CN107003623A - 光刻系统的连接配置 - Google Patents

Abstract

公开了一种光刻系统(100)的连接配置(200A、200B)，其具有第一构件(212)、第二构件(206)、第一界面元件(210)和第二界面元件(218)，所述第一界面元件在第一接合部(220)处可释放地连接至第一构件(212)，所述第二界面元件(218)在第二接合部(222)处可释放地连接至第二构件(206)。第一界面元件(210)具有第一接触表面(226)，第二界面元件(218)具有第二接触表面(228)，并且在两个接触表面(226、228)在第三接合部(224)处连接之前，两个接触表面(226、228)中的至少一个构造为对准和/或选择为补偿第一构件(212)与第二构件(206)之间的偏移。第一界面元件(210)的第一接触表面(226)与第二界面元件(218)的第二接触表面(228)在第三接合部(224)处通过材料配合连接来连接。

Description

光刻系统的连接配置

相关申请的交叉引用

本申请要求的2014年12月9日提交的德国专利申请No.10 2014 225 199.0的优先权。通过引用将该德国专利申请的全部内容并入本文。

技术领域

本发明关于连接配置、具有连接配置的光刻系统以及制造连接配置的方法。

背景技术

因为材料与制造，镜头由许多构件构成，尤其是承载结构与光学装置。因此，承载结构经由连接点连接至光学装置。根据制造接合部的方式，会产生应力与变形，这对于光学装置有有害的影响。尤其是因为有最小机械强度需求，所以迄今来说没有应力与变形的装配几乎是不可能的。

除了由于该方法所发生的应力与变形以外，装配期间补偿构件的形状与位置公差，而未因此产生额外应力与变形，这也相当重要。WO2005/106557将由压配(force-fit)连接所产生变形会由分离(decoupling)元件所吸收的效应列入考虑。因为该分离效应直接关于机械硬度，因此限制此程序只适用于需要高机械硬度的系统。

发明内容

针对此背景，本发明的目的在于改善光刻系统的连接配置，尤其是在一方面，该连接配置是可释放的，并且在另一方面，各构件在安装位置几乎无应力与无变形地连接。尤其是，本发明的目的为提供具有连接配置的光刻系统，以及制造连接配置的方法。

通过光刻系统的连接配置实现此目的，其中该配置具有第一构件、第二构件、第一界面元件和第二界面元件，该第一界面元件在第一接合部处可释放地连接至第一构件，该第二界面元件在第二接合部处可释放地连接至第二构件。该第一界面元件具有第一接触表面，并且该第二界面元件具有第二接触表面。在两个接触表面在第三接合部处连接之前，两个接触表面中的至少一个构造为对准和/或选择为补偿该第一构件与该第二构件之间的偏移。该第一界面元件的第一接触表面与该第二界面元件的第二接触表面在该第三接合部处通过材料配合连接来连接。

该第一构件可为承载结构。该第二构件可为光学装置。该光学装置可具有光学元件以及用于该光学元件的框架。不过，所述构件之一也可为测量界面、参考结构或光刻系统的结构构件。

该第一界面元件可释放地连接至该第一构件。该第二界面元件可释放地连接至该第二构件。该可释放连接可为压配(force-fit)和/或形配(form-fit)连接。压配连接预先假定在要与另一个连接的表面上的法向力。压配连接可通过摩擦锁定或磁力配合来达成。只要由静摩擦或磁力配合引起的反作用力没有被超过，就可避免表面的相互位移。

该第一界面元件的第一接触表面与该第二界面元件的第二接触表面通过材料配合(material-fit)连接来连接。在材料配合连接的情况中，通过原子力或分子力将连接双方保持在一起。材料配合连接为不可释放连接，只能通过破坏连接装置的方式分离。材料配合连接可例如由粘性接合、焊接、熔接或硫化来执行。

“在两个接触表面在第三接合部处连接之前，两个接触表面中的至少一个构造为对准和/或选择为补偿该第一构件与该第二构件之间的偏移”的说法可解释成两个接触表面中的至少一个可适当倾斜和/或界面元件可被相应选择，如此两个接触表面中的至少一个在选择之后适当对准。

在材料配合连接的情况中，该连接发生在所述构件的应力相对自由的状态下。若所述构件在粘性接合期间以无接触方式安装在安装位置，则该粘性接合可补偿接合间隙中的公差，并且只产生因为粘合剂的应力。

因为该连接配置具有两个可释放接合部，则可以非破坏性地取代该第一构件与该第二构件。因为界面元件的两个接触表面中的至少一个是可调的，以补偿该第一构件与该第二构件之间的偏移，该连接配置可以意图安装在光刻系统中的方式对准。那么，在第三接合部处的材料配合连接(即在该第一与第二界面元件之间)最终确保了无应力与无变形连接。因为界面元件的两个接触表面彼此对准，所以可在该第三接合部处产生非常薄的材料配合连接。这导致高刚性连接配置。因为界面元件的两个接触表面彼此对准，所以可在该第三接合部处进一步产生平行材料配合连接。这导致例如可在粘合剂固化期间产生的扭矩(torque)最小化。

在连接配置的一个实施例中，第一和第二界面元件的两个接触表面中的至少一个可关于最短连接路径对准，或关于与该最短连接路径垂直的方向对准，和/或关于两个接触表面关于彼此的角度对准。在此情况中，可对准性可涵盖所有方向与角度。具有优势的是，两个接触表面因此可以恒定短距离对准。这允许薄的第三接合部，因此高刚性连接配置，或至少平行连接点，具有关于该接合应力效应的优势。

所述两个接触表面中的至少一个可关于连接路径对准，即两个接触表面之间的距离可调。所述两个接触表面中的至少一个可关于与该连接路径垂直的方向对准，即，该至少一个接触表面可移动，使得从与该至少一个接触表面垂直的方向观察，该至少一个接触表面精确地位于另一个接触表面上。所述两个接触表面中的至少一个可关于两个接触表面关于彼此的角度对准，即是所述接触表面可彼此平行对准。

根据连接配置的另一个优选实施例，接触表面彼此平行。也就是说，接触表面彼此具有恒定的距离。如此，材料配合连接可良好实施，并且在该材料配合连接建立期间的应力不会产生任何扭矩。

根据连接配置的另一个实施例，界面元件中的至少一个具有不对称形状，以补偿构件之间的偏移。具有优势的是，接触表面可因此平行定位并且彼此间具有短距离。

从多个界面元件之中可选择该两个界面元件中的至少一个。因为所述界面元件中的至少一个构造成可替换元件(垫片(shim))，可根据需求使用合适形状的界面元件。

根据连接配置的另一个实施例，该不对称形状为楔形。有利的是，楔形界面元件可补偿接触表面彼此之间的倾斜定位。

根据连接配置的另一个实施例，第一界面元件具有基座和可倾斜可固定(tiltable fixable)元件，以相对于基座倾斜第一接触表面。在此情况中，该基座可以压配和/或形配连接至第一构件。该可倾斜可固定元件可相对于该基座倾斜。在该可倾斜可固定元件对准之后，其可通过该基座固定。该第一接触表面可由该第一界面元件的可倾斜可固定元件的一侧来形成。

替代地或额外地，第二界面元件具有基座和可倾斜可固定元件，以相对于该基座倾斜第二接触表面。在此情况中，该基座可以压配和/或形配连接至第二构件。该可倾斜可固定元件可相对于该基座倾斜。在该可倾斜可固定元件对准之后，其可通过该基座固定。该第二接触表面可由该第二界面元件的可倾斜可固定元件的一侧来形成。

根据连接配置的另一个实施例，第一界面元件的第一接触表面为平面的，和/或第二界面元件的第二接触表面为平面的。因为界面元件的接触表面为平面的，所以接触表面可以材料配合彼此相连。

根据连接配置的另一个实施例，第一界面元件和/或第二界面元件的可倾斜可固定元件构造成球形盖，并且其上固定该可倾斜可固定元件的构件具有对应凹槽。在此情况中，该球形盖的平面侧具有两个接触表面中的至少一个，并且该球形盖的弯曲侧可被夹住抵靠对应构件。

根据连接配置的另一个实施例，该基座具有固定元件，其夹住该可倾斜可固定元件抵靠构件用于固定。在已经对准接触表面之后，该固定元件可固定该可倾斜可固定元件。该固定元件可具有曲率。该可倾斜可固定元件可具有对应于该固定元件曲率的曲率。

根据连接配置的另一个实施例，第一构件具有承载结构，并且第二构件具有光学装置。优选地，可以承载结构和光学装置制造该连接配置。

根据连接配置的另一个实施例，光学装置具有框架和反射镜或透镜元件。该光学装置可具有用于光学元件的框架。该光学装置可为反射镜或透镜元件。

还提供具有如所述的一个或多个连接配置的光刻系统，特别是EUV光刻系统。

还描述了制造光刻系统的连接配置的方法。该方法具有下列步骤。在步骤a)，第一界面元件可释放地连接至第一构件，并且第二界面元件可释放地连接至第二构件，如此该第一界面元件的可倾斜可固定元件和/或该第二界面元件的可倾斜可固定元件可相对于该第一构件和/或该第二构件倾斜。在步骤b)，该第一界面元件的第一接触表面和/或该第二界面元件的第二接触表面对准，以补偿第一和第二构件之间的偏移。在步骤c)，该第一界面元件的可倾斜可固定元件相对于该第一构件固定，和/或该第二界面元件的可倾斜可固定元件相对于该第二构件固定。在步骤d)，该第一界面元件的第一接触表面以材料配合连接至该第二界面元件的第二接触表面。

该方法制造具有两个可释放接合部的连接配置。如此，该第一构件与该第二构件可被替换。使用一个或多个可倾斜可固定元件允许对准该第一界面元件的第一接触表面和/或该第二界面元件的第二接触表面。接着，固定所述可倾斜可固定元件。接着，通过粘性接合(adhesive bonding)，可在界面元件之间产生非常薄的材料配合连接。这导致高刚性连接配置。更进一步，执行在该第三接合部处的材料配合连接作为最终步骤。如此，可制造无应力与无变形的连接配置。

顺序并不受限于单独方法步骤所指定的。

根据该方法的另一个实施例，步骤b)包含：通过使该第一界面元件的第一接触表面与该第二界面元件的第二接触表面接触来倾斜该第一界面元件的第一接触表面，倾斜该第一界面元件的可倾斜可固定元件，如此该第一界面元件的第一接触表面与该第二界面元件的第二接触表面彼此之间具有恒定距离，和/或通过使该第二界面元件的第二接触表面与该第一界面元件的第一接触表面接触来倾斜该第二界面元件的第二接触表面，倾斜该第二界面元件的可倾斜可固定元件，使该第二界面元件的第二接触表面与该第一界面元件的第一接触表面彼此之间具有恒定距离。具有优势的是，通过可倾斜可固定元件可对准接触表面。

进一步说明制造光刻系统的连接配置的方法。该方法具有下列步骤。在步骤a)，选择和/或制造第一界面元件和第二界面元件。在步骤b)，该第一界面元件可释放地连接至第一构件。在步骤c)，该第二界面元件可释放地连接至第二构件。在步骤d)，该第一界面元件的第一接触表面以材料配合连接至该第二界面元件的第二接触表面。

该方法制造具有两个可释放接合部的连接配置。如此，该第一构件与该第二构件可被替换。通过界面元件的选择和/或制造，可提供合适的界面元件，以补偿构件之间的偏移。如此，界面元件的接触表面彼此平行对准。接着，通过粘性接合，可在界面元件之间产生非常薄的材料配合连接。这导致高刚性连接配置。更进一步，执行在第三接合部处的材料配合连接作为最终步骤。如此，可制造无应力与无变形的连接配置。

顺序并不受限于单独方法步骤所指定的。

根据该方法的另一个实施例，首先测量在该第一构件与该第二构件之间可用的空间，以能够选择具有合适形状的界面元件。具有优势的是，界面元件的接触表面在选择与连接至构件之后彼此平行对准。

根据该方法的另一个实施例，步骤a)包含：从一组界面元件中选择第一界面元件和/或第二界面元件，该组界面元件包含具有不同几何形状的多个界面元件。有利的是，合适的界面元件可从一组界面元件当中选取。

根据该方法的另一个实施例，步骤a)包含：通过研磨、铣削或切割来制造第一界面元件和/或第二界面元件。有利的是，界面元件可直接从基本形状制造。

根据该方法的另一个实施例，步骤d)包含以下步骤：在步骤d1)，第一接触表面与第二接触表面移动远离彼此，使得粘合剂可施加于两个接触表面中的至少一个上。在步骤d2)，将粘合剂施加于两个接触表面中的至少一个上。在步骤d3)，将接触表面放在一起并粘性接合。有利的是，通过该材料配合连接可制造无应力与变形的连接配置。

针对所提出设备说明的实施例与特征相应应用于所提出的方法。

本发明的其他可能实施方式也包含上面或底下关于示例实施例所描述的特征或实施例的组合(未明确提及)。在此情况中，本领域技术人员也可增加单独方面，改善或强化本发明各基本形式。

附图说明

本发明的其他有利构造与方面为从属权利要求的主题以及本发明示例性实施例的主题，如底下所描述。更进一步，在参阅附图的优选实施例帮助之下，更详细解释本发明。

图1显示EUV光刻系统的示意图；

图2A显示承载结构和光学装置的示意图；

图2B显示具有图2A中的承载结构与光学装置的连接配置的第一实施例的示意图；

图3显示连接配置的第二实施例示意图；

图4显示图3中的连接配置的详细剖面图；

图5显示用于制造图3和图4中的连接配置的设备的示意图；以及

图6显示使用5中的设备，制造图3和图4中的连接配置的方法的示意流程图。

具体实施方式

除非另外指示，否则图内相同的参考编号代表相同或功能相等的元件。更进一步，请注意，图内所呈现并不必然按照实际的比例。

图1显示包含光束成形系统102以及照明系统104和投射系统106的EUV光刻系统100的示意图。光束成形系统102、照明系统104和投射系统106分别提供于真空外壳内，其借助于抽空设备(未详细显示)抽真空。真空外壳由机械空间(未详细显示)所包围，其中提供用于机械移动或光学元件调整的设备。在该机械空间内可进一步提供电控制器等等。

光束成形系统102具有EUV光源108、准直器110以及单色器(monochromator)112。例如：可提供等离子体源或同步加速器源(其发出在EUV范围(极紫外范围)内的辐射，即是波长范围从5nm至20nm)作为EUV光源108。EUV光源108所发出的辐射首先由准直器110准直，在此由单色器112过滤出所要的操作波长。因此光束成形系统102调整EUV光源108所发出光的波长以及空间分布。由EUV光源108所产生的EUV辐射114具有相对低的空气透射率，因此将光束成形系统102内、照明系统104内以及投射系统或投影镜头106内的光束引导空间抽空。

在所呈现的示例中，照明系统104具有第一反射镜116和第二反射镜118。这些反射镜116、118可例如配置成用于光瞳成形的分面镜，并且用于引导EUV辐射114至光掩模120上。

光掩模120同样配置为反射光学元件，并且可布置在系统102、104、106之外。光掩模120具有一结构，该结构通过投射系统106以缩小比例成像于晶片122等等上。为此，投射系统106在光束引导空间内具有例如第三反射镜124和第四反射镜202。应注意，EUV光刻系统100的反射镜数量并不受限于所呈现的数量，可提供更多或更少反射镜。更进一步，反射镜的前侧一般都为弯曲的，用于光束成形。

图2A举例显示第四反射镜202。第四反射镜202安置于框架204上(反射镜支撑框架)，第四反射镜202和框架204可一起形成光学装置206。框架204具有楔形突出物208-1和突出物208-2。在此情况中，此楔形突出物208-1代表框架204的任意形状接触元件。与楔形突出物208-1相对的是第一界面元件210-1，并且类似地与突出物208-2相对的是第一界面元件210-2。第一界面元件210-1、210-2分别以可释放的连接216，例如压配连接和/或形配连接，尤其是螺纹连接(screwing)，固定在承载结构212上。在楔形突出物208-1与相对的第一界面元件210-1之间，并且在突出物208-2与相对的第一界面元件210-2之间，可分别看见间隙214。间隙214代表第二界面元件218和组装间隙所需的空间。

图2B显示具有图2A中承载结构212和光学装置206的连接配置200A的第一实施例。间隙214以楔形第二界面元件218-1并且以第二界面元件218-2封闭。以可释放连接，在第一接合部220处，将与楔形突出物208-1相对的第一界面元件210-1与承载结构212连接。框架204的楔形突出物208-1在第二接合部222处可释放地连接至楔形第二界面元件218-1。与楔形突出物208-1相对的第一界面元件210-1具有第一接触表面226，其面向第二界面元件218-1的方向。楔形第二界面元件218-1具有第二接触表面228，其面向第一界面元件210-1的方向。第一界面元件210-1和楔形第二界面元件218-1以材料配合在第三接合部224处彼此相连，该第三接合部224位于第一接触表面226与第二接触表面228之间。

第一接触表面226与第二接触表面228之间的直接连接路径或间隙尺寸(即是两接触表面226、228之间的距离)，可受到不同厚度界面元件210-1、218-1的选择的影响。关于与直接连接路径垂直的方向，执行两接触表面226、228相对于彼此的调整，和/或利用选择合适的界面元件210-1、218-1，来执行同样大的接触表面226、228的选择。两接触表面226、228关于彼此的角度会受到楔形界面元件218-1的角度选择的影响，为此，可从多个具有不同楔形角度的楔形界面元件当中选择界面元件218-1。通过界面元件的机器处理，例如研磨，可形成楔形界面元件218-1。

类似地，突出物208-2、第二界面元件218-2、与突出物208-2相对的第一界面元件210-2和承载结构212可彼此相连。

在图2B中，显示具有两突出物208-1、208-2的连接配置200A。作为替代，也可有多个突出物208或只有一个突出物208。在此情况中，优选为三个突出物分布在连接区域上。在进一步替代方案中，并无突出物208。在此情况中，第二界面元件218可释放地直接连接至框架204。

因为承载结构212和第一界面元件210以及具有突出物208的框架204和第二界面元件218可释放地彼此相连，可取代承载结构212和光学装置206。因为间隙214可以具有第二界面元件218的精确配件封闭，第一接触表面226和第二接触表面228可彼此平行对准。这允许非常薄的第三连接点224，进而导致高刚性连接配置200A。

图2B中显示的第二界面元件218-1为楔形的。作为替代，若需要，可以具有任意所要不对称或对称形状的界面元件来取代楔形第二界面元件218-1或第一界面元件210-1，若此第一接触表面226可因此平行对准第二接触表面228的话。

图3显示具有承载结构212和光学装置206的连接配置200B的第二实施例。光学装置206具有图1的第四反射镜202和框架204。承载结构212在第一接合部220处可释放地连接至第一界面元件210。光学装置206通过框架204在第二接合部222处可释放地连接至第二界面元件218。第一界面元件210具有第一接触表面226，其面向第二界面元件218的方向。第二界面元件218具有第二接触表面228，其面向第一界面元件210的方向。第一界面元件210和第二界面元件218以材料配合在第三接合部224处彼此相连，该第三接合部位于第一接触表面226与第二接触表面228之间。

第二界面元件218可相对于光学装置206旋转。如此，第二接触表面228可与第一接触表面226平行对准。那么，第二界面元件218可固定在光学装置206上，如此就不可能旋转。接触表面226、228的平行对准允许非常薄的第三接合部224，进而导致高刚性连接配置200B。因为承载结构212和第一界面元件210以及光学装置206的框架204和第二界面元件218可释放地彼此相连，可取代承载结构212和光学装置206。

第二界面元件218可具有基座(图3中未显示)和可倾斜可固定元件300。该基座可释放地连接至光学装置206的框架204。第二界面元件218的可倾斜可固定元件300可包含第二接触表面228。那么，第二接触表面228可相对于该基座倾斜并相对于框架204倾斜。在对准第二接触表面228之后，可倾斜可固定元件300通过该基座固定在框架204上。

承载结构212优选由陶瓷构成。框架204也可由陶瓷或金属构成。界面元件210、218优选包含陶瓷或金属。在金属的情况中，优选使用殷钢(Invar)，即具备非常低热膨胀行为的铁镍合金。在第三接合部224处可用多成分粘合剂进行粘性接合。

图2A、图2B和图3分别显示图1中EUV光刻系统的第四反射镜202。不过，连接配置200A、200B可用于EUV光刻系统100的任何其他反射镜，或用于EUV光刻系统100的另一个光学装置206。

图4显示图3中仅示意性描绘的连接配置200B的详细剖面图。第一界面元件210以螺丝钉316可释放地固定至承载结构212。在第一界面元件210与承载结构212之间可插入轴向隔离物314。第二界面元件218具有可倾斜可固定元件300和基座302，如图4中可见，可倾斜可固定元件300构造为球形盖。轴向隔离物314补偿最短连接路径，而可倾斜可固定元件300确保倾斜补偿。作为替代，界面元件210、218也可构造成多个部件，以满足多种不同功能。

光学装置206具有接触元件304，用来接触可倾斜可固定元件300。基座302可通过螺帽308可释放地固定至光学装置206，或其框架204。在螺帽308与接触元件304之间可有垫圈310。接触元件304在其面向可倾斜可固定元件300的一侧上具有对应的凹槽。当螺帽308被松开时，可倾斜可固定元件300可倾斜并受该凹槽引导。当螺帽被旋紧时，基座302的固定元件312压靠可倾斜可固定元件300，如此后者在第二接合部222处以压配抵靠接触元件304而被夹住。那么，可倾斜可固定元件300固定在其位置。通过可倾斜可固定元件300的倾斜，第一接触表面226和第二接触表面228可彼此平行对准。接着，在第三接合部224处执行第一接触表面226与第二接触表面228之间的材料配合连接。

光学装置可具有径向或热分离器306，用于热补偿。径向或热分离器306可包含金属，尤其是殷钢(Invar)。图4中所示的热分离器306包含接触元件304、连接腹板(web)318和体积元件320。体积元件320通过粘合剂330粘性接合至光学装置206或其框架204。

图4中呈现的基座302具有凸缘中空圆筒的形状。基座302延伸通过可倾斜可固定元件300的开口322。固定元件312由该中空圆筒的凸缘所形成。固定元件312，即中空圆筒的凸缘，没入可倾斜可固定元件300的凹槽324中。当螺帽308已旋紧时，该固定元件的下侧326压靠可倾斜可固定元件300的凹槽324的上侧328。可倾斜可固定元件300因此压靠元件304，并因此固定。

选择性地或额外地，第一界面元件210可具有基座302和可倾斜可固定元件300。那么，第一接触表面226相对于承载结构212倾斜。

在界面元件210、218的球形几何形状情况中，对应的接触元件304可具有盘状球形几何形状。

优选地，第一和第二接触表面226、228为平面的。那么，可实现薄的第三接合部。

作为替代，界面元件210、218可具有可倾斜可固定元件，其中倾斜机构位于界面元件内侧，并且如图3和图4中所见，并不通过邻接构件206、212所实现。那么，可以球窝接头或以旋转接头来实现该倾斜机构。

图5显示制造图3和图4中连接配置200B的设备416。制造连接配置200B的设备416具有第一定位装置400和第二定位装置410，第一定位装置400保持承载结构212。通过定位装置400，可在x、y和z方向上移动承载结构212。更进一步，定位装置400具有第一旋转或球窝接头402。因此，承载结构212的旋转404是可能的。第二定位装置410保持光学装置206的框架204。通过定位装置，可在x、y和z方向上移动框架204。更进一步，定位装置410具有第二旋转或球窝接头412。因此，框架204的旋转414是可能的。

承载结构212和框架204在安装位置可通过定位装置400、410对准，即在后续使用所需的对准状态下。在此安装位置，连接配置200B组装时并无应力与变形。

图6显示使用图5中设备416制造根据图3和图4中的连接配置200B的方法。在第一步骤S1，第一界面元件210可释放地连接至承载结构212，并且第二界面元件218可释放地连接至光学装置206的框架204。在此情况中，第二界面元件218的可倾斜可固定元件300相对于光学装置206的框架204是可倾斜的。

在第二步骤S2，第二界面元件218的第二接触表面228对准，以补偿承载结构212与光学装置206的框架204之间的偏移。第一接触表面226和第二接触表面228会接触。因此第二界面元件218的第二接触表面228倾斜。第二界面元件218的可倾斜可固定元件300因此同样倾斜。在接触之后，接触表面226、228彼此之间具有恒定距离，即是它们平行对准。

在第三步骤S3，第二界面元件218的可倾斜可固定元件300相对于光学装置206的框架204固定。对准之后，通过基座302的固定元件312抵靠光学装置206的接触元件304或其框架204，夹住第二界面元件218的可倾斜可固定元件300。因此，固定可倾斜可固定元件300。

在第四步骤S4，已经平行对准的第一和第二接触表面226、228现在于第三接合部224处以材料配合连接。为此，第一和第二接触表面226、228彼此远离，直到粘合剂可施加于接触表面226、228上。在施加粘合剂之后，将接触表面226、228放回在一起并彼此粘性接合。

作为替代，可倾斜可固定元件300也可布置在第一界面元件210中。更进一步，界面元件210、218可具有可倾斜可固定元件300。

选择性地或额外地，在前两个步骤之后，可测量承载结构212与光学装置260之间可用的空间。借助于此测量的结果，可选择具有合适不对称或对称形状以及正确密度的界面元件210、218，如关于图2B的示例所描述的。

光刻系统100不需要为EUV光刻系统，而是也可使用不同波长的光(例如通过ArF准分子激光器的193nm)。更进一步，也可使用透镜元件取代上述反射镜，尤其是上述的投射系统106。

虽然已经借助于示例实施例说明本发明，不过可用许多方式来修改。

附图标记列表

100 EUV光刻系统

102 光束成形系统

104 照明系统

106 投射系统

108 EUV光源

110 准直器

112 单色器

114 EUV辐射

116 第一反射镜

118 第二反射镜

120 光掩模

122 晶片

124 第三反射镜

200 连接配置

200A 根据第一实施例的连接配置

200B 根据第二实施例的连接配置

202 第四反射镜

204 框架

206 光学装置

208 框架上的突出物

208-1 框架上的楔形突出物

208-2 框架上的突出物

210 第一界面元件

210-1 与楔形突出物相对的第一界面元件

210-2 与该突出物相对的第一界面元件

212 承载结构

214 间隙

216 可释放连接

218 第二界面元件

218-1 楔形第二界面元件

218-2 第二界面元件

220 第一接合部

222 第二接合部

224 第三接合部

226 第一接触表面

228 第二接触表面

300 可倾斜可固定元件

302 基座

304 接触元件

306 径向或热分离器

308 螺帽

310 垫圈

312 固定元件

314 轴向隔离物

316 螺丝钉

318 连接腹板

320 体积元件

322 可倾斜可固定元件的开口

324 可倾斜可固定元件的凹槽

326 固定元件的下侧

328 可倾斜可固定元件的凹槽的上侧

330 粘合剂

400 第一定位装置

402 第一旋转或球窝接头

404 承载结构的旋转

410 第二定位装置

412 第二旋转或球窝接头

414 框架的旋转

416 制造连接配置的设备

418 最短连接路径

420 与最短连接路径垂直的方向

Claims (19)

1.一种光刻系统(100)的连接配置(200A、200B)，包含：

第一构件(212)，

第二构件(206)，

第一界面元件(210)，其在第一接合部(220)处可释放地连接至该第一构件(212)，以及

第二界面元件(218)，其在第二接合部(222)处可释放地连接至该第二构件(206)，

其中该第一界面元件(210)具有第一接触表面(226)，该第二界面元件(218)具有第二接触表面(228)，并且在所述两个接触表面(226、228)在第三接合部(224)处连接之前，所述两个接触表面(226、228)中的至少一个构造为对准和/或选择为补偿该第一构件(212)与该第二构件(206)之间的偏移，

其中该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)与该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)在该第三接合部(224)处通过材料配合连接来连接。

2.如权利要求1的连接配置，其中所述第一和第二界面元件(210、218)的两个接触表面(226、228)中的至少一个能够关于最短连接路径(418)对准，或关于与该最短连接路径垂直的方向(420)对准，和/或关于所述两个接触表面(226、228)彼此相关角度对准。

3.如权利要求1或2的连接配置，其中所述接触表面(226、228)彼此平行。

4.如权利要求1至3中任一项的连接配置，其中所述界面元件(210、218)中的至少一个具有不对称形状(218-1)，以补偿所述构件(206、212)之间的偏移。

5.如权利要求4的连接配置，其中该不对称形状(218-1)为楔形。

6.如权利要求1至5中任一项的连接配置，其中该第一界面元件(210)具有基座(302)和可倾斜可固定元件(300)，以相对于该基座(302)倾斜该第一接触表面(226)，和/或其中该第二界面元件(218)具有基座(302)和可倾斜可固定元件(300)，以相对于该基座(302)倾斜该第二接触表面(228)。

7.如权利要求1至6中任一项的连接配置，其中该第一界面元件(210)的该第一接触表面(226)为平面的，和/或该第二界面元件(218)的该第二接触表面(228)为平面的。

8.如权利要求6或7的连接配置，其中该第一界面元件(210)和/或该第二界面元件(218)的可倾斜可固定元件(300)构造成球形盖，并且其上固定该可倾斜可固定元件(300)的构件(206、212)具有对应的凹槽。

9.如权利要求6至8中任一项的连接配置，其中该基座(302)具有固定元件(312)，其夹住该可倾斜可固定元件(300)抵靠所述构件(206、212)用于固定。

10.如权利要求1至9中任一项的连接配置，其中该第一构件具有承载结构(212)，并且该第二构件具有光学装置(206)。

11.如权利要求10的连接配置，其中该光学装置(206)具有框架(204)和反射镜(202)或透镜元件。

12.一种具有如权利要求1至11中任一项的一个或多个连接配置(200A、200B)的光刻系统，尤其是EUV光刻系统(100)。

13.一种制造光刻系统(100)的连接配置(200A、200B)的方法，包含以下步骤：

a)可释放地连接第一界面元件(210)至第一构件(212)，以及可释放地连接第二界面元件(218)至第二构件(206)，如此该第一界面元件(210)的可倾斜可固定元件(300)和/或该第二界面元件(218)的可倾斜可固定元件(300)相对于该第一构件(212)和/或该第二构件(206)是可倾斜的，

b)对准该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)和/或该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)，以补偿所述第一和第二构件(206、212)之间的偏移，

c)该第一界面元件(210)的可倾斜可固定元件(300)相对于该第一构件(212)固定，和/或该第二界面元件(218)的可倾斜可固定元件(300)相对于该第二构件(206)固定，以及

d)将该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)材料配合连接至该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)。

14.如权利要求13的方法，其中步骤b)包含：

通过使该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)与该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)接触，倾斜该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)，该第一界面元件(210)的可倾斜可固定元件(300)倾斜，使得该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)与该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)彼此具有恒定的距离，

和/或

通过使该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)与该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)接触，倾斜该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)，该第二界面元件(218)的可倾斜可固定元件(300)倾斜，使得该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)与该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)彼此具有恒定的距离。

15.一种制造光刻系统(100)的连接配置(200A、200B)的方法，包含以下步骤：

a)选择和/或制造第一界面元件(210)和第二界面元件(218)，

b)可释放地连接该第一界面元件(210)至第一构件(212)，

c)可释放地连接该第二界面元件(218)至第二构件(206)，

d)将该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)材料配合连接至该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)。

16.如权利要求13至15中任一项的方法，其中在步骤a)之前，测量在该第一构件(212)与该第二构件(206)之间可用的空间，以能够选择具有合适形状(218-1)的界面元件(210、218)。

17.如权利要求15或16的方法，其中步骤a)包含：

从一组界面元件(210、218)中选择该第一界面元件(210)和/或该第二界面元件(218)，该组界面元件(210、218)包含具有不同几何形状的多个界面元件。

18.如权利要求15至17中任一项的方法，其中步骤a)包含：

通过研磨、铣削或切割，制造该第一界面元件(210)和/或该第二界面元件(218)。

19.如权利要求13至18中任一项的方法，其中步骤d)包含：

d1)移动该第一接触表面(226)与该第二接触表面(228)远离彼此，使得粘合剂能够施加于所述两个接触表面(226、228)中的至少一个上，

d2)将粘合剂施加于所述两个接触表面(226、228)中的至少一个上，以及

d3)将所述接触表面(226、228)放在一起并粘性接合所述接触表面。