CN106890816A - 真空泵的清洗方法 - Google Patents

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陈儒
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Abstract

本发明的真空泵的清洗方法,包括:调节真空泵的真空度为60~80kpa,输入N-甲基吡咯烷酮(NMP)清洗液,清洗第一预定时长;排掉所述NMP清洗液,调节真空泵的真空度为30~40kpa,输入乙醇或丙酮溶液,清洗第二预定时长;及排掉所述乙醇或丙酮溶液,调节真空泵的真空度为40~60kpa,输入钝化剂,钝化第三预定时长。本发明能高效清洗真空泵内的附着污物,减少拆卸对机器带来的损害和对环境的污染,并延长机器的使用寿命,适于工业推广。

Description

真空泵的清洗方法
技术领域
本发明涉及真空泵清洗领域,尤其涉及一种改进型的真空泵的清洗方法。
背景技术
工业生产中普遍使用的真空泵为油环式真空泵,其采用变压器油作为工作液。其优点是真空度因油的饱和蒸汽压较低而得到较高的提升,可达绝压6.7mbar。然而,在工作过程中,例如在抽除污染较大的气体时,或在某些特殊工作场合时,气体中所包含的助剂、催化剂在冷却后变为不溶解于水的粘稠胶状物,附着在真空泵的叶片和叶轮上,从而造成真空度下降影响真空泵的性能。因此,每隔一段时间须拆开真空泵清洗叶片和叶轮来进行清洗。此频繁的拆卸容易造成真空泵磨损和真空度下降。
故此,亟需一种改进的清洗方法以克服上述的缺陷,减少拆卸对机器带来的损害和对环境的污染,并延长机器的使用寿命。
发明内容
本发明的目的在于提供一种真空泵的清洗方法,其能高效清洗真空泵内的附着污物,减少拆卸对机器带来的损害和对环境的污染,并延长机器的使用寿命,适于工业推广。
为实现上述目的,本发明的真空泵的清洗方法,包括:调节真空泵的真空度为60~80kpa,输入N-甲基吡咯烷酮(NMP)清洗液,清洗第一预定时长;排掉所述NMP清洗液,调节真空泵的真空度为30-40kpa,输入乙醇或丙酮溶液,清洗第二预定时长;及排掉所述乙醇或丙酮溶液,调节真空泵的真空度为40-60kpa,输入钝化剂,钝化第三预定时长。
与现有技术相比,本发明的清洗方法通过在真空泵的运行状态下调节真空度,并采用NMP清洗液、乙醇或丙酮溶液进行清洗,高效清洗真空泵内的附着污物,减少拆卸对机器带来的损害和对环境的污染,在清洗后采用钝化剂进行钝化处理从而延长机器的使用寿命,适于工业上广泛使用。
较佳地,所述NMP清洗液的温度为40~50℃,所述第一预定时长为0.5~1小时。
较佳地,所述乙醇或丙酮溶液的温度为20~25℃,所述第二预定时长为10~20分钟。较佳地,所述第三预定时长为30~60分钟,
较佳地,所述钝化剂为硝酸及氢氟酸混合溶液,并加入缓蚀剂,所述混合溶液与所述缓蚀剂的浓度比为5:1,所述硝酸浓度为20~50%。
较佳地,所述缓蚀剂为Lan-826缓蚀剂。
作为一个优选实施例,在输入所述乙醇或丙酮溶液之前还包括:调节真空泵的真空度为40~60kpa,并用去离子水冲洗真空泵。
作为另一优选实施例,在输入所述钝化剂之前还包括:调节真空泵的真空度为100~120kpa,并用去离子水排挤乙醇或丙酮废液。
附图说明
图1为本发明真空泵的清洗方法的一个实施例的流程图。
图2为本发明真空泵的清洗方法的另一实施例的流程图。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明真空泵的清洗方法作进一步说明,但不因此限制本发明。
本发明真空泵的清洗方法在真空泵运行的状态下进行,从而高效清洗真空泵内的结垢、附着物等。本发明中采用的清洗液由一输送管路输送,并连接真空本工作液的输送管路的入口。
如图1所示,本发明的第一个实施例包括以下步骤:
101,NMP清洗。
102,乙醇或丙酮清洗。
103,钝化。
具体地,在步骤101中,真空泵处于工作状态,真空度为60~80kpa,NMP清洗液的温度维持在40~50℃,清洗时长为0.5~1小时,较佳为40分钟。由于NMP清洗液具有弱碱性,对油脂具有腐蚀性,故此,真空泵内的粘稠胶状物,如油脂、防锈油等可被有效清洗。在步骤102中,调节真空泵的真空度为30~40kpa,根据粘稠胶状物的受热熔化粘稠度降低的物理特性,输入的清洗液为乙醇或者是丙酮溶液,较佳地,乙醇的温度为25~30℃,丙酮的温度为20~25℃。通过乙醇或者丙酮的清洗,可清洗大部分油脂和胶脂。该清洗步骤的清洗时间为10~20分钟。在步骤103中,加入钝化剂进行钝化以延缓真空泵的结垢或被腐蚀过程。
本发明以此方式,能高效清洗真空泵内的附着污物,减少拆卸对机器带来的损害和对环境的污染,并延长机器的使用寿命。
图2展示了本发明的优选实施例的流程图,其包括以下步骤:
201,NMP清洗。此清洗过程中,真空泵的真空度为60~80kpa,NMP清洗液的温度维持在40~50℃,清洗时长为0.5~1小时,较佳为40分钟。由于NMP清洗液具有弱碱性,对油脂具有腐蚀性,故此,真空泵内的粘稠胶状物,如油脂、防锈油等可被有效清洗。
202,去离子水冲洗。在此步骤中,NMP清洗液被排掉后,调节真空泵的真空度为40~60kpa,继而输入去离子水冲洗NMP残液。去离子水的温度控制为80~100℃,时长约1小时,直至pH值小于或等于9,水质澄清。此去离子水清洗过程,为后续的乙醇或丙酮清洗提供了良好清洗基础,以保证更佳的清洗效果。
203,乙醇或丙酮清洗。在此步骤中,须调节真空泵的真空度为30~40kpa,并控制乙醇或丙酮溶剂的温度20~25℃,清洗时间为10~20分钟为佳。
204,去离子水冲洗。在此步骤中,调节真空泵的真空度为100~120kpa,用去离子水排挤乙醇或丙酮废液,目的是为了表面空气进入真空泵内从而发生严重腐蚀。其中,须保证去离子水较大流速。去离子水的温度控制为80~100℃,时长约30分钟。
205,钝化处理。在此步骤中,钝化剂为硝酸及氢氟酸混合溶液,并加入缓蚀剂Lan-826,酸混合溶液与缓蚀剂的浓度比为5:1,其中硝酸浓度为20~50%,钝化时长为30~60分钟。特别地,在钝化过程中,真空泵内的真空度调节为40~60kpa。由此,经过钝化处理后的清洗泵的使用寿命更长,防腐蚀等能力更佳。
因此,本发明的清洗方法通过在真空泵的运行状态下调节真空度,并采用NMP清洗液、乙醇或丙酮溶液进行清洗,高效清洗真空泵内的附着污物,减少拆卸对机器带来的损害和对环境的污染,在清洗后采用钝化剂进行钝化处理从而延长机器的使用寿命,适于工业上广泛使用。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,因此依本发明申请专利范围所作的等同变化,仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种真空泵的清洗方法,包括:
调节真空泵的真空度为60~80kpa,输入N-甲基吡咯烷酮(NMP)清洗液,清洗第一预定时长;
排掉所述NMP清洗液,调节真空泵的真空度为30~40kpa,输入乙醇或丙酮溶液,清洗第二预定时长;及
排掉所述乙醇或丙酮溶液,调节真空泵的真空度为40~60kpa,输入钝化剂,钝化第三预定时长。
2.如权利要求1所述的真空泵的清洗方法,其特征在于:所述NMP清洗液的温度为40~50℃,所述第一预定时长为0.5~1小时。
3.如权利要求1所述的真空泵的清洗方法,其特征在于:所述乙醇或丙酮溶液的温度为20~25℃,所述第二预定时长为10~20分钟。
4.如权利要求1所述的真空泵的清洗方法,其特征在于:所述钝化剂为硝酸及氢氟酸混合溶液,并加入缓蚀剂,所述混合溶液与所述缓蚀剂的浓度比为5:1,所述硝酸浓度为20~50%。
5.如权利要求4所述的真空泵的清洗方法,其特征在于:所述缓蚀剂为Lan-826缓蚀剂。
6.如权利要求1所述的真空泵的清洗方法,其特征在于:在输入所述乙醇或丙酮溶液之前还包括:调节真空泵的真空度为40~60kpa,并用去离子水冲洗真空泵。
7.如权利要求1所述的真空泵的清洗方法,其特征在于:在输入所述钝化剂之前还包括:调节真空泵的真空度为100~120kpa,并用去离子水排挤乙醇或丙酮废液。
8.如权利要求1所述的真空泵的清洗方法,其特征在于:所述第三预定时长为30~60分钟。
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