CN107852859B - 元件安装机、吸嘴拍摄方法 - Google Patents

Abstract

通过使沿着以预定的旋转轴(C)为中心的圆周轨道(O)隔开中心间距(a)排列的多个吸嘴(40)一体旋转，来变更位于作业位置(Po)的吸嘴(40)。此时，无论变更位于作业位置(Po)的吸嘴(40)的方式如何，向作业位置(Po)移动(靠近)的吸嘴(40)及从作业位置(Po)移动(离开)的吸嘴(40)都在以作业位置(Po)为中心且沿着圆周轨道(O)具有小于中心间距(a)的两倍的宽度的拍摄对象范围(W)内移动。因此，相机(60)对在拍摄对象范围(W)内移动中的吸嘴(40)进行拍摄。在这样的本实施方式中，不需要为了拍摄而额外地使吸嘴(40)暂时停止，其结果是，无论变更位于作业位置(Po)的吸嘴(40)的方式如何，都能够高效地进行吸嘴(40)的拍摄。

Description

元件安装机、吸嘴拍摄方法

技术领域

本发明涉及对于安装头在元件的保持、安装中使用的吸嘴进行拍摄的吸嘴拍摄技术。

背景技术

在专利文献1中，记载有将多个吸嘴以等间距排列成圆周状的元件装配装置。该元件装配装置通过使多个吸嘴向固定方向每次间歇旋转1个间距而使各吸嘴依次位于作业位置，通过作业位置的吸嘴来执行元件安装。而且，相对于作业位置而前后分离1个间距地分别设置先行位置及后行位置，相机对于在先行位置及后行位置中的各个位置停止的吸嘴进行拍摄。通过这样拍摄元件安装的前后各自的吸嘴，在元件安装前确认吸嘴吸附元件的情况，在元件安装后确认元件从吸嘴脱离的情况。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-130014号公报

发明内容

发明要解决的课题

这样，上述的元件装配装置通过使多个吸嘴向固定方向每次间歇旋转1个间距而使多个吸嘴依次位于作业位置。因此，在一个吸嘴在作业位置进行元件安装的期间，接下来在作业位置进行元件安装的吸嘴停止于先行位置。因此，元件安装前的吸嘴的拍摄能够通过拍摄停止于先行位置的吸嘴来执行。而且，在一个吸嘴在作业位置进行元件安装的期间，先前在作业位置结束了元件安装的吸嘴停止于后行位置。因此，元件安装后的吸嘴的拍摄能够通过拍摄停止于后行位置的吸嘴来执行。

另外，位于作业位置的吸嘴的变更除了使多个吸嘴向固定方向每次间歇旋转1个间距的上述方式之外也能够以各种方式适当执行，例如也可以使从位于作业位置的一个吸嘴离开了2个间距以上的吸嘴接下来位于作业位置。但是，在这样变更了作业位置的吸嘴的情况下，在使下一吸嘴向作业位置移动之前，为了吸嘴的拍摄而额外地产生使该吸嘴暂时停止于先行位置或者使结束了元件安装的一个吸嘴暂时停止于后行位置的动作。因此，根据变更位于作业位置的吸嘴的方式的不同，可能无法高效地进行吸嘴的拍摄。

本发明鉴于上述课题而作出，目的在于提供一种无论变更位于作业位置的吸嘴的方式如何都能够高效地进行吸嘴的拍摄的技术。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的元件安装机具备：安装头，能够使沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道至少隔开最小中心间距地排列的多个吸嘴一体旋转，在设于圆周轨道上的预定的作业位置处使吸嘴升降，由此通过吸嘴执行元件的保持及安装中的至少一方的作业；及拍摄部，将圆周轨道包含于拍摄视野，安装头通过使多个吸嘴一体旋转来变更位于作业位置的所述吸嘴，拍摄部对在预定范围内移动中的吸嘴进行拍摄，该预定范围以作业位置为中心且沿着圆周轨道具有小于最小中心间距的两倍的宽度。

为了实现上述目的，本发明的吸嘴拍摄方法包括以下的步骤：通过使安装头的多个吸嘴一体旋转来变更位于预定的作业位置的吸嘴，该安装头具有沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道至少隔开最小中心间距地排列的多个吸嘴，在设于圆周轨道上的作业位置处使吸嘴升降，由此通过吸嘴执行元件的保持及安装中的至少一方的作业；及对在预定范围内移动中的吸嘴进行拍摄，该预定范围以作业位置为中心且沿着圆周轨道具有小于最小中心间距的两倍的宽度。

在这样构成的本发明(元件安装机、吸嘴拍摄方法)中，通过使沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道至少隔开最小中心间距地排列的多个吸嘴一体旋转，来变更位于作业位置的吸嘴。此时，无论变更位于作业位置的吸嘴的方式如何，向作业位置移动(靠近)的吸嘴及从作业位置移动(离开)的吸嘴都在以作业位置为中心且沿着圆周轨道具有小于最小中心间距的2倍的宽度的预定范围内移动。因此，本发明对在该预定范围内移动中的吸嘴进行拍摄。在这样的本发明中，不需要为了拍摄而额外地使吸嘴暂时停止，其结果是，无论变更位于作业位置的吸嘴的方式如何，都能够高效地进行吸嘴的拍摄。

发明效果

根据本发明，无论变更位于作业位置的吸嘴的方式如何，都能够高效地进行吸嘴的拍摄。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的元件安装机的局部俯视图。

图2是表示图1的元件安装机具备的电气结构的框图。

图3是示意性地表示安装头的一例的下端部附近的局部主视图。

图4是示意性地表示图3的安装头的底部的局部俯视图。

图5是示意性地表示拍摄单元的外观的局部立体图。

图6是示意性地表示吸嘴的侧视图拍摄动作的第一例的图。

图7是示意性地表示吸嘴的侧视图拍摄动作的第二例的图。

图8是示意性地表示吸嘴的侧视图拍摄动作的第三例的图。

图9是表示根据吸嘴的旋转方向来设定拍摄位置的控制的一例的流程图。

具体实施方式

图1是示意性地表示本发明的元件安装机的局部俯视图。图2是表示图1的元件安装机具备的电气结构的框图。在两图及以下的图中，适当示出以Z方向为铅垂方向的XYZ正交坐标。如图2所示，元件安装机1具备集中控制装置整体的控制器100。控制器100具有由CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)构成的计算机即运算处理部110及由HDD(Hard Disk Drive)构成的存储部120。此外，控制器100具有对元件安装机1的驱动系统进行控制的驱动控制部130和对后文详述的吸嘴的拍摄进行控制的拍摄控制部140。

并且，运算处理部110按照存储于存储部120的程序来控制驱动控制部130，由此执行程序所规定的元件安装。此时，运算处理部110的拍摄控制部140基于由相机60拍摄到的图像，对元件安装进行控制。而且，在元件安装机1设有显示/操作单元150，运算处理部110将元件安装机1的状况在显示/操作单元150上显示，或者受理向显示/操作单元150输入的来自作业者的指示。

如图1所示，元件安装机1具备设置在基台11上的一对输送器12、12。并且，元件安装机1对于通过输送器12从X方向(基板搬运方向)的上游侧向安装处理位置(图1的基板S的位置)搬入的基板S安装元件，完成了元件安装的基板S由输送器12从安装处理位置向X方向的下游侧搬出。

在元件安装机1中，设有沿Y方向延伸的一对Y轴轨道21、21、沿Y方向延伸的Y轴滚珠丝杠22、驱动Y轴滚珠丝杠22旋转的Y轴电动机My，头支撑部件23以能够沿Y方向移动地支撑于一对Y轴轨道21、21的状态固定于Y轴滚珠丝杠22的螺母。在头支撑部件23安装有沿X方向延伸的X轴滚珠丝杠24和驱动X轴滚珠丝杠24旋转的X轴电动机Mx，头单元3以能够沿X方向移动地支撑于头支撑部件23的状态固定于X轴滚珠丝杠24的螺母。因此，驱动控制部130通过Y轴电动机My使Y轴滚珠丝杠22旋转而能够使头单元3沿Y方向移动，或者通过X轴电动机Mx使X轴滚珠丝杠24旋转而能够使头单元3沿X方向移动。

在一对输送器12、12的Y方向的两侧分别沿X方向排列有2个元件供给部28。多个带式供料器281沿X方向排列而以能够拆装的方式装配于各元件供给部28，在各带式供料器281配置有带盘，该带盘卷绕有隔开预定间隔地收纳了集成电路、晶体管、电容器等小片状的元件(芯片电子元件)的带。并且，带式供料器281通过将带向头单元3侧间歇地送出来供给带内的元件。

头单元3沿X方向具有以直线状排列的多个(4个)安装头4。各安装头4通过安装于下端的吸嘴40(图3)，进行元件的吸附、安装。即，安装头4移动到带式供料器281的上方，吸附由带式供料器281供给的元件。具体而言，安装头4使吸嘴40下降至与元件抵接之后使吸嘴40内产生负压并使吸嘴40上升，由此吸附元件。接下来，安装头4移动到安装处理位置的基板S的上方而向基板S安装元件。具体而言，安装头4使吸嘴40下降至元件与基板S抵接之后使吸嘴40内产生大气压或正压，由此安装元件。

图3是示意性地表示安装头的一例的下端部附近的局部主视图。图4是示意性地表示图3的安装头的底部的局部俯视图。如图3及图4所示，各安装头4是多个吸嘴40以圆周状排列的旋转头。接下来，并用图3及图4来说明安装头4的结构。需要说明的是，4个安装头4的结构相同，因此这里对1个安装头4进行说明。

安装头4具有沿Z方向(铅垂方向)延伸的主轴41和在主轴41的下端支撑的吸嘴支架42。吸嘴支架42以能够沿着以与Z方向平行的旋转轴C(假想轴)为中心的旋转方向R旋转的方式被支撑，受到在安装头4的上端部设置的R轴电动机Mr(图2)的驱动力而旋转。而且，吸嘴支架42对于呈以旋转轴C为中心的圆周状隔开等角度θi地排列的多个(8根)升降轴43进行支撑。

各升降轴43以能够升降的方式被支撑，由未图示的施力部件向上方施力。在各升降轴43的下端装配有能够拆装的吸嘴40。由此，吸嘴支架42对于呈以旋转轴C为中心的圆周状隔开等角度θi地排列的多个吸嘴40进行支撑。因此，当驱动控制部130向R轴电动机Mr输出旋转指令时，与接受来自R轴电动机Mr的驱动力而旋转的吸嘴支架42相伴，多个吸嘴40一体地沿着以旋转轴C为中心的圆周轨道O旋转。

这样，在安装头4中，8个吸嘴40绕着旋转轴C相互隔开相等的旋转角度θi地排列，换言之，8个吸嘴40沿着圆周轨道O相互隔开相等的中心间距a地排列。在此，吸嘴40的中心可以由例如通过吸嘴40进行元件的吸附的开口的俯视观察下的几何重心的铅垂线来代表。而且，为了调整吸附的元件的旋转角度，吸嘴40通常能够自转。因此，吸嘴40的中心可以取代通过开口的几何重心的铅垂线而由吸嘴40的自转中心线来代表。并且，中心间距a可以由相邻的2个吸嘴40各自的中心间的沿圆周轨道O的距离来代表，相当于具有从旋转轴C至吸嘴40的半径r(圆周轨道O的半径)并以角度θi为中心角的圆弧的长度。

而且，主轴41在多个升降轴43的上方支撑吸嘴升降机构44。吸嘴升降机构44具有以旋转轴C为中心隔开180度角度地配置的2个按压部件441。各按压部件441接受内置于吸嘴升降机构44的Z轴电动机Mz(图2)的驱动力，相互独立地升降。因此，当驱动控制部130向Z轴电动机Mz输出下降指令时，接受来自Z轴电动机Mz的驱动力而使按压部件441下降。由此，按压部件441使多个升降轴43中的位于正下方的一个升降轴43克服作用于该升降轴43的作用力而下降，使吸嘴40下降至进行元件的吸附或安装的下降位置Zd。另一方面，当驱动控制部130向Z轴电动机Mz输出上升指令时，接受来自Z轴电动机Mz的驱动力而使按压部件441上升。由此，由按压部件441压下的一个升降轴43与吸嘴40一起按照作用力而上升，吸嘴40上升至上升位置Zu。需要说明的是，在图3中，对于吸嘴40的下端分别表示下降位置Zd及上升位置Zu。

在这样的安装头4中，按压部件441的正下方成为吸嘴40进行元件的吸附、安装的作业位置Po。即，对应于上述的2个按压部件441的配置，在安装头4中，2个作业位置Po、Po以旋转轴C为中心隔开180度角度地设置。另一方面，如图4所示，在吸嘴支架42中，以旋转轴C为中心隔开180度的间隔地配置的2个吸嘴40(隔着旋转轴C而相互位于相反侧的2个吸嘴40)的对(吸嘴对)设置有4对，2×4(＝8)个吸嘴40沿着圆周轨道O排列。这样成对的2个吸嘴40满足当一方的吸嘴40位于一方的作业位置Po的同时另一方的吸嘴40能够位于另一方的作业位置Po的配置关系。因此，驱动控制部130通过R轴电动机Mr调整多个吸嘴40的旋转角度，由此能够使4个吸嘴对中的任意1个吸嘴对的2个吸嘴40、40分别位于作业位置Po、Po，而用于元件的吸附、安装。

例如，在作业位置Po处吸附元件的情况下，使安装头4向元件供给部28的上方移动而将作业位置Po定位在带式供料器281的正上方。在该状态下，未吸附元件的吸嘴40在旋转方向R上停止于作业位置Po，并在Z方向上从上升位置Zu向下降位置Zd下降。并且，在吸嘴40与由带式供料器281供给的元件相接的定时向吸嘴40施加负压，从带式供料器281向吸嘴40吸附元件。接下来，使吸附有元件的吸嘴40在Z方向上从下降位置Zd上升至上升位置Zu。

或者在作业位置Po处安装元件的情况下，使安装头4向基板S的上方移动而将作业位置Po定位在基板S的安装对象部位的正上方。在该状态下，使吸附元件的吸嘴40在旋转方向R上停止于作业位置Po，并在Z方向上从上升位置Zu下降至下降位置Zd。并且，在元件与基板S相接的定时向吸嘴40施加大气压或正压，从吸嘴40向基板S安装元件。接下来，使元件脱离后的吸嘴40在Z方向上从下降位置Zd上升至上升位置Zu。

另外，在安装头4的主轴41的下端安装有圆柱形状的光扩散部件5，多个吸嘴40以包围光扩散部件5的方式排列。该光扩散部件5具有与例如日本特开2012-238726号公报记载的扩散部件同样的结构，用于后文详述的拍摄单元6(图5、图6)对吸嘴40的侧视图拍摄。

即，在元件安装机1中，在Z方向上移动到上升位置Zu的高度且在旋转方向R上在作业位置Po的前或后通过的吸嘴40的侧视图(从X方向观察时的吸嘴40的侧面)由拍摄单元6(图5)的相机60拍摄。接下来，并用图5，说明拍摄单元6的结构。

图5是示意性地表示拍摄单元的外观的局部立体图。需要说明的是，在图5中，为了表示与安装头4的关系而局部性地表示安装头4的结构。拍摄单元6具备的壳体61具有沿X方向延伸设置的主体部611和从主体部611的X方向的两端沿Y方向突出的2个吸嘴相向部612、612，在各吸嘴相向部612内置有相机60(图2)。并且，拍摄单元6以通过2个吸嘴相向部612、612在X方向上隔着多个吸嘴40的方式配置，并固定于安装头4的主轴41。这样，拍摄单元6与安装头4一体地构成，能够伴随着安装头4移动。

在各吸嘴相向部612的内侧壁设有在X方向上与安装头4的作业位置Po相向的窗62。并且，各相机60隔着窗62而在X方向上与作业位置Po相向，沿X方向拍摄作业位置Po的附近的图像。需要说明的是，如上所述，伴随着按压部件441的升降而吸嘴40在上升位置Zu与下降位置Zd之间升降。相对于此，各窗62设置于上升位置Zu的高度，各相机60沿X方向(水平方向)拍摄上升位置Zu处的作业位置Po的附近的图像。

此外，在各吸嘴相向部612的内侧壁设有照明65。各照明65由在窗62的两侧以矩阵状排列的多个LED(Light Emitting Diode)构成，向作业位置Po照射光。这样，设置与各窗62隔着安装头4及光扩散部件5分别相向的照明65，各相机60拍摄通过从照明65射出且由光扩散部件5扩散后的光而从背面照射的作业位置Po的剪影图像。

该元件安装机1通过相机60拍摄通过在旋转方向R上的作业位置Po的前后分别设置的拍摄位置的吸嘴40的侧视图(从X方向观察到的吸嘴40的侧面)，在后文详细叙述。并且，运算处理部110基于吸嘴40的侧视图图像，例如如下控制吸嘴40对元件的吸附、安装。

在吸附元件的情况下，拍摄在吸附元件的前后的各定时位于上升位置Zu的吸嘴40的侧视图。并且，在元件吸附前的侧视图图像中吸嘴40附着有异物的情况下，中止元件吸附。而且，在为了元件吸附而使吸嘴40下降到下降位置Zd之后的侧视图图像中如果吸嘴40的下端没有元件，则判断为元件吸附失败，再次执行元件吸附。此外，吸嘴40所吸附的元件的厚度、姿势也基于吸嘴40的侧视图图像适当判断。

在安装元件的情况下，拍摄在安装元件的前后的各定时位于上升位置Zu的吸嘴40的侧视图。并且，在元件安装前的侧视图图像中如果吸嘴40的下端没有元件，则判断为元件从吸嘴40脱落，中止元件安装。而且，在为了元件安装而使吸嘴40下降至下降位置Zd之后的侧视图图像中如果吸嘴40的下端残留有元件，则判断为元件安装失败，再次执行元件安装。

接下来，说明拍摄单元6对吸嘴40的侧视图拍摄动作的具体例。需要说明的是，由于拍摄单元6具备的2台相机60分别执行的拍摄动作类似，因此这里对1台相机60的拍摄动作进行说明。而且，相机60拍摄执行元件的吸附及安装中的至少一方的作业时的吸嘴40。但是，由于在元件吸附时及元件安装时分别执行的拍摄动作类似，因此这里基本上不区分作业内容进行说明，并根据需要而明示具体的作业内容。

图6是示意性地表示吸嘴的侧视图拍摄动作的第一例的图。图6的例子表示通过使多个吸嘴40逆时针地每次间歇旋转中心间距a而使位于作业位置Po的吸嘴40变更并使作业位置Po的吸嘴40执行作业的情况。需要说明的是，在该图中，按照时序的顺序表示时刻T11～T15的动作，尤其是在“侧面”一栏中局部性地表示从X方向观察到的吸嘴40，在“平面”一栏中局部性地表示从Z方向的上侧观察到的吸嘴40。而且，为了区分8个吸嘴40，将小写字母a～h以顺时针的顺序标注于8个吸嘴40，并利用实线表示拍摄对象的吸嘴40，利用虚线表示除此以外的吸嘴40。但是，关于不是拍摄对象的吸嘴40，仅表示一部分。

如该图所示，相机60的拍摄视野V包括圆周轨道O上的作业位置Po，能够拍摄在预定的拍摄对象范围W内移动中的吸嘴40。该拍摄对象范围W以作业位置Po为中心、且沿着圆周轨道O具有小于中心间距a的2倍的宽度。而且，对相机60进行控制的拍摄控制部140在拍摄对象范围W内设定作业前拍摄位置Pb和作业后拍摄位置Pa。即，在逆时针地间歇旋转的吸嘴40的旋转方向Ra上，在比作业位置Po靠上游侧的位置设定作业前拍摄位置Pb，在比作业前拍摄位置Pb靠下游侧的位置设定作业后拍摄位置Pa。

此时，在相机60的拍摄视野V中，光扩散部件5以从背面与作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa双方重复的方式沿旋转方向R延伸设置，从照明65射出而由光扩散部件5扩散后的光从背面(即，相机60的相反侧)照射作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa。因此，相机60能够拍摄在作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa通过的吸嘴40的剪影图像。

此时，控制器100基于R轴电动机Mr的编码器信号等，当检测到拍摄对象的吸嘴40到达预定位置(例如作业前拍摄位置Pb或作业后拍摄位置Pa)或即将到达该预定位置之前时，向相机60及照明65输出拍摄指令。接受该拍摄指令，相机60开始曝光并且照明65开始光的照射。而且，为了抑制由于对移动中的吸嘴40进行拍摄而导致拍摄图像模糊，吸嘴40的拍摄瞬时地进行。具体而言，将相机60的曝光时间设为一瞬间，照明65的点亮时间也对应于相机60的曝光时间而设为一瞬间。

在定时T11，吸嘴40a在作业位置Po执行作业。在此期间，接下来执行作业的吸嘴40h停止于在旋转方向Ra上距作业位置Po的距离为中心间距a的上游侧的位置，与作业位置Po的吸嘴40a相邻。在作业位置Po处吸嘴40a的作业完成时，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra开始旋转。

并且，对应于吸嘴40h到达作业前拍摄位置Pb的定时T12而相机60工作，正通过作业前拍摄位置Pb的吸嘴40h由相机60拍摄。拍摄控制部140将这样得到的吸嘴40的图像数据与表示作业前拍摄位置Pb的标识符建立关联地存储于存储部120。

在定时T13，当吸嘴40h到达作业位置Po时，8个吸嘴40a～40h停止向旋转方向Ra旋转。这样，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra间歇旋转中心间距a，位于作业位置Po的吸嘴40从吸嘴40a变更为与该吸嘴40a相邻的吸嘴40h，吸嘴40h在作业位置Po处执行作业。在作业位置Po处当吸嘴40h的作业完成时，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra开始旋转。

并且，对应于吸嘴40h到达作业后拍摄位置Pa的定时T14而相机60工作，正通过作业后拍摄位置Pa的吸嘴40h由相机60拍摄。拍摄控制部140将这样得到的吸嘴40的图像数据与表示作业后拍摄位置Pa的标识符建立关联地存储于存储部120。

在定时T15，当吸嘴40g到达作业位置Po时，8个吸嘴40a～40h停止向旋转方向Ra旋转。这样，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra间歇旋转中心间距a，位于作业位置Po的吸嘴40从吸嘴40h变更为与该吸嘴40h相邻的吸嘴40g，吸嘴40g在作业位置Po处执行作业。

通过反复进行以上的动作，8个吸嘴40a～40h分别在作业位置Po处依次执行作业。即，安装头4使8个吸嘴40a～40h中的一个吸嘴40位于作业位置Po而通过一个吸嘴40执行作业，接下来使在圆周轨道O上与一个吸嘴40相邻的下一吸嘴40位于作业位置Po而通过下一吸嘴40执行作业。

并且，在执行元件的吸附及元件的安装双方时，执行图6的拍摄动作。尤其是通过拍摄为了元件安装而向作业位置Po移动中的吸嘴40，能够确认由于为了元件安装而吸嘴40向作业位置Po开始移动时发挥作用的惯性力而使元件从作业位置Po脱落的错误。

另外，基于吸嘴40的拍摄图像来确认在作业位置Po处进行了元件安装的吸嘴40上有无附着元件，由此执行作业位置Po处的元件安装的成败的判断。但是，在使在作业位置Po处进行了元件安装的吸嘴40停止之后拍摄吸嘴40的结构中，例如即使作业位置Po处的元件安装失败而在吸嘴40附着有元件，在吸嘴40即将停止之前等而元件从吸嘴40脱落的情况下，也会误判断为元件安装成功，因此元件安装的成败判断的可靠性低。相对于此，在上例中，在作业位置Po处进行了元件安装的吸嘴40在停止于下一停止位置之前在作业后拍摄位置Pa处被拍摄。因此，通过在作业后拍摄位置Pa处的拍摄图像中确认吸嘴40上有无附着元件，能够以比较高的可靠性执行元件安装的成败判断。

另外，基于吸嘴40的拍摄图像来确认在作业位置Po处进行了元件吸附的吸嘴40上吸附的元件的有无，由此执行作业位置Po处的元件吸附的成败的判断。此时，在使在作业位置Po处进行了元件吸附的吸嘴40停止之后拍摄吸嘴40的结构中，例如即使作业位置Po处的元件吸附成功，在吸嘴40即将停止之前等而元件从吸嘴40脱落的情况下，也判断为元件吸附失败。因此，难以判断在拍摄图像中吸嘴40所吸附的元件消失的原因是由于元件吸附的失败还是由于元件从移动中的吸嘴40脱落。相对于此，在上例中，在作业位置Po处进行了元件吸附的吸嘴40在停止于下一停止位置之前在作业后拍摄位置Pa处被拍摄。因此，通过在作业后拍摄位置Pa处的拍摄图像中确认吸嘴40所吸附的元件的有无，能够以比较高的准确度执行元件吸附的成败判断。

顺便提及，作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa的设定根据执行元件吸附及元件安装中的哪一个而变化。即，在元件吸附时，以旋转轴C为中心的作业前拍摄位置Pb相对于作业位置Po的角度U等于以旋转轴C为中心的作业后拍摄位置Pa相对于作业位置Po的角度D，换言之，作业前拍摄位置Pb与作业位置Po之间的距离等于作业后拍摄位置Pa与作业位置Po之间的距离。

另一方面，在元件安装时，以旋转轴C为中心的作业前拍摄位置Pb相对于作业位置Po的角度U大于以旋转轴C为中心的作业后拍摄位置Pa相对于作业位置Po的角度D，换言之，作业前拍摄位置Pb与作业位置Po之间的距离比作业后拍摄位置Pa与作业位置Po之间的距离长。在上述结构中，由于作业前拍摄位置Pb与作业位置Po之间的距离设定得长，因此能够确保在作业前拍摄位置Pb处的拍摄中确认到元件的脱落的吸嘴40到达作业位置Po为止的时间。其结果是，运算处理部110能够执行在该确保的时间的期间内完成元件安装的停止所需的处理来防止未保持元件的吸嘴40在作业位置Po处下降而与基板S接触这样的控制。

另外，在图6的例子中，通过使8个吸嘴40向固定方向每次间歇旋转中心间距a来变更位于作业位置Po的吸嘴40。此外，在元件吸附时，作业前拍摄位置Pb和作业后拍摄位置Pa设定为距作业位置Po相等的距离。因此，作业位置Po处的吸附结束的一个吸嘴40通过作业后拍摄位置Pa的定时与在作业位置Po处接下来进行吸附的下一吸嘴40通过作业前拍摄位置Pb的定时相等，例如在图6的定时T14，同时产生吸嘴40h的作业后拍摄位置Pa的通过和吸嘴40g的作业前拍摄位置Pb的通过。因此，相机60对于分别同时通过作业前拍摄位置Pb和作业后拍摄位置Pa的2个吸嘴40同时进行拍摄，由此高效地执行吸嘴40的拍摄。

图7是示意性地表示吸嘴的侧视图拍摄动作的第二例的图。图7的例子示出使多个吸嘴40逆时针地间歇旋转了中心间距a的2倍之后、使多个吸嘴40逆时针地间歇旋转中心间距a、由此将位于作业位置Po的吸嘴40按照吸嘴40a、40g、40f的顺序变更并使这些吸嘴40a、40g、40f执行作业的情况。在此，以与图6的第一例的差异为中心进行说明，关于与第一例的共同点适当省略说明。需要说明的是，图7的标记与图6的标记相同。

在定时T21，吸嘴40a在作业位置Po处执行作业。在此期间，接下来执行作业的吸嘴40g停止于在旋转方向Ra上距作业位置Po的距离为中心间距a的2倍的上游侧的位置。在作业位置Po处当吸嘴40a的作业完成时，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra开始旋转。

并且，对应于吸嘴40g到达作业前拍摄位置Pb的定时T22而相机60工作，正通过作业前拍摄位置Pb的吸嘴40g由相机60拍摄。拍摄控制部140将这样得到的吸嘴40的图像数据与表示作业前拍摄位置Pb的标识符建立关联地存储于存储部120。

在定时T23，当吸嘴40g到达作业位置Po时，8个吸嘴40a～40h停止向旋转方向Ra旋转。这样，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra间歇旋转中心间距a的2倍，位于作业位置Po的吸嘴40从吸嘴40a变更为吸嘴40g，吸嘴40g在作业位置Po处执行作业。在作业位置Po处当吸嘴40g的作业完成时，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra开始旋转。

并且，对应于吸嘴40g到达作业后拍摄位置Pa的定时T24而相机60工作，正通过作业后拍摄位置Pa的吸嘴40g由相机60拍摄。拍摄控制部140将这样得到的吸嘴40的图像数据与表示作业后拍摄位置Pa的标识符建立关联地存储于存储部120。

在定时T25，当吸嘴40f到达作业位置Po时，8个吸嘴40a～40h停止向旋转方向Ra旋转。这样，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra间歇旋转中心间距a，位于作业位置Po的吸嘴40从吸嘴40g变更为吸嘴40f，吸嘴40f在作业位置Po处执行作业。

顺便提一下，在此关注于吸嘴40g的拍摄进行了说明。但是，在定时T21～T23期间执行的间歇旋转期间，在定时T21在作业位置Po处执行了作业的吸嘴40a通过作业后拍摄位置Pa。因此，相机60也一并进行结束作业而正通过作业后拍摄位置Pa的吸嘴40a的拍摄。即，在为了使接下来在作业位置Po处进行作业的吸嘴40g向作业位置Po移动而执行的间歇旋转期间，执行作业前拍摄位置Pb处的吸嘴40g的拍摄和作业后拍摄位置Pa处的吸嘴40a的拍摄。这样，在1次间歇旋转中，能够拍摄作业前的吸嘴40和作业后的吸嘴40。

并且，在执行元件的吸附及元件的安装双方时，执行图7的拍摄动作。但是，与图6所示的第一例同样，在图7的第二例中，也是作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa的设定根据执行元件吸附及元件安装中的哪一个而变化。即，通过将作业前拍摄位置Pb与作业位置Po之间的距离设定得长，能确保在作业前拍摄位置Pb处的拍摄中确认到元件的脱落的吸嘴40到达作业位置Po为止的时间。其结果是，运算处理部110能够执行在该确保的时间的期间内完成元件安装的停止所需的处理来防止未保持元件的吸嘴40在作业位置Po处下降而与基板S接触这样的控制。

图8是示意性地表示吸嘴的侧视图拍摄动作的第三例的图。与上述的第一例及第二例不同，在该第三例中，使吸嘴40间歇旋转的方向在中途从逆时针反转成顺时针。即，使多个吸嘴40逆时针地间歇旋转了中心间距a的2倍之后，使多个吸嘴40顺时针地间歇旋转中心间距a，由此将位于作业位置Po的吸嘴40按照吸嘴40a、40g、40h的顺序变更并使这些吸嘴40a、40g、40h执行作业。在此，以与图7的第二例的差异为中心进行说明，关于与第二例的共同点适当省略说明。需要说明的是，图8的标记与图6的标记相同。

在定时T31，吸嘴40a在作业位置Po处执行作业。在此期间，接下来执行作业的吸嘴40g停止于在旋转方向Ra上距作业位置Po的距离为中心间距a的2倍的上游侧的位置。在作业位置Po处当吸嘴40a的作业完成时，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra开始旋转。

对应于该旋转开始，拍摄控制部140确认吸嘴40的旋转方向，并根据确认到的旋转方向来设定用于拍摄作业执行前的吸嘴40g的作业前拍摄位置Pb。在此，在逆时针旋转的吸嘴40的旋转方向Ra上，在作业位置Po的上游侧(图8的左侧)设定作业前拍摄位置Pb。并且，对应于吸嘴40g到达作业前拍摄位置Pb的定时T32而相机60工作，正通过作业前拍摄位置Pb的吸嘴40g由相机60拍摄。

在定时T33，当吸嘴40g到达作业位置Po时，8个吸嘴40a～40h停止向旋转方向Ra旋转。这样，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Ra间歇旋转中心间距a的2倍，位于作业位置Po的吸嘴40从吸嘴40a变更为吸嘴40g，吸嘴40g在作业位置Po处执行作业。在作业位置Po处当吸嘴40g的作业完成时，8个吸嘴40a～40h向与旋转方向Ra相反的旋转方向Rc开始旋转。

对应于该旋转开始，拍摄控制部140确认吸嘴40的旋转方向，并根据确认到的旋转方向来设定用于拍摄作业执行后的吸嘴40g的作业后拍摄位置Pa。在此，在顺时针旋转的吸嘴40的旋转方向Rc上，在作业位置Po的下游侧(图8的左侧)设定作业后拍摄位置Pa。并且，对应于吸嘴40g到达作业后拍摄位置Pa的定时T34而相机60工作，正通过作业后拍摄位置Pa的吸嘴40g由相机60拍摄。

在定时T35，当吸嘴40h到达作业位置Po时，8个吸嘴40a～40h停止向旋转方向Rc旋转。这样，8个吸嘴40a～40h向旋转方向Rc间歇旋转中心间距a，位于作业位置Po的吸嘴40从吸嘴40g变更为吸嘴40h，吸嘴40h在作业位置Po处执行作业。

并且，在执行元件的吸附及元件的安装双方时，执行图8的拍摄动作。但是，与图6所示的第一例同样，在图8的第三例中，也是作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa的设定根据执行元件吸附及元件安装中的哪一个而变化。

这样，在图8的第三例中，根据吸嘴40的旋转方向来设定作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa。上述设定控制例如能够按照图9的流程图执行。在此，图9是表示根据吸嘴的旋转方向来设定拍摄位置的控制的一例的流程图。运算处理部110按照存储于驱动控制部130的程序来执行该图的流程图。

在步骤S101中，判断位于作业位置Po的吸嘴40是否完成了作业。当作业位置Po处的作业完成时(在步骤S101中为“是”)，确认伴随着作业完成而开始的吸嘴40的旋转的方向为旋转方向Ra、Rc中的哪个(步骤S102)。接下来，确认拍摄对象的吸嘴40是作业前还是作业后(步骤S103)。即，对于在步骤S101中结束了作业的吸嘴40的接下来在作业位置Po处进行作业的吸嘴40的拍摄，判断为拍摄对象的吸嘴40为作业前(步骤S103中为“作业前”)，进入步骤S104。并且，在步骤S104中，在旋转方向R上，在作业位置Po的上游侧设定作业前拍摄位置Pb。由此，拍摄作业位置Po处的作业前的吸嘴40。另一方面，对于在步骤S101中在作业位置Po处结束了作业的吸嘴40的拍摄，判断为拍摄对象的吸嘴40为作业后(在步骤S103中为“作业后”)，进入步骤S105。并且，在步骤S105中，在旋转方向R上，在作业位置Po的下游侧设定作业后拍摄位置Pa。在对于步骤S101之后开始的间歇旋转期间应拍摄的全部吸嘴40设定拍摄位置之前反复执行该图9的流程图。

如以上说明所述，在本实施方式中，通过使沿着以预定的旋转轴C为中心的圆周轨道O隔开中心间距a地排列的多个吸嘴40一体旋转，来变更位于作业位置Po的吸嘴40。此时，无论变更位于作业位置Po的吸嘴40的方式如何，向作业位置Po移动(靠近)的吸嘴40及从作业位置Po移动(离开)的吸嘴40都在以作业位置Po为中心且沿着圆周轨道O具有小于中心间距a的2倍的宽度的拍摄对象范围W内移动。因此，相机60拍摄在拍摄对象范围W内移动中的吸嘴40。在这样的本实施方式中，不需要为了拍摄而额外地使吸嘴40暂时停止，其结果是，无论变更位于作业位置Po的吸嘴40的方式如何，都能够高效地进行吸嘴40的拍摄。

尤其是吸嘴40的拍摄位置Pa、Pb距作业位置Po小于吸嘴40的中心间距a，与作业位置Po接近。因此，具有如下的优点：在作业前拍摄位置Pb处拍摄时能够拍摄即将进行作业之前的吸嘴40，在作业后拍摄位置Pa处拍摄时能够拍摄刚进行作业之后的吸嘴40。

另外，拍摄控制部140基于对作为拍摄对象的吸嘴40的移动是沿着顺时针方向还是沿着逆时针方向进行判断所得到的结果来设定作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa。由此，能够根据拍摄对象的吸嘴40移动的朝向来适当地设定作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa。

另外，存储部120对拍摄作业前拍摄位置Pb的吸嘴40而得到的图像数据和拍摄作业后拍摄位置Pa的吸嘴40而得到的图像数据进行识别并存储。在上述结构中，具有能够简单地判断存储于存储部120的图像数据表示作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa中的哪一个位置的吸嘴40的优点。

另外，相机60将作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa双方包含于一个拍摄视野V内。由此，与对于作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa分别设置拍摄视野V的情况相比，能够比较简单地构成相机60。

这样，在本实施方式中，元件安装机1相当于本发明的“元件安装机”的一例，安装头4相当于本发明的“安装头”的一例，吸嘴40相当于本发明的“吸嘴”的一例，拍摄控制部140与拍摄单元6协作而作为本发明的“拍摄部”的一例发挥功能，拍摄视野V相当于本发明的“拍摄视野”的一例，旋转轴C相当于本发明的“旋转轴”的一例，圆周轨道O相当于本发明的“圆周轨道”的一例，中心间距a相当于本发明的“最小中心间距”的一例，作业位置Po相当于本发明的“作业位置”的一例，作业前拍摄位置Pb相当于本发明的“作业前拍摄位置”的一例，作业后拍摄位置Pa相当于本发明的“作业后拍摄位置”的一例，拍摄对象范围W相当于本发明的“预定范围”的一例，存储部120相当于本发明的“存储部”的一例。

需要说明的是，本发明没有限定为上述实施方式，只要不脱离其主旨，就能够对上述的方式施加各种变更。因此，例如在上述实施方式中，多个吸嘴40沿圆周轨道O隔开相等的中心间距a地排列。然而，多个吸嘴40排列的中心间距a不需要相等，也可以不同。在这种情况下，不同的中心间距a中的最小的中心间距a相当于本发明的“最小中心间距”。

另外，在上述实施方式中，使用8个吸嘴40沿圆周轨道O排列的安装头4进行了说明。然而，安装头4具有的吸嘴40的个数并不局限于8个，也可以少于8个或多于8个。因此，可以使用具有2个以上的偶数个吸嘴40的安装头4、具有3个以上的奇数个吸嘴40的安装头4。

另外，在上述实施方式中，作为吸嘴40的侧视图拍摄动作的具体方式，使用图6～图8并示出了第一例～第三例的方式。此时，在安装头4具备的8个吸嘴40的作业完成时，可以仅执行上述的第一例～第三例中的任一个，也可以将第一例～第三例适当组合来执行。此外，吸嘴40的侧视图拍摄动作的具体方式并不局限于上述的例子，能够以各种方式执行吸嘴40的侧视图拍摄动作。

另外，虽然利用1台相机60拍摄了作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa，但是也可以对于作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa分别设置相机60。在这种情况下，可以将各相机60配置成，各相机60与对应的拍摄位置Pb、Pa正对(即，相机60的光轴与吸嘴支架42的旋转轴C正交)。在这样的结构中，在从对应的作业前拍摄位置Pb及作业后拍摄位置Pa的背面向各相机60照射光时，光扩散部件5只要沿旋转方向R具有相当于1个吸嘴40的宽度即可。

另外，安装头4具备两处作业位置Po，但是对于具备单一的作业位置Po的安装头4也可以适用本发明。

以上，如例示地说明了具体的实施方式那样，在本发明中，元件安装机可以构成为，例如，拍摄部对在作业位置处执行作业之前向作业位置移动中的吸嘴及在作业位置处执行了作业之后从作业位置移动中的吸嘴中的至少一方进行拍摄。即，在本发明中，吸嘴的拍摄位置距作业位置小于最小中心间距，并接近作业位置，因此具有在前者的情况下能够拍摄即将进行作业之前的吸嘴、在后者的情况下能够拍摄刚进行作业之后的吸嘴的优点。

另外，元件安装机可以构成为，拍摄部在预定范围内且在吸嘴的移动方向上比作业位置靠上游侧的位置设定作业前拍摄位置，对在执行作业前通过作业前拍摄位置的吸嘴进行拍摄。在上述结构中，能够拍摄通过在作业位置的附近设定的作业前拍摄位置的即将进行作业之前的吸嘴。

另外，元件安装机可以构成为，多个吸嘴能够沿着以旋转轴为中心的顺时针方向及逆时针方向这两个方向移动，拍摄部基于对作为拍摄对象的吸嘴的移动是沿着顺时针方向还是沿着逆时针方向进行判断所得到的结果来设定作业前拍摄位置。由此，能够根据拍摄对象的吸嘴移动的朝向适当地设定作业前拍摄位置。

另外，元件安装机可以构成为，拍摄部对在作业位置处执行元件的安装之前的吸嘴进行拍摄。即，本发明拍摄为了元件安装而向作业位置移动中的吸嘴，因此适合于确认由于为了元件安装而吸嘴向作业位置开始移动时发挥作用的惯性力而使元件从吸嘴脱落的错误。

另外，元件安装机可以构成为，拍摄部在预定范围内且在吸嘴的移动方向上比作业位置靠下游侧的位置设定作业后拍摄位置，对在执行作业后通过作业后拍摄位置的吸嘴进行拍摄。在上述结构中，能够拍摄通过在作业位置的附近设定的作业后拍摄位置的刚进行作业之后的吸嘴。

另外，元件安装机可以构成为，多个吸嘴能够沿着以旋转轴为中心的顺时针方向及逆时针方向这两个方向移动，拍摄部基于对作为拍摄对象的吸嘴的移动是沿着顺时针方向还是沿着逆时针方向进行判断所得到的结果来设定作业后拍摄位置。由此，能够对应于拍摄对象的吸嘴移动的朝向而适当地设定作业后拍摄位置。

另外，元件安装机可以构成为，拍摄部在预定范围内且在吸嘴方向的移动方向上比作业位置靠上游侧的位置设定作业前拍摄位置，对在执行作业前通过作业前拍摄位置的吸嘴进行拍摄，并且，在预定范围内且在吸嘴的移动方向上比作业位置靠下游侧的位置设定作业后拍摄位置，对在执行作业后通过作业后拍摄位置的吸嘴进行拍摄。能够拍摄通过在作业位置的附近设定的作业前拍摄位置及作业后拍摄位置的即将进行作业之前及刚进行作业之后各自的吸嘴。

另外，元件安装机可以构成为，拍摄部对执行元件的安装作为作业的吸嘴进行拍摄，以在圆周轨道上作业前拍摄位置与作业位置之间的距离比作业后拍摄位置与作业位置之间的距离长的方式设定作业前拍摄位置及作业后拍摄位置。在上述结构中，由于作业前拍摄位置与作业位置之间的距离设定得长，因此能够确保在作业前拍摄位置处的拍摄中确认到元件的脱落的吸嘴到达作业位置为止的时间。其结果是，能够执行在该确保的时间的期间内完成元件安装的停止所需的处理来防止未保持元件的吸嘴在作业位置处下降而与基板接触这样的控制。

另外，元件安装机可以构成为，拍摄部对执行元件的保持作为作业的吸嘴进行拍摄，以在圆周轨道上作业前拍摄位置与作业位置之间的距离等于作业后拍摄位置与作业位置之间的距离的方式设定作业前拍摄位置及作业后拍摄位置。

另外，元件安装机可以构成为，安装头使多个吸嘴中的一个吸嘴位于作业位置而通过一个吸嘴执行作业，接下来使在圆周轨道上与一个吸嘴相邻的下一吸嘴位于作业位置而通过下一吸嘴执行作业，拍摄部同时执行对于在执行作业后通过作业后拍摄位置的一个吸嘴的拍摄和对于在执行作业前通过作业前拍摄位置的下一吸嘴的拍摄。在上述结构中，由于同时拍摄一个吸嘴和下一吸嘴，因此能够高效地执行上述的拍摄。

另外，元件安装机可以构成为，还具备存储部，该存储部存储拍摄部所拍摄的吸嘴的图像数据，存储部对拍摄作业前拍摄位置的吸嘴而得到的图像数据和拍摄作业后拍摄位置的吸嘴而得到的图像数据进行识别并存储。在上述结构中，具有能够简单地判断存储于存储部的图像数据表示作业前拍摄位置及作业后拍摄位置中的哪一个位置的吸嘴这样的优点。

另外，元件安装机可以构成为，拍摄部将作业前拍摄位置及作业后拍摄位置双方包含于一个拍摄视野内。由此，与对于作业前拍摄位置及作业后拍摄位置分别设置拍摄视野的情况相比，能够比较简单地构成拍摄部。

附图标记说明

1…元件安装机

4…安装头

40…吸嘴

6…拍摄单元(拍摄部)

120…存储部

140…拍摄控制部(拍摄部)

C…旋转轴

O…圆周轨道

a…中心间距

Po…作业位置

Pb…作业前拍摄位置

Pa…作业后拍摄位置

V…拍摄视野

W…拍摄对象范围

Claims (19)

1.一种元件安装机，具备：

安装头，能够使沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道至少隔开最小中心间距地排列的多个吸嘴一体旋转，在设于所述圆周轨道上的预定的作业位置处使所述吸嘴升降，由此通过所述吸嘴执行元件的保持及安装中的至少一方的作业；及

拍摄部，将所述圆周轨道包含于拍摄视野，

所述安装头通过使所述多个吸嘴一体旋转来变更位于所述作业位置的所述吸嘴，

所述拍摄部对在预定范围内移动中的所述吸嘴进行拍摄，所述预定范围以所述作业位置为中心且沿着所述圆周轨道具有小于所述最小中心间距的两倍的宽度。

2.根据权利要求1所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部对在所述作业位置处执行所述作业之前向所述作业位置移动中的所述吸嘴及在所述作业位置处执行了所述作业之后从所述作业位置移动中的所述吸嘴中的至少一方进行拍摄。

3.根据权利要求2所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部在所述预定范围内且在所述吸嘴的移动方向上比所述作业位置靠上游侧的位置设定作业前拍摄位置，对在执行所述作业前通过所述作业前拍摄位置的所述吸嘴进行拍摄。

4.根据权利要求3所述的元件安装机，其中，

所述多个吸嘴能够沿着以所述旋转轴为中心的顺时针方向及逆时针方向这两个方向移动，

所述拍摄部基于对作为拍摄对象的所述吸嘴的移动是沿着顺时针方向还是沿着逆时针方向进行判断所得到的结果来设定所述作业前拍摄位置。

5.根据权利要求2所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部对在所述作业位置处执行元件的安装之前的所述吸嘴进行拍摄。

6.根据权利要求3所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部对在所述作业位置处执行元件的安装之前的所述吸嘴进行拍摄。

7.根据权利要求4所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部对在所述作业位置处执行元件的安装之前的所述吸嘴进行拍摄。

8.根据权利要求2～7中任一项所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部在所述预定范围内且在所述吸嘴的移动方向上比所述作业位置靠下游侧的位置设定作业后拍摄位置，对在执行所述作业后通过所述作业后拍摄位置的所述吸嘴进行拍摄。

9.根据权利要求8所述的元件安装机，其中，

所述多个吸嘴能够沿着以所述旋转轴为中心的顺时针方向及逆时针方向这两个方向移动，

所述拍摄部基于对作为拍摄对象的所述吸嘴的移动是沿着顺时针方向还是沿着逆时针方向进行判断所得到的结果来设定所述作业后拍摄位置。

10.根据权利要求2所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部在所述预定范围内且在所述吸嘴方向的移动方向上比所述作业位置靠上游侧的位置设定作业前拍摄位置，对在执行所述作业前通过所述作业前拍摄位置的所述吸嘴进行拍摄，并且，在所述预定范围内且在所述吸嘴的移动方向上比所述作业位置靠下游侧的位置设定作业后拍摄位置，对在执行所述作业后通过所述作业后拍摄位置的所述吸嘴进行拍摄。

11.根据权利要求10所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部对执行元件的安装作为所述作业的所述吸嘴进行拍摄，以在所述圆周轨道上所述作业前拍摄位置与所述作业位置之间的距离比所述作业后拍摄位置与所述作业位置之间的距离长的方式设定所述作业前拍摄位置及所述作业后拍摄位置。

12.根据权利要求10所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部对执行元件的保持作为所述作业的所述吸嘴进行拍摄，以在所述圆周轨道上所述作业前拍摄位置与所述作业位置之间的距离等于所述作业后拍摄位置与所述作业位置之间的距离的方式设定所述作业前拍摄位置及所述作业后拍摄位置。

13.根据权利要求10所述的元件安装机，其中，

所述安装头使所述多个吸嘴中的一个吸嘴位于所述作业位置而通过所述一个吸嘴执行所述作业，接下来使在所述圆周轨道上与所述一个吸嘴相邻的下一吸嘴位于所述作业位置而通过所述下一吸嘴执行所述作业，

所述拍摄部同时执行对于在执行所述作业后通过所述作业后拍摄位置的所述一个吸嘴的拍摄和对于在执行所述作业前通过所述作业前拍摄位置的所述下一吸嘴的拍摄。

14.根据权利要求11所述的元件安装机，其中，

所述安装头使所述多个吸嘴中的一个吸嘴位于所述作业位置而通过所述一个吸嘴执行所述作业，接下来使在所述圆周轨道上与所述一个吸嘴相邻的下一吸嘴位于所述作业位置而通过所述下一吸嘴执行所述作业，

所述拍摄部同时执行对于在执行所述作业后通过所述作业后拍摄位置的所述一个吸嘴的拍摄和对于在执行所述作业前通过所述作业前拍摄位置的所述下一吸嘴的拍摄。

15.根据权利要求12所述的元件安装机，其中，

所述安装头使所述多个吸嘴中的一个吸嘴位于所述作业位置而通过所述一个吸嘴执行所述作业，接下来使在所述圆周轨道上与所述一个吸嘴相邻的下一吸嘴位于所述作业位置而通过所述下一吸嘴执行所述作业，

所述拍摄部同时执行对于在执行所述作业后通过所述作业后拍摄位置的所述一个吸嘴的拍摄和对于在执行所述作业前通过所述作业前拍摄位置的所述下一吸嘴的拍摄。

16.根据权利要求10～15中任一项所述的元件安装机，其中，

所述元件安装机还具备存储部，所述存储部存储所述拍摄部所拍摄的所述吸嘴的图像数据，

所述存储部对拍摄所述作业前拍摄位置的所述吸嘴而得到的所述图像数据和拍摄所述作业后拍摄位置的所述吸嘴而得到的所述图像数据进行识别并存储。

17.根据权利要求10～15中任一项所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部将所述作业前拍摄位置及所述作业后拍摄位置双方包含于一个所述拍摄视野内。

18.根据权利要求16所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部将所述作业前拍摄位置及所述作业后拍摄位置双方包含于一个所述拍摄视野内。

19.一种吸嘴拍摄方法，包括以下的步骤：

通过使安装头的多个吸嘴一体旋转来变更位于预定的作业位置的所述吸嘴，所述安装头具有沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道至少隔开最小中心间距地排列的所述多个吸嘴，在设于所述圆周轨道上的所述作业位置处使所述吸嘴升降，由此通过所述吸嘴执行元件的保持及安装中的至少一方的作业；及

对在预定范围内移动中的所述吸嘴进行拍摄，所述预定范围以所述作业位置为中心且沿着所述圆周轨道具有小于所述最小中心间距的两倍的宽度。