CN106835057A - 一种镀膜玻璃夹持机构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种镀膜玻璃夹持机构，其包括：基板座、垫片及夹钳，所述基板座用于支撑玻璃基板，所述玻璃基板的边缘通过夹钳固定在基板座上，其中，所述基板座用于支撑玻璃基板的一侧由上向下依次设置有水平的第一表面、竖直的第二表面以及水平的第三表面，其中第一表面和第二表面之间通过第一过渡面连接，第二表面和第三表面之间通过第二过渡面连接。本发明能够增加镀膜的有效面积，使膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，有效改善镀膜腔体内粒子状况，延长清洗品的使用时间。

Description

一种镀膜玻璃夹持机构
技术领域
本发明涉及移动显示器制造技术领域，特别涉及一种镀膜玻璃夹持机构。
背景技术
在目前的液晶显示面板阵列(Array)基板制造过程中，GE、SD、ITO膜层是由物理气相沉积(PVD)制程完成，膜层制作方法为磁控溅射(sputter)镀膜，制程示意图见图1，制程特性决定溅射出来的靶材粒子会沉积在玻璃基板、光罩(Mask)以及部分玻璃夹持机构的表面，随着镀膜时间增加，沉积在光罩以及夹持机构表面的膜层会逐渐增厚，附着的膜层会出现膜层脱落(peeling)现象，产生大量粒子(particle)，对镀膜品质产生很大的影响。
如图1至图4所示，目前磁控溅射镀膜时玻璃基板10a的边缘放置在基板座20a上面，玻璃基板10a与基板座20a通过垫片30a隔开绝缘，上部通过夹钳(clamp)40a夹持，整体结构见图2。请见图2A和图3，基板座20a的边缘均为直角。具体地，基板座20a的横截面大体上为L形，其上方具有向外凸出的第一直角部21a，其下方具有向内凹陷的第二直接部22a。其中，第一直角21a是凸出的，此位置容易聚集较多的靶材粒子，形成的凸出的膜层50a，附着性较差，很容易产生脱落；第二直角22a是凹进去的，靶材粒子在角落里容易形成疏松的膜层结构，附着性较差，也很容易产生脱落。直角的存在使膜层在基板座20a表面的分布是不均匀的，实际上减小了有效的镀膜面积，示意图见图4，实物图见图5。膜层脱落是腔体内产生大量粒子的一个重要源头，对镀膜品质产生较大的影响。
目前采用的方法是定期更换光罩以及夹持机构等被溅镀到的部件，换下的部件进行脱膜、表面处理、清洁之后再次使用。然而，更换部件会影响设备稼动率，清洗部件会产生高额清洗费用。
因此，为了克服上述缺陷，本发明提供了一种能够有效改善镀膜腔体内粒子状况，延长清洗品的使用时间，提升设备稼动率，减少送洗频率，实现清洗费用降低的镀膜玻璃夹持机构。
发明内容
本发明的目的是提供一种镀膜玻璃夹持机构，其能够增加镀膜的有效面积，使膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，有效改善镀膜腔体内粒子状况，延长清洗品的使用时间。
为达上述目的，本发明提供一种镀膜玻璃夹持机构，其包括：基板座、垫片及夹钳，所述基板座用于支撑玻璃基板，所述玻璃基板的边缘通过夹钳固定在基板座上，
其中，所述基板座用于支撑玻璃基板的一侧设置有第一表面、第三表面以及设置在第一表面和第三表面之间的第二表面，其中第一表面为水平方向，第二表面为竖直方向，第三表面为水平方向，并且第一表面和第二表面之间通过第一过渡面连接，第二表面和第三表面之间通过第二过渡面连接。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面均为平面。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面相互平行。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面不平行。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面与第一平面呈30°～60°，并且所述第二过渡面与第三平面呈30°～60°。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面与第一平面呈45°，并且所述第二过渡面与第三平面呈45°。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面均为曲面。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面的曲面向外凸出，所述第二过渡面的曲面向内凹陷。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和第二过渡面中的其中一个为平面，另一个为曲面。
所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述基板座和玻璃基板之间间隔设置有多个垫片。
本发明的有益效果是：本发明通过将基板座进行改进，把直角改成非直角，去掉了膜层附着较差的角落，使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，改善附着膜层脱落状况，减少镀膜腔体内部所产生的大量粒子，提升镀膜品质，延长清洗品使用时间，提升设备稼动率，减少送洗频率，实现清洗费用大幅降低。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：
图1是现有技术中的磁控溅射镀膜制程的示意图；
图2是现有的镀膜玻璃夹持机构的结构示意图；
图2A为图2中的A-A剖视图；
图3为现有的基板座的局部立体图；
图4为现有的基板座上膜层附着情况的示意图；
图5为本发明的基板座的局部立体图；
图6为本发明的基板座上膜层附着情况的示意图。
在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
如图5和图6所示，并结合图2，本发明提供一种镀膜玻璃夹持机构，其主要包括玻璃基板10、基板座20、垫片30以及夹钳40。所述基板座20为框形结构，并且基板座20的横截面大体上为L形。基板座20用于支撑所述玻璃基板10。具体地，所述玻璃基板10的边缘由基板座20支撑，并且二者之间间隔设置有多个软质的垫片30，防止玻璃基板10的边缘被磕碰。所述玻璃基板10的边缘上侧通过间隔布置的多个夹钳40将其固定在基板座20上，以确保结构稳固。
优选地，所述垫片30与夹钳40为错开设置，垫片30为夹钳40预留空间，方便将玻璃基板10固定在基板座20上。
本发明对基板座20的结构进行了改进。具体如图5所示，所述基板座20用于支撑玻璃基板10的一侧由上向下依次设置有水平的第一表面21、竖直的第二表面22以及水平的第三表面23，其中第一表面21和第二表面22之间通过第一过渡面24连接，第二表面22和第三表面23之间通过第二过渡面25连接。
优选地，第一过渡面24和第二过渡面25均为平面且相互平行，并且所述第一过渡面24与水平方向呈30°～60°，更优选地，所述第一过渡面24与水平方向呈45°。由此，第一过渡面24处不会形成凸出的膜层50，第二过渡面25处的角落位置不会形成疏松结构膜层，这样就去掉了膜层附着较差的角落，使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，使附着的膜层不容易脱落，具体请见图6。
当然，所述第一过渡面24还可不与第二过渡面25平行。这样一来，对加工的精度要求降低，然而由于设置有第一过渡面24和第二过渡面25，因此其仍然可以实现使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，使附着的膜层不容易脱落的有益效果。
再优选地，所述第一过渡面24和第二过渡面25均为曲面(图中未示出)。且第一过渡面24的曲面向外凸出，而第二过渡面25的曲面向内凹陷。设置曲面的优势在于即使在安装玻璃基板10时出现失误，其过于靠近基板座20，然而由于基板座20上的第一过渡面24和第二过渡面25均设置为曲面，因此不易造成玻璃基板10的损坏。
此外，根据不同的制程要求，所述第一过渡面24和第二过渡面25中的其中一个可为平面，另一个为曲面。例如，可以将第一过渡面24设置为曲面，而第二过渡面25设置为平面，由于曲面的加工要求更高，因此更加靠近外侧的部位(第一过渡面24)设置为光滑的曲面，以避免出现不必要的磕碰，而更加靠近内侧的部位(第二过渡面25)设置为平面即可满足生产需求。
本发明通过对基板座20进行改进，把直角改成非直角，去掉了膜层附着较差的角落，使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，改善附着膜层脱落状况，减少镀膜腔体内部所产生的大量粒子，提升镀膜品质，延长清洗品使用时间。
优选地，所述垫片30采用PEEK(聚醚醚酮)材质，其为一种热塑性材质，耐高温且耐腐蚀。
综上所述，本发明的有益效果是：
本发明通过改善部件对靶材粒子的附着能力，能有效改善镀膜腔体内所产生的大量粒子状况，改善附着膜层脱落状况，减少镀膜腔体内部产生大量的粒子，提升镀膜品质，延长清洗品使用时间，提升设备稼动率，减少送洗频率，实现清洗费用大幅降低。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (8)

1.一种镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，包括：基板座、垫片及夹钳，所述基板座用于支撑玻璃基板，所述玻璃基板的边缘通过夹钳固定在基板座上，
其中，所述基板座用于支撑玻璃基板的一侧设置有第一表面、第三表面以及设置在第一表面和第三表面之间的第二表面，其中第一表面为水平方向，第二表面为竖直方向，第三表面为水平方向，并且第一表面和第二表面之间通过第一过渡面连接，第二表面和第三表面之间通过第二过渡面连接。
2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，所述第一过渡面和所述第二过渡面均为平面。
3.根据权利要求2所述的镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，所述第一过渡面与第一平面呈30°～60°，并且所述第二过渡面与第三平面呈30°～60°。
4.根据权利要求2所述的镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，所述第一过渡面与第一平面呈45°，并且所述第二过渡面与第三平面呈45°。
5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，所述第一过渡面和所述第二过渡面均为曲面。
6.根据权利要求7所述的镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，所述第一过渡面的曲面向外凸出，所述第二过渡面的曲面向内凹陷。
7.根据权利要求1所述的镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，所述第一过渡面和第二过渡面中的其中一个为平面，另一个为曲面。
8.根据权利要求1所述的镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，所述基板座和玻璃基板之间间隔设置有多个垫片。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI794082B (zh) * 2022-04-15 2023-02-21 大陸商業成科技（成都）有限公司 遮罩組件

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6617059B1 (en) * 2000-03-29 2003-09-09 Nkg Insulators, Ltd. Method of forming silicon carbide film on aluminum nitride, film structure and silicon carbide film
CN101556342A (zh) * 2008-04-11 2009-10-14 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜片加工治具
CN101921064A (zh) * 2010-05-20 2010-12-22 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 一种用于制造平板显示器的夹具
CN202837811U (zh) * 2012-09-27 2013-03-27 上海现代先进超精密制造中心有限公司 一种用于光刻机的楔形板组的胶合夹具
CN203754795U (zh) * 2013-12-21 2014-08-06 昆山国显光电有限公司 用于真空镀膜机的装载夹具
CN204589293U (zh) * 2015-03-02 2015-08-26 英属开曼群岛商精曜有限公司 基板载具
CN205398461U (zh) * 2016-03-11 2016-07-27 北京京东方显示技术有限公司 镀膜设备的下极板结构及镀膜设备

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6617059B1 (en) * 2000-03-29 2003-09-09 Nkg Insulators, Ltd. Method of forming silicon carbide film on aluminum nitride, film structure and silicon carbide film
CN101556342A (zh) * 2008-04-11 2009-10-14 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜片加工治具
CN101921064A (zh) * 2010-05-20 2010-12-22 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 一种用于制造平板显示器的夹具
CN202837811U (zh) * 2012-09-27 2013-03-27 上海现代先进超精密制造中心有限公司 一种用于光刻机的楔形板组的胶合夹具
CN203754795U (zh) * 2013-12-21 2014-08-06 昆山国显光电有限公司 用于真空镀膜机的装载夹具
CN204589293U (zh) * 2015-03-02 2015-08-26 英属开曼群岛商精曜有限公司 基板载具
CN205398461U (zh) * 2016-03-11 2016-07-27 北京京东方显示技术有限公司 镀膜设备的下极板结构及镀膜设备

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI794082B (zh) * 2022-04-15 2023-02-21 大陸商業成科技（成都）有限公司 遮罩組件

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