CN106411173B - 压电驱动装置以及机器人 - Google Patents
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1520020A (zh) * | 1998-12-21 | 2004-08-11 | ������������ʽ���� | 压电驱动装置 |
| CN1531183A (zh) * | 2003-02-28 | 2004-09-22 | ������������ʽ���� | 超声马达、操作装置、光学机构以及电气设备 |
| CN1543049B (zh) * | 2003-04-03 | 2010-05-05 | 精工爱普生株式会社 | 操作装置和电子仪器 |
| JP2010213537A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Nec Tokin Corp | アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置 |
| CN102292907A (zh) * | 2008-12-18 | 2011-12-21 | 发现技术国际股份有限公司 | 基于有组合谐振器的声学驻波的压电准谐振电机 |
| CN102447420A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 株式会社尼康 | 驱动装置、透镜镜筒及照相机 |
| CN103368455A (zh) * | 2012-03-29 | 2013-10-23 | 精工爱普生株式会社 | 压电电机、机械手以及机器人 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2003075445A1 (en) * | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Seiko Epson Corporation | Linear actuator |
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| JP4026632B2 (ja) * | 2004-08-12 | 2007-12-26 | セイコーエプソン株式会社 | 小型飛行体 |
| JP4043497B2 (ja) * | 2006-06-14 | 2008-02-06 | シャープ株式会社 | 超音波振動子の振動特性の調整方法およびそれに用いられる超音波振動子 |
| JP4506704B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2010-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| EP2056442B1 (en) * | 2006-08-23 | 2014-04-30 | NGK Insulators, Ltd. | Piezoelectric actuator element for ultrasonic motor |
| WO2008120456A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-09 | Panasonic Corporation | 超音波アクチュエータ装置 |
| JP4507006B2 (ja) * | 2007-11-15 | 2010-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動カッターの駆動方法 |
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| US9250113B2 (en) * | 2010-06-21 | 2016-02-02 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Cell mass measurement and apparatus |
| JP5799596B2 (ja) * | 2011-06-10 | 2015-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット |
| JP5942403B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット |
| JP2013255959A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Seiko Epson Corp | 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 |
| JP2013258824A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Seiko Epson Corp | 移動機構、ロボットハンド、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、投影装置、搬送装置 |
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1520020A (zh) * | 1998-12-21 | 2004-08-11 | ������������ʽ���� | 压电驱动装置 |
| CN1531183A (zh) * | 2003-02-28 | 2004-09-22 | ������������ʽ���� | 超声马达、操作装置、光学机构以及电气设备 |
| CN1543049B (zh) * | 2003-04-03 | 2010-05-05 | 精工爱普生株式会社 | 操作装置和电子仪器 |
| CN102292907A (zh) * | 2008-12-18 | 2011-12-21 | 发现技术国际股份有限公司 | 基于有组合谐振器的声学驻波的压电准谐振电机 |
| JP2010213537A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Nec Tokin Corp | アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置 |
| CN102447420A (zh) * | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 株式会社尼康 | 驱动装置、透镜镜筒及照相机 |
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