WO2018198263A1 - センサ装置 - Google Patents

センサ装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2018198263A1
WO2018198263A1 PCT/JP2017/016699 JP2017016699W WO2018198263A1 WO 2018198263 A1 WO2018198263 A1 WO 2018198263A1 JP 2017016699 W JP2017016699 W JP 2017016699W WO 2018198263 A1 WO2018198263 A1 WO 2018198263A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
passage
rod
holding member
sensor device
fluid
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/016699
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
西川佳弘
Original Assignee
株式会社テイエルブイ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社テイエルブイ filed Critical 株式会社テイエルブイ
Priority to EP17907384.6A priority Critical patent/EP3617679B1/en
Priority to PCT/JP2017/016699 priority patent/WO2018198263A1/ja
Priority to JP2017553269A priority patent/JP6301570B1/ja
Priority to ES17907384T priority patent/ES2878084T3/es
Priority to SG11201909938V priority patent/SG11201909938VA/en
Publication of WO2018198263A1 publication Critical patent/WO2018198263A1/ja
Priority to US16/655,614 priority patent/US11326959B2/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/08Protective devices, e.g. casings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0681Protection against excessive heat

Definitions

  • This application relates to a sensor device for detecting the temperature of a fluid.
  • a sensor device that is attached to a pipe through which a fluid flows and detects the temperature of the fluid.
  • a temperature sensor sheath tube
  • the fluid flows upward through the spiral passage and the fluid pressure is detected by the pressure sensor provided at the upper portion, and the fluid temperature is detected by the temperature sensor.
  • the fluid flows through the spiral passage, heat is exchanged with the outside, and the temperature decreases. Therefore, a fluid having a low temperature flows through the pressure sensor, so that the pressure sensor need not be adapted to a high temperature. Therefore, the cost of the pressure sensor can be reduced.
  • the length of the spiral passage is sufficient if the temperature of the fluid can be lowered to a predetermined temperature. Therefore, considering the high processing cost of the spiral groove, the spiral passage can be suppressed to the minimum necessary length. . As a result, the distal end side of the sheath tube becomes a free end in the cylindrical member, and the sheath tube is easily affected by the fluid pressure.
  • the technology disclosed in the present application has been made in view of such circumstances, and its purpose is to suppress the influence of the fluid pressure of the temperature sensor while suppressing the cost.
  • the technology disclosed in the present application is a sensor device including a rod-shaped member, a temperature sensor, a fixing member, and a holding member.
  • the rod-shaped member has a fluid passage extending in the axial direction therein, and fluid flows into the fluid passage.
  • the temperature sensor is formed to be narrower than the fluid passage, and is inserted into the fluid passage in a state where the distal end side is located in the fluid passage, and has a rod shape for detecting the temperature of the fluid.
  • the fixing member fixes the base end side of the temperature sensor.
  • the holding member is provided on the rod-like member and holds the tip side of the temperature sensor.
  • the influence of the fluid pressure of the temperature sensor can be suppressed.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a sensor device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view illustrating a main part of the sensor device according to the embodiment.
  • the sensor device 1 of the present embodiment is attached to a pipe through which a fluid flows in a plant or the like, and detects (measures) two of the temperature and pressure of the fluid.
  • the fluid that is the detection target (measurement target) will be described as steam.
  • the sensor device 1 of the present embodiment is provided with a wireless communication device 2 having a communication antenna 3.
  • the sensor device 1 includes a main body 10, a temperature sensor 40 (thermocouple), a pressure sensor 50, and an attachment member 60.
  • a gas passage 13 into which the detection target steam flows is formed inside the main body 10.
  • the gas passage 13 constitutes a fluid passage according to the claims of the present application.
  • the main body 10 has a rod-shaped part 11 and a head part 12.
  • the rod-shaped portion 11 is formed in a cylindrical shape extending in the vertical direction (direction indicated by an arrow in FIG. 1), and corresponds to a rod-shaped member according to the claims of the present application.
  • the rod-shaped part 11 is connected with the head 12 fitted into the other end (upper end side).
  • the head 12 is formed in a substantially L shape when viewed from the front.
  • the gas passage 13 has a spiral passage 14 (spiral passage) and a straight passage 15 formed in the rod-shaped portion 11, and a lateral passage 16 formed in the head 12.
  • the gas passage 13 is a passage that opens in the lower end surface 11 a (axial end surface) of the rod-shaped portion 11 and extends in the axial direction inside the rod-shaped portion 11.
  • the spiral passage 14 is formed in substantially the upper half of the rod-shaped portion 11, and one end communicates with the lateral passage 16 and the other end communicates with the linear passage 15.
  • the spiral passage 14 is formed to extend in the axial direction (vertical direction) inside the rod-shaped portion 11.
  • the straight passage 15 is formed near the lower end of the rod-shaped portion 11, and is formed continuously on the upstream side of the spiral passage 14. That is, the straight passage 15 communicates with the spiral passage 14 and the other end communicates with the opening of the lower end surface 11a.
  • the spiral passage 14 will be described in detail.
  • the inner peripheral surface 11 b of the rod-shaped portion 11 is formed in a columnar shape, and a rod-shaped (specifically, cylindrical) insertion body 25 is inserted into the rod-shaped portion 11.
  • the insertion body 25 is formed to have a length shorter than that of the rod-shaped portion 11, and is positioned in a substantially upper half portion of the rod-shaped portion 11.
  • the insertion body 25 has a spiral groove 28 (spiral groove) formed on the outer peripheral surface 27.
  • the spiral groove 28 extends in the axial direction (vertical direction) on the outer peripheral surface 27 of the insert 25 and is formed over the entire length of the insert 25.
  • the spiral groove 28 of the present embodiment is formed in a rectangular shape in a longitudinal sectional view.
  • the longitudinal sectional view means a section obtained by cutting the spiral groove 28 in parallel to the axial direction (longitudinal direction).
  • the outer diameter of the insertion body 25 is substantially the same as the inner diameter of the rod-shaped portion 11. That is, the insertion body 25 is inserted into the rod-shaped portion 11 with the outer circumferential surface 27 in contact with the inner circumferential surface 11 b of the rod-shaped portion 11.
  • the spiral passage 14 described above is formed by the inner peripheral surface 11 b and the spiral groove 28 of the insertion body 25. That is, in the sensor device 1 of the present embodiment, the insertion body 25 is inserted into the rod-shaped portion 11 of the main body 10 to form the spiral passage 14 between the inner circumferential surface 11 b of the rod-shaped portion 11.
  • the spiral passage 14 of the present embodiment has a descending portion 14b that is inclined downward in the middle.
  • the spiral passage 14 has an ascending portion 14a that slopes upward as it goes to a communication location (that is, the lateral passage 16) of the pressure sensor 50, which will be described later, and a descending slope that slopes downward as it goes to the communication location of the pressure sensor 50.
  • the spiral groove 28 is formed in the insertion body 25 so that the above-mentioned ascending portion 14a and descending portion 14b are alternately formed.
  • the structure of the spiral groove 28 is not limited to this.
  • the spiral groove 28 may have a structure including only an upward portion without a downward portion.
  • the head 12 is provided with a temperature sensor 40 and a pressure sensor 50.
  • the temperature sensor 40 has a sheath tube 41 in which a resistance temperature detector or a thermocouple for detecting the temperature of the vapor in the straight passage 15 (that is, in the gas passage 13) is incorporated.
  • the sheath tube 41 is formed in an elongated cylindrical shape (bar shape) and is inserted into the gas passage 13 of the rod-shaped portion 11. Specifically, the proximal end side of the sheath tube 41 is inserted into the through hole 26 of the insertion body 25 and is fitted by a clearance. Thus, the proximal end side of the sheath tube 41 is fixed (held) by the insertion body 25. That is, the insert 25 constitutes a fixing member that fixes the proximal end side of the sheath tube 41.
  • the sheath tube 41 is inserted into the gas passage 13 with the tip 41a positioned in the straight passage 15 (gas passage 13).
  • the pressure sensor 50 is provided in the head 12 in a state of communicating with the lateral passage 16 and detects the pressure of the vapor in the lateral passage 16 (that is, in the gas passage 13). That is, in the gas passage 13, the spiral passage 14 is formed on the upstream side of the communication location of the pressure sensor 50.
  • the sheath tube 41 is formed narrower than the straight passage 15 (gas passage 13), and the straight passage 15 is an annular passage when the sheath tube 41 is inserted into the rod-like portion 11.
  • the gas passage 13 is configured such that steam flows from the distal end side of the sheath tube 41 to the proximal end side.
  • the sensor device 1 has a head 12 fastened and fixed to the lower side of the communication device 2 by a bolt 4.
  • signals related to temperature and pressure detected by the temperature sensor 40 and the pressure sensor 50 are sent to the communication device 2 through electric wires (not shown).
  • a signal transmitted from the temperature sensor 40 or the like is processed and transmitted to an external device through the antenna 3.
  • the rod-shaped part 11 of the main body 10 is provided with an attachment member 60 for attaching the sensor device 1 to the pipe.
  • the sensor device 1 is fixed to the pipe by the mounting member 60 in a state where the lower end side of the rod-like portion 11 is inserted into the pipe. At that time, the sensor device 1 is fixed in a state where the rod-like portion 11 extends in the vertical direction.
  • the attachment member 60 is comprised so that adjustment of the insertion length of the rod-shaped part 11 with respect to piping is possible. In the sensor device 1 thus fixed, the lower end side of the rod-shaped portion 11, that is, the portion where the linear passage 15 is provided in the rod-shaped portion 11 is exposed to the steam in the pipe.
  • the sensor device 1 of the present embodiment includes a holding member that is provided on the rod-like portion 11 and holds the distal end side of the sheath tube 41 (temperature sensor 40).
  • a holding member that is provided on the rod-like portion 11 and holds the distal end side of the sheath tube 41 (temperature sensor 40).
  • two holding members a downstream holding member 31 and an upstream holding member 35, are provided as holding members.
  • the downstream holding member 31 and the upstream holding member 35 are both made of metal and are provided in the straight passage 15 of the rod-shaped portion 11.
  • the upstream holding member 35 is formed in a cylindrical shape and is inserted into the opening of the lower end surface 11a.
  • the upstream holding member 35 has an outer diameter that is substantially the same as the inner diameter of the rod-shaped portion 11, and the outer peripheral surface is inserted into the opening of the lower end surface 11 a with the inner circumferential surface 11 b corresponding to the linear passage 15 in the rod-shaped portion 11. ing.
  • the upstream holding member 35 is fitted with the distal end 41 a of the sheath tube 41 inserted into the through hole 36.
  • the upstream side holding member 35 holds the tip 41a of the sheath tube 41 and closes the opening of the lower end surface 11a.
  • the upstream holding member 35 is inserted into the rod-like portion 11 until it abuts on a step portion 11e formed on the inner peripheral surface 11b of the rod-like portion 11. That is, the insertion position of the upstream holding member 35 is regulated by the step portion 11e.
  • the upstream holding member 35 is provided in a state where the lower end surface is located inward of the lower end surface 11 a of the rod-like portion 11. That is, a space 11 f is formed at the lower end of the rod-like portion 11 so that the lower end surface of the upstream holding member 35 is positioned inward.
  • the distal end 41 a of the sheath tube 41 is inserted partway through the through hole 36 of the upstream holding member 35.
  • a space 11g communicating with the outside is formed in the through hole 36 of the upstream holding member 35. Providing such spaces 11f and 11g facilitates the flow of steam flowing through the pipe to the tip 41a of the sheath tube 41.
  • the upstream holding member 35 is prevented from being pulled out by the fastener 21 provided below the upstream holding member 35.
  • the downstream holding member 31 is formed in a cylindrical shape and is inserted into the rod-shaped portion 11.
  • the downstream holding member 31 is provided at a position downstream of the upstream holding member 35 in the rod-like portion 11 and in the middle of the linear passage 15.
  • the downstream holding member 31 has an outer diameter that is substantially the same as the inner diameter of the rod-shaped portion 11, and the outer peripheral surface is inserted into the rod-shaped portion 11 with the inner circumferential surface 11 b corresponding to the linear passage 15 in the rod-shaped portion 11. .
  • the downstream holding member 31 has a shorter axial length than the upstream holding member 35.
  • the downstream holding member 31 has a portion closer to the proximal end than the distal end 41a of the sheath tube 41 inserted into the through hole 32 and is fitted therein. In this way, the downstream holding member 31 holds a portion closer to the proximal end than the distal end 41 a of the sheath tube 41 (the distal end side) and blocks the linear passage 15. That is, the linear passage 15 is partitioned into the downstream passage 15a and the upstream passage 15b by the downstream holding member 31, and the downstream passage 15a and the upstream passage 15b do not communicate with each other.
  • the downstream holding member 31 is inserted into the rod-shaped portion 11 until it contacts the step portion 11d formed on the inner peripheral surface 11b of the rod-shaped portion 11. That is, the insertion position of the downstream holding member 31 is regulated by the step portion 11d.
  • the downstream passage 15a is shorter than the upstream passage 15b.
  • a communication hole 18 through which steam can flow is provided in a side portion corresponding to the downstream side passage 15 a, that is, a side portion corresponding to the linear passage 15 on the downstream side of the downstream holding member 31. .
  • the communication hole 18 penetrates from the outer peripheral surface 11c to the inner peripheral surface 11b in the rod-shaped portion 11, and communicates the downstream passage 15a with the outside.
  • a plurality of communication holes 18 are provided in the circumferential direction of the rod-shaped portion 11.
  • the side portion corresponding to the upstream side passage 15 b that is, the side portion corresponding to the linear passage 15 between the downstream side holding member 31 and the upstream side holding member 35, can communicate with steam.
  • a hole 19 is provided.
  • the communication hole 19 penetrates from the outer peripheral surface 11c to the inner peripheral surface 11b in the rod-shaped portion 11, and communicates the downstream passage 15a with the outside.
  • a plurality of communication holes 18 are provided in the circumferential direction of the rod-shaped portion 11.
  • the sensor device 1 of the above-described embodiment is provided in the insertion body 25 (fixing member) that fixes the proximal end side of the sheath tube 41 and the rod-shaped portion 11 and holds the distal end side of the sheath tube 41. And holding members (downstream holding member 31 and upstream holding member 35). Therefore, the influence by the vapor pressure (fluid pressure) of the sheath tube 41 can be suppressed.
  • the sensor device 1 of the above embodiment has the spiral passage 14 in the gas passage 13 on the upstream side of the communication point of the pressure sensor 50. Therefore, for example, the contact area of the steam in the rod-shaped portion 11 can be increased as compared with a linear passage, and heat transfer between the steam and the rod-shaped portion 11 (main body 10) can be promoted. Therefore, even if the steam in the pipe is hot, the temperature of the steam can be lowered in the vicinity of the pressure sensor 50 after passing through the spiral passage 14. That is, in the gas passage 13, the steam is heat-exchanged with the rod-shaped portion 11, and the temperature gradually decreases. However, by increasing the contact area between the steam and the rod-shaped portion 11, it is possible to increase the amount of steam temperature decrease. .
  • the pressure sensor 50 having a use temperature set lower than that temperature can be used, so that it is not necessary to use a high-temperature compatible pressure sensor, and the cost of the sensor device 1 Can be suppressed.
  • the length of the rod-like portion 11 is increased to form the spiral passage 14, and the length of the sheath tube 41 is increased accordingly. If it does so, it will become easy to vibrate the front end side of the sheath pipe
  • the sensor device 1 of the above embodiment is formed in a cylindrical shape having a spiral groove 28 formed on the outer peripheral surface, and is inserted into the rod-shaped portion 11 and the spiral passage 14 is formed by the inner peripheral surface 11b of the rod-shaped portion 11 and the spiral groove 28. Is provided. Therefore, the spiral passage 14 can be easily formed in the rod-shaped portion 11. And since the insertion body 25 is functioning also as a fixing member which fixes the base end side by inserting the base end side of the sheath pipe
  • the downstream holding member 31 blocks the straight passage 15 formed continuously on the upstream side of the spiral passage 14. Therefore, the downstream holding member 31 can prevent the drain generated by the vapor condensation in the spiral passage 14 from flowing down to the upstream side in the linear passage 15. Therefore, it is possible to prevent the low temperature drain from coming into contact with the distal end side which is the detection portion of the sheath tube 41. Thereby, the temperature of the steam can be detected with high accuracy by the sheath tube 41.
  • a communication hole 18 through which steam can flow is provided in a side portion of the rod-like portion 11 corresponding to the downstream passage 15a downstream of the downstream holding member 31. According to this configuration, it is possible to allow steam to flow into the spiral passage 14 from the outside while the linear passage 15 is blocked by the downstream holding member 31 and to detect the pressure of the steam. Further, the drain that has flowed down from the spiral passage 14 and accumulated in the downstream passage 15 a can flow out from the communication hole 18 to the outside.
  • the upstream holding member 35 that holds the distal end 41a of the sheath tube 41 and the downstream holding that holds a portion closer to the proximal end than the distal end 41a of the sheath tube 41.
  • a member 31 is provided. Therefore, vibration due to the steam of the sheath tube 41 can be further suppressed.
  • the upstream holding member 35 is formed in a cylindrical shape that is inserted into the opening of the lower end surface 11a of the rod-like portion 11 and into which the distal end 41a of the sheath tube 41 is inserted. According to this configuration, the vapor can be brought into contact with the tip 41 a of the sheath tube 41 while holding the tip 41 a of the sheath tube 41.
  • a communication hole 19 through which steam can flow is provided in a side portion corresponding to the upstream passage 15b between the downstream holding member 31 and the upstream holding member 35 in the rod-like portion 11.
  • a descending portion 14 b is formed in the middle of the spiral passage 14.
  • the drain water generated by the vapor condensation in the spiral passage 14 or the lateral passage 16 can be stored in a continuous portion from the descending portion 14b to the ascending portion 14a.
  • the drain water generated by the condensation of steam in the spiral passage 14 can be stored in the middle of the spiral passage 14.
  • liquid drain water
  • vapor gas
  • the pressure sensor 50 with a low operating temperature can be used, and therefore the cost of the sensor device 1 can be further reduced.
  • only one of the downstream holding member 31 and the upstream holding member 35 may be provided.
  • the downstream holding member 31 blocks the straight passage 15, but instead, the downstream holding member 31 can communicate with the downstream passage 15 a and the upstream passage 15 b.
  • the member 31 may be configured. For example, it is conceivable to provide a slit that allows the downstream holding member 31 and the upstream holding member 35 to communicate with each other on the outer peripheral surface of the downstream holding member 31.
  • the upstream holding member 35 closes the opening of the lower end surface 11a of the rod-like portion 11, but instead, the upstream passage 15b can communicate with the outside.
  • the upstream holding member 35 may be configured. For example, it is conceivable to provide a communication hole for communicating the upstream passage 15b with the outside in the upstream holding member 35.
  • the insertion body 25 is a fixing member, but the insertion body 25 may be omitted and the proximal end side of the sheath tube 41 may be fixed by another member.
  • the detection target is steam
  • the detection target may be gas or liquid other than steam
  • the technology disclosed in the present application is useful for a sensor device including a temperature sensor that detects the temperature of a fluid.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

センサ装置1は、軸方向に延びるガス通路13が内部に形成され、ガス通路13に流体が流入する棒状部11と、ガス通路13よりも細く形成されると共に、先端側がガス通路13内に位置する状態でガス通路13に挿入され、流体の温度を検出する棒状のシース管41と、シース管41の基端側を固定する内挿体25と、棒状部11に設けられ、シース管41の先端側を保持する保持部材31,35とを備えている。

Description

センサ装置
 本願は、流体の温度を検出するセンサ装置に関する。
 例えば特許文献1に開示されているように、流体が流れる配管に取り付けられて流体の温度を検出するセンサ装置が知られている。このセンサ装置は、内周面に螺旋溝が形成された筒状部材に温度センサ(シース管)が挿入され、螺旋溝と温度センサとによって流体の螺旋通路が形成されている。このセンサ装置では、流体が螺旋通路を上向きに流れ上部に設けられた圧力センサによって流体圧力が検出されると共に、温度センサによって流体温度が検出される。流体は螺旋通路を流れる際に外部と熱交換し温度が低下する。そのため、圧力センサには温度の低い流体が流れるので、圧力センサを高温対応のものにしなくてもすむ。よって、圧力センサのコストを削減することができる。
WO2015/105102A1
 ところで、上述したセンサ装置が取り付けられる配管の径が大きい場合、筒状部材を配管内に挿入する長さを確保するために筒状部材を長くする必要がある。一方、螺旋通路の長さは流体の温度を所定温度まで低下させ得る長さであれば足りるため、螺旋溝の加工費が高いことを考えると、螺旋通路は必要最小限の長さに抑えられる。そうすると、筒状部材においてシース管の先端側は自由端となり、シース管が流体圧力による影響を受けやすかった。
 本願に開示の技術は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、コストを抑えつつ、温度センサの流体圧力による影響を抑制することにある。
 本願に開示の技術は、棒状部材と、温度センサと、固定部材と、保持部材とを備えたセンサ装置である。前記棒状部材は、軸方向に延びる流体通路が内部に形成され、該流体通路に流体が流入するものである。前記温度センサは、前記流体通路よりも細く形成されると共に、先端側が前記流体通路内に位置する状態で該流体通路に挿入され、前記流体の温度を検出する棒状のものである。前記固定部材は、前記温度センサの基端側を固定するものである。前記保持部材は、前記棒状部材に設けられ、前記温度センサの先端側を保持するものである。
 本願のセンサ装置によれば、温度センサの流体圧力による影響を抑制することができる。
図1は、実施形態に係るセンサ装置の概略構成を示す断面図である。 図2は、実施形態に係るセンサ装置の要部を拡大して示す断面図である。
 以下、本願の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本願に開示の技術、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
 本実施形態のセンサ装置1は、プラント等において流体が流れる配管に取り付けられて、流体の温度および圧力の2つを検出(測定)するものである。本実施形態において、検出対象(測定対象)である流体は蒸気として説明する。
 図1に示すように、本実施形態のセンサ装置1は、通信用のアンテナ3を有する無線式の通信機2が取り付けられている。センサ装置1は、本体10と、温度センサ40(熱電対)と、圧力センサ50と、取付部材60とを備えている。
 図2にも示すように、本体10の内部には、検出対象の蒸気が流入するガス通路13が形成されている。このガス通路13は、本願の請求項に係る流体通路を構成している。具体的に、本体10は、棒状部11と頭部12を有する。棒状部11は、上下方向(図1において矢印で示す方向)に延びる円筒状に形成されており、本願の請求項に係る棒状部材に相当する。棒状部11は、他端(上端側)に頭部12が嵌め込まれて接続されている。頭部12は、正面視で略L字状に形成されている。
 ガス通路13は、棒状部11において形成される螺旋通路14(螺旋状の通路)および直線通路15と、頭部12において形成される横通路16とを有する。ガス通路13は、棒状部11の下端面11a(軸方向端面)に開口し、棒状部11の内部において軸方向に延びる通路である。螺旋通路14は、棒状部11の略上半部に形成され、一端が横通路16に連通し、他端が直線通路15に連通している。螺旋通路14は、棒状部11の内部において軸方向(上下方向)に延びて形成されている。直線通路15は、棒状部11の下端寄りに形成されており、螺旋通路14の上流側に連続して形成されている。つまり、直線通路15は螺旋通路14に連通し、他端が下端面11aの開口に連通している。
 螺旋通路14について詳しく説明する。棒状部11の内周面11bは円柱状に形成されており、その棒状部11に棒状(具体的には、円筒状)の内挿体25が挿入されている。内挿体25は、長さが棒状部11よりも短く形成されており、棒状部11における略上半部に位置している。内挿体25は、外周面27に螺旋溝28(螺旋状の溝)が形成されている。螺旋溝28は、内挿体25の外周面27において軸方向(上下方向)に延びており、内挿体25の全長に亘って形成されている。なお、本実施形態の螺旋溝28は、縦断面視が矩形状に形成されている。ここに、縦断面視とは、螺旋溝28をその軸方向(長手方向)に対して平行に切断した断面を意味する。内挿体25の外径は、棒状部11の内径と略同じである。つまり、内挿体25は外周面27が棒状部11の内周面11bと接する状態で棒状部11に挿入されている。そして、棒状部11では、その内周面11bと内挿体25の螺旋溝28とによって上述した螺旋通路14が形成される。つまり、本実施形態のセンサ装置1では、内挿体25が本体10の棒状部11に挿入されて棒状部11の内周面11bとの間で螺旋通路14を形成する。
 また、本実施形態の螺旋通路14は、図2に破線で示すように、途中に下方へ傾斜する下り部14bを有している。具体的に、螺旋通路14は、後述する圧力センサ50の連通箇所(即ち、横通路16)へ向かうに従って上方へ傾斜する上り部14aと、圧力センサ50の連通箇所へ向かうに従って下方へ傾斜する下り部14bとを交互に有している。つまり、内挿体25では上述した上り部14aと下り部14bとが交互に形成されるように螺旋溝28が形成されている。なお、螺旋溝28の構造はこれに限定されない。螺旋溝28は、例えば、下り部を有さず上り部のみからなる構造であってもよい。
 頭部12には、温度センサ40および圧力センサ50が設けられている。温度センサ40は、直線通路15内(即ち、ガス通路13内)の蒸気の温度を検出する測温抵抗体または熱電対が内蔵されたシース管41を有している。シース管41は、細長い円柱状(棒状)に形成されており、棒状部11のガス通路13に挿入されている。具体的に、シース管41は、基端側が内挿体25の貫通孔26に挿入されてスキマバメにより嵌合している。こうして、シース管41の基端側は内挿体25によって固定される(保持される)。つまり、内挿体25はシース管41の基端側を固定する固定部材を構成している。
 また、シース管41は、先端41aが直線通路15(ガス通路13)内に位置する状態でガス通路13に挿入されている。圧力センサ50は、横通路16に連通する状態で頭部12に設けられ、横通路16内(即ち、ガス通路13内)の蒸気の圧力を検出するものである。つまり、ガス通路13では螺旋通路14が圧力センサ50の連通箇所よりも上流側に形成されている。シース管41は、直線通路15(ガス通路13)よりも細く形成されており、直線通路15は、棒状部11にシース管41が挿入されることにより環状の通路となっている。ガス通路13は、蒸気がシース管41の先端側から基端側へ流れるように構成されている。
 センサ装置1は、頭部12が通信機2の下側にボルト4によって締結固定されている。センサ装置1では、温度センサ40および圧力センサ50によって検出された温度および圧力に関する信号が電線(図示省略)を通じて通信機2へ送られる。通信機2では、温度センサ40等から送られた信号が処理され、アンテナ3を通じて外部機器へ送信される。
 本体10の棒状部11には、センサ装置1を配管に取り付けるための取付部材60が設けられている。センサ装置1は、棒状部11の下端側が配管内に挿入された状態で取付部材60によって配管に固定される。その際、センサ装置1は棒状部11が上下方向に延びる状態で固定される。なお、取付部材60は配管に対する棒状部11の挿入長さを調節可能に構成されている。こうして固定されたセンサ装置1では、棒状部11の下端側、即ち棒状部11において直線通路15が設けられている部分が配管内の蒸気に曝された状態となる。
 さらに、本実施形態のセンサ装置1は、棒状部11に設けられ、シース管41(温度センサ40)の先端側を保持する保持部材を備えている。本実施形態では、保持部材として、下流側保持部材31と上流側保持部材35の2つが設けられている。下流側保持部材31および上流側保持部材35は、何れも、金属製であり、棒状部11の直線通路15に設けられている。
 上流側保持部材35は、円筒状に形成されており、下端面11aの開口に挿入されている。上流側保持部材35は、外径が棒状部11の内径と略同じであり、外周面が棒状部11における直線通路15に対応する内周面11bと接する状態で下端面11aの開口に挿入されている。そして、上流側保持部材35は、貫通孔36にシース管41の先端41aが挿入され嵌合している。こうして上流側保持部材35は、シース管41の先端41aを保持すると共に、下端面11aの開口を閉鎖している。
 上流側保持部材35は、棒状部11の内周面11bに形成された段差部11eに当接するまで棒状部11に挿入されている。つまり、段差部11eによって上流側保持部材35の挿入位置が規制される。上流側保持部材35は、下端面が棒状部11の下端面11aよりも内方に位置する状態で設けられている。つまり、棒状部11の下端には、上流側保持部材35の下端面が内方に位置する分だけ空間11fが形成されている。また、シース管41の先端41aは上流側保持部材35の貫通孔36の途中まで挿入されている。したがって、上流側保持部材35の貫通孔36には外部と連通する空間11gが形成されている。こうした空間11f,11gを設けることにより、配管内を流れる蒸気がシース管41の先端41aまで流入しやすくなる。なお、棒状部11では上流側保持部材35の下方に設けられた留め具21によって上流側保持部材35の外方への抜け出しが防止されている。
 下流側保持部材31は、円筒状に形成されており、棒状部11に挿入されている。下流側保持部材31は、棒状部11において上流側保持部材35よりも下流側の位置であって直線通路15の途中に設けられている。下流側保持部材31は、外径が棒状部11の内径と略同じであり、外周面が棒状部11における直線通路15に対応する内周面11bと接する状態で棒状部11に挿入されている。下流側保持部材31は、上流側保持部材35よりも軸方向長さが短い。
 そして、下流側保持部材31は、シース管41の先端41aよりも基端寄りの部分が貫通孔32に挿入され嵌合している。こうして下流側保持部材31は、シース管41の先端41aよりも基端寄りの部分(先端側)を保持すると共に、直線通路15を遮断している。つまり、直線通路15は、下流側保持部材31によって下流側通路15aと上流側通路15bとに区画され、下流側通路15aと上流側通路15bとは互いに連通しない。下流側保持部材31は、棒状部11の内周面11bに形成された段差部11dに当接するまで棒状部11に挿入されている。つまり、段差部11dによって下流側保持部材31の挿入位置が規制される。なお、下流側通路15aは上流側通路15bよりも短い。
 棒状部11において、下流側通路15aに対応する側部、即ち下流側保持部材31よりも下流側の直線通路15に対応する側部には、蒸気が流入可能な連通孔18が設けられている。連通孔18は、棒状部11において外周面11cから内周面11bに貫通しており、下流側通路15aと外部とを連通させている。連通孔18は、棒状部11の周方向において複数設けられている。また、棒状部11において、上流側通路15bに対応する側部、即ち下流側保持部材31と上流側保持部材35との間の直線通路15に対応する側部には、蒸気が流入可能な連通孔19が設けられている。連通孔19は、棒状部11において外周面11cから内周面11bに貫通しており、下流側通路15aと外部とを連通させている。連通孔18は、棒状部11の周方向において複数設けられている。
 センサ装置1では、配管内の蒸気が空間11f,11gに流入し、シース管41の先端41aによって蒸気の温度が検出される。また、配管内の蒸気は、連通孔19から上流側通路15bに流入し滞留する。これによっても、シース管41により蒸気の温度が検出される。また、配管内の蒸気は、連通孔18から下流側通路15aに流入し、螺旋通路14を通過した後、横通路16に流れる。横通路16に流れた蒸気は圧力センサ50によって蒸気の圧力が検出される。
 以上のように、上記実施形態のセンサ装置1は、シース管41の基端側を固定する内挿体25(固定部材)と、棒状部11に設けられ、シース管41の先端側を保持する保持部材(下流側保持部材31、上流側保持部材35)とを備えている。そのため、シース管41の蒸気圧力(流体圧力)による影響を抑制することができる。
 また、上記実施形態のセンサ装置1は、ガス通路13において圧力センサ50の連通箇よりも上流側に螺旋通路14を有している。そのため、例えば直線状の通路と比べて棒状部11における蒸気の接触面積を増大させることができ、蒸気と棒状部11(本体10)との熱伝達を促進させることができる。したがって、配管内の蒸気が高温であっても螺旋通路14を通過後の圧力センサ50付近では蒸気の温度を低下させることができる。つまり、ガス通路13において蒸気は棒状部11と熱交換して徐々に温度が低下するところ、蒸気と棒状部11との接触面積を増大させたことによって蒸気の温度低下量を増大させることができる。そうすると、検出対象が高温の蒸気であっても、その温度よりも低く設定された使用温度の圧力センサ50を用いることができるため、高温対応の圧力センサを用いる必要がなくなり、センサ装置1のコストを抑えることが可能である。
 このように、蒸気の温度だけでなく圧力も検出するセンサ装置1では、螺旋通路14を形成するために棒状部11の長さが長くなり、それに伴ってシース管41の長さも長くなる。そうすると、シース管41の先端側が振動しやすくなるが、上記実施形態では保持部材(下流側保持部材31、上流側保持部材35)によってその振動を抑制することができる。
 また、上記実施形態のセンサ装置1は、外周面に螺旋溝28が形成された円筒状に形成され、棒状部11に挿入され棒状部11の内周面11bと螺旋溝28とによって螺旋通路14を形成する内挿体25を備えている。したがって、容易に棒状部11の内部に螺旋通路14を形成することができる。そして、内挿体25はシース管41の基端側が挿入されて該基端側を固定する固定部材としても機能しているため、固定部材を別途設ける必要がない。
 また、上記実施形態のセンサ装置1では、下流側保持部材31が、螺旋通路14の上流側に連続して形成された直線通路15を遮断している。そのため、螺旋通路14において蒸気の凝縮によって発生したドレンが、直線通路15において上流側へと流下することを下流側保持部材31によって阻止することができる。したがって、シース管41の検出部である先端側に低温のドレンが接することを防止することができる。これにより、シース管41によって蒸気の温度を精度良く検出することができる。
 さらに、棒状部11において下流側保持部材31よりも下流側の下流側通路15aに対応する側部には、蒸気が流入可能な連通孔18が設けられている。この構成によれば、直線通路15を下流側保持部材31によって遮断しつつも、外部から蒸気を螺旋通路14に流入させることができ、蒸気の圧力を検出することができる。また、螺旋通路14から流下して下流側通路15aに溜まったドレンを連通孔18から外部に流出させることができる。
 また、上記実施形態のセンサ装置1では、保持部材として、シース管41の先端41aを保持する上流側保持部材35と、シース管41の先端41aよりも基端寄りの部分を保持する下流側保持部材31とが設けられている。したがって、シース管41の蒸気による振動を一層抑制することができる。
 また、上流側保持部材35は、棒状部11の下端面11aの開口に挿入され且つ内側にシース管41の先端41aが挿入される円筒状に形成されている。この構成によれば、シース管41の先端41aを保持しつつ、蒸気をシース管41の先端41aに接触させることができる。
 また、棒状部11において下流側保持部材31と上流側保持部材35との間の上流側通路15bに対応する側部には、蒸気が流入可能な連通孔19が設けられている。この構成によれば、外部から蒸気を上流側通路15bに流入させることができる。そのため、シース管41の検出部である先端側に蒸気を接触させることができ、蒸気の温度を一層精度良く検出することができる。
 さらに、上記実施形態のセンサ装置1は、螺旋通路14の途中に下り部14bが形成されている。この構成によれば、螺旋通路14内または横通路16内における蒸気凝縮により発生したドレン水を下り部14bから上り部14aへと連続する部分に溜めることができる。螺旋通路14において蒸気の凝縮によって発生したドレン水を螺旋通路14の途中に貯留させることができる。こうして螺旋通路14の途中に液体であるドレン水を介在させることにより、外部の高温がガス通路13を通じて圧力センサ50に伝達されるのを抑制することができる。つまり、一般に液体(ドレン水)は気体(蒸気)よりも熱伝達率が低いところ、ガス通路13の一部に液体を介在させることによってガス通路13における熱伝達を阻害することが可能になる。これによっても、使用温度が低い圧力センサ50を用いることができ、このため、センサ装置1のコストをより一層抑えることができる。
 なお、本願に開示の技術は、上記実施形態において以下のような構成としてもよい。
 例えば、上記実施形態のセンサ装置1では、下流側保持部材31および上流側保持部材35の一方のみを設けるようにしてもよい。
 また、上記実施形態のセンサ装置1において、下流側保持部材31は直線通路15を遮断するものとしたが、これに代えて、下流側通路15aと上流側通路15bとが連通可能に下流側保持部材31を構成するようにしてもよい。例えば、下流側保持部材31の外周面において下流側保持部材31と上流側保持部材35とを連通させるスリットを設けることが考えられる。
 また、上記実施形態のセンサ装置1において、上流側保持部材35は棒状部11の下端面11aの開口を閉鎖するものとしたが、これに代えて、上流側通路15bと外部とが連通可能に上流側保持部材35を構成するようにしてもよい。例えば、上流側保持部材35において上流側通路15bと外部とを連通させる連通孔を設けることが考えられる。
 また、上記実施形態のセンサ装置1では、内挿体25を固定部材としたが、内挿体25を省略して別の部材でシース管41の基端側を固定するようにしてもよい。
 また、上記実施形態のセンサ装置1では、検出対象が蒸気である場合について説明したが、検出対象は蒸気以外のガスや液体であってもよい。
 本願に開示の技術は、流体の温度を検出する温度センサを備えたセンサ装置について有用である。
1    センサ装置
11   棒状部(棒状部材)
11a  下端面(軸方向端)
11b  内周面
13   ガス通路(流体通路)
14   螺旋通路(螺旋状の通路)
15   直線通路
15a  下流側通路
15b  上流側通路
18   連通孔
19   連通孔
25   内挿体(固定部材)
27   外周面
28   螺旋溝(螺旋状の溝)
31   下流側保持部材(保持部材)
35   上流側保持部材(保持部材)
41   シース管(温度センサ)
50   圧力センサ

Claims (7)

  1.  軸方向に延びる流体通路が内部に形成され、該流体通路に流体が流入する棒状部材と、
     前記流体通路よりも細く形成されると共に、先端側が前記流体通路内に位置する状態で該流体通路に挿入され、前記流体の温度を検出する棒状の温度センサと、
     前記温度センサの基端側を固定する固定部材と、
     前記棒状部材に設けられ、前記温度センサの先端側を保持する保持部材とを備えている
    ことを特徴とするセンサ装置。
  2.  請求項1に記載のセンサ装置において、
     前記流体通路に連通し、前記流体の圧力を検出する圧力センサを備え、
     前記流体通路は、前記流体が前記温度センサの先端側から基端側へ流れるように構成され、前記圧力センサの連通箇所よりも上流側に形成された螺旋状の通路と、該螺旋状の通路の上流側に連続して形成された直線通路とを有し、
     前記保持部材は、前記直線通路に設けられている
    ことを特徴とするセンサ装置。
  3.  請求項2に記載のセンサ装置において、
     前記棒状部材は、内側が前記流体通路となる円筒状に形成され、
     外周面に螺旋状の溝が形成された円筒状に形成され、前記棒状部材に挿入され該棒状部材の内周面と前記螺旋状の溝とによって前記螺旋状の通路を形成する内挿体を備え、
     前記内挿体は、前記温度センサの基端側が挿入され、前記固定部材を構成している
    ことを特徴とするセンサ装置。
  4.  請求項2または3に記載のセンサ装置において、
     前記保持部材は、前記直線通路を遮断するように設けられており、
     前記棒状部材において前記保持部材よりも下流側の前記直線通路に対応する側部には、前記流体が流入可能な連通孔が設けられている
    ことを特徴とするセンサ装置。
  5.  請求項4に記載のセンサ装置において、
     前記保持部材は、前記温度センサの先端を保持する上流側保持部材と、前記温度センサの先端よりも基端寄りの部分を保持し且つ前記直線通路を遮断する下流側保持部材とを有している
    ことを特徴とするセンサ装置。
  6.  請求項5に記載のセンサ装置において、
     前記上流側保持部材は、前記棒状部材の軸方向端の開口に挿入され且つ内側に前記温度センサの先端が挿入される円筒状に形成され、前記開口を閉鎖している
    ことを特徴とするセンサ装置。
  7.  請求項6に記載のセンサ装置において、
     前記棒状部材において前記上流側保持部材と前記下流側保持部材との間の前記直接通路に対応する側部には、前記流体が流入可能な連通孔が設けられている
    ことを特徴とするセンサ装置。
PCT/JP2017/016699 2017-04-27 2017-04-27 センサ装置 WO2018198263A1 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP17907384.6A EP3617679B1 (en) 2017-04-27 2017-04-27 Sensor device
PCT/JP2017/016699 WO2018198263A1 (ja) 2017-04-27 2017-04-27 センサ装置
JP2017553269A JP6301570B1 (ja) 2017-04-27 2017-04-27 センサ装置
ES17907384T ES2878084T3 (es) 2017-04-27 2017-04-27 Dispositivo sensor
SG11201909938V SG11201909938VA (en) 2017-04-27 2017-04-27 Sensor device
US16/655,614 US11326959B2 (en) 2017-04-27 2019-10-17 Sensor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/016699 WO2018198263A1 (ja) 2017-04-27 2017-04-27 センサ装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US16/655,614 Continuation US11326959B2 (en) 2017-04-27 2019-10-17 Sensor device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018198263A1 true WO2018198263A1 (ja) 2018-11-01

Family

ID=61756610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/016699 WO2018198263A1 (ja) 2017-04-27 2017-04-27 センサ装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11326959B2 (ja)
EP (1) EP3617679B1 (ja)
JP (1) JP6301570B1 (ja)
ES (1) ES2878084T3 (ja)
SG (1) SG11201909938VA (ja)
WO (1) WO2018198263A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020122700A (ja) * 2019-01-30 2020-08-13 株式会社テイエルブイ センサ装置
EP3891476B1 (de) * 2018-12-04 2022-10-26 Endress + Hauser Flowtec AG Magnetisch-induktives durchflussmessgerät

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59128537U (ja) * 1983-12-29 1984-08-29 株式会社チノ− 測温抵抗体
JPH09297067A (ja) * 1996-05-07 1997-11-18 Toshiba Corp ガスタービンの排気ガス温度計測装置
WO2015105102A1 (ja) 2014-01-08 2015-07-16 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP6110047B1 (ja) * 2015-10-16 2017-04-05 株式会社テイエルブイ センサ装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3451862A (en) * 1966-09-06 1969-06-24 Usa Temperature sensor probe
US4244212A (en) * 1979-05-25 1981-01-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Fluidic pressure ratio sensor
JPS59128539U (ja) * 1983-02-18 1984-08-29 大阪瓦斯株式会社 液体の測温装置
US6827486B2 (en) * 2002-11-22 2004-12-07 Welker Engineering Company Temperature probe and insertion device
US8417084B2 (en) * 2007-01-16 2013-04-09 Baker Hughes Incorporated Distributed optical pressure and temperature sensors
JP2008261796A (ja) * 2007-04-13 2008-10-30 Denso Corp 温度センサ一体型圧力センサ装置
WO2015089417A1 (en) * 2013-12-12 2015-06-18 Right Biometrics Fluid characteristic indicator

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59128537U (ja) * 1983-12-29 1984-08-29 株式会社チノ− 測温抵抗体
JPH09297067A (ja) * 1996-05-07 1997-11-18 Toshiba Corp ガスタービンの排気ガス温度計測装置
WO2015105102A1 (ja) 2014-01-08 2015-07-16 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP6110047B1 (ja) * 2015-10-16 2017-04-05 株式会社テイエルブイ センサ装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3617679A4

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3891476B1 (de) * 2018-12-04 2022-10-26 Endress + Hauser Flowtec AG Magnetisch-induktives durchflussmessgerät
JP2020122700A (ja) * 2019-01-30 2020-08-13 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP7158300B2 (ja) 2019-01-30 2022-10-21 株式会社テイエルブイ センサ装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2018198263A1 (ja) 2019-06-27
ES2878084T3 (es) 2021-11-18
JP6301570B1 (ja) 2018-03-28
US11326959B2 (en) 2022-05-10
SG11201909938VA (en) 2019-11-28
EP3617679B1 (en) 2021-06-09
US20200049565A1 (en) 2020-02-13
EP3617679A4 (en) 2020-05-06
EP3617679A1 (en) 2020-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6110047B1 (ja) センサ装置
JP6301570B1 (ja) センサ装置
EP3683584A1 (en) Pitot tube
WO2015105102A1 (ja) センサ装置
JP6043024B2 (ja) センサ装置
JP4967751B2 (ja) 温度検出計
JP5727117B1 (ja) センサ装置
JP6976737B2 (ja) センサ装置
JP7158300B2 (ja) センサ装置
JP6411176B2 (ja) センサ装置
JP2008298626A (ja) ガス検出用プローブ
JP6403321B2 (ja) センサ装置
JP4097088B2 (ja) センササポート形熱式質量流量計
JP2015158480A (ja) センサ装置
JP6389102B2 (ja) センサ装置
CN114270158B (zh) 用于测量流体的压力和温度的传感器布置
JP3995098B2 (ja) 熱式質量流量計
JP2004239633A (ja) 管内温度測定システム

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017553269

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17907384

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017907384

Country of ref document: EP

Effective date: 20191127