CN106531901A - 带有围堰的基板 - Google Patents

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CN106531901A CN201610803790.6A CN201610803790A CN106531901A CN 106531901 A CN106531901 A CN 106531901A CN 201610803790 A CN201610803790 A CN 201610803790A CN 106531901 A CN106531901 A CN 106531901A
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仓田知己
关口泰广
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Abstract

本发明的一个实施方式的带有围堰的基板具备基板、和设于基板上且划分出在基板上预先设定的区划的单层结构的围堰，围堰的位于与基板侧的底面相反一侧的上面的茴香醚的接触角为35°以上，在与基板的板厚方向正交的方向上，将从由围堰的临近区划的侧面和底面规定的围堰端部到有机层锁定位置的距离设为D1、将围堰的厚度设为T1时，D1/T1满足0＜D1/T1≤2.0，有机层锁定位置是在上述区划内形成一层有机层的情况下有机层与围堰的界面中的靠近上面的端部的位置。

Description

带有围堰的基板
技术领域
本发明涉及一种带有围堰的基板。
背景技术
有以有机EL(Electro Luminescence)元件作为光源的发光装置。作为这样的发光装置，例如有在像素的光源中使用了有机EL元件的有机EL显示器(显示装置)。有机EL显示器具备多个有机EL元件，各有机EL元件作为像素的光源发挥作用。有机EL显示器具备在基板上设有划分出规定像素的区划的围堰的带有围堰的基板。作为这样的带有围堰的基板，例如有专利文献1(日本特开2011-170249号公报)记载的基板。
上述具备带有围堰的基板的有机EL显示器中，有机EL元件是在各区划中依次层叠第一电极、作为有机层的发光层、第二电极而形成。也可以在第一电极与发光层之间、或发光层与第二电极之间，还形成其他的有机层或无机层。有机EL元件的第一电极也可以是带有围堰的基板的一部分。
上述的有机层可以利用涂布法来形成。即，有机层是通过将含有成为有机层的材料的涂布液利用给定的涂布法向给定的区划(由围堰包围的区域)供给、并将其干燥、固化而形成。使涂布液干燥后形成的有机层与临近区划的围堰侧面的界面中的围堰上面侧的端部(最上端部)被作为锁定位置为人所知。
发明内容
发明所要解决的问题
在带有围堰的基板中，在利用围堰划分出的区划内形成有机EL元件的情况下，要求有机EL元件的有机层的厚度的均匀性。因而，本发明的目的在于，提供一种带有围堰的基板，其在利用围堰划分出的区划内形成有机层的情况下，可以实现有机层的厚度的均匀性。
本申请发明人等为了在利用围堰划分出的区划内形成有机层的情况下实现有机层的厚度的均匀性而进行了深入研究。其结果是，发现通过使围堰的厚度和有机层锁定位置满足给定的关系，就可以实现有机层的厚度的均匀性，从而完成了本发明。
即，本发明的一个方面的带有围堰的基板具备基板、和设于基板上并划分出在基板上预先设定的区划的单层结构的围堰。在上述围堰中位于与上述基板侧的底面相反一侧的上面的茴香醚的接触角为35°以上。在上述基板的与厚度方向正交的方向上，在将由围堰的临近上述区划的侧面和上述底面规定的围堰端部到有机层锁定位置的距离设为D1、将围堰的厚度设为T1时，D1/T1满足0＜D1/T1≤2.0。上述有机层锁定位置是在上述区划内形成一层有机层时有机层与围堰的界面中的靠近上述上面的端部的位置。
上述构成中，围堰的上面的茴香醚的接触角为35°以上，由此就能够在区划内形成有机层时确保所期望的厚度。另外，通过使D1/T1满足0＜D1/T1≤2.0，就可以在确保围堰的高度的同时，实现有机层的厚度的均匀性。
上述围堰的由上述底面和上述侧面规定的角度也可以小于90°。该情况下，可以得到侧面朝向基板侧前端细的围堰。
上述围堰可以是含有疏液剂的感光性树脂组合物的固化物。通过含有疏液剂，围堰就具备疏液性。另外，通过含有感光性树脂组合物，就可以利用例如曝光及显影处理等形成围堰。
上述疏液剂也可以含有氟树脂。
相对于上述感光性树脂组合物中所含的固体成分而言的上述疏液剂的组成比例也可以小于0.2质量％。由此，就可以使围堰的上面的茴香醚的接触角为35°以上，并且容易更加可靠地使上述D1/T1满足0＜D1/T1≤2.0。
有机层锁定位置可以是利用涂布法作为有机层形成空穴注入层时的上述界面中的靠近上述上面的端部的位置。
根据上述本发明，可以提供一种带有围堰的基板，其在利用围堰划分出的区划内形成有机层的情况下，可以实现有机层的厚度的均匀性。
附图说明
图1是一个实施方式的带有围堰的基板的俯视图。
图2是沿着图1的II-II线的剖面的局部放大图。
图3是用于说明使用了图1所示的带有围堰的基板的有机EL显示器的构成的示意图。
图4是表示使用了图1所示的带有围堰的基板的有机EL显示器的像素配置例的示意图。
图5是用于说明图1所示的带有围堰的基板的围堰所满足的条件的图。
图6是表示在图1所示的带有围堰的基板的制造方法中形成了成为围堰的薄膜的状态的图。
图7是用于说明图1所示的带有围堰的基板的制造方法中的曝光工序的图。
图8是用于说明图1所示的带有围堰的基板的制造工序中显影工序后的状态的图。
具体实施方式
以下，在参照附图的同时，对本发明的实施方式进行说明。对相同的要素使用相同符号。省略重复的说明。图的尺寸比率不一定与说明的内容一致。
图1及图2所示的带有围堰的基板10是适用于有机EL显示器(显示装置)这样的有机EL设备的基板。如图1及图2所示，带有围堰的基板10具备基板12和围堰14。在带有围堰的基板10中，形成有利用基板12和围堰14规定出的多个凹部16。
基板12具有基板主体18和多个电极20。基板主体18是对可见光(波长400nm～800nm的光)具有透光性的板状的透明构件。基板主体18是支承电极20及围堰14的支承体。基板主体18的厚度例如为30μm以上且1100μm以下。基板主体18例如可以是玻璃基板及硅基板等刚性基板，也可以是塑料基板及高分子膜等挠曲性基板。通过使用挠曲性基板，使用了带有围堰的基板10的有机EL设备可以举出挠曲性。
在带有围堰的基板10被应用于有机EL设备的情况下，也可以在基板主体18中预先形成用于独立地驱动有机EL设备所具备的多个有机EL元件的电路。例如，可以在基板主体18中预先形成例如TFT(Thin Film Transistor)、电容器等。
多个电极20如图1及图2所示，被离散地设于基板主体18上。具体而言，电极20在基板主体18的表面18a上被设于与凹部16对应的区域。电极20的俯视形状(从带有围堰的基板10的板厚方向观看到的形状)例如如图1所示为矩形，然而也可以是正方形，还可以是圆形或椭圆形。
各电极20作为有机EL元件30所具有的一对电极(阳极及阴极)中的一个电极发挥作用。以下，只要没有特别指出，电极20就相当于阳极。作为阳极的电极20可以使用包含金属氧化物、金属硫化物及金属等的薄膜，具体而言可以使用包含氧化铟、氧化锌、氧化锡、铟锡氧化物(IndiumTin Oxide：简称ITO)、钢锌氧化物(Indium Zinc Oxide：简称IZO)、金、铂、银、以及铜等的薄膜。在具备带有围堰的基板10的有机EL设备是从带有围堰的基板10侧射出光的设备的情况下，作为电极20使用显示出透光性的电极。
电极20被设于基板主体18的表面18a上，构成基板12的一部分。由此，在电极20中作为与基板主体18相反一侧的面的表面20a(参照图2)构成基板12的表面12a的一部分。通常，表面20a是平坦的面。基板主体18的表面18a中的没有设置电极20的区域也构成基板12的表面12a的一部分。在一个实施方式中，也可以在电极20与基板主体18之间，设有由绝缘层等构成的层。该情况下，由绝缘膜等构成的层中的与电极20接触的表面相当于基板主体18的表面12a。而且，也可以将绝缘层等层也视为基板主体18的一部分。
围堰14被设于基板12上。围堰14是划分出基板12上预先设定的区划的隔壁。利用围堰14划分出的区划是凹部16。围堰14在基板12上例如被以格子状或条纹状形成。在一个实施方式中，也可以在围堰14与基板12之间，设置由平坦化膜等构成的层。
如前所述，设于基板主体18上的电极20被设于基板主体18的表面18a中与凹部16对应的区域。该凹部16由围堰14划分出。由此，围堰14被设于基板主体18上除去设有电极20的区域以外的区域。但是，可以以使围堰14的端部(围堰端部)14a与电极20聚合的方式，在电极20的周缘部上也形成围堰14。
围堰14不需要以使其端部14a将电极20的全部的周缘部覆盖的方式形成。例如，在形成所谓的条纹状的围堰14的情况下，可以以使隔壁的端部覆盖电极20的4边中的相面对的2边的方式来形成隔壁。本实施方式中围堰14的端部14a被以覆盖电极20的全部周缘部的方式形成。
上述端部14a是由围堰14中临近凹部16的侧面14b和围堰14的底面14c规定的端部，底面14c是围堰14与基板12的表面12a的接触面。
以下，为了说明的方便，如图1及图2所示，将基板12的板厚方向称作Z方向，将与Z方向正交的2个方向称作X方向及Y方向。X方向及Y方向彼此正交。
只要没有指出，在本实施方式中，围堰14就如图1所示，被以格子状形成。该情况下，从基板12的板厚方向(Z方向)观看，多个凹部16被以矩阵状配置。即，凹部16在X方向(第一轴方向)被隔开给定的间隔配置，并且在Y方向(第二轴方向)被隔开给定的间隔配置。有时也基于如图1所示的凹部16的二维排列状态，将X方向称作行方向，将Y方向称作列方向。各凹部16的俯视时的形状不受限定。例如，凹部16可以被以俯视时近似矩形或近似椭圆形来形成。本实施方式中设有俯视时近似矩形的凹部16。
凹部16是在带有围堰的基板10被应用于有机EL显示器中时作为像素发挥作用的部分。对这一点进行说明。图3是表示利用了带有围堰的基板10的有机EL显示器的剖面构成的一例的图。
如图3所示，有机EL显示器22具有有机EL元件30，其包含：配置于作为由围堰14划分出的区划的凹部16的相当于阳极的电极20、层叠于电极20上的空穴注入层24、层叠于空穴注入层24上的发光层26、以及层叠于发光层26上的相当于阴极的电极28。本说明书中，所谓设于层“上”，是指可以采取与下层接触地设置的形态、和与下层分开地设置的形态。
由于在带有围堰的基板10中，以矩阵状形成有多个凹部16，因此有机EL显示器22如图4所示，具有与凹部16的个数对应的有机EL元件30，多个有机EL元件30被与多个凹部16相同地以矩阵状配置。即，有机EL元件30在基板主体18上，被在X方向隔开给定的间隔配置，并且在Y方向隔开给定的间隔排列设置。
有机EL元件30在有机EL显示器22中作为像素的光源发挥作用。此外，有机EL元件30被与凹部16对应地设置。由此，凹部16是作为像素发挥作用的部分。
在一个实施方式中，有机EL显示器22设有3种有机EL元件30。即设有(1)射出红色的光的红色有机EL元件30R、(2)射出绿色的光的绿色有机EL元件30G、(3)射出蓝色的光的蓝色有机EL元件30B。这3种有机EL元件30R、30G、30B例如是通过将以下的(i)、(ii)、(iii)的列在Y方向依次反复配置而被分别排列配置(参照图4)。
(i)红色有机EL元件30R被在X方向隔开给定的间隔配置的列。
(ii)绿色有机EL元件30G被在X方向隔开给定的间隔配置的列。
(iii)蓝色有机EL元件30B被在X方向隔开给定的间隔配置的列。
作为其他的实施方式，除了上述3种有机EL元件30以外，例如也可以还设置射出白色的光的有机EL元件30。另外，也可以通过设置仅为1种的有机EL元件30，而实现单色显示装置。
回到图3，对有机EL元件30的构成进行说明。对于电极20由于如前所述，因此省略说明。
空穴注入层24是具有改善从作为阳极的电极20向发光层26的空穴注入效率的功能的有机层。该空穴注入层24可以根据需要依照有机EL元件30的种类而改变其材料或厚度地设置。从空穴注入层24的形成工序的简易性的观点考虑，也可以用相同的材料、相同的厚度来形成全部的空穴注入层24。此外，在形成微腔结构的有机EL元件30的情况下，也可以以产生光共振的方式，根据发光波长依照有机EL元件30的种类而调整空穴注入层24的厚度。
作为空穴注入层24的材料，可以使用公知的空穴注入材料。空穴注入层24可以利用涂布法形成。即，将含有成为空穴注入层24的材料的墨液向由围堰14包围的区域(凹部16)供给。供给墨液的方法没有特别限定，然而例如可以利用喷墨打印法、喷嘴涂布法、凸版印刷法、以及凹版印刷法等供给。其后，通过将所供给的墨液固化而形成空穴注入层24。
发光层26在凹部16中被设于空穴注入层24上。发光层26是具有发出给定的波长的光的功能的有机层。发光层26通常主要由发出荧光和/或磷光的有机物、或者该有机物和辅助它的掺杂剂形成。掺杂剂是为了例如提高发光效率、改变发光波长而加入的。发光层26中所含的有机物可以是低分子化合物，也可以是高分子化合物。作为构成发光层26的发光材料，例如可以举出公知的色素系材料、金属络合物系材料、高分子系材料、掺杂剂材料。
发光层26被与有机EL元件30的种类(例如红色有机EL元件30R、绿色有机EL元件30G及蓝色有机EL元件30B)对应地设置。在设有红色有机EL元件30R的凹部16的空穴注入层24上，设置发出红色的发光层26，在设有绿色有机EL元件30G的凹部16的空穴注入层24上，设置发出绿色的发光层26，在设有蓝色有机EL元件30B的凹部16的空穴注入层24上，设置发出蓝色的发光层26。
发光层26可以与空穴注入层24相同地利用涂布法形成。该情况下，除了使用含有成为发光层26的材料的墨液这一点以外，可以与空穴注入层24相同地形成发光层26。
电极28被设于发光层26上。如前所述，本实施方式中，由于电极20作为阳极发挥作用，因此电极28作为阴极发挥作用。作为用作阴极的电极28的材料，优选功函数小、向发光层26中的电子注入容易、电导率高的材料。若有机EL显示器22为从阳极侧取出光的显示器，则为了将从发光层26放射的光在阴极处向阳极侧反射，作为阴极的材料优选可见光反射率高的材料。作为阴极，例如可以使用碱金属、碱土类金属、过渡金属及周期表的第13族金属等。作为相当于阴极的电极28，可以使用包含导电性金属氧化物及导电性有机物等的透明导电性电极。
电极28可以利用蒸镀或涂布法等形成。在利用涂布法形成电极28的情况下，除了使用含有成为电极28的材料的墨液这一点以外，可以与空穴注入层24相同地形成电极28。
电极28只要设于发光层26上即可，例如也可以在发光层26与设于其上的电极28之间，设有给定的无机层。
本实施方式中电极28在设有有机EL元件30的显示区域中形成于整个面。即，电极28被遍及多个有机EL元件30地连续形成，在全部的有机EL元件30中被作为公共的电极28设置。因而，电极28不仅形成于发光层26上，也形成于围堰14上。
虽然图3中省略了图示，然而在有机EL显示器的电极20上，通常设有用于密封有机EL元件30的密封基板。
下面，再利用图5，对带有围堰的基板10所具有的围堰14进行更详细的说明。图5中，为了说明围堰14所满足的条件，在电极20上形成有空穴注入层24的情况下，示意性地表示出一个凹部16附近的构成。
围堰14具有单层结构。即，围堰14与具有将多个层层叠而得的层叠结构的围堰14不同。
围堰14的形状及其配置可以根据像素数及分辨率等有机EL显示器22的规格、制造的容易度等适当地设定。例如显示区域中的围堰14的X方向(行方向)或Y方向(列方向)的宽度为5μm～50μm左右。所谓围堰14的给定方向(X方向或Y方向)的宽度，是在与给定方向正交的围堰14的剖面中围堰14的底面14c的长度，具体而言，是在上述给定方向上与相邻的凹部16分别临近的围堰14的端部14a间的距离。围堰14的高度为0.3μm～5μm左右。在X方向或Y方向上相邻的围堰14间的间隔、即凹部16的行方向(X方向)或列方向(Y方向)的宽度为10μm～300μm左右。所谓凹部16的给定方向(X方向或Y方向)的宽度，是给定方向(X方向或Y方向)上的凹部16的底面的长度。在凹部16为这样的大小的情况下，电极20的行方向或列方向的宽度分别为10μm～300μm左右。如前所述，在围堰14的端部14a形成于电极20的周缘部上的情况下，电极20的行方向或列方向的宽度大于凹部16的行方向或列方向的宽度。
围堰14具有正锥形。所谓正锥形的围堰14，是指在围堰14中相当于凹部16的内面的围堰14的侧面14b与底面14c所成的角度θ1(参照图2)小于90°的围堰14。即，临近凹部16的围堰14的端部14a的附近如图2及图5所示，被制成越是接近基板12则越是前端变细的形状。角度θ1是侧面14b相对于基板12的倾斜角。图2中，作为表面20a与侧面14b之间的角度进行了图示，然而也可以是侧面14b相对于表面18a的角度。
围堰14满足下面的<条件1>及<条件2>。
<条件1>
围堰14的上面14d的茴香醚的接触角为35°以上。
<条件2>
在与基板12的厚度方向正交的方向上，将从围堰14的端部14a到有机层锁定位置P的距离设为D1、将围堰14的厚度设为T1时，D1/T1满足0＜D1/T1≤2.0。T1例如为0.3μm以上。
<条件1>中的茴香醚的接触角是向上面14d滴下茴香醚时的茴香醚的接触角，是利用协和界面科学株式会社制、LCD-700S自动液晶玻璃清洗·处理检查装置、借助软件名FAMAS内的θ/2法将液滴尺寸设为1.0μm进行计测而得的值。
<条件2>中的所谓上述有机层锁定位置P，如图5所示，是在凹部16中形成一层有机层时该有机层与围堰14的界面中的上面14d侧的端部(最上端部)的位置。形成于凹部16中的有机层不受限定，然而可以是利用涂布法形成的有机层。作为利用涂布法形成的有机层的例子，图5中图示了空穴注入层24。若满足上述D1/T1，则不同的凹部16的有机层锁定位置P也可以不同。
围堰14是含有疏液剂的感光性树脂组合物的固化物。在一个实施方式中，疏液剂可以含有氟树脂。在一个实施方式中，感光性树脂组合物含有自由基聚合引发剂。
上述疏液剂的含有比例为相对于感光性树脂组合物中所含的固体成分小于0.2质量％。例如，上述<条件1>及<条件2>可以通过调整感光性树脂组合物中的疏液剂的种类及含量来实现。如前所述，在上述疏液剂含有氟树脂的情况下，容易满足<条件1>及<条件2>。另外，在上述疏液剂的组成比例为相对于感光性树脂组合物中所含的固体成分小于0.2质量％的情况下，容易满足<条件1>及<条件2>。此外，在上述疏液剂含有氟树脂、疏液剂的含量为相对于感光性树脂组合物中所含的固体成分小于0.2质量％的情况下，更容易满足<条件1>及<条件2>。
上述带有围堰的基板10例如可以如下所示地制造。
首先，准备基板12(准备基板的工序)。该情况下，可以准备预先设有电极20的基板12，也可以在准备基板12的工序中，在基板主体18上形成电极20。对在基板主体18上以矩阵状形成电极20的情况进行说明。
电极20例如可以通过如下操作来形成，即，在基板主体18的表面18a形成导电性薄膜，将其利用光刻法图案化为矩阵状，由此形成图案而形成。另外，例如也可以将在给定的部位形成有开口的掩模配置于基板主体18上，夹隔着该掩模在基板主体18上的给定的部位选择性地堆积导电性材料，由此形成以矩阵状配置的电极20。
在如上所述地准备基板12后，在基板12上形成围堰14(形成围堰的工序)。围堰14的形成方法不受限定，而此处在围堰14是含有疏液剂的感光性树脂组合物的固化物、疏液剂含有氟树脂的情况下，对于使用了光刻法的形成方法，在利用图6～图8的同时进行说明。
如图6所示，首先将含有疏液剂的感光性树脂组合物涂布于基板12上，形成包含含有疏液剂的感光性树脂组合物的薄膜32。作为感光性树脂组合物的涂布方法，例如可以举出旋涂法、模缝涂布法等。
在形成包含感光性树脂组合物的薄膜32后，也可以实施以除去溶剂为目的的真空干燥。例如通过抽真空至真空度50Pa～150Pa而除去溶剂。然后，进行预烘焙。例如，通过在70℃～120℃的温度、以50秒～120秒加热基板12而进行预烘焙，除去真空干燥中残存的溶剂，并且使包含感光性树脂组合物的薄膜32与基板12密合。
当进行预烘焙处理时，就会在形成于基板12上的薄膜32中，疏液剂上浮到表层部。
然后进行曝光。在使用了负型的感光性树脂组合物的情况下，向应该形成图案的部分照射光。在使用了正型的感光性树脂组合物的情况下，向除去应该形成图案的部分以外的部分照射光。本实施方式中对使用负型的感光性树脂组合物的方式进行说明。
如图7所示，在基板12上配置给定的图案的遮挡光的光掩模34，夹隔着该光掩模34，对薄膜32进行曝光。若为含有聚合引发剂的感光性树脂组合物，通过实施曝光，在预烘焙处理中上浮到表层部的疏液剂就被固定化。本实施方式中，在薄膜32当中主要对应该形成围堰14的部位照射光。图7中，将所照射的光使用露白的箭头记号示意性地表示。
在利用产酸剂进行聚合的感光性树脂组合物中，在曝光后实施热处理。例如通过在70℃～120℃的温度，以50秒～120秒加热基板12，而开始聚合，疏液剂被固定化。
然后对经过曝光处理的基板12进行显影处理而除去未曝光部分，由此形成如图8所示的正锥形的结构物36。结构物36是应当成为正锥形的一层围堰14的结构物。例如可以将经过曝光处理的基板12浸渍于显影液中而进行显影处理。该情况下，作为显影中所使用的显影液，例如可以举出氯化钾水溶液、四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液等。
在结构物36中，对于应当成为侧面14b的侧面36a与结构物36的底面36b所成的角度θ2(或侧面36a相对于基板12的表面12a(或基板主体18的表面18a)的倾斜角)，经过后述的固化烘焙事先调整为变为图2所示的角度θ1。该角度θ2可以通过调整曝光量、显影时间、光掩模34与基板12的距离、以及薄膜32的厚度的至少一个来调整。
一般在负型的感光性树脂组合物的情况下，有曝光量越多则结构物36的侧面36a的角度(倾斜角)θ2越小的趋势。曝光量是根据角度θ2来设定，然而例如为40mJ/m2～300mJ/m2，更优选为50mJ/m2～250mJ/m2。一般在负型的感光性树脂组合物的情况下，有越是延长显影时间则角度θ2越大的趋势。一般在负型的感光性树脂组合物的情况下，有越是缩短光掩模34与基板12的距离则角度θ2越接近90°的趋势。
如上所述，由于在薄膜32中，疏液材料被固定化在表层部，因此在作为通过实施曝光处理及显影处理而得的结构物36的成为一层围堰14的上述结构物36中，疏液材料也是分布于其表层部。
显影后，进行固化烘焙。例如通过在200℃～230℃的温度、以15分钟～60分钟加热基板12而进行固化烘焙，形成正锥形的围堰14。
此处，对感光性树脂组合物的一例进行具体的说明。围堰14中所使用的感光性树脂组合物的一例含有下述(A)、(B)、(C)、(D)及(E)。
(A)含有来自于选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的构成单元、和来自于具有碳原子数2～4的环状醚结构的不饱和化合物的构成单元的共聚物(但是，不具有来自于具有碳原子数4～6的全氟烷基的不饱和化合物的构成单元。)(以下有时称作“树脂A”)
(B)含有来自于具有碳原子数4～6的全氟烷基的不饱和化合物的构成单元的聚合物(以下有时称作“树脂B”)
(C)聚合性化合物
(D)聚合引发剂
(E)溶剂
而且，上述的树脂B相当于含有氟树脂的疏液剂。
此外，感光性树脂组合物也可以含有选自与树脂A及树脂B不同的树脂(以下有时称作“树脂A1”)、聚合引发助剂、多官能硫醇化合物中的至少1种。
本说明书中，作为各成分例示的化合物只要没有特别指出，就可以单独或组合地使用。
作为树脂A，例如可以举出下述的树脂A-1、树脂A-2。
树脂A-1：将选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种(a)(以下有时称作“(a)”)与具有碳原子数2～4的环状醚结构的不饱和化合物(b)(以下有时称作“(b)”)聚合而成的共聚物。
树脂A-2：将能够与(a)及(b)共聚的单体(c)(但是，不具有碳原子数2～4的环状醚结构。)(以下有时称作“(c)”)、(a)、和(b)聚合而成的共聚物。
但是，(a)、(b)及(c)不具有碳原子数4～6的全氟烷基。
作为树脂A，优选树脂A-1。
作为(a)，具体而言，可以举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、邻乙烯基苯甲酸、间乙烯基苯甲酸、对乙烯基苯甲酸等不饱和单羧酸；
马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基邻苯二甲酸、4-乙烯基邻苯二甲酸、3，4，5，6-四氢邻苯二甲酸、1，2，3，6-四氢邻苯二甲酸、二甲基四氢邻苯二甲酸、1、4-环己烯二羧酸等不饱和二羧酸；
甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸、5-羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羰基-5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羰基-5-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羰基-6-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羰基-6-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯等含有羰基的二环不饱和化合物；
马来酸酐、柠康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基邻苯二甲酸酐、4-乙烯基邻苯二甲酸酐、3，4，5，6-四氢邻苯二甲酸酐、1，2，3，6-四氢邻苯二甲酸酐、二甲基四氢邻苯二甲酸酐、5，6-二羰基二环[2.2.1]庚-2一烯酸酐(纳迪克酸酐)等不饱和二羧酸酐；
琥珀酸单〔2-(甲基)丙烯酰氧基乙基〕酯、邻苯二甲酸单〔2-(甲基)丙烯酰氧基乙基〕酯等二元以上的多元羧酸的不饱和单〔(甲基)丙烯酰氧基烷基〕酯；
α-(羟基甲基)丙烯酸之类的在同一分子中含有羟基及羰基的不饱和丙烯酸酯等。
它们当中，从共聚反应性的方面、碱溶解性的方面考虑优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。
本说明书中，所谓“(甲基)丙烯酸”，表示选自丙烯酸及甲基丙烯酸中的至少1种。“(甲基)丙烯酰基”及“(甲基)丙烯酸酯”等表述也具有相同的意味。
(b)是具有碳原子数2～4的环状醚结构(例如选自氧杂环丙烷环、氧杂环丁烷环及四氢呋喃环中的至少1种)的不饱和化合物，优选具有碳原子数2～4的环状醚结构和烯键式不饱和双键的单体，更优选具有碳原子数2～4的环状醚结构和(甲基)丙烯酰氧基的单体。
作为(b)，例如可以举出具有环氧乙基的不饱和化合物(b1)(以下有时称作“(b1)”)、具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物(b2)(以下有时称作“(b2)”)、具有四氢呋喃基的不饱和化合物(b3)(以下有时称作“(b3)”)等。
作为(b1)，可以举出具有直链状或支链状的不饱和脂肪族烃基被环氧化了的结构的不饱和化合物(b1-1)(以下有时称作“(b1-1)”)、具有不饱和脂环式烃被环氧化了的结构的不饱和化合物(b1-2)(以下有时称作“(b1-2)”)。
作为(b1)，优选具有环氧乙基和(甲基)丙烯酰氧基的单体，更优选具有不饱和脂环式烃被环氧化了的结构和(甲基)丙烯酰氧基的单体。若为这些单体，则感光性树脂组合物的保存稳定性优异。
作为(b1-1)，具体而言，可以举出(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、缩水甘油基乙烯基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-邻乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-间乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-对乙烯基苄基缩水甘油醚、2，3-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，4-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，5-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，6-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，4-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3，4，5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，4，6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、日本特开平7-248625号公报中记载的化合物等。
作为(b1-2)，可以举出乙烯基环己烯单氧化物、1，2-环氧-4-乙烯基环己烷(例如Celloxide 2000；Daicel化学工业(株)制)、3，4-环氧基环己基甲基丙烯酸酯(例如Cyclomer A400；Daicel化学工业(株)制)、3，4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯(例如Cyclomer M100；Daicel化学工业(株)制)、以式(I)表示的化合物、以式(II)表示的化合物等。
[化1]
[式(I)及式(II)中，R1及R2表示氢原子、或碳原子数1～4的烷基，该烷基中所含的氢原子可以由羟基取代。
X1及X2表示单键、-R3-、＊-R3-O-、＊-R3-S-、＊-R3-NH-。
R3表示碳原子数1～6的烷二基。
＊表示与O的键。]
作为碳原子数1～4的烷基，具体而言，可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。
作为可以由羟基取代的烷基，可以举出羟基甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基、1-羟基丙基、2-羟基丙基、3-羟基丙基、1-羟基-1-甲基乙基、2-羟基-1-甲基乙基、1-羟基丁基、2-羟基丁基、3-羟基丁基、4-羟基丁基等。
作为R1及R2，优选举出氢原子、甲基、羟基甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基，更优选举出氢原子、甲基。
作为烷二基，可以举出亚甲基、亚乙基、1，2-丙二基、1，3-丙二基、1，4-丁二基、1，5-戊二基、1，6-己二基等。
作为X1及X2，优选举出单键、亚甲基、亚乙基、＊-CH2-O-(＊表示与O的键)基、＊-CH2CH2-O-基，更优选举出单键、＊-CH2CH2-O-基。
作为(b2)，优选具有氧杂环丁烷基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。作为(b2)，例如可以举出3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷等。
作为(b3)，优选具有四氢呋喃基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。作为(b3)，具体而言，可以举出丙烯酸四氢糠基酯(例如Viscoat V#150、大阪有机化学工业(株)制)、甲基丙烯酸四氢糠基酯等。
作为(c)，可以举出(甲基)丙烯酸酯、N-取代马来酰亚胺、不饱和二羧酸二酯、脂环式不饱和化合物、苯乙烯、其他的乙烯基化合物等。而且(甲基)丙烯酸酯要除去具有烯键式不饱和基的(甲基)丙烯酸酯。
在树脂A-1中，来自于各单体的构成单元的比率优选相对于构成树脂A-1的构成单元的合计摩尔数处于以下的范围。
来自于(a)的构成单元；5～60摩尔％(更优选为10～50摩尔％)
来自于(b)的构成单元；40～95摩尔％(更优选为50～90摩尔％)
若树脂A-1的构成单元的比率处于上述的范围，则感光性树脂组合物的保存稳定性、由感光性树脂组合物形成图案时的显影性、以及所得的涂膜及图案的耐溶剂性、耐热性及机械强度有变得良好的趋势。
作为树脂A-1，优选(b)为(b1)的树脂(A-1)，更优选(b)为(b1-2)的树脂A-1。
树脂A-1例如可以参照文献《高分子合成的实验法》(大津隆行著发行所(株)化学同人第1版第1次印刷1972年3月1日发行)中记载的方法及该文献中记载的引用文献制造。
在树脂A-2中，来自于各单体的构成单元的比率优选相对于构成树脂A-2的全部构成单元的合计摩尔数处于以下的范围。
来自于(a)的构成单元；2～40摩尔％(更优选为5～35摩尔％)
来自于(c)的构成单元；1～65摩尔％(更优选为1～60摩尔％)
来自于(b)的构成单元；2～95摩尔％(更优选为5～80摩尔％)
若树脂A-2的构成单元的比率处于上述的范围，则感光性树脂组合物的保存稳定性、由感光性树脂组合物形成图案时的显影性、以及所得的涂膜及图案的耐溶剂性、耐热性及机械强度有变得良好的趋势。
作为树脂A-2，优选(b)为(b1)的树脂A-2，更优选(b)为(b1-2)的树脂(A-2)。树脂A-2可以利用与树脂A-1相同的方法制造。
树脂A的聚苯乙烯换算的重均分子量优选为3,000～100,000，更优选为5,000～50,000。若树脂A的重均分子量处于所述的范围，则会有涂布性优异的趋势，另外在显影时难以产生曝光部的膜减少，此外容易利用显影除去非曝光部。
树脂A的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.1～6.0，更优选为1.2～4.0。若分子量分布处于所述的范围，则会有显影性优异的趋势。
树脂A的酸值为20～150mgKOH/g，优选为40～135mgKOH/g，更优选为50～135mgKOH/g。此处酸值是作为将1g树脂中和所必需的氢氧化钾的量(mg)测定的值，可以通过使用氢氧化钾水溶液进行滴定而求出。
树脂A的含量相对于树脂A、树脂A1及聚合性化合物的合计量优选为5～95质量％，更优选为20～80质量％，特别优选为40～60质量％。若树脂A的含量处于所述的范围，则感光性树脂组合物的显影性、所得的图案的密合性、耐溶剂性及机械特性会有变得良好的趋势。
作为树脂B，可以举出包含来自于具有碳原子数4～6的全氟烷基的不饱和化合物(d)(以下有时称作“(d)”)的构成单元的聚合物。
作为(d)，例如可以举出以式(d-0)表示的化合物。
[化2]
[式(d-0)中，Rf表示碳原子数4～6的全氟烷基。
Rd表示氢原子、卤素原子、氰基、苯基、苄基或碳原子数1～21的烷基，该烷基中所含的氢原子也可以由卤素原子或羟基取代。
Xd表示单键、碳原子数1～10的2价的脂肪族烃基、碳原子数3～10的2价的脂环式烃基或碳原子数6～12的2价的芳香族烃基，该脂肪族烃基及该脂环式烃基中所含的-CH2-也可以置换为-O-、-CO-、-NRe-、-S-或-SO2-。]
Rf为碳原子数4～6的全氟烷基，优选全氟丁基及全氟己基。
作为Rd中的碳原子数1～21的烷基，可以举出甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基等直链状烷基；
异丙基、异丁基、仲丁基、异戊基、1-甲基戊基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1-乙基丁基、2-乙基丁基、1-甲基己基、2-甲基己基、3-甲基己基、4-甲基己基、5-甲基己基、1-乙基戊基、2-乙基戊基、3-乙基戊基、1-丙基丁基、1-甲基庚基、2-甲基庚基、3-甲基庚基、4-甲基庚基、5-甲基庚基、6-甲基庚基、1-乙基己基、2-乙基己基、3-乙基己基、4-乙基己基、2-丙基戊基、1-丁基丁基、1-丁基-2-甲基丁基、1-丁基-3-甲基丁基、叔丁基、1，1-二甲基丙基、1，1-二甲基丁基、1，2-二甲基丁基、1，3-二甲基丁基、2，3-二甲基丁基、1-乙基-2-甲基丙基、1，1=二甲基戊基、1，2-二甲基戊基、1，3-二甲基戊基、1，4-二甲基戊基、2，2-二甲基戊基、2，3-二甲基戊基、2，4-二甲基戊基、3，3-二甲基戊基、3，4-二甲基戊基、1-乙基-1-甲基丁基、2-乙基-3-甲基丁基等支链状烷基等。
作为Rd，优选氢原子、卤素原子及甲基。
作为Xd中的碳原子数1～10的2价的脂肪族烃基，可以举出亚甲基、亚乙基、1，3-丙二基、1，2-丙二基、1，4-丁二基、1，3-丁二基、1，2-丁二基、1，5-戊二基、1，6-己二基、1，7-庚二基、1，8-辛二基等烷二基。
作为Xd中的碳原子数3～10的2价的脂环式烃基，可以举出环丙烷二基、环丁烷二基、环戊烷二基、环己烷二基、环庚烷二基、环癸烷二基等。作为Xd中的碳原子数6～12的2价的芳香族烃基，可以举出亚苯基、萘二基等。
作为-CH2-被置换为-O-、-CO-、-NRe-、-S-或-SO2-的Xd，例如可以举出以式(xd-1)～式(xd-10)表示的基团等。
[化3]
作为Xd，优选碳原子数1～6的烷二基，更优选亚乙基。
作为树脂B，优选为包含来自于(d)的构成单元和来自于(a)的构成单元的树脂，更优选为包含来自于(d)的构成单元和来自于(a)的构成单元和来自于(b)的构成单元的树脂。通过使树脂B包含来自于(a)的构成单元，显影性就会优异，因此会有残渣、来自于显影的不均得到抑制的趋势。通过使树脂B包含来自于(b)的构成单元，会有耐溶剂性优异的趋势。另外，树脂B也可以包含来自于(c)的构成单元，且不具有来自于(c)的烯键式不饱和键。作为(a)、(b)及(c)，可以举出与上述相同的化合物。
在树脂B为(a)与(d)的共聚物的情况下，来自于各单体的构成单元的比率优选相对于构成树脂B的构成单元的合计摩尔数处于以下的范围。
来自于(a)的构成单元；5～40质量％(更优选为10～30质量％)
来自于(d)的构成单元；60～95质量％(更优选为70～90质量％)
在树脂(B)为(a)、(b)及(d)的共聚物的情况下，来自于各单体的构成单元的比率优选相对于构成树脂(B)的构成单元的合计摩尔数处于以下的范围。
来自于(a)的构成单元；5～40质量％(更优选为10～30质量％)
来自于(b)的构成单元；5～80质量％(更优选为10～70质量％)
来自于(d)的构成单元；10～80质量％(更优选为20～70质量％)
在树脂B为(a)、(b)、(c)及(d)的共聚物的情况下，来自于各单体的构成单元的比率优选相对于构成树脂(B)的构成单元的合计摩尔数处于以下的范围。
来自于(a)的构成单元；5～40质量％(更优选为10～30质量％)
来自于(b)的构成单元；5～70质量％(更优选为10～60质量％)
来自于(c)的构成单元；10～50质量％(更优选为20～40质量％)
来自于(d)的构成单元；10～80质量％(更优选为20～70质量％)
若各构成单元的比率处于上述的范围，则会有疏液性、显影性优异的趋势。
树脂B的聚苯乙烯换算的重均分子量优选为3000～20000，更优选为5000～15000。若树脂(A)的重均分子量处于所述的范围，则会有涂布性优异的趋势，另外在显影时难以产生曝光部的膜减少，此外非曝光部容易被利用显影除去。
树脂B的酸值为20～200mgKOH/g，优选为40～150mgKOH/g。
树脂B的含量相对于树脂A、树脂A1及聚合性化合物的合计量100质量份优选为0.001～10质量份，更优选为0.01～5质量份。若树脂B的含量处于所述的范围，则图案形成时显影性优异，并且所得的图案有疏液性优异的趋势。
感光性树脂组合物也可以含有树脂A1。作为树脂A1，可以举出：
树脂A1-1：将(a)与(c)聚合而成的共聚物、
树脂A1-2：使(b)与将(a)与(c)聚合而成的共聚物反应而得的树脂、
树脂A1-3：使(a)与将(a)与(c)聚合而成的共聚物反应而得的树脂等。
树脂A1的含量相对于树脂A及树脂A1的合计量优选为0～80质量％，更优选为0～50质量％。若树脂A1的含量处于所述的范围，则可以以高灵敏度形成图案，并且显影性优异。
感光性树脂组合物含有聚合性化合物。
聚合性化合物是可以利用由聚合引发剂产生的活性自由基进行聚合的化合物，例如为具有烯键式不饱和键的化合物等，优选为(甲基)丙烯酸酯化合物。
作为具有1个烯键式不饱和键的聚合性化合物，可以举出与作为所述(a)、(b)及(c)举出的化合物相同的化合物，其中，优选(甲基)丙烯酸酯。
作为具有2个烯键式不饱和键的聚合性化合物，可以举出1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、双酚A的双(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作为具有3个以上的烯键式不饱和键的聚合性化合物，可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯与酸酐己内酯改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、己内酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、己内酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯与酸酐等。其中，优选3官能以上的光聚合性化合物(C)，更优选二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。
聚合性化合物的含量相对于树脂A、树脂A1及聚合性化合物的合计量优选为5～95质量％，更优选为20～80质量％。若聚合性化合物的含量处于所述的范围，则灵敏度、所得的图案的强度、平滑性、可靠性有变得良好的趋势。
感光性树脂组合物含有聚合引发剂。作为聚合引发剂，只要是可以利用光或热的作用引发聚合的化合物，就没有限定，可以使用公知的聚合引发剂。作为聚合引发剂，优选自由基聚合引发剂。
作为聚合引发剂，例如可以举出苯烷基酮化合物、双咪唑化合物、三嗪化合物、酰基氧化膦化合物及肟化合物。另外，可以使用日本特开2008-181087号公报中记载的光和/或热阳离子聚合引发剂(例如由鎓阳离子和来自于路易斯酸的阴离子构成的引发剂)。其中，优选为选自双咪唑化合物、苯烷基酮化合物及肟酯化合物中的至少1种，特别优选为肟酯化合物。若为含有这些化合物的聚合引发剂，则会有达到特别高灵敏度的趋势，因此优选。
在感光性树脂组合物中，可以与上述的聚合引发剂一起使用聚合引发助剂。聚合引发助剂是被与聚合引发剂组合使用、为了促进利用聚合引发剂引发聚合的聚合性化合物的聚合而使用的化合物、或敏化剂。作为聚合引发助剂，可以举出噻吨酮化合物、胺化合物及羧酸化合物等。
作为聚合引发剂与聚合引发助剂的组合，例如可以举出苯乙酮化合物与噻吨酮化合物、苯乙酮化合物与芳香族胺化合物，具体而言，可以举出2-吗啉代-1-(4-甲硫基苯基)-2-甲基-1-丙酮与2，4-二乙基噻吨酮、2-二甲基氨基-2-苄基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮与2，4-二乙基噻吨酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮与2，4-二乙基噻吨酮、2-吗啉代-1-(4-甲硫基苯基)-2-甲基-1-丙酮与2-异丙基噻吨酮与4-异丙基噻吨酮、2-吗啉代-1-(4-甲硫基苯基)-2-甲基-1-丙酮与4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-二甲基氨基-2-苄基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮与4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮与4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。
聚合引发剂的含量相对于树脂A、树脂A1及聚合性化合物的合计量100质量份优选为0.5～30质量份，更优选为1～20质量份，进一步优选为1～10质量份。若聚合引发剂的含量处于所述的范围，则可以以高灵敏度得到图案。
聚合引发助剂的使用量相对于树脂A、树脂A1及聚合性化合物的合计量100质量份优选为0.1～10质量份，更优选为0.3～7质量份。若聚合引发助剂的量处于所述的范围，则可以以高灵敏度得到图案，所得的图案的形状良好。
感光性树脂组合物含有溶剂。
作为溶剂，例如可以从酯溶剂(在分子内含有-COO-、且不含有-O-的溶剂)、醚溶剂(在分子内含有-O-、且不含有-COO-的溶剂)、醚酯溶剂(在分子内含有-COO-和-O-的溶剂)、酮溶剂(在分子内含有-CO-、且不含有-COO-的溶剂)、醇溶剂、芳香族烃溶剂、酰胺溶剂、二甲亚砜等中选择使用。
感光性树脂组合物中的溶剂的含量相对于感光性树脂组合物的总量优选为60～95质量％，更优选为70～90质量％。换言之，感光性树脂组合物的固体成分的含量优选为5～40质量％，更优选为10～30质量％。若溶剂的含量处于所述的范围，则涂布有感光性树脂组合物的膜的平坦性有变高的趋势。此处，所谓固体成分，是指感光性树脂组合物的成分中的除去溶剂的成分。
另外，感光性树脂组合物中可以包含的所谓多官能硫醇化合物，是指在分子内具有2个以上的硫基(-SH)的化合物。特别是若使用具有与来自于脂肪族烃基的碳原子键合的2个以上的硫基的化合物，则感光性树脂组合物的灵敏度有变高的趋势。
作为多官能硫醇化合物，具体而言，可以举出己二硫醇、癸二硫醇、1，4-双(甲硫基)苯、丁二醇双(3-硫基丙酸酯)、丁二醇双(3-硫基乙酸酯)、乙二醇双(3-硫基乙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-硫基乙酸酯)、丁二醇双(3-硫基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-硫基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-硫基乙酸酯)、季戊四醇四(3-硫基丙酸酯)、季戊四醇四(3-硫基乙酸酯)、三羟基乙基三(3-硫基丙酸酯)、季戊四醇四(3-硫基丁酸酯)、1，4-双(3-硫基丁酰氧基)丁烷等。
多官能硫醇化合物的含量相对于聚合引发剂100质量份优选为0.1～10质量份，更优选为0.5～7质量份。若多官能硫醇化合物的含量处于所述的范围，则感光性树脂组合物的灵敏度变高，另外显影性有变得良好的趋势，因此优选。
感光性树脂组合物也可以含有表面活性剂(但是，与树脂B不同)。作为表面活性剂，例如可以举出硅酮系表面活性剂、氟系表面活性剂、具有氟原子的硅酮系表面活性剂等。
作为硅酮系表面活性剂，可以举出具有硅氧烷键的表面活性剂。具体而言，可以举出Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、ToraySilicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray SiliconeSH30PA、聚醚改性硅油SH8400(商品名：Toray Dowcorning(株)制)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工业(株)制)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460(Momentive Performance Materials·Japan合同会社制)等。
此外，感光性树脂组合物也可以含有密合力提高剂。密合力提高剂的例子为硅烷偶联剂。
在以上说明的带有围堰的基板10中，围堰14满足<条件1>。即，围堰14的上面14d的茴香醚的接触角为35。以上。由此，在凹部16内形成有机层(例如空穴注入层24及发光层26)时，能够在减少像素尺寸(凹部16的大小)的影响的同时，在各层中确保所期望的厚度。例如，若茴香醚的接触角小于35°(更具体而言是30°以下)，则在利用涂布法形成需要大的厚度的发光层26等时，含有应当成为发光层26的材料的墨液从应当形成的凹部16内流出，可能产生无法获得必需的厚度的情况。与之不同，若茴香醚的接触角为35°以上，则如前所述，可以获得所期望的厚度。
在通过在由带有围堰的基板10所具备的围堰14划分出的凹部16中利用涂布法形成有机层而制作出有机EL元件的情况下，有机层锁定位置P处于围堰14的侧面14b上。因此，在凹部16中制作出有机EL元件的情况下，难以引起电流泄漏。
围堰14满足<条件2>。即，如使用图5说明所示，D1/T1满足0＜D1/T1≤2.0。由此，在通过在带有围堰的基板10的凹部16内利用涂布法形成有机层而制作出有机EL元件的情况下，有机层锁定位置P与围堰14的厚度(高度)相比处于距围堰14的端部14a更短的距离。因此，相对于围堰14的高度，有机层锁定位置P相对变低。该情况下，围堰14的侧面14b中干燥的墨液中的固体成分减少，由此使有机层的厚度变薄，像素内的有机层的厚度的均匀性提高。另外，由于有机层锁定位置P相对于围堰14的高度而言相对变低，因此向像素(凹部16)内的墨液填充量变少，用于获得元件制作所必需的厚度的材料使用效率提高。此外，通过满足上述<条件2>，可以在实现有机层的厚度的均匀性的同时，确保一定量的围堰14的高度。若围堰14的高度低，则会有难以体现基于疏液剂的疏液性的情况，而通过满足<条件2>，可以确保一定量的围堰14的高度，因此可以更加可靠地体现出围堰14的所期望的疏液性，其结果是，在利用涂布法在凹部16内形成有机层时，可以将用于形成有机层的墨液更加可靠地保持在凹部16内。
例如，如图5所示，在将凹部16内的有机层的最薄部的厚度设为基准厚度d，将达到(d+10)nm以下的厚度的面积设为AL1，将凹部16的开口面积设为AL2，将有机层的厚度的均匀性设为α时，可以利用下述式(1)来定义α并进行评价。
α＝(AL1/AL2)×100(％)···(1)
上述所谓凹部16的开口面积，是基板12的表面12a中的由围堰14的端部14a包围的区域的面积。
例如，在将一个液滴的墨液量设为Q，将液滴数设为N，将向像素(凹部16)内的墨液填充量设为β时，可以利用下述式(2)来定义β并进行评价。
β＝(Q×N)/AL2···(2)
式(2)中的AL2是前述的凹部16的开口面积。
围堰14只要以满足<条件1>及<条件2>的方式形成即可。在凹部16中形成成为有机EL元件的有机层的情况下，从减少有机层的厚膜部分(有机层锁定位置P附近的部分)的观点考虑，优选有机层锁定位置P更低。
此外，在凹部16中形成成为有机EL元件的有机层的情况下，对于确保有机层的平坦性而言，优选含有成为有机层的有机材料的墨液(涂布液)的填充量少。这是因为，上述有机层的厚膜部分减少。
由于围堰14为正锥形，因此侧面14b与上面14d形成钝角。因而，在带有围堰的基板10上形成有机EL元件的情况下，电极28难以断裂。
在围堰14为含有疏液剂的感光性树脂组合物的固化物、疏液剂含有氟树脂的方式中，可以使用如例示所示的光刻来制成围堰14。此时，在图6所示的对薄膜32进行预烘焙的工序中疏液剂分布于表层部。由此，在由薄膜32形成围堰14的情况下，围堰14的上面14d侧容易具有疏液性。因此，在凹部16内利用涂布法形成有机层时，可以将墨液(涂布液)更加可靠地保持在凹部16内。另外，由于可以通过调整疏液剂的组成比例，来调整围堰14中具有疏液性的区域，因此能够调整有机层锁定位置P。由此，在围堰14为含有疏液剂的感光性树脂组合物的固化物、疏液剂含有氟树脂的方式中，容易形成满足<条件1>及<条件2>的围堰14。
下面，对于在通过满足<条件1>及<条件2>而在由带有围堰的基板所具有的围堰划分出的区划内形成有机层的情况下可以实现有机层的厚度的均匀性这一点，参照实施例进行具体的说明。在以下的说明中，为了区别带有围堰的基板和其所具备的基板，将与此前的说明的基板12对应的基板称作“支承基板”。
(合成例1)
向具备回流冷凝器、滴液漏斗及搅拌机的烧瓶内，在流过适量的氮气的同时置换为氮气气氛，加入丙二醇单甲醚乙酸酯166质量份、甲氧基丙醇52质量份，一边搅拌一边加热到85℃。然后用4小时将3，4-环氧基三环[5.2.1.02，6]癸烷-8及9-基丙烯酸酯的混合物233质量份、对乙烯基苯甲酸77质量份、丙二醇单甲醚乙酸酯125质量份、甲氧基丙醇115质量份的混合溶液滴加到上述烧瓶内。另一方面，用5小时将在丙二醇单甲醚乙酸酯210质量份中溶解有2，2-偶氮双(2，4-二甲基戊腈)32质量份的混合溶液滴加到上述烧瓶内。滴加结束后，在相同温度保持3小时后，冷却到室温，得到B型粘度(23℃)46mPa·s、固体成分33.7质量％、溶液酸值83mgKOH/g的聚合物(树脂AI)溶液。所得的树脂AI的重均分子量Mw为7.7×103，分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]为1.90。树脂AI具有以下的构成单元。
[化4]
(合成例2)
向具备回流冷凝管、氮气导入管、温度计及搅拌装置的四颈烧瓶中加入α-氯丙烯酸3，3，4，4，5，5，6，6，6-九氟己基酯78质量份、甲基丙烯酸19.5质量份、甲基丙烯酸异冰片酯19.5质量份、甲基丙烯酸缩水甘油酯13质量份、十二烷硫醇12.7质量份、丙二醇单甲醚乙酸酯266质量份，加热到70℃后，在氮气气流下搅拌30分钟。向其中添加偶氮二异丁腈1质量份，进行18小时聚合，得到固体成分33质量％、酸值68mgKOH/g(固体成分换算)的聚合物(树脂Ba)的溶液。所得的树脂Ba的重均分子量为7500。树脂Ba具有以下的构成单元。
[化5]
(实施例1)
对实施例1中使用的感光性树脂组合物进行说明。将实施例1的树脂A称作树脂AI。实施例1中，准备了含有树脂AI、聚合性化合物、聚合引发剂、聚合引发助剂、密合力提高剂及疏液剂、并利用溶剂将固体成分浓度调整为21％的感光性树脂组合物I。
作为树脂AI，使用了合成例1中合成的树脂。作为聚合性化合物，使用了三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(A-TMPT；新中村化学工业(株)制)。作为聚合引发剂，使用了2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲硫基苯基)-1-丙酮(Irgacure(注册商标)907；BASF公司制)。作为聚合引发助剂，使用了4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮(EAB-F；保土谷化学工业(株)制)。作为密合力提高剂，使用了硅烷偶联剂KBM-573(株式会社信越硅酮制)。作为疏液剂，使用了合成例2中得到的树脂。作为溶剂，使用了丙二醇单甲醚乙酸酯。
感光性树脂组合物I中的各成分的含量如下所示。
树脂AI：44.4质量份
聚合性化合物：44.4质量份
聚合引发剂：5.4质量份
聚合引发助剂：5.4质量份
密合力提高剂：0.4质量份
疏液剂(树脂Ba)：相对于固体成分为0.15质量％
而且，所谓固体成分，是感光性树脂组合物I中的溶剂以外的余部。
下面，对实施例1中使用的支承基板进行说明。实施例1中，将在表面蒸镀有ITO膜的2英寸见方的玻璃基板(EAGLE XG、Corning公司制)作为支承基板使用。ITO膜对应于电极，玻璃基板对应于基板主体。实施例1中使用的支承基板中，作为电极的ITO膜形成于玻璃基板的整个表面。
使用上述支承基板及感光性树脂组合物I，如下所示地制造出带有围堰的基板。
将上述支承基板用中性洗剂、水及2-丙醇依次清洗后进行干燥。在该支承基板上，旋涂感光性树脂组合物I，利用减压干燥机(イク口テツク(株)制)减压干燥(真空干燥)至减压度(真空度)为66kPa后，用热板在90℃进行110秒预烘焙，使之干燥而形成薄膜(涂膜)。冷却后，将形成有该薄膜的支承基板与石英玻璃制光掩模的间隔设为100μm，使用曝光机(TME-150RSK；TOPCON(株)制、光源；超高压汞灯)，在大气气氛下，照射曝光量200mJ/cm2(365nm基准)的光。而且，作为光掩模，使用了图案(遮光部的形状是从长轴方向300μm、短轴方向100μm的长方形中将四角切为圆状的形状(椭圆形))形成于同一平面上的光掩模。
照射光后，在将四甲基氢氧化铵水溶液(TOKUYAMA(株)制、TOKUSO SD25)以使浓度为2.38％的方式用纯水稀释而制备的显影液中，将上述薄膜在23℃一边晃动一边浸渍60秒而显影，水洗后，在烤箱中在230℃进行20分钟固化烘焙，形成具有与光掩模的图案对应的凹部的围堰，由此得到带有围堰的基板。
在上述带有围堰的基板中，将凹部以外的围堰的上面(与基板相反一侧的面)看作围堰顶部，向该围堰上面滴加茴香醚，测定出茴香醚的接触角。测定是用协和界面科学株式会社制、LCD-700S自动液晶玻璃清洗·处理检查装置，利用软件名FAMAS内的θ/2法，将液滴尺寸设为1.0μm而实施了计测。茴香醚的接触角为40°。
接下来，在由带有围堰的基板所具有的围堰划分出的凹部中，如下所示地形成有机层。
首先，以使固体成分浓度为1.0质量％、粘度为8cp(8mPa·s)、表面张力为34.7mN/m的方式将有机溶剂与空穴注入材料混合而制备出墨液。将该墨液使用喷墨装置(ULVAC公司制Litlex142P)涂布于各凹部内。
由于涂布于各凹部的墨液被围堰的上面排斥，因此可以防止墨液从凹部溢出，而被收容于凹部内。
然后，在连接有干燥泵的真空干燥室内将带有围堰的基板载放于调温载台上，将该调温载台的温度设定为10℃，减压到约2.0×10-1Pa，进行了真空干燥。然后，将调温载台的温度设定为230℃，在大气压环境中进行15分钟烧成，形成作为均匀的厚度的空穴注入层的有机层(厚度45nm)。此处的所谓厚度是凹部的中心的厚度，是指最薄部。
将如上所述地作为空穴注入层形成了有机层的带有围堰的基板包括凹部在内地利用FIB装置(Seiko Instruments制、XVision 20DB)进行薄膜加工，进行SEM观察，算出D1/T1。算出的D1/T1为0.33。另外，凹部内的有机层的填充量为0.27L/cm2。此外，形成于凹部内的有机层的厚度的均匀性为80％。均匀性由前述的以式(1)表示的α定义。填充量由前述的以式(2)表示的β定义。
(合成例3)
得到包含聚对乙烯基苯酚(重均分子量6000)80质量份、和将间甲酚/对甲酚以70/30(质量比)的投料比与甲醛进行脱水缩合而得的线性酚醛树脂(重均分子量4000)20质量份的碱可溶性树脂AII。
下面，对比较例1、2进行说明。
(比较例1)
对比较例1中使用的感光性树脂组合物进行说明。将比较例1的树脂A称作树脂AII。比较例1中，准备了含有树脂AII、交联剂、产酸剂、聚合引发助剂、以及疏液剂、且利用溶剂将使固体成分浓度调整为18％的感光性树脂组合物I。
作为树脂AII，使用了合成例3中合成的碱可溶性树脂。作为交联剂，使用了三聚氰胺系树脂交联剂(三井Cytec公司制、Cymel 300)。作为产酸剂，使用了三嗪系产酸剂(Midori化学公司制、TAZ106)。作为聚合引发助剂、疏液剂及溶剂，使用了与实施例1相同的物质。
在感光性树脂组合物II中，将树脂AII、交联剂、产酸剂及聚合引发助剂的合计设为100质量份时的各成分的组成比例(质量％)如下所示。
树脂AII：82质量％
交联剂：16.5质量％
产酸剂：1.0质量％
聚合引发助剂：0.5质量％
疏液剂：0.2质量％
比较例1中，使用与实施例1相同的基板，除了取代感光性树脂组合物I而使用了感光性树脂组合物II这一点以外，与实施例1相同地制造出带有围堰的基板。
与实施例1相同地测定出围堰上面的茴香醚接触角，其结果为37°。
其后，与实施例1相同，在带有围堰的基板中，在作为由围堰划分出的区划的凹部内形成作为空穴注入层的有机层。此时，以使俯视时(从支承基板的厚度方向观看的情况)凹部的中央部的有机层的厚度与实施例1相同的方式调整了液滴的滴加数(式(2)中的N)。对具有该有机层的带有围堰的基板与实施例1相同地进行了SEM观察，算出D1/T1。另外，算出凹部内的有机层的填充量，并且算出均匀性。其结果是，D1/T1为16.98，填充量为0.35L/cm2，均匀性为42％。
(合成例4)
得到包含聚对乙烯基苯酚(重均分子量6,000)70质量份、和将间甲酚/对甲酚以70/30(质量比)的投料比与甲醛进行脱水缩合而得的线性酚醛树脂(重均分子量4000)30质量份的碱可溶性树脂。
(比较例2)
对比较例2中使用的感光性树脂组合物进行说明。将比较例2中的树脂A称作树脂AIII。比较例2中，准备了含有树脂AIII、交联剂、产酸剂、聚合引发助剂、以及疏液剂、且利用溶剂将固体成分浓度调整为18％的感光性树脂组合物III。
作为树脂AIII，使用了合成例4中合成的碱可溶性树脂。作为交联剂、产酸剂、聚合引发助剂、疏液剂及溶剂，使用了与比较例1相同的物质。
在感光性树脂组合物III中，将树脂AIII、交联剂、产酸剂及聚合引发助剂的合计设为100质量份时的各成分的组成比例(质量％)如下所示。
树脂AIII：78.8质量％
交联剂：19.7质量％
产酸剂：1.1质量％
聚合引发助剂：0.4质量％
疏液剂：0.2质量％
比较例2中，使用与实施例1相同的基板，除了取代感光性树脂组合物I而使用了感光性树脂组合物III这一点以外，与实施例1相同地制造出带有围堰的基板。
与实施例1相同地测定出围堰上面的茴香醚接触角，其结果为45°。
其后，与实施例1相同，在带有围堰的基板中，在作为由围堰划分出的区划的凹部内形成作为空穴注入层的有机层。此时，以使俯视时(从支承基板的厚度方向观看的情况)凹部的中央部的有机层的厚度与实施例1相同的方式调整了液滴的滴加数(式(2)中的N)。对具有该有机层的带有围堰的基板与实施例1相同地进行了SEM观察，算出D1/T1。另外，算出凹部内的有机层的填充量，并且算出均匀性。其结果是，D1/T1为4.54，填充量为0.45L/cm2，均匀性为55％。
(效果的比较)
将实施例1及比较例1、2中的对于茴香醚接触角、D1/T1、填充量及均匀性的结果表示于表1中。
[表1]
苯甲醚接触角 D1/T1 填充量 均匀性
实施例1 40° 0.33 0.27L/cm2 80％
比较例1 37° 16.98 0.35L/cm2 42％
比较例2 45° 4.54 0.45L/cm2 55％
如表1所示，实施例1中，与比较例1、2相比，填充量减少。由此，形成有机层时的材料使用效率提高。另外，实施例1中，与比较例1、2相比有机层的厚度的均匀性提高。
因而，通过使围堰满足<条件1>及<条件2>，在由带有围堰的基板所具有的围堰划分出的区划内形成有机层的情况下，可以实现该有机层的材料使用效率的提高，并且可以实现有机层的厚度的均匀性。
以上，对本发明的各种实施方式及实施例进行了说明，然而本发明并不限定于上述实施方式及实施例。
只要是满足<条件1>及<条件2>、且能够形成预先设定的区划(凹部16)地形成围堰14即可。围堰14的材料也只要是可以满足<条件1>及<条件2>的材料即可。
另外，虽然作为围堰14例示了正锥形的围堰，然而围堰也可以是临近凹部(区划)的围堰的侧面与围堰的底面所成的角度θ1为直角的形状的围堰，还可以是角度θ1为钝角的形状(倒锥形)的围堰。
虽然利用图3对有机EL元件的构成例的一例进行了说明，然而有机EL元件的构成并不限定于图3所示的方式。有机EL元件只要是具有作为一对电极的第一电极及第二电极、配置于它们之间的作为有机层的发光层即可。在一对电极之间，除了发光层以外，例如还可以具有所例示的空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、空穴阻挡层、电子传输层、以及电子注入层等。电子阻挡层是具有阻止电子的传输的功能的层，空穴阻挡层是具有阻止空穴的传输的功能的层。对于空穴传输层、电子传输层及电子注入层将在后面叙述。
将本实施方式的有机EL元件可以采取的层构成的一例表示如下。
(构成例1)阳极/发光层/阴极
(构成例2)阳极/空穴注入层/发光层/阴极
(构成例3)阳极/空穴注入层/发光层/电子注入层/阴极
(构成例4)阳极/空穴注入层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极
(构成例5)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/阴极
(构成例6)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子注入层/阴极
(构成例7)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极
(构成例8)阳极/发光层/电子注入层/阴极
(构成例9)阳极/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极
(此处，记号“/”表示夹隔着记号“/”的各层被邻接地层叠。以下相同。)
上述构成的有机EL元件可以采取从阳极起依次层叠各层而最后形成阴极的方式、和反过来从阴极起依次层叠各层而最后形成阳极的方式。上述构成例中的构成例2对应于图3所示的构成。上述构成中的阳极及阴极、空穴注入层及发光层由于已经说明，因此省略说明，对空穴传输层、电子传输层及电子注入层简单地进行说明。
空穴传输层是具有改善从阳极、空穴注入层或更接近阳极的空穴传输层向发光层的空穴注入的功能的层。作为空穴传输层可以使用公知的空穴传输材料。空穴传输层可以与空穴注入层相同，利用涂布法形成。在空穴注入层和/或空穴传输层具有阻止电子的传输的功能的情况下，这些层有时兼作电子阻挡层。
电子传输层是具有改善从阴极、电子注入层或更接近阴极的电子传输层的电子注入的功能的层。作为电子传输层可以使用公知的电子传输材料。电子注入层是具有改善从阴极向发光层的电子注入效率的功能的层。作为电子注入层可以使用公知的电子注入材料。电子传输层及电子注入层也与空穴注入层相同，可以利用涂布法形成。在电子注入层和/或电子传输层具有阻止空穴的传输的功能的情况下，这些层有时兼作空穴阻挡层。
符号的说明
10...带有围堰的基板，12...基板，12a...表面(基板的表面)，14...围堰、14a...端部(围堰端部)，14b...侧面，14c...底面，14d...上面，16...凹部(区划)，20...电极，24...空穴注入层(有机层)。

Claims (6)

1.一种带有围堰的基板，其具备：
基板、和
单层结构的围堰，其设于所述基板上，划分出在所述基板上预先设定的区划，
所述围堰的位于与所述基板侧的底面相反一侧的上面的茴香醚的接触角为35°以上，
在所述基板的与厚度方向正交的方向，在将由所述围堰的临近所述区划的侧面和所述底面所规定的围堰端部、到有机层锁定位置的距离设为D1，将所述围堰的厚度设为T1时，
D1/T1满足0＜D1/T1≤2.0，
所述有机层锁定位置是在所述区划内形成一层有机层时所述有机层与所述围堰的界面中的靠近所述上面的端部的位置。
2.根据权利要求1所述的带有围堰的基板，其中，
由所述围堰的所述底面和所述侧面规定的角度小于90°。
3.根据权利要求1或2所述的带有围堰的基板，其中，
所述围堰是含有疏液剂的感光性树脂组合物的固化物。
4.根据权利要求3所述的带有围堰的基板，其中，
所述疏液剂含有氟树脂。
5.根据权利要求3或4所述的带有围堰的基板，其中，
所述疏液剂相对于所述感光性树脂组合物中所含的固体成分的组成比例小于0.2质量％。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的带有围堰的基板，其中，
所述有机层锁定位置是作为所述有机层利用涂布法形成空穴注入层时的所述界面中的靠近所述上面的端部的位置。
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