CN106489078B

CN106489078B - 探针和使用探针的电子设备

Info

Publication number: CN106489078B
Application number: CN201580026205.XA
Authority: CN
Inventors: 寺西宏真; 酒井贵浩
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2014-06-16
Filing date: 2015-06-04
Publication date: 2019-12-03
Anticipated expiration: 2035-06-04
Also published as: KR20160145188A; CN106489078A; EP3156805A1; US20170138985A1; WO2015194384A1; EP3156805B1; KR101860659B1; JP6269337B2; EP3156805A4; JP2016003920A; US9797925B2

Abstract

探针(10)具备：1个螺旋弹簧(50)；各自能够独立地动作的第2、第3柱塞(30、40)，它们具有主体部(31、41)和从该主体部(31、41)起在同一方向上延伸的第1、第2弹性片(32、42、34、44)；以及第1柱塞(20)，其被插入第2、第3柱塞(30、40)的第1、第2弹性片(32、42、34、44)之间。

Description

探针和使用探针的电子设备

技术领域

本发明涉及探针。

背景技术

以往，作为探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具备：第1柱塞；和第2、第3柱塞，它们被配置成夹着该第1柱塞。并且，在第2、第3柱塞上分别设置直径不同的螺旋弹簧，第2、第3柱塞能够分别滑动移动(相对的往复移动)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-181096号公报

发明内容

发明要解决的课题

可是，在前述的探针中，第2、第3柱塞被外侧的大螺旋弹簧和内侧的小螺旋弹簧分别施力。因此，对第2、第3柱塞施力的2个螺旋弹簧容易相互干涉，第2、第3柱塞相对于第1柱塞的滑动移动容易产生偏差。其结果是，存在无法获得稳定的电接触这样的问题。

另外，在前述的探针中，由于对第2、第3柱塞分别设置螺旋弹簧，因此存在这样的问题：部件数量和组装工时增多，制造成本升高。

本发明鉴于前述的问题，课题在于，提供接触稳定性高且制造成本低的探针。

用于解决问题的手段

为了解决所述课题，本发明的探针的特征在于，所述探针具备：螺旋弹簧；各自能够独立地动作的多个导电性夹持柱塞，它们具有从主体部起在同一方向上平行地延伸的第1、第2弹性片；以及导电性被夹持柱塞，其被插入所述导电性夹持柱塞的所述第1弹性片与所述第2弹性片之间，将所述多个导电性夹持柱塞从所述螺旋弹簧的一端部插入，另一方面，将所述导电性被夹持柱塞从所述螺旋弹簧的另一端部插入，利用所述第1、第2弹性片夹持所述导电性被夹持柱塞。

发明的效果

根据本发明，将多个导电性夹持柱塞从1个螺旋弹簧的一端部插入，另一方面，将导电性被夹持柱塞从螺旋弹簧的另一端部插入，利用第1、第2弹性片夹持导电性被夹持柱塞。因此，接触状态没有偏差，能够在夹持柱塞与被夹持柱塞之间获得较高的接触稳定性和稳定的电接触。

另外，由于多个导电性夹持柱塞各自独立地动作，因此，即使在多个导电性夹持柱塞中的任意上附着有异物等，也能够通过未附着异物等的导电性夹持柱塞来维持探针的导通状态。因此，能够得到接触稳定性高的探针。

而且，由于将导电性夹持柱塞和导电性被夹持柱塞插入1个螺旋弹簧中，因此能够降低部件数量和组装工时，从而能够抑制制造成本。

作为本发明的实施方式，可以构成为，所述导电性夹持柱塞是2个。

根据本实施方式，能够得到设计自由度高的探针。

作为本发明的实施方式，可以构成为，所述导电性夹持柱塞是3个。

根据本实施方式，能够得到设计自由度高的探针。

作为本发明的实施方式，可以构成为，在由电铸法形成并且各自包含平坦的原版面以及具有凹凸的成长面的所述多个导电性夹持柱塞和所述导电性被夹持柱塞中，至少1组相邻的所述导电性夹持柱塞被配置成所述原版面相互面对。

根据本实施方式，在使原版面相互面对的状态下将多个导电性夹持柱塞插入螺旋弹簧中。由此，能够降低导电性夹持柱塞之间的摩擦力，从而易于使导电性夹持柱塞独立地动作。

作为本发明的实施方式，可以构成为，至少在所述导电性夹持柱塞的所述第1弹性片上突出设置有与所述导电性被夹持柱塞的一个面接触的触点部，使所述导电性夹持柱塞和所述导电性被夹持柱塞经由所述触点部导通。

根据本实施方式，导电性夹持柱塞的触点部与导电性被夹持柱塞面接触，因此，导电性夹持柱塞与导电性被夹持柱塞能够经由触点部获得稳定的电接触。因此，无需严格管理部件的尺寸公差，能够降低成本。

作为本发明的实施方式，可以构成为，所述导电性夹持柱塞的第1弹性片和第2弹性片具有不同的长度。

根据本实施方式，探针的设计自由度较大，能够应对各种用途。

作为本发明的实施方式，可以构成为，所述导电性夹持柱塞的第1弹性片和第2弹性片中的至少任意一方具有引导突起，并且所述导电性被夹持柱塞具有供所述引导突起嵌合的引导槽，所述导电性夹持柱塞的滑动移动和所述导电性被夹持柱塞的滑动移动沿着所述引导槽进行。

根据本实施方式，导电性夹持柱塞和导电性被夹持柱塞通过引导突起和引导槽没有晃动地滑动移动，从而能够正确地检测出导电性夹持柱塞与导电性被夹持柱塞的接触位置。

另外，本发明的电子设备的特征在于具备所述探针。

根据本发明，能够获得接触稳定性高且制造成本低的电子设备。

附图说明

图1是示出本发明的第1实施方式的探针的四视图。

图2是示出构成图1的探针的柱塞的立体图。

图3是示出图1的探针在组装前后的状态的立体图。

图4是图1的探针的剖视图。

图5是示出图1的探针的动作状态的立体图。

图6是示出本发明的第2实施方式的探针的四视图。

图7是示出构成图6的探针的柱塞的立体图。

图8是示出图6的探针在动作前后的立体图。

图9是图6的探针的剖视图。

图10是示出在实施例中使用的探针的接触部(1/2有异物)的状态的图。

图11是示出在实施例中使用的探针的接触部(1/4有异物)的状态的另一个图。

图12是示出实施例的结果的图。

图13是示出实施例的结果的另一个图。

图14是示出实施例的结果的再一个图。

图15是示出实施例的结果的又一个图。

具体实施方式

(第1实施方式)

图1是示出本发明的第1实施方式的探针的四视图。

如图1所示，第1实施方式的探针10具备第1柱塞20、第2柱塞30和第3柱塞40、以及螺旋弹簧50。第1～第3柱塞20、30、40分别具有导电性，例如通过电铸法形成。并且，第1柱塞20是导电性被夹持柱塞的一例，第2、第3柱塞30、40是导电性夹持柱塞的一例。

在第1实施方式的探针10中，第1柱塞20从螺旋弹簧50的一端部即第1端部51插入螺旋弹簧50的内部。另外，第2、第3柱塞30、40从螺旋弹簧50的另一端部即第2端部52插入螺旋弹簧50的内部。

图2的A是示出第1柱塞20的立体图，图2的B是示出第2柱塞30的立体图，图2的C是示出第3柱塞40的立体图。

如图2的A所示，第1柱塞20具有俯视时为大致矩形的形状，且以大致相同的厚度形成。

在第1柱塞20的长度方向的一端部设有引导槽21。该引导槽21是俯视时为大致矩形的形状，且沿着第1柱塞20的长度方向延伸。另外，在与该引导槽21相反的一侧的另一端部，设置有俯视时为大致三角形状的接触部22。而且，在第1柱塞20的两侧面，分别设置有支承突出部23、23。

如图2的B所示，第2柱塞30具有主体部31和第1、第2弹性片32、34，并以大致相同的厚度形成。

主体部31具有俯视时为大致矩形的形状。在主体部31的长度方向的一端部，设置有第1、第2弹性片32、34。另外，在与该第1、第2弹性片32、34相反的一侧的另一端部，设置有俯视时为大致V字形状的接触部37。而且，在主体部31的两侧面，分别设置有支承突出部36、36。

第1、第2弹性片32、34从主体部31的长度方向的另一端部起在主体部31的长度方向上互相平行地延伸。即，第1、第2弹性片32、34被配置成：在第1弹性片32的内向面与第2弹性片34的内向面之间具有一定的间隔，第1弹性片32的外向面与第2弹性片34的外向面之间的距离和主体部31的宽度W2大致相等。

另外，第1、第2弹性片32、34被设置成：长度不同，第1弹性片32的长度比第2弹性片34的长度短。在第1弹性片32的内向面的末端缘部，突出设置有引导突起33。另外，在第2弹性片34的内向面的末端缘部，突出设置有触点部35。

并且，将第2柱塞30的第1、第2弹性片32、34之间的长度差设为L2。

如图2的C所示，第3柱塞40具有主体部41和第1、第2弹性片42、44，并以大致相同的厚度形成。即，第3柱塞40具有与第2柱塞30相同的形状和尺寸。

主体部41具有俯视时为大致矩形的形状。在主体部41的长度方向的一端部，设置有第1、第2弹性片42、44。另外，在与该第1、第2弹性片42、44相反的一侧的另一端部，设置有俯视时为大致V字形状的接触部47。而且，在主体部41的两侧面，分别设置有支承突出部46、46。

第1、第2弹性片42、44从主体部41的长度方向的另一端部起在主体部41的长度方向上互相平行地延伸。因此，第1、第2弹性片42、44被配置成：在第1弹性片42的内向面与第2弹性片44的内向面之间具有一定的间隔，第1弹性片42的外向面与第2弹性片44的外向面之间的距离和主体部41的宽度W3大致相等。

另外，第1、第2弹性片42、44被设置成：长度不同，第1弹性片42的长度比第2弹性片44的长度短。在第1弹性片42的末端的内向面突出设置有引导突起43。另外，在第2弹性片44的末端的内向面突出设置有触点部45。

并且，将第3柱塞40的第1、第2弹性片42、44之间的长度差设为L3。

螺旋弹簧50例如由碳素钢或不锈钢构成，并且如图1所示，具有比第1柱塞20的宽度W1(在图2A中示出)、第2柱塞30的宽度W2以及第3柱塞40的宽度W3稍大的内径。另外，螺旋弹簧50具有与第1柱塞20的支承突出部23、23的宽度W4、第2柱塞30的支承突出部36、36的宽度W5以及第3柱塞40的支承突出部46、46的宽度W6大致相同的外径。

并且，螺旋弹簧50在第1柱塞20和第2、第3柱塞30、40被互相组合在一起的状态下，以预先施加压缩方向的力的方式来调整弹簧长度。

另外，第1柱塞20的宽度W1、第2柱塞30的宽度W2以及第3柱塞40的宽度W3是同一尺寸。

另外，第1柱塞20的支承突出部23、23、第2柱塞30的支承突出部36、36以及第3柱塞40的支承突出部46、46全都是相同的形状，并且具有相同的宽度尺寸。即，第1柱塞20的支承突出部23、23的宽度W4、第2柱塞30的支承突出部36、36的宽度W5以及第3柱塞40的支承突出部46、46的宽度W6是同一尺寸。

图3是示出第1实施方式的探针在组装前后的状态的立体图。另外，图4是第1实施方式的探针的剖视图，图5是示出第1实施方式的探针的动作状态的立体图。

所述探针10以如下方式组装。首先，如图3的A、图3的B所示，将第1柱塞20从螺旋弹簧50的第1端部51侧插入内部，另一方面，使第2、第3柱塞30、40以相同的朝向重合，将第2、第3柱塞30、40从螺旋弹簧50的第2端部52侧插入内部。

此时，第1柱塞20被插入第2、第3柱塞30、40的第1弹性片32、42与第2弹性片34、44之间，第1弹性片32、42与第2弹性片34、44夹持第1柱塞20。然后，如图4的B所示，第1弹性片32、42的引导突起33、43嵌合于第1柱塞20的引导槽21(在图4的B中，仅示出了第2柱塞30的引导突起33)。由此，第2、第3柱塞30、40相对于第1柱塞20的滑动移动沿着引导槽21进行。因此，第2、第3柱塞30、40通过引导突起33、43将滑动移动的范围限制在引导槽21内。其结果是，第1～第3柱塞20、30、40的移动量的最大值与引导槽21的长度L1相等。

在所述探针10中，使引导槽21的宽度大于引导突起33、43的宽度。另外，使第1弹性片32、42的内向面与第2弹性片34、44的内向面之间的间隔大于第1柱塞20的厚度。由此，降低了滑动移动时在第1柱塞20与第2、第3柱塞30、40之间产生的摩擦阻力，易于使第2、第3柱塞30、40独立地滑动移动。

并且，第2、第3柱塞30、40不限于重合后插入螺旋弹簧50的情况，也可以分别单独地插入螺旋弹簧50。

另外，如图4的B所示，第2、第3柱塞30、40的第1弹性片32、42与第2弹性片34、44的长度之差L2、L3不小于第1柱塞20的引导槽21的长度L1。因此，第2弹性片34、44的触点部35、45始终与第1柱塞20接触，而与第1～第3柱塞20、30、40的移动量无关。

这样，第2弹性片34、44的触点部35、45必然位于第1柱塞20上，并且始终与第1柱塞20的一个面接触。因此，第1柱塞20和第2、第3柱塞30、40能够稳定地电接触，从而能够获得较高的接触稳定性。其结果是，与以往相比，无需严格管理部件的尺寸公差，能够降低成本。

另外，第1～第3柱塞20、30、40的滑动移动沿着引导槽21进行。此时，第1～第3柱塞20、30、40借助引导突起33、43和引导槽21没有晃动地滑动移动。因此，能够正确地检测出第1柱塞20和第2、第3柱塞30、40相接触的接触位置。

另外，在第1柱塞20和第2、第3柱塞30、40被互相组合在一起时，螺旋弹簧50的两端部分别卡定于第1柱塞20的支承突出部23和第2、第3柱塞30、40的支承突出部36、46。由此，防止了螺旋弹簧50的脱落，从而防止了探针10的分解。

而且，在所述探针10中，如图5所示，第2、第3柱塞30、40各自独立地动作，即，各自独立地滑动移动。因此，例如即使异物等附着在第2、第3柱塞30、40的接触部37、47中的任意一方上，也能够通过未附着异物等的另一个接触部37、47来维持探针10的导通状态。因此，能够获得接触稳定性、进而接触可靠度高的探针10。

并且，由于第1～第3柱塞20、30、40是通过电铸法形成的，因此，在第1～第3柱塞20、30、40的表面中，存在下述表面：在形成时与导电性部件接触的平坦的表面(所谓的原版面)；和，具有层叠在导电性部件上的金属的成长方向的凹凸的表面(所谓的成长面)。在所述探针10中，在使原版面相互面对的状态下将第2、第3柱塞30、40插入螺旋弹簧50中。由此，能够降低第2、第3柱塞30、40之间的摩擦力，从而能够使第2、第3柱塞30、40容易独立地滑动移动。

此时，在第2、第3柱塞30、40的原版面上起作用的摩擦系数Ra优选不足0.5μm。由此，能够使第2、第3柱塞30、40可靠且独立地滑动移动。

另外，在第1柱塞20中，可以将与第2、第3柱塞30、40的第2弹性片34、44的触点部35、45接触的面设为原版面。由此，能够降低第2、第3柱塞30、40之间的摩擦力。

而且，在第1实施方式的探针10中，由于第2、第3柱塞30、40的接触部37、47形成为所谓的王冠形状，因此，即使所接触的部件是球体(例如球形焊料)，也能够稳定地接触。

(第2实施方式)

图6是示出本发明的第2实施方式的探针的四视图。

如图6所示，第2实施方式的探针110具备第1柱塞20、第2柱塞30、第3柱塞40、第4柱塞60以及螺旋弹簧50。第1～第4柱塞20、30、40、60分别具有导电性，例如通过电铸法形成。对于与第1实施方式相同的部分，标记相同的标号并省略说明，对于和第1实施方式不同的地方进行说明。

在第2实施方式的探针110中，第1柱塞20从螺旋弹簧50的一端部即第1端部51插入螺旋弹簧50的内部。另外，第2～第4柱塞30、40、60从螺旋弹簧50的另一端部即第2端部52插入螺旋弹簧50的内部。

图7是示出第1～第4柱塞的立体图。图7的A示出了第1柱塞20，图7的B示出了第2柱塞30，图7的C示出了第4柱塞60，图7的D示出了第3柱塞40。

如图7的C所示，第4柱塞60具有主体部61和第1、第2弹性片62、64，并以大致相同的厚度形成。并且，第4柱塞60是导电性夹持柱塞的一例。

主体部61具有俯视时为大致矩形的形状。在主体部61的长度方向的一端部，设置有第1、第2弹性片62、64。另外，在与该第1、第2弹性片62、64相反的一侧的另一端部，设置有俯视时为大致三角形状的接触部67。而且，在主体部61的两侧面，分别设置有支承突出部66、66。

第1、第2弹性片62、64从主体部61的长度方向的另一端部起在主体部61的长度方向上互相平行地延伸。即，第1、第2弹性片62、64被配置成：在第1弹性片62的内向面与第2弹性片64的内向面之间具有一定的间隔，第1弹性片62的外向面与第2弹性片64的外向面之间的距离和主体部61的宽度W7大致相等。

另外，第1、第2弹性片62、64被设置成：长度不同，第1弹性片62的长度比第2弹性片64的长度短。在第1弹性片62的内向面的末端缘部，突出设置有引导突起63。另外，在第2弹性片64的内向面的末端缘部，突出设置有触点部65。

即，第4柱塞60除了接触部67外，具有与第2、第3柱塞30、40相同的形状。

并且，将第4柱塞60的第1、第2弹性片62、64之间的长度差设为L4。

另外，第4柱塞60的宽度W7是与第1柱塞20的宽度W1、第2柱塞30的宽度W2以及第3柱塞40的宽度W3相同的尺寸。

而且，第4柱塞60的支承突出部66、66是与第1柱塞20的支承突出部23、23、第2柱塞30的支承突出部36、36以及第3柱塞40的支承突出部46、46相同的形状，并且具有相同的宽度尺寸。即，第4柱塞60的支承突出部66、66的宽度W8是与第1柱塞20的支承突出部23、23的宽度W4、第2柱塞30的支承突出部36、36的宽度W5以及第3柱塞40的支承突出部46、46的宽度W6相同的尺寸。

图8是示出第2实施方式的探针在组装前后的状态的立体图。另外，图9是第2实施方式的探针的剖视图。

所述探针110以如下方式组装。首先，如图8的A、图8的B所示，将第1柱塞20从螺旋弹簧50的第1端部51侧插入内部，另一方面，使第2～第4柱塞30、40、60以相同的朝向重合，将第2～第4柱塞30、40、60从螺旋弹簧50的第2端部52侧插入内部。

此时，第1柱塞20除了第2、第3柱塞30、40外还插入第4柱塞60的第1弹性片62与第2弹性片64之间而被夹持。然后，如图9的B所示，使第4柱塞60的第1弹性片62的引导突起63嵌合于第1柱塞20的引导槽21。由此，第4柱塞60相对于第1柱塞20的滑动移动也沿着引导槽21进行。因此，第4柱塞60通过引导突起63将滑动移动的范围限制在引导槽21内。其结果是，第4柱塞60的移动量的最大值与第1～第3柱塞20、30、40相同，与引导槽21的长度L1相等。

在所述探针110中，使引导槽21的宽度大于引导突起63的宽度。另外，使第1弹性片62的内向面与第2弹性片64的内向面之间的间隔大于第1柱塞20的厚度。由此，降低了滑动移动时在第1柱塞20与第4柱塞60之间产生的摩擦阻力，易于使第4柱塞60独立地滑动移动。

并且，第2～第4柱塞30、40、60不限于重合后插入螺旋弹簧50的情况，也可以分别单独地插入螺旋弹簧50。

另外，如图9的B所示，第4柱塞60的第1弹性片62和第2弹性片64的长度之差L4不小于第1柱塞20的引导槽21的长度L1。因此，第2弹性片64的触点部65始终与第1柱塞20接触，而与第4柱塞60的移动量无关。

而且，在所述探针110中，第2～第4柱塞30、40、60各自独立地动作。因此，例如即使异物等附着在第2～第4柱塞30、40、60的接触部37、47、67中的任意一方上，也能够通过未附着异物等的接触部37、47、67来维持探针10的导通状态。其结果是，能够得到接触稳定性高的探针110。

并且，由于第4柱塞60也是通过电铸法形成的，因此，在其表面中存在下述表面：在形成时与导电性部件接触的平坦的表面(所谓的原版面)；和，具有层叠在导电性部件上的金属的成长方向的凹凸的表面(所谓的成长面)。在所述探针110中，使第2、第3柱塞30、40的原版面相互面对，将第4柱塞60配置在第2、第3柱塞30、40之间。即，配置成使第2、第3柱塞30、40和第4柱塞60相接触的面中的至少一个面是原版面。由此，能够降低第2～第4柱塞30、40、60相互之间的摩擦力，其结果是，能够使第2至第4柱塞30、40、60分别独立地滑动移动。

另外，在使第2～第4柱塞30、40、60的原版面彼此接触的情况下起作用的摩擦系数Ra优选不足0.5μm。由此，能够使第2～第4柱塞30、40、60可靠且独立地滑动移动。

而且，可以将第1柱塞20配置成：使第1柱塞20的与第2～第4柱塞30、40、60的第2弹性片34、44、64的触点部35、45、65相接触的面是原版面。由此，能够降低第2～第4柱塞30、40、60相互之间的摩擦力。

另外，在第2实施方式的探针110中，由于第2～第4柱塞30、40、60的接触部37、47、67形成为所谓的王冠形状，因此，即使所接触的部件是球体(例如球形焊料)，也能够稳定地接触。

(其他实施方式)

可以在第1柱塞20侧配置多个柱塞，可以在第2～第4柱塞30、40、60侧配置4个以上的柱塞。

在第1、第2实施方式中，第2～第4柱塞30、40、60的第1弹性片32、42、62的引导突起33、43、63只要能够嵌合于第1柱塞20的引导槽21并能够在与引导槽21嵌合时将第2～第4柱塞30、40、60的滑动移动限制在引导槽21内即可，形状、大小等可以适当地选择。

在第1、第2实施方式中，对于第2～第4柱塞30、40、60的第2弹性片34、44、64的触点部35、45、65，可以根据设计适当地选择形状和大小。通过变更触点部35、45、65的形状等，能够调整第2弹性片34、44、64对第1柱塞20的作用力。

在第1、第2实施方式中，以具有与第1柱塞20的引导槽21的长度L1大致相同的尺寸的方式形成了第2～第4柱塞30、40、60的第1弹性片32、42、62与第2弹性片34、44、64的长度差L2～L4，但不限于此。第1弹性片与第2弹性片的长度差只要为引导槽的长度以上即可，可以适当变更。

在第1、第2实施方式中，第1～第4柱塞20、30、40、60的厚度相同，但不限于此。第1～第4柱塞的厚度可以适当地变更。另外，可以变更为使第2～第4柱塞的主体部、第1、第2弹性片或者接触部的厚度分别不同。

对于第1～第4柱塞20、30、40、60，也可以根据设计进行镀层、涂敷等表面处理。

第1、第2实施方式的探针10、110能够应用于IC用测试插座等电子设备。

实施例

调查了本发明的探针的接触稳定性。

(测定条件)

·使用第1实施方式的探针。对于该探针，将第1～第3柱塞的镀层规格设定为Au：1μm以上。另外，将探针的抵接对象设为金板(Au板)。

·以下面的条件测定了探针的绝缘阻值和第2、第3柱塞相对于载荷的变化量。

(1)如图10所示，在第2柱塞的整个接触部(探针的第2、第3柱塞侧的接触部的1/2)上附着有特氟隆(注册商标)带的情况。

(2)如图11所示，在第2柱塞的接触部的大约1/2(探针的第2、第3柱塞侧的接触部的1/4)上附着有特氟隆带的情况。

(3)在第2柱塞的接触部上未附着特氟隆带的情况。

并且，作为特氟隆带，使用了厚度为0.07mm的带。

(关于接触电阻值(包含导体电阻在内)的测定结果)

关于测定结果，如图12所示，接触电阻值在(1)～(3)的所有情况下都是大约50mΩ。

(关于接触电阻值的研究)

根据与接触电阻值相关的测定结果可以确认到：即使在第2、第3柱塞的接触部中的任意一方上附着有异物等，也能够通过未附着异物等的另一个接触部来维持探针的导通状态。

(针对第2、第3柱塞相对于载荷的变化量的测定结果)

关于测定结果，如图13～图15所示，第2、第3柱塞相对于载荷的变化量在(1)～(3)所有的情况下都大致相同。

(针对第2、第3柱塞相对于载荷的变化量的研究)

根据针对第2、第3柱塞的相对于载荷的变化量的测定结果可以确认到：即使在第2、第3柱塞的接触部中的任意一方上附着有异物等的情况下，也不会对探针的动作造成影响。

产业上的可利用性

本发明的探针不限于第1、第2实施方式，只要具有各自独立地动作的多个柱塞，就不特别限定。

标号说明

10：探针；

20：第1柱塞；

21：引导槽；

22：接触部；

23：支承突出部；

30：第2柱塞；

31：主体部；

32：第1弹性片；

33：引导突起；

34：第2弹性片；

35：触点部；

36：支承突出部；

37：接触部；

40：第3柱塞；

41：主体部；

42：第1弹性片；

43：引导突起；

44：第2弹性片；

45：触点部；

46：支承突出部；

47：接触部；

50：螺旋弹簧；

51：第1端部；

52：第2端部；

60：第4柱塞；

61：主体部；

62：第1弹性片；

63：引导突起；

64：第2弹性片；

65：触点部；

66：支承突出部；

67：接触部；

110：探针。

Claims

1.一种探针，其特征在于，

所述探针具备：

螺旋弹簧；

各自能够独立地动作的多个导电性夹持柱塞，它们具有从主体部起在同一方向上平行地延伸的第1弹性片和第2弹性片；以及

导电性被夹持柱塞，其被插入所述导电性夹持柱塞的所述第1弹性片与所述第2弹性片之间，

将所述多个导电性夹持柱塞从所述螺旋弹簧的一端部插入，另一方面，将所述导电性被夹持柱塞从所述螺旋弹簧的另一端部插入，利用所述第1弹性片和所述第2弹性片夹持所述导电性被夹持柱塞，

在所述导电性被夹持柱塞的、插入所述导电性夹持柱塞的一侧的端部，设置有沿着所述导电性被夹持柱塞的长度方向延伸的引导槽，

所述第1弹性片的长度比所述第2弹性片的长度短，在所述第1弹性片的内向面的末端缘部突出设置有引导突起，在所述第2弹性片的内向面的末端缘部突出设置有与所述导电性被夹持柱塞的一个面接触的触点部，

所述引导突起嵌合于所述引导槽中，从而所述导电性夹持柱塞通过所述引导突起将滑动移动的范围限制在所述引导槽内，

所述第1弹性片与所述第2弹性片的长度之差不小于所述引导槽的长度。

2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述导电性夹持柱塞是2个。

3.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述导电性夹持柱塞是3个。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的探针，其特征在于，

在由电铸法形成并且各自包含平坦的原版面以及具有凹凸的成长面的所述多个导电性夹持柱塞和所述导电性被夹持柱塞中，至少1组相邻的所述导电性夹持柱塞被配置成所述原版面相互面对。

5.一种电子设备，其使用了权利要求1至4中的任意一项所述的探针。