CN107880784A - 一种高性能抛光液及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种高性能抛光液及其制备方法，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10‑20份、研磨料分散剂8‑15份、氧化剂2‑5份、防锈剂6‑12份、螯合剂7‑15份、表面活性剂4‑8份、缓蚀剂6‑13份、润湿剂4‑9份、水20‑50份，研磨料分散剂首先与研磨料和表面活性剂进行混合，提高研磨料在该体系下的稳定性，进而提高研磨料在抛光液中的分散性，从而延长抛光液的使用寿命，本发明制备的抛光液具有较好的表面光洁度、防锈性能和抗腐蚀能力，稳定性好、使用寿命长，适于工业上普遍应用。
Description
技术领域
本发明涉及一种抛光液，具体涉及一种高性能抛光液及其制备方法。
背景技术
金属制品在加工成型后表面往往带有毛刺或覆盖有一层灰色的氧化膜，影响其美观及耐腐蚀性能。在对其表面进行精饰(抛光)处理后，可以大大提高表面光洁度和耐腐蚀性。目前，常用的抛光处理方法有机械抛光、化学抛光、电化学抛光三种。机械抛光的整平性较好，但其劳动强度大且光泽保持时间不长，只适用于结构简单的金属工件；电化学抛光效果虽然较好，但成本过高；现有的化学抛光液可分为王水型、硫酸型和磷酸型等，采用化学抛光具有成本投入低、抛光件几何形状不受限制及生产效率高的优点。现有的化学抛光液中往往加入纳米颗粒作为研磨料提高抛光液的性能，然而纳米颗粒易团聚稳定性较差，从而使得化学抛光液的稳定性较差，使用寿命较短，导致化学抛光的综合性能较差。因此有必要对基于纳米颗粒的化学抛光液的配方进行进一步改性，以改善抛光液的综合性能。
发明内容
为了解决以上现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种高性能抛光液及其制备方法。
为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种高性能抛光液，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10-20份、研磨料分散剂8-15份、氧化剂2-5份、防锈剂6-12份、螯合剂7-15份、表面活性剂4-8份、缓蚀剂6-13份、润湿剂4-9份、水20-50份；
所述研磨料为二氧化硅、氧化铝、二氧化钛、纳米氧化锌、氧化石墨烯的任意一种及以上组合；
所述研磨料分散剂为淀粉、壳聚糖、糊精、聚乙烯醇或羧甲基纤维素的任意一种及以上组合；
所述氧化剂为过氧化氢、过硫酸铵、重铬酸钾、高碘酸钾、高氯酸钾中的任意一种及以上组合；
所述防锈剂为硬脂酸、油酸、硬脂酸环己胺、油酸十八烷胺、单油酸季戊四醇酯、山梨糖醇酐单油酸酯中的任意一种及以上组合；
所述螯合剂为乙二胺四乙酸二钠盐、氨基三乙酸、葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸、聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸中的任意一种及以上组合；
所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、磷脂酰乙醇胺、聚氧乙烯-聚氧丙烯共聚物、聚乙烯吡咯烷酮中的任意一种及以上组合；
所述缓蚀剂为磺化木质素、聚天冬氨酸、膦酰基羧酸共聚物、十六烷基胺中的任意一种及以上组合；
所述润湿剂为乙醇、十二烷醇、甲醇、丙二醇、二甲基亚砜中的任意一种及以上组合。
优选的，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10-20份、研磨料分散剂8-15份、氧化剂2-5份、防锈剂6-12份、螯合剂7-15份、表面活性剂4-8份、缓蚀剂6-13份、润湿剂4-9份、水20-50份；
所述研磨料为二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为硬脂酸、油酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
优选的，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料15份、研磨料分散剂11份、氧化剂3份、防锈剂9份、螯合剂11份、表面活性剂6份、缓蚀剂10份、润湿剂6份、水40份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
一种高性能抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至40-50℃研磨20-40min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为15-30wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于30-50℃的温度下以500-800r/min的转速搅拌20-30min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在45-55℃的温度下搅拌均匀，保温3-5h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到7.4-9.0，继续搅拌1-3h，冷却至室温即得。
优选的，所述碱性pH调节剂为三乙醇胺、氨水、氢氧化钙、碳酸氢钠或磷酸氢二钠。
优选的，所述步骤（1）中研磨料与所述表面活性剂在45℃下研磨30min。
优选的，所述步骤（2）中制得混合料B的反应温度为50℃。
优选的，所述步骤（3）中使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到8.0。
有益效果：本发明提供了一种高性能抛光液及其制备方法，所述抛光液由研磨料、研磨料分散剂、氧化剂、防锈剂、螯合剂、表面活性剂、缓蚀剂、润湿剂、水组成，研磨料分散剂首先与研磨料和表面活性剂进行混合，提高研磨料在该体系下的稳定性，进而提高研磨料在抛光液中的分散性，从而延长抛光液的使用寿命，本发明制备的抛光液具有较好的表面光洁度、防锈性能和抗腐蚀能力，稳定性好、使用寿命长，适于工业上普遍应用。
具体实施方式
下面结合具体实施例来进一步描述本发明，但实施例仅是范例性的，并不对本发明的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本发明的精神和范围下可以对本发明技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本发明的保护范围内。
实施例1
一种高性能抛光液，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料15份、研磨料分散剂11份、氧化剂3份、防锈剂9份、螯合剂11份、表面活性剂6份、缓蚀剂10份、润湿剂6份、水40份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
一种高性能抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至45℃研磨30min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为22wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于40℃的温度下以650r/min的转速搅拌25min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在50℃的温度下搅拌均匀，保温4h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂三乙醇胺将混合液的pH调节到8.0，继续搅拌2h，冷却至室温即得。
实施例2-实施例6制备的抛光液的原料组成如表1所示，每种类的原料重量份同实施例1，制备方法同实施例1。
表1
性能测试：将铸铁样品分别置于实施例1-6制备的抛光液中，静置2h进行化学抛光。试验结束后将样品取出，清洗表面，自然干燥后检测表面光洁度。然后对样品进行烘干称重，计算出相应的腐蚀度，同时进行防锈性能测试，性能测试结果如表2所示。从表2中得出，实施例1的原料组成制备的抛光液具有更好的效果。
表2
实施例7-9是在实施例1的原料基础上进行进一步的优化，进一步得出最佳的重量份配比，并得出最佳的制备条件。
实施例7
一种高性能抛光液，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10份、研磨料分散剂8份、氧化剂2份、防锈剂6份、螯合剂7份、表面活性剂4份、缓蚀剂6份、润湿剂4份、水20份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
一种高性能抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至40℃研磨20min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为15wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于30℃的温度下以500r/min的转速搅拌20min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在45℃的温度下搅拌均匀，保温3h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到7.4，继续搅拌1h，冷却至室温即得。
优选的，所述碱性pH调节剂为氨水。
实施例8
一种高性能抛光液，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料20份、研磨料分散剂15份、氧化剂5份、防锈剂12份、螯合剂15份、表面活性剂8份、缓蚀剂13份、润湿剂9份、水50份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
一种高性能抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至50℃研磨40min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为30wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于50℃的温度下以800r/min的转速搅拌30min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在55℃的温度下搅拌均匀，保温5h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到9.0，继续搅拌3h，冷却至室温即得。
优选的，所述碱性pH调节剂为氢氧化钙。
实施例9
一种高性能抛光液，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料12份、研磨料分散剂10份、氧化剂3份、防锈剂8份、螯合剂9份、表面活性剂5份、缓蚀剂8份、润湿剂5份、水30份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
一种高性能抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至42℃研磨25min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为18wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于35℃的温度下以600r/min的转速搅拌22min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在48℃的温度下搅拌均匀，保温3.5h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到8.5，继续搅拌1.5h，冷却至室温即得。
优选的，所述碱性pH调节剂为碳酸氢钠或磷酸氢二钠。
对比例1
一种高性能抛光液，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料15份、氧化剂3份、防锈剂9份、螯合剂11份、表面活性剂6份、缓蚀剂10份、润湿剂6份、水40份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
一种高性能抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至45℃研磨30min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在50℃的温度下搅拌均匀，保温4h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂三乙醇胺将混合液的pH调节到8.0，继续搅拌2h，冷却至室温即得。
对比例2
一种高性能抛光液，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料15份、研磨料分散剂11份、氧化剂3份、防锈剂9份、螯合剂11份、表面活性剂6份、缓蚀剂10份、润湿剂6份、水40份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
一种高性能抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至45℃研磨30min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为22wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于40℃的温度下以650r/min的转速搅拌25min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在50℃的温度下搅拌均匀，保温4h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂三乙醇胺将混合液的pH调节到8.0，继续搅拌2h，冷却至室温即得。
将实施例7-9和对比例1-2制备得到的抛光液进行与实施例1-6相同的性能测试，其结果如表3所示，并将测试结构与实施例1进行比较，从表3得出，本发明在实施例1的原料组成和重量份配比下制备的抛光液具有较好的表面光洁度、防锈性能和抗腐蚀能力，因而稳定性较好、使用寿命较长。
表3
Claims (8)
1.一种高性能抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10-20份、研磨料分散剂8-15份、氧化剂2-5份、防锈剂6-12份、螯合剂7-15份、表面活性剂4-8份、缓蚀剂6-13份、润湿剂4-9份、水20-50份；
所述研磨料为二氧化硅、氧化铝、二氧化钛、纳米氧化锌、氧化石墨烯的任意一种及以上组合；
所述研磨料分散剂为淀粉、壳聚糖、糊精、聚乙烯醇或羧甲基纤维素的任意一种及以上组合；
所述氧化剂为过氧化氢、过硫酸铵、重铬酸钾、高碘酸钾、高氯酸钾中的任意一种及以上组合；
所述防锈剂为硬脂酸、油酸、硬脂酸环己胺、油酸十八烷胺、单油酸季戊四醇酯、山梨糖醇酐单油酸酯中的任意一种及以上组合；
所述螯合剂为乙二胺四乙酸二钠盐、氨基三乙酸、葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸、聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸中的任意一种及以上组合；
所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、磷脂酰乙醇胺、聚氧乙烯-聚氧丙烯共聚物、聚乙烯吡咯烷酮中的任意一种及以上组合；
所述缓蚀剂为磺化木质素、聚天冬氨酸、膦酰基羧酸共聚物、十六烷基胺中的任意一种及以上组合；
所述润湿剂为乙醇、十二烷醇、甲醇、丙二醇、二甲基亚砜中的任意一种及以上组合。
2.根据权利要求1所述的一种高性能抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10-20份、研磨料分散剂8-15份、氧化剂2-5份、防锈剂6-12份、螯合剂7-15份、表面活性剂4-8份、缓蚀剂6-13份、润湿剂4-9份、水20-50份；
所述研磨料为二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为硬脂酸、油酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
3.根据权利要求2所述的一种高性能抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料15份、研磨料分散剂11份、氧化剂3份、防锈剂9份、螯合剂11份、表面活性剂6份、缓蚀剂10份、润湿剂6份、水40份；
所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；
所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；
所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；
所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；
所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；
所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；
所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；
所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。
4.权利要求1所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至40-50℃研磨20-40min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为15-30wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于30-50℃的温度下以500-800r/min的转速搅拌20-30min得混合料A；
（2）将剩余原料混合，在45-55℃的温度下搅拌均匀，保温3-5h得混合料B；
（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到7.4-9.0，继续搅拌1-3h，冷却至室温即得。
5.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述碱性pH调节剂为三乙醇胺、氨水、氢氧化钙、碳酸氢钠或磷酸氢二钠。
6.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中研磨料与所述表面活性剂在45℃下研磨30min。
7.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中制得混合料B的反应温度为50℃。
8.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到8.0。
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|---|---|
| CN (1) | CN107880784A (zh) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108441867A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-08-24 | 广东红日星实业有限公司 | 一种铝材用研磨清洗剂 |
| CN108948701A (zh) * | 2018-07-31 | 2018-12-07 | 合肥浦邦农业科技有限公司 | 一种环保高韧农业地膜及其制备方法 |
| CN109267067A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-01-25 | 上海银木电器制造有限公司 | 一种用于铝及铝合金高光泽度抛光的环保型化学抛光液 |
| CN109759908A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-05-17 | 天津跃峰科技股份有限公司 | 一种精密模具生产加工用抛光方法 |
| CN110577800A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-12-17 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石抛光剂及其制备方法 |
| CN110591564A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-12-20 | 昆山纳诺新材料科技有限公司 | 一种湿式cmp镜面抛光液和制备方法 |
| CN111607330A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-01 | 大连理工大学 | 一种剪切增稠抛光液 |
| CN113150696A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-07-23 | 广州凌玮科技股份有限公司 | 一种用于降低硅片表面微划伤的抛光液 |
| US11186749B2 (en) * | 2019-06-14 | 2021-11-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Slurry composition and method of manufacturing integrated circuit device by using the same |
| CN113843581A (zh) * | 2021-08-12 | 2021-12-28 | 东莞市中质电子科技有限公司 | 一种新能源汽车电池用铜软连接件的制备方法 |
| CN114231182A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-03-25 | 盐城工学院 | 一种易解理氧化镓晶片化学机械抛光工艺、抛光液及其制备方法 |
| CN114959713A (zh) * | 2021-02-26 | 2022-08-30 | 上海梅山钢铁股份有限公司 | 一种抑制低碳钢金相样点蚀的缓蚀剂 |
| CN115091338A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-23 | 中国地质大学（北京） | 通过加入金属氧化物纳米颗粒提高单晶金刚石抛光效率的方法 |
| CN115124927A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-09-30 | 大连理工大学 | 一种碳化硅晶体的绿色化学机械抛光液 |
| CN116144270A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-05-23 | 湖南三安半导体有限责任公司 | 一种抛光液及其制备方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103013345A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 清华大学 | 油性金刚石研磨液及其制备方法 |
| CN103695911A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-04-02 | 广西博士海意信息科技有限公司 | 水溶性金属抛光剂 |
| CN104513628A (zh) * | 2014-12-22 | 2015-04-15 | 清华大学 | 一种用于蓝宝石化学机械平坦化的抛光液 |
| CN104592897A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-05-06 | 上海新安纳电子科技有限公司 | 一种含有石墨烯的化学机械抛光液 |
| CN104592896A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-05-06 | 上海新安纳电子科技有限公司 | 一种化学机械抛光液 |
-
2017
- 2017-12-04 CN CN201711259171.6A patent/CN107880784A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103013345A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 清华大学 | 油性金刚石研磨液及其制备方法 |
| CN103695911A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-04-02 | 广西博士海意信息科技有限公司 | 水溶性金属抛光剂 |
| CN104513628A (zh) * | 2014-12-22 | 2015-04-15 | 清华大学 | 一种用于蓝宝石化学机械平坦化的抛光液 |
| CN104592897A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-05-06 | 上海新安纳电子科技有限公司 | 一种含有石墨烯的化学机械抛光液 |
| CN104592896A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-05-06 | 上海新安纳电子科技有限公司 | 一种化学机械抛光液 |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108441867B (zh) * | 2018-04-20 | 2020-05-19 | 广东红日星实业有限公司 | 一种铝材用研磨清洗剂 |
| CN108441867A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-08-24 | 广东红日星实业有限公司 | 一种铝材用研磨清洗剂 |
| CN108948701A (zh) * | 2018-07-31 | 2018-12-07 | 合肥浦邦农业科技有限公司 | 一种环保高韧农业地膜及其制备方法 |
| CN109267067A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-01-25 | 上海银木电器制造有限公司 | 一种用于铝及铝合金高光泽度抛光的环保型化学抛光液 |
| CN109759908A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-05-17 | 天津跃峰科技股份有限公司 | 一种精密模具生产加工用抛光方法 |
| US11186749B2 (en) * | 2019-06-14 | 2021-11-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Slurry composition and method of manufacturing integrated circuit device by using the same |
| CN110577800A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-12-17 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石抛光剂及其制备方法 |
| CN110591564A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-12-20 | 昆山纳诺新材料科技有限公司 | 一种湿式cmp镜面抛光液和制备方法 |
| CN111607330A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-01 | 大连理工大学 | 一种剪切增稠抛光液 |
| CN114959713A (zh) * | 2021-02-26 | 2022-08-30 | 上海梅山钢铁股份有限公司 | 一种抑制低碳钢金相样点蚀的缓蚀剂 |
| CN114959713B (zh) * | 2021-02-26 | 2023-10-10 | 上海梅山钢铁股份有限公司 | 一种抑制低碳钢金相样点蚀的缓蚀剂 |
| CN113150696A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-07-23 | 广州凌玮科技股份有限公司 | 一种用于降低硅片表面微划伤的抛光液 |
| CN113150696B (zh) * | 2021-03-01 | 2023-08-22 | 广州凌玮科技股份有限公司 | 一种用于降低硅片表面微划伤的抛光液 |
| CN113843581A (zh) * | 2021-08-12 | 2021-12-28 | 东莞市中质电子科技有限公司 | 一种新能源汽车电池用铜软连接件的制备方法 |
| CN114231182A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-03-25 | 盐城工学院 | 一种易解理氧化镓晶片化学机械抛光工艺、抛光液及其制备方法 |
| CN115091338A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-23 | 中国地质大学（北京） | 通过加入金属氧化物纳米颗粒提高单晶金刚石抛光效率的方法 |
| CN115124927A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-09-30 | 大连理工大学 | 一种碳化硅晶体的绿色化学机械抛光液 |
| CN116144270A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-05-23 | 湖南三安半导体有限责任公司 | 一种抛光液及其制备方法 |
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