CN107835582B - 传送装置 - Google Patents

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Abstract

本申请涉及一种传送装置。在传送装置(100)中，带式传送机(10)装备有将物体从上游区域传送至下游区域的传送部分(15)。热源(20)布置在传送部分(15)的下方并且对被传送的物体进行加热。冷却部分(30)位于带式传送机(10)的末端部的下游并且对物体进行冷却。第一热声冷却装置(40)对冷却部分(30)进行冷却并且装备有第一声管(41)。第一原动机(42)以位于传送部分(15)下方的方式布置在第一声管(41)中，并且借助于自第一热源传递的热量产生声波。第一接收器(45)从声波产生与比热源(20)的温度低的冷却温度相对应的冷却热。

Description

传送装置
技术领域
本发明涉及一种传送物体的传送装置。
背景技术
在制造例如半导体装置的过程中，诸如半导体元件等的电子部件用焊料焊接至印刷电路板，然后进行回流。回流是对焊接有半导体元件的印刷电路板进行加热、再次熔化焊料、且然后对已加热的印刷电路板进行冷却的过程。可以提高半导体元件与印刷电路板之间的连接的可靠性。
在日本特许申请公报No.9-97976(JP 9-97976 A)中公开了一种回流炉，该回流炉在通过使用带式传送机传送印刷电路板的同时对印刷电路板进行加热。在根据日本特许申请公报No.9-97976(JP 9-97976 A)的回流炉中，面向带式传送机的传送带的传送表面设置有上加热器。在由传送带围绕的空间内设置有下加热器。印刷电路板在被带式传送机传送的同时被上加热器和下加热器加热。
在带式传送机的末端部一侧安装有用于冷却印刷电路板的冷却装置。为了例如防止通过再加热而熔化的焊料流出，冷却装置布置在带式传送机的末端部附近。然而，设置在回流炉中的加热器布置成靠近冷却装置。因此，存在加热器和冷却装置的能量效率(机械效率)降低的问题。
发明内容
本发明提供一种能够防止能量效率(机械效率)降低的传送装置。
根据本公开的传送装置配备有传送部分、第一热源、冷却部分以及第一热声冷却装置。传送部分将物体从上游区域传送至下游区域。第一热源对由传送部分传送的物体进行加热。冷却部分在下游方向被定义为从传送部分的前端部朝向传送部分的末端部的方向的情况下位于传送部分的末端部的下游，并且冷却部分对由传送部分传送的物体进行冷却。第一热声冷却装置对冷却部分进行冷却。第一热声冷却装置配备有第一原动机和第一接收器。第一原动机构造成使得通过热声现象借助于自第一热源传递的热量产生声波。第一接收器构造成使得通过使用热声现象借助于声波产生与比第一热源的温度低的冷却温度相对应的冷却热。冷却部分被冷却热冷却。
根据本公开，可以显著增大传送装置的能量效率。
附图说明
下面将参照附图对本发明的示例性实施方式的特征、优点以及技术和工业意义进行描述，在附图中，相同的附图标记表示相同的元件，并且在附图中：
图1是根据本发明的第一实施方式的传送装置的侧向截面图；
图2是图1中示出的第一热声冷却装置的平面图；
图3是图2中示出的第一原动机的平面剖视图；
图4是图2中示出的第一接收器的平面剖视图；
图5是根据本发明的第二实施方式的传送装置的侧向截面图；
图6是图5中示出的第二热声冷却装置的平面图；
图7是图6中示出的第二原动机的平面剖视图；
图8是图6中示出的第一原动机和图6中示出的第二接收器的平面剖视图；以及
图9是图2中示出的第一热声冷却装置的修改示例的平面剖视图。
具体实施方式
根据本发明的实施方式的传送装置配备有传送部分、第一热源、冷却部分以及第一热声冷却装置。传送部分将物体从上游区域传送至下游区域。第一热源布置在传送部分的下方，并且对由传送部分传送的物体进行加热。冷却部分在下游方向被定义为从传送部分的前端部朝向传送部分的末端部的方向的情况下位于传送部分的末端部的下游，并且冷却部分对由传送部分传送的物体进行冷却。第一热声冷却装置对冷却部分进行冷却。第一热声冷却装置配备有第一声管、第一原动机以及第一接收器。第一声管具有至少一个环形结构。第一原动机以位于传送部分的下方的方式布置在第一声管中，并且第一原动机构造成使得通过热声现象借助于由第一热源传递的热量产生声波。第一接收器构造成使得通过热声现象借助于声波产生与比第一热源的温度低的冷却温度相对应的冷却热。冷却部分通过冷却热进行冷却(第一构型)。
根据上述传送装置，第一热源对由传送部分传送的物体进行加热。第一热声冷却装置通过由热源产生的热量驱动来对冷却部分进行冷却。因此，除加热物体的第一热源以外，传送装置不需要配备有用于对冷却部分进行冷却的驱动源，因此可以显著提高能量效率(机械效率)。
在上述传送装置中，第一热声冷却装置还可以配备有第一驱动热导体和第一冷却热导体。第一驱动热导体热连接至第一热源。第一冷却热导体热连接至冷却部分。第一原动机配备有第一原动机堆叠部、第一加热器以及第一原动机基准温度调节器。第一原动机堆叠部与第一声管中的气体进行热交换。第一加热器设置在第一原动机堆叠部的一个端部处，并且热连接至第一驱动热导体。第一原动机基准温度调节器设置在第一原动机堆叠部的另一端部处，并且第一原动机基准温度调节器的温度被调节至比第一热源的温度低的第一基准温度。第一接收器配备有第一接收器堆叠部、第一接收器基准温度调节器以及第一冷却器。第一接收器堆叠部与第一声管中的气体进行热交换。第一接收器基准温度调节器设置在第一接收器堆叠部的一个端部处。第一冷却器设置在第一接收器堆叠部的另一端部处，并且热连接至第一冷却热导体(第二构型)。
根据第二构型，通过在第一原动机堆叠部中产生的温度梯度将第一热源的热量转换成声波。声波通过在第二原动机堆叠部中产生温度梯度来冷却第一冷却器。第一冷却器经由第一冷却热导体热连接至冷却部分，因此冷却部分可被冷却。
在上述传送装置中，第一声管的外周可以覆盖有隔热材料(第三构型)。
根据第三构型，可以抑制第一声管中的气体的温度由于来自热源的热量而升高。可以防止由于气体的温度升高而在第一声管中产生的声音的波长发生变化，从而可以保持第一热声冷却装置的冷却功能。
上述传送装置还可以配备有第二热源和第二热声冷却装置。第二热源布置在传送部分的下方，并且对由传送部分传送的物体进行加热。第二热声冷却装置将第一原动机基准温度调节器的温度调节至第一基准温度。第二热声冷却装置配备有第二驱动热导体、第二冷却热导体、第二声管、第二原动机以及第二接收器。第二驱动热导体热连接至第二热源。第二冷却热导体热连接至第一原动机基准温度调节器。第二声管具有至少一个环形结构。第二原动机以位于传送部分下方的方式布置在第二声管中。第二接收器以位于传送部分下方的方式布置在第二声管中。第二原动机配备有第二原动机堆叠部、第二加热器以及第二原动机基准温度调节器。第二原动机堆叠部与第二声管中的气体进行热交换。第二加热器设置在第二原动机堆叠部的一个端部处，并且热连接至第二驱动热导体。第二原动机基准温度调节器设置在第二原动机堆叠部的另一端部处，并且第二原动机基准温度调节器的温度被调节至比第二热源的温度低的第二基准温度。第二接收器配备有第二接收器堆叠部、第二接收器基准温度调节器以及第二冷却器。第二接收器堆叠部与第二声管中的气体进行热交换。第二接收器基准温度调节器设置在第二接收器堆叠部的一个端部处。第二冷却器设置在第二接收器堆叠部的另一端部处，并且热连接至第二冷却热导体(第四构型)。
根据第四构型，第二热声冷却装置通过被来自第二热源的热量驱动而对第一原动机基准温度调节器进行冷却。第四构型可以使在第一原动机堆叠部中产生的温度梯度比仅使用第一热声冷却装置的情况下的温度梯度更陡。因此，在不增加除了用于加热物体的热源之外的其他热源的情况下，也可以对冷却部分进行进一步冷却。
在上述传送装置中，第二声管的外周可以覆盖有隔热材料(第五构型)。
在第五构型中，抑制第二声管中的气体的温度由于来自热源的热量而升高。可以防止在第二声管中产生的声音的波长由于气体的温度升高而改变，因此可以保持第二热声冷却装置的冷却功能。
在上述传送装置中，热源可以布置在第一原动机与传送部分之间(第六构型)。
在第六构型中，由热源向上发出的热量用于加热物体，并且由热源向下发出的热量用于驱动第一热声冷却装置。热源发出的热量可以被有效地利用，因此能够进一步提高传送装置的能量效率。
下面将参照附图对本发明的实施方式进行详细描述。在附图中，与在其它附图中所说明的部件相同或相似的部件将由相同或相似的附图标记表示，并且将不重复对其描述。为了便于说明，本发明的实施方式的构型可以在各附图中进行简化、象征性示出或部分省略。
【第一实施方式】{传送装置100的构型}图1是根据本发明的第一实施方式的传送装置100的侧向截面图。图2是图1中示出的第一热声冷却装置40的平面图。图1中示出的传送装置100的侧向截面图等同于图2中示出的A-A截面图。
在下面的描述中，将x轴定义为从带式传送机10中的上游区域向下游区域的方向，将y轴定义为带式传送机10中的宽度方向，并且将z轴定义为带式传送机10中的向上方向。
图1中示出的传送装置100是对半导体装置9的焊料进行回流的回流装置。半导体装置9是焊接有半导体元件的印刷电路板。
传送装置100配备有带式传送机10、热源20、冷却部分30以及第一热声冷却装置40。
在带式传送机10中，传送部分15将半导体装置9从上游区域传送至下游区域。具体地，半导体装置9由传送部分15从作为传送部分15的上游端部部分的前端部15A传送至作为传送部分15的下游端部部分的末端部15B。
带式传送机10配备有前轮11、尾轮12以及环形带13。前轮11布置在前端部15A处。尾轮12布置在末端部15B处。环形带13桥接在前轮11与尾轮12之间。在带式传送机10中，可以放置半导体装置9的区域构成传送部分15。
热源20布置在传送部分15的下方。也就是说，热源20布置在带式传送机10的内部空间中，即，布置在由环形带13的内周表面131包围的空间中。热源20位于前轮11与尾轮12之间。热源20从下方对由传送部分15传送的半导体装置9进行加热。
在下游方向被定义为从传送部分15的前端部15A朝向传送部分15的末端部15B的方向的情况下，冷却部分30布置在末端部15B的下游。冷却部分30配备有基座，其中，已被传送至末端部15B的半导体装置9将被放置在该基座上。该基座由呈现出高导热性的材料形成。冷却部分30被第一热声冷却装置40冷却。
如图2所示，第一热声冷却装置40由配备有单个环路管的热声发动机构成。第一热声冷却装置40由从热源20供给的热量驱动，并且对冷却部分30进行冷却。第一热声冷却装置40的构型将在下文描述。
半导体装置9在由传送部分15从前端部15A传送至末端部15B的同时被热源20加热。在半导体装置9中，将印刷电路板与半导体元件彼此连接的焊料由于来自热源20的热量而熔化。
在到达末端部15B时，半导体装置9被放置在冷却部分30上。第一热声冷却装置40对冷却部分30进行冷却，因此半导体装置9被冷却部分30冷却。在半导体装置9中，由于来自热源20的热量而熔化的焊料通过被冷却部分30快速冷却而凝固成对变形和断裂呈现出高抗性的合适的晶体结构。因此，能够提高将半导体装置9中的印刷电路板与半导体元件彼此连接的焊料的可靠性。
{第一热声冷却装置40的构型}如图2所示，第一热声冷却装置40配备有第一声管41、第一原动机42、第一驱动热导体43、第一基准热导体44和47、第一接收器45以及第一冷却热导体46。
第一声管41是由单个环路构成的中空管，其中，该中空管中包封有诸如氮气、氦气、氩气等气体。
如图1和图2所示，第一声管41布置成平行于x-y平面，并且部分地穿过带式传送机10的内部空间。具体地，第一声管41具有在y轴方向上延伸的相交部分41A和非相交部分41B。相交部分41A在热源20的下方通过。即，相交部分41A穿过带式传送机10的内部空间，并且与环形带13垂直相交。非相交部分41B在冷却部分30的下方通过。也就是说，非相交部分41B通过带式传送机10的末端部下游的位置。
第一原动机42通过使用热声现象借助于从热源20传递的热量产生声波。由第一原动机42产生的声波传递通过第一声管。第一原动机42以位于热源20下方的方式布置在第一声管41中。具体地，第一原动机42布置在相交部分41A处，并且位于带式传送机10的内部空间中。热源20位于第一原动机42与传送部分15之间。
如图1和图2所示，第一驱动热导体43与热源20的下表面相接触，并且将热源20与第一原动机42彼此热连接。第一基准热导体44将第一原动机42与基准热源71彼此热连接。基准热源71的温度低于热源20的温度，并且等于例如室温。第一驱动热导体43和第一基准热导体44由呈现出高导热性的金属形成。
第一接收器45通过使用热声现象而借助于由第一原动机42产生的声波产生与比热源20的温度低的冷却温度相对应的冷却热。第一接收器45以位于传送部分15的末端部15B的下游的方式布置在第一声管41中。具体地，第一接收器45布置在非相交部分41B处，并且布置在面向冷却部分30的下表面的位置处。
如图1和图2所示，第一冷却热导体46将冷却部分30与第一接收器45彼此热连接。由第一接收器45产生的冷却热经由第一冷却导热体46传递至冷却部分30，从而冷却部分30被冷却。第一基准热导体47将第一接收器45与基准热源72彼此热连接。如基准热源71的情况那样，基准热源72的温度等于例如室温。第一冷却热导体46和第一基准热导体47由呈现出高导热性的金属形成。
图3是图2中示出的第一原动机42的平面剖视图。图3等同于通过沿着平行于x-y平面的平面切割布置有图2中示出的第一热声冷却装置40的第一原动机42的区域而得到的视图。
如图3所示，第一声管41的外周覆盖有隔热材料48。隔热材料48由绝热材料形成。另外，第一驱动热导体43、第一基准热导体44和47以及第一冷却热导体46也可以被隔热材料48覆盖。
第一原动机42配备有堆叠部421、第一加热器422以及基准温度调节器423。另外，堆叠部421、第一加热器422以及基准温度调节器423可以彼此成一体或者彼此分离。
堆叠部421与第一声管41中的气体进行热交换。堆叠部421具有圆柱形，并且堆叠部421的直径等于第一声管41的内径。在堆叠部421内侧以网状方式形成有从堆叠部421的一个端部421A至堆叠部421的另一端部421B穿透堆叠部421的多个通孔。通孔的开口具有例如方形或蜂窝形状。
第一加热器422是其外径等于第一声管41的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部421的一个端部421A处。一个端部421A是堆叠部421沿着y轴的正方向的相反方向的端部部分。第一加热器422的外周侧向表面与第一驱动热导体43相接触。如堆叠部421的情况那样，在第一加热器422的内侧以网状方式形成有在y轴的正方向上穿透第一加热器422的多个通孔。
基准温度调节器423是其外径等于第一声管41的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部421的另一端部421B处。另一端部421B是堆叠部421在y轴的正方向上的端部部分。基准温度调节器423的外周侧向表面与第一基准热导体44相接触。如堆叠部421的情况那样，在基准温度调节器423的内侧以网状方式形成有在y轴的正方向上穿透基准温度调节器423的多个通孔。
图4是图2中示出的第一接收器45的平面剖视图。图4等同于通过沿着平行于x-y平面的平面切割布置有图2中示出的第一热声冷却装置40的第一接收器45的区域而得到的视图。
第一接收器45配备有堆叠部451、第一冷却器452以及基准温度调节器453。另外，堆叠部451、第一冷却器452以及基准温度调节器453可以彼此成一体或者彼此分离。堆叠部451与第一声管41中的气体进行热交换。堆叠部451在结构上与堆叠部421相同，因此将省略对堆叠部451的详细描述。
基准温度调节器453是其外径等于第一声管41的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部451的一个端部451A处。一个端部451A是堆叠部451在y轴的正方向的相反方向上的端部部分。基准温度调节器453的外周与第一基准热导体47相接触。基准温度调节器453在结构上与基准温度调节器423相同，因此将省略对基准温度调节器453的详细描述。
第一冷却器452是其外径等于第一声管41的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部451的另一端部451B处。另一端部451B是堆叠部451在y轴的正方向上的端部部分。第一冷却器452的外周侧向表面与第一冷却热导体46相接触。第一冷却器452在结构上与第一加热器422相同，因此将省略对第一冷却器452的详细描述。
{第一热声冷却装置40的操作}将对由第一热声冷却装置40对冷却部分30进行冷却的操作进行描述。首先，将对第一原动机42的操作进行描述。如图1和图3所示，第一驱动热导体43将热源20与第一原动机42的第一加热器422彼此热连接。第一加热器422经由第一驱动热导体43从热源20接收其温度能够熔化焊料的热量来加热堆叠部421的一个端部421A。例如，当热源20的加热温度等于250℃时，通过使用良好的热导体构成第一驱动热导体43而将一个端部421A加热到接近250℃的温度。
如图2和图3所示，第一基准热导体44将基准热源71与第一原动机42的基准温度调节器423彼此热连接。基准温度调节器423经由第一基准热导体44从基准热源71接收与比热源20的温度低的第一基准温度相对应的热量。因此，基准温度调节器423的温度被调节至第一基准温度。因此，堆叠部421的另一端部421B的温度被调节至第一基准温度。例如，当第一基准温度等于25℃时，堆叠部421的另一端部421B的温度被调节至25℃。
因此，在堆叠部421中，设置有第一加热器422的一个端部421A的温度与设置有基准温度调节器423的另一端部421B的温度彼此不同。也就是说，在堆叠部421中产生温度梯度。由于在堆叠部421中产生的温度梯度，封装在第一声管41中的气体分子在堆叠部421的通孔中振荡。以这种方式，第一原动机42通过使用热声现象将从热源20传递的热量转换为声波。
在第一原动机42中发生的气体分子的振荡被传递至第一接收器45。气体分子在第一接收器45中的堆叠部451的通孔中振荡。当气体分子由于其振动而在y轴的正方向的相反方向上移动时，气体分子被绝热压缩。气体分子的温度由于绝热压缩而升高。然而，已经升高的温度被堆叠部451吸收。随后，当气体分子由于其振动而在y轴的正方向上移动时，气体分子的温度由于绝热膨胀而下降。气体分子在堆叠部451的通孔中反复进行绝热压缩和绝热膨胀，因此，在堆叠部451中，气体分子在另一端部451B侧的温度下降。因此，第一冷却器452被冷却。
第一冷却器452的温度根据第一声管41的尺寸、第一原动机42产生的温度梯度等而变化，但是比基准温度调节器453的温度低例如低约15℃。在这种情况下，当基准热源72的温度等于例如25℃时，第一冷却器452被冷却至约10℃。以这种方式，通过使用热声现象，第一接收器45借助于由第一接收器45发送的声波产生与比热源20的温度低的冷却温度相对应的冷却热。
如图1和图4所示，第一冷却器452经由第一冷却热导体46热连接至冷却部分30。第一冷却器452如上所述被冷却，从而经由第一冷却热导体46夺走冷却部分30的热量。也就是说，冷却部分30被由第一接收器45产生的冷却热冷却。当基准热源72的温度等于如上述示例中的25℃时，冷却部分30将被冷却至约10℃。
如上所述，第一热声冷却装置40通过由被热源20产生的热量驱动来对冷却部分30进行冷却。除热源20外，传送装置100不需要配备有用于冷却冷却部分30的驱动源，因此可以显著提高焊料回流的能量效率。
此外，热源20布置在第一热声冷却装置40的第一原动机42与带式传送机10的传送部分15之间。由热源20向上发出的热量用于对半导体装置9进行加热，并且由热源20向下发出的热量经由第一驱动热导体43供给至第一原动机42。因此，传送装置100可以更有效地使用由热源20产生的热量。
此外，第一声管41被隔热材料48覆盖。隔热材料48防止封装在第一声管41中的气体分子的温度由于来自热源20的热量而升高。当气体分子的温度升高时，第一声管41中产生的声音的速度发生变化。第一声管41中产生的声音的波长根据声音的速度而变化，所以由于气体分子的温度升高，第一冷却器452的温度可能不会下降至期望的温度。通过用隔热材料48覆盖第一声管41，抑制了封装在第一声管41中的气体分子的温度升高。因此，可以保持第一热声冷却装置40的性能。
【第二实施方式】{传送装置200的结构}图5是根据本发明的第二实施方式的传送装置200的侧向截面图。图6是图5中示出的第一热声冷却装置40以及图5中示出的第二热声冷却装置50的平面图。图5中示出的传送装置200的侧向截面图等同于图6中示出的B-B截面图。
在下面的描述中，x轴将被定义为在带式传送机10中从上游区域朝向下游区域的方向，y轴将被定义为带式传送机10中的宽度方向，并且z轴方向将被定义为带式传送机10中的向上方向。
图5中示出的传送装置200在下述方面不同于图1中示出的传送装置100。即，传送装置200除了配备有图1中示出的传送装置100所配备的部件之外还配备有第二热声冷却装置50。
第二热声冷却装置50由配备有单个环路管的热声发动机构成。第二热声冷却装置50通过使用从热源20提供的热量来冷却基准温度调节器423，第一热声冷却装置40的第一原动机42配备有基准温度调节器423。
如图6所示，第二热声冷却装置50配备有第二声管51、第二原动机52、第二驱动热导体53、第二基准热导体54和57、第二接收器55以及第二冷却热导体56。
如第一声管41的情况那样，第二声管51是具有单个环路的中空管，并且在第二声管51中封装有诸如氮气、氦气、氩气等气体。
第二声管51布置成平行于x-y平面。第二声管51布置在位于前轮11与第一热声冷却装置40之间的空间中，并且部分地布置在热源20的下方。具体地，第二声管51沿y轴方向延伸，并且具有与环形带13垂直相交的相交部分51A和51B。相交部分51A穿过带式传送机10的内部空间，并且布置在比相交部分51B更靠近前轮11的位置处。相交部分51B穿过带式传送机10的内部空间，并且布置在比相交部分51A更靠近第一热声冷却装置40的位置处。
第二原动机52通过使用热声现象借助于自热源20传递的热量产生声波。由第二原动机52产生的声波传递通过第二声管51。第二原动机52以位于热源20下方的方式布置在第二声管51中。具体地，第二原动机52布置在相交部分51A处，并且位于带式传送机10的内部空间中。热源20位于第二原动机52与传送部分15之间。
如图5和图6所示，第二驱动热导体53与热源20的下表面相接触，并且将热源20与第二原动机52彼此热连接。第二基准热导体54将第二原动机52与基准热源73彼此热连接。基准热源73的温度(第二基准温度)低于热源20的温度，并且等于例如室温。第二驱动热导体53和第二基准热导体54由呈现出高导热性的金属形成。
第二接收器55通过使用热声现象借助于传递通过第二声管51的声波产生与比热源20温度低的温度相对应并且用于对第一原动机42所配备的基准温度调节器423进行冷却的热量。第二接收器55以位于热源20下方的方式布置在第二声管51中。具体地，第二接收器55布置在相交部分51B处，并且位于带式传送机10的内部空间中。
第二冷却热导体56将第二接收器55与第一热声冷却装置40的第一原动机42彼此热连接。第二基准热导体57将第二接收器55与基准热源74彼此热连接。第二冷却热导体56和第二基准热导体57由呈现出高导热性的金属形成。如基准热源71的情况那样，基准热源74的温度等于例如室温。
图7是图6中示出的第二原动机52的平面剖视图。图7等同于通过沿着平行于x-y平面的平面切割布置有图6中示出的第二热声冷却装置50的第二原动机52的区域而获得的视图。
如图7所示，第二声管51的外周覆盖有隔热材料58。隔热材料58由绝热材料形成。另外，第二驱动热导体53、第二基准热导体54和57以及第二冷却热导体56也可以被隔热材料58覆盖。
第二原动机52配备有堆叠部521、第二加热器522以及基准温度调节器523。另外，堆叠部521、第二加热器522以及基准温度调节器523可以彼此成一体或者彼此分离。堆叠部521与第二声管51中的气体进行热交换。堆叠部521在结构上与堆叠部421相同，因此将省略对堆叠部521的详细描述。
第二加热器522是其外径等于第二声管51的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部521的一个端部521A处。一个端部521A是堆叠部521在y轴的正方向的相反方向上的端部部分。第二加热器522在结构上与第一加热器422相同，因此将省略对第二加热器522的详细描述。第二加热器522的外周侧向表面与第二驱动热导体53相接触，因此第二原动机52经由第二驱动热导体53热连接至热源20。
基准温度调节器523是其外径等于第二声管51的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部521的另一端部521B处。另一端部521B是堆叠部521的在y轴的正方向上的端部部分。基准温度调节器523在结构上与基准温度调节器423相同，因此将省略对基准温度调节器523的详细描述。基准温度调节器523的外周侧向表面与第二基准热导体54相接触，因此第二原动机52经由第二基准热导体54热连接至基准热源73。
图8是图6中示出的第一原动机42和图6中示出的第二接收器55的平面剖视图。图8等同于沿着平行于x-y平面的平面通过切割布置有图6中示出的第一热声冷却装置40的第一原动机42的区域以及布置有第二热声冷却装置50的第二接收器55的区域而获得的视图。
第二接收器55配备有堆叠部551、第二冷却器552以及基准温度调节器553。另外，堆叠部551、第二冷却器552以及基准温度调节器553可以彼此成一体或者彼此分离。堆叠部551与第二声管51中的气体进行热交换。堆叠部551与堆叠部421相同，因此将省略对堆叠部551的详细描述。
基准温度调节器553是其外径等于第二声管51的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部551的一个端部551A处。一个端部551A是堆叠部551在y轴的正方向的相反方向上的端部部分。基准温度调节器553在结构上与基准温度调节器423相同，因此将省略对基准温度调节器553的详细描述。基准温度调节器553的外周侧向表面与第二基准热导体57相接触，因此第二接收器55经由第二基准热导体57热连接至基准热源74。
第二冷却器552是其外径等于第二声管51的内径的盘形构件，并且设置在堆叠部551的另一端部551B处。另一端部551B是堆叠部551在y轴的正方向上的端部部分。第二冷却器552在结构上与第一加热器422相同，因此将省略对第二冷却器552的详细描述。第二冷却热导体56与第二冷却器552的外周侧向表面以及第一原动机42的基准温度调节器423的外周侧向表面相接触。也就是说，在本发明的本实施方式中，第一原动机42的基准温度调节器423通过第二冷却热导体56热连接至第二热声冷却装置50的第二冷却器552，而不是热连接到基准热源71。
{第二热声冷却装置50的操作}如图5和图7所示，在第二热声冷却装置50中，第二驱动热导体53将热源20与第二原动机52的第二加热器522彼此热连接。第二加热器522通过从热源20供给其温度能够熔化焊料的热量来对堆叠部521的设置有第二加热器522的一个端部521A进行加热。例如，当热源20的温度等于250℃时，堆叠部521的一个端部521A被加热至250℃。另一方面，第二基准热导体54向基准温度调节器523供给来自基准热源73的热量。因此，基准温度调节器523将堆叠部521的另一端部521B的温度调节至第二基准温度(例如25℃)。因此，如第一原动机42的情况那样，第二原动机52通过使用热声现象将从热源20传递的热量转换为声波。
第二原动机52中发生的气体分子的振荡(声波)被传递至第二接收器55。第二接收器55根据与第一接收器45冷却第一冷却器452的原理相同的原理冷却图8中示出的第二冷却器552。在第二接收器55中，基准温度调节器553的温度被调节至基准热源74的温度。因此，在第二接收器55中，如第一热声冷却装置40的第一冷却器452的情况那样，第二冷却器552被冷却至比基准热源74的温度低约15℃的温度。例如，当基准热源74的温度等于25℃时，第二冷却器552被冷却至约10℃。
如图8所示，第二冷却器552经由第二冷却热导体56热连接至第一原动机42的基准温度调节器423。因此，基准温度调节器423被冷却至比基准热源74的温度更低的温度。如在上述示例中，当基准热源74的温度等于25℃时，基准温度调节器423被冷却至约10℃。
如上所述，在本发明的第一实施方式中，第一原动机42(参见图3)的基准温度调节器423的温度被调节至基准热源71的第一基准温度。因此，当第一基准温度等于25℃时，堆叠部421的设置有基准温度调节器423的另一端部421B的温度被调节至25℃。在第一原动机42中，堆叠部421的设置有第一驱动热导体43的一个端部421A的温度是由来自热源20的热量产生的温度。因此，例如，当热源20的温度等于250℃，堆叠部421的一个端部421A与堆叠部421的另一端部421B之间的温度差为225℃。
另一方面，在本发明的第二实施方式中，如上所述，第一原动机42的基准温度调节器423通过第二冷却器552冷却至10℃。因此，在本发明的第二实施方式中，堆叠部421的一个端部421A与堆叠部421的另一端部421B之间的温度差为约240℃，高于本发明的第一实施方式中的温度差(约225℃)。当第一热声冷却装置40和第二热声冷却装置50彼此组合使用时，堆叠部421的温度梯度可以比在仅使用第一热声冷却装置40时的温度梯度更陡。
气体分子在堆叠部421的通孔中振荡，但气体分子的振幅随温度梯度的陡度的增大而增大。随着气体分子的振幅增大，气体分子与堆叠部451之间的热交换的量增加，因此第一接收器45的堆叠部451的温度梯度可以变陡。因此，增强了第一接收器45的冷却效果。因此，第一冷却器452的温度可以低于本发明的第一实施方式中的温度(10℃)。因此，由来自热源20的热量加热的半导体装置9可以被更有效地冷却。
如上所述，根据本发明第二实施方式的传送装置200配备有第一热声冷却装置40和第二热声冷却装置50，因此，在不使用除了热源20之外的其他热源的情况下，可以进一步对冷却部分30进行冷却。因此可以更有效地对冷却部分30进行冷却。
此外，第二声管51被隔热材料58覆盖。隔热材料58防止封装在第二声管51中的气体分子的温度由于来自热源20的热量而升高。当气体分子的温度升高时，在第二声管51中产生的声音的速度发生变化。在第二声管51中产生的声音的波长根据声音的速度而变化，因此，由于气体分子的温度升高，第二冷却器552的温度可能不会下降到期望的温度。通过用隔热材料58覆盖第二声管51，可以抑制封装在第二声管51中的气体分子的温度升高。因此，可以保持第二热声冷却装置50的性能。
【修改示例】在本发明的上述实施方式中，对第一热声冷却装置40是配备有单个环路管的热声发动机的情况进行了描述。然而，第一热声冷却装置40可以是配备有两个环路管的热声发动机。图9是第一热声冷却装置40是配备有两个环路管的热声发动机的情况下的第一热声冷却装置40的平面图。
如图9所示，第一热声冷却装置40配备有第一环路管61、第二环路管62以及连接管63。第一原动机42布置在第一环路管61中。第一接收器45布置在第二环路管62中。连接管63将第一环路管61与第二环路管62彼此连接。第一环路管61、第二环路管62和连接管63中的每一者都是封装有氮气、氩气、氦气等的声管。
第一环路管61布置成平行于x-y平面。第一环路管61在y轴方向上延伸，并且配置有与环形带13相交的相交部分61A和61B。相交部分61A和61B布置成在热源20的下方通过并且穿过带式传送机10的内部空间。相交部分61A布置在比相交部分61B更靠近前轮11的位置处，并且相交部分61B布置在比相交部分61A更靠近尾轮12的位置处。第一原动机42以位于带式传送机10的内部空间中的方式布置在相交部分61A处。
第二环路管62布置成平行于x-y平面。第二环路管62在y轴方向上延伸，并且配置有在冷却部30的下方通过的非相交部分62A和62B。非相交部分62A布置在比非相交部分62B更靠近尾轮12的位置处，并且非相交部分62B布置在比非相交部分62A更远离尾轮12的位置处。第一接收器45以位于冷却部分30的下方的方式布置在非相交部分62B处。连接管63以在x轴方向上延伸的方式布置在环形带13的内部空间的外侧。
如上所述，在热声冷却发动机配备有两个环路管的情况下，原动机42中产生的声波从第一环路管61传递至连接管63，并且又从连接管63传递至第二环路管62。设置在第二环路管62中的第一接收器45通过使用热声现象借助于传递至第二环路管62的声波产生与比热源20的温度低的冷却温度相对应的冷却热。
也就是说，第一热声冷却装置40可以配备有具有至少一个环形结构的声管。具体地，图9中示出的第一热声冷却装置40被认为具有两个环形结构，即，环路管61和62。第一原动机42可以以位于传送部分15的下方的方式布置在声管中。第一接收器45可以以位于带式传送机10的末端部的下游的方式布置在声管中。
在本发明的上述实施方式中的每个实施方式中，已经描述了第二热声冷却装置50是配备有单个环路管的热声发动机的示例。然而，第二热声冷却装置50可以如第一热声冷却装置40的情况那样是配备有两个环路管的热声发动机。在这种情况下，第二原动机52和第二接收器55可以以位于传送部分15的下方的方式布置在热声管中。
在本发明的上述实施方式中的每个实施方式中，已经描述了将第一原动机42和第二原动机52两者热连接至热源20的示例。然而，第一原动机42和第二原动机52可以分别热连接到分开的热源。
在本发明的上述实施方式中的每个实施方式中，已经描述了传送装置100是半导体装置9的回流装置的示例，但是本发明不限于此。只要传送装置100和200中的每一者借助于热源20对由带式传送机10传送的物体进行加热并且对被加热的物体进行冷却，则其预期目的并不受特别限制。
此外，传送装置100和200中的每一者可以不对在带式传送机10上传送物体中的物体进行加热。传送装置100和200中的每一者可以是在传送处于带式传送机10上物体之后对物体进行冷却的装置。在这种情况下，可以使用驱动带式传送机10的马达等作为热源20。
另外，在本发明的上述实施方式中的每个实施方式中，已经描述了传送部分15由带式传送机10构成的示例，但是本发明不限于此。只要物体可以从上游区域传送至下游区域，则除了带式传送机10之外的装置也可以用作传送部分15。
此外，在本发明的上述实施方式中的每个实施方式中，已经描述了由呈现出高导热性的金属形成第一驱动热导体43、第一基准热导体44和47、第一冷却热导体46、第二驱动热导体53、第二基准热导体54和57以及第二冷却热导体56的示例，但是本发明不限于此。这些热导体可以是用于循环诸如油相之类的液体的管道等。
此外，在本发明的上述实施方式中的每个实施方式中，已经描述了使用隔热材料覆盖第一声管41和第二声管51中的每一者的示例，但本发明不限于此。第一声管41和第二声管51中的每一者可以不被隔热材料覆盖。
此外，在本发明的上述实施方式中的每个实施方式中，已经描述了冷却部分30是要放置物体(半导体装置9)的基座的示例，但是本发明不限制于此。只要冷却部分30被由第一接收器45产生的冷却热冷却并且可以对物体进行冷却，则冷却部分30的形状就不受特别限制。

Claims (8)

1.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括：
传送部分(15)，所述传送部分(15)将物体从上游区域传送至下游区域；
第一热源(20)，所述第一热源(20)对由所述传送部分传送的所述物体进行加热；
冷却部分(30)，所述冷却部分(30)在下游方向定义为从所述传送部分的前端部朝向所述传送部分的末端部的方向的情况下位于所述传送部分的所述末端部的下游，并且所述冷却部分(30)对由所述传送部分传送的所述物体进行冷却；以及
第一热声冷却装置(40)，所述第一热声冷却装置(40)对所述冷却部分进行冷却，其中，
所述第一热声冷却装置(40)配备有第一驱动热导体(43)、以及具有至少一个环形结构的第一声管(41)，所述第一热声冷却装置配备有第一原动机(42)和第一接收器(45)，所述第一原动机(42)以位于所述传送部分下方的方式布置在所述第一声管中，所述第一原动机(42)构造成使得通过热声现象借助于从所述第一热源传递的热量产生声波，所述第一接收器(45)构造成使得通过所述热声现象借助于所述声波产生与比所述第一热源的温度低的冷却温度相对应的冷却热，并且
所述冷却部分(30)被所述冷却热冷却，
所述第一声管(41)与所述第一热源(20)通过所述第一驱动热导体(43)连接，所述第一原动机(42)被从所述第一热源(20)传递热量。
2.根据权利要求1所述的传送装置，其中，
所述第一热源(20)布置在所述传送部分的下方，
所述第一热声冷却装置(40)配备有第一冷却热导体(46)，所述第一驱动热导体(43)热连接至所述第一热源，所述第一冷却热导体(46)热连接至所述冷却部分(30)，
所述第一原动机(42)配备有第一原动机堆叠部(421)、第一加热器(422)以及第一原动机基准温度调节器(423)，所述第一原动机堆叠部(421)与所述第一声管中的气体进行热交换，所述第一加热器(422)设置在所述第一原动机堆叠部的一个端部处并且热连接至所述第一驱动热导体，所述第一原动机基准温度调节器(423)设置在所述第一原动机堆叠部的另一端部处，并且所述第一原动机基准温度调节器的温度被调节至比所述第一热源的温度低的第一基准温度，并且
所述第一接收器(45)以位于所述传送部分下方的方式布置在所述第一声管中，并且所述第一接收器(45)配备有第一接收器堆叠部(451)、第一接收器基准温度调节器(453)以及第一冷却器(452)，所述第一接收器堆叠部(451)与所述第一声管中的气体进行热交换，所述第一接收器基准温度调节器(453)设置在所述第一接收器堆叠部的一个端部处，所述第一冷却器(452)设置在所述第一接收器堆叠部的另一端部处并且热连接至所述第一冷却热导体。
3.根据权利要求2所述的传送装置，其中，
所述第一声管的外周覆盖有隔热材料(48)。
4.根据权利要求3所述的传送装置，还包括：
第二热源，所述第二热源布置在所述传送部分的下方并且对由所述传送部分传送的所述物体进行加热；以及
第二热声冷却装置，所述第二热声冷却装置将所述第一原动机基准温度调节器的温度调节至所述第一基准温度，其中，
所述第二热声冷却装置配备有第二驱动热导体、第二冷却热导体、第二声管、第二原动机以及第二接收器，所述第二驱动热导体热连接至所述第二热源，所述第二冷却热导体热连接至所述第一原动机基准温度调节器，所述第二声管具有至少一个环形结构，所述第二原动机以位于所述传送部分下方的方式布置在所述第二声管中，所述第二接收器以位于所述传送部分下方的方式布置在所述第二声管中，
所述第二原动机配备有第二原动机堆叠部、第二加热器以及第二原动机基准温度调节器，所述第二原动机堆叠部与所述第二声管中的气体进行热交换，所述第二加热器设置在所述第二原动机堆叠部的一个端部处并且热连接至所述第二驱动热导体，所述第二原动机基准温度调节器设置在所述第二原动机堆叠部的另一端部处，并且所述第二原动机基准温度调节器的温度被调节至比所述第二热源的温度低的第二基准温度，并且
所述第二接收器配备有第二接收器堆叠部、第二接收器基准温度调节器以及第二冷却器，所述第二接收器堆叠部与所述第二声管中的气体进行热交换，所述第二接收器基准温度调节器设置在所述接收器堆叠部的一个端部处，所述第二冷却器设置在所述第二接收器堆叠部的另一端部处并且热连接至所述第二冷却热导体。
5.根据权利要求4所述的传送装置，其中，
所述第二声管的外周覆盖有隔热材料(58)。
6.根据权利要求2所述的传送装置，还包括：
第二热声冷却装置(50)，所述第二热声冷却装置(50)将所述第一原动机基准温度调节器(423)的温度调节至所述第一基准温度，其中，
所述第二热声冷却装置(50)配备有第二驱动热导体(53)、第二冷却热导体(56)、第二声管(51)、第二原动机(52)以及第二接收器(55)，所述第二驱动热导体(53)热连接至所述第一热源(20)，所述第二冷却热导体(56)热连接至所述第一原动机基准温度调节器(432)，所述第二声管(51)具有至少一个环形结构，所述第二原动机(52)以位于所述传送部分下方的方式布置在所述第二声管中，所述第二接收器(55)以位于所述传送部分下方的方式布置在所述第二声管中，
所述第二原动机(52)配备有第二原动机堆叠部(521)、第二加热器(522)以及第二原动机基准温度调节器(523)，所述第二原动机堆叠部(521)与所述第二声管中的气体进行热交换，所述第二加热器(522)设置在所述第二原动机堆叠部的一个端部处并且热连接至所述第二驱动热导体，所述第二原动机基准温度调节器(523)设置在所述第二原动机堆叠部的另一端部处，并且所述第二原动机基准温度调节器的温度被调节至比所述第一热源的温度低的第二基准温度，并且
所述第二接收器(55)配备有第二接收器堆叠部(551)、第二接收器基准温度调节器(553)以及第二冷却器(552)，所述第二接收器堆叠部(551)与所述第二声管中的气体进行热交换，所述第二接收器基准温度调节器(553)设置在所述第二接收器堆叠部的一个端部处，所述第二冷却器(552)设置在所述第二接收器堆叠部的另一端部处并且热连接至所述第二冷却热导体。
7.根据权利要求6所述的传送装置，其中，
所述第二声管的外周覆盖有隔热材料(58)。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的传送装置，其中，
所述第一热源(20)布置在所述第一原动机(42)与所述传送部分(15)之间。
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