CN107591416A - 一种阵列基板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种阵列基板的制造方法，制造方法包括步骤：提供一第一基板；提供第一光罩，在第一基板上设置主动开关；提供第二光罩，在主动开关上设置光刻胶，对主动开关进行第一次湿法蚀刻，对主动开关进行第一次干法蚀刻，对主动开关进行第二次湿法蚀刻，对主动开关进行第二次干法蚀刻；其中，主动开关包括金属层，用于金属层的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，蚀刻液中的硝酸的浓度为1.8％至3.0％；提供第三光罩，在金属上设置保护层；提供第四光罩，在保护层上设置像素电极层。本发明由于降低在蚀刻(2W2D)步骤中用于金属层的蚀刻液里硝酸的浓度，经调控减少主动开关中非晶硅层和欧姆接触层的边缘长度，从而降低源/漏极层线宽较小可能有断线风险。

Description

一种阵列基板的制造方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板的制造方法。

背景技术

现有的显示器一般都基于主动开关进行控制，具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，主要包括液晶显示器、OLED(Organic Light-Emitting Diode)显示器、QLED(Quantum Dot Light Emitting Diodes)显示器、等离子显示器等、从外观结构来看，既有平面型显示器、也有曲面型显示器。

对于液晶显示器，包括液晶面板及背光模组(Backlight Module)两大部分，液晶显示器的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，并在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

对于OLED显示器，采用机发光二极管自发光来进行显示，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点。

QLED显示器结构与OLED技术非常相似，主要区别在于QLED的发光中心由量子点(Quantum dots)物质构成。其结构是两侧电子(Electron)和空穴(Hole)在量子点层中汇聚后形成光子(Exciton)，并且通过光子的重组发光。

然而，随着显示器逐渐往超大尺寸、高驱动频率、高分辨率等方面发展，然而TFT结构常为倒置错排结构，即为底栅电极且与源/漏极分别位于a-Si层两侧，这样该结构器件中往往因蚀刻处理后源/漏极层线宽较小可能有断线风险。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种防止金属层断线的阵列基板的制造方法。

为解决上述问题，本发明的实施例提供的阵列基板的制造方法包括：

一种阵列基板的制造方法，所述制造方法包括步骤：

提供一第一基板；

在所述第一基板上设置主动开关；

在所述主动开关上设置光刻胶；

对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻；

对所述主动开关进行第一次干法蚀刻；

对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻；

对所述主动开关进行第二次干法蚀刻；

其中，所述主动开关包括金属层，用于所述金属层的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，所述蚀刻液中的所述硝酸的浓度为1.8％至3.0％。

其中，在所述第一基板上设置主动开关的步骤包括：

在所述第一基板上沉积栅极层；

在所述栅极层上沉积绝缘层；

在所述绝缘层上沉积非晶硅层；

在所述非晶硅层上沉积欧姆接触层；

在所述欧姆接触层上沉积金属层。

这里是在上一个光罩下进的对主动开关中栅极层、绝缘层、非晶硅层、欧姆接触层以及金属层沉积在第一基板上的设置，为之后的两次湿刻两次干刻和灰化处理做准备。

其中，对所述主动开关进行第二次干法蚀刻的步骤之后还包括步骤：

在所述金属上设置保护层。

这里是在下一个光罩下进行的对主动开关功能层的设置，保障主动开关器件功能的实现。

其中，在所述金属层上设置保护层之后的步骤之后还包括步骤：

在所述保护层上设置像素电极层。

这里是在下一个光罩下进行的对主动开关功能层的设置，保障主动开关器件功能的实现。

其中，所述绝缘层、所述非晶硅层和所述欧姆接触层构成一组合层所述组合层、所述金属层、所述保护层的同侧边沿平齐，所述所述光刻胶在所述保护层的位置范围内设置。

这里是各层和光刻胶在蚀刻步骤和灰化处理前的位置范围。

其中，对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻的步骤后，所述金属层和所述保护层的位置范围缩小至第一区域值；

对所述主动开关进行第一次干法蚀刻的步骤后，所述组合层的位置范围缩小至第二区域值；

对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻的步骤后，所述金属层和所述保护层的位置范围缩小至第三区域值。

其中，对所述主动开关进行第一次干法蚀刻的步骤之后还包括步骤：

对所述光刻胶进行灰化处理；

其中，对所述光刻胶进行灰化处理的步骤后，所述光刻胶的位置范围缩小至第四区域值。

这里是各层和光刻胶在蚀刻步骤和灰化处理下的变化。

其中，所述组合层的位置范围缩小至第二区域值，所述组合层为梯形，所述梯形包括靠近所述欧姆接触层的第一底边和远离所述欧姆接触层的第二底边，所述第一底边的长度大于所述第二底边的长度。

这里是组合层经蚀刻后的形状设置。

其中，所述金属层采用铝元素，所述保护层采用钼元素。

这里是各层的具体材质设置。铝取材广泛、有延展性，重量轻和耐腐蚀。钼为银白色金属，硬而坚韧。

本发明的另一个目的在于提供一种阵列基板的制造方法。

一种阵列基板的制造方法，所述制造方法包括步骤：

提供一第一基板；

提供第一光罩，在所述第一基板上设置主动开关：在所述第一基板上沉积栅极层，在所述栅极层上沉积绝缘层，在所述绝缘层上沉积非晶硅层，在所述非晶硅层上沉积欧姆接触层，在所述欧姆接触层上沉积金属层；

提供第二光罩，在所述主动开关上设置光刻胶，对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻，对所述主动开关进行第一次干法蚀刻，对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻，对所述主动开关进行第二次干法蚀刻；

其中，所述主动开关包括金属层，用于所述金属层的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，所述蚀刻液中的所述硝酸的浓度为1.8％至3.0％；

提供第三光罩，在所述金属上设置保护层；

提供第四光罩，在所述保护层上设置像素电极层。

本发明由于降低在蚀刻(2W2D：两次湿刻两次干刻)步骤中用于金属层的蚀刻液里硝酸的浓度，经调控减少主动开关中非晶硅层和欧姆接触层的边缘长度，从而降低源/漏极层线宽较小可能有断线风险。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本发明一个实施例阵列基板的制造方法的流程框图；

图2是本发明一个实施例阵列基板的主动开关在制造过程中的结构示意图；

图3是本发明一个实施例阵列基板的主动开关各层在制造过程中的结构示意图；

图4是本发明一个实施例阵列基板的主动开关各层的结构示意图；

图5是本发明一个实施例阵列基板的主动开关的结构示图；

图6是本发明实施例显示装置的示意图。

其中，10、第一基板；21、栅极层；22、绝缘层；23、非晶硅层；24、欧姆接触层；30、金属层；31、源极层；32、漏极层；40、光刻胶(PR)：50、第一尾部值；61、外侧第二尾部值；62、内侧第二尾部值；71、组合层；73、保护层；100、显示装置；200、控制部件；300、显示面板。

其中，S21、第一次湿法蚀刻；S22、第一次干法蚀刻；S23、第二次湿法蚀刻；S24、第二次干法蚀刻。

其中，S31、第一次湿法蚀刻；S32、第一次干法蚀刻；S33、灰化处理；S34、第二次湿法蚀刻。

具体实施方式

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本发明的示例性实施例的目的。但是本发明可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

下面参考附图1至图6实施例进一步详细描述本发明的阵列基板的制造方法。

作为本发明的一个实施例，如图1所示，所述制造方法包括步骤：

S1、提供一第一基板10；

S2、在所述第一基板10上设置主动开关；

S3、在所述主动开关上设置光刻胶40；

S4、对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻；

S5、对所述主动开关进行第一次干法蚀刻；

S6、对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻；

S7、对所述主动开关进行第二次干法蚀刻；

其中，所述主动开关包括金属层30，用于所述金属层30的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，所述蚀刻液中的所述硝酸的浓度为1.8％至3.0％。具体的，所述蚀刻液中的所述磷酸的浓度为60％至80％，蚀刻液中的所述乙酸的浓度为5％至15％。

本发明由于降低在蚀刻(2W2D：两次湿刻两次干刻)步骤中用于金属层的蚀刻液里硝酸的浓度，经调控减少主动开关中非晶硅层23和欧姆接触层24的边缘长度，从而降低源/漏极层线宽较小可能有断线风险。其中，湿法蚀刻是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方法。大多数湿法刻蚀是不容易控制的各向同性刻蚀。适应性强，表面均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、玻璃、塑料等材料。干法蚀刻的刻蚀剂是等离子体，是利用等离子体和表面薄膜反应，形成挥发性物质，或直接轰击薄膜表面使之被腐蚀的工艺。能实现各向异性刻蚀，从而保证细小图形转移后的保真性。两者结合既能保证刻蚀图形的保真和最小线宽值，又能控制成本。

作为本发明的又一个实施例，如图1-3所示，所述制造方法包括步骤：

提供一第一基板10；

在所述第一基板10上设置主动开关；

在所述主动开关上设置光刻胶；

对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻；

对所述主动开关进行第一次干法蚀刻；

对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻；

对所述主动开关进行第二次干法蚀刻；

其中，所述主动开关包括金属层30，用于所述金属层30的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，所述蚀刻液中的所述硝酸的浓度为1.8％至3.0％。具体的，所述蚀刻液中的所述磷酸的浓度为60％至80％，蚀刻液中的所述乙酸的浓度为5％至15％。

其中，如图2所示(S21、第一次湿法蚀刻；S22、第一次干法蚀刻；S23、第二次湿法蚀刻；S24、第二次干法蚀刻)，第一基板10上设置的主动开关由下至上包括栅极层21、绝缘层22、非晶硅层23、欧姆接触层24以及由源极层31和漏极层32构成的金属层30，主动开光上设置有光刻胶40，随着蚀刻和灰化处理(使得光刻胶40的位置范围作预设范围的缩小)的进行主动开关中的各层逐步成型，所述非晶硅层23的边沿长于所述金属层的同侧边沿，所述欧姆接触层24的边沿长于所述金属层的同侧边沿，外侧的所述欧姆接触层24的边沿与所述金属层的同侧边沿的差值大于内侧的所述欧姆接触层24的边沿与所述金属层的同侧边沿的差值。

降低在蚀刻(2W2D：两次湿刻两次干刻)步骤中用于金属层的蚀刻液里硝酸的浓度，经调控减少主动开关中非晶硅层23和欧姆接触层24的边缘长度，从而降低源/漏极层线宽较小可能有断线风险。其中，湿法蚀刻是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方法。大多数湿法刻蚀是不容易控制的各向同性刻蚀。适应性强，表面均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、玻璃、塑料等材料。干法蚀刻的刻蚀剂是等离子体，是利用等离子体和表面薄膜反应，形成挥发性物质，或直接轰击薄膜表面使之被腐蚀的工艺。能实现各向异性刻蚀，从而保证细小图形转移后的保真性。两者结合既能保证刻蚀图形的保真和最小线宽值，又能控制成本。

作为本发明的又一个实施例，如图1-3所示，所述制造方法包括步骤：

提供一第一基板10；

在所述第一基板10上设置主动开关；

在所述主动开关上设置光刻胶；

对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻；

对所述主动开关进行第一次干法蚀刻；

对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻；

对所述主动开关进行第二次干法蚀刻；

其中，所述主动开关包括金属层30，用于所述金属层30的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，所述蚀刻液中的所述硝酸的浓度为1.8％至3.0％。具体的，所述蚀刻液中的所述磷酸的浓度为60％至80％，蚀刻液中的所述乙酸的浓度为5％至15％。

其中，如图3所示(S31、第一次湿法蚀刻；S32、第一次干法蚀刻；S33、灰化处理；S34、第二次湿法蚀刻)，所述绝缘层22、所述非晶硅层23和所述欧姆接触层24构成一组合层71；所述组合层71、所述金属层30、所述保护层73的同侧边沿平齐，所述所述光刻胶40在所述保护层73的位置范围内设置。

对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻的步骤后，所述金属层30和所述保护层73的位置范围缩小至第一区域值；

对所述主动开关进行第一次干法蚀刻的步骤后，所述组合层71的位置范围缩小至第二区域值；

对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻的步骤后，所述金属层30和所述保护层73的位置范围缩小至第三区域值。

对所述光刻胶40进行灰化处理的步骤后，所述光刻胶40的位置范围缩小至第四区域值。

降低在蚀刻(2W2D：两次湿刻两次干刻)步骤中用于金属层的蚀刻液里硝酸的浓度，经调控减少主动开关中非晶硅层23和欧姆接触层24的边缘长度，从而降低源/漏极层线宽较小可能有断线风险。其中，湿法蚀刻是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方法。大多数湿法刻蚀是不容易控制的各向同性刻蚀。适应性强，表面均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、玻璃、塑料等材料。干法蚀刻的刻蚀剂是等离子体，是利用等离子体和表面薄膜反应，形成挥发性物质，或直接轰击薄膜表面使之被腐蚀的工艺。能实现各向异性刻蚀，从而保证细小图形转移后的保真性。两者结合既能保证刻蚀图形的保真和最小线宽值，又能控制成本。

具体的，所述组合层71的位置范围缩小至第二区域值，所述组合层71为梯形，所述梯形包括靠近所述欧姆接触层24的第一底边和远离所述欧姆接触层24的第二底边，所述第一底边的长度大于所述第二底边的长度。

具体的，所述金属层30采用铝元素，所述保护层73采用钼元素。铝取材广泛、有延展性，重量轻和耐腐蚀。钼为银白色金属，硬而坚韧。

当然也可以如图4所示，所述保护层73包括第一保护层和第二保护层，所述绝缘层22、所述非晶硅层23和所述欧姆接触层24构成一组合层71，所述第一保护层设置在所述组合层71和所述金属层30之间，所述第二保护层设置在所述金属层30上。

作为本发明的又一个实施例，如图1-3所示，所述制造方法包括步骤：

提供一第一基板10；

提供第一光罩，在所述第一基板10上设置主动开关：在所述第一基板10上沉积栅极层21，在所述栅极层21上沉积绝缘层22，在所述绝缘层22上沉积非晶硅层23，在所述非晶硅层23上沉积欧姆接触层24，在所述欧姆接触层24上沉积金属层；

提供第二光罩，在所述主动开关上设置光刻胶40，对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻，对所述主动开关进行第一次干法蚀刻，对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻，对所述主动开关进行第二次干法蚀刻；

其中，所述主动开关包括金属层30，用于所述金属层30的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，所述蚀刻液中的所述硝酸的浓度为1.8％至3.0％。；

提供第三光罩，在所述金属上设置保护层；

提供第四光罩，在所述保护层上设置像素电极层。

具体的，所述蚀刻液中的所述磷酸的浓度为60％至80％，蚀刻液中的所述乙酸的浓度为5％至15％。降低在蚀刻(2W2D：两次湿刻两次干刻)步骤中用于金属层的蚀刻液里硝酸的浓度，经调控减少主动开关中非晶硅层23和欧姆接触层24的边缘长度，从而降低源/漏极层线宽较小可能有断线风险。其中，湿法蚀刻是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方法。大多数湿法刻蚀是不容易控制的各向同性刻蚀。适应性强，表面均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、玻璃、塑料等材料。干法蚀刻的刻蚀剂是等离子体，是利用等离子体和表面薄膜反应，形成挥发性物质，或直接轰击薄膜表面使之被腐蚀的工艺。能实现各向异性刻蚀，从而保证细小图形转移后的保真性。两者结合既能保证刻蚀图形的保真和最小线宽值，又能控制成本。

其中，在第一光罩下进的对主动开关中栅极层21、绝缘层22、非晶硅层23、欧姆接触层24以及金属层沉积在第一基板10上的设置，为之后的两次湿刻两次干刻和灰化处理做准备。可以采用化学气相沉积的方式。下第三光罩和第四光罩下进行的对主动开关功能层的设置，保障主动开关器件功能的实现。

作为本发明的又一个实施例，如图5所示，所述阵列基板包括第一基板10；主动开关，所述主动开关设置于所述第一基板10上，所述主动开关包括非晶硅层23、欧姆接触层24和金属层；其中，所述非晶硅层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度，大于所述欧姆接触层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度：其中，外侧的所述欧姆接触层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度，大于内侧的所述欧姆接触层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度；其中，所述金属层包括磷酸、乙酸和硝酸三者任意组合或者三者任一的残留液。降低在蚀刻(2W2D：两次湿刻两次干刻)步骤中用于金属层的蚀刻液里硝酸的浓度，经调控减少主动开关中非晶硅层23和欧姆接触层24的边缘长度，从而降低源/漏极层线宽较小可能有断线风险。

具体的，所述非晶硅层23的边沿长于所述金属层的同侧边沿第一尾部值50，所述第一尾部值50小于1.2μm；所述欧姆接触层24的边沿长于所述金属层的同侧边沿第二尾部值，所述第二尾部值小于0.8μm。

具体的，所述第二尾部值包括外侧的所述欧姆接触层24的边沿长于所述金属层的同侧边沿的外侧第二尾部值61；以及，内侧的所述欧姆接触层24的边沿长于所述金属层的同侧边沿的内侧第二尾部值62；所述外侧第二尾部值61大于所述内侧第二尾部值62。在第二尾部值小于0.8μm的设定下进一步限定既实现漏电流的减小又保证沟道的作用正常实现。

在上述实施例中，显示面板包括液晶面板、OLED(Organic Light-EmittingDiode)面板、QLED(Quantum Dot Light Emitting Diodes)面板、等离子面板、平面型面板、曲面型面板等。

参考图6，本实施方式公开一种显示装置100。该显示装置100包括控制部件200，以及本发明所述的显示面板300，以上以显示面板为例进行详细说明，需要说明的是，以上对显示面板结构的描述同样适用于本发明实施例的显示装置中。其中，当本发明实施例的显示装置为液晶显示器时，液晶显示器包括有背光模组，背光模组可作为光源，用于供应充足的亮度与分布均匀的光源，本实施例的背光模组可以为前光式，也可以为背光式，需要说明的是，本实施例的背光模组并不限于此。

以上内容是结合具体实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种阵列基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括步骤：

提供一第一基板；

提供第一光罩，在所述第一基板上设置主动开关，所述主动开关包括金属层；

提供第二光罩，在所述主动开关上设置光刻胶，对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻，对所述主动开关进行第一次干法蚀刻，对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻，对所述主动开关进行第二次干法蚀刻，在蚀刻中用于所述金属层的蚀刻液包括磷酸、乙酸和硝酸，所述蚀刻液中的所述硝酸的浓度为1.8％至3.0％；

提供第三光罩，在所述金属上设置保护层；

提供第四光罩，在所述保护层上设置像素电极层。

2.如权利要求1所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，所述蚀刻液中的所述磷酸的浓度为60％至80％，蚀刻液中的所述乙酸的浓度为5％至15％。

3.如权利要求1所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，在所述第一基板上设置所述主动开关的步骤包括：

在所述第一基板上沉积栅极层；

在所述栅极层上沉积绝缘层；

在所述绝缘层上沉积非晶硅层；

在所述非晶硅层上沉积欧姆接触层；

在所述欧姆接触层上沉积金属层。

4.如权利要求3所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，所述绝缘层、所述非晶硅层和所述欧姆接触层构成一组合层；

所述组合层、所述金属层、所述保护层的同侧边沿平齐，所述光刻胶在所述保护层的位置范围内设置。

5.如权利要求4所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，

对所述主动开关进行第一次湿法蚀刻的步骤后，所述金属层和所述保护层的位置范围缩小至第一区域值；

对所述主动开关进行第一次干法蚀刻的步骤后，所述组合层的位置范围缩小至第二区域值；

对所述主动开关进行第二次湿法蚀刻的步骤后，所述金属层和所述保护层的位置范围缩小至第三区域值。

6.如权利要求5所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，对所述主动开关进行第一次干法蚀刻的步骤之后还包括步骤：

对所述光刻胶进行灰化处理；

其中，对所述光刻胶进行灰化处理的步骤后，所述光刻胶的位置范围缩小至第四区域值。

7.如权利要求5所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，所述组合层的位置范围缩小至第二区域值，所述组合层为梯形，所述梯形包括靠近所述欧姆接触层的第一底边和远离所述欧姆接触层的第二底边，所述第一底边的长度大于所述第二底边的长度。

8.如权利要求3所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，所述阵列基板还包括第一保护层和第二保护层，所述绝缘层、所述非晶硅层和所述欧姆接触层构成一组合层，所述第一保护层设置在所述组合层和所述金属层之间，所述第二保护层设置在所述金属层上，所述第一保护层和所述第二保护层采用钼元素。

9.如权利要求3所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，所述金属层采用铝元素，所述保护层采用钼元素。

10.一种阵列基板，其特征在于，包括

第一基板；

主动开关，所述主动开关设置于所述第一基板上，所述主动开关包括非晶硅层、欧姆接触层和金属层；

其中，所述非晶硅层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度，大于所述欧姆接触层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度；

其中，外侧的所述欧姆接触层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度，大于内侧的所述欧姆接触层的边沿超出所述金属层的同侧边沿的长度；

其中，所述金属层包括磷酸、乙酸和硝酸三者任意组合或者三者任一的残留液。