CN106463549A - 太阳能电池及太阳能电池的制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种太阳能电池，其在基板的与受光面相反的面上，形成有第1导电型的扩散层与第2导电型的扩散层，所述太阳能电池具备：第1电极部、第2电极部、第1电极线部、第2电极线部、第1电极母线部及第2电极母线部；在第2电极部与第1电极母线部交叉的区域，以覆盖第2电极部的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜，在第1电极部与第2电极母线部交叉的区域，以覆盖第1电极部的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜，在第1绝缘膜的正下方，线状地连续形成第2电极部，在第2绝缘膜的正下方，线状地连续形成第1电极部。由此，提供一种配线电阻低、转换效率高的背面电极型太阳能电池及能够以低成本制造这种背面电极型太阳能电池的太阳能电池的制造方法。

Description

太阳能电池及太阳能电池的制造方法
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池及太阳能电池的制造方法。
背景技术
图15是示意性地表示以往的背面电极型太阳能电池的剖面图。参照图15，对使用以往的技术制作而成的背面电极型太阳能电池110加以说明。在N型硅基板113的受光面侧形成有凹凸形状114，并形成有N型扩散层也就是前表面场(Front Surface Field，FSF)层115。并且，在凹凸形状114上，从N型硅基板113侧，形成有含有二氧化硅的介电性钝化层(表面钝化层)117及包含氮化硅的抗反射膜116。
此外，在N型硅基板113的背面形成有氧化物层(第1背面钝化膜)119。进一步，在N型硅基板113的背面侧交替形成有N型掺杂的N型扩散层120与P型掺杂的P型扩散层121。并且，在N型扩散层120形成有N型金属触点11，在P型扩散层121形成有P型金属触点12。这些与基板主体直接结合的触点电极，也可以作为集电用的指状电极而发挥作用。
图19是示意性地表示以往的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。如图19所示，背面电极型太阳能电池，在基板端设置有一对母线电极(N型母线电极22、P型母线电极23)，用于从指状电极(N型金属触点11、P型金属触点12)集电。在图19中，最靠近基板外周的电极为N型金属触点电极，但也可以是P型金属触点电极，或者也可以是分别与P型、N型不同类型的金属电极。
为了提高背面电极型太阳能电池的效率，如果尽可能扩大发电层也就是P型扩散层，就可以期待增加短路电流。因此，期望的是以扩大P型扩散层的区域的方式来形成，使P型扩散层与N型扩散层的比例为80：20～90：10。此外，由于如果尽可能缩小基板与触点电极的接触面积(以下，也记载为触点面积。)并扩大钝化区域，就可以期待增加开路电压，因此，期望的是根据使触点电极的形状为细线和点状等，来尽可能地将金属触点范围设计得较小。
在专利文献1中，公开了一种背面电极型太阳能电池，利用步骤3，也就是先形成触点电极，然后利用绝缘膜覆盖触点电极以外处，并形成配线电极，由此，将电极与基板的触点面积控制在必要的最低限度，并扩大钝化区域。
图16是示意性地表示专利文献1所公开的以往的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。然而，专利文献1的太阳能电池，其母线电极(N型母线电极22、P型母线电极23)仅成对地形成于基板外周(参照图16)。在此配置的情况下，由于指状电极的长度较长，因此，配线电阻非常大，会导致填充因数降低。一般认为此问题可以根据以下方法来解决，即增大配线电极(指状电极)的截面积，或者以缩短指状长度的方式进行设计。
图17是示意性地表示专利文献2所公开的以往的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。如图17所示，例如，在专利文献2中，揭示出一种太阳能电池的电极形状，其设置有多对母线电极30，以缩短指状电极41的长度。在此配置的情况下，相对于基板长度L，指状长度为L/3，相比母线电极为一对时，配线电阻为3分之1。然而此时，母线电极还是配置在外周，外周的母线电极仅对来自单侧的指状电极的电流进行集电。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第5317209号公报；
专利文献2：日本专利第5214755号公报。
发明内容
发明所要解决的问题
由此，本发明人尝试改善母线电极的图案。图18是示意性地表示将母线电极位置更改后的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。如图18所示，例如，进行配置更改，将母线电极形成在内侧，以使母线电极(N型母线电极22、P型母线电极23)能够从两侧的指状电极(N型指状电极39、P型指状电极40)集电，并设置绝缘膜124,125以使不同导电型用的指状电极与母线电极不会接触，这样一来，无需更改母线电极的根数，可以使指状长度为L/6，并可以将配线电阻降低为一对母线电极的6分之1。
另一方面，从太阳能电池的高效化观点出发，为了减少触点面积，需要缩小与基板直接结合的触点电极的线宽，或者使触点电极不连续并使电极拉开距离。图20、图21是表示本发明人研究的背面电极型太阳能电池的电极的形成步骤的图。
例如，当缩小触点电极28的线宽时，如图20所示，在形成触点电极28后(图20(1))，可以在不同导电型用母线电极交叉的区域设置绝缘膜124(图20(2))，并形成母线电极30(图20(3))。此时，仅线宽较细的触点电极作为集电用指状电极而发挥作用。因此，存在以下问题：由于指状电极变细，也就是说，由于指状电极的截面积变小，而导致配线电阻增大，转换效率降低。
此外，如图21所示，可以点状地不连续地形成触点电极28，以缩小触点面积。此时，在点状地不连续地形成触点电极28后(图21(1))，可以形成连接这些电极的另一配线电极29(图21(2))，在不同导电型用的母线电极交叉的区域设置绝缘膜124(图21(3))，并形成母线电极30(图21(4))。然而，此时，如上所述，由于需要形成配线电极29的步骤，因此，存在步骤增加、成本变高等问题。
本发明是鉴于上述内容而完成的，目的在于提供一种配线电阻低、转换效率高的太阳能电池；以及，提供一种太阳能电池的制造方法，能够以低成本制造这种太阳能电池。
解决问题的技术方案
为了实现上述目的，本发明提供一种太阳能电池，其在第1导电型的半导体基板的与受光面相反的面上，形成有第1导电型的扩散层与第2导电型的扩散层，所述太阳能电池的特征在于，
具备接合于所述第1导电型的扩散层的第1电极部以及接合于所述第2导电型的扩散层的第2电极部；
具备：形成于所述第1电极部上的第1电极线部、形成于所述第2电极部上的第2电极线部、连接有所述第1电极线部的第1电极母线部以及连接有所述第2电极线部的第2电极母线部；
其中，至少在所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，以覆盖所述第2电极部的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜，
至少在所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域，以覆盖所述第1电极部的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜，
在所述第1绝缘膜的正下方，线状地连续形成所述第2电极部，
在所述第2绝缘膜的正下方，线状地连续形成所述第1电极部。
如果是这种太阳能电池，至少在第2电极部与第1电极母线部交叉的区域及至少在第1电极部与第2电极母线部交叉的区域(以下，也记载为绝缘区域。)设置绝缘膜，使母线电极与指状电极为立体结构，由此，可以缩短指状电极的长度，并可以从两侧的指状电极集电。结果为，可以减少配线电阻，并可以增加填充因数。此外，通过在触点电极上形成指状电极，可以减少触点面积，增大指状电极的截面积，并缩小配线电阻。如果是这种太阳能电池，价格低廉，配线电阻低，转换效率高。另外，以下，当无需区别第1电极部及第2电极部时，也仅记载为电极部或触点电极。此外，以下，当无需区别第1电极线部及第2电极线部时，也仅记载为电极线部或指状电极。此外，也将第1电极母线部及第2电极母线部仅记载为电极母线部或母线电极。
此外优选为，在形成有所述第2绝缘膜的部位以外处的所述第1电极部的形状及在形成有所述第1绝缘膜的部位以外处的所述第2电极部的形状，是点状、线状、或这些形状的组合中的任一种，
形成于所述第2绝缘膜的正下方的所述第1电极部的长度大于所述第2绝缘膜的长度，所述第1电极部的宽度小于所述第2绝缘膜的宽度，
形成于所述第1绝缘膜的正下方的所述第2电极部的长度大于所述第1绝缘膜的长度，所述第2电极部的宽度小于所述第1绝缘膜的宽度。
如果是这种太阳能电池，可以进一步缩小电极部与基板的接触面积(触点面积)。此外，可以使不同导电型用的电极部与电极母线部更加难以接触。
此外优选为，以覆盖存在于至少所述第1电极母线部的正下方的所述第2导电型的扩散层的方式，形成所述第1绝缘膜，
以覆盖存在于至少所述第2电极母线部的正下方的所述第1导电型的扩散层的方式，形成所述第2绝缘膜。
当太阳能电池在背面的基板表层具有介电体层时，优选为这样形成绝缘膜。当绝缘膜的宽度大于扩散层的宽度时，由于第1电极母线部不会接至第2导电型的扩散层，因此，第1电极母线部与第2导电型的扩散层不会通过介电体层导通。
此外优选为，所述第1电极母线部及所述第2电极母线部的根数的合计为4根以上且10根以下。
如果是这种太阳能电池，可以进一步减少指状电极的配线电阻。
此外优选为，所述第1绝缘膜及所述第2绝缘膜是由含有至少选自下述中的一种以上树脂的材料所构成：硅酮树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、氟树脂、酚树脂、三聚氰胺树脂、尿素树脂、聚氨酯、环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酯树脂及聚乙烯醇树脂。
如果是由这种材料所构成的绝缘膜，耐热性优秀。因此，当在电极形成中实施热处理时，优选为这种绝缘膜。
此外优选为，在所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，所述第2电极部的长度为0.35～5.0mm，所述第1绝缘膜的长度为0.32mm～4.0mm，所述第1电极母线部的宽度为0.30mm～3.0mm，
在所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域，所述第1电极部的长度为0.35～5.0mm，所述第2绝缘膜的长度为0.32mm～4.0mm，所述第2电极母线部的宽度为0.30mm～3.0mm。
如果是这种太阳能电池，可以使不同导电型用的电极部与电极母线部更难以接触。
此外优选为，在所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，所述第1电极母线部的长度为0.3mm以上，所述第1绝缘膜的宽度为0.03mm～1.5mm，所述第2电极部的宽度为0.02～0.20mm，
在所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域，所述第2电极母线部的长度为0.3mm以上，所述第2绝缘膜的宽度为0.03mm～1.5mm，所述第1电极部的宽度为0.02～0.20mm。
如果是这种太阳能电池，可以使电极面积相对于基板面积的比例在更合适的范围内。由此，例如，可以扩大钝化区域，并增加开路电压。
此外优选为，所述第1绝缘膜及所述第2绝缘膜的厚度为1～60μm。
如果是这种太阳能电池，可以进一步提高绝缘性。此外，由于不会过度地形成绝缘膜，因此，能够以更低的成本制造所需的太阳能电池。
此外优选为，所述第1电极线部、所述第2电极线部、所述第1电极母线部及所述第2电极母线部，是由含有导电性物质与树脂的材料所构成，所述导电性物质至少选自Ag、Cu、Au、Al、Zn、In、Sn、Bi、Pb中的一种以上，所述树脂选自环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酯树脂、酚树脂及硅酮树脂中的一种以上。
如果是由这种电极材料所构成，加热时此电极材料不会与硅基板等半导体基板直接结合，触点面积的增加得到抑制。
进一步，本发明提供一种太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池是在第1导电型的半导体基板的与受光面相反的面上形成有第1导电型的扩散层与第2导电型的扩散层，所述太阳能电池的制造方法的特征在于，具有以下步骤：
在与所述受光面相反的面上，形成所述第1导电型的扩散层及接合于该第1导电型的扩散层上的第1电极部，以及形成所述第2导电型的扩散层及接合于该第2导电型的扩散层上的第2电极部；
以覆盖所述第2电极部的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜，并以覆盖所述第1电极部的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜；及，
同时进行将第1电极线部连接并形成于所述第1电极部上且将第1电极母线部连接并形成于所述第1电极线部、以及将第2电极线部连接并形成于所述第2电极部上且将第2电极母线部连接并形成于所述第2电极线部；
其中，在形成所述电极部的步骤中，在所述第1绝缘膜的正下方线状地连续形成所述第2电极部，并在所述第2绝缘膜的正下方线状地连续形成所述第1电极部，
在形成所述绝缘膜的步骤中，将所述第1绝缘膜形成在至少所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，并将所述第2绝缘膜形成在至少所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域。
如果是这种太阳能电池的制造方法，能够以低成本且高生产率地制造一种配线电阻低、转换效率高的背面电极型太阳能电池。
发明效果
本发明的太阳能电池，在绝缘区域设置绝缘膜，使母线电极与指状电极为立体结构，由此，可以增加母线电极的根数，并缩短指状电极的长度，并可以从两侧的指状电极集电。结果为，可以减少配线电阻，并可以增加填充因数。此外，利用在触点电极上形成指状电极，可以减少触点面积，增大指状电极的截面积，并缩小配线电阻，可以提高开路电压。进一步，本发明的太阳能电池的制造方法，可以制造这种太阳能电池，而不会增加制造步骤数。
附图说明
图1是表示本发明的太阳能电池的一个示例的俯视示意图。
图2是表示将本发明的太阳能电池的一部分扩大后的扩大图。
图3是表示将本发明的太阳能电池的一部分扩大后的扩大图。
图4是表示本发明的太阳能电池的一个示例的剖面示意图。
图5是表示本发明的太阳能电池的一个示例的剖面示意图。
图6是表示本发明的太阳能电池的制造方法的一个示例的流程图。
图7是表示本发明的背面电极型太阳能电池的电极的形成步骤的图。
图8是表示本发明的背面电极型太阳能电池的电极的形成步骤的图。
图9是表示本发明的太阳能电池的一个示例的俯视示意图。
图10是表示本发明的太阳能电池的一个示例的俯视示意图。
图11是表示实施例1～8及比较例1的太阳能电池的串联电阻的值的图表。
图12是表示实施例1～8及比较例1的太阳能电池的填充因数的值的图表。
图13是表示实施例1～8及比较例1的太阳能电池的开路电压的值的图表。
图14是表示实施例1～8及比较例1的太阳能电池的转换效率的值的图表。
图15是示意性地表示以往的背面电极型太阳能电池的剖面图。
图16是示意性地表示专利文献1所公开的以往的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。
图17是示意性地表示专利文献2所公开的以往的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。
图18是示意性地表示将母线电极位置更改后的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。
图19是示意性地表示以往的背面电极型太阳能电池的背面的外观的平面图。
图20是表示本发明人研究的背面电极型太阳能电池的电极的形成步骤的图。
图21是表示本发明人研究的背面电极型太阳能电池的电极的形成步骤的图。
具体实施方式
以下，更详细地说明本发明。
如上所述，需要一种配线电阻低、转换效率高的背面电极型太阳能电池，以及能够以低成本制造这种背面电极型太阳能电池的太阳能电池的制造方法。
本发明人发现，根据在本发明中的绝缘区域设置绝缘膜，可以缩短从指状电极尖端至最近的母线电极为止的距离，并降低指状电极的配线电阻。
另一方面，从太阳能电池高效化的观点出发，除了缩短上述距离以外，还期望减少触点面积。
例如，如图20所示，可以仅形成线宽较细的触点电极与母线电极，以减少触点面积。然而，此时，存在指状的截面积变小、配线电阻变大的问题。
此外，如图21所示，可以点状地不连续地形成触点电极，并形成连接这些触点电极的另一配线电极后，形成母线电极。此时，可以避免上述的配线电阻变大的问题，但存在步骤增加、成本变高等问题。
本发明人为了解决上述问题而更努力研究，结果发现，利用在触点电极上形成指状电极，可以减少触点面积，并扩大指状电极的截面积，缩小配线电阻。此外还发现，根据轻微地更改电极形状，也就是说，在绝缘膜的正下方，线状地连续形成电极部，能够以低成本制作配线电阻较低的太阳能电池，而不会增加步骤数量，从而完成本发明的太阳能电池及太阳能电池的制造方法。
以下，参照附图来具体地说明本发明的太阳能电池，但本发明并不限于以下说明。另外，以下，以第1导电型的半导体基板是N型硅基板的情况为中心进行说明，但即便第1导电型的半导体基板是P型硅基板，只要逆向使用硼、磷等的杂质源即可，没有任何问题。
[太阳能电池(背面电极型太阳能电池单元)]
图1是表示本发明的太阳能电池的一个示例的俯视示意图。图2、图3是将本发明的太阳能电池的一部分扩大后的扩大图。此外，图4、图5是表示本发明的太阳能电池的一个示例的剖面示意图。另外，图4是图1的1-1’剖面图。此外，图5是图1的2-2’剖面图。
如图4、图5所示，本发明的太阳能电池是所谓的背面电极型太阳能电池，也就是在第1导电型的半导体基板13的受光面的相反面(以下，也仅记载为背面。)形成有第1导电型的扩散层20与第2导电型的扩散层21。进一步，如图4、图5所示，具备接合于第1导电型的扩散层20上的第1电极部26及接合于第2导电型的扩散层上的第2电极部27。
此外，如图1～图3所示，本发明的太阳能电池10具备：第1电极线部35，形成于第1电极部26上；第2电极线部36，形成于第2电极部27上；第1电极母线部37，连接有第1电极线部35；及，第2电极母线部38，连接有第2电极线部36。
此外，如图4、图5所示，可以在第1导电型的半导体基板13的受光面侧形成凹凸形状14，并形成FSF层(N型扩散层)15。并且，在凹凸形状14上，可以形成包含氮化硅等的抗反射膜16。在FSF层15与抗反射膜16之间，也可以形成介电性钝化层(未图示)。
此外，可以在第1导电型的半导体基板13的背面，形成氧化物层(第1背面钝化膜)19。可以在氧化物层19上形成第2背面钝化膜18。这样一来，受光面和背面分别被保护膜(钝化膜)覆盖，因而较为优选。钝化膜优选为由选自氧化硅膜、氮化硅膜及氧化铝膜中的至少一种以上所构成。
进一步，如图4、图5所示，本发明的太阳能电池10，在至少第2电极部27与第1电极母线部37交叉的区域，以覆盖第2电极部27的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜24。此外，在至少第1电极部26与第2电极母线部38交叉的区域，以覆盖第1电极部26的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜25。
此外，如图5所示，第1电极母线部37可以与第1电极部26接合。此外，如图4所示，第2电极母线部38可以与第2电极部27接合。
进一步，如图1～3所示，在第1绝缘膜24的正下方，线状地连续形成第2电极部27。此外，在第2绝缘膜25的正下方，线状地连续形成第1电极部26。
如果是这种太阳能电池，通过在绝缘区域设置绝缘膜，可以使母线电极与指状电极成为立体结构。由此，可以增加母线电极的根数，并缩短指状电极的长度。因此，可以防止导致以往的大面积背面电极型太阳能电池的输出降低的主要原因，也就是可以防止由于从指状电极尖端至最近母线电极为止的距离较长而导致配线电阻变高。结果为，可以使太阳能电池的转换效率较高。例如，当设置4对(8根)母线电极时，与在基板端设置有一对母线电极的以往的太阳能电池相比，可以将配线电阻减少至8分之1。
进一步，本发明的太阳能电池，由于在绝缘膜的正下方，线状地连续形成有与基板主体直接结合的电极部，因此，在制造时，无需另行设置如图21所示的形成配线电极29的步骤。因此，可以减少制造步骤数。结果为，能够使太阳能电池的价格低廉，且转换效率较高。
以下，更详细地说明本发明的太阳能电池的各构造。
[第1导电型的半导体基板]
可以用于本发明的半导体基板并无特别限制。可以使用例如N型硅基板。此时，基板的厚度可以是例如100～200μm厚。基板的主表面的形状和面积并无特别限制。
[电极部]
作为第1电极部26及第2电极部27的材料，可以使用例如：利用有机物粘结剂将银粉末与玻璃浆料混合而成的具有流动性的膏状物(以下，也记载为烧结膏)。
如上所述，在绝缘膜的正下方，要求与基板主体直接结合的电极部线状地连续形成，但在其他的部位，电极部的形状并无特别限制。例如，在形成有第2绝缘膜的部位以外处的第1电极部的形状以及在形成有第1绝缘膜的部位以外处的第2电极部的形状，优选为点状、线状、或这些形状的组合中的任一种。如图3所示，例如，如果该部位的电极部的形状是点状，那么可以更进一步缩小触点面积。由此，可以扩大钝化区域，并增加开路电压。
另外，如图2所示，即便在形成有绝缘膜的部位以外处的电极部的形状是线状，如果是本发明，由于在电极部上形成有电极线部，因此，可以增大太阳能电池的指状电极的截面积(厚度)，并使配线电阻较低。
此外优选为，形成于第2绝缘膜的正下方的第1电极部的长度大于第2绝缘膜的长度，第1电极部的宽度小于第2绝缘膜的宽度。此外优选为，形成于第1绝缘膜的正下方的第2电极部的长度大于第1绝缘膜的长度，第2电极部的宽度小于第1绝缘膜的宽度。当形成于第2绝缘膜的正下方的第1电极部的长度大于第2绝缘膜的长度时，以及当第1电极部的宽度小于第2绝缘膜的宽度时，可以将第2电极母线部与第1电极部充分隔开。此外，绝缘膜可以充分覆盖电极的侧面。因此，可以切实地实现第2电极母线部与第1电极部的绝缘。
此处，形成于绝缘膜的正下方的电极部，是指在绝缘膜的正下方线状地连续形成的电极部，也就是说，包含从绝缘膜的正下方延长并从绝缘膜的正下方露出的部分。此外，绝缘区域中的上述的电极部的长度和绝缘膜的长度的方向以及后述的电极母线部的宽度的方向，是沿着对应的扩散层的长边方向的方向。此外，上述的电极部的宽度和绝缘膜的宽度的方向以及后述的电极母线部的长度的方向，是沿着对应的扩散层的短边方向的方向。绝缘区域中的电极母线部的长度，可以是图4、图5所示的电极母线部的凸部的长度。另外，凸部的长度的方向是母线电极的长边方向。
[绝缘膜]
绝缘膜是在绝缘区域内以覆盖电极部的侧面部与上部的方式形成。此处，本发明中的绝缘区域，是指至少电极部与电极母线部交叉的部位。优选为，绝缘区域大于此部位的面积。绝缘膜的形状并无特别限制，但可以是例如矩形。第1绝缘膜及第2绝缘膜的厚度优选为1～60μm。更优选为5～40μm左右，特别优选为10～30μm。根据使其为这种厚度，可以更进一步提高绝缘性。此外，由于不会过度形成绝缘膜，因此，能够以更低的成本来制造所需的太阳能电池。
此外优选为，以覆盖至少存在于第1电极母线部的正下方的第2导电型的扩散层的方式，形成第1绝缘膜。此外优选为，以覆盖至少存在于第2电极母线部的正下方的第1导电型的扩散层的方式，形成第2绝缘膜。当在背面的基板表层具有介电体层时，期望的是这样形成大于扩散层宽度的绝缘层。当绝缘膜的宽度大于扩散层的宽度时，由于第1电极母线部不会接触第2导电型的扩散层，因此，第1电极母线部与第2导电型的扩散层不会通过介电体层而导通。
这些绝缘膜优选是由含有选自下述中的一种以上树脂的材料所构成：硅酮树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、氟树脂、酚树脂、三聚氰胺树脂、尿素树脂、聚氨酯、环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酯树脂及聚乙烯醇树脂。尤其期望的是，在形成电极线部和电极母线部时，在实施热处理的情况下，选择耐热性树脂。例如，与主链由碳骨架所构成的有机高分子材料相比，硅酮树脂的主链也就是硅氧烷键，由于键能大且稳定，因此，耐热性和耐候性优秀。此外，其他树脂也可通过在分子链上设置芳香环，而成为具有高耐热性的材料。
[电极线部、电极母线部]
电极线部及电极母线部，优选是由含有导电性物质与树脂的材料(以下，也记载为热固化膏)所构成，所述导电性物质至少选自Ag、Cu、Au、Al、Zn、In、Sn、Bi、Pb中的一种以上，所述树脂选自环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酯树脂、酚树脂及硅酮树脂中的一种以上。如果是由这种电极材料所构成，由于无需含有玻璃浆料，因此，加热时电极材料不会与硅基板等半导体基板直接结合，触点面积的增加得到抑制。
第1电极母线部及第2电极母线部的根数并无特别限制，但其合计为4根以上，优选为10根以下。由此，可以减少指状电极的配线电阻，并提高转换效率。另外，电极线部、电极母线部的形状并无特别限制。例如，可以使电极线部的形状，去除绝缘区域以外，成为线状的连续的形状。另外，绝缘膜正下方的触点电极的形状为线状。此外，可以使电极母线部的形状为线状的连续的形状。如图1等所示，可以使电极线部与电极母线部以直角相交的方式形成。
此外优选为，在第2电极部与第1电极母线部交叉的区域，第2电极部的长度为0.35～5.0mm，第1绝缘膜的长度为0.32mm～4.0mm，第1电极母线部的宽度为0.30mm～3.0mm。
此外优选为，在第1电极部与第2电极母线部交叉的区域，第1电极部的长度为0.35～5.0mm，第2绝缘膜的长度为0.32mm～4.0mm，第2电极母线部的宽度为0.30mm～3.0mm。
第1绝缘膜及第2绝缘膜的长度，更优选为0.32mm～3.0mm。如果是具有这种绝缘膜的太阳能电池，可以使不同导电型用的电极部与电极母线部更难以接触。
此外优选为，在第2电极部与第1电极母线部交叉的区域，第1电极母线部的长度为0.3mm以上，第1绝缘膜的宽度为0.03mm～1.5mm，第2电极部的宽度为0.02～0.20mm。第1电极母线部的长度的上限并无特别限制，但可以为例如2mm。
此外优选为，在第1电极部与第2电极母线部交叉的区域，第2电极母线部的长度为0.3mm以上，第2绝缘膜的宽度为0.03mm～1.5mm，第1电极部的宽度为0.02～0.20mm。第2电极母线部的长度的上限并无特别限制，但可以为例如2mm。
如果是这种太阳能电池，可以使电极面积相对于基板面积的比例在所需的范围内。由此，例如可以扩大钝化区域，并增加开路电压。
[太阳能电池的制造方法]
一种本发明的太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池是在第1导电型的半导体基板的与受光面相反的面上形成有第1导电型的扩散层与第2导电型的扩散层，并且，所述太阳能电池的制造方法至少具有以下所示的步骤。
首先，在与受光面相反的面上，形成第1导电型的扩散层及接合于此第1导电型的扩散层上的第1电极部，以及形成第2导电型的扩散层及接合于此第2导电型的扩散层上的第2电极部(形成电极部的步骤)。本发明，在此步骤中，是在第1绝缘膜的正下方，线状地连续形成第2电极部。此外，在第2绝缘膜的正下方，线状地连续形成第1电极部。
接下来，以覆盖第2电极部的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜，并以覆盖第1电极部的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜(形成绝缘膜的步骤)。本发明，在此步骤中，在至少第2电极部与第1电极母线部交叉的区域形成第1绝缘膜。此外，在至少第1电极部与第2电极母线部交叉的区域形成第2绝缘膜。
接下来，将第1电极线部连接并形成于第1电极部，且将第1电极母线部连接并形成于第1电极线部。此外，将第2电极线部连接并形成于第2电极部，且将第2电极母线部连接并形成于第2电极线部(形成电极线部及电极母线部的步骤)。本发明，在此步骤中，使电极线部及电极母线部(指状电极及母线电极)同时形成。
如果是这种太阳能电池的制造方法，能够以低成本制作出一种生产率好、高效率的背面电极型太阳能电池。另外，在形成电极部的步骤中，如后述的图6(a)～(j)所示，可以预先依次形成第1导电型的扩散层及第2导电型的扩散层，然后，依次形成第1电极部及第2电极部，也可以使全部这些扩散层及电极部同时形成。
以下，参照附图，具体说明本发明的太阳能电池的制造方法，但本发明并不限于以下说明。
图6是表示本发明的太阳能电池的制造方法的一个示例的流程图。以下，参照图6所示的示意性剖面图，说明本发明的背面电极型太阳能电池的制造方法的一个示例。尤其，以N型硅基板的情况为例进行说明。
[形成电极部的步骤]
首先，如图6a所示，利用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)法或溅射法等，在厚度为100～200μm的N型硅基板13的作为受光面的面(以下称作“N型硅基板的受光面”)的相反侧的面也就是背面(以下称作“N型硅基板的背面”)，形成氮化硅膜等纹理掩膜(texture mask)31。
然后，如图6b所示，根据蚀刻，在N型硅基板13的受光面形成纹理结构也就是凹凸形状14。蚀刻是利用以下溶液进行，例如：在氢氧化钠或氢氧化钾等碱性水溶液中添加异丙醇，并加热至60℃以上且80℃以下而进行。
接下来，使用图6c说明下一步骤。如图6c所示，将形成于N型硅基板13的背面上的纹理掩膜31去除之后，在N型硅基板13的受光面与背面形成氧化硅膜等扩散掩膜32,33。在形成有N型扩散层的部位，利用丝网印刷法等涂布蚀刻膏，并根据加热处理将形成有N型扩散层的部位的扩散掩膜32去除，于是基板露出。进行图案化处理后的蚀刻膏是以超声波冲洗并利用酸处理来去除。此蚀刻膏，例如，含有选自由磷酸、氟化氢、氟化铵及氟化氢铵所组成的组中的至少一种，作为蚀刻成分，并含有水、有机溶剂及增粘剂。此处理也可以使用光刻法来进行。
然后，根据使用了POCl3的气相扩散，在N型硅基板13露出背面的部位，N型杂质也就是磷发生扩散，而形成有N型扩散层20。N型扩散层也可以根据以下方法来形成，即将磷酸等N型杂质溶解于乙醇和水，对所成的溶液进行旋涂，并进行热扩散。
接下来，如图6d所示，根据氢氟酸处理，将形成于N型硅基板13上的扩散掩膜32及扩散掩膜33以及在扩散掩膜32,33上发生磷扩散而形成的玻璃层去除，然后，在氧或水蒸气环境中进行热氧化，形成氧化硅膜34。
接下来，如图6e所示，在N型硅基板13的背面形成有P型扩散层的部位，利用丝网印刷法等涂布蚀刻膏，并根据加热处理将形成有P型扩散层的部位的扩散掩膜34去除，使基板露出。进行图案化处理后的蚀刻膏是根据进行超声波冲洗并利用酸处理来去除。此蚀刻膏，例如，含有选自由磷酸、氟化氢、氟化铵及氟化氢铵所组成的组中的至少一种，作为蚀刻成分，并含有水、有机溶剂及增粘剂。
如图6f所示，在N型硅基板13的背面，对将硼酸等P型杂质源溶解于乙醇和水而成的溶液进行旋涂，并干燥后，利用热处理，在N型硅基板13的背面露出的部位，P型杂质也就是硼发生扩散，并形成P型扩散层21。此时，P型扩散层21也可以利用BBr3等的气相扩散法形成。
接下来，使用图6g说明下一步骤。如图6g所示，根据氢氟酸处理，将形成于N型硅基板13上的氧化硅膜34以及在氧化硅膜34上发生硼扩散而形成的玻璃层去除。然后，利用CVD法或旋涂玻璃(spin-on glass，SOG)的涂布、煅烧，在N型硅基板13的背面，形成兼具氧化硅膜等扩散掩膜的第1背面钝化膜19。
然后，如图6h所示，在N型硅基板13的受光面，对将磷酸等N型杂质溶解于乙醇和水而成的溶液进行旋涂，并利用热扩散的方法以及由POCl3所实施的气相扩散法等，也可以形成受光面扩散层也就是n-层(FSF层15)。
如图6i所示，利用CVD或溅射法，在N型硅基板13的背面，形成由氮化膜等所组成的第2背面钝化膜18。此外，也可以利用CVD或溅射法，在表面形成氮化膜，作为抗反射膜16。
接下来，如图6j所示，在形成于N型硅基板13的背面侧的N型扩散层20、P型扩散层21上，形成电极。
图7、图8是表示本发明的背面电极型太阳能电池的电极的形成步骤的图。如图7、图8所示，第1电极部26、第2电极部27是形成与硅基板的接触的电极。这些电极部的电极图案，需要在至少第2电极部27与第1电极母线部37交叉的区域以及至少第1电极部26与第2电极母线部38交叉的区域，成为线状地连续的图案，但在其他部位可以是椭圆、矩形及点等不连续形状，也可以是线状。此外，这些形状也可以混合存在。在这些区域内，线状地形成电极部，由此，在其他部位，不论电极部是何种形状，都可以收集例如在第1电极母线部37的正下方的第2导电型的扩散层发电的电流。
期望的是，使第1电极部、第2电极部相对于基板面积的面积的比例分别为1％～6％左右。例如，当指状电极间的距离为1.5mm间距时，线宽为14μm～90μm。原因在于，发现根据尽可能缩小背面电极(电极部)的触点面积，可以使钝化区域增加，且开路电压上升。
另外，可以使电极部、绝缘膜、电极线部及电极母线部的宽度、长度及大小关系，如太阳能电池的项目中所述。此外，电极部、绝缘膜、电极线部及电极母线部的材料，也可以使用与上述相同的材料。
例如，此电极部可以使用具有上述的线状等图案的带开口的丝网版，利用丝网印刷来形成。除此以外，也可以使用胶印、喷墨印刷、分注器(dispenser)、蒸镀法等来形成。
参照图6j、图7及图8，对电极部等的具体的形成方法加以说明。首先，使用上述烧结膏作为电极部的材料，并利用上述的印刷法，在N型扩散层20上或P型扩散层21上形成烧结膏。接下来，以700～800℃的温度煅烧此烧结膏5～30分钟，可以形成第1电极部26或第2电极部27(图7(1)、图8(1))。这样，根据使用含有玻璃浆料的烧结膏，在煅烧时玻璃浆料熔融，第2背面钝化膜18及第1背面钝化膜19也同时熔融，电极以贯穿这些膜与基板主体直接结合的方式粘接。另外，n+电极、p+电极(第1电极部、第2电极部)也可以同时印刷、同时煅烧。也可以依次进行印刷、煅烧。
[形成绝缘膜的步骤]
接下来说明绝缘膜24,25的形成。图6k是P型母线电极的剖面图，图6l是N型母线电极的剖面图。分别示出图1的1-1’剖面图、2-2’剖面图。
如上所述地，在至少第2电极部与第1电极母线部交叉的区域，形成第1绝缘膜。此外，在至少第1电极部与第2电极母线部交叉的区域，形成第2绝缘膜。
作为绝缘膜的材料，可以使用由上述含有硅酮树脂等树脂的材料所组成的材料。为了将此材料形成在太阳能电池基板上，最好是使用添加溶剂以提供流动性而成的膏状材料(绝缘膏)。如果具有流动性，可以使用胶印和丝网印刷以及分注器等。
例如，为了形成如图7、图8所示的绝缘膜的图案，可以使用带有与此图案相同的形状的开口的丝网版。使用此丝网版，并利用丝网印刷，在N型硅基板13的特定位置涂布绝缘膏，在350℃以下进行热处理5～30分钟，由此可以固化绝缘膏，并形成绝缘膜(图7(2)、图8(2))。此外，也可以在整个表面上形成绝缘膜后，使用光刻进行蚀刻处理及图案处理的方法，由此在所需位置形成绝缘膜。
[形成电极线部及电极母线部的步骤]
接下来，对第1电极线部35、第2电极线部36、第1电极母线部37及第2电极母线部38的形成方法加以说明。
如上所述，在如图20所示的方法中，存在触点电极的线宽变细、配线电阻变大的问题。此外，在图21所示的方法中，存在步骤增加、成本变高等问题。
因此，本发明，在此步骤中，不仅是母线电极，还会同时形成指状电极(图7(3)、图8(3))。由此，可以减少步骤数，并降低配线电阻。
如图7、图8所示，第2电极线部36交叉并连接于第2电极母线部38，第1电极线部35交叉并连接于第1电极母线部37。另一方面，不同导电型用的第2电极母线部38与第1电极线部35相隔开，并且第1电极母线部37与第2电极线部36相隔开。在本发明中，由于此隔开的部位存在第1电极部或第2电极部，因此，第2电极母线部38正下方的第1电极部会连接而不会电性断线。另一方面，第1电极母线部37正下方的第2电极部也会连接而不会电性断线。
如上所述，如果是在基板端设置有一对母线的以往的太阳能电池(图19)，相对于基板长度L，触点电极的长度为L，配线电阻变高。另一方面，在本发明中，由于可以在绝缘区域设置绝缘膜，并使母线电极与指状电极为立体结构，因此，可以在所需的位置形成母线电极。图9、图10是表示本发明的太阳能电池的一个示例的俯视示意图。例如，如图9所示，更改为从母线电极的两侧的指状电极集电的图案后，指状电极的长度变为L/2，配线电阻变成一半。
进一步，本发明中为了降低配线电阻，可以设置多根母线电极，并缩短指状长度。例如，指状电极的长度会变小，设置两对母线时为L/4(图1)，设置三对时为L/6(图10)，设置四对时为L/8。
此处，对电极母线部的上部焊接利用称为耳线的Pb-Sn等涂覆而成的铜(Cu)配线后，太阳能电池被模块化，被密封在玻璃与密封材料之间，并在暴露于室外时也可以维持输出。因此，如果电极母线部具有与耳线的粘接力，不论连续与否皆可以。
作为电极线部及电极母线部的材料，期望的是使用上述热固化膏。例如，可以添加溶剂，以对此热固化膏赋予流动性。通过添加溶剂，能够利用丝网印刷和其它印刷方法来进行图案化。
例如，在利用丝网印刷法对特定部位涂布添加了溶剂的热固化膏后，进行干燥，在350℃以下加热5～30分钟，使其固化。此方法中，由于热固化膏不含电极部的材料也就是烧结膏等玻璃浆料，因此，加热时电极材料(热固化膏)不会与硅基板直接结合，触点面积的增加得到抑制。也可以使用这种热固化树脂的膏，使耳线与母线部接触后再进行热处理。这样一来，可以不焊接就将耳线与母线部粘接。
[实施例]
以下，示出实施例和比较例，更具体地说明本发明，但本发明并不限于此实施例。
(实施例和比较例)
为了确认本发明的有效性，对90片半导体基板(实施例1～8、比较例1为各10片)进行以下步骤，制作90片太阳能电池。
如图6所示，首先，在边长为15cm的正方形且厚度为200μm的N型硅基板13的背面，利用CVD法形成200nm的氮化硅膜，成为纹理掩膜31(图6a)。然后，利用添加了异丙醇的氢氧化钾溶液，在N型硅基板13的受光面形成纹理结构(凹凸形状)14(图6b)。
接下来，利用氟酸溶液，将形成于N型硅基板13的背面上的纹理掩膜31去除后，利用热氧化在N型硅基板13的受光面与背面形成氧化硅膜，作为扩散掩膜32,33。在形成有N型扩散层的部位，利用丝网印刷涂布以磷酸为主要成分的蚀刻膏，利用加热处理将形成有N型扩散层的部位的扩散掩膜32去除，露出基板(图6c)。进行超声波冲洗并利用酸处理来去除进行图案化处理后的蚀刻膏。然后，根据使用了POCl3的气相扩散，在露出N型硅基板13的背面的部位，使N型杂质也就是磷扩散并形成N型扩散层20(图6c)。
接下来，利用氢氟酸处理，将形成于N型硅基板13上的扩散掩膜32及扩散掩膜33以及在扩散掩膜32,33上磷发生扩散而形成的玻璃层去除后，进行利用氧实施的热氧化，形成氧化硅膜34(图6d)。接下来，利用蚀刻将背面形成有P型扩散层21的部位的氧化硅膜34去除(图6e)。
进一步，在N型硅基板13的背面，旋涂含有硼酸的水溶液，干燥后，利用热处理，在露出N型硅基板13的背面的部位，扩散P型杂质也就是硼并形成P型扩散层21(图6f)。
接下来，作为相当于图6g～i的步骤，利用氢氟酸处理，将形成于N型硅基板13上的氧化硅膜34及氧化硅膜34发生硼扩散而形成的玻璃层去除，接着利用CVD法在表面与背面形成氮化硅膜作为钝化膜。以上步骤，在实施例1～8及比较例1中相同。接着，进行电极的形成。
[实施例1～4]
在实施例1～4中，形成如图7所示的图案的电极部、绝缘膜、电极线部及电极母线部(图6j～l)。
首先，形成宽度100μm的线状图案的电极部。具体来说，利用丝网印刷，在扩散层上的特定部位涂布由银(Ag)颗粒、玻璃浆料、粘结剂及溶剂所组成的导电性膏(烧结膏)，进行干燥，以700℃进行5分钟煅烧，形成第1电极部及第2电极部。接下来，在绝缘区域形成长度3mm、宽度500μm的绝缘膜。使用聚酰亚胺膏作为绝缘膜的材料，并利用丝网印刷将此膏涂布至特定部位，以150℃加热20分钟使其固化，形成绝缘膜。
接下来，使宽度100μm的指状电极(电极线部)、宽度为1.2mm的母线电极(电极母线部)同时形成。使用由银(Ag)颗粒及热固化树脂所组成的导电性膏(热固化膏)，作为电极线部与电极母线部的材料。利用丝网印刷涂布此热固化膏，进行干燥，以200℃加热30分钟使其固化，使第1电极线部、第2电极线部、第1电极母线部及第2电极母线部同时形成。
在实施例1中为一对母线电极(图9)，在实施例2中为两对(图1)，在实施例3中为三对(图10)，在实施例4中为四对。如图7所示，母线电极与指状电极的连接部，根据导电型的不同而交替隔开。也就是说，使第1电极线部与第1电极母线部连接，另一方面，使第1电极线部与第2电极母线部隔开。此外，使第2电极线部与第2电极母线部连接，另一方面，使第2电极线部与第1电极母线部隔开。此外，使相同导电型用的电极线部与电极部可以连接。
[实施例5～8]
在实施例5～8中，形成如图8所示的图案的电极部、绝缘膜、电极线部及电极母线部(图6j～l)。
形成如图8所示的图案的电极部。在形成有绝缘膜的部位以外处设置图案，所述图案的直径为200μm，沿扩散层的延伸方向，以0.5mm间距间隔设置。此外，仅绝缘区域，为长度4mm、宽度100μm的线状图案。利用丝网印刷涂布烧结膏，并进行干燥，以700℃进行5分钟的煅烧，形成此图案。接下来，在绝缘区域形成长度3mm、宽度500μm的绝缘膜。使用聚酰亚胺膏作为绝缘膜的材料，利用丝网印刷将此膏涂布至特定部位，以150℃加热20分钟使其固化，形成绝缘膜。
接下来，使宽度为100μm的电极线部及宽度为1.2mm的电极母线部同时形成。利用丝网印刷涂布热固化膏，进行干燥，以200℃加热30分钟使其固化，并使电极线部与电极母线部同时形成。
在实施例5中母线电极为一对，在实施例6中为两对，在实施例7中为三对，在实施例8中为四对。如图8所示，母线电极与指状电极的连接部，根据导电型的不同而交替隔开。
[比较例1]
比较例1中，仅形成触点电极与母线电极。这些电极的形状为以下图案：在基板端设置一对宽度为1.2mm的母线电极，并且宽度为100μm的触点电极从各母线电极开始，沿着扩散层延伸的方向设置(图19)。使用烧结膏，并利用丝网印刷，对特定位置进行涂布，并进行干燥，以700℃煅烧5分钟。
对90片以此方式制作而成的太阳能电池，进行由太阳模拟器(25℃的环境中，照射强度：1kW/m2，光谱：AM 1.5global)实施的评价。将结果平均示于图11～14。
图11～14是表示实施例1～8及比较例1的实验结果的图表。图11表示串联电阻的值。图12表示填充因数的值。图13表示开路电压的值。图14表示转换效率的值。如图11～14所示，以往方法(比较例1)中，由于配线电阻的原因，串联电阻较高，填充因数减少，但在实施例1中，使母线电极与指状电极为立体结构，并在触点电极上形成指状电极，由此，可以减少触点面积，并增大指状电极的截面积。结果为，配线电阻变小，填充因数增加，转换效率提高。此外，如实施例2～4所示，通过增加母线根数，可以将转换效率等进一步提高。此外，如实施例5～8所示，通过使电极部的形状为点状，并进一步减少触点面积，由此，开路电压进一步提高，可以进一步提高转换效率。
另外，本发明并不限于上述实施形态。上述实施形态为例示，具有与本发明的权利要求书所述的技术思想实质相同的结构并发挥相同作用效果的技术方案，均包含在本发明的技术范围内。

Claims (10)

1.一种太阳能电池，其在第1导电型的半导体基板的与受光面相反的面上，形成有第1导电型的扩散层与第2导电型的扩散层，所述太阳能电池的特征在于，
具备接合于所述第1导电型的扩散层的第1电极部以及接合于所述第2导电型的扩散层的第2电极部；
具备：形成于所述第1电极部上的第1电极线部、形成于所述第2电极部上的第2电极线部、连接有所述第1电极线部的第1电极母线部以及连接有所述第2电极线部的第2电极母线部；
至少在所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，以覆盖所述第2电极部的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜，
至少在所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域，以覆盖所述第1电极部的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜，
在所述第1绝缘膜的正下方，线状地连续形成所述第2电极部，
在所述第2绝缘膜的正下方，线状地连续形成所述第1电极部。
2.如权利要求1所述的太阳能电池，其中，在形成有所述第2绝缘膜的部位以外处的所述第1电极部的形状以及在形成有所述第1绝缘膜的部位以外处的所述第2电极部的形状，是点状、线状或这些形状的组合中的任一种，
形成于所述第2绝缘膜的正下方的所述第1电极部的长度大于所述第2绝缘膜的长度，所述第1电极部的宽度小于所述第2绝缘膜的宽度，
形成于所述第1绝缘膜的正下方的所述第2电极部的长度大于所述第1绝缘膜的长度，所述第2电极部的宽度小于所述第1绝缘膜的宽度。
3.如权利要求1或2所述的太阳能电池，其中，
以覆盖存在于至少所述第1电极母线部的正下方的所述第2导电型的扩散层的方式，形成所述第1绝缘膜，
以覆盖存在于至少所述第2电极母线部的正下方的所述第1导电型的扩散层的方式，形成所述第2绝缘膜。
4.如权利要求1至3中任一项所述的太阳能电池，其中，所述第1电极母线部及所述第2电极母线部的根数的合计为4根以上且10根以下。
5.如权利要求1至4中任一项所述的太阳能电池，其中，所述第1绝缘膜及所述第2绝缘膜是由含有至少选自下述中的一种以上树脂的材料所构成：硅酮树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、氟树脂、酚树脂、三聚氰胺树脂、尿素树脂、聚氨酯、环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酯树脂及聚乙烯醇树脂。
6.如权利要求1至5中任一项所述的太阳能电池，其中，
在所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，所述第2电极部的长度为0.35～5.0mm，所述第1绝缘膜的长度为0.32mm～4.0mm，所述第1电极母线部的宽度为0.30mm～3.0mm，
在所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域，所述第1电极部的长度为0.35～5.0mm，所述第2绝缘膜的长度为0.32mm～4.0mm，所述第2电极母线部的宽度为0.30mm～3.0mm。
7.如权利要求1至6中任一项所述的太阳能电池，其中，
在所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，所述第1电极母线部的长度为0.3mm以上，所述第1绝缘膜的宽度为0.03mm～1.5mm，所述第2电极部的宽度为0.02～0.20mm，
在所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域，所述第2电极母线部的长度为0.3mm以上，所述第2绝缘膜的宽度为0.03mm～1.5mm，所述第1电极部的宽度为0.02～0.20mm。
8.如权利要求1至7中任一项所述的太阳能电池，其中，所述第1绝缘膜及所述第2绝缘膜的厚度为1～60μm。
9.如权利要求1至8中任一项所述的太阳能电池，其中，所述第1电极线部、所述第2电极线部、所述第1电极母线部及所述第2电极母线部，是由含有导电性物质与树脂的材料构成，所述导电性物质至少选自Ag、Cu、Au、Al、Zn、In、Sn、Bi、Pb中的一种以上，所述树脂选自环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酯树脂、酚树脂及硅酮树脂中的一种以上。
10.一种太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池是在第1导电型的半导体基板的与受光面相反的面上形成有第1导电型的扩散层与第2导电型的扩散层，所述太阳能电池的制造方法的特征在于，具有以下步骤：
在与所述受光面相反的面上，形成所述第1导电型的扩散层及接合于该第1导电型的扩散层的第1电极部，以及形成所述第2导电型的扩散层及接合于该第2导电型的扩散层上的第2电极部；
以覆盖所述第2电极部的侧面部与上部的方式形成第1绝缘膜，以覆盖所述第1电极部的侧面部与上部的方式形成第2绝缘膜；及，
同时进行将第1电极线部连接并形成于所述第1电极部上且将第1电极母线部连接并形成于所述第1电极线部、以及将第2电极线部连接并形成于所述第2电极部上且将第2电极母线部连接并形成于所述第2电极线部；
在形成所述电极部的步骤中，在所述第1绝缘膜的正下方线状地连续形成所述第2电极部，在所述第2绝缘膜的正下方线状地连续形成所述第1电极部，
在形成所述绝缘膜的步骤中，将所述第1绝缘膜形成在至少所述第2电极部与所述第1电极母线部交叉的区域，将所述第2绝缘膜形成在至少所述第1电极部与所述第2电极母线部交叉的区域。
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