JP2005260151A - 部品搭載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、バックラッシュの問題を解決した回転式搭載ヘッドを有する部品搭載装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 電子部品を吸着する吸着ノズル（１７）の装着が可能な複数の吸着シャフト（１６）を備える部品搭載装置であって、前記複数の吸着シャフトを一体回転させる一体回転手段（２１，２５，２７）と、前記吸着シャフトを、自己の中心軸を回転軸にして自己回転させる自己回転手段（３０）と、前記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段（３１）と、を有する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、電子部品をプリント基板上に搭載する部品搭載装置に関し、特に回転式の部品搭載ヘッドを備える部品搭載装置に関する。

従来から、プリント基板上に電子部品を搭載する装置として部品搭載装置が知られている。
上記部品搭載装置は、搬送ベルトにより上流からプリント基板が搬入されて所定位置に位置決めされ、当該部品搭載装置に装着された部品供給装置から部品供給位置に供給される電子部品を作業ロボットが上記プリント基板上の所定位置に自動搭載する。

この作業ロボットは、プリント基板上方に構成された、プリント基板に対して水平に配設されたＹ軸レール及び、同じくプリント基板に対して水平に配設され、Ｙ軸レールに摺動自在に懸下されたＸ軸レール、及びこのＸ軸レールに摺動自在に懸下された搭載ヘッド支持塔により、この搭載ヘッド支持塔のＸ軸及びＹ軸方向への移動を許容する。そして更に上記搭載ヘッド支持塔に対し、昇降動作が可能な吸着シャフトを備える搭載ヘッドを構成し、その吸着シャフト先端部に対するＺ軸方向への移動を許容する。そしてこれらの各動作を制御することにより、上記作業ロボットは吸着シャフトの先端を、上記部品供給位置及び上記プリント基板間のＸＹＺ空間内の任意位置に自由に移動させることができる。上記吸着シャフトは一般的に上記搭載ヘッドに対して一つ設けられ、上記吸着シャフトの先端に電子部品を直に吸着する着脱自在の吸着ノズルが装着されることにより、上記部品供給位置から電子部品を吸着し、この吸着した電子部品を上記プリント基板上の所定位置に搭載する。

一方、上記吸着シャフトが上記搭載ヘッドに対して複数設けられたものも存在する。
その一つは、Ｘ軸スライド及びＹ軸スライドに沿ってＸ軸及びＹ軸方向へ移動できる搭載ヘッドに複数の吸着シャフトが備えられた構成である。この搭載ヘッドには、Ｚ軸を中心軸として回転する円盤状の回転体が備えられ、複数の吸着シャフトが吸着側（電子部品を吸着する側）を下向きにしてその回転体を上下に貫通するように所定間隔を保って配置されている。上記各吸着シャフトは、上記回転体に対して独立に自己回転をすることが不可能な構成をとり、上記回転と一体に回転することによりその配置や向きを変える。また、上記回転体の回転軸と同軸に当接体が備えられ、この当接体の回転制御により、電子部品を吸着させる上記吸着シャフトの一つの上端に当接し、吸着シャフトの昇降動作を行なわせる（特開２０００−２９４９９０号公報）。

また、他の一つは、回転部材に対してその回転軸を中心に複数の吸着ノズルが放射状に装着された搭載ヘッドである。この搭載ヘッドでは、上記回転部材を回転させて所望の吸着ノズルが下向きになるように制御される。そして、上記吸着ノズルは上記回転部材に対して独立に自己回転をすることが不可能な構成をとり、下向きの吸着ノズルの中心軸を中心に上記回転部材と一体に回転させることによりその向きを変える（特開２００３−１１０２９０号公報）。
特開２０００−２９４９９０号公報（段落「００１１」−「００１３」、段落「００３８」、図５−図７） 特開２００３−１１０２９０号公報（段落「００１８」、段落「００３０」、図２、図３）

従来型の複数の吸着シャフトを備える搭載ヘッドは吸着シャフトをその軸を中心に回転させる際、その度に全ての吸着シャフトを一体的に位置移動させなければならなかったり、或いはその吸着シャフトが下向きになるようにやはり全ての吸着シャフトを一体的に位置移動させて、その後に自己回転させるなど、吸着シャフトを一体的に位置移動させることが前提となる。そこで、吸着シャフトを一体的に位置移動させることなく該吸着シャフトを自己回転させる搭載ヘッドを検討する場合、例えばギアの組み合わせで実現する方法が検討できる。

しかし、ギアの組み合わせによって上記搭載ヘッドを実現する場合、バックラッシュの問題がある。
そして、この問題の改善は電子部品を搭載する作業効率の改善という点で非常に大きな意味があり、大きな期待が寄せられている。

そこで本発明は、上記バックラッシュの問題を解決し、更に、全ての吸着シャフトを所定の中心軸を中心に一体に回転させ且つ各吸着シャフトの位置を変えることなく各吸着シャフトを自己の中心軸を中心に自己回転させる回転式搭載ヘッドを有する部品搭載装置を提供することを目的とする。

本発明は上記課題を解決するために以下のように構成する。
本発明の部品搭載装置の態様の一つは、電子部品を吸着する吸着ノズルの装着が可能な複数の吸着シャフトを備えることを前提とし、上記複数の吸着シャフトを一体回転させる一体回転手段と、上記吸着シャフトを、自己の中心軸を回転軸にして自己回転させる自己回転手段と、上記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段と、を有する。

なお、上記態様において、電子部品を吸着する吸着ノズルの装着が可能な複数の吸着シャフトを備えることを前提とし、上記複数の吸着シャフトを所定軸周りに一体回転させる一体回転手段と、上記所定軸の向きの変化または上記所定軸の直交方向への移動とは独立し且つ、上記複数の吸着シャフトの内の少なくとも一つの吸着シャフトを、自己の中心軸を回転軸にして自己回転させる自己回転手段と、上記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段と、を有し、更に、上記複数の吸着シャフトの内の一つまたは二つ以上の吸着シャフトを上記中心軸の軸方向に同時に移動させる軸方向移動手段と、を有するようにしても良い。

更に、電子部品を吸着する吸着ノズルの装着が可能な複数の吸着シャフトを備え、該吸着シャフトに上記吸着ノズルを装着して上記電子部品をプリント基板に搭載することを前提とし、上記複数の吸着シャフトを該複数の吸着シャフトの各中心軸が平行になるように保持し、上記複数の吸着シャフトの全ての中心軸に平行する軸の周りに上記複数の吸着シャフトの相対位置を保持したまま上記複数の吸着シャフトを一体回転させる一体回転手段と、上記複数の吸着シャフトの内の少なくとも一つの吸着シャフトを、自己の上記中心軸を回転軸にして自己回転させる自己回転手段と、上記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段と、上記複数の吸着シャフトの内の一つまたは二つ以上の吸着シャフトを上記中心軸の軸方向に同時に移動させる軸方向移動手段と、を有するように構成しても良い。

この時、上記一体回転手段、上記自己回転手段、及び上記軸方向移動手段は、上記プリント基板の電子部品搭載面上方を該電子部品搭載面に対して平行移動する平行移動体に構成される、ようにすることもできる。

また、上記自己回転手段は、上記各吸着シャフトの外周に該吸着シャフトと一体的に構成される外輪歯車と、該外輪歯車の少なくとも一部と噛み合わさり、該外輪歯車を介して上記吸着シャフトに該吸着シャフトの中心軸を回転軸とする自己回転動力を伝達する外輪歯車動力伝達手段と、によって構成することができる。

そして更に、上記自己回転手段は、上記各吸着シャフトの外周に該吸着シャフトと一体的に構成される外輪歯車と、上記複数の吸着シャフトの外周に構成される全ての上記外輪歯車を包括し且つ該全ての吸着シャフトの外輪歯車と噛み合わさる第一の内輪歯車と、上記第一の内輪歯車を回転することにより、上記各外輪歯車を介して上記全ての吸着シャフトに上記自己回転動力を伝達する内輪歯車動力伝達手段と、によって構成することができる。

この場合、上記バックラッシュ防止手段は、該第一の内輪歯車の内輪に沿って回動自在であり且つ該第一の内輪歯車と上記外輪歯車とが噛み合わされた時の噛み合わせ部分のあそびを埋める第二の内輪歯車によって構成されることが望ましい。

そして、上記第二の内輪歯車は、内輪に沿って複数箇所に形成された長孔及び、各長孔に対応させて該各長孔の近傍に固定された支持ピンを有し、上記第二の内輪歯車が上記第一の内輪歯車と同一の回転軸で回動できるように、上記各長孔を介して上記第一の内輪歯車に固定される固定ピンによって挟持され、上記固定ピン及び該固定ピンに隣接する上記支持ピンが弾性部材で連結される、ことが望ましい。

なお、上記複数の吸着シャフトは、上記複数の吸着シャフトを上記一体回転させる軸の同心円上に構成され、上記自己回転手段は、上記全ての吸着シャフトを、各自の中心軸を回転軸にして自己回転させる、ようにすることが望ましい。

また、上記軸方向移動手段は、一つ以上の駆動源で構成される、ことが望ましい。
また、上記電子部品が供給される部品供給位置から、上記吸着シャフトに装着された吸着ノズルによって上記電子部品を一個づつ吸着するシングルピック機能及び上記吸着シャフトに装着された複数の吸着ノズルによって複数個の電子部品を同時に吸着するマルチピック機能を有する、ことが望ましい。

また、交換用の吸着ノズルを保有する吸着ノズル交換位置から、上記吸着シャフトに上記吸着ノズルを一個づつ装着するシングル装着機能及び上記吸着シャフトに複数の吸着ノズルを同時に装着するマルチ装着機能を有する、ことが望ましい。

また、上記一体回転手段は、上記複数の吸着シャフトを同軸周りに一体に、所定回転角の範囲内を順回転または逆回転させ、上記自己回転手段は、所定回転角の範囲内を順方向または逆方向に自己回転させる、ことが望ましい。

また、上記複数の吸着シャフトに装着した吸着ノズルで吸着した電子部品の吸着状態を選択的に一回または複数回に分けて撮影する選択撮影機能を有する、ことが望ましい。
本発明の部品搭載装置には、吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段が構成されている。このため、吸着シャフトを自己回転させた際に発生するバックラッシュを抑止することが可能になり、吸着シャフトの自己回転を精度良く行なうことが可能になる。

また更に、本発明の部品搭載装置の一つには、上記複数の吸着シャフトを所定の中心軸を中心に一体に回転させ且つ各吸着シャフトの位置や該吸着シャフトの自己の中心軸の向きを変えることなく各吸着シャフトを自己の中心軸を中心に自己回転させるように構成している。このため、所定の吸着シャフトを他の吸着シャフトと一体的に位置移動させることなく該吸着シャフトを自己回転させることが可能になる。

以上述べたように本発明の部品搭載装置では、吸着シャフトの自己回転によるバックラッシュの発生を抑止することが可能になる。そして更に、全ての吸着シャフトを所定の中心軸を中心に一体に回転させ且つ各吸着シャフトの位置を変えることなく各吸着シャフトを自己の中心軸を中心に自己回転させる回転式搭載ヘッドを有する部品搭載装置においても、上記バックラッシュの発生を抑止することができる。

そして、バックラッシュの発生を抑止したことにより吸着シャフトの自己回転精度が向上し、吸着ノズルの装着時、電子部品の吸着時、電子部品の撮影時、またはプリント基板上への電子部品の搭載時などにおいて、より正確な処理が行なえ、部品搭載処理の中断や廃棄基板の増発などを減少させ、作業効率を高めることが可能になる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態である部品搭載装置の一例である。
本例においては、プリント基板を電子部品搭載位置に固定し、該プリント基板上への電子部品の搭載を、上記プリント基板上方を自由に水平移動できる回転式の部品搭載ヘッドにより行なうタイプ（以下、タイプＡとする）の部品搭載装置について詳細に説明する事とする。なお、以下に説明する技術は本部品搭載装置（タイプＡ）に限らず、例えば上記回転式の部品搭載ヘッドに対してプリント基板を水平移動させるタイプの部品搭載装置や従来技術に説明した回転式部品搭載ヘッドを有する部品搭載装置など、他の態様の部品搭載装置にも適宜、適用させても良いものである。

同図（ａ）は上記タイプＡの部品搭載装置の外観斜視図である。そして、同図（ｂ）にはその部品搭載装置の内部機構の一部が模式的に示されている。
同図（ａ）の部品搭載装置１の大部分には上部カバー２及び基台３が示されている。この上部カバー２は、電子部品をプリント基板上へ搭載する部品移動機構を覆い、該部品移動機構を保護している。またその下部の基台３は、上記電子部品を本部品搭載装置１に供給する部品供給機構や上記プリント基板を搬送する搬送機構を備え、同図においてはその一部を外部に覗かせている。そして更に基台３の内部には、本部品搭載装置１の各機構に対する後述の各制御を司る制御装置なども備えられている。

同図（ａ）の上部カバー２の上面には２台のＣＲＴモニタ４が構成され、このＣＲＴモニタ４の画面には、後述する撮影カメラによって撮影された電子部品の例えば吸着姿勢などが表示される。更に、上記各ＣＲＴモニタ４の直下には液晶モニタ５が構成され（なお、同図（ａ）に示される液晶モニタ５に対する他方の液晶モニタは、同図（ａ）の作図の向きにおいては上部カバー２の陰になって見えない）、この液晶モニタ５の画面には、各種設定画面や電子部品の搭載状況を示す情報などが表示される。この液晶モニタ５に表示される設定画面における各種の設定入力は、キーボードやマウスなどの入力装置を用いて行なうことができる。なお、上記液晶モニタ５がタッチパネル形式であれば、液晶画面に触れる事によって各種の設定入力が可能である。

同図（ａ）の上部カバー２の上面には２台の報知ランプ６が構成され、例えば部品搭載時にエラーを検出した場合には、この報知ランプ６を点滅させ、上記エラー状態を作業者に知らせる。

同図（ａ）の基台３には、同図（ｂ）に示されるプリント基板搬送用の基板案内レール７がその一部を覗かせている。
続いて、本部品搭載装置１の内部機構について図１（ｂ）を参照しながら詳しく説明する。

同図（ｂ）には、上記上部カバー２を取り外した際に剥き出しになる、部品搭載装置１の内部機構が図示されている。この内部機構は、大別すると、上記カバー２で覆われていた部品移動機構、同図（ａ）においては図示されていない上記部品供給機構、及び、上記搬送機構からなる。

上記搬送機構は、同図（ｂ）のプリント基板８を不図示の搬送ベルトに載置しながら上記基板案内レール７に沿って当該部品搭載装置１の上流側から搬入し、その下流側へと排出する（同図（ｂ）のＸ軸の正方向に搬送する）。上記搬送機構は、搬入されたプリント基板８の位置をプリント基板８の搬送経路の複数個所に設置された不図示のセンサによって検出し、プリント基板８が部品搭載位置の直下に搬送された事が検出されると上記プリント基板８の下方からバックアップピン（同図においてはプリント基板８の陰になって見えない）を上昇させて上記プリント基板８を上記搬送ベルトから離し、当該プリント基板８を部品搭載位置で固定する。また、当該プリント基板８に対する電子部品の搭載を終えると、上記バックアップピンを元の位置に下降させて当該プリント基板８を再び上記搬送ベルトに載置させる。そして、この搬送ベルトを走行させて当該プリント基板８を下流側へ排出する。本例の部品搭載装置１においては、当該部品搭載装置１内に常時２枚のプリント基板８が搬入され、搬送ベルトの走行経路上方の異なる２箇所の部品搭載位置に夫々、電子部品の搭載を終えるまで固定される。

上記部品供給機構は、基台３の前後に形成される同図（ｂ）の部品供給台９（同図（ａ） では図の右斜め上方向になる後部の部品供給台は陰になって見えない。また、同図（ｂ） では、後部の部品供給台は図示を省略している）に、テープカセット式部品供給装置（一般には単に、テープフィーダ、カセット式、又はテープ部品供給装置などと簡略に呼ばれている）１０が、５０個〜７０個と多数装着されることにより、電子部品を上記テープカセット式部品供給装置１０から部品供給位置（本例においてはテープカセット式部品搭載装置１０の端部１０−１）に送り出す。上記部品供給台９に装着された上記テープカセット式部品供給装置１０は、基台３に構成される制御装置と電気接続され、制御装置の指示の下、所定のタイミングで電子部品を部品供給位置１０−１に送り出す。

上記部品移動機構は上記基台３の上方に構成され、上記部品供給位置１０−１から、位置固定されたプリント基板８上に電子部品を移動する。基台３の上方には、基板搬送方向（Ｘ軸の正方向）に対して直角の方向に平行に延在する左右一対の固定レール（Ｙ軸レール）１１が配設されている。そして、これらＹ軸レール１１の前後に移動レール（Ｘ軸レール）１２がＹ軸レール１１に沿って滑動自在に係合し、各Ｘ軸レール１２に搭載ヘッド支持塔１３がＸ軸レール１２に沿って滑動自在に懸架されている。なお本例では、各Ｘ軸レール１２は、同図（ｂ）に示されるＹ軸レール１１の一部の透視図に示されるＹ軸レール１１内部のボールネジ１４に不図示のナットを介して係合され、Ｙ軸モータの回転によりＹ軸方向への移動を可能にしている。また同様に、各搭載ヘッド支持塔１３は、特に図示されていないがＸ軸レール１２内部のボールネジにナットを介して係合され、Ｘ軸モータの回転によりＸ軸方向への移動を可能にしている。なお各モータには、本例では光学エンコーダが備えられ、モータの回転駆動により移動する上記搭載ヘッド支持塔１３のＸＹ方向への移動位置を測定することができる。そして、各モータは、不図示の信号コードを介して基台３内部の制御装置と電気接続され、この制御装置によって制御される。この構成により、部品搭載位置１０−１及び固定されたプリント基板８間の搭載ヘッド支持塔１３による水平移動を実現している。本部品搭載装置１においては合計４台の搭載ヘッド支持塔１３が配設され、同一のＹ軸レール１１に構成される２台の搭載ヘッド支持塔１３を組として、それらの作業範囲に固定されたプリント基板８と、対応する部品供給位置間の移動動作を行なう。

同図（ｂ）の各搭載ヘッド支持塔１３には、回転式の搭載ヘッド１５が構成されている。これらの回転式搭載ヘッド１５の各々には同図（ｂ）の例では６本の吸着シャフト１６が構成され、後に詳しくその機構を説明する事とするが、各吸着シャフト１６が同図（ｂ）の上下方向（Ｚ軸方向）に昇降自在に且つ全ての吸着シャフト１６が所定の中心軸周りに一体となって回転自在に、更には各吸着シャフト１６が自身の中心軸を中心に回転自在に、構成されている。

このような構成の基に、各回転式搭載ヘッド１５は、Ｘ軸レール１２によるＹ軸方向への水平移動、搭載ヘッド支持塔１３によるＸ軸方向への水平移動、及び回転式搭載ヘッド１５によるＺ軸方向への昇降移動、及び、回転式搭載ヘッド１５における吸着シャフト１６の一体回転及び吸着シャフト１６の自己回転により、部品供給位置１０−１とプリント基板８間の前後左右上下移動及び水平面内における３６０度の向きの調整を自在に行なうことができる。

更に、各吸着シャフト１６の先端には電子部品を直接吸着する吸着ノズル１７が、複数種類の吸着ノズルが配列される不図示の吸着ノズル交換台（ツールチェンジャ）から選択的に装着され、装着した各吸着ノズル１７の先端で電子部品の吸着及び解放を直に行なう。当該吸着ノズル１７は上記吸着シャフト１６に固定されるため、吸着シャフト１６が自己回転すると、その先端の装着された吸着ノズルも共に自己回転する。よって、以下の説明において吸着ノズルの動作を主体に説明する場合、特に断り無く吸着ノズルが回転するような表現を用いるが、言うまでもなく吸着シャフトの回転により吸着ノズルが回転しているものとする。

そして本例では、上記吸着ノズル１７に電子部品を吸着した後、その吸着状態を検査するために上記電子部品の吸着ノズル１７に対する吸着状態を撮影するための撮影カメラ１８が構成される。この撮影カメラ１８は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラなどにより構成される。この撮影カメラ１８は信号コードにより基台３の制御装置と電気接続され、制御装置による撮影指示の下、上記吸着状態を撮影したり、撮影画像を制御装置に送信する。なお同図（ｂ）には、各回転式搭載ヘッド毎、すなわち４台（同図（ｂ）において奥の２台の撮影カメラは図示されていない）の撮影カメラ１８が基台３に上方向きに配置されている。

図２は、上記搭載ヘッド１５の拡大斜視図である。
同図には、搭載ヘッド支持塔１３に構成される、６本の吸着シャフト１６を備える回転式搭載ヘッド１５が示されている。

なお、同図において、上述した図番と一致する部品に対しては同一の番号を付しており、以下の図においても特に指示しない限り、この標記方法を用いる。
また、同図においては、図が細かいため、同一形状の部品に対してはその内の一つを代表させて図番を指示することとした。

同図の回転式搭載ヘッド１５の上端には不図示のエアホースに直結する６本の継ぎ手２０が放射状に突き出し、これらの継ぎ手２０は上記エアホースを介して本部品搭載装置１に構成される不図示の空気圧制御装置に接続される。また上記６本の継ぎ手２０は、各々、その下方に構成される中空構造の６本の吸着シャフト１６と常に内部で連通している。よって、上記空気圧制御装置により６本の吸着シャフト１６内の空気圧が制御される。

上記吸着シャフト１６は同図の回転式搭載ヘッド１５の上部から下部に向けて延在している。同図に示されるように、これらの吸着シャフト１６の上部には、各々、カムフォロア２１が構成されており、また、各吸着シャフト１６の中部にはナットが構成され、このナット上の下部には吸着シャフト１６の中心軸と平行に複数の溝が切られ、ギア（外輪歯車）が形成されている。

同図の搭載ヘッド１５は搭載ヘッド支持塔１３に対し、第一の固定板材２２及び第二の固定板材２３によって固定されている。そして、上記第一の固定板材２２の上面には４本の支柱（同図においては手前の３本の支柱のみが示され、奥の１本は陰になって見えない）２４が立てられており、その上に上記カムフォロア２１を上下から挟持するための二枚のカムフォロア受け板２５が構成されている（なお、同図のカムフォロア受け板２５の記載は、それらの陰に隠れるカムフォロアの構成を明示するために、その該当部分を透視させた記載にしている）。これらのカムフォロア受け板２５の構造は、全ての吸着シャフト１６を水平面内で一体に回転させることが可能な構造をとり、更に、詳しくは後述するが、上記カムフォロア受け板２５は上記吸着シャフト１６をＺ軸方向へ昇降動作させることを可能にする構成を有している。

図３は、上記カムフォロア受け板２５の構造及び上記吸着シャフト１６の昇降動作を可能にする機構を説明するための図である。同図（ａ）は、説明し易いように主要な部品のみを記載する事として、その構造及び機構を模式的に示した斜視図であり、同図（ｂ）は、それを上方から作図した平面図である。なお、各図に示されるカムフォロア受け板２５の記載は、それらの陰に隠れる部分の構成を明示するためにその該当部分を透視させた記載にしている。

同図に示されるように、上記二枚のカムフォロア受け板２５は、上下に平行に対向配置された二枚の輪状板で構成され、各カムフォロア受け板２５の上下に共通する位置に切り欠き部３３を有している
また同図に示されるように、上記切り欠き部３３の形状と合い重なる嵌合部材３４が、上記各カムフォロア受け板２５の各切り欠き部３３に対応するように上下に二枚、上記カムフォロア受け板２５とは別体で構成されている。この二枚の嵌合部材３４は、上記二枚のカムフォロア受け板２５の成す間隔と同じ間隔に配置され、同図に示されるＺ軸可動部材３５に固定されている。

このＺ軸可動部材３５は、図３（ａ）において記載を省略した搭載ヘッド支持塔１３に構成されるＺ軸モータ３６、歯付き駆動プーリ３７、ベルト３８、及びベルト張設用歯付きプーリ３９によってＺ軸方向への昇降動作が可能となるように構成されている。すなわち、上記Ｚ軸モータ３６の回転軸先端に取り付けられた歯付き駆動プーリ３７と上記ベルト張設用歯付きプーリ３９とに上記ベルト３８が掛け渡され、このベルト３８に上記Ｚ軸可動部材３５が固定された構成により、上記Ｚ軸モータ３６の駆動の基、上記Ｚ軸可動部材３５が昇降動作する。これと共に、上記Ｚ軸可動部材３５に固定された二枚の嵌合部材３４は互いに水平状態を保ちながら鉛直方向に昇降動作し、この昇降動作に基づいて上記二枚の嵌合部材３４が上記二枚のカムフォロア受け板２５の各切り欠き部３３に夫々嵌合できる。なお、ベルトとしてはタイミングベルトが使用されることが望ましく、以下に記載する各種のベルトも同様に、タイミングベルトが使用されているものとする。また、上記Ｚ軸モータ３６には、本例では光学エンコーダが備えられ、Ｚ軸モータ３６の回転駆動により移動する吸着シャフトのＺ軸方向への移動位置を測定することができる。そしてＺ軸モータ３６は、不図示の信号コードを介して基台３内部の制御装置と電気接続されており、Ｚ軸モータ３６は上記制御装置によって回転駆動させられる。

同図に示されるように、上記二枚のカムフォロア受け板２５の間及び上記二枚の嵌合部材３４の間に上述した各吸着シャフト１６に構成されるカムフォロア２１が挟持され、上記カムフォロア受け板２５に上記嵌合部材３４が嵌合することによって上記二枚のカムフォロア受け板２５間及び上記二枚の嵌合部材３４間に形成される円周軌道上を６個のカムフォロア２１（図３（ｂ）においては２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ、２１ｆ）が互いの配列を変えることなく順逆何れの回転方向にも摺動できるようになる。また、上記吸着シャフト１６の上部に構成されるカムフォロア２１は、吸着シャフト１６を鉛直方向へ垂れ下がるように保持し、個々の吸着シャフト１６（図３（ｂ）においては１６ａ１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、１６ｆ）による自身の吸着シャフト軸周りの軸回転（以下、θ回転と呼ぶ事とする）を許容している。よって、各カムフォロア２１に保持される吸着シャフト１６は、上記カムフォロア２１が上記二枚のカムフォロア受け板２５間及び上記二枚の嵌合部材３４間によって形成される円周軌道上を摺動動作させられることにより、全ての吸着シャフト１６の下端が下向の状態で水平面内を一体となって回転（以下、インデックスθ回転と呼ぶ事とする）する。

このように、上記カムフォロア受け板２５の切り欠き部３３に上記嵌合部材３４を嵌合した状態で、上記６本全ての吸着シャフト１６を上記円周軌道に沿って回転させたり停止させたりすることで、上記二枚の嵌合部材間３４に挟持させる吸着シャフト１６を選定させることができる。

本例においては上記二枚の嵌合部材３４間にカムフォロア２１を１つ挟持させる態様を基本に説明するが、必要な場合には適宜、上記二枚の嵌合部材３４間にカムフォロア２１を２つ挟持させる態様についても説明を加える。

図３（ｂ）には上記二枚の嵌合部材３４間（同図には勘合部材３４が省略され、切り欠き部３３が示されている）にカムフォロア２１を１つ挟持させる全カムフォロア２１の配置（シングルピック配置）が実線で示され、上記二枚の嵌合部材３４間にカムフォロア２１を２つ挟持させた全カムフォロア２１の配置（マルチピック配置）が一点鎖線で示されている。マルチピック配置の場合は、シングルピック配置におけるカムフォロア２１ａに対して順逆方向に３０度なす各々の位置にカムフォロア（同図の場合２１ａ´及び２１ｆ´）を配置させる。

そして、上記二枚の嵌合部材３４間にカムフォロア２１を挟持させた１つ又は２つの吸着シャフト１６（同図の場合１６ａまたは、１６ａ´及び１６ｆ´）が、上記Ｚ軸可動部材の昇降動作により一体となって昇降動作できる。

続いて図２の第一の固定板材２２及び第二の固定板材２３について説明する。
上記第一の固定板材２２及び上記第二の固定板材２３は、上記カムフォロア受け板２５に上記嵌合部材３４が嵌合することによりそれらの中心及び近傍に構成される鉛直方向の貫通孔（円形貫通孔）と同一中心軸の、円形貫通孔が形成されており、上記６本の吸着シャフト１６はこれらの孔を介して各固定板材２２、２３を貫通している。同図に示される第一の固定板材２２に形成されている上記円形貫通孔には、この中心軸と同心の円形貫通孔を有するベアリング２６が構成され、このベアリング２６上には、該ベアリング２６に対して順逆何れの方向にも回転自在の回転盤（外歯付き駆動プーリ）２７が、その外周面に形成された外歯を上記ベアリング２６から外部に覗かせるようにして嵌合している。この回転盤２７は回転盤２７の中心から所定半径の互いに所定角度をなす位置（本例の場合、互いに６０度を成す６箇所）に小径の円形貫通孔２８を有し、上述した６本の吸着ノズル１６の各々が各小径の円形貫通孔２８に挿入されている。この小径の円形貫通孔２８は、搭載ヘッド支持塔１３に対する吸着シャフト１６の水平面内の移動をインデックスθ回転のみに制約するものであるが、昇降動作及び各吸着シャフト１６のθ回転については許容している。同図に示される第二の固定板材２３に形成されている円形貫通孔においても、上述したようにその中心軸と同心の円形貫通孔を有するベアリング２９が構成され、このベアリング２９上には、該ベアリング２９に対して順逆何れの方向にも回転自在の回転盤３０が嵌合している。この回転盤３０は外輪に対して形成された外歯に加えて内輪に対して内歯も形成された内外歯付き駆動プーリであり、本例においては更に、この回転盤３０の上面にバックラッシュを防止するための内歯付きの回転盤３１が構成されている。なお、上記バックラッシュを防止するための内歯付き回転盤３１の構成については後述する。上記吸着シャフト１６は各回転盤（内外歯付き駆動プーリ３０、内歯付き回転盤３１）を鉛直方向に貫通し、各吸着シャフト１６に構成されたナットの外輪歯車と上記各回転盤３０、３１に形成された内輪歯車とが噛み合さっている。このように内輪歯車を持つ回転盤は、各吸着シャフト１６のθ回転を制約するものであり、一方、各吸着シャフト１６の昇降動作及びインデックスθ回転を許容している。

図４は、図２の第一の固定板材２２及び第二の固定板材２３に構成される上述した回転機構を、上方から模式的に示した図である。なお、同図の左は上記第一の固定板材２２における回転機構であり、同図の右は上記第二の固定板材２３における回転機構である。すなわち、各回転機構を説明し易いように図４においては互いの機構を左右にずらして示している。同図の左右に各々示されている６つの円（１６ａ−１から１６ｆ−1、及び１６ａ−２から１６ｆ−２）は吸着シャフトの断面であり、従って実際には、各吸着シャフトの中心軸は互いに一致している。

同図左に示される上記第一の固定板材２２における回転機構は、外歯付きプーリ２７、インデックスθ軸駆動モータ４０、インデックスθ軸駆動モータ４０の回転軸先端に取り付けられた歯付き駆動プーリ４１、及びベルト４２によって構成されている。同図においてはインデックスθ軸駆動モータ４０の回転軸の方向と外歯付きプーリ２７の回転軸の方向が一致しており、上記インデックスθ軸駆動モータ４０の回転軸先端に取り付けられた歯付き駆動プーリ４１と上記外歯付きプーリ２７に上記ベルト４２が掛け渡された構成により、上記インデックスθ軸駆動モータ４０を正或いは逆方向に駆動するとその駆動力が上記外歯付きプーリ２７に順方向或いは逆方向の回転力として伝達される。このように上記インデックスθ軸駆動モータ４０が駆動されることにより、上記外歯付きプーリ２７が回転し、その外歯付きプーリ２７に形成される小径の円形貫通孔２８から回転力を受ける上記６本の吸着シャフト１６は、上記カムフォロア２１を円形軌道上に摺動させながらインデックスθ回転を行なう。

また、同図右に示される上記第二の固定板材２３における回転機構は、内外歯付きプーリ３０、θ軸駆動モータ４３、θ軸駆動モータ４３の回転軸先端に取り付けられた歯付き駆動プーリ４４、及びベルト４５によって構成されている。同図においてはθ軸駆動モータ４３の回転軸の方向と内外歯付きプーリ３０の回転軸の方向が一致しており、上記θ軸駆動モータ４３の回転軸先端に取り付けられた歯付き駆動プーリ４４と上記内外歯付きプーリ３０の外輪に上記ベルト４５が掛け渡された構成により、上記θ軸駆動モータ４３を正或いは逆方向に駆動するとその駆動力が上記内外歯付きプーリ３０に順方向或いは逆方向の回転力として伝達される。このように上記θ軸駆動モータ４３が駆動されることにより、上記内外歯付きプーリ３０が回転し、各吸着シャフト１６の外周面に構成されたナット４６上の外輪歯車４７を介して上記内外歯付きプーリ３０の内輪歯車４８から回転動力を受け、各々の吸着シャフト１６がθ回転する。

なお上記インデックスθ軸駆動モータ４０及びθ軸駆動モータ４３には、本例では光学エンコーダが備えられ、モータの回転駆動による回転角を測定することができる。そして、各モータは不図示の信号コードを介して基台３内部の制御装置と電気接続され、この制御装置によって回転駆動させられる。

次に、各吸着シャフト１６に構成されるナット４６の外輪歯車４７と上記内外歯付きプーリ３０の内輪歯車４８とのバックラッシュを防止するための構成を説明する。
本例においては上記バックラッシュを防止するために、内歯付きの回転盤を使用する構成とした。

図５においては、上記内歯付きの回転盤を上記内外歯付きプーリに取り付ける例が分解斜視図によって示されている。
同図には、上記吸着シャフト１６（同図には見易いように吸着シャフトを一本のみ示す事としたが、実際には本例では６本の吸着シャフトが構成されている）、上記内外歯付きプーリ３０、上記ベルト４５、内歯付き回転盤５０、支持ピン５１、及び鍔５２−１と軸５２−２からなる固定ピン５２、が示されている。なお、上記内歯付き回転盤５０、上記支持ピン５１、及び上記固定ピン５２に、同図には不図示であるがスプリングを加える事で、バックラッシュ防止ギアが構成される。

同図に示される上記吸着シャフト１６、上記内外歯付きプーリ３０、及び上記ベルト４５の構成は、上述した通りである。すなわち、上記内外歯付きプーリ３０の内輪歯車４８に上記吸着シャフト１６に構成されるナット４６の外輪歯車４７が噛み合う配置となっており、上記内外歯付きプーリ３０の外周面に形成された外輪歯車に上記ベルト４５の内歯５３が噛み合う構成となっている。

そして、当該バックラッシュ防止ギアは、本例においては上記内外歯付きプーリ３０の上面に構成される。当該バックラッシュ防止ギアの構成部品の一つである上記内歯付き回転盤５０は、その内輪５４の半径が上記内外歯付きプーリ３０が有する内歯４８の位置の内輪半径と同一或いは略同一である。この内輪５４に構成される歯の数は、互いに同一である事が望ましいが、上記内歯付き回転盤５０の内輪５４の歯の数が上記内外歯付きプーリ３０の歯４８の数より少なくても効果は得られる。同図からも明らかなように上記内外歯付きプーリ３０の上面にはその中心軸から所定の距離に４つの孔５５（なお、同図において最も奥に位置する孔５５はナット４６の陰になって見えない）が構成され、上記内歯付き回転盤５０にも上記各孔５５の位置と対応する位置に貫通孔５６が一つずつ、すなわち４つの貫通孔５６が構成されている。この４つの貫通孔５６は上記内歯付き回転盤５０の内輪５４に沿って、上記固定ピン５２の軸の断面よりも大きい幅で且つ上記固定ピン５２の鍔５２−１よりも小さい幅の横長の孔で形成されている。上記内歯付き回転盤５０は、上記固定ピン５２の軸５２−２の下端が上記内歯付き回転盤５０の貫通孔５６を介して上記内外歯付きプーリ３０の孔５５に嵌入され、上記固定ピン５２の鍔５２−１によって上方への移動が制限されることにより、上記内外歯付きプーリ３０と張り合わせることができる。この構成により、上記内外歯付きプーリ３０に対して不動の上記固定ピン５２及び、上記貫通孔５６とで許容される範囲内に限り、上記内歯付き回転盤５０は上記内外歯付きプーリ３０に対してその内輪４８の回転軸周りに自由に回動できる。

さて、同図の内歯付き回転盤５０の上面には４つの支持ピン５１が設けられている。これらは全て上記内歯付き回転盤５０に対して不動である。よって、この支持ピン５１と、この支持ピン５１に対して所定方向に隣り合う固定ピン５２とを、各々、不図示の弾性部材（例えばスプリングやゴムなど）で繋ぐ事で、互いのピン（支持ピン５１及び該支持ピン５１に隣り合う固定ピン５２）の間に復元力を持たせることができる。

図６は、上記バックラッシュ防止ギアの作用を説明するための図である。
同図は、図５においてバックラッシュ防止ギアを構成しなかった場合、構成した場合の各構成を上方から作図したものである。なお、同図においては、以上の説明の中で省略していたベルト４５のたわみを抑止するプーリ６０、支持ピン５１及び固定ピン５２を繋ぐ図５に不図示の弾性部材６１、及び、図５で省略した６本の吸着シャフト１６の全てが示されている。また、各図においては、各図の右上に矢印で示されるように、上記内外歯付きプーリ３０（または上記内外歯付きプーリ３０及び上記内歯付き回転盤５０）の内輪と上記吸着シャフト１６に構成されるナット４６の外輪歯車４７との噛み合わせ状態の拡大図を添えている。

同図（ａ）は上記バックラッシュ防止ギアを構成しない場合を示した図である。同図の二点鎖線で囲まれる上記内外歯付きプーリ３０の内輪歯車４８と上記吸着シャフト１６に構成されるナット４６の外輪歯車４７との噛み合わせ状態の拡大図を見ても明らかであるが、互いの歯車の噛み合わせ位置で隙間（または「あそび」とも言う）６２が生じている。なお、本例の場合は上記内外歯付きプーリ３０の内輪４８に構成される各歯の下側と上記吸着シャフト１６のナット４６の外輪４７に構成される各歯の上側との間の隙間を言う。この隙間６２により、上記内外歯付きプーリ３０の回転を順方向回転から逆方向回転（または逆方向回転から順方向回転）に切り替える際に回転誤差やその反応にロスが生じる。

同図（ｂ）は上記バックラッシュ防止ギアを構成した場合を示した図である。同図の二点鎖線で囲まれる上記内外歯付きプーリ３０及び上記内歯付き回転盤５０の内輪歯車４８、５４と上記吸着シャフト１６に構成されるナット４６の外輪歯車４７との噛み合わせ状態の拡大図を見ても明らかであるが、互いの歯車の噛み合わせ位置で上述した隙間６２が埋められているのが分かる。これは、上記内歯付き回転盤５０に固定された支持ピン５１と、この支持ピン５１に隣り合い上記内外歯付きプーリ３０に固定された固定ピン５２とが同図に示されるスプリング６１の復元力を受け、上記内歯付き回転盤５０が上記内外歯付きプーリ３０に対して上記隙間６２を埋める方向に回動したことにより生じている（なお同図の例では、上記内歯付き回転盤５０が上記内外歯付きプーリ３０に対して同図の右回りに回動した様子が破線で示されている）。この構成にすれば、上述したバックラッシュの発生が皆無となり、上記内外歯付きプーリ３０の順方向回転及び逆方向回転における回転誤差や反応のロスが無くなり、上記回転誤差を補正するための補正機構やその処理を省くことが可能になる。なお、本例ではバックラッシュ防止ギアを一枚の内歯付き回転盤５０で構成したが、複数枚で構成しても良い。

以上、回転式搭載ヘッドの構成を詳しく説明した。
なお、図２に示される上記第二の固定板材２３の下端は上述した６本の吸着シャフト１６が突出し、各吸着シャフト１６の下端は電子部品を端面で直に吸着できる吸着ノズル１７の装着が可能な従来型の構成をとっている。

図７は、本例の部品搭載装置１の基台３に構成される制御装置のブロック構成図である。但し、同図には回転式搭載ヘッドの動作及びそれに関連する動作を説明するための最小限の構成のみ示すこととした。

同図には、制御部７０、撮影部７１、Y軸モータ駆動部７２、X軸モータ駆動部７３、Z軸モータ駆動部７４、インデックスθ軸モータ駆動部７５、及びθ軸モータ駆動部７６が示されている。

制御部７０は、CPU（中央処理装置）やRAM（Random Access Memory）やROM（Read Only Memory）などのメモリにより構成され、メモリに記憶された各種プログラムをCPUで実行し、演算処理や、本部品搭載装置の各部の制御を行なうなどする。例えば、同図に示される構成部であれば、各モータ駆動部に対しては所定のタイミングで各駆動部に対応するモータを所定の角度だけ回転させるよう制御したり、または、撮影部７１に対しては所定のタイミングで撮影指示を出すなど。当然その他にも、図１の部品供給機構や搬送機構、または図１の上部カバー２に備えられたＣＲＴモニタ４や液晶モニタ５など、各部の制御も行なう。

撮影部７１は制御部７０による制御の下、信号コードを介して、図１の撮影カメラ１８の撮影を実行し、また、撮影カメラ１８で撮影された画像を取得して画像解析する。このように画像解析された結果は制御部７０に送信する。

Y軸モータ駆動部７２、X軸モータ駆動部７３、Z軸モータ駆動部７４、インデックスθ軸モータ駆動部７５、及びθ軸モータ駆動部７６は制御部７0からの指示により、信号コードを介して、各モータ駆動部に対応するモータを適宜、所定角度だけ回転駆動する。また、上記各モータに備えられた光学エンコーダから、信号コードを介して各光学エンコーダで検出した上記移動位置・昇降位置・回転角などを制御部７０に送信する。

以下に、図７を参照しながら部品搭載装置１の動作例を説明する。
上記搬送機構により外部からプリント基板８が取り込まれ、このプリント基板８が部品搭載位置に位置固定されると、制御部７０に記憶されたプログラムの処理手順で、吸着シャフトに吸着ノズルを装着し、上記部品供給機構により部品供給位置に供給される電子部品をプリント基板に搭載する。

制御部７０は、上記インデックスθ軸モータ駆動部７５またはθ軸モータ駆動部７６を駆動してインデックスθ軸駆動モータまたはθ軸駆動モータを回転制御し、各吸着ノズル１６の配置（または角度）を予め決められた配置（または角度）、例えば図３（ｂ）に示したシングルピック配置やマルチピック配置などにする。

また、制御部７０は、上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御し、回転式搭載ヘッド１５をツールチェンジャの上方へ移動する。この時、吸着ノズルを装着する吸着シャフト（上記嵌合部材３４にカムフォロアが２１が挟持された一つまたは複数の吸着シャフト）が、上記ツールチェンジャ内の、当該吸着シャフトに装着させる吸着ノズルが配置される位置の上方に配置されるように、制御される。

そして、制御部７０はZ軸モータ駆動部７４を駆動して上記吸着ノズルを装着する吸着シャフトを下降させ、吸着シャフトの端部で上記吸着ノズルを装着し、吸着ノズルを装着した上記吸着シャフトを所定位置まで上昇させる。

更に、他の吸着シャフトに対する吸着ノズルの装着が必要であれば、インデックスθ軸モータ駆動部７５及びθ軸モータ駆動部７６を駆動して、吸着ノズルを装着させる吸着シャフトのカムフォロア２１が上記嵌合部材３４に挟持されるようにインデックスθ軸駆動モータ及びθ軸駆動モータを回転制御する。なおこの際に、吸着ノズルを装着させる対象の吸着シャフトが、上記ツールチェンジャ内の、当該吸着シャフトに装着させる吸着ノズルが配置される位置の上方に配置されるように、上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御する。

なおこの回転パターンについては後述するが、上記シングルピック配置であれば、吸着シャフトに一つずつ吸着ノズルを装着することができ、上記マルチピック配置であれば、本例であれば二つの吸着シャフトに対して夫々、吸着ノズルを同時に装着することができる。

吸着シャフトに対する吸着ノズルの装着を終えると、続いて、制御部７０は上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御し、テープカセット式部品供給装置が並ぶ位置へ上記回転式搭載ヘッド１５を移動する。そして予め決められたプログラムに従って、制御部７０は、上記インデックスθ軸モータ駆動部７５またはθ軸モータ駆動部７６を駆動してインデックスθ軸駆動モータまたはθ軸駆動モータを回転制御し、電子部品の吸着対象となる吸着ノズルのカムフォロアを嵌合部材に挟持させる。また、電子部品を吸着させる対象の吸着ノズルが、プログラムに登録された部品供給位置の上方に配置されるように、上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御する。

そして、制御部７０はZ軸モータ駆動部７４を駆動して上記電子部品の吸着対象の吸着シャフトを下降させ、吸着シャフトの端部に装着された吸着シャフトで当該電子部品を吸着し、この吸着シャフトを所定位置まで上昇させる。

更に、他の吸着ノズルに電子部品を吸着させる場合は、インデックスθ軸モータ駆動部７５及びθ軸モータ駆動部７６を駆動して、電子部品の吸着対象とする他の吸着シャフトのカムフォロア２１が上記嵌合部材３４に挟持されるようにインデックスθ軸駆動モータ及びθ軸駆動モータを回転制御する。なおこの際に、電子部品を吸着させる対象の吸着シャフトが、予め決められた部品供給位置の上方に配置されるように、上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御する。なお、電子部品を吸着ノズルで吸着する際は、空気圧制御装置の空気圧制御により、エアホース及び吸着シャフトを介して対象の吸着ノズルの端部に負圧がかけられ、その端部に電子部品を吸着させる。

なおこの回転パターンについても後述するが、上記シングルピック配置であれば、吸着ノズルに一つずつ電子部品を吸着させることができ、上記マルチピック配置であれば、本例であれば二つの吸着ノズルに対して夫々、電子部品を同時に吸着させることができる。

電子部品の吸着を終えると、続いて、制御部７０は上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御し、撮影カメラ１８の上方へ上記回転式搭載ヘッド１５を移動する。そして上記回転式搭載ヘッド１5が上記撮影カメラ１８の撮影範囲に入ると、予め決められたプログラムに従って、制御部７０は撮影部７１に撮影指示を出し、撮影部７１は信号コードを介して撮影カメラ１８で上記吸着ノズルに対する電子部品の吸着状態を撮影する。なお、本回転式搭載ヘッド１５においては複数の電子部品が吸着されている場合があり、その場合には撮影領域が大きくなる。全てを一度に撮影するために上記撮影領域を大きくすることもできるが、装置の小型化やコストの削減を考慮して上記撮影領域を所定の大きさに制限する場合もある。この場合、吸着ノズルに吸着する電子部品の大きさ、高さ、或いは吸着した数などにより複数回に分けて撮影する必要が生じ、またその撮影パターンも変わる。この撮影パターンについては後述する。

撮影カメラ１８により撮影された画像は信号コードを介して撮影部７１に送信されて画像解析される。そして、画像解析結果が制御部７０に送信され、例えば、吸着ノズルによる電子部品の吸着位置が電子部品の中心からズレてる場合には上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御し、上記ズレの量を補正する。また、吸着ノズルに電子部品が吸着されていなかったり、電子部品が立ち状態で吸着されている場合などには、報知ランプ６を点滅させて作業者にエラー状態を通知し、液晶モニタ５にその詳細情報を表示し、本部品搭載処理を中止して電子部品を廃棄したり、作業者にティーチング処理を行なわせる。

そして最後に、制御部７０は上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御し、プリント基板上方へ上記回転式搭載ヘッド１５を移動する。

そして予め決められたプログラムに従って、制御部７０は、上記インデックスθ軸モータ駆動部７５またはθ軸モータ駆動部７６を駆動してインデックスθ軸駆動モータまたはθ軸駆動モータを回転制御し、搭載対象の電子部品を所持する吸着ノズルのカムフォロアを嵌合部材に挟持させる（シングルピック配置）。また、搭載対象の電子部品を所持する吸着ノズルが、プログラムに登録された搭載位置上方に配置されるように、上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御する。

そして、制御部７０はZ軸モータ駆動部７４を駆動して搭載対象の電子部品を所持する上記吸着シャフトを下降させ、この部品搭載位置で、当該吸着ノズルの端部から当該電子部品を解放する。そして、吸着シャフトを所定位置まで上昇させる。

更に、他の吸着ノズルに吸着される電子部品を順に搭載させる場合は、インデックスθ軸モータ駆動部７５及びθ軸モータ駆動部７６を駆動して、搭載対象とする電子部品を所持する他の吸着シャフトのカムフォロア２１が上記嵌合部材３４に挟持されるようにインデックスθ軸駆動モータ及びθ軸駆動モータを回転制御する。なおこの際に、搭載対象の電子部品を所持する当該吸着シャフトが、予め決められた部品搭載位置の上方に配置されるように、上記X軸モータ駆動部７３またはY軸モータ駆動部７２を駆動してX軸モータまたはY軸モータを回転制御する。なお、電子部品を吸着ノズルから解放する際は、空気圧制御装置の空気圧制御により、エアホース及び吸着シャフトを介して対象の吸着ノズルの端部に正圧がかけられ、その端部から電子部品を解放する。

以上の一連の動作はプリント基板に対して所定の電子部品が搭載されるまで繰り返し行なわれる。
図８及び図９は、吸着シャフトのインデックスθ回転及びθ回転の回転制御パターンの一例であり、その一連の回転制御を順を追って示している。

なお、この回転制御パターンやそれを応用したパターンは、後述する吸着ノズルの装着やカメラ撮影で複数回撮影を実施する場合にも当然適用できる。
各図の左側にその動作内容が示され、右側にその動作イメージが示されている。各図の動作イメージは回転式搭載ヘッドの真下から作図したものであり、説明しやすいように吸着ノズル１７（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅ、１７ｆ）及びその端面に吸着された電子部品８０のみを示している。

図８及び図９は、図１の部品供給位置１０−１から電子部品を一つずつ吸着ノズルで取得するシングルピックモードにおける制御パターンが示されている。そして、６つの吸着ノズル１7の内、同図の吸着ノズル１７ａが同図の最下端に位置する状態（同図（ａ））を、初期配列（インデックスθ＝0、θ＝0）とする。そして、何れの吸着ノズルにおいても、その位置が最下端に配置された時に嵌合部材の下降動作に基づく電子部品の吸着が可能となる。すなわち、この初期配列に示される吸着ノズル１７ａの位置（以下、基準位置とする）に各吸着ノズルが配置されるように吸着シャフト１６が回転制御され、この基準位置にある吸着シャフトの昇降動作により、その先端の吸着ノズルで、供給された電子部品８０の取得動作を行なう。なお以後に説明においては、同図の右回りを順回転、左回りを逆回転とする。

先ず、上記初期配列において、吸着ノズル１７ａで電子部品８０を取得する（ステップS１）。
続いて、吸着ノズル１７ｂで電子部品８０を取得するために、インデックスθを６０度順回転させて上記基準位置に吸着ノズル１７ｂを配置させ、これと共にθを１３２度順回転させ、そして吸着ノズル１７ｂで電子部品８０を取得する（ステップS２）。

吸着ノズル１７の位置は、インデックスθ軸周りの回転制御により基準位置に移動させることができるが、この移動では、外歯付き駆動プーリ２７の回転による吸着シャフト１６のインデックスθ回転により、吸着シャフト１６が内外歯付き駆動プーリ３０、更には内歯付き回転盤３１による負荷を受けてθ軸周りに回転する。このため、吸着ノズル１７のθ軸周りの回転角を一定に維持することができない。そこで、上述したように吸着シャフト１６のインデックスθ回転と共に内外歯付き駆動プーリ３０を回転制御して上記吸着シャフト１６をθ軸周りに所定の角度だけ回転させて、吸着ノズル１７のθ軸周りの回転角を一定の回転角に維持する。

このように、残りの吸着ノズル１７ｃから１７ｆに対しても同様に、吸着シャフト１６を回転前の角度から更にインデックスθに対して６０度及びθに対して１３２度順回転させることで、吸着ノズル１７を基準位置に順次移動し、６本全ての吸着ノズルに対して同一の傾きで電子部品８０を吸着させる（同図（ｂ））（ステップS３からS６）。なお、ここでは、６本全ての吸着ノズルに対して電子部品８０を吸着させたが、電子部品８０のサイズなどにより、電子部品を吸着させる吸着ノズル１７を適宜指定できる。その場合、最も短時間で電子部品が取得できるように回転制御させることが望ましい。

続いて、吸着ノズル１７で取得した電子部品８０の吸着状態を撮影するために、上記ステップS６の吸着ノズル１７の状態（インデックスθ＝３００度、θ＝６６０度、同図（ｂ））から撮影可能な体制（撮影ポジション）に吸着ノズルをインデックスθ回転及びθ回転させる。撮影ポジションは、吸着ノズルに吸着した電子部品のサイズや、電子部品８０を何れの吸着ノズル１７で吸着しているかによって異なり、その撮影ポジションの詳しいパターンは後述する。ここでは、６本全ての吸着ノズル１７に小さい電子部品が吸着されている例について説明する。

上記例の場合、６つの吸着ノズル１７が左右に対称に配置された状態（マルチピック配置）において、吸着ノズル１７の夫々に吸着される6つの電子部品８０を一度に撮影することが可能となる。このため、上記ステップS６の状態からインデックスθ＝３０度及びθ＝６６度順回転させる（同図（ｃ））（ステップS７）。

そして、撮影が終了すると続いてプリント基板８上へ電子部品８０を搭載するための回転制御が行なわれる。
現時点で吸着ノズル１７は初期配列からインデックスθ＝３３０度及びθ＝７２６度の回転制御が順方向に行なわれ、その分だけ各ベルト４２、４５が同一方向へ回転している。ここで、プリント基板８上に電子部品８０を搭載する前に、上記インデックスθ＝３３０度及びθ＝７２６度の回転制御を逆方向に行なう（同図（ｄ））（ステップS８）。これにより吸着ノズル１７ａは基準位置に戻される。そしてこれ以後は、当該基準位置に回転制御された吸着ノズル１７の電子部品８０がプリント基板８上の電子部品搭載位置に順次解放される。

例えば、先ず吸着ノズル１７ａから電子部品８０が解放され（ステップＳ９）、上記ステップS２からステップS6に示すように、回転前の角度から更にインデックスθを６０度及びθを１３２度順回転させることで各吸着ノズル１７を部品搭載位置に順次移動（同図（ｅ））し、６本全ての吸着ノズル１７から電子部品８０を解放させる（同図（ｆ））（ステップ１０からステップＳ１４）。

そして、現時点で吸着ノズル１７は初期位置からインデックスθ＝３００度及びθ＝６６０度の回転制御が順方向に行なわれているため、最後に再び、上記インデックスθ＝３００度及びθ＝６６０度の回転制御を逆方向に行なって各吸着ノズル１７を初期配列に戻す（同図（ｇ））（ステップS１５）。そして、再び、電子部品の吸着動作を開始する。

なお、以上の説明ではシングルピックモードについて説明したが、例えば続くモードが複数の電子部品を同時に吸着させるマルチピックモード（本例では二つの電子部品を同時に吸着させることができることとしている）である場合は同図（ｆ）の状態から、同図（ｈ）に示されるように上記インデックスθ＝２７０度及びθ＝５９４度の回転制御を逆方向に行なって吸着ノズル１７ａを基準位置からインデックスθ＝３０度及びθ＝６６度に順回転させた配置にして電子部品の吸着動作を開始し、引き続きマルチピックモードで電子部品を吸着する場合は、その配置から順方向にインデックスθ＝１２０度、θ＝２６４度回転させることを繰り返すことで電子部品を二つずつ吸着させることができる。

また、上記シングルピックモード及びマルチピックモードを任意に組み合わせることも可能である。
このように、吸着シャフトのインデックスθ回転及びθ回転を所定の段階で初期状態に戻すように回転制御することで、上記ベルトを一定方向に回転し続けることにより生じるベルトの誤差を無くし、インデックスθ回転及びθ回転の精度を高く維持すことが可能になる。

上述した制御パターンは一例であり、吸着シャフトのインデックスθ回転及びθ回転を所定の回転角の範囲内で回転制御する制御パターンであれば良く、上記初期状態に戻すタイミングには例えば電子部品の吸着処理が終了した段階や電子部品の搭載処理が終了した段階など、適宜設定して良い。例えば、順方向に回転させながら電子部品の吸着処理を行ない、逆方向に回転させながら電子部品の搭載処理を行なわせることもできる。この場合には、吸着処理における吸着シャフトのインデックスθ回転及びθ回転を搭載処理時に順じ戻すことができるので、上記ベルト誤差を無くすと共に、上記初期状態への戻し動作処理による時間を短縮することができる。

図１0は、吸着ノズルをツールチェンジャから吸着シャフトに装着する際の配置構成図である。
同図は、図１において最も手前に示される回転式搭載ヘッド１５を対象にし、これに構成される吸着シャフトと基台３上のツールチェンジャの配置関係を同図の上方から模式的に示している。

なお、図１と対応する個所は同一の番号を付与している。
同図には、撮影カメラ１８の右隣にツールチェンジャ１００が示されている。また、右下には回転式搭載ヘッド１５の６つの吸着シャフト１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、１６ｆ）が示されている（この吸着シャフトの配列は図３（ｂ）に実線で示されるシングルピック配置の吸着シャフトの配列と対応しており、図３（ｂ）のカムフォロア受け板の左側に開口する切り欠き部は図９においては下側に配置される）。

本例のツールチェンジャ１００は、同図のツールチェンジャ１００内に１から６、７から１２、１３から１８、１９から２４の番号で付与される４つの範囲からなり、各番号で示される矩形領域に吸着ノズル１７が一つずつ配置されている。そして、上記各々の範囲内の隣り合う矩形領域のピッチは、回転式搭載ヘッド１５に構成される６つの吸着シャフト１６の互いに隣り合う中心軸間距離と一致または略一致させており、例えば上記中心軸間距離が１６．５ｍｍであれば、当該ツールチェンジャ１００に構成される上記各々の範囲内の隣り合う矩形領域は１６．５ｍｍピッチとする。本例の場合、左右に隣り合う範囲間の距離が２４．５ｍｍピッチに設定されているため、１６．５ｍｍピッチの吸着シャフト１６とはピッチが合わない。

そして、図８及び図９において詳しく説明したためここでは特に説明しないが、電子部品吸着時の回転制御パターンを適用して、各吸着シャフトに一つずつまたは複数の吸着シャフト（本例では二つの吸着シャフト）に対して各々同時に吸着ノズルを装着できる。本例では、この同時装着を同一の範囲内に隣り合う位置に配置された吸着ノズルを対象に行なう。

なお、言うまでもないが、吸着ノズルを装着する際のインデックスθ回転およびθ回転制御では、予め決めた所定範囲の角度内で回転制御することが望ましい。
図１１は、吸着ノズルに吸着させた電子部品の吸着状態を撮影カメラで撮影する撮影パターンを説明するための図である。

同図（ａ）は、比較的に小型の電子部品を撮影する場合に適用される撮影パターン（Ａパターン）であり、６つの吸着ノズル１７の全てに吸着した電子部品８０を同時に撮影する。

同図に示される矩形形状の枠１１０は撮影カメラの撮影エリアである。同図（ａ）では、６つの吸着ノズル１７（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅ、１７ｆ）をマルチピック配置にすることにより、各吸着ノズル１７に吸着させた小型の電子部品８０（一例として挙げるならば、部品サイズ３．２ｍｍ×１．６ｍｍ以下）を全てその撮影エリア１１０に納めることができる。

同図（ｂ）は、比較的に大きい電子部品を撮影する場合に適用される撮影パターンで（Ｂパターン）あり、６つの吸着ノズルに吸着した電子部品を３つずつ２回に分けて撮影する。

本Ｂパターンでは、吸着ノズル１７に吸着させた電子部品１１１が比較的に大きい（一例として挙げるならば、部品サイズ１０ｍｍ×１０ｍｍ以下）ため、上記撮影エリア１１０にその全てを納めることができない。そのため、上記撮影エリア１１０に納めることができる三つの電子部品１１１―１から１１１−３、及び、１１１−４から１１１−６毎に２回に分けて撮影を行なう。本例では、シングルピック配置で先ず下半分の三つの電子部品１１１―１から１１１−３を撮影し、続いて上半分の残りの三つの電子部品１１１−４から１１１−６を撮影する。上記撮影エリア１１０に、下半分の三つの電子部品１１１―１から１１１−３から上半分の三つの電子部品１１１−４から１１１−６を納める方法としては、搭載ヘッド支持塔を水平移動（同図の上から下への移動）させる方法や、インデックスθの１８０度回転及びこれに伴ないθ回転させる方法により、電子部品の向きを維持しつつ下半分の三つの電子部品１１１−４から１１１−６から上半分の三つの電子部品１１１―１から１１１−３に撮影対象を切り替えることができる。

同図（ｃ）は、比較的に大きい電子部品を撮影する場合に適用される撮影パターンで（Ｃパターン）ある。
本Ｃパターンでは、吸着ノズル１６に吸着させた電子部品１１２が比較的大きい（一例として挙げるならば、部品サイズ１８ｍｍ×１８ｍｍ以下）ため、吸着ノズル１６間のピッチが小さいと全ての吸着ノズル１６に電子部品１１２を吸着させることができない。この場合、同図に示されるように吸着ノズル１６の一つ置きに電子部品１１２を吸着させ、これら三つの電子部品１１２−１、１１２−２、１１２−３を一つずつ上記撮影エリア１１０に移動させて撮影する。よって本例では、３回に分けて撮影を行なう。本例では、シングルピック配置で先ず最下端の電子部品を撮影し、続いて隣接する電子部品を順に撮影する。上記撮影エリア１１０に、各電子部品１１２−１、１１２−２、１１２−３を納める方法としては、インデックスθ回転及びθ回転により、電子部品の向きを維持しつつ切り替えることができる。

同図（ｄ）は、大きい電子部品を撮影する場合に適用される撮影パターンで（Ｄパターン）ある。
本Ｄパターンでは、吸着ノズル１６に吸着させた電子部品１１３が大きい（一例として挙げるならば、部品サイズ２５ｍｍ×２５ｍｍ以下）ため、θ回転を考慮すると吸着ノズル１６には上記大きい電子部品１１３を一つしか吸着させられない。但し、θ回転において上記大きい電子部品１１３と衝突しない大きさの電子部品であれば、他の吸着ノズル１１０に対して吸着させることができ。本例では、同図に示されるようにインデックスθ回転の中心点を挟む点対称位置に比較的大きめの電子部品１１２−１を吸着させている。そして、これら二つの電子部品１１３、１１２−１を一つずつ上記撮影エリア１１０に移動させて撮影する。本例では上記大きい電子部品１１３と比較的大きめの電子部品１１２−１を２回に分けて撮影する。

上記撮影エリア１１０に、上記大きい電子部品１１３から上記比較的大きい電子部品１１２−１を納める方法としては、搭載ヘッド支持塔を水平移動（同図の上から下への移動）させる方法や、インデックスθの１８０度回転及びこれに伴ないθ回転させる方法により、電子部品の向きを維持しつつ電子部品の撮影対象を切り替えることができる。

なお、電子部品の高さにより同時撮影が困難である場合は、電子部品を一つずつ撮影するようにすればよい。また、電子部品のサイズによりインデックスθ回転及びθ回転が不可能となる場合は、６本の吸着ノズルの一つのみに電子部品を吸着させるようにして、その電子部品のみを撮影するようにすればよい。

本例では、６本の吸着シャフトが構成された回転式搭載ヘッドを備える部品搭載装置について詳しく説明した。しかし、言うまでもないが、上記回転式搭載ヘッドは６本に限らず２本や３本や４本など、複数本の吸着シャフトを備えるように構成することもできる。また本例では、マルチピック配置において、嵌合部材に２本の吸着シャフトを配置することで２本同時に吸着ノズルを装着したり、電子部品を吸着できるようにしたりしたが、嵌合部材に３本や４本など、複数本の吸着シャフトを配置できるように構成し、複数本同時に吸着ノズルを装着したり、電子部品を吸着できるようにしたりしても良い。

更に、本例では吸着シャフトを一体回転させる回転軸周りに等距離に配置したが、その距離は一定でなくても良い。この場合、例えば、各吸着シャフトに構成させるナットの外輪歯車が内外歯付きプーリの内輪歯車に噛み合さるように各吸着シャフトの外輪半径を変えて構成することができる。

以上のように、本部品搭載装置によれば、吸着シャフトの自己回転が可能な回転式部品搭載ヘッドをギアの組み合わせで構成することができ、更に、上記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュの発生を防止することができる。そして、このバックラッシュの発生を防止したことにより、上記吸着シャフトの自己回転を精度良く、速い反応で行うことが可能になる。

また、このギアを所定範囲の回転角内の回転に制御することにより、このギアを回転させるタイミングベルトによる誤差を抑止することが可能となり、上記吸着シャフトの更に精度の良い自己回転と、精度の良い一体回転を実現できる。

従って、吸着ノズルの装着時、電子部品の吸着時、電子部品の撮影時、またはプリント基板上への電子部品の搭載時などにおいて、より正確な処理を高速に行なえ、更に、部品搭載処理の中断や廃棄基板の増発なども減少させ、作業効率を高めることが可能になる。

また、一例に挙げたように、複数の吸着シャフトを所定の中心軸を中心に一体に回転させ且つ各吸着シャフトの位置や該吸着シャフトの自己の中心軸の向きを変えることなく各吸着シャフトを自己の中心軸を中心に自己回転させるように構成した場合、所定の吸着シャフトを他の吸着シャフトと一体的に位置移動させることなく該吸着シャフトを自己回転させることが可能になる。

この場合、吸着シャフトのインデックスθ回転やθ回転、更には昇降動作を、夫々、一つの駆動源で行うことが可能であり、コストの低下、回転式搭載ヘッドの軽量化、コンパクト化を実現できる。

本発明の実施の形態である部品搭載装置の一例である。 回転式搭載ヘッドの拡大斜視図である。 カムフォロア受け板の構造及び吸着シャフトの昇降動作を可能にする機構を説明するための図である。 図２の第一の固定板材２２及び第二の固定板材２３に構成される回転機構である。 内歯付きの回転盤と内外歯付きプーリの分解図である。 バックラッシュ防止ギアの作用を説明するための図である。 本例の部品搭載装置１の基台３に構成される制御装置のブロック構成図である。 吸着シャフトのインデックスθ回転及びθ回転の回転制御パターンの一例である。 吸着シャフトのインデックスθ回転及びθ回転の回転制御パターンの一例である（続き）。 吸着ノズルとツールチェンジャの配置構成図である。 撮影カメラによる撮影パターンを説明するための図である。

符号の説明

１３ 搭載ヘッド支持塔
１５ 回転式搭載ヘッド
１６ 吸着シャフト
１７ 吸着ノズル
２０ 継ぎ手
２１ カムフォロア
２２ 第一の固定板材
２３ 第二の固定板材
２４ 支柱
２５ カムフォロア受け板
２６ ベアリング
２７ 回転盤（外歯付き駆動プーリ）
２８ 小径の円形貫通孔
２９ ベアリング
３０ 回転盤
３１ 内歯付きの回転盤

Claims (14)

1. 電子部品を吸着する吸着ノズルの装着が可能な複数の吸着シャフトを備える部品搭載装置であって、
   前記複数の吸着シャフトを一体回転させる一体回転手段と、
   前記吸着シャフトを、自己の中心軸を回転軸にして自己回転させる自己回転手段と、
   前記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段と、
   を有する事を特徴とする部品搭載装置。
2. 電子部品を吸着する吸着ノズルの装着が可能な複数の吸着シャフトを備える部品搭載装置であって、
   前記複数の吸着シャフトを所定軸周りに一体回転させる一体回転手段と、
   前記所定軸の向きの変化または前記所定軸の直交方向への移動とは独立し且つ、前記複数の吸着シャフトの内の少なくとも一つの吸着シャフトを、自己の中心軸を回転軸にして自己回転させる自己回転手段と、
   前記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段と、を有し、
   更に、
   前記複数の吸着シャフトの内の一つまたは二つ以上の吸着シャフトを前記中心軸の軸方向に同時に移動させる軸方向移動手段と、
   を有する事を特徴とする請求項１に記載の部品搭載装置。
3. 電子部品を吸着する吸着ノズルの装着が可能な複数の吸着シャフトを備え、該吸着シャフトに前記吸着ノズルを装着して前記電子部品をプリント基板に搭載する部品搭載装置であって、
   前記複数の吸着シャフトを該複数の吸着シャフトの各中心軸が平行になるように保持し、前記複数の吸着シャフトの全ての中心軸に平行する軸の周りに前記複数の吸着シャフトの相対位置を保持したまま前記複数の吸着シャフトを一体回転させる一体回転手段と、
   前記複数の吸着シャフトの内の少なくとも一つの吸着シャフトを、自己の前記中心軸を回転軸にして自己回転させる自己回転手段と、
   前記吸着シャフトを自己回転させる際にバックラッシュを防止するバックラッシュ防止手段と、
   前記複数の吸着シャフトの内の一つまたは二つ以上の吸着シャフトを前記中心軸の軸方向に同時に移動させる軸方向移動手段と、
   を有する事を特徴とする請求項２に記載の部品搭載装置。
4. 前記一体回転手段、前記自己回転手段、及び前記軸方向移動手段は、前記プリント基板の電子部品搭載面上方を該電子部品搭載面に対して平行移動する平行移動体に構成される、ことを特徴とする請求項３に記載の部品搭載装置。
5. 前記自己回転手段は、
   前記各吸着シャフトの外周に該吸着シャフトと一体的に構成される外輪歯車と、
   該外輪歯車の少なくとも一部と噛み合わさり、該外輪歯車を介して前記吸着シャフトに該吸着シャフトの中心軸を回転軸とする自己回転動力を伝達する外輪歯車動力伝達手段と、
   によって構成されることを特徴とする請求項３または４に記載の部品搭載装置。
6. 前記自己回転手段は、
   前記各吸着シャフトの外周に該吸着シャフトと一体的に構成される外輪歯車と、
   前記複数の吸着シャフトの外周に構成される全ての前記外輪歯車を包括し且つ該全ての吸着シャフトの外輪歯車と噛み合わさる第一の内輪歯車と、
   前記第一の内輪歯車を回転することにより、前記各外輪歯車を介して前記全ての吸着シャフトに前記自己回転動力を伝達する内輪歯車動力伝達手段と、
   によって構成されることを特徴とする請求項３または４に記載の部品搭載装置。
7. 前記バックラッシュ防止手段は、
   該第一の内輪歯車の内輪に沿って回動自在であり且つ該第一の内輪歯車と前記外輪歯車とが噛み合わされた時の噛み合わせ部分のあそびを埋める第二の内輪歯車によって構成される、
   ことを特徴とする請求項６に記載の部品搭載装置。
8. 前記第二の内輪歯車は、内輪に沿って複数箇所に形成された長孔及び、各長孔に対応させて該各長孔の近傍に固定された支持ピンを有し、前記第二の内輪歯車が前記第一の内輪歯車と同一の回転軸で回動できるように、前記各長孔を介して前記第一の内輪歯車に固定される固定ピンによって挟持され、
   前記固定ピン及び該固定ピンに隣接する前記支持ピンが弾性部材で連結される、
   ことを特徴とする請求項７に記載の部品搭載装置。
9. 前記複数の吸着シャフトは、前記複数の吸着シャフトを前記一体回転させる軸の同心円上に構成され、
   前記自己回転手段は、前記全ての吸着シャフトを、各自の中心軸を回転軸にして自己回転させる、
   ことを特徴とする請求項２乃至８の何れか一つに記載の部品搭載装置。
10. 前記軸方向移動手段は、一つ以上の駆動源で構成される、ことを特徴とする請求項２乃至９の何れか一つに記載の部品搭載装置。
11. 前記電子部品が供給される部品供給位置から、前記吸着シャフトに装着された吸着ノズルによって前記電子部品を一個づつ吸着するシングルピック機能及び前記吸着シャフトに装着された複数の吸着ノズルによって複数個の電子部品を同時に吸着するマルチピック機能を有する、ことを特徴とする請求項２乃至１０の何れか一つに記載の部品搭載装置。
12. 交換用の吸着ノズルを保有する吸着ノズル交換位置から、前記吸着シャフトに前記吸着ノズルを一個づつ装着するシングル装着機能及び前記吸着シャフトに複数の吸着ノズルを同時に装着するマルチ装着機能を有する、ことを特徴とする請求項２乃至１１の何れか一つに記載の部品搭載装置。
13. 前記一体回転手段は、前記複数の吸着シャフトを同軸周りに一体に、所定回転角の範囲内を順回転または逆回転させ、
    前記自己回転手段は、所定回転角の範囲内を順方向または逆方向に自己回転させる、
    ことを特徴とする請求項２乃至１２の何れか一つに記載の部品搭載装置。
14. 前記複数の吸着シャフトに装着した吸着ノズルで吸着した電子部品の吸着状態を選択的に一回または複数回に分けて撮影する選択撮影機能を有する、
    ことを特徴とする請求項２乃至１３の何れか一つに記載の部品搭載装置。
    
    
    

Images