CN107687916A - 压力传感器和减震构件 - Google Patents

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Abstract

压力传感器(10)包括结合部(26)，和减震构件(30)，减震构件(30)中包括与支路径(20a)连通的流动路径(52)。减震构件(30)包括第一流动路径(54)，第一流动路径(54)被构造成使得流体线性地流动，阻挡壁(70)，阻挡壁(70)被构造成阻挡流体线性地流动，和第二流动路径(56)，第二流动路径(56)与第一流动路径(54)连通，并且被构造成使得流体沿不同于第一流动路径(54)的轴向中心的方向流动。进一步地，减震构件(30)包括出口(56a)，出口(56a)与第二流动路径(56)连通，并且用于调整流体压力的间隙(76)形成于减震构件(30)和结合部(26)之间。

Description

压力传感器和减震构件
技术领域
本发明涉及一种压力传感器，该压力传感器基于膈膜的变形而检测流体的压力，和一种减震构件，减震构件形成为流体在其内部流动的压力传感器的一部分。
背景技术
吸入和升高工件的传送装置例如包括压力传感器，每个压力传感器检测空气压力从而确定工件的吸入状态。每个这类压力传感器包括形成为内部空间的内壁的一部分的膈膜，并且基于由在内部空间中流动的流体的压力而导致的膈膜变形而检测压力(例如，参见日本平开专利公报No.2013-064664)。
在这类压力传感器中，通常直线地形成从流体流经其中的进入端口到膈膜的流动路线，并且膈膜被布置在面向该流动路线的位置。因此，膈膜直线(直接地)接收线性地流动的流体，因此，存在膈膜的耐用性容易劣化的不便。
鉴于上述不便，例如日本平开专利公报No.2013-064664公开的压力传感器，其包括在流体的流动路线上位于膈膜(金属膈膜)的上游的节流构件，以调节流体的流入，并因此提供压力衰减效果。
发明内容
然而，日本平开专利公报No.2013-064664公开的压力传感器的节流构件包括通孔，通孔允许流体经过流体的流动路线的中心部，或经过流体的流动路线的中心部附近。因此，当该压力传感器中流动的流体经过节流构件的通孔时，即使压力降低，流体仍然直接地移动到膈膜，并且冲击膈膜的中心部。特别地，当除空气之外流体还包括湿气和油时，由于湿气和油类的碰撞而导致的震动施加于隔膜，并且易于损伤膈膜。因此，膈膜的耐用性会较早地劣化。
鉴于上述情形做出本发明。本发明的目的是设置一种压力传感器和减震构件，其采用简单的构造以阻止流体直线流动，并且因此能够阻止对膈膜的损伤，和提高膈膜的耐用性。
为了达到上述目的，本发明是包括设置于流体的通道上的主体部的压力传感器，和附接至主体部的减震构件。减震构件包括第一流动路径，第一流动路径与通道连通，并被构造成使得流体线性地流动，壁部，壁部设置成面对第一流动路径，并被构造成阻挡流体线性地流动，和第二流动路径，第二流动路径被构造成允许第一流动路径和形成于减震构件的外周表面中的开口彼此连通，并被构造成使得流体沿不同于第一流动路径的轴向中心的方向流动。间隙形成于减震构件和主体部的内周表面之间，其中，间隙被构造成调整从开口流出的流体的压力，并且内周表面包围在开口附近的减震构件。主体部包括与间隙连通的检测空间，和膈膜，膈膜被构造成检测在检测空间内流动的流体的压力。
根据上述，压力传感器采用减震构件能够被附接到主体部的简单构造，从而能够提高膈膜的耐用性。也就是说，流体从通道流入第一流动路径，线性地流经第一流动路径，并且流体的流动在下游侧由壁部阻挡。然后，流体沿不同于第一流动路径的方向经过第二流动路径，并从开口流出。进一步地，流体经过间隙流动至检测空间，因此，膈膜检测压力。特别地，即使当流体包括湿气或者油时，阻止湿气或者油穿过第一流动路径并直接击中膈膜。因此，能够显著地抑制对膈膜的损伤。进一步地，减震构件或者主体部的内周表面使得能够容易地调整间隙的有效的截面面积，并且适当地使流体流动。
在这种情况下，减震构件优选地形成为螺纹形状，其可附接地并且可拆卸地螺合到由内周表面形成的孔部。
由此，减震构件形成为螺纹形状。因此，能够容易将减震构件附接至压力传感器的内周表面。进一步地，在压力传感器中，必要时，能够通过更换减震构件而容易地调整间隙的有效截面面积。
除了上述构造外，优选地，减震构件包括头部，在减震构件被固定到内周表面的状态下，头部经过孔部露出，并且头部包括凹槽部，凹槽部被构造成允许用于螺合待插入和操作的减震构件的工具，凹槽部与第一流动路径连通。
由此，减震构件的头部包括凹槽部。因此，更容易将减震构件附接至内周表面，和将减震构件从内周表面拆卸，并且，当第一或者第二流动路径经受堵塞时，能够迅速地执行维护与修理。凹槽部允许通道中的流体平稳地流入第一流动路径。
进一步地，减震构件能够包括外螺纹部，外螺纹部螺合到内周表面，并且开口能够在减震构件的插入方向上被布置在比外螺纹部更深侧。进一步地，当在减震构件的侧截面视图中观看时，减震构件在开口附近的的外周表面形成为平坦形状。
由此，在减震构件中，在插入方向上开口被布置地比外螺纹部更深，并且开口附近的外周表面形成为平坦形状。因此，当流体经过开口流出时，能够使得流体沿着间隙稳定流动。
优选地，第二流动路径的轴向中心垂直于第一流动路径的轴向中心。
由此，第二流动路径的轴向中心垂直于第一流动路径的轴向中心。因此，能够使得已流过第一流动路径并且被壁部阻挡的流体在第一流动路径的径向方向适当地流向外部。
更进一步，壁部能够被布置在远离第一流动路径和第二流动路径之间的连通位置的位置，并且形成凹口，其被构造成在第一流动路径的流动方向的下游侧接收流体。
由此，压力传感器包括凹口。因此，能够首先在凹口中接收湿气或者油，然后将湿气或者油类移动到第二流动路径，从而进一步减少湿气或者油类的冲力。
为了达到上述目的，本发明是附接至设置于流体通道中的主体部上的减震构件。减震构件包括第一流动路径，第一流动路径与通道连通，并且被构造成使得流体线性地流动，壁部，壁部设置成面向第一流动路径，并且被构造成阻挡流体线性地流动，和第二流动路径，第二流动路径被构造成允许第一流动路径和形成于减震构件的外周表面的开口彼此连通，并且被构造成使得流体在不同于第一流动路径的轴向中心的方向上流动，并且间隙形成于减震构件和主体部的内周表面之间，其中，间隙被构造成调整从开口流出的流体的压力，并且内周表面包围开口附近的减震构件。
根据本发明，压力传感器和减震构件采用简单的构造以阻止流体线性地流动，并且因此能够阻止损伤膈膜并且提高膈膜的耐用性。
本发明的上述及其他目标，特征和优势通过以下连同附图的描述将变得更加明显，其中本发明的最优实施例通过说明性的实例来示出。
附图说明
图1是图示采用根据本发明的实施例的压力传感器的传送装置的一部分的说明性示图；
图2A是图1中的压力传感器的侧视图；
图2B是图示图2A的压力传感器的检测单元的侧截面视图；
图3A是图示图2B中，从头部侧看的减震构件的俯视图；
图3B是图2B的减震构件的放大的侧截面视图；
图3C是沿着图3B的线IIIC—IIIC截取的横截面视图；
图4是图示图2B在操作中的压力传感器的主要部分的放大横截面视图；
图5A是根据第一修改例的减震构件的侧截面视图；
图5B是根据第二修改例的减震构件的侧截面视图；和
图5C是沿根据第三修改例的减震构件的第二流动路径的轴向中心截取的截面图。
具体实施方式
以下将根据附图详细描述根据本发明的压力传感器和减震构件的优选实施例。
如图1所示，根据本实施例的压力传感器10被设置于传送例如硅晶片的工件的传送装置12上。例如，在硅晶片制造工序中，硅(半导体)的坯料被切成晶片形状，然后，将被切的硅晶片进行冲洗等，并由传送装置12输送到另一个制造工序。因此，传送装置12具有运送包含湿气L(或者油)的工件W的功能。
在这种情况下，传送装置12包括吸入机构14，吸入机构14通过吸力升高包含湿气L的工件W。吸入机构14包括主管16，主管16联接至能够调整空气压力的空气压力调整装置(图中未示)，吸入垫18，吸入垫18附接至主管16的一端侧，支管20，支管20在主管16的轴向方向上从中间位置分支，压力传感器10，压力传感器10被布置在支管20上。传送装置12包括用于沿竖直方向移动吸入机构14以升高或者放置工件W的竖直移动机构(未图示)，和用于沿水平方向移动吸入机构14的水平移动机构(未图示)。
主管16形成为中空管，其中包括流体的主通道16a。吸入垫18由拱形形式的弹性材料制成，并且包括与主管16的主通道16a连通的内部空间。因此，当竖直移动机构降低主管16和吸入垫18，吸入垫18开始与工件W接触。然后，空气压力调整装置将负压施加于主管16的主通道16a上，在吸入垫18的内部空间的空气被吸入，并且包含湿气L的已冲洗的工件W通过吸入被吸引到吸入垫18。
随着竖直移动机构升高主管16和吸入垫18，传送装置12因此升高工件W，并且进一步由水平移动机构在水平方向上传送工件W。在水平移动机构将工件W传送到期望位置上方的位置后，竖直移动机构降低工件W以将工件W置于该期望位置。此时，传送装置12使得空气压力调整装置将正压施加于主管16的主通道16a上，并且使得吸入垫18释放对工件W的吸引。
吸入机构14的支管20是包括与主管16的主通道16a连通的支路径20a(通道)的管，并且其中，在主管16内流动的流体流入这个支路径20a。压力传感器10被布置在该支管20上。压力传感器10检测支管20中的空气压力，并且将检测信号传输到传送装置12的控制单元(未图示)。进一步地，控制单元基于压力传感器10的检测信号，确定吸入机构14是否保持工件W，是否释放工件W，是否未能保持工件W。
如图2A所示，压力传感器10包括圆筒形形状的壳体22，并且进一步在壳体22中包括检测单元24，检测单元24接收在支管20的支路径20a中的流体，并且检测流体的压力。如图2A和2B所示，检测单元24包括主体部24a，主体部24a联接支管20和壳体22，并且进一步包括减震构件30，减震构件30可拆卸地附接至该主体部24a。主体部24a包括结合部26，和压力传感器元件28，压力传感器元件28被安排在结合部26的一端部(上端部)上。减震构件30被布置在结合部26的另一端部(下端部)上。
结合部26包括筒壁26a，筒壁26a在轴向方向上长，并且形成为附接至压力传感器10的壳体22的圆筒形形状的构件。结合部26的筒壁26a的外径从一端部向另一端部变化。流体流过的通孔32(孔部)形成为贯穿结合部26的轴向中心部。通孔32形成为沿轴向方向上大体为恒值的直径，并且直径基于和如下所述的减震构件30之间的关系而被适当地设置。
在结合部26的一个端部布置附接压力传感器元件28的连接部34。连接部34形成为直径小于结合部26的中间部的环形形状，并且连接部34具有外周表面和固定有压力传感器元件28的台阶部。结合部26的中间部径向向外延伸，并且在结合部26中，中间部的直径最大。中间部被联接且固定到压力传感器10的壳体22。
在结合部26从中间部到另一端部的预定范围内，布置有传感器固定外螺纹部36，其是用于将压力传感器10连接到支管20的连接结构。同时，螺合且固定到传感器固定外螺纹部36的传感器固定内螺纹部38被布置在形成支管20的支路径20a的内周表面上。由此，压力传感器10被稳固地联接至支管20。
作为螺合且固定减震构件30的连接结构的构件固定内螺纹部40被布置在筒壁26a的内周表面上，其中筒壁26a的内周表面在结合部26的另一端部侧形成通孔32。例如，构件固定内螺纹部40的螺纹的螺距不同于传感器固定外螺纹部36的螺纹的螺距。
压力传感器10的压力传感器元件28形成为包括底部的圆筒形形状，并且在其中包含与通孔32连通的检测空间42。该压力传感器元件28由弹性材料制成，并且由侧壁44和隔膜46一体地模铸而形成，侧壁44附接至结合部26的连接部34，并且膈膜46被布置在侧壁44的一端侧(附接至连接部34的另一端的相对侧)以形成底部。
压力传感器元件28的侧壁44形成为大体上比膈膜46的厚度更厚，并且支撑膈膜46的外轮缘。因此，即使当流体在检测空间42中流动，侧壁44并不容易弹性变形，并且便于膈膜46变形。
在平面图中，膈膜46形成为圆形形状，并且形成为薄膜的形式。膈膜46被结合到侧壁44的一端的内表面，从而以气密的方式封闭检测空间42。在膈膜46上与检测空间42相对的表面上，安装有未示出的检测电路(通过连结预定电阻等而形成的桥接电路)。当阻抗值响应于膈膜46的弹性变形而改变时，检测电路改变输出信号。基于膈膜46的变形而检测压力的检测结构能够采用各种结构。
同时，压力传感器10的减震构件30被设置成用于阻止从支管20的支路径20a流进通孔32和压力传感器10的检测空间42的流体(空气，湿气L等)线性地流向膈膜46。如图2B和3A到3C所示，该减震构件30具有整体来看的螺纹的形状，并且包括从结合部26露出的头部48和被插入结合部26的本体部50。
在减震构件30内，设置有流体从支路径20a流动至通孔32的流动路径52。流动路径52由沿减震构件30(头部48和主体部50)的轴向中心延伸的第一流动路径54，和与第一流动路径54连通并且沿不同于第一流动路径54的轴向中心的方向延伸的一对第二流动路径56组成。
减震构件30的头部48形成为盘状。在减震构件30被附接到结合部26，并且被卡在结合部26的一端的状态下，头部48封闭通孔32。因此，头部48的外径形成为大于通孔32的直径。
该头部48包括结合主体部50的接合表面58，和位于接合表面58相对侧的露出表面60。接合表面58和露出表面60形成为平坦形状。接合表面58和露出表面60的外周侧的拐角部被倒角。
在露出表面60的中心部形成与第一流动路径54连通的入口54a。入口54a形成为，当在面向头部48的露出表面60的平面图中看时，稍大于第一流动路径54的圆形形状(见图3A)，并且入口54a被构造成包括锥形部61，锥形部61沿轴向中心方向从露出表面60朝向主体部50倾斜(见图3B)。
在头部48的露出表面60上，形成有沿径向方向延伸，将入口54a夹住的一对凹槽部62。一对凹槽部62形成这样的部分：当减震构件30被螺合到结合部26，工具(平头螺丝刀的远端)被插入该部分并且被操作以旋转。一对凹槽部62经由头部48的中心部与第一流动路径54连通，并且在外部在径向方向上延伸到头部48的外周表面。每个凹槽部62的凹槽宽度比第一流动路径54的直径小。每个凹槽部62的深度例如被设置成大约头部48的厚度的1/2。在这方面，凹槽部62能够共同地形成十字形，其可供十字头螺丝刀插入其中，以供螺合。
减震构件30的主体部50被接合到接合表面58的中心部，并且沿垂直于接合表面58的平面方向的方向突出。主体部50从头部48的一侧到其突起端(沿插入方向的深度侧)依次包括接合管部64，螺纹管部66，和流量调整管部68。
减震构件30的第一流动路径54具有圆形截面，并且线性地延伸经过头部48、接合管部64、螺纹管部66和流量调整管部68的轴向中心，从而在整个长度上具有恒值的直径。第一流动路径54与形成在流量调整管部68的周壁内的一对第二流动路径56连通。在主体部50的突起端，设置有阻挡第一流动路径54的阻挡壁70(壁部)。
更详细地，接合管部64具有圆筒形形状，并且将螺纹管部66与头部48的接合表面58分隔开。接合管部64的围壁64a相对厚，因此头部48和主体部50被有力地互相结合。
螺纹管部66包括围壁66a，其径向向外膨胀，稍微超出接合管部64的围壁64a，并且在围壁66a的外周表面，形成有具有多个螺纹的构件固定外螺纹部72。构件固定外螺纹部72形成为螺纹形状，其可以螺合进结合部26的构件固定内螺纹部40。用于将结合部26和减震构件30相互附接的附接机构能够采用各种构造，并且例如能够采用装配机构。
在减震构件30被附接到结合部26的状态下，流量调整管部68被布置为不与结合部26的通孔32的内周表面接触(即使得在二者之间形成间隙76)。流量调整管部68包括连接到螺纹管部66的围壁68a，和闭合围壁68a的突出端的阻挡壁70。
流量调整管部68的围壁68a以恒值的外径延伸，并且包围第一流动路径54，并且在壁内包括一对第二流动路径56。通过流量调整管部68，第一流动路径54被朝向阻挡壁70(减震构件30的插入方向的深度侧：流体的流动方向的下游侧)伸长稍微超出一对第二流动路径56，从而形成通过利用围壁68a和阻挡壁70而接收流体的凹口74。凹口74的内表面70形成为锥形面(锥体形表面)。同时，阻挡壁70的外端表面70b形成为垂直于减震构件30的轴向中心的平坦端表面。
当在平行于图3B中所示的减震构件30的轴向中心的侧截面视图中看时，该一对第二流动路径56在流量调整管部68的轴向方向上被布置在相同位置。第二流动路径56沿垂直于第一流动路径54的轴向中心的方向上延伸，并且贯穿围壁68a的内周表面和外周表面。在流量调整管部68的外周表面上，形成与该一对第二流动路径56连通的出口56a(开口)。每个第二流动路径56具有圆形截面，并且以恒值的直径延伸，并且每个出口56a具有与第二流动路径56相同直径的圆形形状。
当在垂直于图3C所示的减震构件30的轴向中心的截面视图中观看时，一对第二流动路径56沿相反的方向从第一流动路径54彼此延伸。已经流过第一流动路径54的流体分叉并且流入一对第二流动路径56，然后从每个出口56a流出到减震构件30的外部。
一对第二流动路径56和出口56a优选地被安排在朝头部48、稍微远离主体部50的阻挡壁70的位置。因此，间隙76沿如下所述的轴向方向的长度变长。一对第二流动路径56和出口56被设置于远离螺纹管部66一定程度(例如，大于接合管部64轴向方向上的长度的距离)的位置上。因此，在装配状态中，出口56a被布置为比结合部26的构件固定内螺纹部40更深和更向内(朝向膈膜46的一侧)。
流量调整管部68的外径小于结合部26的通孔32的直径。因此，减震构件30形成在围壁68a的外周表面和结合部26的内周表面之间的间隙76(见图2和4)。间隙76是围绕流量调整管部68的圆筒形空间，并且允许经由一对第二流动路径56和出口56a流出的流体流至通孔32的更深侧(内侧)。
根据目标流体的流量而适当地设计间隙76的流动路径的截面面积(有效截面面积)。在压力传感器10中，能够调整流量调整管部68的外径或者结合部26的内径以调整间隙76的流动路径的截面面积。特别地，通过调整结合部26的内径，能够容易地将间隙76的流动路径的截面面积调整到期望尺寸而不用加工减震构件30(也即，同时抑制对构件的损伤)。流量调整管部68的与围壁68a连续的阻挡壁70的拐角部被切割，以在减震构件30的突起端扩大间隙76。
当在制造上述减震构件30时，圆棒形状的金属材料(例如不锈钢)被车削。由此，形成了具有凹槽部62的头部48，具有接合管部64的主体部50的外周表面，螺纹管部66(构件固定外螺纹部72)和流量调整管部68。随后，钻机被用于从头部48的中心部钻孔到主体部50，并被插入以形成第一流动路径54。在这种情况下，在穿过主体部50之前停止钻孔，从而形成阻挡壁70。此后，在流量调整管部68上的预定位置，沿垂直于第一流动路径54的方向插入钻机从而形成一对第二流动路径56。于是，获得了具有在侧截面视图中为T形的流动路径52的减震构件30。
根据压力传感器10尺寸，能够适当设计减震构件30的尺寸。例如，主体部50沿轴向方向的长度X1优选地在大约头部48沿轴向方向的长度X2(即，头部48的厚度)的三到五倍的范围内。阻挡壁70的厚度X3优选地在大约主体部50沿轴向方向的长度X1的1/5到1/10倍的范围内。例如，每个第二流动路径56的直径φ1能够大约在第一流动路径54的直径φ2的1/3到1倍的范围内。
减震构件30被插入结合部26的通孔32，压力传感器元件28被固定至结合部26，并且工具被插入凹槽部62并被转动，因此构件固定外螺纹部72被螺合到构件固定内螺纹部40。因此，在压力传感器10中，减震构件30的第一流动路径54，一对第二流动路径56，结合部26的通孔32(包括间隙76)和压力传感器元件28的检测空间42彼此连通，因此形成了用于检测流体的压力的连通空间78。
连通空间78优选地形成为足够减弱流体的压力的尺寸，并且允许流体流动而不堵塞。例如，流量调整管部68的外径φ3形成为大约在结合部26的通孔32的直径φ4的4/5到9/10倍的范围内。因此，能够保证间隙76足够的流动路径截面面积，并且能够使得空气或者湿气L流动而不堵塞。进一步地，在连通空间78内，一对第二流动路径56的流动路径截面面积能够小于第一流动路径54的流动路径截面面积。在结合部26和减震构件30之间的间隙76的流动路径截面面积能够形成为小于一对第二流动路径56的流动路径截面面积。因此，能够逐步地减弱流体的压力。
根据本实施例的压力传感器10基本上如上述构造，并且压力传感器10的操作和效果如下所述。
如上所述，压力传感器10被附接到传送装置12的支管20(吸入机构14)，因此支管20的支路径20a与连通空间78连通。进一步地，当主管16吸入工件W(硅晶片)时，压力传感器10检测主通道16a中压力的变化。
在这方面，在湿气L粘附于工件W的情况下，当主管16吸入然后释放工件W时，工件W的湿气L和空气一同流入支管20。也就是说，如图4所示，空气和湿气L从支路径20a流入压力传感器10的连通空间78。更具体地，在压力传感器10的附接状态中，第一流动路径54的轴向中心与支路径20a的轴向中心重合(平行状态)。因此，空气和湿气L经由减震构件30的入口54a而从支路径20a流动，并且容易流入第一流动路径54。
包括空气和湿气L的流体在减震构件30的第一流动路径54线性地移动。然而，作为主体部50的突起端(流量调整管部68)的阻挡壁70阻挡流体的流动。流体经过流量调整管部68的一对第二流动路径56，并且从减震构件30的出口56a流出到结合部26的通孔32的间隙76。也就是说，减震构件30将流体的流动方向变化为垂直于第一流动路径54的轴向中心的方向，并且然后使得流体流出而不允许流体从第一流动路径54线性地流出到通孔32。因此，能够阻止包含在流体中的湿气L线性地移动并冲击膈膜46。
当从减震构件30的出口56a流出时，流体经过靠近通孔32的内周表面的间隙76，并且向通孔32的内部流动。如上所述，通孔32的间隙76由结合部26和减震构件30之间的间隔形成，从而调整空气流量。间隙76使得流体在流量调整管部68的圆周方向流动，并且朝向通孔32的深侧流动。在该结构中，流体在减震构件30的下游侧的通孔32中产生均匀扩散的冲击压力。进一步地，流体在此状态下经过通孔32，并且流至检测空间42。
因此，流体将微弱的压力施加于膈膜46的面对表面，并且使膈膜46弹性地变形。特别地，减轻了湿气L抵抗膈膜46的冲击。因此，能够显著地抑制对膈膜46的损伤，并且便于膈膜46的弹性变形。压力传感器10将对应于膈膜46的变形量的压力的检测值输出到控制单元，并且因此使控制单元能够识别传送装置12是否保持，释放或者未能保持工件W。
如上所述，由于根据本实施例的压力传感器10采用减震构件30被附接到结合部26这样的简单构造，因此能够提高膈膜46的耐用性。也就是说，流体(空气和湿气L)从支路径20a流动到减震构件30的第一流动路径54，然后线性地流过第一流动路径54，并且流体的线性地流动在下游侧由阻挡壁70阻挡。然后，流体改变路线，沿不同于第一流动路径54的方向经过一对第二流动路径56，并且从出口56a流出。进一步地，流体经由间隙76流至检测空间42。然后，膈膜46检测压力。特别地，即使当流体包括湿气L或者油时，减震构件30能够阻止湿气L或者油穿过第一流动路径54，并且直接击中膈膜46，并且能够显著抑制对膈膜46的损伤。进一步地，减震构件30或者结合部26的内壁(内周表面)使得能够容易调整间隙76的流动路径截面面积，并且使得流体适当地流动。
在这种情况下，减震构件30形成为螺纹形状，并且因此能够容易地被附接至结合部26的内壁。在压力传感器10中，必要时，能够通过调换减震构件30而容易调整间隙76的流动路径截面面积。除此之外，减震构件30的头部48包括凹槽部62。因此，将减震构件30附接到结合部26，以及从结合部26拆卸减震构件30变得更容易。进一步地，当第一或者第二流动路径54，56经受堵塞，能够迅速地执行维护与修理。进一步地，凹槽部62能够使得通道中的流体平稳地流入第一流动路径54。
减震构件30包括出口56a，相较于，出口56a在插入方向上被布置为比构件固定外螺纹部72更深，并且流量调整管部68的外周表面形成为平滑表面(即，在减震构件30的侧截面视图中的平面坦形状)。因此，当流体从出口56a流出时，流体能够沿着间隙76稳定地流动。第二流动路径56的轴向中心竖直于第一流动路径54的轴向中心。因此，能够将流过第一流动路径54并且被阻挡壁70阻挡流动的流体适当地沿第一流动路径54的径向方向移动至外部。压力传感器10进一步包括凹口74。因此，湿气L和油能够首先由凹口74接收，然后移动到第二流动路径56。因此，能够降低湿气L或者油的冲力。
在这方面，根据本发明的压力传感器10并不局限于上述，并且能够采用各种变形和应用。例如，减震构件30可以不必包括凹口74，但是包括与阻挡壁70的内表面70a连续的一对第二流动路径56。
在根据图5A中所示的第一修改例的减震构件30A中，当在侧截面视图中看时，一对第二流动路径80能够径向向外倾斜，并且相对于第一流动路径54的轴向中心向突起端倾斜。因此，即使当一对第二流动路径80被倾斜时，仍然能够使得流体(空气和湿气L)经由一对第二流动路径80流出到通孔32的间隙76。因此，能够提供与根据本实施例的减震构件30的相同的效果。
根据图5B中所示的第二修改例，减震构件30B能够包括用于第一流动路径54的一个第二流动路径82，并且当在侧表面截面视图中看，能够形成L形的流动路径52。进一步地，根据图5C中所示的第三修改例，减震构件30C能够包括多个(图5C中为四个)在轴向中心部径向形成的用于第一流动路径54的第二流动路径84。也就是说，在减震构件30改变流体的路径的情况下，第二流动路径56，80，82，84的形状没有特别的限制，并且能够根据目标流体流量或者目标压降量来自由设计第二流动路径56，80，82，84的形状。
本发明并不局限于上述实施例，并且在不脱离本发明的范围下，能够进行各种修改。

Claims (7)

1.一种压力传感器(10)，其特征在于，包括：
主体部(24a)，所述主体部(24a)被设置于流体的通道上；和
减震构件(30，30A至30C)，所述减震构件(30，30A至30C)被附接至所述主体部(24a)，其中：
所述减震构件(30，30A至30C)包括：
第一流动路径(54)，所述第一流动路径(54)与所述通道连通，并且被构造成使得所述流体线性地流动，
壁部(70)，所述壁部(70)被设置成面向所述第一流动路径(54)，并且被构造成阻挡所述流体线性地流动，和
第二流动路径(56，80，82，84)，所述第二流动路径(56，80，82，84)被构造成允许所述第一流动路径(54)和形成于所述减震构件(30，30A至30C)的外周表面中的开口(56a)彼此连通，并且被构造成使得所述流体在不同于所述第一流动路径(54)的轴向中心的方向上流动，并且
间隙(76)形成于所述减震构件(30，30A至30C)和所述主体部(24a)的内周表面之间，所述间隙(76)被构造成调整从所述开口(56a)流出的所述流体的压力，所述内周表面包围在所述开口(56a)附近的所述减震构件(30，30A至30C)；并且
所述主体部(24a)包括：
检测空间(42)，所述检测空间(42)与所述间隙(76)连通，和
膈膜(46)，所述膈膜(46)被构造成检测在所述检测空间(42)中流动的所述流体的所述压力。
2.如权利要求1所述的压力传感器(10)，其特征在于，所述减震构件(30，30A至30C)形成为螺纹形状，并且可附接地并且可拆卸地螺合到由所述内周表面形成的孔部(32)。
3.如权利要求2所述的压力传感器(10)，其特征在于：
所述减震构件(30，30A至30C)包括头部(48)，在所述减震构件(30，30A至30C)被固定到所述内周表面的状态下，所述头部(48)经过所述孔部(32)被露出；并且
所述头部(48)包括凹槽部(62)，所述凹槽部(62)被构造成允许工具被插入和操作，所述凹槽部(62)与所述第一流动路径(54)连通，其中，所述工具被构造成螺合所述减震构件(30，30A至30C)。
4.如权利要求2所述的压力传感器(10)，其特征在于：
所述减震构件(30，30A至30C)包括外螺纹部(72)，所述外螺纹部(72)被螺合到所述内周表面，并且所述开口(56a)在所述减震构件(30，30A至30C)的插入方向上被布置得比所述外螺纹部(72)更深；并且
当在所述减震构件(30，30A至30C)的侧截面视图中看时，在所述开口(56a)附近的所述减震构件(30，30A至30C)的外周表面形成为平坦形状。
5.如权利要求1所述的压力传感器(10)，其特征在于，所述第二流动路径(56，82，84)的轴向中心垂直于所述第一流动路径(54)的轴向中心。
6.如权利要求1所述的压力传感器(10)，其特征在于，所述壁部(70)被布置在远离所述第一流动路径(54)和所述第二流动路径(56，80，82，84)之间的连通位置的位置，并且形成凹口(74)，所述凹口(74)被构造成在所述第一流动路径(54)的流动方向上的下游侧接收所述流体。
7.一种减震构件(30，30A至30C)，所述减震构件(30，30A至30C)被附接至设置于流体通道上的主体部(24a)，其特征在于，所述减震构件(30，30A至30C)包括：
第一流动路径(54)，所述第一流动路径(54)与所述通道连通，并且被构造成使得所述流体线性地流动；
壁部(70)，所述壁部(70)被设置成面向所述第一流动路径(54)，并且被构造成阻挡所述流体线性地流动；和
第二流动路径(56，80，82，84)，所述第二流动路径(56，80，82，84)被构造成允许所述第一流动路径(54)和形成于所述减震构件(30，30A至30C)的外周表面的开口(56a)彼此连通，并且被构造成使得所述流体在不同于所述第一流动路径(54)的轴向中心的方向上流动，并且
间隙(76)形成于所述减震构件(30，30A至30C)和所述主体部(24a)的内周表面之间，所述间隙(76)被构造成调整从所述开口(56a)流出的所述流体的压力，所述内周表面包围在所述开口(56a)附近的所述减震构件(30，30A至30C)。
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