置(2)的入线端(3)上设有第二导向装置(23)。
10.根据权利要求1所述的一种键合丝用立式退火炉,其特征在于:所述机架(1)上位于风干装置(9)与收线轴(7)之间设有第三导向装置(24)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711071061.7A CN107937675B (zh) | 2017-11-03 | 2017-11-03 | 一种键合丝用立式退火炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711071061.7A CN107937675B (zh) | 2017-11-03 | 2017-11-03 | 一种键合丝用立式退火炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107937675A true CN107937675A (zh) | 2018-04-20 |
CN107937675B CN107937675B (zh) | 2020-06-16 |
Family
ID=61933219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201711071061.7A Active CN107937675B (zh) | 2017-11-03 | 2017-11-03 | 一种键合丝用立式退火炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107937675B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108754119A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-11-06 | 山东博达特种电缆有限公司 | 一种铜线连续退火水冷装置 |
CN111776869A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-10-16 | 重庆市润金新材料科技有限公司 | 一种键合丝的生产绕制装置 |
CN111776868A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-10-16 | 重庆市润金新材料科技有限公司 | 一种张力平衡的键合丝复绕装置 |
CN113666186A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-19 | 战江东 | 键合线绕线一体机 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3426329B2 (ja) * | 1994-03-10 | 2003-07-14 | 新日本製鐵株式会社 | ボンディングワイヤの製造方法及びその製造装置 |
CN201704358U (zh) * | 2009-12-08 | 2011-01-12 | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 | 一种悬垂液滴型键合丝退火液连续施加装置 |
CN201704376U (zh) * | 2009-12-08 | 2011-01-12 | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 | 一种防止键合丝退火后粘丝的冷却液烘干装置 |
CN203144483U (zh) * | 2013-03-30 | 2013-08-21 | 励茂华 | 横向水淬防水雾带材高温立式热处理试验炉 |
CN104073619A (zh) * | 2014-06-25 | 2014-10-01 | 青岛永泰控制技术有限公司 | 一种键合丝退火系统 |
CN203999732U (zh) * | 2014-06-26 | 2014-12-10 | 河南开启电力实业有限公司 | 铜质金属拉丝在线热处理装置 |
CN203999733U (zh) * | 2014-07-16 | 2014-12-10 | 汕头市骏码凯撒有限公司 | 一种键合丝的加热退火装置 |
CN204080036U (zh) * | 2014-10-16 | 2015-01-07 | 深圳市禾木科技有限公司 | 一种键合丝立式高温退火机 |
CN204602876U (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-02 | 江西三川铜业有限公司 | 一种用于镀锡铜线加工的装置 |
CN107034343A (zh) * | 2017-05-13 | 2017-08-11 | 江苏苏丰机械科技有限公司 | 一种防止磨损的铜线退火机 |
-
2017
- 2017-11-03 CN CN201711071061.7A patent/CN107937675B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3426329B2 (ja) * | 1994-03-10 | 2003-07-14 | 新日本製鐵株式会社 | ボンディングワイヤの製造方法及びその製造装置 |
CN201704358U (zh) * | 2009-12-08 | 2011-01-12 | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 | 一种悬垂液滴型键合丝退火液连续施加装置 |
CN201704376U (zh) * | 2009-12-08 | 2011-01-12 | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 | 一种防止键合丝退火后粘丝的冷却液烘干装置 |
CN203144483U (zh) * | 2013-03-30 | 2013-08-21 | 励茂华 | 横向水淬防水雾带材高温立式热处理试验炉 |
CN104073619A (zh) * | 2014-06-25 | 2014-10-01 | 青岛永泰控制技术有限公司 | 一种键合丝退火系统 |
CN203999732U (zh) * | 2014-06-26 | 2014-12-10 | 河南开启电力实业有限公司 | 铜质金属拉丝在线热处理装置 |
CN203999733U (zh) * | 2014-07-16 | 2014-12-10 | 汕头市骏码凯撒有限公司 | 一种键合丝的加热退火装置 |
CN204080036U (zh) * | 2014-10-16 | 2015-01-07 | 深圳市禾木科技有限公司 | 一种键合丝立式高温退火机 |
CN204602876U (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-02 | 江西三川铜业有限公司 | 一种用于镀锡铜线加工的装置 |
CN107034343A (zh) * | 2017-05-13 | 2017-08-11 | 江苏苏丰机械科技有限公司 | 一种防止磨损的铜线退火机 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108754119A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-11-06 | 山东博达特种电缆有限公司 | 一种铜线连续退火水冷装置 |
CN111776869A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-10-16 | 重庆市润金新材料科技有限公司 | 一种键合丝的生产绕制装置 |
CN111776868A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-10-16 | 重庆市润金新材料科技有限公司 | 一种张力平衡的键合丝复绕装置 |
CN111776869B (zh) * | 2020-05-28 | 2022-04-29 | 欣禾电子(上海)有限公司 | 一种键合丝的生产绕制装置 |
CN111776868B (zh) * | 2020-05-28 | 2022-08-09 | 山东亿能网业有限公司 | 一种张力平衡的键合丝复绕装置 |
CN113666186A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-19 | 战江东 | 键合线绕线一体机 |
CN113666186B (zh) * | 2021-08-19 | 2023-10-13 | 战江东 | 键合线绕线一体机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107937675B (zh) | 2020-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107937675A (zh) | 一种键合丝用立式退火炉 | |
EP0480181A2 (en) | Method and apparatus for batch processing of a semiconductor wafer | |
CN103397170B (zh) | 管、线材用气氛保护高频感应加热连续退火方法及装置 | |
CN113513884B (zh) | 一种高活性金属粉末防氧化干燥装置及干燥方法 | |
CN207483612U (zh) | 全自动光纤拉丝冷却系统 | |
CN203569154U (zh) | 一种用于钛带及钢带退火的卧式连续退火炉 | |
CN207877776U (zh) | 立式退火炉 | |
CN207877821U (zh) | 一种立式退火炉 | |
CN106873255A (zh) | 一种液晶灌注装置及灌注方法 | |
CN107993910B (zh) | 一种紫外线管封装设备及封装工艺 | |
CN206188845U (zh) | 一种铝合金电缆罐式退火炉结构 | |
CN214654452U (zh) | 一种用于制作玻璃制品的退火炉 | |
CN207091470U (zh) | 一种节能新型可控气氛热处理炉甲醇滴注装置 | |
JP5845791B2 (ja) | 焼鈍炉の冷却装置 | |
CN206359651U (zh) | 一种ebsd试样电解抛光设备 | |
CN212179394U (zh) | 一种水晶加工用干燥装置 | |
JPS62140413A (ja) | 縦型拡散装置 | |
CN210569745U (zh) | 一种裸铜线预先加工的铜丝烘干设备 | |
CN208440628U (zh) | 一种生物教育用样品观察装置 | |
CN208736164U (zh) | 一种传感器基座的管式烧结炉 | |
CN210754091U (zh) | 一种清洗机的水箱和清洗机 | |
CN208803083U (zh) | 一种冷冻食品发酵温控装置 | |
CN206624895U (zh) | 一种rh精炼浸渍管的驱动气体管保护装置 | |
CN211420249U (zh) | 一种厨房灭火装置用机械减压装置 | |
CN105093449B (zh) | 一种用于线缆制作的冷却水槽 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |