CN107852858B - 元件安装机、元件保持部件拍摄方法 - Google Patents

Abstract

相对于安装头(4)具有的8个吸嘴(40)排列的圆周轨道(O)而设置两个拍摄位置(IA、IB)。并且，对于各拍摄位置(IA、IB)，执行一边使8个吸嘴(40)绕旋转轴(C)连续旋转一边对依次位于拍摄位置(IA、IB)的各吸嘴(40)进行拍摄的动作。因此，在8个吸嘴(40)旋转两个拍摄位置(IA、IB)沿着圆周轨道(O)相邻的间隔(A)绕旋转轴(C)所成的角度(θc)以下的角度(θ4)的期间，能够使8个吸嘴(40)分别位于两个拍摄位置(IA、IB)中的任一个，来完成对8个吸嘴(40)的拍摄。这样，能够高效地对安装头(4)具有的多个吸嘴(40)进行拍摄。

Description

元件安装机、元件保持部件拍摄方法

技术领域

本发明涉及使用了旋转头的元件安装技术，该旋转头对沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道排列的多个元件保持部件以能够旋转的方式进行保持。

背景技术

专利文献1的元件装配装置对沿旋转方向以圆周状排列的多个吸嘴以能够旋转的方式进行保持，通过在设于旋转方向的预定位置的装配台上定位的吸嘴将元件向基板装配。而且，在这样的装置中，出于例如确认在元件装配前吸嘴吸附元件的情况、在元件装配后元件从吸嘴脱离的情况等的目的，而拍摄吸嘴。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5511912号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，近年来，在使用了对多个元件保持部件(吸嘴)以能够旋转的方式进行保持的旋转头的元件安装技术中，为了缩短向基板的元件安装所需的节拍时间，高效地对旋转头具有的多个元件保持部件进行拍摄的重要性增加。然而，上述的专利文献1无法充分满足这样的元件保持部件的拍摄的高效化。

本发明鉴于上述课题而作出，目的在于提供一种能够高效地对旋转头具有的多个元件保持部件进行拍摄的技术。

用于解决课题的方案

本发明的元件安装机为了实现上述目的，具备：旋转头，对沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道排列的N个(N为2以上的整数)元件保持部件以能够以旋转轴为中心一体旋转的方式进行保持；拍摄部，具有相对于圆周轨道而设置的L个(L为2以上的整数)拍摄位置，能够拍摄位于拍摄位置的元件保持部件；及控制部，执行如下的拍摄序列：对于各拍摄位置，执行一边使N个元件保持部件绕旋转轴连续旋转一边通过拍摄部对依次位于拍摄位置的各元件保持部件进行拍摄的动作，由此完成对N个元件保持部件的拍摄。

本发明的元件保持部件拍摄方法为了实现上述目的，包括以下的步骤：使N个(N为2以上的整数)元件保持部件开始旋转，所述N个元件保持部件沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道排列，并由旋转头以能够以旋转轴为中心旋转的方式进行保持；及拍摄位于相对于圆周轨道而设置的L个(L为2以上的整数)拍摄位置的元件保持部件，对于各拍摄位置，执行一边使N个元件保持部件绕旋转轴连续旋转一边对依次位于拍摄位置的各元件保持部件进行拍摄的动作，由此完成对N个元件保持部件的拍摄。

在这样构成的发明(元件安装机、元件保持部件拍摄方法)中，相对于旋转头具有的N个元件保持部件排列的圆周轨道而设置L个拍摄位置。并且，对于各拍摄位置，执行一边使N个元件保持部件绕旋转轴连续旋转一边对依次位于拍摄位置的各元件保持部件进行拍摄的动作。因此，在N个元件保持部件旋转L个拍摄位置沿着圆周轨道相邻的间隔中的最大间隔绕旋转轴所成的最大角度以下的角度的期间，能够使N个元件保持部件分别位于L个拍摄位置中的任一个，来完成对N个元件保持部件的拍摄。这样，能够高效地对旋转头具有的多个元件保持部件进行拍摄。

发明效果

根据本发明，能够高效地对旋转头具有的多个元件保持部件进行拍摄。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的元件安装机的局部俯视图。

图2是表示图1的元件安装机具备的电气结构的框图。

图3是示意性地表示安装头的一例的下端部附近的局部主视图。

图4是示意性地表示图3的安装头的底部的局部俯视图。

图5是示意性地表示拍摄单元的外观的局部立体图。

图6是等价地表示图5的拍摄单元具备的光学结构的示意图。

图7是示意性地表示拍摄单元具有的各拍摄部的拍摄位置与吸嘴的关系的局部俯视图。

图8是示意性地表示运算处理部执行的拍摄序列的一例的局部俯视图。

图9是示意性地表示变形例的拍摄单元具有的各拍摄部与吸嘴的关系的局部俯视图。

具体实施方式

图1是示意性地表示本发明的元件安装机的局部俯视图。图2是表示图1的元件安装机具备的电气结构的框图。在两图及以下的图中，适当表示以Z方向为铅垂方向的XYZ正交坐标。如图2所示，元件安装机1具备集中控制装置整体的控制器100。控制器100具有由CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)构成的计算机即运算处理部110及由HDD(Hard Disk Drive)构成的存储部120。此外，控制器100具有对元件安装机1的驱动系统进行控制的驱动控制部130和对后文详述的吸嘴的拍摄进行控制的拍摄控制部140。

并且，运算处理部110按照存储于存储部120的程序来控制驱动控制部130，由此执行程序所规定的元件安装。此时，运算处理部110的拍摄控制部140基于由相机60拍摄到的图像，对元件安装进行控制。而且，在元件安装机1设有显示/操作单元150，运算处理部110将元件安装机1的状况显示于显示/操作单元150，或者受理向显示/操作单元150输入的来自作业者的指示。

如图1所示，元件安装机1具备设置在基台11上的一对输送器12、12。并且，元件安装机1对于通过输送器12从X方向(基板搬运方向)的上游侧向安装处理位置(图1的基板S的位置)搬入的基板S安装元件，将完成了元件安装的基板S通过输送器12从安装处理位置向X方向的下游侧搬出。

在元件安装机1中，设有沿Y方向延伸的一对Y轴轨道21、21、沿Y方向延伸的Y轴滚珠丝杠22、驱动Y轴滚珠丝杠22旋转的Y轴电动机My，头支撑部件23以能够沿Y方向移动地支撑于一对Y轴轨道21、21的状态固定于Y轴滚珠丝杠22的螺母。在头支撑部件23安装有沿X方向延伸的X轴滚珠丝杠24、驱动X轴滚珠丝杠24旋转的X轴电动机Mx，头单元3以能够沿X方向移动地支撑于头支撑部件23的状态固定于X轴滚珠丝杠24的螺母。因此，驱动控制部130通过Y轴电动机My使Y轴滚珠丝杠22旋转而能够使头单元3沿Y方向移动，或者通过X轴电动机Mx使X轴滚珠丝杠24旋转而能够使头单元3沿X方向移动。

在一对输送器12、12的Y方向的两侧分别沿X方向排列有2个元件供给部28。多个带式供料器281沿X方向以排列间距La排列且以能够拆装的方式装配于各元件供给部28，在各带式供料器281配置有带盘，该带盘卷绕有隔开预定间隔地收纳了集成电路、晶体管、电容器等小片状的元件(芯片电子元件)的带。并且，带式供料器281通过将带向头单元3侧间歇地送出而供给带内的元件。

头单元3具有沿X方向以直线状排列的多个(4个)安装头4。各安装头4通过在下端安装的作为元件保持部件的吸嘴40(图3)，进行元件的吸附、安装。即，安装头4向带式供料器281的上方移动，吸附由带式供料器281供给的元件。具体而言，安装头4在使吸嘴40下降至与元件抵接为止之后，使吸嘴40内产生负压并使吸嘴40上升，由此吸附元件。接下来，安装头4移动到安装处理位置的基板S的上方而向基板S安装元件。具体而言，安装头4在使吸嘴40下降至元件与基板S抵接为止之后，使吸嘴40内产生大气压或正压，由此安装元件。这样，安装头4反复执行如下的安装循环：安装头4在位于带式供料器281并通过吸嘴40从带式供料器281保持了元件之后，移动到基板S的上方并通过吸嘴40向基板S安装元件，然后从基板S的上方返回到带式供料器281的上方。

图3是示意性地表示安装头的一例的下端部附近的局部主视图。图4是示意性地表示图3的安装头的底部的局部俯视图。如图3及图4所示，各安装头4是多个吸嘴40排列成圆周状的旋转头。接下来，并用图3及图4，说明安装头4的结构。需要说明的是，4个安装头4的结构相同，因此这里对于1个安装头4进行说明。

安装头4具有沿Z方向(铅垂方向)延伸的主轴41和在主轴41的下端支撑的吸嘴支架42。吸嘴支架42以能够沿着以与Z方向平行的旋转轴C(假想轴)为中心的旋转方向R旋转的方式被支撑，接受在安装头4的上端部设置的R轴电动机Mr(图2)的驱动力而旋转。而且，吸嘴支架42支撑呈以旋转轴C为中心的圆周状隔开等角度地排列的多个(8个)升降轴43。

各升降轴43以能够升降的方式被支撑，由图示省略的施力部件向上方施力。在各升降轴43的下端装配有能够拆装的吸嘴40。由此，吸嘴支架42支撑呈以旋转轴C为中心的圆周状隔开等角度地排列的多个(8个)吸嘴40。因此，当驱动控制部130向R轴电动机Mr输出旋转指令时，伴随着接受来自R轴电动机Mr的驱动力而旋转的吸嘴支架42，多个吸嘴40一体地沿着以旋转轴C为中心的圆周轨道O旋转。

另外，主轴41在多个升降轴43的上方支撑吸嘴升降机构44。吸嘴升降机构44具有以旋转轴C为中心而隔开180度角度地配置的2个按压部件441。各按压部件441接受内置于吸嘴升降机构44的Z轴电动机Mz(图2)的驱动力，相互独立地升降。因此，当驱动控制部130向Z轴电动机Mz输出下降指令时，按压部件441受到来自Z轴电动机Mz的驱动力而下降。由此，按压部件441使多个升降轴43中的位于正下方的一个升降轴43克服作用于该升降轴43的作用力而下降，使吸嘴40下降至进行元件的吸附或安装的下降位置Zd。另一方面，当驱动控制部130向Z轴电动机Mz输出上升指令时，按压部件441受到来自Z轴电动机Mz的驱动力而上升。由此，被按压部件441按下的一个升降轴43与吸嘴40一起并根据作用力而上升，吸嘴40上升至上升位置Zu。需要说明的是，在图3中，对于吸嘴40的下端分别示出下降位置Zd及上升位置Zu。

在这样的安装头4中，按压部件441的正下方成为吸嘴40进行元件的吸附、安装的作业位置PA、PB。即，对应于上述的2个按压部件441的配置，在安装头4中，2个作业位置PA、PB以旋转轴C为中心隔开180度角度地设置。另一方面，如图4所示，在吸嘴支架42中，以旋转轴C为中心隔开180度间隔地配置的2个吸嘴40(隔着旋转轴C而相互位于相反侧的2个吸嘴40)的对(吸嘴对)设置有P对(4对)，从而2×P个即8个吸嘴40沿圆周轨道O排列。这样成对的2个吸嘴40满足一方的吸嘴40位于作业位置PA的同时另一方的吸嘴40能够位于作业位置PB的配置关系。

因此，驱动控制部130通过R轴电动机Mr来调整多个吸嘴40的旋转角度，由此能够使构成4个吸嘴对中的任意的1个吸嘴对的2个吸嘴40、40分别位于作业位置PA、PB，用于元件的吸附、安装。

例如，在作业位置PA吸附元件的情况下，使安装头4移动到元件供给部28的上方而将作业位置PA定位于带式供料器281的正上方。在该状态下，使未吸附元件的吸嘴40在旋转方向R上停止于作业位置PA，并在Z方向上从上升位置Zu下降至下降位置Zd。并且，在吸嘴40与由带式供料器281供给的元件相接的定时，向吸嘴40提供负压，从带式供料器281向吸嘴40吸附元件。接下来，使吸附有元件的吸嘴40在Z方向上从下降位置Zd上升至上升位置Zu。在作业位置PB吸附元件的情况也同样。尤其是2个作业位置PA、PB沿X方向以直线状排列设置，成对的2个吸嘴40、40的中心间距离Lb与带式供料器281在X方向上的排列间距La(图1)相等。因此，位于作业位置PA、PB的2个吸嘴40、40能够同时从带式供料器281、281吸附元件。

或者在作业位置PA安装元件的情况下，使安装头4移动到基板S的上方而将作业位置PA定位于基板S的安装对象部位的正上方。在此状态下，使吸附元件的吸嘴40在旋转方向R上停止于作业位置PA，并在Z方向上从上升位置Zu下降至下降位置Zd。并且，在元件与基板S相接的定时，向吸嘴40提供大气压或正压，从吸嘴40向基板S安装元件。接下来，使元件脱离后的吸嘴40在Z方向上从下降位置Zd上升至上升位置Zu。在作业位置PB安装元件的情况也同样。

另外，在安装头4的主轴41的下端安装有圆柱形状的光扩散部件5，多个吸嘴40以包围光扩散部件5的方式排列。该光扩散部件5具有与例如日本特开2012-238726号公报记载的扩散部件同样的结构，用于接下来说明的拍摄单元6(图5、图6)对吸嘴40的侧视图拍摄。

接下来，并用图5及图6，说明拍摄单元6的结构。图5是示意性地表示拍摄单元的外观的局部立体图。图6是等价地表示图5的拍摄单元具备的光学结构的示意图。需要说明的是，在图5及图6中为了表示与安装头4的关系而局部性地示出安装头4的结构。该拍摄单元6具备相机60，通过相机60拍摄位于作业位置PA、PB的吸嘴40的侧视图。

拍摄单元6具备的壳体61具有：在来自Y方向的侧视观察下具有倒T字状且在上部安装有相机60的主体部611；及从主体部611的X方向的两端沿Y方向突出的2个吸嘴相向部612、612。并且，拍摄单元6以通过2个吸嘴相向部612、612在X方向上隔着多个吸嘴40的方式配置，且固定于安装头4的主轴4。这样，拍摄单元6与安装头4一体地构成，且伴随着安装头4能够移动。

在X方向的一侧的吸嘴相对部612的内侧壁设有从X方向与X方向的一侧的作业位置PA相向的第一窗62A，在一侧的吸嘴相向部612及主体部611的内部设有由棱镜、反射镜及透镜这样的光学元件631构成的第一光学系统63A。并且，从作业位置PA向第一窗62A入射的光由第一光学系统63A向相机60引导。由此，相机60内置的固体拍摄元件601中的第一范围601A接受来自作业位置PA的光。即，由第一窗62A、第一光学系统63A及固体拍摄元件601的第一范围601A构成的第一拍摄部64A配置在安装头4的一侧。并且，该第一拍摄部64A与在安装头4的一侧的侧面设置的作业位置PA相向，拍摄作业位置PA。

需要说明的是，如上所述，伴随着按压部件441的升降而吸嘴40在上升位置Zu与下降位置Zd之间升降。相对于此，第一窗62A以与在作业位置PA处处于上升位置Zu的吸嘴40的前端相向的方式配置，第一拍摄部64A从X方向(水平方向)拍摄在作业位置PA处处于上升位置Zu的吸嘴40的前端，由此拍摄吸嘴40的侧视图像。

另外，在X方向的另一侧的吸嘴相向部612的内侧壁配置有第一照明65A，该第一照明65A照射在第一拍摄部64A的拍摄中使用的照明用的光。该第一照明65A由在第二窗62B的两侧分别以矩阵状排列的多个LED(Light Emitting Diode)构成，从X方向的另一侧向作业位置PA照射光。这样，从配置在安装头4的X方向的另一侧的第一照明65A射出的光由光扩散部件5扩散之后向作业位置PA照射。

这样，第一拍摄部64A配置在安装头4的一侧，并与安装头4的一侧的侧面的作业位置PA相向。相对于此，第一照明65A从安装头4的另一侧向作业位置PA照射光。因此，第一拍摄部64A通过从作业位置PA的吸嘴40的背面拍摄第一照明65A照射的光，而拍摄吸嘴40的剪影图像。该剪影图像从固体拍摄元件601向拍摄控制部140传送，用于吸嘴40对元件的吸附、安装的成败判定。

另外，具备与第一拍摄部64A同样的结构的第二拍摄部64B配置在安装头4的另一侧。即，第二拍摄部64B将从作业位置PB向第二窗62B入射的光通过第二光学系统63B向固体拍摄元件601的第二范围601B(与第一范围601A相邻的范围)引导。这样，第二拍摄部64B从X方向(水平方向)拍摄在作业位置PB处处于上升位置Zu的吸嘴40的前端，由此拍摄吸嘴40的侧视图像。

此外，具备与第一照明65A同样的结构的第二照明65B配置在X方向的一侧的吸嘴相向部612的内侧壁，从X方向的一侧向作业位置PB照射光。即，第二拍摄部64B拍摄位于作业位置PB的吸嘴40的剪影图像。

这样，拍摄单元6具有第一拍摄部64A和第二拍摄部64B。并且，吸嘴40由第一拍摄部64A拍摄的拍摄位置IA(图7)与吸嘴40的作业位置PA一致，吸嘴40由第二拍摄部64B拍摄的拍摄位置IB(图7)与吸嘴40的作业位置PB一致。图7示出上述各拍摄部64A、64B的拍摄位置与吸嘴40的位置关系。

图7是示意性地表示拍摄单元具有的各拍摄部的拍摄位置与吸嘴的关系的局部俯视图。在该图中，为了区分多个吸嘴40而对它们标注不同的附图标记40a～40h。如该图所示，N个(8个)吸嘴40a～40h绕着旋转轴C隔开等角度(＝θn＝360度/N＝45度)地沿圆周轨道O排列。相对于此，L个(2个)拍摄位置IA、IB绕着旋转轴C而隔开相等角度θc(＝360度/L＝180度)的角度地设于圆周轨道O上，并沿圆周轨道O隔开间隔A地相邻。这样，在圆周轨道O上相邻的拍摄位置IA、IB绕着旋转轴C所成的角度θc的范围内至少存在两个或三个以上的吸嘴40(在此的例子中为4个)。并且，运算处理部110使用驱动控制部130及拍摄控制部140，在各拍摄位置IA、IB处如下所述拍摄吸嘴40a～40h。

图8是示意性地表示运算处理部执行的拍摄序列的一例的局部俯视图。在拍摄序列的开始定时T1，由吸嘴40a、40e构成的吸嘴对分别位于拍摄位置IA、IB。并且，运算处理部110同时拍摄位于拍摄位置IA的吸嘴40a及位于拍摄位置IB的吸嘴40e，并开始8个吸嘴40a～40h的向一方向(顺时针方向)的旋转。并且，在从定时T1起旋转了角度θ2(＝θn＝45度)的定时T2，当构成吸嘴对的吸嘴40b、40f分别到达拍摄位置IA、IB时，同时拍摄吸嘴40b、40f。而且，在从定时T1起旋转了角度θ3(＝θn×2＝90度)的定时T3，当构成吸嘴对的吸嘴40c、40g分别到达拍摄位置IA、IB时，同时拍摄吸嘴40c、40g。此外，在从定时T1起旋转了角度θ3(＝θn×3＝135度)的定时T4，当构成吸嘴对的吸嘴40d、40h分别到达拍摄位置IA、IB时，同时拍摄吸嘴40d、40h。这样，一边使8个吸嘴40a～40h连续地向一方向旋转，一边对依次位于拍摄位置IA的4个吸嘴40a～40d进行拍摄，同时对依次位于拍摄位置IB的4个吸嘴40e～40h进行拍摄。这样，每当吸嘴40位于拍摄位置IA、IB时对吸嘴40进行拍摄，当全部的吸嘴40的拍摄完成时，结束拍摄序列。

并且，运算处理部110与安装循环并行地执行拍摄序列，由此实现安装头4具有的8个吸嘴40的拍摄的高效化。具体而言，在安装循环的一部分即安装头4的8个吸嘴40a～40h中的各个吸嘴从带式供料器281吸附元件的动作结束而安装头4从带式供料器281的上方移动到基板S的上方的期间，运算处理部110执行拍摄序列。此时，运算处理部110基于8个吸嘴40a～40h各自的拍摄图像来确认吸嘴40a～40h中的各个吸嘴对元件的吸附。并且，运算处理部110对于下端没有元件的吸嘴40，判断为元件的吸附失败。此外，运算处理部110基于拍摄图像也适当判断吸嘴40吸附的元件的厚度、姿势。这样，能够高效地确认8个吸嘴40中的各个吸嘴对元件的吸附。

另外，在安装循环的一部分即安装头4的8个吸嘴40a～40h中的各个吸嘴向基板S安装元件的动作结束而安装头4从基板S的上方返回到带式供料器281的期间，运算处理部110执行拍摄序列。此时，运算处理部110基于8个吸嘴40a～40h各自的拍摄图像来确认有无下端附着有元件的吸嘴40。并且，运算处理部110如果对于全部吸嘴40a～40h未确认到元件的附着，则判断为上述的吸嘴40a～40h对元件的安装成功，而对于确认到元件的附着的吸嘴40，判断为元件的安装失败。这样，能够高效地确认在8个吸嘴40中的各个吸嘴是否附着有元件。

如以上说明所述，在本实施方式中，相对于安装头4具有的8个吸嘴40排列的圆周轨道O而设置2个拍摄位置IA、IB。并且，对于各拍摄位置IA、IB，执行一边使8个吸嘴40绕着旋转轴C连续旋转一边对依次位于拍摄位置IA、IB的各吸嘴40进行拍摄的动作。因此，在8个吸嘴40旋转2个拍摄位置IA、IB沿着圆周轨道O相邻的间隔A绕旋转轴C所成的角度θc以下的角度θ4的期间，能够使8个吸嘴40分别位于2个拍摄位置IA、IB中的任一个，来完成对8个吸嘴40的拍摄。这样，能够高效地对安装头4具有的多个吸嘴40进行拍摄。

另外，绕着旋转轴C而隔开180度角度地设置2个拍摄位置IA、IB。因此，能够在8个吸嘴40最多旋转180度的期间内完成对8个吸嘴40的拍摄，能够高效地对安装头4具有的8个吸嘴40进行拍摄。

另外，8个吸嘴40包括4对由绕着旋转轴C而隔开180度角度地设置的2个吸嘴40构成的吸嘴对。并且，运算处理部110使拍摄单元6同时拍摄同时位于2个拍摄位置IA、IB的构成吸嘴对的2个吸嘴40。这样，能够高效地对安装头4具有的8个吸嘴40进行拍摄。

尤其是安装头4具有的8个吸嘴40中的各个吸嘴分别都与其他的吸嘴40构成吸嘴对，运算处理部110同时拍摄构成吸嘴对的2个吸嘴40。上述结构与分别拍摄8个吸嘴40的情况相比，能够以一半的拍摄次数完成对8个吸嘴40的拍摄，能够高效地对安装头4具有的8个吸嘴40进行拍摄。

这样，在本实施方式中，元件安装机1相当于本发明的“元件安装机”的一例，安装头4相当于本发明的“旋转头”的一例，吸嘴40相当于本发明的“元件保持部件”的一例，旋转轴C相当于本发明的“旋转轴”的一例，圆周轨道O相当于本发明的“圆周轨道”的一例，拍摄单元6相当于本发明的“拍摄部”的一例，运算处理部110相当于本发明的“控制部”的一例，元件供给部28相当于本发明的“元件供给部”的一例，输送器12、12相当于本发明的“基板支撑部”的一例。

需要说明的是，本发明没有限定为上述实施方式，只要不脱离其主旨，就可以对上述的结构施加各种变更。例如，绕旋转轴C所成的拍摄位置IA、IB的角度并不局限于180度，可以是与180度不同的角度。

另外，在上述实施方式中，关于设有两处拍摄位置IA、IB的结构(即，“L”＝2的结构)进行了说明。然而，拍摄位置的个数并不局限于此，也可以为3个以上(即，“L”≥3)。因此，也可以如图9所示构成拍摄单元6。

图9是示意性地表示变形例的拍摄单元具有的各拍摄部与吸嘴的关系的局部俯视图。在该图的变形例中，3个第一拍摄部64A、64B、64C分别与3个拍摄位置IA、IB、IC相向，能够拍摄分别位于拍摄位置IA、IB、IC的吸嘴40的侧视图。上述拍摄位置IA、IB、IC绕旋转轴C隔开等角度θc(＝360度/3＝120度)地设置于圆周轨道O。

并且，运算处理部110对于各拍摄位置IA、IB、IC执行一边使8个吸嘴40连续旋转一边对依次位于拍摄位置IA、IB、IC的各吸嘴40进行拍摄的动作。因此，在8个吸嘴40旋转3个拍摄位置IA、IB沿着圆周轨道O相邻的间隔绕旋转轴C所成的角度θc以下的角度的期间，能够使8个吸嘴40分别位于3个拍摄位置IA、IB、IC中的任一个，来完成对8个吸嘴40的拍摄。即，能够在8个吸嘴40最多旋转120度的期间内完成对8个吸嘴40的拍摄。这样，能够高效地对安装头4具有的多个吸嘴40进行拍摄。

需要说明的是，在设置3个以上的拍摄位置的情况下，沿圆周轨道O相邻的拍摄位置绕旋转轴C所成的角度不需要彼此相等，也可以不同。

另外，拍摄序列的执行定时也并不局限于上述的例子。例如，在上述实施方式中，在安装循环中，在安装头4从带式供料器281移动到基板S的期间和从基板S返回到带式供料器281的期间两方执行拍摄序列。然而，也可以仅在上述期间中的任一方执行拍摄序列。例如，在以在从带式供料器281吸附了元件的吸嘴40上升至上升位置Zu的定时进行各吸嘴40的拍摄而确认吸嘴40对元件的吸附状态的方式进行了控制的情况下，也可以不在安装头4从带式供料器281移动到基板S的期间进行拍摄序列。

另外，作业位置PA、PB与拍摄位置IA、IB一致。然而，即使作业位置PA、PB与拍摄位置IA、IB不同，也能够同样地执行上述的拍摄序列。

另外，作业位置PA、PB的个数并不局限于上述的例子。因此，对于具有单一的作业位置PA的安装头4，也能够同样地执行上述的拍摄序列。

另外，安装头4具有的吸嘴40的个数并不局限于上述的例子，吸嘴40的个数可以为8个以上(即，“N”≥8)，也可以小于8个(即“N”<8)。

另外，在拍摄序列中使吸嘴40旋转的方向并不局限于图8例示的顺时针方向，也可以为逆时针方向。

另外，在图8中，从吸嘴40a、40e位于拍摄位置IA、IB的状态起开始吸嘴40的旋转。即，从拍摄N个吸嘴40中的最初位于拍摄位置IA、IB的吸嘴40a、40e起开始N个吸嘴40的旋转，接着最初的拍摄对象的吸嘴40a、40e之后使吸嘴40b～40d、40f～40h依次位于拍摄位置IA、IB，拍摄上述后续的吸嘴40b～40d、40f～40h，由此完成对N个吸嘴40的拍摄。然而，也可以从吸嘴40偏离拍摄位置IA、IB的状态起开始吸嘴40的旋转。在这种情况下，在N个吸嘴40的旋转开始之后，拍摄依次位于拍摄位置IA、IB的吸嘴40a～40d、40e～40f，由此能够完成对N个吸嘴40的拍摄。总之，只要通过使N个吸嘴40连续旋转来执行位于拍摄位置IA、IB的吸嘴40的变更，并拍摄依次位于拍摄位置IA、IB的吸嘴40，由此完成对N个吸嘴40的拍摄即可。

另外，能够作为“元件保持部件”使用的部件并不局限于上述那样的通过吸附来保持元件的吸嘴40。因此，例如也可以将通过把持元件来保持元件的部件用作“元件保持部件”。

以上，如例示具体的实施方式而说明那样，在本发明中，元件安装机可以构成为，例如，在拍摄部中，L＝2，绕着旋转轴而隔开180度角度地设置2个拍摄位置。在上述结构中，能够在N个元件保持部件最多旋转180度的期间内完成对N个元件保持部件的拍摄，能够高效地对旋转头具有的多个元件保持部件进行拍摄。

另外，元件安装机可以构成为，N个元件保持部件包括P对(P为1以上的整数)元件保持部件对，该元件保持部件对由绕着旋转轴而隔开180度角度地设置的2个元件保持部件构成，控制部使拍摄部同时拍摄同时位于2个拍摄位置的构成元件保持部件对的2个元件保持部件。上述结构能够同时拍摄构成元件保持部件对的2个元件保持部件，有助于旋转头具有的多个元件保持部件的高效的拍摄。

此时，元件安装机可以构成为，在旋转头中，N＝2×P，(2×P)个元件保持部件沿着圆周轨道排列。上述结构与分别拍摄N个元件保持部件的情况相比，能够以一半的拍摄次数完成对N个元件保持部件的拍摄，有助于旋转头具有的多个元件保持部件的高效的拍摄。

另外，元件安装机可以构成为，还具备供给元件的元件供给部和支撑基板的基板支撑部，旋转头执行如下的安装循环：旋转头在位于元件供给部的上方并通过元件保持部件从元件供给部保持了元件之后，移动到基板的上方并通过元件保持部件向基板安装元件，然后从基板的上方返回到元件供给部的上方，控制部通过与安装循环并行地执行拍摄序列来确认元件保持部件的状态。在上述结构中，与安装循环并行地对依次位于拍摄位置的元件保持部件进行拍摄，有助于旋转头具有的多个元件保持部件的高效的拍摄。

具体而言，元件安装机可以构成为，控制部在旋转头在安装循环中从基板的上方返回到元件供给部的上方的期间执行拍摄序列，由此确认在N个元件保持部件中的各个元件保持部件是否附着有元件。由此，能够高效地确认在N个元件保持部件中的各个元件保持部件是否附着有元件。

或者，元件安装机可以构成为，控制部在旋转头在安装循环中从元件供给部的上方移动到基板的上方的期间执行拍摄序列，由此确认N个元件保持部件中的各个元件保持部件对元件的保持。由此，能够高效地确认N个元件保持部件中的各个元件保持部件对元件的保持。

另外，元件安装机可以构成为，在拍摄部中，L＝3，绕着旋转轴而隔开120度角度地设置3个拍摄位置。在上述结构中，能够在N个元件保持部件最多旋转120度的期间内完成对N个元件保持部件的拍摄，能够高效地对旋转头具有的多个元件保持部件进行拍摄。

附图标记说明

1…元件安装机

12…输送器

28…元件供给部

4…安装头

40…吸嘴

6…拍摄单元

110…运算处理部

C…旋转轴

O…圆周轨道

Claims (8)

1.一种元件安装机，具备：

旋转头，对沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道排列的N个元件保持部件以能够以所述旋转轴为中心一体旋转的方式进行保持，其中N为2以上的整数；

拍摄部，具有以绕着所述旋转轴而隔开180度角度的方式相对于所述圆周轨道而设置的两个拍摄位置，能够拍摄位于所述拍摄位置的所述元件保持部件；及

控制部，执行如下的拍摄序列：对于各所述拍摄位置，执行一边使所述N个元件保持部件绕所述旋转轴连续旋转一边通过所述拍摄部对依次位于所述拍摄位置的各所述元件保持部件进行拍摄的动作，由此完成对所述N个元件保持部件的拍摄，

所述拍摄部具有：

两个相向部，以从水平方向隔着所述N个元件保持部件的方式配置；

相机，通过接收从窗入射的光，从水平方向对所述拍摄位置的所述元件保持部件进行拍摄，所述窗分别设于所述两个相向部且从水平方向与所述拍摄位置相向；

及照明，分别设于所述两个相向部，向所述拍摄位置照射光。

2.根据权利要求1所述的元件安装机，其中，

所述N个元件保持部件包括P对元件保持部件对，所述元件保持部件对由绕着所述旋转轴而隔开180度角度地设置的两个所述元件保持部件构成，其中P为1以上的整数，

所述控制部使所述拍摄部同时拍摄同时位于所述两个拍摄位置的构成所述元件保持部件对的所述两个元件保持部件。

3.根据权利要求2所述的元件安装机，其中，

在所述旋转头中，N＝2×P，(2×P)个所述元件保持部件沿所述圆周轨道排列。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的元件安装机，其中，

所述元件安装机还具备：

供给元件的元件供给部；及

支撑基板的基板支撑部，

所述旋转头执行如下的安装循环：所述旋转头在位于所述元件供给部的上方并通过所述元件保持部件从所述元件供给部保持了元件之后，移动到所述基板的上方并通过所述元件保持部件向所述基板安装元件，然后从所述基板的上方返回到所述元件供给部的上方，

所述控制部通过与所述安装循环并行地执行所述拍摄序列来确认所述元件保持部件的状态。

5.根据权利要求4所述的元件安装机，其中，

所述控制部在所述旋转头在所述安装循环中从所述基板的上方返回到所述元件供给部的上方的期间执行所述拍摄序列，由此确认所述N个元件保持部件中的各个元件保持部件是否附着有元件。

6.根据权利要求4所述的元件安装机，其中，

所述控制部在所述旋转头在所述安装循环中从所述元件供给部的上方移动到所述基板的上方的期间执行所述拍摄序列，由此确认所述N个元件保持部件中的各个元件保持部件对元件的保持。

7.根据权利要求5所述的元件安装机，其中，

所述控制部在所述旋转头在所述安装循环中从所述元件供给部的上方移动到所述基板的上方的期间执行所述拍摄序列，由此确认所述N个元件保持部件中的各个元件保持部件对元件的保持。

8.一种元件保持部件拍摄方法，包括以下的步骤：

使N个元件保持部件开始旋转，所述N个元件保持部件沿着以预定的旋转轴为中心的圆周轨道排列，并由旋转头以能够以所述旋转轴为中心旋转的方式进行保持，其中N为2以上的整数；及

通过拍摄部拍摄位于以绕着所述旋转轴而隔开180度角度的方式相对于所述圆周轨道而设置的两个拍摄位置的所述元件保持部件，所述拍摄部具有：两个相向部，以从水平方向隔着所述N个元件保持部件的方式配置；相机，通过接收从窗入射的光，从水平方向对所述拍摄位置的所述元件保持部件进行拍摄，所述窗分别设于所述两个相向部且从水平方向与所述拍摄位置相向；及照明，分别设于所述两个相向部，向所述拍摄位置照射光，

对于各所述拍摄位置，执行一边使所述N个元件保持部件绕所述旋转轴连续旋转一边对依次位于所述拍摄位置的各所述元件保持部件进行拍摄的动作，由此完成对所述N个元件保持部件的拍摄。

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