CN107742476A - 一种柔性显示基板母板及其切割方法、柔性显示基板、显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供一种柔性显示基板母板及其切割方法、柔性显示基板、显示装置，涉及显示技术领域，能够解决现有的柔性显示基板母板在切割分离的过程中产生的较大应力导致切割裂纹且切割裂纹难以消除，切割裂纹延伸至显示单元内造成柔性显示基板失效的问题。包括多个显示单元以及任意相邻的两个显示单元之间的可切割区域，柔性显示基板母板包括柔性衬底基板以及设置在柔性衬底基板上的多个无机绝缘膜层，多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层具有位于可切割区域的边界以内并贯穿至少一个膜层的镂空图案，且沿可切割区域的宽度方向，镂空图案的两个侧边界分别位于可切割区域的中心线的两侧。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示基板母板及其切割方法、柔性显示基板、显示装置。
背景技术
随着人们生活水平的不断提高以及显示装置在生产生活中各个领域的广泛应用，人们对显示装置的需求量也越来越大。在显示装置的生产制备工艺过程中，为了提高显示装置的生产效率、降低生产成本，显示装置无论是TFT-LCD(Thin Film Transistor LiquidCrystal Display，薄膜晶体管液晶显示装置)，或者OLED(Organic Light EmittingDiode，有机电致发光二极管显示装置)等，均是在母板上进行整体工艺制作后再切割分离，进一步完成后段模组工艺。以柔性基底的柔性显示基板母板制作为例，首先在柔性显示基板母板上以高利用率的排布方式同时制作多个显示单元结构，将制作完成的柔性显示基板母板在相邻两个显示单元之间的可切割区域内进行切割分离，然后再分别对多个独立的柔性显示基板进行后续工艺。
对柔性显示基板母板的切割方式通常为刀轮切割或激光切割，这种切割方式能够得到较为光滑平整的切面，但是，切割过程产生的应力极易在切割位置产生垂直于切割方向的切割裂纹，若切割裂纹进一步延伸至显示单元内，则可能会造成柔性显示基板的显示异常，甚至导致整个柔性显示基板失效。
在显示面板窄边框化的发展方向下，随着显示面板边框的不断缩窄，柔性显示基板母板上切割线位置与显示单元边缘之间的距离也逐渐缩窄，供切割裂纹传播减弱的距离减小，更容易发生由于切割裂纹延伸至显示单元内导致的柔性显示基板失效问题，导致柔性显示基板的制作次品率上升，进而导致柔性显示基板的制作成本提高。
为了解决上述问题，现有技术中，在柔性显示基板母板的预切割线位置与预切割线两侧的显示单元之间的区域去除无机材料层以形成挖槽，通过形成的挖槽来减弱切割裂纹通过无机材料层进一步向显示单元内传播的趋势，但是，挖槽只是能够相对削弱切割裂纹的传播，例如，对于应力较大的切割裂纹，仍然难以有效的阻止其向显示单元内的传播，因此，切割裂纹导致的柔性显示基板失效的问题仍旧存在。
发明内容
本发明实施例提供一种柔性显示基板母板及其切割方法、柔性显示基板、显示装置，能够解决现有的柔性显示基板母板在切割分离的过程中产生的较大应力导致切割裂纹且切割裂纹难以消除，切割裂纹延伸至显示单元内造成柔性显示基板失效的问题。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本发明实施例的一方面，提供一种柔性显示基板母板，包括多个显示单元以及任意相邻的两个显示单元之间的可切割区域，柔性显示基板母板包括柔性衬底基板以及设置在柔性衬底基板上的多个无机绝缘膜层，多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层具有位于可切割区域的边界以内并贯穿至少一个膜层的镂空图案，且沿可切割区域的宽度方向，镂空图案的两个侧边界分别位于可切割区域的中心线的两侧。
优选的，镂空图案的边界与可切割区域的边界重合。
优选的，多个无机绝缘膜层在可切割区域均具有镂空图案，多个无机绝缘膜层的镂空图案相同且多个无机绝缘膜层的镂空图案沿多个膜层的正投影方向设置。
进一步的，在镂空图案内设置有主要由金属或有机材料构成的应力吸收图案。
优选的，应力吸收图案的面积小于其所在的镂空图案的面积，且与靠近显示单元一侧的镂空图案的边缘之间具有间隙，和/或，应力吸收图案与可切割区域的中心线之间具有间隙。
优选的，柔性显示基板母板包括位于显示单元内的薄膜晶体管，应力吸收图案由金属材料构成，应力吸收图案与薄膜晶体管的源极和漏极同层同材料，或者，应力吸收图案与薄膜晶体管的栅极同层同材料。
本发明实施例的另一方面，提供一种柔性显示基板，包括显示单元以及位于显示单元周边的边缘区域，柔性显示基板包括柔性衬底基板以及设置在柔性衬底基板上的多个无机绝缘膜层，多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层具有由边缘区域的外边界向显示单元延伸并贯穿至少一个膜层的镂空图案。
优选的，镂空图案的边界与边缘区域的边界重合。
优选的，多个无机绝缘膜层在边缘区域均具有镂空图案，多个无机绝缘膜层的镂空图案相同且多个无机绝缘膜层的镂空图案沿多个膜层的正投影方向设置。
进一步的，在镂空图案内设置有主要由金属或有机材料构成的应力吸收图案。
优选的，应力吸收图案的面积小于其所在的镂空图案的面积，且与靠近显示单元一侧的镂空图案的边缘之间具有间隙，和/或，应力吸收图案与边缘区域的外边界之间具有间隙。
优选的，柔性显示基板包括位于显示单元内的薄膜晶体管，应力吸收图案由金属材料构成，应力吸收图案与薄膜晶体管的源极和漏极同层同材料，或者，应力吸收图案与薄膜晶体管的栅极同层同材料。
本发明实施例的再一方面，提供一种显示装置，包括上述任意一种柔性显示基板。
本发明实施例的又一方面，提供一种柔性显示基板母板的切割方法，包括：沿切割线对柔性显示基板母板进行切割。其中，切割线位于上述任一项柔性显示基板母板中所述的镂空图案的两个侧边界范围内。
本发明实施例一种柔性显示基板母板及其切割方法、柔性显示基板、显示装置，包括多个显示单元以及任意相邻的两个显示单元之间的可切割区域，柔性显示基板母板包括柔性衬底基板以及设置在柔性衬底基板上的多个无机绝缘膜层，多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层具有位于可切割区域的边界以内并贯穿至少一个膜层的镂空图案，且沿可切割区域的宽度方向，镂空图案的两个侧边界分别位于可切割区域的中心线的两侧。在对柔性显示基板母板进行切割时，切割线穿过镂空图案进行切割，由于镂空图案贯穿多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层，且位于可切割区域的中心线的两侧，使得减少至少一层或者完全去除切割线向显示单元方向延伸的位置处的无机绝缘膜层，从而使得切割产生的应力较小，减少由于切割应力导致的切割裂纹的发生。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的层级结构示意图之一；
图3为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的层级结构示意图之二；
图4为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的层级结构示意图之三；
图5为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的层级结构示意图之四；
图6为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的层级结构示意图之五；
图7为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的层级结构示意图之六；
图8为本发明实施例提供的一种柔性显示基板的结构示意图；
图9为本发明实施例提供的一种柔性显示基板的层级结构示意图之一；
图10为本发明实施例提供的一种柔性显示基板的层级结构示意图之二；
图11为本发明实施例提供的一种柔性显示基板的层级结构示意图之三；
图12为本发明实施例提供的一种柔性显示基板的层级结构示意图之四；
图13为本发明实施例提供的一种柔性显示基板的层级结构示意图之五；
图14为本发明实施例提供的一种柔性显示基板母板的切割方法的流程图。
附图标记：
10-柔性衬底基板；20-无机绝缘膜层；30-柔性显示基板母板的镂空图案；31-柔性显示基板的镂空图案；40-柔性显示基板母板的应力吸收图案；41-柔性显示基板的应力吸收图案；50-薄膜晶体管；X-显示单元；Y-可切割区域；Y1-边缘区域；L-切割线。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种柔性显示基板母板，如图1所示，包括多个显示单元X以及任意相邻的两个显示单元X之间的可切割区域Y，如图2所示，柔性显示基板母板包括柔性衬底基板10以及设置在柔性衬底基板10上的多个无机绝缘膜层20，多个无机绝缘膜层20中的至少一个膜层具有位于可切割区域Y的边界以内并贯穿至少一个膜层的镂空图案30，且沿可切割区域Y的宽度方向，镂空图案30的两个侧边界分别位于可切割区域Y的中心线的两侧。
需要说明的是，第一，如图1所示，一个显示单元X指的是从柔性显示基板母板中切割得到一个柔性显示基板所必须的部分占据的区域，其中包括要实现显示所必须的显示部分，以及用于为显示提供信号线路的走线等不允许被切掉的部分，例如，柔性显示基板母板上的一个显示单元X可以包括：后续用于形成显示屏的显示区域(也称为Active Area，简称AA区)的部分，还可以包括后续用于显示屏的非显示区域的部分(包括驱动电路，例如GOA电路等，还可以包括用于设置其他芯片的区域)。示例的，对于OLED显示装置而言，可以以每个封装薄膜层的边界作为显示单元X的边界。
第二，可切割区域Y指的是显示单元X的外围，对于柔性显示基板而言可以被切掉的部分所占据的区域。但需要注意的是，在切割工艺中，并非将可切割区域完全切除，具体的，在切割工艺中，是沿着可切割区域Y中的切割线L进行切割，且相邻的两个显示单元X之间可以沿一条切割线L进行分割。示例的，如图1所示，切割线L可以位于可切割区域Y的中心线位置或近似可切割区域Y的中心线位置。
第三，如图2所示，在柔性衬底基板10上设置多个无机绝缘膜层20，其中，所述无机绝缘膜层20的具体设置层数本发明实施例中不做具体限定，可以根据柔性显示基板的设计需要设置一层或多层，通常情况下，在柔性衬底基板10上设置的无机绝缘膜层20包括有多层。例如，无机绝缘膜层20可以包括用于在显示单元X内形成薄膜晶体管的栅绝缘层、层间介电层等，或者，还可以包括通常形成在柔性衬底基板10上的用于阻挡水和氧气的阻挡层、缓冲层等。在位于可切割区域Y的边界(如图2中虚线所示)范围以内的镂空图案30可以贯穿多层无机绝缘膜层20中的一层，也可以贯穿多层无机绝缘膜层20中的多层。示例的，如图2中所示，即为镂空图案30贯穿多层无机绝缘膜层20中的全部层级的情形。
第四，如图2所示，通常情况下，在对柔性显示基板母板进行切割时，切割线L(如图2中粗实线所示)沿可切割区域Y的中心线位置进行切割，镂空图案30的两个侧边界分别位于可切割区域Y的中心线的两侧，则切割线L由镂空图案30中穿过。因此，切割线L仅作用于柔性衬底基板10以及除镂空图案30所贯穿的无机绝缘膜层20之外的其他无机绝缘膜层20。减少了切割线L切割时所作用的无机绝缘膜层20的层级数量，即降低了切割作用力在无机绝缘膜层20上产生的应力大小。
本发明实施例一种柔性显示基板母板，包括多个显示单元以及任意相邻的两个显示单元之间的可切割区域，柔性显示基板母板包括柔性衬底基板以及设置在柔性衬底基板上的多个无机绝缘膜层，多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层具有位于可切割区域的边界以内并贯穿至少一个膜层的镂空图案，且沿可切割区域的宽度方向，镂空图案的两个侧边界分别位于可切割区域的中心线的两侧。在对柔性显示基板母板进行切割时，切割线穿过镂空图案进行切割，由于镂空图案贯穿多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层，且位于可切割区域的中心线的两侧，使得减少至少一层或者完全去除切割线向显示单元方向延伸的位置处的无机绝缘膜层，从而使得切割产生的应力较小，减少由于切割应力导致的切割裂纹的发生。
优选的，如图3所示，镂空图案30的边界与可切割区域Y的边界重合。
如图3所示，镂空图案30的边界与可切割区域Y的边界重合，即将可切割区域Y内的无机绝缘膜层20中的一层或多层完全去除以形成镂空图案30。这样一来，在对柔性显示基板母板进行切割时，由于镂空图案30包含了整个可切割区域Y的范围，切割操作不会在镂空图案30上产生应力作用，也不会在镂空图案30上形成应力导致的裂纹，而在其他未设置镂空图案30的无机绝缘膜层20上的应力也不会在镂空图案30上传播，从而在降低切割产生的应力的强度的同时，也减少了应力的传播载体。
优选的，如图3所示，多个无机绝缘膜层20在可切割区域Y内均具有镂空图案30，多个无机绝缘膜层20的镂空图案30相同且多个无机绝缘膜层20的镂空图案30沿多个膜层的正投影方向设置。
如图3所示，多个无机绝缘膜层20的镂空图案30沿多个膜层的正投影方向设置，即多个镂空图案30在无机绝缘膜层20层叠的方向上整体贯穿，以使得在沿切割线L位置切割时，切割操作的作用力仅施加在柔性衬底基板10上。由于柔性衬底基板10为有机材料制作而成，有机材料通常不易由于应力的作用而在切割边缘产生裂纹，而且有机材料对于应力的传播效果较差，在柔性衬底基板10上切割不易产生裂纹，这样一来，就能够有效的减少对柔性显示基板母板切割时在切割线两边的无机绝缘膜层20上的应力，从而降低应力裂纹的发生率，进而保护柔性显示基板母板上的显示单元X，避免由于切割应力导致柔性显示基板失效。
进一步的，如图4所示，在镂空图案30内设置有主要由金属或有机材料构成的应力吸收图案40。
应力吸收图案40具有能够吸收并分散应力的性质，如图4所示，在镂空图案30内设置应力吸收图案40，能够使得切割时仍然无法避免会产生的应力能够传递至应力吸收图案40内部，使应力得到吸收和分散，从而避免应力集中而在膜层上产生裂纹，并使得裂纹进一步传播至显示单元X内。
金属或有机材料由于其自身具有能够吸收并将应力分散的能力，因此，优选的，主要采用金属或有机材料作为应力吸收图案40的制作材料，能够起到应力吸收和分散，降低应力在膜层上产生裂纹的的可能性，以及对于已产生的裂纹，减弱其进一步向显示单元X内传播的风险。
优选的，如图5所示，应力吸收图案40的面积小于其所在的镂空图案30的面积，且与靠近显示单元X一侧的镂空图案30的边缘之间具有间隙a1，和/或，应力吸收图案40与可切割区域Y的中心线之间具有间隙a2。
如图5所示，应力吸收图案40的面积小于其所设置的镂空图案30的面积，本发明实施例对应力吸收图案40的具体形状不做限制，可以设置为各种形状，只要满足应力吸收团40设置在镂空图案30内即可。在一层或多层无机绝缘膜层20上形成的镂空图案30的面积大，填充在镂空图案30中的应力吸收图案40的面积小，应力吸收图案40应与镂空图案30的边缘之间存在间隙。
在此基础上，使得应力吸收图案40与靠近显示单元X一侧的镂空图案30的边缘之间具有间隙a1，这样一来，即使切割柔性显示基板母板时产生的切割应力传递至应力吸收图案40上未被完全吸收或分散，在应力吸收图案40与靠近显示单元X一侧还存在的间隙a1使得应力没有载体能够进行传递，从而避免了应力在显示单元X的边缘造成裂纹的风险。
或者，使得应力吸收图案40与可切割区域Y的中心线之间具有间隙a2，通常情况下，对柔性显示基板母板切割时的切割线L沿可切割区域Y的中心线或近似中心线为位置进行切割操作，这样一来，间隙a2使得切割不会在镂空图案30所贯穿的膜层上产生应力，从而也不会在镂空图案30所贯穿的膜层上产生裂纹，对于切割在其他膜层上产生的应力，还能够通过设置在镂空图案30内的应力吸收图案40进行吸收和分散，从而降低裂纹的产生和传播。
或者，将上述两种方式结合，示例的，如图5所示，使得应力吸收图案40与靠近显示单元X一侧的镂空图案30的边缘之间具有间隙a1的同时，与可切割区域Y的中心线之间还具有间隙a2，这样一来，一方面能够通过间隙a2，使得切割时减少产生的应力和由于应力而在膜层上产生的裂纹，另一方面，对于难以避免的应力，在通过应力吸收图案40进行吸收和分散的基础上，还能够通过间隙a1，进一步阻挡应力以及应力产生的裂纹向显示单元X内传播。
优选的，如图7所示，柔性显示基板母板包括位于显示单元X内的薄膜晶体管50，应力吸收图案40由金属材料构成，应力吸收图案40与薄膜晶体管50的源极和漏极同层同材料，或者，如图6所示，应力吸收图案与薄膜晶体管的栅极同层同材料。
如图6所示，在柔性显示基板母板上的显示单元X内包括有薄膜晶体管50，示例的，薄膜晶体管50由依次设置的栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极和漏极以及钝化层构成，本发明实施例的应力吸收图案40由金属材料构成，应力吸收图案40与薄膜晶体管50的栅极同层同材料，即在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的栅极之前，通过贯穿无机绝缘膜层20的镂空图案30将已经形成在柔性衬底基板10上的一层或多层无机绝缘膜层20去除，然后通过一次构图工艺，在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的栅极时同时在可切割区域Y内制作应力吸收图案40，从而不必额外增加应力吸收图案40的制作工艺步骤。然后继续进行显示单元X的后续膜层制作，形成如图6所示的结构。
然而，这种方式制作的柔性显示基板母板，如图6所示，对于在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的栅极之后制作的各个无机绝缘膜层20，例如，栅绝缘层，由于在应力吸收图案40之后制作，则只能保留。
因此，优选的，如图7所示，本发明实施例的应力吸收图案40由金属材料构成，应力吸收图案40与薄膜晶体管50的源极和漏极同层同材料，即在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的源极和漏极时，通过一次构图工艺，同时在可切割区域Y内制作应力吸收图案40，从而不必额外增加应力吸收图案40的制作工艺步骤。
需要说明的是，在与显示单元X内的薄膜晶体管50的源极和漏极同层制作应力吸收图案40之前，首先将已经形成于可切割区域Y上的无机绝缘膜层20去除，形成镂空图案30，然后通过一次构图工艺，在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的源极和漏极时同时在可切割区域Y内制作应力吸收图案40，从而不必额外增加应力吸收图案40的制作工艺步骤。然后再进行后续的工艺步骤，以形成如图7所示的结构。
本发明实施例的另一方面，提供一种柔性显示基板，如图8所示，包括显示单元X以及位于显示单元X周边的边缘区域Y1。如图9所示，柔性显示基板包括柔性衬底基板10以及设置在柔性衬底基板10上的多个无机绝缘膜层20，多个无机绝缘膜层20中的至少一个膜层具有由边缘区域Y1的外边界向显示单元X延伸并贯穿至少一个膜层的镂空图案31。
需要说明的是，如图10所示，边缘区域Y1指的是显示单元X的外围，对于柔性显示基板母板由可切割区域Y的中心线或近似中心线的位置切割后，靠近显示单元X一侧所剩余的部分。边缘区域Y1的外边界即指的是切割线L切割后的边缘。
优选的，如图10所示，镂空图案31的边界与边缘区域Y1的边界重合。
如图10所示，镂空图案31的边界与边缘区域Y1的边界重合，即边缘区域Y1内的无机绝缘膜层20中的一层或多层完全去除后形成镂空图案31。这种结构的柔性显示基板，由于镂空图案31的一侧延伸至显示单元X的边缘、另一侧延伸至切割线L处，即镂空图案31包含整个边缘区域Y1，在沿切割线L进行切割时不会在镂空图案31上产生应力作用，也不会在镂空图案31上形成应力导致的裂纹，而在其他未设置镂空图案31的无机绝缘膜层20上的应力也不会在镂空图案31上传播，从而在降低切割产生的应力的强度的同时，也减少了应力的传播载体。
优选的，如图10所示，多个无机绝缘膜层20在边缘区域Y1均具有镂空图案31，多个无机绝缘膜层20的镂空图案31相同且多个无机绝缘膜层20的镂空图案31沿多个膜层的正投影方向设置。
如图10所示，多个无机绝缘膜层20的镂空图案31沿多个膜层的正投影方向设置，即多个镂空图案31在无机绝缘膜层20层叠的方向上整体贯穿，以使得沿切割线L位置切割操作的作用力仅施加在柔性衬底基板10上。由于柔性衬底基板10为有机材料制作而成，有机材料通常不易由于应力的作用而在切割边缘产生裂纹，而且有机材料对于应力的传播效果较差，在柔性衬底基板10上切割不易产生裂纹，这样一来，就能够有效的减少柔性显示基板在切割时，位于切割线L两边的无机绝缘膜层20上的应力，从而降低应力裂纹的发生率，进而保护柔性显示基板上的显示单元X，避免由于切割应力导致柔性显示基板失效。
进一步的，如图11所示，在镂空图案31内设置有主要由金属或有机材料构成的应力吸收图案41。
应力吸收图案41具有能够吸收并分散应力的性质，如图11所示，在镂空图案31内设置应力吸收图案41，能够使得切割时仍然无法避免会产生的应力能够传递至应力吸收图案41内部，使应力得到吸收和分散，从而避免应力集中而在膜层上产生裂纹，并使得裂纹进一步传播至显示单元X内。
金属或有机材料由于其自身具有能够吸收并将应力分散的能力，因此，优选的，主要采用金属或有机材料作为应力吸收图案41的制作材料，能够起到应力吸收和分散，降低应力在膜层上产生裂纹的的可能性，以及对于已产生的裂纹，减弱其进一步向显示单元X内传播的风险。
优选的，如图11所示，应力吸收图案的面积小于其所在的镂空图案31的面积，且与靠近显示单元X一侧的镂空图案31的边缘之间具有间隙a1，和/或，应力吸收图案41与边缘区域Y1的外边界之间具有间隙a2。
如图11所示，应力吸收图案41的面积小于其所设置的镂空图案31的面积，应力吸收图案41应与镂空图案31的边缘之间存在间隙。
在此基础上，使得应力吸收图案41与靠近显示单元X一侧的镂空图案31的边缘之间具有间隙a1，这样一来，即使切割应力传递至应力吸收图案41上未被完全吸收或分散，在应力吸收图案41与靠近显示单元X一侧还存在的间隙a1使得应力没有载体能够进行传递，从而避免了应力在显示单元X的边缘造成裂纹的风险。
或者，使得应力吸收图案41与边缘区域Y1的外边界之间具有间隙a2，这样一来，间隙a2使得切割不会在镂空图案31所贯穿的膜层上产生应力，从而也不会在镂空图案31所贯穿的膜层上产生裂纹，对于切割在其他膜层上产生的应力，还能够通过设置在镂空图案31内的应力吸收图案41进行吸收和分散，从而降低裂纹的产生和传播。
或者，将上述两种方式结合，示例的，如图11所示，使得应力吸收图案41与靠近显示单元X一侧的镂空图案31的边缘之间具有间隙a1的同时，与边缘区域Y1的外边界之间还具有间隙a2，这样一来，一方面能够通过间隙a2，使得切割时减少产生的应力和由于应力而在膜层上产生的裂纹，另一方面，对于难以避免的应力，在通过应力吸收图案41进行吸收和分散的基础上，还能够通过间隙a1，进一步阻挡应力以及应力产生的裂纹向显示单元X内传播。
优选的，如图13所示，柔性显示基板包括位于显示单元X内的薄膜晶体管50，应力吸收图案41由金属材料构成，应力吸收图案41与薄膜晶体管50的源极和漏极同层同材料，或者，如图12所示，应力吸收图案41与薄膜晶体管的栅极同层同材料。
如图12所示，柔性显示基板的显示单元X内包括有薄膜晶体管50，示例的，薄膜晶体管50由依次设置的栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极和漏极以及钝化层构成，本发明实施例的应力吸收图案41由金属材料构成，应力吸收图案41与薄膜晶体管50的栅极同层同材料，即在制作显示单元X内的薄膜晶体管的栅极之前，通过贯穿无机绝缘膜层20的镂空图案31将已经形成在柔性衬底基板10上的一层或多层无机绝缘膜层20去除，然后通过一次构图工艺，在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的栅极时同时在边缘区域Y1内制作应力吸收图案41，从而不必额外增加应力吸收图案41的制作工艺步骤。然后继续进行显示单元X的后续膜层制作，形成如图12所示的结构。
然而，这种方式制作的柔性显示基板，如图12所示，对于在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的栅极之后制作的各个无机绝缘膜层20，例如，栅绝缘层，由于在应力吸收图案41之后制作，则只能保留。
因此，优选的，如图13所示，本发明实施例的应力吸收图案41由金属材料构成，应力吸收图案41与薄膜晶体管50的源极和漏极同层同材料，即在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的源极和漏极时，通过一次构图工艺，同时在边缘区域Y1内制作应力吸收图案41，从而不必额外增加应力吸收图案41的制作工艺步骤。
需要说明的是，在与显示单元X内的薄膜晶体管50的源极和漏极同层制作应力吸收图案41之前，首先将已经形成于边缘区域Y1上的无机绝缘膜层20去除，形成镂空图案31，然后通过一次构图工艺，在制作显示单元X内的薄膜晶体管50的源极和漏极时同时在边缘区域Y1内制作应力吸收图案41，从而不必额外增加应力吸收图案41的制作工艺步骤。然后再进行后续的工艺步骤，以形成如图13所示的结构。
本发明实施例的再一方面，提供一种显示装置，包括上述任意一种柔性显示基板。
本发明实施例提供的一种显示装置，使用上述的柔性显示基板，由于柔性显示基板上设置的镂空图案31，或者，在镂空图案31中还设置有应力吸收图案41，以大大降低了柔性显示基板边缘可能由于切割应力而导致的切割裂纹对显示效果的影响，从而使得柔性显示基板内的器件得到有效的保护提高了显示装置的加工良率以及显示装置的显示效果。在上述对柔性显示基板的具体描述中，已经对柔性显示基板制作的显示装置进行了详细的说明，此处不再赘述。
本发明实施例的又一方面，提供一种柔性显示基板母板的切割方法，如图14所示，包括：
S101、沿切割线L对柔性显示基板母板进行切割。其中，切割线L位于上述任一项柔性显示基板母板中所述的镂空图案30的两个侧边界范围内。
如图14所示，本发明实施例的柔性显示基板母板在制作完成后需要沿切割线L进行切割，通过切割线L的切割分离，将柔性显示基板母板分割为多个柔性显示基板后，再对每个柔性显示基板进行其他工艺步骤。其中，对柔性显示基板母板的切割，可以为刀轮切割，即使刀轮的刀尖沿切割线L的路径进行切割，或者，还可以为使用激光切割，选取适当大小的激光源，将出射的激光束对准切割线L并沿切割线L延伸切割。切割线L位于柔性基板母板的镂空图案30的两个侧边界范围内，镂空图案30的两个侧边界即指的是镂空图案靠近相邻的两个待分离的柔性显示基板的侧边的边界。
在上述对柔性显示基板母板的结构、切割方式等的具体说明中，已经对于本发明实施例的柔性显示基板母板的切割方法进行了详细的说明，此处不再赘述。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (14)
1.一种柔性显示基板母板，包括多个显示单元以及任意相邻的两个所述显示单元之间的可切割区域，其特征在于，所述柔性显示基板母板包括柔性衬底基板以及设置在所述柔性衬底基板上的多个无机绝缘膜层，所述多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层具有位于所述可切割区域的边界以内并贯穿所述至少一个膜层的镂空图案，且沿所述可切割区域的宽度方向，所述镂空图案的两个侧边界分别位于所述可切割区域的中心线的两侧。
2.根据权利要求1所述的柔性显示基板母板，其特征在于，所述镂空图案的边界与所述可切割区域的边界重合。
3.根据权利要求1或2所述的柔性显示基板母板，其特征在于，所述多个无机绝缘膜层在所述可切割区域均具有镂空图案，所述多个无机绝缘膜层的镂空图案相同且所述多个无机绝缘膜层的镂空图案沿所述多个膜层的正投影方向设置。
4.根据权利要求1或2所述的柔性显示基板母板，其特征在于，在所述镂空图案内设置有主要由金属或有机材料构成的应力吸收图案。
5.根据权利要求4所述的柔性显示基板母板，其特征在于，所述应力吸收图案的面积小于其所在的镂空图案的面积，且与靠近显示单元一侧的镂空图案的边缘之间具有间隙，和/或，所述应力吸收图案与所述可切割区域的中心线之间具有间隙。
6.根据权利要求4所述的柔性显示基板母板，其特征在于，所述柔性显示基板母板包括位于所述显示单元内的薄膜晶体管，所述应力吸收图案由金属材料构成，所述应力吸收图案与所述薄膜晶体管的源极和漏极同层同材料，或者，所述应力吸收图案与所述薄膜晶体管的栅极同层同材料。
7.一种柔性显示基板，包括显示单元以及位于所述显示单元周边的边缘区域，其特征在于，所述柔性显示基板包括柔性衬底基板以及设置在所述柔性衬底基板上的多个无机绝缘膜层，所述多个无机绝缘膜层中的至少一个膜层具有由所述边缘区域的外边界向所述显示单元延伸并贯穿所述至少一个膜层的镂空图案。
8.根据权利要求7所述的柔性显示基板，其特征在于，所述镂空图案的边界与所述边缘区域的边界重合。
9.根据权利要求7或8所述的柔性显示基板，其特征在于，所述多个无机绝缘膜层在所述边缘区域均具有镂空图案，所述多个无机绝缘膜层的镂空图案相同且所述多个无机绝缘膜层的镂空图案沿所述多个膜层的正投影方向设置。
10.根据权利要求7或8所述的柔性显示基板，其特征在于，在所述镂空图案内设置有主要由金属或有机材料构成的应力吸收图案。
11.根据权利要求10所述的柔性显示基板，其特征在于，所述应力吸收图案的面积小于其所在的镂空图案的面积，且与靠近显示单元一侧的镂空图案的边缘之间具有间隙，和/或，所述应力吸收图案与所述边缘区域的外边界之间具有间隙。
12.根据权利要求10所述的柔性显示基板，其特征在于，所述柔性显示基板包括位于所述显示单元内的薄膜晶体管，所述应力吸收图案由金属材料构成，所述应力吸收图案与所述薄膜晶体管的源极和漏极同层同材料，或者，所述应力吸收图案与所述薄膜晶体管的栅极同层同材料。
13.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求7-12任一项所述的柔性显示基板。
14.一种柔性显示基板母板的切割方法，其特征在于，包括：
沿切割线对所述柔性显示基板母板进行切割；
其中，所述切割线位于如权利要求1-6任一项所述的镂空图案的两个侧边界范围内。
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