CN107926150A

CN107926150A - 元件安装装置

Info

Publication number: CN107926150A
Application number: CN201580082351.4A
Authority: CN
Inventors: 藤城武史; 河口浩二; 三治满; 杉原康平
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2015-08-20
Filing date: 2015-08-20
Publication date: 2018-04-17
Anticipated expiration: 2035-08-20
Also published as: EP3340760A1; JP6744316B2; CN107926150B; US20180368296A1; EP3340760B1; US10716250B2; WO2017029750A1; JPWO2017029750A1; EP3340760A4

Abstract

元件安装装置(10)具备控制装配头的控制器。装配头具备：吸嘴支架(30)；吸嘴(42)，以能够相对于吸嘴支架(30)上下移动的方式被弹性支撑；凸缘(42c)，设于从吸嘴(42)的中心轴偏移的位置；及第二卡合部(52)，能够与凸缘(42c)卡合，克服吸嘴弹簧(46)的弹力而将凸缘(42c)压下，由此使吸嘴(42)向下方移动。控制器如下地进行控制：预先测定第二卡合部(52)使吸嘴(42)向下方移动的前后的吸嘴(42)的前端位置的偏差量，参考该偏差量而使装配头吸附元件并向基板上安装。

Description

元件安装装置

技术领域

本发明涉及一种元件安装装置。

背景技术

迄今为止，已知有将从元件供给装置供给的元件向基板的预定位置安装的元件安装装置。通常，这样的元件安装装置具备控制装配头的控制装置。例如，在专利文献1所记载的元件安装装置中，装配头具备：吸嘴支架，沿上下方向延伸；带凸缘的吸嘴，以能够相对于吸嘴支架上下移动的方式安装于吸嘴支架的下端；弹簧，弹性支撑吸嘴；及吸嘴升降机构，能够克服弹簧的弹力而将吸嘴的凸缘压下，由此使吸嘴向下方移动。另外，控制装置例如在吸嘴吸附从元件供给装置供给的元件时，以使元件不会因吸嘴与元件接触的冲击而受到损伤的方式进行控制。即，控制装置控制吸嘴升降机构，以使在通过吸嘴升降机构将吸嘴向下方压下的状态下将吸嘴配置于元件的上方，之后使吸嘴支架下降，使吸嘴的前端与元件接触，但是此时的反作用力变得与设定按压力相等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/080472号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在这样的元件安装装置中，吸嘴升降机构压下吸嘴的凸缘之前的吸嘴前端位置与压下之后的吸嘴前端位置有可能发生偏差。其理由在于，由于当吸嘴升降机构压下吸嘴的凸缘时是压下从吸嘴的中心轴偏离的位置，因此产生力的力矩，被压下的吸嘴会相对于中心轴倾斜。当产生这样的偏差时，难以使吸嘴前端吸附元件的位置的精度、安装元件的位置的精度稳定。

本发明就是为了解决这样的课题而作成的，其主要目的在于，提高压下从吸嘴的中心轴偏移的位置而在吸嘴前端吸附元件或将吸附于吸嘴前端的元件向基板安装的情况下的吸附位置精度、安装位置精度。

用于解决课题的技术方案

本发明的元件安装装置具备控制装配头的控制装置，所述装配头具备：吸嘴支架，沿上下方向延伸；吸嘴，以能够相对于所述吸嘴支架上下移动的方式安装于所述吸嘴支架的下端；弹性体，弹性支撑所述吸嘴；突起，设于从所述吸嘴的中心轴偏移的位置；及吸嘴升降机构，能够与所述突起卡合，克服所述弹性体的弹力而将所述突起压下，由此使所述吸嘴向下方移动，所述控制装置如下地进行控制：预先测定所述吸嘴升降机构使所述吸嘴向下方移动之前的所述吸嘴的前端位置与所述吸嘴升降机构使所述吸嘴向下方移动之后的所述吸嘴的前端位置的偏差量，参考所述偏差量而使所述装配头吸附元件并向基板上安装。

在该元件安装装置中，如下地进行控制：预先测定吸嘴升降机构使吸嘴向下方移动之前的吸嘴的前端位置与吸嘴升降机构使吸嘴向下方移动之后的吸嘴的前端位置的偏差量，参考该偏差量而使装配头吸附元件并向基板上安装。因此，能够提高压下从吸嘴的中心轴偏移的位置而在吸嘴前端吸附元件或将吸附于吸嘴前端的元件向基板安装的情况下的吸附位置精度、安装位置精度。

在本发明的元件安装装置中，也可以是，所述控制装置在每次更换所述吸嘴时测定所述偏差量。如此一来，即使更换为不同的吸嘴，由于是以参考与更换后的吸嘴相符的偏差量而使装配头吸附元件并向基板安装的方式进行控制的，因此也能够提高吸附位置精度、安装位置精度。此外，“更换吸嘴”不仅是更换吸嘴自身的情况的意思，也是包括更换吸嘴的一部分的情况的意思。

在本发明的元件安装装置中，也可以是，所述控制装置如下地进行控制：预先在所述吸嘴升降机构将所述突起的预定的基准位置压下时和所述吸嘴升降机构将与该基准位置不同的一个以上的旋转角度位置压下时分别测定所述偏差量，根据测定出的所述偏差量，求出所述吸嘴实际吸附或装配元件时的与从所述基准位置至所述吸嘴升降机构将所述突起压下的位置为止的角度对应的所述偏差量，参考该偏差量而使所述装配头吸附元件并向基板上安装。如此一来，即使产生于吸嘴的力的力矩根据从基准位置至吸嘴升降机构压下突起的位置为止的角度而不同，从而使得偏差量发生变动，也能够参考与该角度对应的适当的偏差量。

这样，参考与角度对应的偏差量进行控制的本发明的元件安装装置中，也可以是，所述吸嘴支架具有销，该销沿该吸嘴支架的直径方向架设于该吸嘴支架的下端，所述吸嘴具有一对引导部，该一对引导部由沿上下方向延伸的长槽或长孔构成，所述销通过插通所述一对引导部而引导所述吸嘴沿上下方向进行移动，所述控制装置将所述突起中的处于所述销的延长线上的位置作为所述基准位置。多数情况下销的延长线上的位置处的偏差量与除此以外的位置处的偏差量不一致，但是即使是在这样的情况下，由于求出与从基准位置至吸嘴升降机构压下突起的位置为止的角度对应的适当的偏差量，因此也能够提高精度。

附图说明

图1是元件安装装置10的立体图。

图2是装配头18的说明图。

图3是吸嘴42的剖视图。

图4是吸嘴42的外观说明图。

图5是吸嘴42的动作说明图，(a)表示下降前，(b)表示下降后。

图6是表示控制器78的电连接的说明图。

图7是元件安装处理流程的流程图。

图8是吸嘴42从中心轴C偏移而倾斜地下降时的剖视图。

图9是其它实施方式的吸嘴42的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明优选的实施方式。图1是元件安装装置10的立体图，图2是装配头18的说明图，图3是吸嘴42的剖视图，图4是吸嘴42的外观说明图，图5是吸嘴42的动作说明图，图6是表示控制器78的电连接的说明图。此外，在本实施方式中，左右方向(X轴)、前后方向(Y轴)及上下方向(Z轴)如图1所示。

如图1所示，元件安装装置10具备基板搬运单元12、装配头18、吸嘴42、标记相机64、零件相机66、元件供给单元70及执行各种控制的控制器78(参照图6)。

基板搬运单元12通过分别安装于前后一对支撑板14、14的传送带16、16(在图1中仅图示一者)将基板S从左向右搬运。另外，基板搬运单元12通过利用配置于基板S的下方的支撑销17从下顶起基板S并向支撑板14、14的顶盖部14a、14a按压而固定基板S，通过使支撑销17下降而解除基板S的固定。

装配头18能够在XY平面移动。具体地说，装配头18与X轴滑动件20沿引导导轨22、22在左右方向上移动相伴地在左右方向上移动，与Y轴滑动件24沿引导导轨26、26在前后方向上移动相伴地在前后方向上移动。如图2所示，该装配头18具有将吸嘴支架30支撑为能够轴旋转及上下移动的支撑筒19。吸嘴支架30是沿上下方向延伸的部件，在上部具有旋转传递齿轮30a和凸缘30b，在下部保持有吸嘴42。旋转传递齿轮30a与吸嘴旋转用马达31的驱动齿轮32啮合。因此，当吸嘴旋转用马达31旋转时，与此相伴地，吸嘴支架30进行轴旋转。凸缘30b被夹在设于沿上下方向延伸的第一臂33的第一卡合部33a的上片及下片之间。第一臂33与第一线性马达34的动子连结。第一线性马达34的定子固定于装配头18。因此，当第一线性马达34的动子上下移动时，与此相伴地，第一臂33沿对上下方向上的移动进行引导的引导部件35上下移动，与此同时，被第一卡合部33a夹着的凸缘30b以及吸嘴支架30上下移动。在吸嘴支架30的下端侧面，在彼此相向的位置设有一对倒J字状的引导槽30c(参照图4)。如图2及图3所示，在吸嘴支架30的侧面，隔开间隔地设有上侧环状突起30d和下侧环状突起30e。在吸嘴支架30覆盖有锁定套筒36。由于该锁定套筒36的上部开口的直径比吸嘴支架30的上侧环状突起30d、下侧环状突起30e的直径小，因此锁定套筒36形成为能够上下移动而不会从吸嘴支架30脱落。在锁定套筒36的上端面与吸嘴支架30的上侧环状突起30d之间配置有锁定弹簧37。

吸嘴42利用压力在吸嘴前端吸附元件P、或使吸附于吸嘴前端的元件P分离。如图3及图5所示，该吸嘴42被吸嘴弹簧46弹性支撑于作为吸嘴固定件的吸嘴套筒44的上端面。吸嘴42在内部具有沿上下方向延伸的通气路42a。在通气路42a中能够供给负压、正压。吸嘴42具有从吸附元件P的吸附口42b的稍靠上方的位置沿水平突出的凸缘42c、从上端沿水平突出的弹簧支座部42d及设于从上端至凸缘42c为止的中途的阶梯面42e。吸嘴42中的从阶梯面42e至弹簧支座部42d之间形成为小径的轴部42f。在该轴部42f的侧面，以彼此相向的方式设有沿上下方向延伸的一对长孔42g。吸嘴套筒44以能够相对于吸嘴42的轴部42f相对地上下移动的方式装配于吸嘴42。吸嘴套筒44与在直径方向上贯通的销44a一体化。该销44a插通吸嘴42的一对长孔42g。因此，吸嘴42形成为能够相对于销44a沿长孔42g的延伸方向、即上下方向滑动。吸嘴弹簧46配置于吸嘴套筒44的上端面与吸嘴42的弹簧支座部42d之间。

吸嘴套筒44在弹性支撑吸嘴42的状态下能够装卸地固定于吸嘴支架30的引导槽30c。设于吸嘴套筒44的销44a以夹在引导槽30c的末端与被锁定弹簧37向下施力的锁定套筒36的下端之间的状态被固定。在要将弹性支撑吸嘴42的吸嘴套筒44固定于吸嘴支架30时，首先，使吸嘴套筒44的销44a沿吸嘴支架30的引导槽30c(参照图4)向上方移动。于是，销44a与锁定套筒36的下端抵接。然后，以一边以销44a克服锁定弹簧37的弹力而顶起锁定套筒36一边使销44a沿引导槽30c进入的方式，使吸嘴42与吸嘴套筒44一起相对于锁定套筒36旋转。于是，销44a经由引导槽30c的水平部分最后向下方移动而到达引导槽30c的末端。此时，销44a形成为由被锁定弹簧37向下施力的锁定套筒36压靠于引导槽30c的末端的状态。其结果是，吸嘴套筒44经由销44a被锁定于吸嘴支架30。此外，当要将弹性支撑吸嘴42的吸嘴套筒44从吸嘴支架30拆除时，按照与固定的顺序相反的顺序进行即可。

返回图2，在第一臂33的下端固定有第二线性马达50的定子。在该第二线性马达50的动子连结有第二臂51。第二臂51在臂前端具备由凸轮从动件构成的第二卡合部52，并且在臂中间具备检测载荷的测力传感器53。第二卡合部52配置于与吸嘴42的凸缘42c的上表面相向的位置。由于当第二线性马达50的动子向下方移动时，与此相伴地，第二臂51的第二卡合部52克服吸嘴弹簧46的弹力而将凸缘42c向下方按压，因此吸嘴42相对于吸嘴套筒44的销44a、即吸嘴支架30向下方移动(参照图3的双点划线)。然后，由于当第二线性马达50的动子向上方移动时，将凸缘42c向下方按压的力减弱，因此吸嘴42通过吸嘴弹簧46的弹力相对于销44a、即吸嘴支架30向上方移动。

返回图1，标记相机64以拍摄方向形成为与基板S相向的朝向的方式设置于X轴滑动件20的下端，能够与装配头18的移动相伴地移动。该标记相机64拍摄设于基板S的未图示的基板定位用的基准标记，并将获得的图像向控制器78输出。

零件相机66以拍摄方向朝上的方式设置于元件供给单元70与基板搬运单元12之间且左右方向上的长度的大致中央。该零件相机66拍摄在其上方通过的吸嘴42所吸附的元件，并将通过拍摄获得的图像向控制器78输出。

元件供给单元70具备带盘72和供料器74。在带盘72卷绕有带，该带形成为沿长边方向排列有收容有元件的凹部。供料器74将卷绕于带盘72的带的元件向预定的元件供给位置送出。卷绕于带盘72的带具有覆盖元件的薄膜，当到达元件供给位置时，薄膜被剥离。因此，配置于元件供给位置的元件形成为能够被吸嘴42吸附的状态。

如图6所示，控制器78由以CPU78a为中心的微处理器构成，具备存储处理程序的ROM78b、存储各种数据的HDD78c、被用作作业区域的RAM78d等。另外，在控制器78连接有鼠标、键盘等输入装置78e、液晶显示器等显示装置78f。该控制器78与内置于供料器74的供料器控制器77、管理计算机80以能够双向通信的方式连接。另外，控制器78以能够向基板搬运单元12、X轴滑动件20、Y轴滑动件24、吸嘴旋转用马达31、第一线性马达34及第二线性马达50、吸嘴42的压力调整装置43、标记相机64、零件相机66输出控制信号的方式与它们连接。另外，控制器78以能够接收来自测力传感器53的检测信号、来自标记相机64、零件相机66的图像信号的方式与它们连接。例如，控制器78对由标记相机64拍摄的基板S的图像进行处理而识别基准标记的位置，从而识别基板S的位置(坐标)。另外，控制器78基于由零件相机66拍摄的图像，判断吸嘴42是否吸附有元件、判定该元件的形状、大小、吸附位置等。

如图6所示，管理计算机80具备计算机主体82、输入设备84及显示器86，能够输入来自由操作人员操作的输入设备84的信号，能够向显示器86输出各种图像。在计算机主体82的存储器存储有生产作业数据。在生产作业数据中规定了在各元件安装装置10中以何种顺序将何种元件P向基板S装配、或制成多少块这样装配的基板S等。

接下来，说明元件安装装置10的控制器78基于生产作业将元件P向基板S安装的动作。图7是元件安装处理流程的流程图。元件安装处理流程的程序储存于控制器78的HDD78c。

当开始该程序时，首先，控制器78的CPU78a使吸嘴42向供料器74移动(步骤S110)。具体地说，CPU78a通过控制X轴滑动件20及Y轴滑动件24，使吸嘴42向元件供给单元70中的、供给预定的元件P的供料器74的元件供给位置移动。

接下来，CPU78a使吸嘴42的前端吸附元件P(步骤S120)。具体地说，CPU78a通过使第一线性马达34的动子下降而使吸嘴支架30向下方移动。与此同时地，CPU78a通过在吸嘴42的前端与元件P抵接之前使第二线性马达50的动子下降而使吸嘴42相对于吸嘴支架30向最下端移动。之后，CPU78a在基于来自测力传感器53的检测信号判断为吸嘴42的前端与元件P接触时，以使其反作用力与设定按压力相等的方式使第二线性马达50的动子上升。由此，能够避免元件P因吸嘴42而受到损伤。另外，CPU78a控制压力调整装置43，以使在吸嘴42的前端与元件P抵接的时刻下向吸附口42b供给负压。由此，元件P被吸嘴42的前端吸附。

接下来，CPU78a通过零件相机66拍摄元件P(步骤S130)。具体地说，CPU78a控制第二线性马达50以使第二臂51的第二卡合部52从凸缘42c的上方分离，并且控制第一线性马达34以使元件P成为预定的高度。与此同时，CPU78a控制X轴滑动件20及Y轴滑动件24，以使吸嘴42的中心位置与零件相机66的拍摄区域的预先规定的基准点一致，在吸嘴42的中心位置与基准点一致的时刻下通过零件相机66拍摄元件P。CPU78a通过分析该拍摄图像来掌握元件P相对于基准点的位置。

接下来，CPU78a使吸嘴42向基板S上移动(步骤S140)。具体地说，CPU78a通过控制X轴滑动件20及Y轴滑动件24而使吸嘴42向基板S中的、供元件P安装的预定位置的上方移动。

接下来，CPU78a将元件P安装于基板S的预定位置(步骤S150)。具体地说，CPU78a基于拍摄图像来控制吸嘴旋转用马达31，以使元件P的姿势成为预先规定的预定的姿势。另外，CPU78a通过使第一线性马达34的动子下降而使吸嘴支架30向下方移动。与此同时，CPU78a通过在被吸嘴42的前端吸附的元件P与基板S抵接之前使第二线性马达50的动子下降而使吸嘴42相对于吸嘴支架30向最下端移动。然后，CPU78a在基于来自测力传感器53的检测信号判断为元件P与基板S接触时，以使其反作用力与设定按压力相等的方式使第二线性马达50的动子上升。由此，能够避免元件P因与基板S的碰撞而受到损伤。另外，CPU78a控制压力调整装置43，以使在元件P与基板S抵接的时刻下向吸嘴42的前端供给正压。由此，元件P被安装于基板S的预定位置。

接下来，CPU78a判定应向基板S安装的元件的安装是否结束(步骤S160)，若未结束则对于下一个元件P执行步骤S110之后的处理，若结束则结束本程序。

然而，由于在第二线性马达50的动子下降而由第二臂51的第二卡合部52压下吸嘴42的凸缘42c的情况下，第二卡合部52压下从吸嘴42的中心轴C偏移的位置，因此产生力的力矩。其结果是，如图8所示，吸嘴42多数情况下不是沿着中心轴C下降，而是从中心轴C偏移而倾斜地下降。另外，吸嘴42被沿直径方向延伸的销44a支撑。在该情况下，多数情况下通过第二卡合部52压下凸缘42c中的处于销44a的延长线上的位置时的偏差量与除此以外的位置处的偏差量不一致。

因此，在每次更换吸嘴42时，CPU78a控制X轴滑动件20及Y轴滑动件24以使吸嘴42来到零件相机66的上方，测定下降前后的偏差量，并将该偏差量保存在HDD78c。即，CPU78a测定在通过第二卡合部52压下凸缘42c之前拍摄的图像中的吸嘴42的中心位置与在压下凸缘42c之后拍摄的图像中的吸嘴42的中心位置在XY坐标上的偏差量(下降前后的偏差量)。此外，拍摄顺序优选为，首先拍摄压下凸缘42c之后的状态，之后拍摄未压下凸缘42c的状态。在获取下降前后的偏差量时，如图5所示，CPU78a将凸缘42c中的处于销44a的延长线上的测定位置设定为基准位置M1。并且，CPU78a在该基准位置M1测定下降前后的偏差量，将该偏差量作为角度0°的偏差量并保存在HDD78c。接下来，使吸嘴42绕其中心轴沿预定方向依次旋转90°、180°、270°，在各测定位置M2、M3、M4测定下降前后的偏差量，将各偏差量作为角度90°、180°、270°的偏差量并保存在HDD78c。

在吸嘴42吸附元件P的情况下，即使为了使吸嘴42的中心与元件P的中心一致而使吸嘴42移动到预先规定的XY坐标，有时也会因某种原因(例如装配头的制造时的公差等)而导致吸嘴42的中心与元件P的中心不一致。将用于使这两者一致的校正量称作拾取偏移量，将吸嘴42下降前后的偏差量为零时的拾取偏移量称作拾取偏移基本量。在吸嘴42下降前后的偏差量不是零的情况下，需要对该拾取偏移基本量加上该偏差量。此时的校正值成为拾取偏移基本量+下降前后的偏差量。对于拾取偏移基本量，既可以使用下降前后的偏差量为零的元件安装装置10来求出，也可以使用已知下降前后的偏差量的元件安装装置10来测定拾取偏移量，并将该拾取偏移基本量设为从该拾取偏移量减去下降前后的偏差量所得的值。CPU78a在元件安装处理流程的步骤S120中，以参考下降前后的偏差量而使吸嘴42的中心与元件P的中心一致的方式执行XY坐标的位置控制。当参考下降前后的偏差量时，CPU78a识别第二卡合部52实际按压凸缘42c的位置距基准位置绕吸嘴的中心轴旋转多少度，从HDD78c读出与该角度最接近的角度的偏差量并使用该偏差量进行校正。

另外，在吸附了元件P的吸嘴42将该元件P向基板S的预定位置安装的情况下，即使为了使元件P精确地安装于该预定位置而使吸嘴42移动到预先规定的XY坐标，有时也会因某种原因而导致无法将元件P精确地安装于预定位置。将用于使该两者一致的校正量称作安装偏差量，将吸嘴42下降前后的偏差量为零时的安装偏差量称作安装偏差基本量。在吸嘴42下降前后的偏差量不是零的情况下，需要对该安装偏差基本量加上该偏差量。此时的校正量成为安装偏差基本量+下降前后的偏差量。对于安装偏差基本量，既可以使用下降前后的偏差量为零的元件安装装置10来求出，也可以使用已知下降前后的偏差量的元件安装装置10来测定安装偏差量，并将该安装偏差基本量设为从该安装偏差量减去下降前后的偏差量所得的值。CPU78a在元件安装处理流程的步骤S150中，以参考下降前后的偏差量而将元件P精确地安装于基板S的预定位置的方式执行XY坐标的位置控制。在参考下降前后的偏差量时，CPU78a识别第二卡合部52实际按压凸缘42c的位置距基准位置绕吸嘴的中心轴旋转多少度，从HDD读出与该角度最接近的角度的偏差量并使用该偏差量进行校正。

在此，明确本实施方式的构成要素与本发明的构成要素的对应关系。本实施方式的吸嘴弹簧46相当于本发明的弹性体，凸缘42c相当于突起，第二线性马达50、第二臂51及第二卡合部52相当于吸嘴升降机构，控制器78相当于控制装置。

在以上详述的元件安装装置10中，以如下方式进行控制：预先测定第二卡合部52使吸嘴42相对于吸嘴支架30向下方移动的前后的吸嘴42的前端位置的偏差量，参考该偏差量而使装配头18吸附元件P并向基板S安装。因此，能够提高压下从吸嘴42的中心轴偏移的位置而在吸嘴前端吸附元件P或将吸嘴前端所吸附的元件P向基板S安装的情况下的吸附位置精度、安装位置精度。

另外，由于控制器78在每次更换吸嘴42时测定下降前后的偏差量，因此即使更换为不同的吸嘴42，也以参考与更换后的吸嘴42相符的偏差量而使装配头18吸附元件P并向基板S安装的方式进行控制。因此，能够提高吸嘴42更换后的吸附位置精度、安装位置精度。

进而，即使产生于吸嘴42的力的力矩根据从基准位置至第二卡合部52实际压下凸缘42c的位置为止的角度而不同，从而使得下降前后的偏差量发生变动，控制器78也能够参考与该角度对应的适当的偏差量。特别是在多数情况下凸缘42c中的处于销44a的延长线上的位置处的偏差量与除此以外的位置处的偏差量不一致，但是即使是在这样的情况下，由于求出与从基准位置M1至第二卡合部52压下凸缘42c的位置为止的角度对应的适当的偏差量，因此也能够提高控制的精度。

此外，本发明并不局限于上述实施方式，不言而喻地，只要属于本发明的技术范围，就能够以各种方式进行实施。

例如，在上述实施方式中，说明了当更换吸嘴42时从吸嘴支架30将吸嘴42与吸嘴套筒44一起更换的情况，但是并未特别局限于此。例如，如图9所示，具备销44a的吸嘴套筒44以不能装卸的方式固定于吸嘴支架30的下端，吸嘴42由吸嘴主体421和前端部件422构成，前端部件422相对于吸嘴主体421进行装卸。在此，作为一个例子，前端部件422被安装于吸嘴主体421的球塞423以能够装卸的方式支撑，但是例如，也可以取代球塞423而利用螺钉固定以能够装卸的方式支撑。在图9中，CPU78a只要在每次更换吸嘴42的前端部件422时测定下降前后的偏差量即可。即使是这样，也能够获得与上述实施方式相同的效果。

在上述实施方式中，示出了对拾取偏移基本量、安装偏差基本量加上下降前后的偏差量而进行XY坐标的位置控制的例子，但是也可以对其它校正值加上下降前后的偏差量。例如，对于各种校准数据，也可以以将下降前后的偏差量设为零的数据量为基本量，对该基本量加上下降前后的偏差量而进行控制。

在上述实施方式中，下降前后的偏差量是通过从基准位置M1(角度0°)起每隔90°来进行测定的，但是并未特别局限于此，例如，也可以从基准位置M1起每隔预定角度(60°或45°或30°或20°等)来进行测定。另外，在下降前后的偏差量与角度无关的情况下，也可以以任意一点来测定下降前后的偏差量。

在上述实施方式中，作为装配头18，示出了仅具备一个对吸嘴42以能够装卸的方式进行保持的吸嘴支架30的例子，但是也可以在以上下轴为旋转中心的旋转体的周围以等角度间隔设置多个这样的吸嘴支架30。具体的结构参照专利文献1(WO2014/080472)的图6。即使是这样的结构，只要以预先对应各吸嘴测定下降前后的偏差量、参考该偏差量而使装配头吸附元件并向基板安装的方式进行控制，就能够获得与上述实施方式相同的效果。

在上述实施方式中，在更换吸嘴42时测定下降前后的偏差量，但是测定时期并未特别限定于更换吸嘴42时。例如，既可以在生产开始时测定这样的偏差量，也可以定期地测定这样的偏差量。无论何种情况，只要以参考测定后的吸嘴42的偏差量而使装配头18吸附元件P并向基板S安装的方式进行控制，就能够提高该吸嘴42的吸附位置精度、安装位置精度。

工业实用性

本发明能够应用于元件安装装置、组装有元件安装装置的元件安装系统等。

附图标记说明

10元件安装装置、 12基板搬运单元、 14支撑板、 14a顶盖部、 16传送带、 17支撑销、 18装配头、 19支撑筒、 20X轴滑动件、 22引导导轨、 24Y轴滑动件、 26引导导轨、 30吸嘴支架、 30a旋转传递齿轮、 30b凸缘、 30c引导槽、 30d上侧环状突起、 30e下侧环状突起、 31吸嘴旋转用马达、 32驱动齿轮、 33第一臂、 33a第一卡合部、 34第一线性马达、 35引导部件、 36锁定套筒、 37锁定弹簧、 42吸嘴、 42通气路、 42a通气路、 42b吸附口、 42c凸缘、 42d弹簧支座部、 42e阶梯面、 42f轴部、 42g长孔、 43压力调整装置、 44吸嘴套筒、44a销、 46吸嘴弹簧、 50第二线性马达、 51第二臂、 52第二卡合部、 53测力传感器、 60带盘、 64标记相机、 66零件相机、 70元件供给单元、 72带盘、 74供料器、 77供料器控制器、78控制器、 78a CPU、 78b ROM、 78c HDD、 78d RAM、 78e输入装置、 78f显示装置、 80管理计算机、 82计算机主体、 84输入设备、 86显示器、 421吸嘴主体、 422前端部件、 423球塞。

Claims

1.一种元件安装装置，具备控制装配头的控制装置，

所述装配头具备：

吸嘴支架，沿上下方向延伸；

吸嘴，以能够相对于所述吸嘴支架上下移动的方式安装于所述吸嘴支架的下端；

弹性体，弹性支撑所述吸嘴；

突起，设于从所述吸嘴的中心轴偏移的位置；及

吸嘴升降机构，能够与所述突起卡合，克服所述弹性体的弹力而将所述突起压下，由此使所述吸嘴向下方移动，

所述控制装置如下地进行控制：预先测定所述吸嘴升降机构使所述吸嘴向下方移动之前的所述吸嘴的前端位置与所述吸嘴升降机构使所述吸嘴向下方移动之后的所述吸嘴的前端位置的偏差量，参考所述偏差量而使所述装配头吸附元件并向基板上安装。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述控制装置在每次更换所述吸嘴时测定所述偏差量。

3.根据权利要求1或2所述的元件安装装置，其中，

所述控制装置如下地进行控制：预先在所述吸嘴升降机构将所述突起的预定的基准位置压下时和所述吸嘴升降机构将与该基准位置不同的一个以上的旋转角度位置压下时分别测定所述偏差量，根据测定出的所述偏差量，求出所述吸嘴实际吸附或安装元件时的与从所述基准位置至所述吸嘴升降机构将所述突起压下的位置为止的角度对应的所述偏差量，参考该偏差量而使所述装配头吸附元件并向基板上安装。

4.根据权利要求3所述的元件安装装置，其中，

所述吸嘴支架具有销，所述销沿该吸嘴支架的直径方向架设于该吸嘴支架的下端，

所述吸嘴具有一对引导部，所述一对引导部由沿上下方向延伸的长槽或长孔构成，

所述销通过插通所述一对引导部而引导所述吸嘴沿上下方向进行移动，

所述控制装置将所述突起中的处于所述销的延长线上的位置作为所述基准位置。