CN105939131A - 压电驱动装置以及机器人 - Google Patents
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Abstract
本发明提供抑制功率重量比的降低，并且高输出且轻型的压电驱动装置。发明的压电驱动装置的特征在于具有能够与被驱动部接触的接触部，且具备具有压电体的多个压电驱动部。多个压电驱动部的数量在十个以上，多个压电驱动部的整体的输出在0.3W以上，压电驱动部的重量在1μg以上5g以下。
Description
技术领域
本发明涉及压电驱动装置、以及具备压电驱动装置的机器人等各种装置。
背景技术
使压电体振动来驱动被驱动体的压电促动器(压电驱动装置)由于不需要磁铁、线圈，所以在各种领域被利用(参照例如专利文献1)。该压电驱动装置的基本的构成是在加强板的两个面的各个面上以两行两列的方式配置了四个压电元件的构成，合计八个压电元件设在加强板的两侧。各个压电元件是分别以两个电极夹持压电体的单元，加强板也作为压电元件的一方的电极被利用。在加强板的一端设有用于与作为被驱动体的转子接触来使转子旋转的突起部。若对四个压电元件中的配置在对角的两个压电元件施加交流电压，则这两个压电元件进行伸缩运动，与此对应地加强板的突起部进行往复运动或者椭圆运动。而且，与该加强板的突起部的往复运动或者椭圆运动对应地，作为被驱动体的转子向规定的旋转方向旋转。另外，通过将施加交流电压的两个压电元件切换为另两个压电元件，能够使转子向反方向旋转。
专利文献1：日本特开2004－320979号公报
压电驱动装置的输出Pw与压电驱动装置的驱动力F和驱动速度v的积成比例。这里，压电驱动装置的驱动力F与构成压电驱动装置的压电元件(具体而言，是被电极夹持的压电体)的剖面积成比例。因此，根据量纲分析，若以[L]来表现表示压电元件的尺寸的长度的维，则可以说与[L]2成比例。另外，压电驱动装置的驱动速度v与压电元件的长度[L]1成比例，共振频率fr与[L]－1成比例，所以可以说驱动速度v与[L]无关系。因此，可以认为压电驱动装置的输出Pw与[L]2成比例。而且，提高压电驱动装置的输出Pw能够单纯地通过增大构成压电驱动装置的压电元件的尺寸而增大压电元件的体积来进行。
然而，压电驱动装置的重量Wt与压电元件的体积[L]3成比例，所以压电驱动装置的功率重量比Pw/Wt(相对于重量Wt的输出Pw的比)与[L]－1成比例。因此，存在即使单纯地增大压电元件的尺寸来提高压电驱动装置的输出Pw，也导致功率重量比Pw/Wt的降低所以并不合理这样的课题。因此，在压电驱动装置中，期望能够提供抑制功率重量比Pw/Wt的降低，并且高输出且轻型的压电驱动装置的技术。另外，在压电驱动装置中，期望其小型化、低成本化、省资源化、制造的容易化、使用的便利性的提高等。
发明内容
本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例实现。
(1)根据发明的一方式，提供压电驱动装置。该压电驱动装置具有能够与被驱动部接触的接触部，且具备具有压电体的多个压电驱动部。上述多个压电驱动部的数量在十个以上；上述多个压电驱动部的整体的输出在0.3W以上；上述压电驱动部的重量在1μg以上5g以下。
根据该方式，通过使用十个以上重量在1μg以上5g以下的轻型的压电驱动部构成压电驱动装置，能够实现能够维持与一个压电驱动部的功率重量比同等的功率重量比，并且轻型，并且使压电驱动装置的整体的输出为0.3W以上的高输出的压电驱动装置。
(2)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是上述压电驱动部满足下式。
log10(Pw/Wt)≥－0.373·log10(Wt)+1.448
这里，Wt是上述压电驱动部的重量[kg]，Pw是上述压电驱动部的输出[W]，Pw/Wt是上述压电驱动部的功率重量比[W/kg]。
根据该方式，能够使用具有更高的功率重量比，更小型且轻型的压电驱动部来构成压电驱动装置，所以能够实现能够更高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为0.3W以上的高输出的压电驱动装置。
(3)压电驱动装置的特征在于，在上述方式的压电驱动装置中，上述压电驱动部满足下式。
log10(Pw/Wt)≥－0.498·log10(Wt)+1.653
根据该方式，能够使用具有更高的功率重量比，且更轻型的压电驱动部来构成压电驱动装置，所以能够实现能够更高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为0.3W以上的高输出的压电驱动装置。
(4)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是上述压电驱动部的输出在0.001W以上1W以下。
根据该方式，通过使用十个以上的多个输出在0.001W以上1W以下的轻型的压电驱动部，能够使用具有较高的功率重量比，且小型轻型的压电驱动部来构成压电驱动装置，所以能够实现能够较高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为0.3W以上的高输出的压电驱动装置。
(5)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是上述压电体的厚度在0.05μm以上20μm以下。
在该方式中，通过使用十个以上压电体的厚度在0.05μm以上20μm以下的较薄的作为整体小型化且轻型的压电驱动部，也能够使用具有较高的功率重量比，且小型轻型的压电驱动部来构成压电驱动装置，所以能够实现能够较高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为0.3W以上的高输出的压电驱动装置。
(6)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是上述压电驱动部的每一个的重量在1μg以上100mg以下。
在该方式中，通过使用十个以上重量为1μg以上100mg以下的轻型的压电驱动部，也能够使用具有较高的功率重量比，且小型轻型的压电驱动部来构成压电驱动装置，所以能够实现能够较高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为0.3W以上的高输出的压电驱动装置。
(7)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是上述多个压电驱动部的数量在一百个以上。
根据该方式，通过使用一百个以上具有较高的功率重量比，且小型轻型的压电驱动部来构成压电驱动装置，能够实现能够与使用十个压电驱动部的情况相比较高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为3W以上的高输出的压电驱动装置。
(8)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是上述多个压电驱动部的数量在一千个以上。
根据该方式，通过使用一千个以上具有较高的功率重量比，且小型轻型的压电驱动部构成压电驱动装置，能够实现能够与使用一百个压电驱动部的情况相比较高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为30W以上的高输出的压电驱动装置。
(9)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是上述压电振动体具有基板、配置于上述基板的上述第一电极、配置于上述第一电极的上述压电体、以及配置于上述压电体的上述第二电极。
根据该方式，能够小型且轻型地构成压电振动体，能够构成具有较高的功率重量比，且轻型的压电驱动部，所以能够容易地实现能够较高地维持功率重量比，并且轻型，并使压电驱动装置的整体的输出为0.3W以上的高输出的压电驱动装置。
本发明能够以各种方式实现，例如，除了压电驱动装置之外，还能够以压电驱动装置的驱动方法、压电驱动装置的制造方法、安装压电驱动装置的机器人、安装压电驱动装置的机器人的驱动方法、输液泵、以及投药泵等各种方式实现。
附图说明
图1是表示作为本发明的一实施方式使用了十个压电驱动部的压电驱动装置的一个例子的概略结构图。
图2是图1所示的压电驱动部的概略结构图。
图3是振动板的俯视图。
图4是表示各压电驱动部与驱动电路的电连接状态的说明图。
图5是表示压电驱动装置的动作的例子的说明图。
图6是表示压电驱动装置的重量与功率重量比的关系的图表。
图7是表示使用了一百个压电驱动部的压电驱动装置的概略结构的一个例子的侧视图。
图8是表示作为压电驱动部能够采用的单体压电驱动装置的例子的表。
图9是表示图8所示的各单体压电驱动装置的重量与功率重量比的关系的图表。
图10是表示使用图8所示的各单体压电驱动装置来构成压电驱动装置的情况下需要的各单体压电驱动装置的个数例的表。
图11是表示压电振动体的薄膜成形工序的说明图。
图12是作为其他的实施方式的压电驱动装置的概略结构图。
图13是表示图12所示的压电驱动装置的制造工序的一个例子的一部分的说明图。
图14是表示图12所示的压电驱动装置的制造工序的一个例子的另一部分的说明图。
图15是表示图12所示的压电驱动装置的制造工序的一个例子的另一部分的说明图。
图16是表示作为另一个其他的实施方式的压电驱动装置的概略结构的侧视图。
图17是表示利用了上述的压电驱动装置的机器人的一个例子的说明图。
图18是图17所示的机器人的手腕部分的说明图。
图19是表示利用了上述的压电驱动装置的输液泵的一个例子的说明图。
具体实施方式
A.实施方式：
图1是表示作为本发明的一实施方式使用了十个压电驱动部的压电驱动装置的一个例子的概略结构图。图1(A)是压电驱动装置11的俯视图，图1(B)是其侧视图。压电驱动装置11具备振动板200、和排列在振动板200的十个压电驱动部10。排列了压电驱动部10的振动板200被支承体30的支承部310支承以及固定。压电驱动部10具备分别配置在振动板200的两面的两个压电振动体100。此外，在图1中，为了方便图示，对振动板200以及支承体30附加影线来表示。
图2是图1所示的压电驱动部10的概略结构图。图2(A)是压电驱动部10的俯视图，图2(B)是其B－B剖视图，图2(C)是其C－C剖视图。如上述那样，压电驱动部10具备振动板200的振动体部210、和分别配置在振动体部210的两面(第一面211(也称为“表面”或者“上面”)和第二面212(也称为“背面”或者“下面”))的两个压电振动体100。压电振动体100具备基板120、设在基板120上的第一电极130、设在第一电极130上的压电体140、以及设在压电体140上的第二电极150。第一电极130与第二电极150夹持压电体140。两个压电振动体100以振动板200的振动体部210为中心对称地配置。由于两个压电振动体100具有相同的构成，所以以下除非另有说明，对处于振动板200的上侧的压电振动体100的构成进行说明。
压电振动体100的基板120作为用于形成第一电极130、压电体140以及第二电极150的基板使用。另外，基板120也具有作为进行机械振动的振动板的功能。基板120例如能够利用Si、Al2O3、ZrO2、SiO2等形成。
第一电极130作为形成在压电体140的基板120侧的面的一个连续的导电体层形成。另一方面，如图2(A)所示，第二电极150被划分为五个导电体层150a～150e(也称为“第二电极150a～150e”)。处于中央的第二电极150e在基板120的宽度方向的中央，形成为遍及基板120的长边方向的大致整体的长方形形状。其他的四个第二电极150a、150b、150c、150d具有相同的平面形状，形成在基板120的四角的位置。在图2的例子中，第一电极130和第二电极150均具有长方形的平面形状。第一电极130、第二电极150例如是通过利用溅射、蒸镀的成膜处理形成的薄膜。作为第一电极130、第二电极150的材料，例如能够利用Al(铝)、Ni(镍)、Au(金)、Pt(铂)、Ir(铱)、Cu(铜)等导电性较高的任意的材料。此外，也可以代替使第一电极130为一个连续的导电体层，而划分为具有与第二电极150a～150e实际相同的平面形状的五个导电体层。此外，用于第二电极150a～150e之间的电连接的布线(或者布线层以及绝缘层)、和用于第一电极130以及第二电极150a～150e与驱动电路之间的电连接的布线(或者布线层以及绝缘层)在图2中省略图示。
压电体140以划分为具有与第二电极150a～150e实际相同的平面形状的五个压电体层的方式形成。也可以代替此，而将压电体140形成为具有与第一电极130实际相同的平面形状的一个连续的压电体层。通过第一电极130、压电体140以及第二电极150a～150e的层叠结构，构成五个压电元件110a～110e(图2(A))。
如后述那样，压电体140通过块体(bulk)成形工序形成，或者，通过使用了溶胶凝胶法、溅射法的成膜工序形成。作为压电体140的材料，能够利用采用ABO3型的钙钛矿结构的陶瓷等，示出压电效应的任意的材料。作为采用ABO3型的钙钛矿结构的陶瓷，例如能够使用锆钛酸铅(PZT)、钛酸钡、钛酸铅，铌酸钾，铌酸锂、钽酸锂、钨酸钠、氧化锌、钛酸钡锶(BST)、钽酸锶铋(SBT)、偏铌酸铅、锌铌酸铅，钪铌酸铅等。另外也能够使用陶瓷以外的示出压电效应的材料，例如聚偏氟乙烯、石英等。
图3是振动板200的俯视图。振动板200具有由多个贯通孔252形成的长方形形状的十个振动体部210、从振动体部210的左右的长边分别各延伸三个的连接部220、以及分别与左右的三个连接部220连接的两个固定部230。其中，邻接的两个振动体部210中，左侧的振动体部210的右侧的连接部220与右侧的振动体部210的左侧的连接部220与共同的固定部230连接。此外，在图3中，为了方便图示，对振动体部210附加影线。固定部230为了通过粘合剂将压电驱动装置11固定在支承体30而被使用。振动板200例如能够利用不锈钢、铝、铝合金、钛、钛合金、铜、铜合金、铁－镍合金等金属材料形成。另外，也能够利用氧化锆、二氧化钛、氧化铝、氧化锌等金属氧化物材料形成。另外，也能够利用陶瓷，例如，Si、SiO2、SiC、Al2O3、ZrO2等形成，也能够利用金刚石形成。
在振动体部210的上面(第一面)以及下面(第二面)分别使用粘合剂粘合有压电振动体100(图2)。振动体部210的长度L和宽度W通常以与压电振动体100的长度以及宽度一致的方式形成。优选振动体部210的长度L与宽度W的比大约为L：W＝7：2。该比值是为了通过压电振动体100而振动体部210进行沿其平面向左右弯曲的超声波振动(后述)而优选的值。
振动体部210的长度L例如能够为0.1mm以上30mm以下的范围，宽度W例如能够为0.02mm以上9mm以下的范围。此外，为了振动体部210进行超声波振动，优选长度L在50mm以下。振动体部210的厚度(振动板200的厚度)例如能够为20μm以上800μm以下的范围。若使振动体部210的厚度在20μm以上，则为用于支承压电振动体100的足够的刚性。另外，若使振动体部210的厚度在800μm以下，则能够与压电振动体100的变形对应地产生足够大的变形。
在振动板200的被第一面211以及第二面212夹着的一方的第三面213一体地设有与各压电驱动部10对应的突起部20(也称为“接触部”或者“作用部”)。突起部20是用于与未图示的被驱动体(也称为“被驱动部”)接触，并通过滑动给予被驱动体力的部件。突起部20以与振动板200相同的部件一体地形成。但是，并不限定于此，也可以利用其它的部件并通过粘合剂与振动板200的第三面213粘合从而一体地设置。另外突起部20优选以陶瓷(例如Si、SiC、Al2O3、ZrO2)等具有耐久性的材料形成。
如图2(c)所示，振动板200的固定部230使用粘合剂粘合并固定在支承体30的支承部310。由此，被固定了压电振动体100的振动体部210，即、压电驱动部10以能够振动的方式被左右的支承部310支承。
图4是表示各压电驱动部10与驱动电路300的电连接状态的说明图。在各压电驱动部10中，压电振动体100的五个第二电极150a～150e中，处于对角的一对第二电极150a、150d经由布线151相互电连接，另一对角的一对第二电极150b、150c也经由布线152相互电连接。这些布线151、152可以通过成膜处理形成，或者，通过线状的布线实现。处于图4的右侧的各压电驱动部10的三个第二电极150b、150d、150e以及第一电极130(图2)经由布线310、312、314、320与驱动电路300电连接。驱动电路300通过对各压电驱动部10的一对第二电极150a、150d与第一电极130之间共同地施加周期性地变化的交流电压或者脉动电压，能够使各压电驱动部10同样地超声波振动，驱动与突起部20接触的被驱动体。例如，在被驱动体为转子的情况下，能够使其相对于转子中心向规定的旋转方向旋转，另外，在被驱动体是能够向规定方向移动的移动体的情况下，能够使其向规定方向移动。这里，所谓的“脉动电压”是指对交流电压附加了DC偏移后的电压，其电压(电场)的方向为从一个电极朝向另一个电极的单方向。另外，通过对各压电驱动部10的另一对第二电极150b、150c与第一电极130之间共同地施加交流电压或者脉动电压，能够使与突起部20接触的作为被驱动体的转子向反方向旋转，另外，能够使作为被驱动体的移动体向反方向移动。另外，也能够对各压电驱动部10的一对第二电极150a、150d与第一电极130之间、和各压电驱动部10的另一对第二电极150b、150c与第一电极130之间施加相位彼此偏移180度的交流电压或者脉动电压。该情况下，对各压电驱动部10的一个第二电极150e与第一电极130之间，施加对上述的相位彼此偏移180度的交流电压或者脉动电压调整了相位后的交流电压或者脉动电压，能够根据调整后的相位改变被驱动体的旋转方向、移动方向。这样的电压的施加对设在振动体部210的两面的各压电振动体100同时进行。此外，构成图4所示的布线151、152、310、312、314、320的布线(或者布线层以及绝缘层)在图2中省略图示。
图5是表示压电驱动装置11的动作的例子的说明图。此外，在图5中，以省略振动板200的方式示出。各压电驱动部10的突起部20与作为被驱动体的转子50的与中心51垂直的旋转面(朝向纸面垂直方向的面)52的外周侧接触。在图5所示的例子中，驱动电路300(图4)对各压电驱动部10的一对第二电极150a、150d与第一电极130之间施加交流电压或者脉动电压，压电元件110a、110d向图4的箭头x的方向伸缩。与此对应地，各压电驱动部10的振动体部210在振动体部210的平面内弯曲并变形为弯曲形状(S形状)。由此，各压电驱动部10的突起部20的前端22基于与转子50的旋转面52平行的方向的往复运动(以下，也称为“弯曲振动”)成分、和与旋转面52垂直的方向的往复运动(以下，也称为“纵振动”)成分向箭头y的方向进行椭圆运动。此时，各压电驱动部10在突起部20与旋转面52接触的期间，与基于从突起部20给予旋转面52的力产生的摩擦力对应地，使旋转面52向以粗箭头所示的方向滑动。其结果，转子50与从各压电驱动部10给予的力的总和对应地，绕其中心51向规定的方向z(在图4中从压电驱动部10侧观察逆时针方向)旋转。此外，图3所说明的振动板200的三个连接部220设在这样的振动体部210的振动的节(分节)的位置。此外，在驱动电路300对另一对第二电极150b、150c与第一电极130之间施加交流电压或者脉动电压的情况下，突起部20的前端22向反方向进行椭圆运动，转子50向反方向旋转。此外，若对中央的第二电极150e施加与一对第二电极150a、150d(或者另一对第二电极150b、150c)相同的电压，则压电驱动部10向长边方向伸缩，所以能够进一步增大从突起部20给予转子50的力。此外，对于压电驱动部10(或者压电振动体100)的这样的动作，记载在上述专利文献1(日本特开2004－320979号公报，或者，对应的美国专利第7224102号)，通过参照引用其公开内容。
以上，在本实施方式的压电驱动装置11中，在振动板200的第一面211上十个压电振动体100排列成一列，并且在第二面212上十个压电振动体100以成对的方式排列成一列，由上下一对压电振动体100构成的十个压电驱动部10具有在振动板200上排列成一列的结构。但是，压电驱动部10并不限定于此，也可以是仅具备任意一方的振动体部100的构成。
图6是表示压电驱动装置11的重量与功率重量比的关系的图表，示出了以横轴为驱动装置的重量Wt[kg]以纵轴为功率重量比Pw/Wt[W/kg]的两对数图表。向右上倾斜的曲线Tm表示一般作为驱动装置使用的电磁马达的相对于重量Wt的功率重量比Pw/Wt的代表性的特性。另外，向右下倾斜的直线Tp表示具有一个压电驱动部的压电驱动装置(压电促动器)的相对于重量Wt的功率重量比Pw/Wt的设计上的特性。此外，以下，为了与具有多个压电驱动部的压电驱动装置区别，也将具有一个压电驱动部的压电驱动装置称为“单体压电驱动装置”。另外以直线虚线示出的各线L0.03W、L0.3W、L3W、以及L30W分别表示输出Pw与0.03W、0.3W、3W、以及30W对应的功率重量比Pw/Wt与重量Wt的理论值。电磁马达的特性Tm与各线L0.3W、L3W、以及L30W的交点Mr03、Mr3、以及Mr30分别表示电磁马达的输出Pw为0.3W、3W、以及30W的功率重量比Pw/Wt以及重量Wt的位置。
在电磁马达的特性Tm上，示出功率重量比Pw/Wt与尺寸的大型化所带来的重量Wt的增加对应地增加的特性。与此相对，在单体压电驱动装置的特性Tp上，如课题中说明的那样，示出功率重量比Pw/Wt与尺寸的大型化所带来的重量Wt的增加对应地降低的特性。因此，在单体压电驱动装置中，即使增大构成压电驱动部的压电振动体的尺寸来提高输出Pw，由于重量Wt增加，功率重量比Pw/Wt也降低。因此，在单体压电驱动装置中，增大尺寸提高输出Pw从功率重量比Pw/Wt的观点来看并不合理，可以说在电磁马达的特性Tm的功率重量比Pw/Wt与压电驱动装置的特性Tp的功率重量比Pw/Wt相比较高的重量Wt以上的区域，不能够相对于电磁马达得到优越性。此外，单体压电驱动装置、压电驱动装置在功率重量比Pw/Wt的观点上为了与电磁马达同等以上，期望至少单体压电驱动装置、压电驱动装置的功率重量比Pw/Wt在图6的影线所示的区域(直线Tp以及曲线Tm双方以上的区域)内。因此，以下，也将单体压电驱动装置的特性Tp称为“压电驱动装置的边界特性Tp”。
这里，如观察压电驱动装置的边界特性Tp所知，压电驱动装置(单体压电驱动装置)的重量Wt越低功率重量比Pw/Wt越高。因此，若着眼于该点，则考虑通过使用多个(例如十个以上)重量Wt较轻的小型的压电驱动装置构成压电驱动装置，能够构成单纯在计算上，维持与一个压电驱动装置(单体压电驱动装置)相同的功率重量比Pw/Wt，且较高的输出的压电驱动装置。
在图6中，单体压电驱动装置S3的重量Wt为1.1×10－5kg，输出Pw为0.03W，功率重量比Pw/Wt为2.727×103W/kg，这与图1的一个压电驱动部10相当。图1所示的压电驱动装置11排列十个压电驱动部10(＝单体压电驱动装置S3)构成。
如图6所示，对于该压电驱动装置11来说，其重量Wt是单体压电驱动装置S3的十倍的1.1×10－4kg，输出Pw也成为十倍的0.3W。即，压电驱动装置11单纯在计算上，能够在将功率重量比Pw/Wt维持为与一个压电驱动部10相同的2.727×103W/kg的状态下，使输出Pw增大到十倍的0.3W。因此，压电驱动装置11与输出Pw为0.3W的电磁马达Mr03相比，成为功率重量比Pw/Wt较高，重量Wt较轻的构成。
另外，如图6所示，若使用一百个单体压电驱动装置S3，则能够构成将功率重量比Pw/Wt维持为与一个单体压电驱动装置S3相同，且使输出Pw增大到一百倍的3W的压电驱动装置11A。该压电驱动装置11A也能够成为与输出Pw为3W的电磁马达Mr3相比，功率重量比Pw/Wt较高，重量Wt较轻的构成。
另外，如图6所示，若使用一千个单体压电驱动装置S3，则能够构成将功率重量比Pw/Wt维持为与一个单体压电驱动装置S3相同，且使输出Pw增大到一千倍的30W的压电驱动装置11B。该压电驱动装置11B也能够成为与输出Pw为30W的电磁马达Mr30相比，功率重量比Pw/Wt较高，重量Wt较轻的构成。
此外，压电驱动装置11A、压电驱动装置11B例如能够如以下那样构成。
图7是表示使用了一百个压电驱动部的压电驱动装置的概略结构的一个例子的侧视图。图7也与图1相同，为了方便图示，对振动板200以及支承体30附加影线来表示。如图7所示，通过成为沿与排列了压电驱动部10的面(第一面211、第二面212)垂直的方向将压电驱动装置11(参照图1)层叠十层的构成，能够构成使用了一百个压电驱动部10的压电驱动装置11A。即，该压电驱动装置11A具有排列了多个压电振动体100的振动板200沿与排列了压电振动体100的面垂直的方向，经由支承体30层叠十层的构成。此外，各压电驱动装置11利用粘合剂固定在设于正下的压电驱动装置11的支承体30的支承架312上。
另外，虽然省略图示，但与压电驱动装置11A相同，通过成为将压电驱动装置11层叠一百层的构成，能够构成使用了一千个压电驱动部10的压电驱动装置11B。
此外，图1所示的压电驱动装置11的压电驱动部10的配置是一个例子，并不限定于此，只要是使用了十个压电驱动部10的构成，则其配置并不特别限定。另外，相同地，图7所示的压电驱动装置11A的压电驱动部10的配置也是一个例子，并不限定于此，只要是使用了一百个压电驱动部10的构成，则其配置并不特别限定。另外，同样地，压电驱动装置11B的压电驱动部10的配置也只要是使用了一千个压电驱动部10的构成，则其配置并不特别限定。另外，压电驱动部10的个数并不限定于十、一百、一千，将通过将压电驱动装置所要求的输出除以使用的压电驱动部10(单体压电驱动装置)的输出得到的商进位后的值作为个数即可。
另外，能够作为压电驱动部10采用的单体压电驱动装置并不限定于上述的单体压电驱动装置S3，能够使用处于图6所示的影线区域中的各种单体压电驱动装置。
图8是表示能够作为压电驱动部10采用的单体压电驱动装置的例子的表。图8示出了大小不同的六种单体压电驱动装置S1～S6。装置的大小的差异以压电体的尺寸(长度L×宽度W×厚度[mm])为代表示出，第一个单体压电驱动装置S1最大，以下依次减小，第六个单体压电驱动装置S6最小。压电体的厚度H在150μm以上的上面四种单体压电驱动装置S1～S4是包含具有基于后述的块体成形工序的压电体的压电振动体的单体压电驱动装置，压电体的厚度H不满150μm的下面两种单体压电驱动装置S5、S6是包含具有基于后述的薄膜成形工序的压电体的压电振动体的单体压电驱动装置。
各单体压电驱动装置S1～S6的压电体的尺寸(长度L×宽度W×厚度[mm])、振动板(与振动体部210对应)的厚度[mm]、单体压电驱动装置的总厚度(两个压电振动体以及振动板的厚度)[mm]、重量Wt[kg]、输出Pw[W]、施加电压[V]、功率重量比Pw/Wt[W/kg]如图8所记载的那样。此外，施加电压是经由电极施加给压电体的电压。
图9是表示图8所示的各单体压电驱动装置S1～S6的重量Wt与功率重量比Pw/Wt的关系的图表。图9与图6相同，以将横轴作为驱动装置的重量Wt[kg]将纵轴作为功率重量比Pw/Wt[W/kg]的两对数图表示出。如图9所示，各单体压电驱动装置S1～S6是处在相当于图6所示的影线区域的影线区域中的单体压电驱动装置。
第一～第三个单体压电驱动装置S1～S3的功率重量比Pw/Wt随着伴随压电体的小型化的重量Wt的轻型化而依次提高，第一、二个单体压电驱动装置S1、S2取压电驱动装置的边界特性Tp上的值，第三个单体压电驱动装置S3取比与其重量Wt对应的压电驱动装置的边界特性Tp上的值稍高的值。此外，第三个单体压电驱动装置S3是作为上述的压电驱动部10使用的单体压电驱动装置。第四个单体压电驱动装置S4与第三个单体压电驱动装置S3相比进一步小型化而重量Wt被轻型化，功率重量比Pw/Wt与轻型化对应地提高。其中，其功率重量比Pw/Wt与第三个单体压电驱动装置S3的情况相比，成为比与其重量Wt对应的压电驱动装置的边界特性Tp上的值进一步高的值。第五、六个单体压电驱动装置S5、S6也随着压电体的小型化而重量Wt被轻型化，第五、六个单体压电驱动装置S5、S6的功率重量比Pw/Wt与各自的轻型化对应地提高。其中，这两个单体压电驱动装置S5、S6如上述那样通过薄膜成形工序形成，各自的功率重量比Pw/Wt相对于与重量Wt对应的压电驱动装置的边界特性Tp上的值，成为更高的值，成为薄膜压电驱动装置的特性Ttp上的值。
图10是表示使用图8所示的各单体压电驱动装置S1～S6构成压电驱动装置的情况下所需要的单体压电驱动装置的个数例的表。若使用图10所示的个数的单体压电驱动装置S1，则能够构成输出Pw为10W、30W以及100W的压电驱动装置。另外，若使用图10所示的个数的单体压电驱动装置S2，则能够构成输出Pw为1W、3W、10W、30W以及100W的压电驱动装置。另外，若使用图10所示的个数的单体压电驱动装置S3～S6，则能够构成输出为0.3W、1W、3W、10W、30W以及100W的压电驱动装置。此外，这些为例示，通过使用与所希望的输出Pw对应的个数能够构成各种输出的压电驱动装置。此外，各压电驱动装置的输出值为例示，并不限定于此，能够为0.3W以上的任意的输出。该情况下，将通过将压电驱动装置所要求的输出除以作为压电驱动部10使用的单体压电驱动装置的输出得到的商进位后的值作为个数，从而能够构成要求的输出的压电驱动装置。
此外，基于块体成形工序的压电振动体通过各种一般的制造方法制成。例如，能够通过对粉末状的压电体材料进行加压成形并烧制来形成压电体，并通过对电极材料进行溅射或者蒸镀的成膜工序将电极形成在所形成的压电体来制成。此外，在基于块体形成工序的压电振动体中，也能够省略图2所示的基板120。
另外，基于薄膜成形工序的压电振动体例如能够通过以下说明的薄膜成形工序制成。
图11是表示压电振动体的薄膜成形工序的说明图。在图11中，示出了在基板120上，形成图2的右半部分的上部所示的压电元件110d的工序。在步骤S110中，准备基板120，并在基板120的表面形成绝缘层125。作为绝缘层125，例如，能够利用使基板120的表面热氧化形成的SiO2层。另外，作为绝缘层能够使用氧化铝(Al2O3)、丙烯酸、聚酰亚胺等有机材料。此外，在基板120为绝缘体的情况下，形成绝缘层125的工序能够省略。
在步骤S120中，在绝缘层125上形成第一电极130。第一电极130例如能够通过溅射形成。
在步骤S130中，在第一电极130上形成压电体140。具体而言，能够使用溶液涂覆法，例如溶胶凝胶法来形成压电体140。即，通过将压电体材料的溶胶凝胶溶液滴在基板120(第一电极130)上，并使基板120高速旋转，从而在第一电极130上形成溶胶凝胶溶液的薄膜。其后，以200～300℃的温度煅烧来在第一电极130上压形成电体材料的第一层。其后，通过反复多次溶胶凝胶溶液的滴下、高速旋转、煅烧的循环，在第一电极130上形成所希望的厚度的压电体层。此外，在一个循环形成的压电体的一层的厚度虽然也取决于溶胶凝胶溶液的粘度、基板120的旋转速度，但大约为50nm～150nm的厚度。形成了所希望的厚度的压电体层之后，通过以600℃～1000℃的温度进行烧结，形成压电体140。若使烧结后的压电体140的厚度在50nm(0.05μm)以上20μm以下，则能够实现小型的压电驱动部10。此外，若使压电体140的厚度在0.05μm以上，则能够与压电体140的伸缩对应地产生足够大的力。另外，若使压电体140的厚度在20μm以下，则即使使施加给压电体140的电压在600V以下也能够产生足够大的力。其结果，能够以廉价的元件构成用于驱动压电驱动部10的驱动电路300。此外，也可以是使压电体的厚度在400nm以上，该情况下，能够增大在压电元件产生的力。此外，煅烧、烧结的温度、时间是一个例子，根据压电体材料适当地选择。
在使用溶胶凝胶法形成压电体材料的薄膜之后进行烧结的情况下，与混合原料粉末进行烧结的以往的烧结法比较，有(a)容易形成薄膜、(b)使晶格方向对齐而容易结晶化、以及(c)能够提高压电体的耐压等优点。
在步骤S140中，在压电体140上形成第二电极150。第二电极150的形成与第一电极相同，能够通过溅射进行。
在步骤S150中，对第二电极150和压电体140进行图案化。在本实施方式中，通过使用了氩离子束的离子蚀刻，进行第二电极150和压电体140的图案化。此外，通过控制离子蚀刻的时间，能够仅对第二电极150和压电体140进行图案化，而不对第一电极130进行图案化。此外，也可以代替使用离子蚀刻进行图案化，而通过其他的任意的图案化方法(例如，使用了氯类的气体的干式蚀刻)进行图案化。
如以上说明的那样，通过使用多个小型且较轻的功率重量比较高的压电驱动装置(单体压电驱动装置)作为压电驱动部来构成压电驱动装置，能够构成维持与一个压电驱动装置同等的功率重量比，且能够进行0.3W以上的高输出的压电驱动装置。另外，能够构成与相同的输出的电磁马达相比轻型的压电驱动装置。
构成压电驱动装置的压电驱动部10的数目优选在十个以上，更优选在二十个以上，进一步优选在一百个以上，进一步优选在一千个以上。若使压电驱动部10的数目增多，则能够使用更小型且较轻的功率重量比Pw/Wt更高的压电驱动装置(单体压电驱动装置)作为压电驱动部10，所以能够以更高的功率重量比，构成高输出以及轻型的压电驱动装置。
此外，在薄膜成形工序的情况下，与块体成形工序相比压电振动体100变薄，所以能够使构成压电驱动部10的单体压电驱动装置轻型，能够提高功率重量比。另外，即使在假设使压电体140的长度L以及宽度W小型化的情况下，例如，如比较图8的单体压电驱动装置S3和单体压电驱动装置S4所知，输出Pw的变化的程度也较小。这是因为由于长度L以及宽度W的小型化而压电体的共振频率变高。因此，通过使长度L以及宽度W小型化，也能够进一步提高功率重量比。根据以上，通过减小压电体140的尺寸(长度L×宽度W×厚度H)，能够提高功率重量比。因此，作为压电驱动部10，使用十个以上的多个基于薄膜成形工序的单体压电驱动装置在提高功率重量比这一点更有利，在构成维持更高的功率重量比，且轻型高输出的压电驱动装置这一点更有利。
另外，如上述那样，作为使用为压电驱动部10的单体压电驱动装置，优选为图9所示的影线区域内的重量Wt以及功率重量比Pw/Wt。表示影线区域的分界线的压电驱动装置的边界特性Tp的功率重量比Pw/Wt[W/kg]与重量Wt[kg]的关系基于图8所示的两个单体压电驱动装置S1、S2，能够以下式(1)表示。
log10(Pw/Wt)＝－0.373·log10(Wt)+1.448···(1)
因此，作为使用为压电驱动部10的单体的压电驱动装置，优选具有满足下式(2)的功率重量比Pw/Wt。
log10(Pw/Wt)≥－0.373·log10(Wt)+1.448···(2)
但是，压电驱动装置的边界特性Tp与电磁马达的特性Tm交叉，限定在比电磁马达的功率重量比Pw/Wt的一方更高的重量Wt轻的区域(Wt＜0.04kg)。
另外，图9所示的薄膜压电驱动装置的特性Ttp的功率重量比Pw/Wt[W/kg]与重量Wt[kg]的关系基于图8所示的两个单体压电驱动装置S5、S6，能够以下式(3)表示。
log10(Pw/Wt)＝－0.498·log10(Wt)+1.653···(3)
因此，作为压电驱动部10使用的单体的压电驱动装置为薄膜压电驱动装置的情况下，优选具有满足下式(4)的功率重量比Pw/Wt。
log10(Pw/Wt)≥－0.498·log10(Wt)+1.653···(4)
但是，同样地，压电驱动装置的边界特性Tp与电磁马达的特性Tm交叉，限定在比电磁马达的功率重量比Pw/Wt的一方更高的重量Wt轻的区域(Wt＜0.04kg)。
此外，作为压电驱动部10，即、构成压电驱动部10的压电驱动装置(单体压电驱动装置)的重量Wt优选为1μg～5g的范围(参照图8)。另外，从提高功率重量比Pw/Wt这样的观点来看，优选更小型轻型的压电驱动装置，更优选为1μg～100mg的范围。但是，下限值并不限定于此，也能够使用更小型轻型的压电驱动装置。另外，作为压电驱动部10的输出Pw，优选为0.001W～1W的范围(参照图8)。但是，下限值并不限定于此，能够使用更低输出的压电驱动部。这是因在在上述的薄膜成形工序的情况下，能够进一步使压电驱动部10小型化、轻薄化，能够成为更高的功率重量比。
压电体140的长度L例如能够为0.2mm～30mm的范围，宽度W能够为0.02mm～9mm的范围，厚度H能够为0.002mm(2μm)～1mm的范围。厚度H在0.15mm(150μm)以上的压电体140能够通过块体成形工序制成。另外，厚度H不足0.15mm的压电体140能够通过薄膜成形工序制成。
此外，基于薄膜成形工序的压电体140的厚度H例如优选为50nm(0.05μm)以上20μm以下的范围。具有该范围的厚度的压电体140的薄膜能够利用薄膜成形工序(成膜工序)容易地形成。若使压电体140的厚度在0.05μm以上，则能够根据压电体140的伸缩产生足够大的力。另外，若使压电体140的厚度在20μm以下，则能够使压电振动体100(压电驱动部10)充分地小型化。另外，若使压电体140的厚度在20μm以下，则即使施加给压电体140的电压在600V以下也能够产生足够大的力。因此，能够以廉价的元件构成用于驱动压电驱动部10的驱动电路300。
若通过溶胶凝胶法形成压电体140，则在容易形成较薄的压电体这一点优选。另外，由于容易使压电体的结晶的晶格方向对齐，所以在能够增大施加了相同的电压时的压电体的形状的变形，另外，能够增大耐压这一点优选。此外，压电体140也可以通过溅射法形成。通过溅射法，也能够得到与溶胶凝胶法相同的效果。
另外，在本实施方式中，压电元件(110a～110e)形成在作为基板120的、Si制的基板等机械品质因子Qm值较高的基板上，所以与没有这样的基板120的情况相比，能够增大压电驱动部10的机械品质因子Qm的值。特别是，由于Si制的基板的机械品质因子Qm值为十万左右，所以若使用Si制的基板120，则能够增大压电驱动部10的机械品质因子Qm的值。
B.压电驱动装置的其他的实施方式：
在上述实施方式中，示出了将以将Si制的基板作为压电振动体的基板并且使其作为振动板发挥作用的方式，使用成膜工序将压电振动体与振动板一体形成的压电驱动装置与支承体30的支承部310粘合并固定的压电驱动装置(参照图9)。与此相对，如以下进行说明的那样，除了使用成膜工序，将压电振动体与振动板一体形成之外，也能够一体形成支承体。
图12是作为其他的实施方式的压电驱动装置11G的概略结构图，是与图1对应的附图。图12(A)是压电驱动装置11G的俯视图，图12(B)是其侧视图。此外，图12为了使以下的图示以及说明变得容易，例示了在振动板200G排列三个压电驱动部10G的构成，但并不限定于此，能够为排列了各种个数的压电驱动部10G的构成。
压电驱动装置11G在振动板200G的上面(第一面)一体形成有作为压电驱动部10G的压电振动体100G。另外，在振动板200G的下面(第二面)的与固定部230对应的位置，一体形成有构成支承体30G的支承部310。该压电驱动装置11G能够使用成膜工序制造。
图13～图15是表示压电驱动装置11G的制造工序的一个例子的说明图。首先，如图13(B)的侧视图所示，通过使Si晶圆120W的上面氧化，形成成为振动板200G的SiO2层120G，在其上面，如图13(A)的俯视图所示，形成压电振动体100G。压电振动体100G的形成与实施方式的压电振动体100(参照图2、11)相同，所以这里省略说明。此外，也可以通过在Si晶圆120W的上面，形成氧化铝等，来形成振动板200G。
接下来，如图14(A)的俯视图、图14(B)的其B－B剖视图、以及图14(C)的其C－C剖视图所示，通过利用蚀刻等除去各压电振动体100G的周围的SiO2层120G(振动板200G)的一部分，形成突起部20、振动体部210、连接部220、以及固定部230。
接下来，如图15(A)的俯视图、图15(B)的其B－B剖视图、以及图15(C)的其C－C剖视图所示，以使与振动板200G(SiO2层120G)的振动体部210的沿长边方向的固定部230对应的Si晶圆120W的部分作为支承部310残留的方式，利用蚀刻除去其他的部分，形成支承体30G。由此，能够制造一体形成支承体30G的压电驱动装置11G(参照图12)。
此外，虽然图示省略，但在Si晶圆120W能够形成有多个压电驱动装置11G，所以通过激光切割并分离这些多个压电驱动装置11G。由此，能够从一个Si晶圆120W一次性地制造多个压电驱动装置11G。
图16是表示作为其他的实施方式的压电驱动装置11H的概略结构的侧视图，是与图7对应的附图。压电驱动装置11H是通过经由支承体30G的支承部310将压电驱动装置11G(参照图12)与其他的压电驱动装置11G层叠，从而层叠多个压电驱动装置11G的层叠结构的压电驱动装置。对于各压电驱动装置11G来说，上侧的压电驱动装置11G的支承部310的下面与下侧的压电驱动装置11G的振动板200G之间利用粘合剂接合。
C.使用了压电驱动装置的装置的实施方式：
上述的压电驱动装置11、11A是通过利用共振能够给予被驱动体较大的力的装置，能够应用于各种装置。压电驱动装置11、11A例如，能够作为机器人(也包括电子部件输送装置(IC自动分拣机))、给药用泵、钟表的日历进给装置、打印装置(例如送纸机构。但是，在打印头所利用的压电驱动装置中，不使振动板共振，所以不能够应用于打印头。)等各种设备中的驱动装置使用。以下，对代表的实施方式进行说明。
图17是表示利用了上述的压电驱动装置11A的机器人2050的一个例子的说明图。机器人2050具备具有多个连杆部2012(也称为“连杆部件”)、和以能够转动或者弯曲的状态连接这些连杆部2012之间的多个关节部2020的臂2010(也称为“臂部”)。在各个关节部2020内置有上述的压电驱动装置11A，使用压电驱动装置11A能够使关节部2020转动或者弯曲任意的角度。在臂2010的前端连接有机械手2000。机械手2000具备一对把持部2003。在机械手2000也内置有压电驱动装置11A，使用压电驱动装置11A能够开闭把持部2003来把持物体。另外，在机械手2000与臂2010之间也设有压电驱动装置11A，使用压电驱动装置11A也能够使机械手2000相对于臂2010旋转。
图18是图17所示的机器人2050的手腕部分的说明图。手腕的关节部2020夹持手腕转动部2022，在手腕转动部2022以能够绕手腕转动部2022的中心轴O转动的方式安装有手腕的连杆部2012。手腕转动部2022具备压电驱动装置11A，压电驱动装置11A使手腕的连杆部2012以及机械手2000绕中心轴O转动。在机械手2000立设有多个把持部2003。把持部2003的基端部能够在机械手2000内移动，在该把持部2003的根的部分安装有压电驱动装置11A。因此，通过使压电驱动装置11A动作，能够使把持部2003移动来把持对象物。
此外，作为机器人，并不限定于单臂的机器人，也能够将压电驱动装置11A应用于臂的数目在两个以上的多臂机器人。这里，在手腕的关节部2020、机械手2000的内部，除了压电驱动装置11A之外，还包括向力觉传感器、陀螺仪传感器等各种装置供给电力的电力线、传递信号的信号线等，需要非常多的布线。因此，在关节部2020、机械手2000的内部配置布线非常困难。然而，上述的实施方式的压电驱动装置11A与通常的电动马达、以往的压电驱动装置相比能够减小驱动电流，所以在关节部2020(特别是，臂2010的前端的关节部)、机械手2000那样的较小的空间也能够配置布线。另外，压电驱动装置11A为小型轻型的结构，所以与为了得到相同的输出需要使用多个以往的压电驱动装置的情况相比，内置在关节部2020、机械手2000变得更容易，并且，产生为了使它们动作所需要的输出变得容易。
图19是表示利用了上述的压电驱动装置11A的输液泵2200的一个例子的说明图。输液泵2200在壳体2230内设置有储液器2211、软管2212、压电驱动装置11A、转子2222、减速传递机构2223、凸轮2202、多个手指2213、2214、2215、2216、2217、2218、2219。储液器2211是用于收纳作为输送对象的液体的收纳部。软管2212是用于输送从储液器2211送出的液体的管。压电驱动装置11A的多个突起部20以按压在转子2222的侧面的状态设置，压电驱动装置11A旋转驱动转子2222。转子2222的旋转力经由减速传递机构2223传递到凸轮2202。手指2213～2219是用于使软管2212闭塞的部件。若凸轮2202旋转，则通过凸轮2202的突起部2202A而手指2213～2219依次向辐射方向外侧被按压。手指2213～2219从输送方向上游侧(储液器2211侧)依次闭塞软管2212。由此，软管2212内的液体依次向下游侧输送。这样一来，能够良好地对极微小的量进行输液，并且能够实现小型的输液泵2200。此外，各部件的配置并不限定于图示的配置。另外，也可以是不具备手指等部件，而设于转子2222的球等闭塞软管2212的构成。上述那样的输液泵2200能够利用在将胰岛素等药液对人体进行给药的投药装置等。这里，通过使用上述的实施方式的压电驱动装置11A，与以往的压电驱动装置相比驱动电流变小，所以能够抑制投药装置的消耗电力。因此，在对投药装置进行电池驱动的情况下，特别有效。
此外，在本实施方式中，压电驱动装置11A驱动转子2222的圆周面。在如本实施方式那样压电驱动装置驱动转子的圆周面的情况下，例如，在图2的压电驱动装置11中，优选如图2(C)的方式那样以独立地切断的状态使用。另外，在图7的压电驱动装置11A中，优选以层叠了压电驱动部的状态，在层叠方向独立地切断来使用。根据这些构成，能够得到更大的驱动力。
上述的实施方式的压电驱动装置11、11A、11G、11H以在一个振动板200、200G上设置多个压电驱动部10、10G的构成为例进行了说明，但并不限定于此。也可以是多个压电驱动部散乱地配置的构成，在这种情况下，各压电驱动部可以分别具备振动板，也可以不具备振动板。
本发明并不限定于上述的实施方式、实施例、变形例，在不脱离其主旨的范围内能够以各种构成实现。例如，在与具体实施方式一栏记载的各方式中的技术特征对应的实施方式、实施例、变形例中的技术特征为了解决上述的课题的一部分或者全部，或者，为了实现上述的效果的一部分或者全部，能够适当地进行替换、组合。另外，若该技术特征在本说明书中未作为必须的技术特征进行说明，则能够适当地删除。
符号说明
10…压电驱动部，11、11A、11B…压电驱动装置，20…突起部(接触部、作用部)，50…转子(被驱动体)，51…被驱动体的中心，100…压电振动体，110、110a、110b、110c、110d、110e…压电元件，120…基板，130…第一电极，140…压电体，150、150a、150b、150c、150d、150e…第二电极，151、152…布线，200、200E…振动板，210…振动体部，211…第一面，212…第二面，213…第三面，214…第四面，220…连接部，230…固定部，300…驱动电路，310、312、314、320…布线，2000…机械手，2003…把持部，2010…臂，2012…连杆部，2020…关节部，2022…手腕转动部，2050…机器人，2200…输液泵，2202…凸轮，2202A…突起部，2211…储液器，2212…软管，2213…手指，2222…转子，2223…减速传递机构，2230…壳体。
Claims (10)
1.一种压电驱动装置，其特征在于，
具有能够与被驱动部接触的接触部，并具备具有压电体的多个压电驱动部，
上述多个压电驱动部的数量在十个以上，
上述多个压电驱动部的整体的输出在0.3W以上，
上述压电驱动部的重量在1μg以上5g以下。
2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述压电驱动部满足下式，
log10(Pw/Wt)≥－0.373·log10(Wt)+1.448，
其中，Wt是上述压电驱动部的重量[kg]，Pw是上述压电驱动部的输出[W]。
3.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述压电驱动部满足下式，
log10(Pw/Wt)≥－0.498·log10(Wt)+1.653。
4.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述压电驱动部的输出在0.001W以上1W以下。
5.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述压电体的厚度在0.05μm以上20μm以下。
6.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述压电驱动部的重量在1μg以上100mg以下。
7.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述多个压电驱动部的数量在一百个以上。
8.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述多个压电驱动部的数量在一千个以上。
9.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
上述压电驱动部具有包含上述压电体的压电振动体、和设置有上述压电振动体的振动板，
上述压电振动体具有基板、配置于上述基板的第一电极、配置于上述第一电极的上述压电体、以及配置于上述压电体的第二电极。
10.一种机器人，其特征在于，具备：
多个连杆部；
连接上述多个连杆部的关节部；以及
使上述多个连杆部在上述关节部转动的权利要求1所述的压电驱动装置。
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