JP6110047B1 - センサ装置 - Google Patents

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Abstract

センサ装置1は、下端面11aに開口する流入口16を有し、流入口16から検出対象の蒸気が流入するガス通路13が内部に軸方向に延びて形成された棒状部11と、ガス通路13に連通し、ガス通路13内の蒸気圧力を検出する圧力センサとを備えている。そして、センサ装置1は、流体通路における圧力センサ50の連通箇所よりも上流側に設けられ、蒸気中の異物を除去する多孔質部材30を備えている。

Description

本願は、流体の圧力を検出するセンサ装置に関する。
例えば特許文献1に開示されているように、各種プラントや製造装置等で扱われる流体の圧力を検出するセンサ装置が知られている。このセンサ装置は、検出対象のガスが流入する通気路が形成された計測ロッドと、該計測ロッドに取り付けられ、通気路に流入したガスの圧力を検出する圧力センサとを有している。このセンサ装置では、計測ロッドの端部がガスの流通箇所に配置されることにより、ガスが通気路に流入してそのガス圧が圧力センサによって検出される。
特開2012−121070号公報
ところで、上述したセンサ装置では、ガスの流通箇所(配管等)に存在するゴミや錆、スケール等の異物が通気路に流入してしまい、圧力センサによって圧力を正確に測定することができない虞があった。
本願に開示の技術は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ゴミやスケール等の異物によって測定機能が阻害されないセンサ装置を提供することにある。
本願に開示の技術は、軸方向端面に開口する流入口を有し、上記流入口から検出対象の流体が流入する流体通路が内部に軸方向に延びて形成された棒状部材と、上記流体通路に連通し、該流体通路内の流体圧力を検出する圧力センサとを備えたセンサ装置を前提としている。そして、本願のセンサ装置は、上記流体通路における上記圧力センサの連通箇所よりも上流側に設けられ、上記流体中の異物を除去する多孔質部材を備えている。
以上より、本願のセンサ装置によれば、流体中の異物を除去する多孔質部材を流体通路における圧力センサの連通箇所よりも上流側に設けるようにしたので、流体が圧力センサの連通箇所に流れるまでに、流体中の異物を除去することができる。したがって、本願のセンサ装置によれば、流体中の異物によって影響を受けることなく流体の圧力を正確に検出(測定)することができる。
図1は、実施形態に係るセンサ装置の概略構成を示す断面図である。 図2は、実施形態に係るセンサ装置の要部を拡大して示す断面図である。 図3は、実施形態の変形例に係るセンサ装置の要部を拡大して示す断面図である。
以下、本願の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本願に開示の技術、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
本実施形態のセンサ装置1は、プラント等において流体が流れる配管に取り付けられて、流体の温度および圧力の2つを検出(測定)するものである。本実施形態において、検出対象(測定対象)である流体は蒸気として説明する。
図1に示すように、本実施形態のセンサ装置1は、通信用のアンテナ3を有する無線式の通信機2が取り付けられている。センサ装置1は、本体10と、温度センサ40(熱電対)と、圧力センサ50と、取付部材60とを備えている。
図2にも示すように、本体10の内部には、検出対象の蒸気が流入するガス通路13が形成されている。このガス通路13は、本願の請求項に係る流体通路を構成している。具体的に、本体10は、棒状部11と頭部12を有する。棒状部11は、上下方向(図1において矢印で示す方向)に延びる円筒状に形成されており、本願の請求項に係る棒状部材を構成している。棒状部11は、一端(下端側)が蒸気の流入端を構成し、他端(上端側)に頭部12が嵌め込まれて接続されている。頭部12は、正面視で略L字状に形成されている。
ガス通路13は、棒状部11において形成される流入口16および螺旋通路14(螺旋状の通路)と、頭部12において形成される横通路15とを有する。流入口16は、棒状部11の下端面11a(軸方向端面)に開口し、棒状部11の内部において軸方向に延びる短めの直線状の通路である。つまり、棒状部11は一端が流入口16となる円筒状に形成されている。螺旋通路14は、一端が流入口16に連通し、他端が横通路15に連通している。螺旋通路14は、棒状部11の内部において軸方向(上下方向)に延びて形成されている。
螺旋通路14について詳しく説明する。棒状部11の内周面11bは円柱状に形成されており、その棒状部11に棒状(具体的には、円柱状)の内挿体20が挿入されている。内挿体20は、長さが棒状部11よりも短く形成されており、棒状部11において流入口16の上側(即ち、後述する多孔質部材30の下流側)に位置している。内挿体20は、外周面22に螺旋溝23(螺旋状の溝)が形成されている。螺旋溝23は、内挿体20の外周面22において軸方向(上下方向)に延びており、内挿体20の全長に亘って形成されている。なお、本実施形態の螺旋溝23は、横断面視が矩形状に形成されている。ここに、横断面視とは、螺旋溝23をその軸方向(長さ方向)に対して垂直に切断した断面を意味する。内挿体20の外径は、棒状部11の内径と略同じである。つまり、内挿体20は外周面22が棒状部11の内周面11bと接する状態で棒状部11に挿入されている。そして、棒状部11では、その内周面11bと内挿体20の螺旋溝23とによって上述した螺旋通路14が形成される。つまり、本実施形態のセンサ装置1では、内挿体20が本体10の棒状部11に挿入されて棒状部11の内周面11bとの間で螺旋通路14を形成する。
また、本実施形態の螺旋通路14は、図2に破線で示すように、途中に下方へ傾斜する下り部14bを有している。具体的に、螺旋通路14は、圧力センサ50の連通箇所(即ち、横通路15)へ向かうに従って上方へ傾斜する上り部14aと、圧力センサ50の連通箇所へ向かうに従って下方へ傾斜する下り部14bとを交互に有している。つまり、内挿体20では上述した上り部14aと下り部14bとが交互に形成されるように螺旋溝23が形成されている。
頭部12には、温度センサ40および圧力センサ50が設けられている。温度センサ40は、蒸気の温度を検出する測温抵抗体または熱電対が内蔵されたシース管41を有している。シース管41は、細長い円柱状に形成されており、棒状部11に挿入されている。具体的に、シース管41は、内挿体20に形成された貫通孔21に挿入されてスキマバメにより嵌合している。また、シース管41は、先端41aが棒状部11の下端面11aから突出した状態で設けられている。圧力センサ50は、横通路15に連通する状態で頭部12に設けられ、横通路15内(即ち、ガス通路13内)の蒸気の圧力を検出するものである。つまり、ガス通路13では螺旋通路14が流入口16から圧力センサ50の連通箇所までにおいて形成されている。センサ装置1は、頭部12が通信機2の下側にボルト4によって締結固定されている。センサ装置1では、温度センサ40および圧力センサ50によって検出された温度および圧力に関する信号が電線(図示省略)を通じて通信機2へ送られる。通信機2では、温度センサ40等から送られた信号が処理され、アンテナ3を通じて外部機器へ送信される。
本体10の棒状部11には、センサ装置1を配管に取り付けるための取付部材60が設けられている。センサ装置1は、棒状部11の下端側が配管内に挿入された状態で取付部材60によって配管に固定される。その際、センサ装置1は棒状部11が上下方向に延びる状態で固定される。なお、取付部材60は配管に対する棒状部11の挿入長さを調節可能に構成されている。こうして固定されたセンサ装置1では、棒状部11の下端側が配管内の蒸気に曝された状態となり、配管内の蒸気が流入口16から螺旋通路14に流入して横通路16まで流通する。
そして、本実施形態のセンサ装置1は、多数の微細孔が設けられた多孔質部材30をさらに備えている。多孔質部材30は、ガス通路13における圧力センサ50の連通箇所よりも上流側に設けられており、蒸気の流入時にその蒸気中の異物を除去するものである。つまり、多孔質部材30は配管内の異物(例えば、ゴミ、錆、スケール等)がガス通路13に蒸気と共に流入するのを防止するものである。
図2に示すように、多孔質部材30は、円柱状に形成されており、棒状部11の流入口16に挿入されている。多孔質部材30の外径は、棒状部11の内径(即ち、流入口16の開口径)と略同じである。多孔質部材30は、外周面34が棒状部11の内周面11bと接し、上端面33が内挿体20の下端面と接する状態で流入口16に挿入されている。こうして多孔質部材30が設けられた棒状部11では、流入口16に流入した蒸気は全て多孔質部材30を通過して螺旋通路14へ流れる。なお、シース管41は多孔質部材30に形成された貫通孔31に挿入されている。
また、多孔質部材30は、下端面32が棒状部11の下端面11aよりも内方に位置する状態で設けられている。つまり、棒状部11の下端には、多孔質部材30の下端面32が内方に位置する分だけ空間11dが形成されている。こうした空間11dを設けることにより、配管内を流れる蒸気が棒状部11の流入口16(ガス通路13)に流入しやすくなる。なお、棒状部11では多孔質部材30の下方に設けられた留め具18によって多孔質部材30の外方への抜け出しが防止されている。
さらに、本実施形態のセンサ装置1では、棒状部11において多孔質部材30が位置する側部に複数(本実施形態では、8つ)の連通孔17が設けられている。連通孔17は、棒状部11において外周面11cから内周面11bに貫通し、多孔質部材30の外周面34と連通する孔である。連通孔17は、棒状部11において流入口16とは別に設けられた蒸気の流入可能な孔である。つまり、棒状部11では蒸気が連通孔17からも流入して多孔質部材30を通過し螺旋通路14に流れる。本実施形態において、連通孔17は、図示しないが、棒状部11の周方向において4箇所設けられており、各箇所には上下に並んで2つずつ設けられている。なお、本実施形態において連通孔17の数量は1つでも上述した数量以外の複数であってもよい。
以上のように、上記実施形態のセンサ装置1によれば、蒸気の流入時に蒸気中の異物を除去する多孔質部材30を流入口16に挿入するようにしたので、蒸気がガス通路13に流入するのを許容しつつ、蒸気中の異物がガス通路13に流入するのを防止することができる。そして、上記実施形態のセンサ装置1では、棒状部11における多孔質部材30が位置する側部に蒸気が流入可能な連通孔17を設けるようにした。そのため、流入口16に面する多孔質部材30の下端面32が異物によって目詰まりして蒸気が流通しにくくなった場合でも、蒸気を連通孔17から流入させてガス通路13に流すことができる。その際、連通孔17から流入した蒸気は多孔質部材30をその外周面34から通過して螺旋通路14に流れるので、蒸気中の異物を多孔質部材30によって除去することができる。以上より、上記実施形態のセンサ装置1によれば、確実に蒸気をガス通路13に流入させることができると共に、蒸気中の異物によって影響を受けることなく蒸気の圧力を正確に検出(測定)することができる。したがって、センサ装置1の信頼性を向上させることができる。
また、流入口16に多孔質部材30を挿入することにより、流入口16における蒸気の流通抵抗が増大して蒸気がガス通路13に流入し難くなり、その結果、蒸気の圧力を正確に検出(測定)できない虞がある。そのような場合でも、連通孔17を設けることで蒸気のガス通路13への流入面積が増大するため、蒸気を十分にガス通路13へ流入させることができる。
また、上記実施形態のセンサ装置1によれば、ガス通路13において螺旋通路14を形成しているので、例えば直線状の通路と比べて棒状部11における蒸気の接触面積を増大させることができる。そのため、蒸気と棒状部11(本体10)との熱伝達を促進させることができる。したがって、ガス通路13において蒸気が流入口16付近では高温であっても圧力センサ50の付近では低い温度にすることができる。つまり、ガス通路13において蒸気は棒状部11と熱交換して徐々に温度が低下するところ、蒸気と棒状部11との接触面積を増大させたことによって蒸気の温度低下量を増大させることができる。そうすると、検出対象が高温の蒸気であっても、その温度よりも低く設定された使用温度の圧力センサ50を用いることができるため、高温対応の圧力センサを用いる必要がなくなり、センサ装置1のコストを抑えることが可能である。
また、上記実施形態のセンサ装置1によれば、外周面22に螺旋溝23を形成した円柱状の内挿体20を円筒状の棒状部11に挿入することによって螺旋通路14を形成するようにしたため、容易に棒状部11の内部に螺旋通路14を形成することが可能である。したがって、センサ装置1のコストを一層抑えることができる。
さらに、上記実施形態のセンサ装置1によれば、螺旋通路14の途中に下り部14bを形成しているため、螺旋通路14内または横通路15内における蒸気凝縮により発生したドレン水を下り部14bから上り部14aへと連続する部分に溜めることができる。螺旋通路14において蒸気は本体10との熱交換により凝縮してドレン水になる場合があるが、そのドレン水を螺旋通路14の途中に貯留させることができる。こうして螺旋通路14の途中に液体であるドレン水を介在させることにより、流入口16付近の高温がガス通路13を通じて圧力センサ50に伝達されるのを抑制することができる。つまり、一般に液体(ドレン水)は気体(蒸気)よりも熱伝達率が低いところ、ガス通路13の一部に液体を介在させることによってガス通路13における熱伝達を阻害することが可能になる。これによっても、使用温度が低い圧力センサ50を用いることができ、このため、センサ装置1のコストをより一層抑えることができる。
(実施形態の変形例)
本変形例は、上記実施形態において多孔質部材の構成を変更するようにしたものである。図3に示すように、本変形例の多孔質部材70は、上記実施形態の多孔質部材30よりも短く形成されている。多孔質部材70は、比較的平たい円柱状に形成されており、棒状部12のガス通路13に設けられている。
具体的に、多孔質部材70は、ガス通路13において連通孔17よりも下流側に設けられている。多孔質部材70の外径は、棒状部11の内径と略同じである。多孔質部材70は、外周面74が棒状部11の内周面11bと接し、上端面73が内挿体20の下端面と接し、下端面72が上側の連通孔17の上部と面一となる状態で設けられている。こうして多孔質部材70が設けられた棒状部11では、流入口16から流入した蒸気および8つの連通孔17から流入した蒸気は全て多孔質部材70を通過して螺旋通路14へ流れる。これにより、螺旋通路14へは、上記実施形態と同様、多孔質部材70によって異物が除去された蒸気が流れる。なお、シース管41は多孔質部材70に形成された貫通孔71に挿入されている。
以上のように、本変形例によれば、多孔質部材70の長さが短くなった分、蒸気が多孔質部材70を通過することによる蒸気の圧力降下を抑制することができる。したがって、蒸気の圧力をより正確に検出(測定)することができる。
なお、本願に開示の技術は、上記実施形態において以下のような構成としてもよい。
また、上記実施形態のセンサ装置1では、ガス通路13の螺旋通路14を例えば上下方向に延びる直線状の通路に変更するようにしてもよい。
また、上記実施形態の螺旋通路14では、下り部14bを複数設けているが、本願に開示の技術はこれに限らず、下り部14bを1つだけ設けるようにしてもよいし、下り部14bを設けなくてもよい。
また、上記実施形態のセンサ装置1では、検出対象が蒸気である場合について説明したが、検出対象は蒸気以外のガスや液体であってもよい。
本願に開示の技術は、流体の圧力を検出する圧力センサを備えたセンサ装置について有用である。
1 センサ装置
11 棒状部(棒状部材)
11a 下端面(軸方向端面)
11b 内周面
13 ガス通路(流体通路)
14 螺旋通路(螺旋状の通路)
14b 下り部
16 流入口
17 連通孔
20 内挿体
22 外周面
23 螺旋溝(螺旋状の溝)
30 多孔質部材
34 外周面
50 圧力センサ

Claims (5)

  1. 軸方向端面に開口する流入口を有し、上記流入口から検出対象の流体が流入する流体通路が内部に軸方向に延びて形成された棒状部材と、上記流体通路に連通し、該流体通路内の流体圧力を検出する圧力センサとを備えたセンサ装置であって、
    上記流体通路における上記圧力センサの連通箇所よりも上流側に設けられ、上記流体中の異物を除去する多孔質部材を備え
    上記多孔質部材は、柱状に形成され、上記流入口に挿入されている一方、
    上記棒状部材において上記多孔質部材が位置する側部には、上記多孔質部材の外周面と連通し、上記流体が流入可能な連通孔が設けられている
    ことを特徴とするセンサ装置。
  2. 軸方向端面に開口する流入口を有し、上記流入口から検出対象の流体が流入する流体通路が内部に軸方向に延びて形成された棒状部材と、上記流体通路に連通し、該流体通路内の流体圧力を検出する圧力センサとを備えたセンサ装置であって、
    上記流体通路における上記圧力センサの連通箇所よりも上流側に設けられ、上記流体中の異物を除去する多孔質部材と、
    上記流体の温度を検出する測温抵抗体または熱電対が内蔵された円柱状に形成され、上記多孔質部材を貫通するように上記棒状部材に挿入され、先端部が上記棒状部材における上記多孔質部材よりも上流側に露出した状態で設けられるシース管とを備え、
    上記棒状部材における上記多孔質部材よりも上流側の側部には、上記流体が上記流体通路に流入可能な連通孔が設けられている
    ことを特徴とするセンサ装置。
  3. 請求項1または2に記載のセンサ装置において、
    上記流体通路は、上記多孔質部材から上記圧力センサの連通箇所までにおいて螺旋状の通路を有している
    ことを特徴とするセンサ装置。
  4. 請求項に記載のセンサ装置において、
    上記流体通路の螺旋状の通路は、上下方向に延びており、上記圧力センサの連通箇所へ向かうに従って下方へ傾斜する下り部を有している
    ことを特徴とするセンサ装置。
  5. 請求項またはに記載のセンサ装置において、
    上記棒状部材は、一端が上記流入口となる円筒状に形成され、
    上記多孔質部材は、外径が上記棒状部材の内径と略同径の円柱状に形成され、
    外周面に螺旋状の溝が形成された円柱状に形成され、上記棒状部材において上記多孔質部材の下流側に挿入され上記棒状部材の内周面と上記螺旋状の溝とによって上記螺旋状の通路を形成する内挿体を備えている
    ことを特徴とするセンサ装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6301570B1 (ja) * 2017-04-27 2018-03-28 株式会社テイエルブイ センサ装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108204877B (zh) * 2017-06-01 2019-10-29 北京航空航天大学 一种利用支杆吹气减小支杆堵塞效应的稳态压力探针
CN108225661B (zh) * 2017-06-21 2019-11-12 北京航空航天大学 一种利用支杆吸气减小支杆堵塞效应的稳态压力探针
JP6976737B2 (ja) * 2017-06-22 2021-12-08 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP7003076B2 (ja) 2019-03-08 2022-01-20 株式会社東芝 センサ

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1619444A (en) * 1926-07-08 1927-03-01 Taylor Doc Gilford Antichattering device
JPS59150319A (ja) * 1982-11-02 1984-08-28 スロ−プ・インディケ−タ−・カンパニ− 流体圧トランスジュ−サ
JP2001281086A (ja) * 2000-03-30 2001-10-10 Matsushita Electric Works Ltd 圧力センサ及びその製造方法
WO2015105102A1 (ja) * 2014-01-08 2015-07-16 株式会社テイエルブイ センサ装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1619444A (en) * 1926-07-08 1927-03-01 Taylor Doc Gilford Antichattering device
JPS59150319A (ja) * 1982-11-02 1984-08-28 スロ−プ・インディケ−タ−・カンパニ− 流体圧トランスジュ−サ
JP2001281086A (ja) * 2000-03-30 2001-10-10 Matsushita Electric Works Ltd 圧力センサ及びその製造方法
WO2015105102A1 (ja) * 2014-01-08 2015-07-16 株式会社テイエルブイ センサ装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6301570B1 (ja) * 2017-04-27 2018-03-28 株式会社テイエルブイ センサ装置
WO2018198263A1 (ja) * 2017-04-27 2018-11-01 株式会社テイエルブイ センサ装置
EP3617679A4 (en) * 2017-04-27 2020-05-06 TLV Co., Ltd. SENSOR DEVICE
US11326959B2 (en) 2017-04-27 2022-05-10 Tlv Co., Ltd. Sensor device

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