CN106547174B - 全自动双面曝光机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种全自动双面曝光机,其包括机台,于同一轴线上依次设置入料区、第一面曝光区、转移翻板区、第二面曝光区以及出料区;其设有进料转移机构,第一曝光机构,转移翻板机构,跨设于转移翻板区域第一面曝光区上方,并将完成第一面曝光的板件由第一面曝光区移载至转移翻板区,并将完成第一面曝光的板件由第一面翻转至第二面,出料转移机构,第二曝光机构,通过将第一面曝光区和第二面曝光区横向设置,可以有效的减少双面自动曝光机的长度,且可以通过横向移动第一曝光平台或第二曝光平台实现曝光的操作,极大的降低了整机的长度,且提高了其效率,且转移翻板机构操作更加简单方便。

Description

全自动双面曝光机
技术领域
本发明涉及一种曝光机,具体涉及一种全自动双面曝光机。
背景技术
全自动的双面曝光机,通常是将各作业流程设计于同一平面及同一轴线进行,而基本的作业流程有入料、第一面曝光、翻板、第二面曝光和出料等流程,因此全自动双面曝光机仅装设基本流程的作业装置,长度就已经很长了,若要进一步加装提升曝光品质的其他装置,则必须增加长度,导致全自动双面曝光机的占用面积过大,影响使用。
发明内容
为了克服以上的技术不足,本发明提供一种全自动双面曝光机。
本发明提供一种全自动双面曝光机,其包括机台,于同一轴线上依次设置入料区、第一面曝光区、转移翻板区、第二面曝光区以及出料区;
进料转移机构,跨设于入料区以及第一面曝光区上方,并将待曝光的板件由入料区移载至第一面曝光区;
第一曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第一曝光平台,该第一曝光平台可横向滑移设置在机台的第一面曝光区内,该第一曝光平台承载进料转移机构移载的待曝光的板件,并将其移动至第一曝光模组下方,并与第一曝光模组贴合;
转移翻板机构,跨设于转移翻板区域第一面曝光区上方,并将完成第一面曝光的板件由第一面曝光区移载至转移翻板区,并将完成第一面曝光的板件由第一面翻转至第二面;
出料转移机构,跨设于转移翻板区、第二面曝光区以及出料区上方,并将完成第一面曝光的板件由转移翻板机构上送至第二面曝光区,同时将第二面曝光区的完成第二面曝光的板件送至出料区;
第二曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第二曝光平台,该第二曝光平台可横向滑移设置在机台的第二面曝光区内,该第二曝光平台承载出料转移机构移载的完成第一面曝光的板件,并将其移动至第二曝光模组下方,并与第二曝光模组贴合。
在所述入料区的出口处设置第一视觉检测机构,所述第一视觉检测机构检测待曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第一曝光平台的偏转角度,使其与进料转移机构夹持的待曝光的板件的角度一致,在所述转移翻板区的进口处设置第二视觉检测机构,所述第二视觉检测机构检测翻转后的完成第一面曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第二曝光平台的偏转角度,使其与出料转移机构夹持的完成第一面曝光的板件的角度一致。
所述转移翻板机构包括吸盘结构,所述吸盘结构固定设置在翻转板上,所述翻转板两端铰接设置在移动架上,且在移动架两侧设置驱动机构,所述驱动机构驱使翻转板以垂直进料通道的轴线转动,且所述移动架可滑移设置在机台上。
所述出料转移机构包括由第一支架和第二支架构成支架、以及设置在第一支架上的用于进料的吸盘结构和设置在第二支架上的用于出料的吸盘结构,所述第一支架可纵向滑移设置在第二支架上。
所述吸盘结构包括一个表面设置细孔的吸盘以及设置在吸盘结构上方的管道,且所述管道的风量通过可调气泵控制,根据待曝光板件的类型自动调节风量大小。
所述入料区为若干进料滚轴构成的进料通道,在所述进料通道上设有拍板机构,所述拍板机构包括垂直进料方向设置的驱动机构以及设置在进料通道两侧的拍板,所述拍板与驱动机构构成滑移配合。
所述进料通道的出口处设置挡板,所述进料滚轴包括轴芯以及套设在轴芯外侧的轴套,且所述轴芯与轴套之间存在间隙。
所述第一曝光模组和第二曝光模组均设有光源组件以及上台框,在机台上固定有滚轮定位模组,所述上台框上两侧固定有可对应插置于所述滚轮定位模组上的定位块,且在定位块两侧对称设有支撑块,所述支撑块设置在固定座上,且所述支撑块的竖端与固定座之间设有滚轮。
在所述第一面曝光区和第二面曝光区的前后设置功能柜,所述功能柜与进料区或出料区并排设置。
所述功能柜内设有冷风干燥系统,所述功能柜内设有用于曝光光源散热的水冷系统,所述功能柜内设有用于全自动双面曝光机内部湿度调节的湿度调节系统。
本发明的有益效果:通过将第一面曝光区和第二面曝光区横向设置,可以有效的减少双面自动曝光机的长度,且可以通过横向移动第一曝光平台或第二曝光平台实现曝光的操作,极大的降低了整机的长度,且提高了其效率,且转移翻板机构操作更加简单方便。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明的内部主视图。
图3是本发明的出料转移机构的结构示意图。
图4是本发明的图3中A处的放大示意图。
图5是本发明的图3中B处的放大示意图。
图6是本发明的入料区的结构示意图。
图7是入料区省略部分进料滚轴的主视图。
图8是图7中C处的放大示意图。
图9是拍板机构的结构示意图。
图10是第一曝光平台或第二曝光平台的结构示意图。
图11是第一曝光模组和第二曝光模组的结构示意图。
图12是上台框的结构示意图。
图13是图12中D处的放大示意图。
图14是图12中E处的放大示意图。
图15是转移翻板机构的结构示意图。
图16是功能柜的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明实施例作进一步说明:
如图所示,一种全自动双面曝光机,其包括机台7,机台外罩设外壳1,于同一轴线上依次设置入料区2、第一面曝光区3、转移翻板区4、第二面曝光区5以及出料区6;
进料转移机构10,跨设于入料区以及第一面曝光区上方,并将待曝光的板件由入料区移载至第一面曝光区;
第一曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第一曝光平台,该第一曝光平台可横向滑移设置在机台的第一面曝光区内,该第一曝光平台承载进料转移机构移载的待曝光的板件,并将其移动至第一曝光模组下方,并与第一曝光模组贴合;
转移翻板机构11,跨设于转移翻板区域第一面曝光区上方,并将完成第一面曝光的板件由第一面曝光区移载至转移翻板区,并将完成第一面曝光的板件由第一面翻转至第二面;
出料转移机构9,跨设于转移翻板区、第二面曝光区以及出料区上方,并将完成第一面曝光的板件由转移翻板机构上送至第二面曝光区,同时将第二面曝光区的完成第二面曝光的板件送至出料区;
第二曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第二曝光平台,该第二曝光平台可横向滑移设置在机台的第二面曝光区内,该第二曝光平台承载出料转移机构移载的完成第一面曝光的板件,并将其移动至第二曝光模组下方,并与第二曝光模组贴合。
在所述入料区的出口处设置第一视觉检测机构12,所述第一视觉检测机构检测待曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第一曝光平台的偏转角度,使其与进料转移机构夹持的待曝光的板件的角度一致,在所述转移翻板区的进口处设置第二视觉检测机构,所述第二视觉检测机构检测翻转后的完成第一面曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第二曝光平台的偏转角度,使其与出料转移机构夹持的完成第一面曝光的板件的角度一致。
通过设置第一视觉检测机构和第二视觉检测机构,两者都是采用两个CCD摄像头,用于拍摄位于上方的PCB板的两个定位孔,并与预设的图像进行比对,获得两个定位孔的偏转角度,然后通过调节曝光平台的偏转角度,使该PCB板的两个定位孔直接套在曝光平台的两根销钉上,而且采用曝光平台移动的方式能够提高纠偏的精准性,而不需要对机械手设置纠偏机构,能够避免悬空调节导致的震动影响板子的纠偏,而且曝光平台在PCB板放置好之后,能够自动复位,并送入曝光区域,进行曝光操作。
所述进料转移机构以及出料转移机构均设有吸盘结构,所述吸盘结构可升降设置在支架上,所述支架可滑移的固定设置机台上,且可沿机台的轴向滑移。
所述转移翻板机构11包括吸盘结构95,所述吸盘结构固定设置在翻转板111上,所述翻转板两端铰接设置在移动架112上,且在移动架两侧设置驱动机构,所述驱动机构驱使翻转板以垂直进料通道的轴线转动,且所述移动架可滑移设置在机台上。可以在吸取放置在第一面曝光区域的PCB板之后,移动至翻板区后进行翻板,在翻板时不会受到任何障碍,更加合适翻板,且在将板子翻转后,还能作为下个工位的放板区,供出料转移机构去取料,起到多用的效果,减少所需的机构,降低成本。
所述出料转移机构包括由第一支架94和第二支架93构成的支架、以及设置在第一支架94上的用于进料的吸盘结构和设置在第二支架93上的用于出料的吸盘结构,所述第一支架94可纵向滑移设置在第二支架93上,所述支架具有用于进料的吸盘结构位于进料区、用于出料的吸盘结构位于曝光区的第一位置以及用于进料的吸盘结构位于曝光区、用于出料的吸盘结构位于出料区的第二位置。
所述第一支架和第二支架沿进料方向同轴设置,且设置在第一支架和第二支架上的吸盘结构和吸盘结构的距离刚好与曝光区和出料区的距离相等,当进料的吸盘结构去取料时,则该出料的吸盘结构刚好位于曝光区上方,两者同步进行取料,而该支架通过滑座固定在机台上,而当该滑座92移动时,其将进料的吸盘结构移至曝光区时,则该出料的吸盘结构则位于出料区,从而实现同步的进料出料操作,提高了生产效率。
所述第二支架设有固定板,在固定板99上纵向设置导轨910,第一支架通过滑移件可滑移设置在该导轨上。当该装置用于全自动双面曝光机时,由于转移翻板机构在翻板后会有一定的高度抬升,故第一支架相对于该第二支架需要设置一定的位移量,使得其能够纵向移动,从而不会与转移翻板机构干涉,且在放置曝光板时,其通过吸盘的轴向运动量加第一支架的纵向位移量,从而实现放料的操作,起到一定的高度补偿的效果。
用于进料的吸盘结构可滑移设置在第一支架上,用于出料的吸盘结构可滑移设置在第二支架上,而两个吸盘均可滑移的设置在支架上,使得其能够更好的取料,以适应不同厚度的板件。
吸盘结构均包括一个表面设置细孔的吸盘95以及设置在吸盘上方的管道96,且所述管道的风量通过可调气泵控制,根据待曝光板件的类型自动调节风量大小。曝光的PCB板有些上面设有很多的过孔,而当碰到这种PCB板上,吸盘的风量过小则会导致吸不住,出现掉板的现象,而本申请通过设置管道,并通过自动调节风量的技术,使得当出现过多的过孔的PCB板时,该气泵会自动调节风量大小,使得该PCB板能够更好的被吸住,而且当是过孔较少的板时,则会降低风量,减少能耗。
在曝光机的直线导轨两端均设有档位传感器97,在所述滑座上设有指示件98,所述指示件与档位传感器构成位置指示功能,设置档位传感器用于获得滑座的移动位置,实现全自动控制。
所述入料区为若干进料滚轴21构成的进料通道,所述进料滚轴通过传动带以及传动轮构成传动配合,任意一个传动轮与传动机构联动配合,在所述进料通道上设有用于将PCB板摆正的拍板机构。通过在并排设置的进料滚轴中间穿插传动轮,并通过传动带构成传动配合,利用传动机构带动传动轮转动实现送料,而在进料通道内设置拍板机构,能够很好的将进入进料通道的PCB板起到一定的初始矫正的功效,使其歪的不是很离谱。
所述进料通道的底部设有安装板23,在安装板23上设置拍板机构,所述拍板机构包括垂直进料方向设置的驱动机构以及设置在进料通道两侧的拍板22,所述拍板22与驱动机构构成滑移配合,该拍板两端设置直线导轨,驱动机构通过丝杆与拍板构成联动配合,使得拍板沿直线导轨运动,该驱动机构可以是伺服电机,利用伺服电机带动拍板沿垂直进料方向移动,实现对板件的矫正,同时该拍板的长度一般大于或略小于板件的长度。
所述拍板为波浪形结构,其波峰穿过各个进料滚轴的间隙,并可与放置在进料滚轴上的待曝光的板件的边缘接触,在穿过进料滚轴的同时,也不会影响进料滚轴的运动。
所述拍板内侧设置弹片26,设置弹片避免拍板直接与板件接触,起到一定的缓冲的作用。
所述拍板机构的前端和后端分别设置传感器24,前端的传感器用于检测是否进料,后端的传感器则用于检测板件是否到位,仅当板件经过前端传感器时,该拍板机构开始动作,避免拍板阻碍板件的进料。
所述进料通道的出口处设置挡板25,而设置挡板则为了避免板件掉落,使得该板件在进料通道中等候进料机械手抓取。
所述进料滚轴包括轴芯211以及套设在轴芯外侧的轴套212,且所述轴芯与轴套之间存在间隙,当板件未被挡板抵挡时,该轴芯会带动轴套运动,从而带动该板件移动,而当板件被挡板抵挡时,由于板件受阻力,则该轴芯空转,避免了板件在到位之后,进料滚轴继续晕倒磨花板件的现象出现,起到一定的保护作用。
所述安装板上在任意一个拍板的移动最大距离和最小距离处设置一个档位传感器,并在拍板上设置一个位置指示件,该位置指示件与档位传感器构成位置指示配合,该档位传感器可以设置若干档,而在拍板滑移时,其下设置的位置指示件会穿过该档位传感器,起到一个位置的指示,以保护其不会运动过度,导致电机受损。
机台的第一面曝光区和第二面曝光区垂直进料方向均设置直线导轨,所述第一曝光平台和第二曝光平台分别通过滑块与直线导轨构成滑移配合。
所述第一曝光平台和第二曝光平台均设有固定平台32、移动平台33和曝光台框31,所述移动平台相对于固定平台可纵向升降,在所述移动平台上方设置UVW对位机构,所述曝光台框固定设置在UVW对位机构上。该UVW对位机构通过伺服电机控制,带动曝光台框动作,进行调整,与第一视觉检测机构和第二视觉检测机构检测的定位孔进行对准,实现对PCB板的纠偏。
所述第一曝光模组和第二曝光模组均设有光源组件34以及上台框35,在机台上固定有滚轮定位模组,所述上台框35上两侧固定有可对应插置于所述滚轮定位模组上的定位块36,且在定位块两侧对称设有支撑块38,所述支撑块38设置在固定座上,且所述支撑块的竖端与固定座之间设有滚轮。所述滚轮定位模组至少由2个滚轮37组成,所述定位块插置于2个滚轮之间。通过这个结构设置,可以在曝光台框上升时,起到一定的缓冲效果,避免曝光台框上升力度过大导致上台框的玻璃变形,而且采用支撑块以及定位块与滚轮的设计,能够略微的倾斜补偿,避免曝光台框倾斜上升时能够更好的贴合。
本发明中上台框采用浮动式结构,而光源组件可滑移设置在机台上,通过光源组件的移动来实现均匀曝光,减少整个台框运动所需的动力。
在所述第一面曝光区和第二面曝光区的前后设置功能柜13,所述功能柜与进料区或出料区并排设置。
所述功能柜内设有冷风干燥系统132,其采用冰水冷却的方式,将输入该曝光机内的空气进行干燥,保证内部的温度。
所述功能柜内设有用于曝光光源散热的水冷系统134,其通过水循环对光源进行散热。
所述功能柜内设有用于全自动双面曝光机内部湿度调节的湿度调节系统133,实时调节机台内的湿度。
所述功能柜内还设有气泵,该气泵用于吸盘结构的气流调节,同时将该气泵设置在缓冲座上,降低噪声。
实施例不应视为对本发明的限制,任何基于本发明的精神所作的改进,都应在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种全自动双面曝光机,其特征在于:其包括机台,于同一轴线上依次设置入料区、第一面曝光区、转移翻板区、第二面曝光区以及出料区;
进料转移机构,跨设于入料区以及第一面曝光区上方,并将待曝光的板件由入料区移载至第一面曝光区;
第一曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第一曝光平台,该第一曝光平台可横向滑移设置在机台的第一面曝光区内,该第一曝光平台承载进料转移机构移载的待曝光的板件,并将其移动至第一曝光模组下方,并与第一曝光模组贴合;
转移翻板机构,跨设于转移翻板区与第一面曝光区上方,并将完成第一面曝光的板件由第一面曝光区移载至转移翻板区,并将完成第一面曝光的板件由第一面翻转至第二面;
出料转移机构,跨设于转移翻板区、第二面曝光区以及出料区上方,并将完成第一面曝光的板件由转移翻板机构上送至第二面曝光区,同时将第二面曝光区的完成第二面曝光的板件送至出料区;
第二曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第二曝光平台,该第二曝光平台可横向滑移设置在机台的第二面曝光区内,该第二曝光平台承载出料转移机构移载的完成第一面曝光的板件,并将其移动至第二曝光模组下方,并与第二曝光模组贴合,所述转移翻板机构包括吸盘结构,所述吸盘结构固定设置在翻转板上,所述翻转板两端铰接设置在移动架上,且在移动架两侧设置驱动机构,所述驱动机构驱使翻转板以垂直进料通道的轴线转动,且所述移动架可滑移设置在机台上,所述吸盘结构包括一个表面设置细孔的吸盘以及设置在吸盘结构上方的管道,且所述管道的风量通过可调气泵控制,根据待曝光板件的类型自动调节风量大小。
2.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,在所述入料区的出口处设置第一视觉检测机构,所述第一视觉检测机构检测待曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第一曝光平台的偏转角度,使其与进料转移机构夹持的待曝光的板件的角度一致,在所述转移翻板区的进口处设置第二视觉检测机构,所述第二视觉检测机构检测翻转后的完成第一面曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第二曝光平台的偏转角度,使其与出料转移机构夹持的完成第一面曝光的板件的角度一致。
3.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述出料转移机构包括由第一支架和第二支架构成支架、以及设置在第一支架上的用于进料的吸盘结构和设置在第二支架上的用于出料的吸盘结构,所述第一支架可纵向滑移设置在第二支架上。
4.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述入料区为若干进料滚轴构成的进料通道,在所述进料通道上设有拍板机构,所述拍板机构包括垂直进料方向设置的驱动机构以及设置在进料通道两侧的拍板,所述拍板与驱动机构构成滑移配合。
5.根据权利要求4所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述进料通道的出口处设置挡板,所述进料滚轴包括轴芯以及套设在轴芯外侧的轴套,且所述轴芯与轴套之间存在间隙。
6.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述第一曝光模组和第二曝光模组均设有光源组件以及上台框,在机台上固定有滚轮定位模组,所述上台框上两侧固定有可对应插置于所述滚轮定位模组上的定位块,且在定位块两侧对称设有支撑块,所述支撑块设置在固定座上,且所述支撑块的竖端与固定座之间设有滚轮。
7.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,在所述第一面曝光区和第二面曝光区的前后设置功能柜,所述功能柜与进料区或出料区并排设置。
8.根据权利要求7所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述功能柜内设有冷风干燥系统,所述功能柜内设有用于曝光光源散热的水冷系统,所述功能柜内设有用于全自动双面曝光机内部湿度调节的湿度调节系统。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108323022B (zh) * 2018-01-18 2024-07-30 东莞市多普光电设备有限公司 一种应用于pcb制造串接直流式曝光装置及工艺流程
CN108153118A (zh) * 2018-02-06 2018-06-12 成都凯景智能设备有限公司 一种全自动曝光机
CN108255029A (zh) * 2018-03-09 2018-07-06 广东华恒智能科技有限公司 一种双面曝光机及其曝光方法
CN109709773A (zh) * 2019-02-28 2019-05-03 东莞市威力固电路板设备有限公司 双台面pcb曝光设备
CN110297400A (zh) * 2019-06-19 2019-10-01 东莞市安达自动化设备有限公司 一种两进两出双工位曝光机
CN110615285B (zh) * 2019-10-08 2024-08-09 武汉申安智能系统股份有限公司 具有调整物料的位置功能的生产线设备
CN111399344B (zh) * 2020-04-01 2022-06-28 东莞市多普光电设备有限公司 一种全自动影像检查双台面曝光机
CN112831809A (zh) * 2020-12-31 2021-05-25 广东杰信半导体材料股份有限公司 一种引线框架加工方法
CN112804827B (zh) * 2021-04-13 2021-07-16 广州蒙清科技有限公司 一种软件开发用pcb板生产加工装置
CN113759674B (zh) * 2021-09-11 2022-04-22 广东科视光学技术股份有限公司 一种pcb板曝光设备
CN114047674B (zh) * 2021-12-10 2024-05-14 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置
CN114265288A (zh) * 2022-02-07 2022-04-01 广东科视光学技术股份有限公司 一种全自动单面数字光刻方法
CN114253091B (zh) * 2022-02-07 2022-11-15 广东科视光学技术股份有限公司 一种全自动双面数字光刻方法
CN114803445A (zh) * 2022-03-23 2022-07-29 广东科视光学技术股份有限公司 一种线路板的数字光刻方法及应用其的线路板的数字光刻系统
CN114615816B (zh) * 2022-04-12 2022-12-23 苏州天准科技股份有限公司 板材曝光设备
CN115421360A (zh) * 2022-09-28 2022-12-02 东莞市友辉光电科技有限公司 全自动高速平行光曝光装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2578864Y (zh) * 2002-10-09 2003-10-08 张鸿明 单面防焊曝光机
CN201532523U (zh) * 2009-09-18 2010-07-21 川宝科技股份有限公司 全自动双面曝光机
CN105607430A (zh) * 2015-12-30 2016-05-25 深圳市鑫富宝科技有限公司 软板自动曝光机
CN105629670A (zh) * 2014-11-05 2016-06-01 永天机械设备制造(深圳)有限公司 Pcb板半自动对位及曝光装置
CN206270656U (zh) * 2016-12-19 2017-06-20 浙江欧视达科技有限公司 全自动双面曝光机

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2578864Y (zh) * 2002-10-09 2003-10-08 张鸿明 单面防焊曝光机
CN201532523U (zh) * 2009-09-18 2010-07-21 川宝科技股份有限公司 全自动双面曝光机
CN105629670A (zh) * 2014-11-05 2016-06-01 永天机械设备制造(深圳)有限公司 Pcb板半自动对位及曝光装置
CN105607430A (zh) * 2015-12-30 2016-05-25 深圳市鑫富宝科技有限公司 软板自动曝光机
CN206270656U (zh) * 2016-12-19 2017-06-20 浙江欧视达科技有限公司 全自动双面曝光机

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