CN106864807B - 载带行走装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种载带行走装置，尤其是一种无须更换零件便能够应对不同宽度的载带的载带行走装置。载带行走装置(1)使等间隔地形成有用于收纳电子零件(104)的袋体(101)的载带(100)沿长边方向行走，包括：一对侧引导件(81a、81b)，通过设在夹着载带(100)的两侧，从而形成长边方向的行走路径，朝接近及远离载带(100)侧缘的方向移动；以及固定装置(82)，将一对侧引导件(81a、81b)阶段性地固定在行走路径成为与载带(100)的多种宽度对应的宽度的位置。

Description

载带行走装置

技术领域

本发明涉及一种用于将电子零件收容至载带(carrier tape)中的载带行走装置。

背景技术

半导体元件等电子零件经过切割(dicing)、安装(mounting)、接合(bonding)及密封(sealing)等各装配工序而分离成单片之后，进行各种检查等工序。该工序是利用一般被称作测试分选机(test handler)的电子零件检查装置来进行。其是使主平台(main table)旋转，利用吸嘴等保持部件来保持搬送部的电子零件，并搬送至各检查装置进行检查。检查完毕的电子零件在编带(taping)装置中被收容至载带的袋体(pocket)中。

编带装置是使载带间歇性地朝向卷绕载带的卷盘(reel)行走的装置(例如参照专利文献1)。载带沿着长边方向而压纹(emboss)加工有袋体。在编带装置使载带停止的期间，操作器(manipulator)等将电子零件放入袋体中。编带装置将密封带(seal tape)重合并压接至载带，由此来对被收容于袋体中的电子零件进行密封。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2007-137426号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

如上所述的编带装置具有引导件(guide)部，该引导件部从长边方向的两侧缘来引导载带的行走。该引导件部是配合载带的宽度而制作。但是，标准化的载带存在不同的宽度，例如8mm、12mm、16mm、24mm。

于是，当使用不同宽度的载带时，必须更换为与各宽度相符的引导件部，或者更换每个编带装置。因此，每当将要处理的载带切换为宽度不同者时，需要较多的作业时间。而且，为了与宽度不同的载带对应的引导件部，需要分别准备大量专用零件，从而成本变高，并且必须确保保管场所。

本发明是为了解决如上所述的问题而提出，其目的在于提供一种无须更换零件便能够应对不同宽度的载带的载带行走装置。

[解决问题的手段]

为了解决所述问题，本发明是一种载带行走装置，使等间隔地形成有用于收纳电子零件的袋体的载带沿着长边方向行走，所述载带行走装置包括：一对侧引导件(sideguide)，通过设于夹着所述载带的两侧，从而形成所述长边方向的行走路径，朝接近及远离所述载带侧缘的方向移动；以及固定装置，将一对所述侧引导件阶段性地固定于所述行走路径成为与所述载带的多种宽度对应的宽度的位置。

也可为，在所述侧引导件的至少一者上设有辅助引导件，该辅助引导件介隔在所述侧引导件与所述载带之间，接触至行走的所述载带的侧缘以引导所述载带的移动。

也可为，所述辅助引导件具有引导件构件，所述引导件构件被弹性支撑于所述侧引导件，接触至行走的所述载带的侧缘而在宽度方向上使位置位移。

也可为，所述引导件构件接触至行走的所述载带的侧缘而转动。

也可为，所述固定装置包括：固定台，相对于基台而不动地设置；可动台，设于与所述固定台重合的位置，与所述侧引导件一同移动；多个第1锁定孔，设于所述固定台，且形成在相对于所述行走路径中央线的距离不同的位置；第2锁定孔，设于所述可动台，且以与所述第1锁定孔相同的数量而形成在与所述行走路径平行的一直线上；以及固定件，通过选择性地插通在所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的任一组，从而固定所述侧引导件。

也可为，所述固定装置包括：固定台，相对于基台而不动地设置；可动台，设于与所述固定台重合的位置，与所述侧引导件一同移动；多个第1锁定孔，设于所述可动台，且形成在相对于所述行走路径中央线的距离不同的位置；第2锁定孔，设于所述固定台，且以与所述第1锁定孔相同的数量而形成在与所述行走路径平行的一直线上；以及固定件，通过选择性地插通在所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的任一组，从而固定所述侧引导件。

也可为，所述第1锁定孔或所述第2锁定孔设有标识，该标识用于识别对应于所述载带的多种宽度中的哪一种。也可为，所述第1锁定孔及所述第2锁定孔的直径为可目测彼此的重合程度的大小。也可为，所述第1锁定孔及所述第2锁定孔为贯穿孔。

也可为，所述固定件的一部分插通在第1锁定孔及第2锁定孔中的任一组时，露出于外部。

也可为，在所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的至少一者的内侧面，形成有第1锥形(taper)部，所述第1锥形部具有相对于垂直方向而倾斜的面，在所述固定件的至少一部分，设有第2锥形部，所述第2锥形部具有沿着所述第1锥形部的倾斜的面。也可为，所述第1锥形部及所述第2锥形部为圆锥形状。

也可包括：限制部，对插通的所述固定件的位置的位移进行限制。也可为，所述限制部是由所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的至少一者与所述固定件的一部分形成的、彼此嵌合的嵌合部。

也可包括：直线引导件，引导所述侧引导件的移动。

也可包括：底部(bottom)引导件，设于与在所述行走路径上行走的所述载带的底面对置的位置，朝接近及远离所述载带的方向移动。也可包括：升降装置，使所述底部引导件升降。也可为，在所述底部引导件上设有抽吸部，所述抽吸部经由形成于所述袋体底面的抽吸孔来抽吸电子零件，所述底部引导件的宽度短于所述载带的宽度，且在底部引导件与一对所述侧引导件之间，形成有允许所述侧引导件的宽度方向的移动的间隔。

本发明的编带装置具有载带行走装置，且包括：链轮(sprocket)，架设所述载带而使其行走；马达(motor)，使所述链轮旋转；卷盘，卷绕有粘贴于所述载带的密封带；一对块体(block)，相对于所述载带的行走路径可接触或远离地移动，夹着从所述卷盘抽出的所述密封带与所述载带，将所述密封带粘贴于所述载带；以及按压辊(roller)，相对于所述载带的行走路径可接近或远离，通过从所述卷盘抽出所述密封带，使所述按压辊接近所述载带的行走路径，并使一对所述块体接近，从而利用所述密封带来密封所述载带。

[发明的效果]

根据本发明，使一对侧引导件的间隔一致于载带的宽度来移动并通过固定装置予以固定，从而无须更换零件便能够应对不同宽度的载带。

附图说明

图1是具有载带行走装置的编带装置的外观立体图。

图2是表示载带的行走装置的结构与动作的示意图。

图3是载带行走装置的局部放大立体图。

图4是载带行走装置的局部放大立体图。

图5(A)及图5(B)是表示侧引导件间的载带的行走方式的平面图。

图6(A)至图6(D)是表示固定装置的第1锁定孔与第2锁定孔的对位的平面图。

图7(A)至图7(D)是表示固定装置的固定件的插入方式的示意图。

图8(A)至图8(D)是表示与载带的宽度与厚度相应的侧引导件及底部引导件的移动的示意图。

图9(A)及图9(B)是表示适用了锥形面的固定装置的方式的剖面图。

图10(A)及图10(B)是表示适用了限制部的固定装置的方式的剖面图。

图11(A)及图11(B)是表示适用了限制部的固定装置的另一方式的剖面图。

[附图标记的说明]

1：载带行走装置

2：密封部

3：密封带卷盘

6：交接位置

7：控制装置

8：引导件机构

11：基台

21：加热块

22：基块

31、51、52、851：马达

32：按压辊

41、42：链轮

43：突起

51a、52a：正时皮带

61：保持装置

81、81a、81b：侧引导件

82：固定装置

83：辅助引导件

84：底部引导件

85：升降装置

100：载带

101：袋体

101a：抽吸孔

102：密封带

104：电子零件

200：卷盘

811：引导件面

815：直线引导件

815a：导轨

815b：滑块

821：固定台

822、822a～822d：第1锁定孔

822p、824p、825e：凹部

822q、824q、825d：凸部

822t、824t：第1锥形部

823：可动台

824、824a～824d：第2锁定孔

825：固定件

825a：插入部

825b：头部

825t：第2锥形部

826：限制部

831：引导件构件

832：转动板

833：槽

841：抽吸部

842：抽吸槽

843：进气孔

852：传递皮带

853：滑轮

854：滚珠丝杠

855：移动体

C：行走路径的中央线

D、d1～d4：行走路径的宽度

具体实施方式

参照附图来详细说明本发明的实施方式的载带行走装置。

[结构]

(基本结构)

参照图1及图2来说明实施方式的载带行走装置1的基本结构。图1是载带行走装置1的外观立体图，图2是表示载带行走装置1的结构的示意图。载带行走装置1构成在基台11上，该基台11是固定地搭载在设置于设置面的基座上。载带行走装置1使用于将电子零件104收容于袋体101中的载带100沿长边方向行走。

该载带100的行走路径形成在后述的引导件机构8中的一对侧引导件81a、81b之间。行走路径的宽度是由比载带100稍宽的侧引导件81a、81b的间隔来规定。而且，行走路径夹着密封部2而分为行走方向的上游侧的行走路径前半部分与下游侧的行走路径后半部分。

本实施方式的载带行走装置1作为编带装置发挥功能。载带行走装置1具备卷绕密封带102的密封带卷盘3与密封部2，作为编带装置，一边使载带100朝向卷盘200侧行走，一边从密封带卷盘3抽出密封带102，并将密封带102粘贴至载带100。

该载带行走装置1具备两只链轮41、42。两台链轮41、42是沿着周面突设有突起43的同直径的圆盘。链轮41、42分别经由正时皮带(timing belt)51a、52a而与对应的马达51、52的输出轴连接，且以相同的周方向、相同的旋转量及相同的时序来间歇旋转。

在两链轮41、42上架设有载带100。在载带100上，在带单侧沿着长边方向而等间隔地开设有链轮孔。两链轮41、42的突起43啮合于该链轮孔。链轮41、42将突起43卡扣至链轮孔而旋转，从而使载带100沿长边方向行走。行走中的载带100的宽度方向的位置基本上是由突起43来规定。所谓宽度方向，是指与载带100的长边方向正交的水平方向。该突起43具有圆形形状，且被加工成渐开线(involute)形状。突起43的直径稍小于载带100的链轮孔。

两链轮41、42排列于同一铅垂面上，旋转轴平行且为相同高度。因此，载带100在将延伸方向保持为水平的状态下，朝卷盘200侧行走。

马达51、52的旋转间距(pitch)对应于袋体101的配置间隔。载带100沿长边方向等间隔地具有经压纹加工而成的袋体101。即，马达51、52使袋体101停止在共同的停止位置。共同的停止位置中的一处被设定为电子零件104的交接位置6。

在交接位置6的正上方，可升降地存在后述的保持装置61。载带行走装置1使袋体101依序对准交接位置6，从而作为编带装置，使脱离保持装置61的电子零件104收容至载带100中。

密封部2如图2所示，具备加热块(heater block)21与基块(base block)22。加热块21与基块22夹着载带100的行走路径而相向配置。加热块21从载带100的行走路径的上方按压载带100，基块22从载带100的行走路径的下方按压载带100。加热块21相对于载带100的行走路径可接触或远离地移动。

密封带102是与载带100重合地被供给至密封部2。加热块21与基块22通过包夹来压接密封带102与载带100，加热块21进而对密封带102与载带100的压接面供给热。

密封带卷盘3作为编带装置，将密封带102朝向载带100抽出。该密封带卷盘3较载带100的行走路径而位于上方，具备马达31与按压辊32。

马达31经由正时皮带来使密封带卷盘3旋转。按压辊32位于载带100的行走路径附近，将密封带102引导向载带100。

如图2所示，按压辊32相对于载带100的行走路径可接近或远离地移动。即，按压辊32接近载带100的行走路径，将密封带102按压至载带100。

(引导件机构)

接下来，除了参照图1及图2以外，还参照图3至图7(A)至图7(D)来说明如上所述的载带行走装置1所具有的引导件机构8。引导件机构8是引导载带100的行走的机构。引导件机构8具有侧引导件81、固定装置82及底部引导件84。

(侧引导件)

参照图3至图5(A)及图5(B)来说明侧引导件81。图3是从引导件机构8中的其中一个侧面侧观察的放大立体图，图4是从另一个侧面侧观察的放大立体图。图5(A)及图5(B)是表示侧引导件间的载带的行走方式的平面图。

如图3、图4所示，侧引导件81是设于夹着载带100的两侧，朝接近及远离载带100的侧缘的方向移动的一对构件。在以下的说明中，将一对侧引导件81中的其中一个设为侧引导件81a，另一个设为侧引导件81b。以下，在不对两个侧引导件81a、81b进行区分的情况下，有时作为侧引导件81来进行说明。而且，侧引导件81如图3所示，夹着密封部2而分为行走路径前半部分与行走路径后半部分地分割构成，但各自的结构同样。

各侧引导件81a、81b是沿着载带100的长边方向而设。各侧引导件81a、81b具有朝向载带100的侧缘的引导件面811。引导件面811是垂直方向的平坦面。一对侧引导件81a、81b的引导件面811在夹着载带100的隔离的位置彼此相向。

各侧引导件81a、81b的移动如图3及图4所示，由直线引导件(linear guide)815予以引导。直线引导件815具有导轨(rail)815a及滑块(slider)815b。导轨815a被固定于基台11。设有导轨815a的部位是侧引导件81a、81b下部的水平部分。导轨815a是沿着载带100的宽度方向而设。滑块815b是沿着导轨815a滑动移动的构件，被固定于侧引导件81的底面。

通过此种结构，侧引导件81在将延伸方向保持为固定的状态下，沿载带100的宽度方向平行移动。侧引导件81的移动是由直线引导件815予以引导，因此能够通过手动那样相对较轻的力来进行。另外，其中一个侧引导件81a通过其移动的位置来规定行走路径的宽度的一半。另一个侧引导件81b通过其移动的位置来规定行走路径的宽度的一半。在图3、图5(A)及图5(B)中，以D来表示行走路径的宽度，以C来表示行走路径的中央线。行走路径的中央线C是连结侧引导件81a、81b的中间点的长边方向的线。

(固定装置)

除了参照图3、图4以外，还参照图6(A)至图6(D)、图7(A)至图7(D)来说明固定装置82。图6(A)至图6(D)是表示固定装置82的第1锁定孔822与第2锁定孔824的对位的平面图。图7(A)至图7(D)是表示固定装置82的固定件825的插入方式的示意图。

固定装置82是如下所述的装置，即，将一对侧引导件81a、81b阶段性地固定于行走路径成为与载带100的多种宽度对应的宽度的位置。固定装置82如图1、图3、图4所示，分别设于行走路径前半部分与行走路径后半部分的各侧引导件81a、81b。

固定装置82具有固定台821、可动台823、固定件825。固定台821相对于基台11而不动地设置。固定台821是从基台11的侧面突出的长方体形状的构件。

在固定台821上，设有多个第1锁定孔822。各第1锁定孔822如图6(A)至图6(D)、图7(A)至图7(D)所示，形成在距行走路径的中央线C的距离不同的位置。第1锁定孔822是轴为垂直的圆筒形状的贯穿孔。多个第1锁定孔822相对于行走路径的中央线C的距离的差异如后所述，对应于行走路径的宽度的宽窄。

可动台823是设于与固定台821重合的位置，与侧引导件81一同移动。即，可动台823被固定于侧引导件81，与侧引导件81的相对位置关系始终固定，可动台823的位移量与侧引导件81的位移量相等。该可动台823是以重合于固定台821之上的方式，从侧引导件81的外侧面突出地设置的长方体形状的构件。

在可动台823上，如图6(A)至图6(D)、图7(A)至图7(D)所示，设有多个第2锁定孔824。第2锁定孔824是以与多个第1锁定孔822相同的数量而设于与行走路径平行的一直线上。第2锁定孔824是轴为垂直的圆筒形状的贯穿孔。第2锁定孔824的长边方向的配置间隔与第1锁定孔822相同。因此，如图6(A)～图6(D)所示，当沿宽度方向改变侧引导件81的位置时，可使第2锁定孔824中的任一个一致于第1锁定孔822中的任一个。

本实施方式中，通过哪个第1锁定孔822一致于哪个第2锁定孔824，来决定侧引导件81a、81b的引导件面811的间隔成为与载带100的哪种宽度对应的间隔。即，使第2锁定孔824一致于第1锁定孔822的侧引导件81a、81b的移动使行走路径的宽度阶段性地变化。

以下说明其原理。首先，多个第1锁定孔822距中央线C的距离的差异是分别对应于载带100的宽度差异而设定。例如，距中央线C的距离越远，则侧引导件81a、81b的宽度设定为越宽，距离越近，则侧引导件81a、81b的宽度设定为越窄。

更具体而言，图6(A)至图6(D)表示在固定台821上设有四个第1锁定孔822a～822d的示例。第1锁定孔822a的位置对应于24mm的载带100的标准宽度，第1锁定孔822b的位置对应于16mm的载带100的标准宽度，第1锁定孔822c的位置对应于12mm的载带100的标准宽度，第1锁定孔822d的位置对应于8mm的载带100的标准宽度。

另一方面，在可动台823上，也形成有四个第2锁定孔824a～824d。第2锁定孔824a对应于24mm的载带100的标准宽度，第2锁定孔824b对应于16mm的载带100的标准宽度，第2锁定孔824e对应于12mm的载带100的标准宽度，第2锁定孔824d对应于8mm的载带100的标准宽度。一致的第2锁定孔824与第1锁定孔822的组是：第2锁定孔824a与第1锁定孔822a的组、第2锁定孔824b与第1锁定孔822b的组、第2锁定孔824e与第1锁定孔822c的组、第2锁定孔824d与第1锁定孔822d的组。

当第2锁定孔824a～824d分别一致于第1锁定孔822a～822d时，侧引导件81来到与各个载带100的标准宽度对应的位置。

但是，以此方式决定的一对侧引导件81a、81b的引导件面811的间隔并非与载带100的宽度相同，而是设定为稍宽于各个标准宽度。这是因为，若完全一致于载带100的宽度，则载带100的侧缘将始终摩擦引导件面811，反而会妨碍行走，因此设置游隙部分。即，所谓与载带100的多种宽度对应的宽度，是指比各个载带100的宽度稍宽的宽度。

而且，在第2锁定孔824的附近设有标识，该标识用于识别各个第2锁定孔824对应于载带100的多种宽度中的哪一种。例如，如图6(A)至图6(D)所示，在可动台823上表面的第2锁定孔824a～824d的附近，分别标识有对应的标准宽度的数字。本例中，通过刻印、印刷、标签(label)等来标识8、12、16、24。

进而，第1锁定孔822及第2锁定孔824的直径是可目测彼此的重合程度的大小。即，通过从平面方向窥视第2锁定孔824，能用肉眼识别是否一致于第1锁定孔822。

固定件825是如下所述的构件，如图7(A)至图7(D)所示，选择性地插通在第2锁定孔824及第1锁定孔822中的任一组，由此来固定侧引导件81。即，当第1锁定孔822中的任一个一致于第2锁定孔824中的任一个时，插入固定件825，以将可动台823相对于固定台821的位置予以固定，从而使侧引导件81的位置阶段性地固定。

固定件825是圆柱形状的销(pin)。固定件825的前端侧的插入部825a是贯穿第2锁定孔824并嵌入第1锁定孔822内的直径。固定件825的插入部825a的外径与第1锁定孔822、第2锁定孔824的内径尽管存在确保滑动的间隙，但大致一致。因此，侧引导件81的位置无晃动等，而切实地受到固定。而且，固定件825的头部825b被扩径，以顶着第2锁定孔824的周围的面而使插入距离变得固定。因此，固定件825的一部分即使插入第2锁定孔824中也会露出于外部。本实施方式中，固定件825的头部825b露出于外部。

(辅助引导件)

参照图3、图5(A)及图5(B)来说明辅助引导件83。辅助引导件83如图3、图5(A)及图5(B)所示，设于其中一个侧引导件81a上，介隔在侧引导件81a与载带100之间，且接触至行走的载带100的侧缘，从而引导载带100的移动。

即，如上所述，由固定装置82阶段性地决定的行走路径的宽度并非与载带100的宽度完全一致。而且，也难以准确地一致于载带100的宽度。因此，在载带100的侧缘与侧引导件81a的引导件面811之间，存在供载带100位移的间隙。辅助引导件83介隔在该间隙内，辅助地引导载带100的侧缘。

辅助引导件83如图5(A)及图5(B)所示，沿侧引导件81a的长边方向设有多个。各辅助引导件83具有引导件构件831，该引导件构件831被弹性支撑于侧引导件81a，接触至行走的载带100的侧缘而在宽度方向上使位置位移。而且，引导件构件831接触至行走的载带100的侧缘而转动。

更具体而言，引导件构件831是以垂直方向的轴为中心转动的圆筒形状的构件。引导件构件831被设于转动板(plate)832的一端。引导件构件831及转动板832被收容在槽833内，该槽833穿设于侧引导件81a的上表面的缘部。转动板832的另一端可转动地安装于槽833的内底面。槽833的引导件面811侧开口，当从该开口突出的引导件构件831接触至载带100的侧缘时，朝进入槽833侧的方向位移。

转动板832通过未图示的弹簧等弹性构件，朝向引导件构件831从侧引导件81a的引导件面811突出的方向而受到施力。因此，接触至载带100侧缘的引导件构件831以抑制载带100的位移的方式进行引导。即，引导件构件831在由固定装置82所决定的行走路径中，吸收载带100的轻微摆动。

(底部引导件)

参照图2、图4、图5(A)及图5(B)、图8(A)至图8(D)来说明底部引导件84。底部引导件84是如下所述的构件，即，被设于与在行走路径上行走的载带100的底面对置的位置，且朝接近及远离载带100的方向移动。

底部引导件84如图4、图5(A)及图5(B)所示，是沿载带100的长边方向设置。底部引导件84也被分为行走路径前半部分与行走路径后半部分地分割构成，但各自的结构同样。底部引导件84的宽度如图5(A)所示，短于载带100的宽度。例如，底部引导件84的宽度窄于最窄的载带100的宽度。并且，在底部引导件84与一对侧引导件81a、81b之间，形成有允许侧引导件84的移动的间隔。而且，如图5(B)所示，在载带100的袋体101的底面，形成有抽吸孔101a。该抽吸孔101a是用于在将电子零件104插入袋体101之后，通过负压抽吸来防止飞出、翻滚，直至利用密封带102来封住上表面为止。

为了进行此种负压抽吸，在底部引导件84的与载带100接触的面上设有抽吸部841。抽吸部841通过形成在载带100的袋体101上的抽吸孔101a来抽吸袋体101内的电子零件104，使其贴附于袋体101的底面。

抽吸部841具有抽吸槽842、进气孔843。抽吸槽842形成在与袋体101底面的抽吸孔101a对应的位置。即，抽吸槽842是在载带100的行走路径的中央线C的正下方，沿着行走路径而开设。

抽吸槽842的宽度为袋体101的抽吸孔101a的直径以上且小于载带100的带宽。进气孔843是在抽吸槽842的底部穿设的多个孔。进气孔843与未图示的包含负压产生装置、电磁阀等的空气压回路连通。

底部引导件84可升降地设于基台11，例如通过未图示的直线引导件而支撑于基台11。并且，底部引导件84如图2、图4、图8(A)至图8(D)所示，通过升降装置85而沿上下方向受到驱动。

升降装置85如图2、图4所示，具有马达851、传递皮带852、滑轮(pulley)853、滚珠丝杠(ball screw)854、移动体855。马达851被固定于基台11，垂直方向的输出轴经由传递皮带852而连接于滑轮853。滑轮853以垂直方向的滚珠丝杠854为轴而转动。

移动体855通过利用滑轮853的转动来转动的滚珠丝杠854而升降。移动体855被固定于底部引导件84，因此底部引导件84随着移动体855的移动而移动。由此，通过马达851的输出轴的转动，滚珠丝杠854转动而移动体855升降，因此如图8(A)至图8(D)所示，底部引导件84也升降。

底部引导件84的高度是通过由旋转编码器(rotary encoder)对马达851的转速进行转换所得的脉冲(pulse)数来控制。即，为了决定与脉冲数对应的移动距离，将用于相对于基准位置或当前位置而移动至所需高度的脉冲数作为指令值，由此来控制马达851。

(保持装置)

参照图2来说明将电子零件104收容至载带100的袋体101中的保持装置61。保持装置61是分别逐个地保持电子零件104的装置。保持装置61例如是沿铅垂方向延伸至未图示的搬送装置下方的吸嘴。

吸嘴是朝向下方的前端开口的中空状的筒。吸嘴的内部连通于未图示的包含真空产生装置、电磁阀等的空气压回路。因此，吸嘴通过真空产生装置产生的负压，在前端吸附电子零件104，并通过真空破坏或正压的产生，来使电子零件104从前端脱离。

保持装置61通过未图示的z轴机构可沿铅垂方向移动地设置。作为z轴机构，可适用气缸(cylinder)、包含凸轮与弹簧(spring)的凸轮机构等各种机构。

另外，设有保持装置61的搬送装置例如是以旋转轴为中心逐次间歇旋转规定角度的转台。保持装置61绕着转台的旋转轴而以与间歇旋转的间隔相同的间隔配置有多个。在转台周围的停止位置，配置有对电子零件104进行各种处理的处理单元。搬送装置一边通过保持装置61来保持电子零件104，一边使转台间歇旋转，由此来搬送电子零件104。而且，在该间歇旋转中的各停止位置，进行经由各种处理单元4的处理、向载带100的袋体101中的收容。

(控制装置)

载带行走装置1是由控制装置7予以控制。控制装置7通过向使搬送装置旋转的马达、所述的各马达31、马达51、马达52、马达851、使保持装置61升降的z轴机构、各空气压回路的真空产生装置及电磁阀等送出电信号，从而控制它们的动作量、动作速度、动作时序。

控制装置7具有输入装置、输出装置。输入装置是作业者用于输入本实施方式的处理所需的信息或指示的开关(switch)、触控面板(touch panel)、键盘(keyboard)、鼠标(mouse)等装置。输出装置是作业者用于确认本实施方式的状态的显示器(display)、灯(lamp)、仪表(meter)等装置。

作业者通过操作输入装置来使升降装置85的马达851动作，以使底部引导件84移动到与载带100的底面一致的高度。该移动既可从输入装置的开始操作无级地进行至停止操作为止，也可在通过输入装置选择预先设定的多种厚度中的任一种时，达到与此对应的高度。该选择也可从输出装置所显示的多种厚度或高度中进行。当所使用的载带100的种类确定时，也可预先设定与所使用的多种载带100的厚度对应的高度，当通过输入装置来选择使用哪种载带100时，移动到该高度。也可在移动到与预先设定的厚度对应的高度之后，通过无级升降来进行微调，以与实际的载带100的底面一致。

[动作]

对如上所述的本实施方式的动作进行说明。

(引导件机构的定位作业)

(侧引导件的定位)

首先，参照图6(A)至图6(D)、图7(A)至图7(D)来说明与准载带100的宽度一致的引导件机构8的定位作业。图6(A)至图6(D)及图7(A)至图7(D)表示阶段性地决定的行走路径的宽度的方式，(A)～(D)对应于相同的宽度。而且，图7(A)～图7(D)的左图为简略立体图，右图为简略剖面图。左图中，为了便于理解动作而使固定台821与可动台823上下分离，但实际上两者如右图那样接触。

作业者如图6(A)至图6(D)所示，通过手动来使侧引导件81a、81b移动，并如图7(A)至图7(D)所示，通过使用固定装置82，从而与所使用的载带100的宽度一致地固定侧引导件81a、81b的位置。

即，作业者如图6(A)至图6(D)所示，一边窥视与所需的宽度对应的第2锁定孔824，一边使侧引导件81移动，从而使该第2锁定孔824一致于固定台821的第1锁定孔822。然后，向一致的第2锁定孔824内，如图7(A)至图7(D)所示那样插入固定件825的插入部825a，并使其嵌合于第1锁定孔822，从而将可动台823固定于固定台821。由此，侧引导件81的位置得以固定。

例如，如图6(A)所示，使第2锁定孔824a一致于第1锁定孔822a，并如图7(A)所示，插入固定件825。由此，以与标准宽度为24mm的载带100的宽度对应的行走路径的宽度d1，固定侧引导件81的位置。而且，当如图6(B)所示，使第2锁定孔824b一致于第1锁定孔822b，并如图7(B)所示，插入固定件825时，侧引导件81成为与16mm的标准宽度对应的行走路径的宽度d2。

当如图6(C)所示，使第2锁定孔824c一致于第1锁定孔822c，并如图7(C)所示，插入固定件825时，侧引导件81成为与12mm的标准宽度对应的行走路径的宽度d3。当如图6(D)所示，使第2锁定孔824d一致于第1锁定孔822d，并如图7(D)所示，插入固定件825时，侧引导件81成为与8mm的标准宽度对应的行走路径的宽度d4。

这些行走路径的宽度d1～d4分别比对应的标准宽度24mm～8mm稍宽。通过如此这样使用固定装置82，能够阶段性地设定与载带100的宽度对应的行走路径的宽度。

(底部引导件的定位)

另一方面，参照图8(A)至图8(D)来说明与载带100的厚度一致的引导件机构8的定位作业。图8(A)～图8(D)是改变底部引导件84的高度以与不同厚度的载带100的底面一致的简略剖面图。

作业者通过操作输入装置来使升降装置85动作，从而使底部引导件84移动到与所使用的载带100的底面的高度相符的位置。这既可以通过目视来使底部引导件84上升，并使其停止在与载带100的底面接触的位置，也可移动到预先设定的高度之后，通过微调来接触至载带100的底面。

此处，与所述的图6(A)至图6(D)、图7(A)至图7(D)的示例对应地，假定下述情况：载带100的宽度越大，则袋体101越厚，宽度越小，则袋体101越薄。于是，如图6(A)、图7(A)、图8(A)所示，当使用24mm宽的载带100时，由于袋体101变厚，因此将底部引导件84的高度设定为低。并且，如图6(B)～图6(D)、图7(B)～图7(D)、图8(B)～图8(D)所示，随着变为16mm宽、12mm宽、8mm宽，袋体101变薄，因此将底部引导件84的高度依序设定为高。图8(A)至图8(D)中的H是(A)～(D)的上下的变动幅度。

但是，载带100的厚度未必与宽度成正比。载带100的厚度根据材料带的厚度、材质、形状、所收容的电子零件104等而不同，因此，只要根据实际的载带100的厚度来调节底部引导件84的高度即可。

(编带动作)

参照图2来说明该载带行走装置1的编带动作。载带行走装置1通过马达51、52的正转来使正时皮带51a、52a行走，使链轮41、42正转。链轮41、42将突起43卡扣于链轮孔，使载带100朝卷盘200侧行走。

载带行走装置1使马达51、52间歇性地旋转，从而将载带100间歇性地送向卷盘200侧，使空的袋体101依序位于交接位置6。各保持装置61逐个地保持电子零件104并依序停止于交接位置6，将电子零件104收容至位于交接位置6的空的袋体101中。所收容的电子零件104由抽吸部841通过形成于袋体101的抽吸孔101a予以抽吸，因此贴附于袋体101的底面而位置稳定。

密封带卷盘3通过马达31的正转而将密封带102抽出向载带100侧。按压辊32将从密封带卷盘3抽出的密封带102引导向载带100的表面，使密封带102重合于载带100的袋体101开口的面。

密封部2预先使加热块21接触至载带100的行走路径。密封带102与载带100重合而共用密封部2。密封部2利用加热块21与基块22来包夹载带100与密封带102，通过加压与加热来将密封带102粘贴于载带100。由此，袋体101内的电子零件104由密封带102与袋体101的内壁予以密封。

载带100被密封带102密封后，通过进一步的间歇性的行走而引导至卷盘200，并被卷绕至卷盘200。

(引导件动作)

以上述方式行走的载带100的宽度方向的位置基本上由链轮41、42的突起43来限制。在行走中产生的宽度方向的摆动通过载带100的侧缘接触至侧引导件81的引导件面811而受到限制。但是，如上所述，在阶段性地固定的侧引导件81的引导件面811与载带100的侧缘之间，存在微小的间隙。因此，该间隙成为载带100的摆动幅度。

本实施方式中，如图5(A)及图5(B)所示，介隔在该间隙内的辅助引导件83接触至载带100的侧缘，以引导载带100的移动。即，如图5(B)所示，受到弹性支撑的引导件构件831接触至载带100的侧缘，以抑制载带100的摆动。由此，载带100的行走更加稳定。尤其，由于引导件构件831受到弹性支撑，因此起到缓和载带100所承受的力的缓冲作用。即，既能接触至载带100的侧缘来追随于其位移，又能将摆动宽度抑制得小。进而，由于引导件构件831转动，因此载带100的行走变得平滑。

[作用效果]

如此，本实施方式是使等间隔地形成有用于收纳电子零件104的袋体101的载带100沿长边方向行走的载带行走装置1。并且，本实施方式包括：一对侧引导件81a、81b，通过设在夹着载带100的两侧，从而形成长边方向的行走路径，朝接近及远离载带100侧缘的方向移动；以及固定装置82，将一对侧引导件81a、81b阶段性地固定于行走路径成为与载带100的多种宽度对应的宽度的位置。

因此，当使用不同宽度的载带100时，只要使一对侧引导件81a、81b移动到与所使用的载带100对应的位置，并通过固定装置82来固定即可。由此，无须更换零件，便能够短时间且容易地应对不同宽度的载带100。而且，不再需要准备大量与不同宽度的载带100一致的专用零件，成本降低，零件的保管场所也不再需要。

在其中一个侧引导件81a上，设有辅助引导件83，该辅助引导件83介隔在侧引导件81a与载带100之间，接触至行走的载带100的侧缘，以引导载带100的移动。

因此，能够利用辅助引导件83，来抑制通过固定装置82而阶段性地决定位置的侧引导件81a、81b与载带100的间隙中的载带100的摆动。因而，在借助固定装置82的阶段性的位置固定中，能够弥补无法准确地与载带100的宽度一致的部分。

辅助引导件83具有引导件构件831，该引导件构件831被弹性支撑于侧引导件81a，接触至行走的载带100的侧缘而沿宽度方向使位置位移。

因此，通过受到弹性支撑的引导件构件831接触至载带100的侧缘，从而载带100的位移得到抑制。因而，相对于借助固定装置82的阶段性的行走路径宽度的调整，可进行无级微调，载带100的行走更加稳定。而且，引导件构件831接触至行走的载带100的侧缘而转动。因此，能够使载带100的行走平滑化。

固定装置82具有；固定台821，相对于基台11而不动地设置；以及可动台823，设于与固定台821重合的位置，与侧引导件81一同移动。在固定台821上，在相对于行走路径的中央线C的距离不同的位置，形成有多个第1锁定孔822。在可动台823上，在与行走路径平行的一直线上，形成有与第1锁定孔822为相同数量的第2锁定孔824。并且，固定装置82具有固定件825，该固定件825选择性地插通在第2锁定孔824及第1锁定孔822中的任一组，以固定侧引导件81。

因此，通过使侧引导件81的位置移动并将固定件825插入第2锁定孔824这一简单的操作，便能够将侧引导件81简单地固定于与所需的载带100的宽度对应的位置。因而，与更换专用零件的作业或只用手动来调节侧引导件81的位置的作业相比，作业的工时得到大幅减轻，能够缩短作业时间。

第2锁定孔824设有用于识别对应于载带100的多种宽度中的哪种宽度的标识。因此，作业者只要将第1锁定孔822对准任一个第2锁定孔824，便能够容易且准确地判断是否能达成所需的宽度。

第1锁定孔822及第2锁定孔824的直径是可目测彼此的重合程度的大小。因此，作业者通过窥视便能够判断第1锁定孔822及第2锁定孔824是否一致。尤其，第1锁定孔822及第2锁定孔824为贯穿孔，因此与有外光进入的区域的边界变得明显，容易知晓两者的重合程度。

固定件825的一部分即使插入至第2锁定孔824也会露出于外部。因此，作业者能够立即确认当前是设定成哪个宽度。

而且，本实施方式具有对侧引导件81的移动进行引导的直线引导件815。因此，对于借助手动进行的侧引导件81的移动，不需要大的力，并且能平滑地进行。

进而，本实施方式具有底部引导件84，该底部引导件84被设于与在行走路径上行走的载带100的底面对置的位置，朝接近及远离载带100的方向移动。

不仅载带100的宽度，对于厚度，也会根据载带100的种类而不同。厚度的差异幅度大，例如薄的载带为50μm左右，厚的载带为2mm左右。因而，载带100的袋体101的底面的高度也对应于每种制品而不同。因此，以往，对于从底面侧支撑载带100的引导件构件，也要对应于不同种类的每种载带100来制造而预先准备，每当改变所使用的载带100时，必须进行更换。该更换作业费时费力，并且需要准备大量的专用零件，因此成本变高，而且必须确保保管场所。

本实施方式中，能够使底部引导件84一致于载带100的底面而移动，因此即使是袋体101的厚度不同的载带100，也无须更换零件而能够短时间且容易地应对。因而，不再需要准备大量与不同宽度的载带100一致的专用零件，成本降低，零件的保管场所也不再需要。

而且，本实施方式具有使底部引导件84升降的升降装置85。因此，能够避免通过借助手动进行的底部引导件84的升降来实现的定位或调整的困难性。尤其，载带100的厚度差异较之宽度差异而言微小，因此借助此种升降装置85，定位或调整变得容易。

在底部引导件84上，设有通过形成在载带100的袋体101底面的抽吸孔101a来抽吸电子零件104的抽吸部841，底部引导件84的宽度窄于最窄的载带100的宽度，在底部引导件84与一对侧引导件81a、81b之间，形成有允许侧引导件81a、81b的宽度方向的移动的间隔。

从支撑载带100底面这一性质而言，底面侧的引导件构件一般会具有支撑载带100底面全宽的宽度。本实施方式中，通过使底部引导件84的宽度窄于最窄的载带100的宽度，从而允许侧引导件81a、81b的移动。另一方面，通过设置抽吸部841，从而确保袋体101内的电子零件104的负压抽吸。

链轮41、42在周面形成有突起43，将突起43卡扣至载带100上形成的链轮孔而旋转。作为第1阶段，载带100的宽度方向的摆动由链轮41、42予以抑制。接下来，作为第2阶段，载带100的宽度方向的摆动由侧引导件81a、81b的引导件面811予以抑制。进而，作为第3阶段，辅助引导件83抑制载带100的宽度方向的摆动。由此，载带100行走时的摆动显著降低，能够防止电子零件104从袋体101飞出，生产效率提高。

[其他方式]

如上所述，对本发明的实施方式进行了说明，但在不脱离发明主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。并且，该实施方式及其变形包含在发明的范围或主旨内，并且包含在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

对应的载带100的宽度种类的数量只要为多种即可，并不限定于所述方式。具体宽度的长度也不限定于所述方式中例示者。

例如，辅助引导件83既可设置于侧引导件81a、81b中的一者，也可设置于两者中。作为辅助引导件83，也可为具有平滑性的曲面且载带100的侧缘接触/离开的突出部。该突出部也可为旋转的辊。而且，此种突出部也可为通过弹性构件而从侧引导件81的引导件面811出没的方式。

而且，也可将固定装置82中的第1锁定孔822设于可动台823，而将第2锁定孔824设于固定台821。在可动台823上，在相对于行走路径的中央线C的距离不同的位置形成多个第1锁定孔822，而在固定台821上，在与行走路径平行的一直线上，形成与第1锁定孔822为相同数量的第2锁定孔824。并且，通过固定件825选择性地插通在第1锁定孔822及第2锁定孔824中的任一组，从而固定侧引导件81a、81b。这样，由于多个第1锁定孔822的位置错开，因此作业者容易直观地判断宽度的差异。另外，固定件825也可使插入部825a的前端侧从第1锁定孔822或第2锁定孔824突出。

而且，也可采用可动台823在下方而固定台821在上方重合的结构。第1锁定孔822、第2锁定孔824中，并非固定件825插通侧的一者也可并非贯穿孔。也可在孔的内部或周围设置发光体或者赋予荧光剂，以便容易地判断第1锁定孔822、第2锁定孔824的重合程度，或者在固定件825的插入时容易地选择任一者。也可对宽度的识别标识赋予荧光剂，使其容易看到。而且，也可对固定件825自身使用发光体或者赋予荧光剂，使得容易识别其插入位置。

而且，也可如图9(A)、图9(B)所示，在第1锁定孔822及第2锁定孔824的内侧面，形成具有相对于垂直方向而倾斜的面的第1锥形部822t、824t，且在固定件825的插入部825a，设置具有沿着第1锥形部822t、824t的倾斜的面的第2锥形部825t。图9(A)及图9(B)是将第1锥形部822t、第1锥形部824t、第2锥形部825t设为圆锥形状的一例。

若采用此种结构，则如图9(B)所示，当插入固定件825的插入部825a时，第1锥形部822t、第1锥形部824t、第2锥形部825t的倾斜的面彼此接触，由此，垂直方向的力被转换为水平方向，孔内部的固定件825的水平方向的位置得到定位。由此，固定件825与第1锁定孔822及第2锁定孔824之间的游隙变少，能够准确地定位。而且，即使第1锁定孔822与第2锁定孔824存在少许偏离，通过按入固定件825，也能够修正偏离。进而，通过将第1锥形部822t、第1锥形部824t、第2锥形部825t设为圆锥形状，能够容易地使固定件825的轴对准孔的中心，从而能够更严格地进行定位。另外，第1锥形部只要设于第1锁定孔822及第2锁定孔824中的至少一者即可。也可将固定件825整体设为圆锥形状。

而且，也可如图10(A)及图10(B)、图11(A)及图11(B)所示，具有对插通的固定件825的位置的位移进行限制的限制部826。此处，位置的位移既包括直线方向的移动，也包括转动。由此，可防止因振动引起的固定件825的振动而造成的位置的位移。该限制部826例如可采用彼此嵌合的嵌合部。即，如图10(A)、图10(B)所示，在第2锁定孔824、第1锁定孔822中，设置内侧面的一部呈长方体形状凹陷的凹部824p、822p。另一方面，如图10(B)所示，在固定件825的插入部825a中，设置嵌入凹部824p、822p内的呈长方体形状突出的凸部825d。在固定件825的插入时，将凸部825d对准凹部824p、822p而将插入部825a插入。由此，固定件825的转动等受到限制，因振动造成的位移得到抑制。而且，第2锁定孔824、第1锁定孔822的对位作业性提高。另外，也可如图11(A)及图11(B)所示，在第2锁定孔824、第1锁定孔822中设置凸部824q、822q，而在固定件825中设置凹部825e。

在载带100的宽度与厚度的关系已确定的情况下，也可使底部引导件84的移动与侧引导件81对宽度的控制相关联。例如，在控制装置7的存储部中，预先存储表示载带100的宽度与厚度的关系的表(table)。并设置对侧引导件81的位置进行检测的传感器(sensor)、或者对固定件825所插入的第1锁定孔822及第2锁定孔824的组进行识别的传感器。控制装置7根据由传感器检测出的侧引导件81的位置、第1锁定孔822或第2锁定孔824的组，来判定对应的载带100的宽度。控制装置7基于所述表与所判定的载带100的宽度，来判定载带100的厚度。控制装置7使侧引导件81移动到与如此这样判定的厚度对应的位置。由此，能够在通过侧引导件81的移动来决定宽度的同时，进行对底部引导件84的高度的决定。

所述的实施方式中的行走路径的中央线C在所述方式中是设为侧引导件81a、81b的中间的线。该中央线C会因载带100的摆动等而产生轻微的偏离，但与载带100的宽度的中央线大致一致。也可将该中央线C设为链轮41、42的中间的长边方向的延长线。

作为保持装置61，举吸嘴为例进行了说明，但也可配设静电吸附方式、伯努利夹盘(Bernoulli chuck)方式、或机械夹持电子零件104的夹盘机构。而且，作为电子零件104，只要可包装至载带100中，则为任何电子零件皆可。例如，作为电子零件104，可列举半导体元件及半导体元件以外的电阻或电容器(condenser)等。作为半导体元件，可列举晶体管(transistor)、二极管(diode)、发光二极管(Light Emitting Diode，LED)及闸流管(thyristor)等离散半导体、集成电路(Integrated Circuit，IC)或大规模集成电路(LargeScale Integration，LSI)等集成电路等。

而且，本实施方式中，通过两台马达51、52来使载带100行走，但也可设置马达51、52中的任一台，利用该马达来使载带100行走。进而，对于链轮41、42，也可设置任一个，而另一者设为引导载带100的无销的辊。

Claims (18)

1.一种载带行走装置，使沿长边方向排列设置有用于收纳电子零件的袋体的载带沿着长边方向行走，所述载带行走装置的特征在于包括：

一对侧引导件，通过设于夹着所述载带的两侧，从而形成所述长边方向的行走路径，朝接近及远离所述载带的侧缘的方向移动；以及

固定装置，将一对所述侧引导件阶段性地固定于所述行走路径成为与所述载带的多种宽度对应的宽度的位置，

所述固定装置包括：

固定台，相对于基台而不动地设置；

可动台，设于与所述固定台重合的位置，与所述侧引导件一同移动；

多个第1锁定孔，设于所述固定台，且形成在相对于所述行走路径的中央线的距离不同的位置；

第2锁定孔，设于所述可动台，且以与所述第1锁定孔相同的数量而形成在与所述行走路径平行的一直线上；以及

固定件，通过选择性地插通在所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的任一组，从而固定所述侧引导件。

2.一种载带行走装置，使沿长边方向排列设置有用于收纳电子零件的袋体的载带沿着长边方向行走，所述载带行走装置的特征在于包括：

一对侧引导件，通过设于夹着所述载带的两侧，从而形成所述长边方向的行走路径，朝接近及远离所述载带的侧缘的方向移动；以及

固定装置，将一对所述侧引导件阶段性地固定于所述行走路径成为与所述载带的多种宽度对应的宽度的位置，

所述固定装置包括：

固定台，相对于基台而不动地设置；

可动台，设于与所述固定台重合的位置，与所述侧引导件一同移动；

多个第1锁定孔，设于所述可动台，且形成在相对于所述行走路径的中央线的距离不同的位置；

第2锁定孔，设于所述固定台，且以与所述第1锁定孔相同的数量而形成在与所述行走路径平行的一直线上；以及

固定件，通过选择性地插通在所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的任一组，从而固定所述侧引导件。

3.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于，

在所述侧引导件的至少一者上设有辅助引导件，所述辅助引导件介隔在所述侧引导件与所述载带之间，接触至行走的所述载带的侧缘以引导所述载带的移动。

4.根据权利要求3所述的载带行走装置，其特征在于，

所述辅助引导件具有引导件构件，所述引导件构件被弹性支撑于所述侧引导件，接触至行走的所述载带的侧缘而在宽度方向上使位置位移。

5.根据权利要求4所述的载带行走装置，其特征在于，

所述引导件构件接触至行走的所述载带的侧缘而转动。

6.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于，

所述第1锁定孔或所述第2锁定孔设有标识，所述标识用于识别对应于所述载带的多种宽度中的哪一种。

7.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于，

所述第1锁定孔及所述第2锁定孔的直径为可目测彼此的重合程度的大小。

8.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于，

所述第1锁定孔及所述第2锁定孔为贯穿孔。

9.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于，

所述固定件的一部分插通在第1锁定孔及第2锁定孔中的任一组时，露出于外部。

10.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于，

在所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的至少一者的内侧面，形成有第1锥形部，所述第1锥形部具有相对于垂直方向而倾斜的面，

在所述固定件的至少一部分，设有第2锥形部，所述第2锥形部具有沿着所述第1锥形部的倾斜的面。

11.根据权利要求10所述的载带行走装置，其特征在于，

所述第1锥形部及所述第2锥形部为圆锥形状。

12.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于包括：

限制部，对插通的所述固定件的位置的位移进行限制。

13.根据权利要求12所述的载带行走装置，其特征在于，

所述限制部是由所述第1锁定孔及所述第2锁定孔中的至少一者与所述固定件的一部分形成的、彼此嵌合的嵌合部。

14.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于包括：

直线引导件，引导所述侧引导件的移动。

15.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于包括：

底部引导件，设于与在所述行走路径上行走的所述载带的底面对置的位置，朝接近及远离所述载带的方向移动。

16.根据权利要求15所述的载带行走装置，其特征在于包括：

升降装置，使所述底部引导件升降。

17.根据权利要求15所述的载带行走装置，其特征在于，

在所述底部引导件上设有抽吸部，所述抽吸部经由形成于所述袋体底面的抽吸孔来抽吸电子零件，

所述底部引导件的宽度窄于最窄的载带的宽度，且在底部引导件与一对所述侧引导件之间，形成有允许所述侧引导件的宽度方向的移动的间隔。

18.根据权利要求1或2所述的载带行走装置，其特征在于包括：

链轮，架设所述载带而使其行走；

马达，使所述链轮旋转；

卷盘，卷绕有粘贴于所述载带的密封带；

一对块体，相对于所述载带的行走路径可接触或远离地移动，夹着从所述卷盘抽出的所述密封带与所述载带，将所述密封带粘贴于所述载带；以及

按压辊，相对于所述载带的行走路径可接近或远离，

通过从所述卷盘抽出所述密封带，使所述按压辊接近所述载带的行走路径，并使一对所述块体接近，从而利用所述密封带来密封所述载带。