CN107614232B - 层叠装置 - Google Patents

Abstract

为了提供一种能够精密地控制按压工件的按压体的停止位置并制造完成厚度偏差少的层叠体的层叠装置，本发明的层叠装置包括工件输送单元、真空层叠装置(真空层叠装置(20))以及平面加压装置(平面加压装置(30))，其中，平面加压装置(平面加压装置(30))包括：滚珠螺杆(36)，其支承一对按压体(加压块(31、31’))中的一个按压体；伺服电机(35)，其连接于滚珠螺杆(36)的螺杆轴(36a)；间隙测量构件(线性标尺(37))，其测量第一按压体(加压块31’)与第二按压体(加压块31)之间的距离；以及按压间隙控制系统，其使第一按压体(加压块31’)移动到相对于第二按压体(加压块31)成为规定的间隙的位置并停止，按压间隙控制系统基于利用间隙测量构件(线性标尺(37))得到的按压体间距离信息来改变伺服电机(35)的转数。

Description

层叠装置

技术领域

本发明涉及一种能够将电路基板与树脂膜以期望的厚度均匀地层叠的层叠装置。

背景技术

随着电子设备的小型化、高性能化，在搭载于这些电子设备的电子电路基板中，大多使用多层化后的电路基板，即所说的“积层基板”。该积层基板是交替地多级地层叠电路基板和具有绝缘性的树脂膜而形成的结构，该电路基板由于印刷的配线等而在其表面具有凹凸，在制造该积层基板时能够使用例如专利文献1、图3及图4所示的层叠装置。

图3所示的层叠装置包括工件输送单元(工序A、A’，在图中以单点划线示出，以下相同)、真空层叠装置(工序B)、平面加压装置(工序C)以及冷却装置(工序D)等。即，上述工件输送单元(工序A、A’)是如下结构：利用自输送用膜抽出机10、10’放出的输送用膜F、F’(PET制等)从上下夹持仅在电路基板之上载置有具有绝缘性的树脂膜而成的单片状的工件W，在此状态下保持工件W，并沿着工序连续的方向(图示从右向左的方向)断续地输送工件W。上述真空层叠装置(工序B)连续地配置于工件输送工序(A→A’)的途中，其由真空层叠装置50等构成。上述平面加压装置(工序C)具有这样的结构：通过使利用上述真空层叠装置将树脂膜密合于电路基板而成的工件W的树脂膜表面平坦化，从而制成整体的厚度均匀的积层基板(产品)，上述平面加压装置由平面加压装置60等构成。上述冷却装置(工序D)将经过平面加压装置的积层基板(产品)冷却。

另外，在图3所示的层叠装置中，真空层叠装置50的附图标记22、22’是内置有加热器等的加热板，附图标记24、24’是用于在上下的平板21、21’之间形成减压空间(真空部)的真空框架。另外，附图标记51是用于使下侧平板21’升降的液压缸，附图标记53是加压台，附图标记54是以下侧平板21’升降自如的方式支承下侧平板21’的支柱。也可以用气缸替换液压缸51。

图4是上述图3所示的层叠装置中的平面加压装置60的局部的放大图。上述平面加压装置60包括：多个支柱64(在图3、图4中仅图示4个角落的4个支柱中的2个)，该多个支柱64立起设置于加压台63；上侧的加压块31，该上侧的加压块31由螺栓、螺母等固定构件固定于上述各支柱64；以及下侧的加压块31’，该下侧的加压块31’能够升降地安装于上述各支柱64。另外，图中的附图标记32、32’是用于将使树脂膜密合于电路基板而成的工件W加热的加热板。

并且，该平面加压装置60与所述真空层叠装置50同样，下侧的加压块31’经由连结器(省略图示)等连结于液压缸61。因此，下侧的加压块31’伴随着液压缸61的活塞杆的上升及下降而进行升降。也可以用气缸替换液压缸61。

另外，对上述平面加压装置60的下侧的加压块31’、真空层叠装置50的下侧的平板21’的升降而言，存在使用多个液压缸、气缸等替换上述的1个液压缸(附图标记51或附图标记61)的情况。例如，如图5所示，公知有如下结构：配置于加压块31’的俯视图中央的液压缸61加上分别配置于加压块31’的俯视图4个角落的4个液压缸62(仅显示4个中的2个)，利用合计5个液压缸来使加压块31’升降。

关于包括上述工序A～D的层叠装置，本案申请人提案有一种层叠装置(专利文献2)，在该层叠装置中，作为层叠装置的真空层叠装置，使用包括上下的平板的真空层叠装置，其中在平板的表面配置有由耐热性橡胶等构成的弹性加压板，由此，即使在被层叠材料(基板)表面的凹凸(配线)间隔微小(约20μm)或凹凸较深(40μm以上)的情况下，也能够在被层叠材料与层叠材料(树脂膜)之间不产生气泡地使层叠材料紧密地密合随附于被层叠材料(专利文献2)。

另外，本案申请人提案有一种层叠方法(专利文献3)，其关于包括上述工序A～D的层叠装置，在作为层叠装置的平面加压装置而使用的平面加压装置中，使用在加压块的表面(加压侧)隔着缓冲材料地配置有挠性金属板的上下的加压块，由此，能够使层叠体整体厚度均匀且将树脂膜表面形成为镜面性优良的平坦面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-120100号公报

专利文献2：日本特开2008-12918号公报

专利文献3：日本特开2003-291168号公报

发明内容

发明要解决的问题

在这些层叠装置中，作为真空层叠装置而使用的真空层叠装置及作为平面加压装置而使用的平面加压装置并不具有各自独立的反馈控制系统，对各工件W的加压压力与向用于推升下侧平板或下侧加压块的液压缸或气缸等供给的工作流体的压力成比例。另外，这些液压缸或气缸等的运作速度通过插设配置于上述工作流体的流路中的速度控制器(流量调整阀)来调节。

然而，近年，为使产品厚度更均匀，要求较高水准的厚度控制。特别地，在安装有LED等发光元件的基板上使用由树脂膜代替树脂模具而实现的密封(膜的层压)的情况下，若产品的厚度不同，则LED元件的颜色、温度等也变得不同。即，若产品的厚度有偏差则不良率升高，并且产量变差。因此，强烈期望开发出能够以更严格的水准来控制产品的厚度且能够抑制每批次的偏差的层叠装置。

本发明是鉴于这样的情况而做成的，其目的在于提供一种层叠装置，该层叠装置能够精密地控制层叠装置的平面加压装置中的加压块等、按压工件的按压体的停止位置，并且能够减少得到的产品的厚度偏差。

用于解决问题的方案

为了达成上述目的，本发明的层叠装置的第1要点为，包括：工件输送单元，其用于输送在电路基板之上载置有层压用的树脂膜而成的工件；真空层叠装置，其能够以减压状态将工件夹持于一对按压体之间并进行加压，从而使上述树脂膜密合于电路基板表面；以及平面加压装置，其能够将树脂膜密合于电路基板而成的工件夹持于一对按压体之间并进行按压，从而将该树脂膜的树脂膜面平坦化，上述平面加压装置包括：滚珠螺杆，其支承一对按压体中的第一按压体；伺服电机，其连接于上述滚珠螺杆的螺杆轴；间隙测量构件，其用于测量第一按压体和第二按压体之间的距离；以及按压间隙控制系统，其能够使第一按压体移动到相对于第二按压体成为规定的间隙的位置并停止，上述按压间隙控制系统能够基于利用上述间隙测量构件得到的按压体间距离信息来改变上述伺服电机的转数。

另外，本发明的层叠装置的第2要点为，其中，上述按压间隙控制系统包括接近速度控制构件，该接近速度控制构件能够基于利用上述间隙测量构件得到的按压体间距离信息来阶段性地改变上述伺服电机的转数，从而控制第一按压体和第二按压体接近的速度。

即，本发明的发明人们为了解决所述课题而反复深入研究，其结果，发现了以下内容：在平面加压装置中，若使用滚珠螺杆、伺服电机、测量按压体之间的距离的间隙测量构件以及按压间隙控制系统来替换作为按压工件的平板、加压块等按压体的升降机构所通用的液压缸、气缸等，则能够对应于要求的产品的品质来严格地设定上述按压体的升降速度、按压体的停止位置以及按压体的按压力，并且能够精度良好地再现具有更均匀的厚度的产品。

发明的效果

本发明的层叠装置具有平面加压装置，其自上下方向将经过真空层叠装置且树脂膜密合于电路基板而成的工件夹持于一对按压体之间并进行按压，从而使该树脂膜的树脂膜面平坦化。并且，该平面加压装置包括：滚珠螺杆，其支承第一按压体；伺服电机，其连接于上述滚珠螺杆的螺杆轴；间隙测量构件，其测量第一按压体与第二按压体之间的距离；以及按压间隙控制系统，其使第一按压体移动到相对于第二按压体成为规定的间隙的位置并停止，上述按压间隙控制系统基于利用上述间隙测量构件得到的按压体间距离信息来改变上述伺服电机的转数。

上述伺服电机能够自如地调节转速、转数。因此，本发明的层叠装置利用按压间隙控制系统来控制伺服电机的转数，由此能够精度良好地控制上述平面加压装置中的第一按压体(移动侧)的停止位置。由此，能够严格地设定按压体之间的间隙、来自按压体的按压力。因此，本发明的层叠装置能够更精细地设定工件的加工条件，能够实现产品批次间的偏差的减少和与之相伴的产品不良率的减少。

另外，在本发明的层叠装置中，由于上述按压间隙控制系统具有接近速度程序，该接近速度程序基于利用上述间隙测量构件得到的按压体间距离信息来阶段性地改变上述伺服电机的转数，从而控制第一按压体和第二按压体接近的速度，因此其能够维持上述产品的厚度尺寸的均匀化性，同时能够缩短针对每批次产品所产生的重复动作的周期(生产节拍时间)。因此，具有接近速度程序的层叠装置能够使产品的生产效率进一步提高。

附图说明

图1是本发明的实施方式的层叠装置的概略结构图。

图2是上述实施方式的层叠装置中的平面加压装置(工序C)的放大图。

图3是以往的层叠装置的概略结构图。

图4是上述以往的层叠装置所使用的平面加压装置的放大图。

图5是表示上述以往的平面加压装置的另外的结构例的图。

具体实施方式

接着，基于附图来详细说明本发明的实施方式。

图1是说明本发明的实施方式中的层叠装置的结构的结构图，图2是将图1的平面加压装置(工序C：平面加压装置30)局部放大的放大图。另外，对和现有例(图3)相同的结构部分标注相同的附图标记。

该层叠装置是将具有绝缘性的树脂膜层叠在印刷有配线等且其表面具有凹凸的电路基板上的装置，特别地适于制造由电路基板与树脂膜交替地多级地层叠而成的积层基板。该层叠装置包括：工件输送单元(工序A、A’，在图中以单点划线示出，以下相同)、真空层叠装置(工序B)、平面加压装置(工序C)以及冷却装置(工序D)。

即，该层叠装置包括工件输送单元(工序A、A’，图中以单点划线示出，以下相同。)，该工件输送单元由以下部分构成：输送用膜抽出机10、10’及输送用膜卷绕机40、40’，其配置于工序的两端(作为工序起点的图示右侧和作为工序终点的图示左侧)的上下；输送用膜F、F’；以及多个辊，其在工序各处支承输送用膜F、F’。并且，在上述工件输送工序(A→A’)的途中配置有：真空层叠装置(工序B)，其包括真空层叠装置20，该真空层叠装置20在减压状态下将由输送用膜F、F’输送来的单片状的工件W(暂时层叠体：仅将树脂膜载置或暂时固定在电路基板上的结构)夹持于上下的平板21、21’之间，从而使树脂膜密合于电路基板表面；平面加压装置(工序C)，其包括平面加压装置30，该平面加压装置30将由树脂膜密合于电路基板而成的工件W在上下的加压块31、31’(一对按压体)之间进行按压从而使树脂膜表面平坦化，并使工件W的厚度均匀化从而制成产品(层叠体)；以及冷却装置(工序D)，其具有风扇42、42’，该风扇42、42’用于冷却利用上述平面加压装置而得到的产品。

另外，如图2所示，在该实施方式的层叠装置中，该平面加压装置30包括：一对加压块31、31’；滚珠螺杆36，其支承下侧加压块31’；伺服电机35，其连接于滚珠螺杆36的螺杆轴36a；可编程逻辑控制器(PLC)及伺服放大器(均省略图示)，其控制伺服电机35的旋转；以及线性标尺37，其配置于下侧的加压块31’与加压台63之间。

并且，基于来自PLC的指令信号而使伺服电机35旋转，使下侧的加压块31’朝向上侧的加压块31移动。这时，上述线性标尺37连续且间接地测量上述加压块31、31’之间的距离(间隙)。设定为将利用上述线性标尺37测量而得到的加压块31、31’之间的距离信息反馈至伺服放大器，并编程为基于加压块31、31’之间的距离信息调整来自PLC的指令信号。因此，能够根据加压块31、31’之间的距离分阶段地或连续地改变伺服电机35的转数，能够使加压块31’准确地停止于预先设定的位置。像这样地，本发明具有基于上述加压块31、31’之间的距离信息来改变伺服电机35的转数的按压间隙控制系统。此为本发明的层叠装置的最大的特征。

针对本发明的层叠装置，首先，详细说明上述平面加压装置30的结构，然后再说明此外的结构。如图2所示，上述平面加压装置30的基本的结构和以往的平面加压装置60(参照图4)相同，其包括：多个支柱64(在图2中仅图示4个角落的4个支柱中的2个)，该多个支柱64立起设置于加压台63；上侧的加压块31，该上侧的加压块31由螺栓、螺母等固定构件固定于上述各支柱64；以及下侧的加压块31’，该下侧的加压块31’能够升降地安装于上述各支柱64。

内置有加热器的加热板32、32’隔着隔热材料(省略图示)安装于上下的加压块31、31’的内侧(加压侧)，且挠性金属板34、34’隔着缓冲材料33、33’配置于加压块31、31’的更内侧(加压侧)。因此，通过在上述挠性金属板34、34’之间对经过之前的真空层叠装置(工序B)使树脂膜密合于电路基板而成的工件W进行按压，能够制成工件W的厚度均匀化且树脂膜层的表面形成为镜面性的平坦面的产品(层叠体)。

在上述加压块31、31’的加热板32、32’的内侧(加压侧)安装的缓冲材料33、33’的表面的肖氏硬度A优选为60度以上，更优选为65度～75度。若肖氏硬度A小于60度，则有时无法发挥得到层叠后的树脂膜(层压体)的膜厚均匀性的效果。另外，在本发明中，肖氏硬度A是指以JIS Z 2246为基准来测量得到的值。另外，缓冲材料33、33’的厚度优选为0.2mm～20mm，更优选为0.2mm～10mm，进一步优选为0.2mm～4mm。若厚度小于0.2mm则会存在弹性强度降低的情况，若厚度超过20mm，则会存在缓冲材料33、33’的端部的变形变大的情况，因此以上两种情况不被优选。

作为上述缓冲材料33、33’，能够使用对纸、橡胶、塑料等任一材质进行表面研磨而得到的材料，其中优选为橡胶，特别优选为氟系橡胶。作为氟系橡胶，例如可以列举出偏二氟乙烯系橡胶、含氟硅酮橡胶、四氟乙烯系橡胶、含氟乙烯醚系橡胶、含氟磷腈系橡胶、含氟丙烯酸酯系橡胶、含氟亚硝基甲烷系橡胶、含氟聚酯橡胶以及含氟三嗪橡胶等。另外，缓冲材料33、33’也可以是内部含有耐热性树脂、玻璃纤维片、金属箔片等的材料。

在上述加压块31、31’的缓冲材料33、33’的内侧(加压侧)安装的挠性金属板34、34’的厚度优选为0.1mm～10mm，更优选为1mm～3mm。若挠性金属板34、34’的厚度小于0.1mm则会存在其机械强度降低的情况，若挠性金属板34、34’的厚度超过10mm，则会存在金属板的挠性降低的情况，其结果，有时无法充分发挥得到层叠后的树脂膜的膜厚均匀性的效果。另外，若利用抛光研磨等对挠性金属板34、34’的表面进行镜面研磨，则能够使产品(层叠体)的表面成为均匀的镜面，因此更优选。

作为上述挠性金属板34、34’的材质，可以列举出不锈钢、铁、铝以及铝合金等，对耐生锈性这一点而言优选为不锈钢。

在上述加压块31’的下侧空间形成有加压块31’的升降机构，该加压块31’的升降机构由滚珠螺杆36和伺服电机35构成，该滚珠螺杆36由螺杆轴36a和螺母(滚珠螺母)36b构成，该伺服电机35连接于螺杆轴36a。另外，基于来自PLC的指令信号及反馈的加压块31、31’之间的距离信息，利用伺服放大器(省略图示)来控制上述伺服电机35的转数。即，下侧的加压块31’经由连结器(省略图示)等连接于滚珠螺杆36的螺母36b。因此，利用上述结构，能够通过控制连接于螺杆轴36a的伺服电机35的旋转动作，从而以该加压块31’升降自如的方式控制该加压块31’。

另外，在加压块31’的下侧的空间配置有线性标尺37，该线性标尺37用于测量加压块31’与加压台63之间的距离。该线性标尺37包括：标尺37a，其固定于加压台63；以及编码读取头(encoder head)37b，其安装于加压块31’且与加压块31’同步上下地滑动，该线性标尺37间接地测量伴随着上述伺服电机35的旋转动作而升降的下侧加压块31’与上侧加压块31之间的距离(间隙)。

作为上述线性标尺37，能够使用例如具有磁头的磁性式、具有发光元件及受光元件的光学式等的任意类型的线性标尺(线性编码器)等。另外，也可以使用能够直接地或间接地、以接触或非接触的方式测量加压块31、31’之间的间隙的其他样式的测距器来替换线性标尺37。

另外，上述线性标尺37也能够配置成能够直接测量下侧加压块31’与上侧加压块31之间的间隙的方式。然而，若将线性标尺37配置于加压块31、31’之间，则有可能会受到来自加热板32、32’的热的影响，若未对热进行考虑，则有可能难以准确地测量间隙。因此，优选以如下方式间接地测量下侧的加压块31’与上侧的加压块31之间的间隙，即：将线性标尺37配置于远离加热板32、32’的位置，例如像该例子这样地配置于加压块31’的下侧，测量加压块31’与加压台63之间的距离。

并且，平面加压装置30具有伺服放大器(省略图示)，其基于来自PLC的指令信号以及加压块31、31’之间的距离信息的反馈来控制伺服电机35的旋转动作。另外，加压块31、31’之间的间隙不仅基于已纳入PLC的指令信号(按压间隙控制程序)来进行控制，也由考虑到自线性标尺37得到的距离信号而设定的按压间隙控制系统来进行控制。即，通过将自线性标尺37发送过来的加压块31、31’之间的距离信息反馈，来控制基于来自PLC的指令信号而运作的伺服电机35的旋转动作。在该例子中，基于来自PLC的指令信号使伺服电机35旋转从而使加压块31’上升，若加压块31、31’之间的间隙(自线性标尺发送过来的加压块31、31’之间的距离信息)达到预先设定的值，则将已达设定值的信息向已纳入PLC的指令信号反馈，从而使伺服电机35的旋转变慢或停止。由此，能够更准确地设定加压块31’的停止位置，并且能够更准确地设定加压块31、31’之间的间隙。

利用这些结构，具有上述平面加压装置30的层叠装置能够将产品(层叠体)的完成厚度形成为预先设定的期望的厚度。即，由于能够将上述平面加压装置30中的加压块31、31’之间的距离(间隙)准确地设定为规定值，因此产品的厚度成为上述规定值，并且针对每次加压来说产品的厚度都不会产生偏差。因此，产品的厚度的再现性提高，成品率(产量)提高。

其中，若具有接近速度程序，则能够更精密地控制工件W的完成(产品)厚度，该接近速度程序能够根据加压块31、31’之间的间隙阶段性地抑制上述伺服电机35的转数(即加压块31’的上升速度)，从而控制加压块31’接近加压块31的速度。另外，由于能够缩短针对每批次产品所产生的重复动作的周期(生产节拍时间)，因此与以往的工序相比能够使生产效率提高。上述接近速度程序例如能够纳入于PLC来使用。

另外，由PLC、滚珠螺杆36、伺服电机35、线性标尺37以及伺服放大器等构成的按压间隙控制系统也能够配置于具有按压体(平板21、21’)的升降机构的真空层叠装置20中。

接着，针对构成上述层叠装置的除平面加压装置30(工序C)以外的部分进行说明。

首先，工件输送单元(工序A、A’)包括：上下的输送用膜抽出机10、10’，其位于工序的起点；送入用输送机部11，其用于送入工件W(暂时层叠体：仅将树脂膜载置或暂时固定在电路基板上的结构)；输送用膜卷绕机40、40’，其配置于工序的终点；运出部41，其用于运出工件W；输送用膜F、F’，其用于输送工件W；以及多个导引用辊等，多个导引用辊在各处支承输送用膜F、F’。

并且，以规定的间隔断续地或间歇性地将自送入用输送机部11以规定间隔连续地供给的工件W夹持并保持于自各输送用膜抽出机10、10’放出的上下的输送用膜F、F’之间。工件W以和这些输送用膜F、F’的行进同步的状态，一边被上述各导引用辊导引，一边经过真空层叠装置20的上下的平板21、21’之间、平面加压装置30的上下的加压块31、31’之间、以及冷却装置(工序D)，从而成为产品(层叠体)，然后解除由输送用膜F、F’进行的保持。

已解除对产品的保持的输送用膜F、F’分别卷绕于输送用膜卷绕机40、40’以供再利用等。另外，解除了由输送用膜F、F’进行的保持的产品(层叠体)自工序终点(图示左侧)的运出部41被运出。

作为上述输送用膜F、F’，优选使用例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)制膜。作为这样的膜，能够列举出例如Unitika公司制的“EMBLET PTH系列”、Diafoil Hoechst公司制的“MATT FILM系列”以及Toray公司制的“LUMIRROR系列”等。另外，优选输送用膜F、F’的宽度设定为比工件W的宽度宽约10mm～40mm，以使工件W的熔融后的树脂膜(层压膜)不会自宽度方向漏出。另外，输送用膜F、F’通常被赋予0.5N～150N的张力。

然后，具有真空层叠装置20的真空层叠装置(工序B)在减压真空状态下将由所述输送用膜F、F’输送来的工件W加热加压，从而使工件W的树脂膜密合于电路基板。

该真空层叠装置20包括：多个支柱54，该多个支柱54立起设置于加压台53；上侧的按压体(平板21)，其由螺栓、螺母等固定构件固定于上述各支柱54；以及下侧的按压体(平板21’)，其升降自如地安装于上述各支柱54。

内置有加热器的加热板22、22’隔着隔热材料(省略图示)安装于上下的平板21、21’的内侧(加压侧)，并在其更内侧(加压侧)配置有由耐热性橡胶等构成的弹性加压板23、23’。另外，在上述上下的平板21、21’及加热板22、22’的周围配置有和各平板21、21’成为一体而相对移动的真空框架24、24’(可动真空框架)，若下侧平板21’上升到规定位置，则在上述上下的平板21、21’之间形成密封空间，并能够对该密封空间内进行减压。

并且，该真空层叠装置20的下侧平板21’被滚珠螺杆26及伺服电机25支承，与平面加压装置30同样地，在平板21’的下侧空间配置有测量平板21’与加压台53之间的距离的线性标尺27。该线性标尺27包括：标尺27a，其固定于加压台53；以及编码读取头27b，其安装于平板21’且与平板21’同步上下地滑动，该线性标尺27间接地测量伴随着上述伺服电机25的旋转动作而升降的下侧平板21’与上侧平板21之间的距离(间隙)。该真空层叠装置20具有基于自线性标尺27得到的距离信号的反馈以及来自PLC的指令信号来控制伺服电机25的旋转动作的伺服放大器(省略图示)，能够使下侧平板21’移动到相对于上侧平板21成为规定的间隙的位置并停止。

利用该结构，上述层叠装置的真空层叠装置20能够使在真空下被加压的工件W的厚度成为预先设定的期望的值。另外，由于能够使在该工序的结束时候的工件W的厚度处于设定好的范围内，因此，利用由接下来的加工工序的平面加压装置30进行的加压，能够进一步提高产品的厚度精度。然而，在真空层叠装置20中可以不使用伺服电机等，也可以使用液压缸、气缸等使平板升降。即，仅在平面加压装置30中设置按压间隙控制系统就能够充分地提高产品的厚度精度。

然后，如图1所示，对通过所述平面加压而得到的产品进行冷却的冷却装置(工序D)是在输送用膜F、F’的上下配置有风扇42、42’的结构。即，冷却装置通过自上下方向对保持于上述输送用膜F、F’之间并自平面加压装置30输送来的产品吹送空气(冷风)，从而将产品冷却。另外，根据所使用的树脂膜的种类等，也可以不使用该冷却装置(工序D)，该冷却装置不是必须具有的构件。

自冷却的产品的正面和背面将输送用膜F、F’剥离，解除由输送用膜F、F’进行的保持。由输送用膜F、F’进行的保持被解除了的产品被运出部41从层叠装置运出。另外，将已解除对产品的保持的输送用膜F、F’分别卷绕于输送用膜卷绕机40、40’。

实施例

然后，说明使用上述层叠装置(图1)自工件W(暂时层叠体)制造成产品(层叠体)的实施例。但是，本发明不限定于以下的实施例。

首先，将由环氧树脂组成物层(玻璃化转变温度为80℃、厚度为42.5μm)和聚对苯二甲酸乙二醇酯层(支承层、厚度为38μm)构成的层压用树脂膜载置于表背两面具有凹凸(配线)的电路基板(厚度为0.4mm、配线厚度为18μm、配线间隔为20μm)的表面，利用自动片材切割层压机将树脂膜暂时固定于电路基板，从而制成工件W(暂时层叠体)。

然后，将由聚对苯二甲酸乙二醇酯构成的输送用膜F、F’(厚度为26μm、表面粗糙度Rz＝4μm)以自输送用膜抽出机10、10’放出、贯穿整个工序并被输送用膜卷绕机40、40’卷绕的方式进行设置。并且，在真空层叠前，将真空层叠装置20的加热板22、22’升温至110℃，并对形成于真空框架24、24’以及上下的平板21、21’之间的密封空间加热。另外，将平面加压装置30的加热板32、32’升温至100℃。

在准备就绪的状态下，将上述工件W自送入用输送机部11送入层叠装置内。并且，将工件W夹持于自输送用膜抽出机10、10’放出的输送用膜F、F’之间并将其保持，在该状态下使输送用膜F、F’行进，从而使工件W移动到真空层叠装置20的平板21、21’之间的规定位置。

然后，通过使伺服电机25旋转，来使真空层叠装置20的下侧平板21’上升，并使真空框架24、24’卡合，从而在平板21、21’之间形成密封空间。

然后，驱动真空泵(未图示)，确认上述密封空间的气压降低至100Pa后，再使下侧平板21’上升，并在配置于各平板21、21’之间的表面(加压侧)的弹性加压板23、23’之间的间隙成为0.42mm时，使下侧平板21’的上升停止。并且，维持该状态20秒地将工件W加压后，将上述密封空间的气压恢复至大气压，并使下侧平板21’下降，从而结束利用真空层叠装置进行的工序B。

结束利用真空层叠装置进行的工序B，通过使输送用膜F、F’行进，来使树脂膜密合于电路基板表面而成的工件W移动至平面加压装置30的加压块31、31’之间的规定位置。

即，通过以下方式进行控制，即：基于来自PLC的指令信号而使伺服电机35旋转并使加压块31’上升，并且将自线性标尺27得到的距离信号反馈至伺服放大器(省略图示)，在加压块31、31’之间的间隙成为预先设定好的规定的间隙时(在该例子中是配置于加压块31、31’之间的表面(加压侧)的挠性金属板34、34’之间的间隙成为0.42mm时)，伺服电机35的旋转完全地停止，因此能够可靠地准确地将加压块31’定位。

将上述挠性金属板34、34’之间的间隙为0.42mm的状态维持50秒。即，对使树脂膜密合于电路基板而成的工件W加压及加热50秒并制成产品。之后，使下侧加压块31’下降从而解除加压，并结束利用平面加压装置进行的工序C。

结束利用平面加压装置进行的工序C，通过使输送用膜F、F’行进来将得到的产品输送至冷却台。在该冷却台中，利用来自风扇42、42’的送风将产品冷却(冷却装置(工序D))。之后，使输送用膜F、F’上下分离，利用输送用膜卷绕机40、40’将上述输送用膜F、F’分别卷绕，并且利用运出部41将已解除由输送用膜F、F’实现的保持的产品从层叠装置运出。

另外，由于各工序连续地进行，因此自真空层叠装置20的工件W的加工位置到平面加压装置30的工件W的加工位置的距离、和自平面加压装置30的工件W的加工位置到冷却台(来自风扇42、42’的送风所到达的位置)的距离大致相同，通过使输送用膜F、F’间歇性地行进，来自动地决定在真空层叠装置20、平面加压装置30以及冷却台(冷却装置(工序D))这三处中的工件W或产品的位置。

采用上述结构的层叠装置，首先，由于利用真空层叠装置使树脂膜以密合的状态固定于电路基板上的规定位置，因此不会产生由之后的平面加压装置的加压导致的树脂膜的位置的偏差或扭曲。并且，由于平面加压装置具有按压间隙控制系统，该按压间隙控制系统将加压块31、31’(按压体)之间的距离信息反馈至来自PLC的指令信号，并改变伺服电机35的转数，因此产品的厚度的控制不像以往那样依赖经验，能够从最初就将其准确且精确地设定。另外，在冷却台中，由于利用非接触的冷却装置将得到的产品快速地冷却，因此促进了膜树脂的硬化，在输送中或运出时不会产生变形等。即，能够使产品的厚度成为预先设定好的期望的规定值，与基于以往方法的制造相比，能够大幅度减少每批次产品中产生的厚度偏差。

在上述实施例中，表示了本发明的具体方式，但是上述实施例仅为示例，并没有作限定性的解释。对本领域技术人员来说明显的各种变形，都在本发明的范围内。

产业上的可利用性

本发明的层叠装置能够将电路基板和用于基板间的绝缘的树脂膜以准确的厚度层叠，适于积层基板、安装了LED等发光元件的基板等要求完成厚度的精度的产品(层叠体)的制造。

附图标记说明

20真空层叠装置；30平面加压装置；31、31’加压块；35伺服电机；36滚珠螺杆；36a螺杆轴；37线性标尺；W工件。

Claims (1)

1.一种层叠装置，其特征在于，

该层叠装置包括：工件输送单元，其用于输送在电路基板之上载置有层压用的树脂膜而成的工件；真空层叠装置，其能够以减压状态将工件夹持于一对按压体之间并进行加压，从而使上述树脂膜密合于电路基板表面；以及平面加压装置，其能够将树脂膜密合于电路基板而成的工件夹持于一对按压体之间并进行按压，从而将该树脂膜的树脂膜面平坦化，

上述平面加压装置包括：滚珠螺杆，其支承一对按压体中的第一按压体；伺服电机，其连接于上述滚珠螺杆的螺杆轴；间隙测量构件，其用于测量第一按压体和第二按压体之间的距离；以及按压间隙控制系统，其能够使第一按压体移动到相对于第二按压体成为规定的间隙的位置并停止，

上述间隙测量构件为具有标尺和编码读取头的线性标尺，上述编码读取头配设于一对按压体的下侧，

上述按压间隙控制系统包括接近速度程序，该接近速度程序能够基于利用上述间隙测量构件得到的按压体间距离信息来阶段性地改变上述伺服电机的转数，从而控制第一按压体和第二按压体接近的速度。

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