CN106286241A - 压电泵及其操作方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 claims description 114
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 38
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 2
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B17/00—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
- F04B17/003—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors driven by piezoelectric means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
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Abstract
本发明一种压电泵,包括压电元件、振动片、阀件及导流件。振动片包括中央区、周围区、第一凹槽、挡止部、限位壁及贯槽。中央区贴附于压电元件。挡止部与限位壁凸出于第一凹槽,贯槽位在中央区与周围区之间且连通于第一凹槽。阀件贴附于振动片的周围区,且包括非直线形穿槽。振动片的挡止部在阀件上的投影笼罩非直线形穿槽。导流件贴附于阀件的远离振动片的表面,且包括第二凹槽、流道及贯孔。第二凹槽与流道凹陷于导流件。流道连通于第二凹槽与贯孔,第二凹槽在阀件所在的平面上的投影笼罩非直线形穿槽。本发明还提供一种压电泵的操作方法。通过这种方式,本发明的压电泵能够抑制逆流且提升供输效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种压电泵及其操作方法,特别是涉及一种能够抑制逆流且提升供输效率的压电泵及其操作方法。
背景技术
压电泵是一种新型的流体驱动器,其无需附加驱动电机,仅透过电陶瓷的逆压电效应便能使压电振子产生变形,再依据前述变形产生泵腔的容积变化以实现流体输出,或者透过压电振子产生波动来传输流体,因此压电泵已逐渐取代传统泵而广泛地应用于电子、生医、航太、汽车以及石化等产业。
一般来说,压电泵是由压电振子以及泵体所组成,其中当通电至压电振子时,压电振子会在电场作用下径向压缩,并于其内部产生拉应力而弯曲变形。当压电振子正向弯曲时,泵体的腔室(以下称泵腔)的容积便会增大,使得泵腔内的压力减小,以令流体自入口流入泵腔。另一方面,当压电振子向反向弯曲时,泵腔的容积减小,使得泵腔内的压力增大,以令泵腔内的流体被挤压而自出口排出。因此,如何在压电振子的作动下使流体保持自入口流入泵腔,再从泵腔自出口排出的流动,而不会发生逆流的状况,便成为当前亟待解决的问题之一。
发明内容
本发明提供一种压电泵,其可抑制流体逆流以提高流体输出效率。
本发明提供一种压电泵的操作方法,其适用于上述的压电泵。
本发明一实施例提出一种压电泵,包括压电元件、振动片、阀件及导流件。振动片包括中央区、周围区、第一凹槽、挡止部、至少一个限位壁及至少一个贯槽。中央区对应于压电元件,振动片以中央区贴附于 压电元件。周围区环绕中央区。第一凹槽凹陷于中央区的远离压电元件的表面。挡止部与限位壁凸出于第一凹槽,贯槽位在中央区与周围区之间且连通于第一凹槽。阀件贴附于振动片的周围区的远离压电元件的表面,且包括至少一个非直线形穿槽。振动片的挡止部在阀件上的投影笼罩非直线形穿槽。导流件贴附于阀件的远离振动片的表面,且包括第二凹槽、至少一条流道及至少一个贯孔。第二凹槽与流道凹陷于导流件的朝向阀件的表面。流道连通于第二凹槽与贯孔,第二凹槽在阀件所在的平面上的投影笼罩非直线形穿槽。当压电元件被特定频率的驱动电压驱动时,振动片与阀件对应地共振,而使得振动片的中央区与阀件对应于中央区的区域具有最大的振幅。
在本发明的一实施例中,上述的压电元件包括穿孔,振动片包括第三凹槽,第三凹槽凹陷于中央区的靠近压电元件的表面上且对应于穿孔的位置。
在本发明的一实施例中,上述的振动片包括多个臂部,分别连接于中央区与周围区,这些臂部以直线或是弧线的形式延伸。
在本发明的一实施例中,上述的阀件包括多个贯穿沟,导流件包括多个沟槽,贯穿沟与沟槽的位置分别对应于臂部的位置,以供臂部伸入。
在本发明的一实施例中,上述的阀件包括第四凹槽,第四凹槽凹陷于阀件朝向导流件的表面,且第四凹槽对应于第二凹槽。
在本发明的一实施例中,上述的流道的口径从贯孔至第二凹槽呈现出渐缩的趋势。
在本发明的一实施例中,上述的振动片包括多个限位壁,这些限位壁围绕挡止部,各限位壁投影在阀件上的形状包括弧形、长条形、圆形、正方形、环形或是不规则形,或者,振动片包括一个限位壁,限位壁的形状是环形且围绕挡止部。
在本发明的一实施例中,上述的挡止部投影在阀件上的形状包括圆形、椭圆形、多边形或是不规则形。
在本发明的一实施例中,上述的各非直线形穿槽的形状包括弧形、U形、多边形的一部分或是不规则形。
本发明另一实施例提出一种压电泵的操作方法,包括提供上述的压电泵;以及提供特定频率的驱动电压以驱动压电元件,振动片与阀件对应地共振,而使得振动片的中央区与阀件对应于中央区的区域产生最大的振幅。
本发明的有益效果是:本发明的压电泵的压电元件在通电之后会上下移动,除了直接带动振动片之外,压电元件被输入特定频率的驱动电压,可以使振动片与阀件发生了振动片的中央区与阀件对应于中央区的区域能够有最大的振幅的共振模态,而加大振动片与阀件的振动幅度,更能带动流体通过。详细地说,当压电元件往远离导流件的方向移动时,振动片的中央区远离于阀片,挡止部与限位壁会与阀件拉开一小段距离,而使得流体从导流件的贯孔、流道、第二凹槽、非直线形穿槽被引导至阀件与振动片的第一凹槽之间的空间。非直线形穿槽的设计可使得流体在通过非直线形穿槽时,非直线形穿槽会因共振振动张开而增加开口大小,因而降低流阻并提升通气率。当压电元件回位并往靠近导流件的方向移动时,位在阀件与振动片的第一凹槽之间的流体会从振动片的贯槽中被挤出,且振动片的中央区朝向阀片靠近,非直线型穿槽会因共振振动而恢复平面的狭缝状态,非直线型穿槽的开口变小,因而流阻增加,再者,凸出于第一凹槽的挡止部会抵靠在阀件上,遮蔽非直线形穿槽,流体便不易从非直线形穿槽流到导流件的第二凹槽。换句话说,此时阀片与导流件之间的流路的流阻渐增而暂时地关闭,以达到抑制流体发生逆流的状况。此外,振动片在朝向阀件的表面设有限位壁可限制振动片在往阀件的方向移动的幅度,也就是说,振动片往远离阀片方向移动的幅度会大于靠近阀片方向移动的幅度,而使得流体以单一方向从导流件的贯孔进入压电泵,经过流道、第二凹槽、非直线形穿槽、第一凹槽而从贯槽离开压电泵。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图 仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。其中:
图1是本发明的第一实施例的一种压电泵的爆炸示意图;
图2是是图1的另一视角的示意图;
图3是图1的压电泵在组合后的剖面示意图;
图4是图3的局部放大示意图;
图5是本发明的第二实施例的一种压电泵的局部剖面示意图;
图6至图8是图1的压电泵在作动时的剖面示意图;
图9A至图9H是本发明的其他实施例的多种压电泵的阀片的局部示意图;
图10A至图10C是本发明的其他实施例的多种压电泵的振动片的臂部的局部示意图;
图11A至图11C是本发明的其他实施例的多种压电泵的振动片的限位壁的局部示意图;
图12A至图12B是本发明的其他实施例的多种压电泵的振动片的挡止部的局部示意图;
图13是现有技术的压电泵与图1的压电泵的流率比较示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
图1是本发明的一实施例的一种压电泵的爆炸示意图。图2是图1的另一视角的示意图。图3是图1的压电泵在组合后的剖面示意图。图4是图3的局部放大示意图。请参阅图1至图4,本实施例的压电泵100包括压电元件110、振动片120、阀件130及导流件140。
在本实施例中,压电元件110的外轮廓形状为圆形且呈现片状,压 电元件110包括穿孔12,位在压电元件110的中央。当然,在其它实施例中,压电元件110的外轮廓可为圆形、椭圆形、三角形、方形、六角形或是其他多边形等,压电元件110的形状并不以此为限制。
振动片120包括中央区121、周围区122、第一凹槽123(标示于图2)、挡止部124(标示于图2)、至少一个限位壁125(标示于图2)、至少一个贯槽126、第三凹槽127及多个臂部128。在本实施例中,振动片120的材质可包括铜、不锈钢或其他适当的金属或合金,具有可挠曲的特性,但振动片120的材质不以此为限制。
中央区121为振动片120上对应于压电元件110的区域,振动片120以中央区121贴附于压电元件110。周围区122环绕中央区121。如图2所示,第一凹槽123凹陷于中央区121的远离压电元件110的表面,也就是图面上的下表面。
如图2所示,挡止部124与限位壁125凸出于第一凹槽123。在本实施例中,振动片120包括四个限位壁125,限位壁125呈弧形且围绕挡止部124。在本实施例中,挡止部124、限位壁125与周围区122位在相同的平面上,但在其他实施例中,挡止部124与限位壁125也可以略低或是略高于周围区122所在的平面。
在本实施例中,振动片120包括多个贯槽126,贯槽126呈弧形而环绕中央区121,各贯槽126位在中央区121与周围区122之间且连通于第一凹槽123。
在本实施例中,这些臂部128呈弧形而环绕中央区121。这些臂部128分别连接于中央区121与周围区122,更明确地说,臂部128的两端连接于中央区121,且壁部128的中间连接于周围区122。
请回到图1,第三凹槽127凹陷于中央区121的靠近压电元件110的表面上且对应于穿孔112的位置。振动片120透过中央区121具有第三凹槽127的设计,而降低中央区121的厚度,如此一来,其后在进行上下振动时,中央区121可以具有比较大的摆动幅度。当然,在其他实施例中,振动片120也可以省略第三凹槽127的设计。
阀件130贴附于振动片120的周围区122的远离压电元件110的表 面(振动片120的下表面),也就是说,振动片120会配置于压电元件110与阀件130之间。阀件130包括位在中央的至少一个非直线形穿槽132及环绕于非直线形穿槽132的多个贯穿沟134。在本实施例中,振动片120的挡止部124在阀件130上的投影笼罩非直线形穿槽132,也就是说,非直线形穿槽132的位置对应于挡止部124的位置。此外,贯穿沟134的位置对应于振动片120的臂部128,用以提供空间给臂部128,以使臂部128在振动时能够穿入贯穿槽134而具有较大的振动幅度。阀件130的材质可包括铜、不锈钢或其他适当的金属或合金,其具可挠性,但阀片130的材质并不以此为限制。
当然,阀件130的设计并不以此为限制。图5是依照本发明的另一实施例的一种压电泵的局部剖面示意图。请参阅图5,在本实施例中,阀件130a还包括第四凹槽136a,凹陷于阀件130a朝向导流件140a的表面,且第四凹槽136a对应于第二凹槽142a。第四凹槽136a是用来降低阀件130a的中间部分的厚度,此设计可使得阀件130a与压电元件110之间产生共振时,较薄的中间部分可以具有比较大的摆动幅度。
请回到图1,导流件140贴附于阀件130的远离振动片120的表面(阀件130的下表面),换句话说,阀件130配置于振动片120与导流件140之间。导流件140包括第二凹槽142、至少一条流道144、至少一个贯孔146及多个沟槽148。第二凹槽142凹陷于导流件140的朝向阀件130的表面(导流件140的上表面),第二凹槽142在阀件130所在的平面上的投影笼罩非直线形穿槽132。
流道144凹陷于导流件140的上表面,且流道144连通于第二凹槽142与贯孔146。在本实施例中,导流件140包括四个流道144与四个贯孔146,但导流件140的流道144与贯孔146的数量并不以此为限制。这些流道144以第二凹槽142为中心呈现放射状,且流道144的口径从贯孔146至第二凹槽142呈现出渐缩的趋势,而使得流经流道144的流体容易流入第二凹槽142且难以流出贯孔146的单向抑制设计,以达到控制流体在流道144内的流向的功能。
沟槽148的位置对应于臂部128的位置,与阀件130的贯穿沟134 相似地,沟槽148可用来供臂部128伸入,而使臂部128能够具有更大的振动幅度。此外,在本实施例中,导流件140的材质可包括铜、不锈钢或其他适当的金属或合金,但导流件140的材质并不以此为限制。
下面将进一步地解释压电泵100在作动时压电元件110、振动片120、阀件130、导流件140之间的相对位置。图6至图8是图1的压电泵在作动时的剖面示意图。需说明的是,为了方便观看流体在压电泵100内的流动路径,特意加厚位于振动片120与阀件130之间的第一粘着层150以及阀件130与导流件140之间的第二粘着层160。并且,图7与图6分别是图1的压电泵100在向下与向上的变形量最大时的示意图。
首先,请先参阅图6,在图6中,压电泵100位在初始位置,此时,压电元件110、振动片120、阀件130、导流件140呈现尚未弯曲的水平状态。当压电泵100开始作动时,可藉由电路控制而使压电元件110移动,连带地带动振动片120移动。除了压电元件110直接带动振动片120之外,在本实施例中,压电泵100的振动片120与阀件130还能够与压电元件110共振,因此,压电元件110只要以特定频率小电场的驱动便能够使振动片120与阀件130产生大幅度的振动。此共振可使得振动片120与阀件130之间的空间具有更大的变化性。相对于振动片120与阀件130没有共振的状况,压电泵100的振动片120与阀件130受压电元件110共振的影响,可增加20%以上的振幅,而增加了压电泵100的作动效益。
更详细地说,在操作此压电泵100时,透过对压电元件110提供特定频率的驱动电压来驱动压电元件110(例如在压电片110的直径约是8公厘至22公厘之间的尺寸时,施以20kHz至30kHz的驱动电压),振动片120的中央区121除了被压电元件110带动而往远离导流件140的方向(也就是图面上的上方)移动之外,振动片120也会对应压电元件110的振动频率而产生共振,因此,振动片120会产生更大的振动幅度。阀片130也会对应压电元件110的振动频率而产生共振。由于阀片130是黏附到导流件140在第二凹槽142以外的区域,阀片130在未粘着到导流件140的部位会受到共振而上下振动。在本实施例中,振动片120与 阀件130的共振模态是可以使得振动片120的中央区121与阀件130对应于中央区121的区域产生最大的振幅,而使压电元件110从图6的状态改变成图7的状态。
在图7中,振动片120上移,阀片130受到共振的影响而对应地下移,使得振动片120的中央区121远离于阀片130,振动片120的第一凹槽123与阀片130之间的空间变大,压力因此变小,而使得外界流体从导流件140的贯孔146、流道144、第二凹槽142、非直线形穿槽132被引导至阀件130与振动片120的第一凹槽123之间的空间。
接着,振动片120下移逐渐回到如图6的位置。再来,振动片120持续下移,而呈现出如图8所示的下凹形式。在图7逐渐振动至图6与图8的过程中,由于振动片120的第一凹槽123与阀片130之间的空间逐渐变小,而使得此空间内的压力变大,原本位在振动片120的第一凹槽123与阀片130之间的流体就会被挤压而往振动片120的贯槽126移动而流出于压电泵100。
在图8中可见,在振动片120呈现下凹时,位在振动片120的下表面的挡止部124会抵靠在阀件130上,遮蔽非直线形穿槽132,原本位在振动片120的第一凹槽123与阀片130之间的流体便不能从非直线形穿槽132流到导流件140的第二凹槽142。换句话说,此时阀片130与导流件140之间的流路暂时地关闭,以抑制流体发生逆流的状况。
值得一提的是,在本实施例中,当振动片120位在图8的状态时,位在振动片120的下表面的限位壁125会接触到阀件130,被阀件130局限而不能够继续向下。也就是说,压电泵100藉由在振动片120的朝向阀件130的表面设有限位壁125可限制振动片120在往阀件130的方向移动的幅度,而使得振动片120在上下振动的过程中,振动片120往远离阀片130方向移动的幅度(也就是如图7中向上凸出的幅度)会大于靠近阀片130方向移动的幅度(也就是如图8中向下凹的幅度)。此设计可使得流体较倾向从导流件140的贯孔146,沿着流道144、第二凹槽142、非直线形穿槽132被吸入于振动片120的第一凹槽123与阀片130之间的空间,而使流体沿单一方向流动。
另外,由于阀件130的非直线形穿槽132是呈现弧形等非直线或是非圆形的设计,当流体在通过非直线形穿槽132时,阀件130在非直线形穿槽旁132的部位(也就是阀件130上呈现出类似于舌片的部位)会张开而增加通气开口大小。换句话说,流体在通过阀件130的面积会大于非直线形穿槽132本身的面积,而使流体能够更顺畅地通过阀件130。
藉由上述的配置,当振动片120上移时,流体可以快速地进入振动片120的第一凹槽123与阀片130之间的空间;当振动片120下移时,挡止部124抵住阀片130的非直线形穿槽132,而使流体不会向下回流。换句话说,经压电元件110往覆地带动振动片120上下振动(重复图6、图7、图6、图8的位置),且振动片120与阀件对应地共振,可使得流体高效率地以单一方向从导流件140的贯孔146进入压电泵100,经过流道144、第二凹槽142、非直线形穿槽132、第一凹槽123而从贯槽126离开压电泵100。
需说明的是,虽然在上面的实施例中,阀片130的非直线形穿槽132只有一个且呈现弧形,但阀片130的非直线形穿槽132的数量与形状并不以此为限制。图9A至图9H是本发明的其他实施例的多种压电泵的阀片的局部示意图。请先参阅图9A与图9B,非直线形穿槽132a、132b由多条直线所构成,也就是说,非直线形穿槽132a、132b的形状为多边形的一部分。例如在图9A中,非直线形穿槽132a由两条连接的直线所形成,在图9B中,非直线形穿槽132b由三条两两连接的直线所形成。当然,非直线形穿槽132a、132b并不仅限于是由两条或是三条线段连接所形成的。
在图9C与图9D中,非直线形穿槽132c、132d的数量为多个,更明确地说,非直线形穿槽132c、132d的数量分别为两个与四个。图9E、图9F与图9C、图9D的差异在于非直线形穿槽132e、132f的弧形的方向。图9E与图9F的非直线形穿槽132e、132f的弧形方向相反于图9C与图9D的非直线形穿槽132c、132d的弧形方向。在图9G中,非直线形穿槽132g的形状是U形,而使得非直线形穿槽132g所围绕的阀片130g的区域类似于舌片的形状。图9H与图9G的差异在于,各非直线 形穿槽132h的形状是U形的其中一部分。当然,上面仅是举出其中一部分的非直线形穿槽132a~132h的形状,非直线形穿槽的形状也可以是不规则的形状或是上面这些形状的组合,并不以图示为限制。
此外,在前述的实施例中,臂部128呈弧形而环绕中央区121,臂部128的两端连接于中央区121,且壁部128的中间连接于周围区122,但臂部128的形式并不以此为限制。此处提供其他种类的振动片的臂部的形式以供参考。图10A至图10C是本发明的其他实施例的多种压电泵的振动片的臂部的局部示意图。请参阅图10A,臂部128a位在中央区121a外且以放射状的形式而直线延伸,臂部128a的一端连接于中央区121a,另一端连接于周围区122a。在图10B中,臂部128b呈弧形而环绕中央区121b,臂部128b的一端连接于中央区121b,另一端连接于周围区122b。在图10C中,一部分的臂部128c如同图1的臂部128,臂部128c呈弧形而环绕中央区121c,臂部128c的两端连接于中央区121c,且壁部128c的中间连接于周围区122c。另一部分的臂部128c如同图10A的臂部128a,臂部128c位在中央区121c外且以放射状的形式而直线延伸,臂部128c的一端连接于中央区121c,另一端连接于周围区122c。当然,上面仅是举出其中一部分的臂部128a~128c的形状,臂部的形状也可以是不规则的形状或是上面这些形状的组合,并不以图示为限制。
在前述的实施例中,振动片120包括四个限位壁125,限位壁125呈弧形,但限位壁125的数量与形式并不以此为限制。此处提供其他种类的限位壁的形式以供参考。图11A至图11C是本发明的其他实施例的多种压电泵的振动片的限位壁的局部示意图。在图11A中,限位壁125a的形状为长条形,在图11B中,限位壁125b的形状为圆形。在图11C中,限位壁125c的数量只有一个且形状为圆环形,但在其他实施例中,也可以是多个不同直径的环状限位壁125c。或者,在其他实施例中,限位壁的形状也可以是正方形或是不规则形,并不以图面为限制。
在前述的实施例中,挡止部124投影在阀件120上的形状为圆形,但挡止部124的形状并不以此为限制。图12A至图12B是本发明的其他实施例的多种压电泵的振动片的挡止部的局部示意图。在图12A中,挡 止部124a的形状为四边形,在图12B中,挡止部124b的形状为六边形。当然,在其他实施例中,挡止部的形状也可以是椭圆形、其他的多边形或是不规则形,并不以图面为限制。
图13是习知的压电泵与图1的压电泵的流率比较示意图。请参阅图13,习知的压电泵每分钟可以输出的流体的流量约是160毫升,本实施例的压电泵每分钟可以输出的流量约是230毫升,也就是说,相较于习知的压电泵,本实施例的压电泵在流量上可以有每分钟70毫升的增益,成长了接近四成的比率。
综上所述,本发明的压电泵的压电元件在通电之后会上下移动,除了直接带动振动片之外,压电元件被输入特定频率的驱动电压,可以使振动片与阀件发生了振动片的中央区与阀件对应于中央区的区域能够有最大的振幅的共振模态,而加大振动片与阀件的振动幅度,更能带动流体通过。详细地说,当压电元件往远离导流件的方向移动时,振动片的中央区远离于阀片,挡止部与限位壁会与阀件拉开一小段距离,而使得流体从导流件的贯孔、流道、第二凹槽、非直线形穿槽被引导至阀件与振动片的第一凹槽之间的空间。非直线形穿槽的设计可使得流体在通过非直线形穿槽时,非直线形穿槽会因共振振动张开而增加开口大小,因而降低流阻并提升通气率开口。当压电元件回位并往靠近导流件的方向移动时,位在阀件与振动片的第一凹槽之间的流体会从振动片的贯槽中被挤出,且振动片的中央区朝向阀片靠近,非直线型穿槽会因共振振动而恢复平面的狭缝状态,非直线型穿槽的开口变小,因而流阻增加,再者,凸出于第一凹槽的挡止部会抵靠在阀件上,遮蔽非直线形穿槽,流体便不易从非直线形穿槽流到导流件的第二凹槽。换句话说,此时阀片与导流件之间的流路的流阻渐增而暂时地关闭,以达到抑制流体发生逆流的状况。此外,振动片在朝向阀件的表面设有限位壁可限制振动片在往阀件的方向移动的幅度,也就是说,振动片往远离阀片方向移动的幅度会大于靠近阀片方向移动的幅度,而使得流体以单一方向从导流件的贯孔进入压电泵,经过流道、第二凹槽、非直线形穿槽、第一凹槽而从贯槽离开压电泵。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种压电泵,其特征在于,该压电泵包括:
压电元件;
振动片,包括中央区、周围区、第一凹槽、挡止部、至少一个限位壁及至少一个贯槽,其中该中央区对应于该压电元件,该振动片以该中央区贴附于该压电元件,该周围区环绕该中央区,该第一凹槽凹陷于该中央区的远离该压电元件的表面,该挡止部与该至少一个限位壁凸出于该第一凹槽,该至少一个贯槽位在该中央区与该周围区之间且连通于该第一凹槽;
阀件,贴附于该振动片的该周围区的远离该压电元件的表面,且包括至少一个非直线形穿槽,其中该振动片的该挡止部在该阀件上的投影笼罩该至少一个非直线形穿槽;
导流件,贴附于该阀件的远离该振动片的表面,且包括第二凹槽、至少一条流道及至少一个贯孔,其中该第二凹槽与该至少一条流道凹陷于该导流件的朝向该阀件的表面,该至少一条流道连通于该第二凹槽与该至少一个贯孔,该第二凹槽在该阀件所在的平面上的投影笼罩该至少一个非直线形穿槽;
当该压电元件被特定频率的驱动电压驱动时,该振动片与该阀件对应地共振,而使得该振动片的该中央区与该阀件对应于该中央区的区域具有最大的振幅。
2.根据权利要求1所述的压电泵,其特征在于,该压电元件包括穿孔,该振动片包括第三凹槽,该第三凹槽凹陷于该中央区的靠近该压电元件的表面上且对应于该穿孔的位置。
3.根据权利要求1所述的压电泵,其特征在于,该振动片包括多个臂部,分别连接于该中央区与该周围区,该臂部以直线或是弧线的形式延伸。
4.根据权利要求3所述的压电泵,其特征在于,该阀件包括多个贯穿沟,该导流件包括多个沟槽,该贯穿沟与该沟槽的位置分别对应于该些臂部的位置,以供该臂部伸入。
5.根据权利要求1所述的压电泵,其特征在于,该阀件包括第四凹槽,该第四凹槽凹陷于该阀件朝向该导流件的表面,且该第四凹槽对应于该第二凹槽。
6.根据权利要求1所述的压电泵,其特征在于,该至少一条流道的口径从该贯孔至该第二凹槽呈现出渐缩的趋势。
7.根据权利要求1所述的压电泵,其特征在于,该振动片包括多个该限位壁,该些限位壁围绕该挡止部,各该限位壁投影在该阀件上的形状包括弧形、长条形、圆形、正方形、环形或是不规则形,或者,该振动片包括一个该限位壁,该限位壁的形状是环形且围绕该挡止部。
8.根据权利要求1所述的压电泵,其特征在于,该挡止部投影在该阀件上的形状包括圆形、椭圆形、多边形或是不规则形。
9.根据权利要求1所述的压电泵,其特征在于,每个该非直线形穿槽的形状包括弧形、U形、多边形的一部分或是不规则形。
10.一种压电泵的操作方法,其特征在于,提供根据权利要求1-9中任一项所述的压电泵;提供特定频率的驱动电压以驱动该压电元件,该振动片与该阀件对应地共振,而使得该振动片的该中央区与该阀件对应于该中央区的区域产生最大的振幅。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW104120510 | 2015-06-25 | ||
TW104120510A TWI557321B (zh) | 2015-06-25 | 2015-06-25 | 壓電泵及其操作方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106286241A true CN106286241A (zh) | 2017-01-04 |
CN106286241B CN106286241B (zh) | 2019-03-12 |
Family
ID=57601935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510514657.4A Active CN106286241B (zh) | 2015-06-25 | 2015-08-20 | 压电泵及其操作方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10393109B2 (zh) |
CN (1) | CN106286241B (zh) |
TW (1) | TWI557321B (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109869302A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-11 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种垂直支承微型压电泵 |
CN109985283A (zh) * | 2017-12-29 | 2019-07-09 | 厦门圣慈医疗器材有限公司 | 负压伤口治疗装置、系统及方法 |
CN110043452A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-07-23 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种新型压电微泵 |
CN111749874A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 研能科技股份有限公司 | 微机电泵 |
KR20230046608A (ko) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 주식회사 위일트로닉 | 피에조 펌프 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI557321B (zh) * | 2015-06-25 | 2016-11-11 | 科際精密股份有限公司 | 壓電泵及其操作方法 |
TWI622701B (zh) * | 2017-01-20 | 2018-05-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體輸送裝置 |
TWI626375B (zh) * | 2017-01-20 | 2018-06-11 | 研能科技股份有限公司 | 流體輸送裝置 |
CN107725305B (zh) * | 2017-09-26 | 2018-12-25 | 机械科学研究总院海西(福建)分院有限公司 | 一种压电驱动的柱塞泵 |
CN109899327B (zh) * | 2017-12-07 | 2021-09-21 | 昆山纬绩资通有限公司 | 气流产生装置 |
EP3814636A1 (de) | 2018-06-26 | 2021-05-05 | MST Innovation GmbH | Verbesserte mikropumpe |
US11464140B2 (en) | 2019-12-06 | 2022-10-04 | Frore Systems Inc. | Centrally anchored MEMS-based active cooling systems |
US11043444B2 (en) | 2018-08-10 | 2021-06-22 | Frore Systems Inc. | Two-dimensional addessable array of piezoelectric MEMS-based active cooling devices |
DE102018120782B3 (de) | 2018-08-24 | 2019-08-22 | Bartels Mikrotechnik Gmbh | Mikrogebläse |
EP3722605A1 (de) * | 2019-04-11 | 2020-10-14 | FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Strömungserzeuger |
US11802554B2 (en) | 2019-10-30 | 2023-10-31 | Frore Systems Inc. | MEMS-based airflow system having a vibrating fan element arrangement |
TWI725602B (zh) * | 2019-11-04 | 2021-04-21 | 科際精密股份有限公司 | 致動裝置 |
US11796262B2 (en) | 2019-12-06 | 2023-10-24 | Frore Systems Inc. | Top chamber cavities for center-pinned actuators |
US11510341B2 (en) | 2019-12-06 | 2022-11-22 | Frore Systems Inc. | Engineered actuators usable in MEMs active cooling devices |
KR20230075503A (ko) | 2020-10-02 | 2023-05-31 | 프로리 시스템스 인코포레이티드 | 능동 방열판 |
CN117627900B (zh) * | 2023-11-05 | 2024-05-03 | 吉林大学 | 一种多个入口为特斯拉阀流道的微型压电泵 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0722541A1 (en) * | 1993-10-04 | 1996-07-24 | Research International, Inc. | Micromachined flow switches |
JPH10299659A (ja) * | 1997-02-19 | 1998-11-10 | Seiko Instr Inc | マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法 |
US7025324B1 (en) * | 2002-01-04 | 2006-04-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Gating apparatus and method of manufacture |
US20110070110A1 (en) * | 2008-05-30 | 2011-03-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric micro blower |
CN102057163A (zh) * | 2008-06-05 | 2011-05-11 | 株式会社村田制作所 | 压电微型鼓风机 |
CN102979705A (zh) * | 2011-09-06 | 2013-03-20 | 株式会社村田制作所 | 流体控制装置 |
JP5652551B2 (ja) * | 2012-02-21 | 2015-01-14 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
CN104302913A (zh) * | 2012-05-29 | 2015-01-21 | 欧姆龙健康医疗事业株式会社 | 压电泵和具有该压电泵的血压信息测量装置 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5652551A (en) | 1979-10-08 | 1981-05-11 | Nippon Carbureter Co Ltd | Negative pressure actuating device in automatic choke mechanism for carburetor |
US4756508A (en) * | 1985-02-21 | 1988-07-12 | Ford Motor Company | Silicon valve |
DE3814150A1 (de) * | 1988-04-27 | 1989-11-09 | Draegerwerk Ag | Ventilanordnung aus mikrostrukturierten komponenten |
DE4221089A1 (de) * | 1992-06-26 | 1994-01-05 | Bosch Gmbh Robert | Mikroventil |
US5954079A (en) * | 1996-04-30 | 1999-09-21 | Hewlett-Packard Co. | Asymmetrical thermal actuation in a microactuator |
DE19720482C5 (de) * | 1997-05-16 | 2006-01-26 | INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH | Mikromembranpumpe |
US6116863A (en) * | 1997-05-30 | 2000-09-12 | University Of Cincinnati | Electromagnetically driven microactuated device and method of making the same |
US5964242A (en) * | 1998-01-23 | 1999-10-12 | Aesop, Inc. | Method of and apparatus for substance processing with small opening gates actuated and controlled by large displacement members having fine surface finishing |
DE10242110A1 (de) * | 2002-09-11 | 2004-03-25 | Thinxxs Gmbh | Mikropumpe und Verfahren zu ihrer Herstellung |
US6914785B1 (en) * | 2002-10-11 | 2005-07-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Variable electronic circuit component |
AU2003218730A1 (en) * | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E. V. | Microvalve that is doubly closed in a normal manner |
US7654283B2 (en) * | 2003-10-21 | 2010-02-02 | Seiko Epson Corporation | Check valve and pump including check valve |
EP1841966B1 (en) * | 2005-01-26 | 2010-04-28 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Piezoelectric-driven diaphragm pump |
US20060245951A1 (en) * | 2005-04-13 | 2006-11-02 | Par Technologies, Llc | Multilayer valve structures, methods of making, and pumps using same |
US20060245949A1 (en) * | 2005-04-13 | 2006-11-02 | Par Technologies, Llc | Electromagnetically bonded pumps and pump subassemblies and methods of fabrication |
WO2006113341A2 (en) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Par Technologies, Llc. | Piezoelectric diaphragm with aperture(s) |
JP2007165664A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Alps Electric Co Ltd | 振動子の配線構造及び圧電ポンプ |
JP4873014B2 (ja) * | 2006-12-09 | 2012-02-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電マイクロブロア |
CN101490419B (zh) * | 2006-12-09 | 2011-02-02 | 株式会社村田制作所 | 压电泵 |
WO2008111397A1 (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 流体移送装置 |
TW200848356A (en) * | 2007-06-07 | 2008-12-16 | Micro Base Technology Corp | Valve structure and micro-pump applying valve structure |
EP2096309A4 (en) * | 2007-10-16 | 2013-02-27 | Murata Manufacturing Co | PIEZOELECTRIC MICRO FAN |
EP3073114B1 (en) * | 2008-06-03 | 2018-07-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric micro-blower |
DE102008042054A1 (de) * | 2008-09-12 | 2010-03-18 | Robert Bosch Gmbh | Mikroventil, Mikropumpe sowie Herstellungsverfahren |
WO2010137578A1 (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | 株式会社村田製作所 | バルブ、流体装置及び流体供給装置 |
CN102597520B (zh) * | 2010-05-21 | 2015-09-02 | 株式会社村田制作所 | 流体泵 |
RU2452872C2 (ru) * | 2010-07-15 | 2012-06-10 | Андрей Леонидович Кузнецов | Пьезоэлектрический насос |
EP2698537B1 (en) * | 2011-04-11 | 2018-10-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Actuator-support structure and pump device |
JP5533823B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2014-06-25 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
JP5682513B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2015-03-11 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
CN104364526B (zh) * | 2012-06-11 | 2016-08-24 | 株式会社村田制作所 | 鼓风机 |
TWM513272U (zh) * | 2015-06-25 | 2015-12-01 | Koge Micro Tech Co Ltd | 壓電泵 |
TWI557321B (zh) * | 2015-06-25 | 2016-11-11 | 科際精密股份有限公司 | 壓電泵及其操作方法 |
-
2015
- 2015-06-25 TW TW104120510A patent/TWI557321B/zh active
- 2015-08-20 CN CN201510514657.4A patent/CN106286241B/zh active Active
- 2015-09-16 US US14/855,392 patent/US10393109B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0722541A1 (en) * | 1993-10-04 | 1996-07-24 | Research International, Inc. | Micromachined flow switches |
JPH10299659A (ja) * | 1997-02-19 | 1998-11-10 | Seiko Instr Inc | マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法 |
US7025324B1 (en) * | 2002-01-04 | 2006-04-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Gating apparatus and method of manufacture |
US20110070110A1 (en) * | 2008-05-30 | 2011-03-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric micro blower |
CN102057163A (zh) * | 2008-06-05 | 2011-05-11 | 株式会社村田制作所 | 压电微型鼓风机 |
CN102979705A (zh) * | 2011-09-06 | 2013-03-20 | 株式会社村田制作所 | 流体控制装置 |
JP5652551B2 (ja) * | 2012-02-21 | 2015-01-14 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
CN104302913A (zh) * | 2012-05-29 | 2015-01-21 | 欧姆龙健康医疗事业株式会社 | 压电泵和具有该压电泵的血压信息测量装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109985283A (zh) * | 2017-12-29 | 2019-07-09 | 厦门圣慈医疗器材有限公司 | 负压伤口治疗装置、系统及方法 |
CN109985283B (zh) * | 2017-12-29 | 2021-08-13 | 厦门圣慈医疗器材有限公司 | 负压伤口治疗装置、系统及方法 |
US11471585B2 (en) | 2017-12-29 | 2022-10-18 | Xiamen Suneetek Medical Equipment Co., Ltd. | Negative pressure wound therapy device, system and method |
CN111749874A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 研能科技股份有限公司 | 微机电泵 |
CN111749874B (zh) * | 2019-03-29 | 2023-08-08 | 研能科技股份有限公司 | 微机电泵 |
CN109869302A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-11 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种垂直支承微型压电泵 |
CN110043452A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-07-23 | 常州威图流体科技有限公司 | 一种新型压电微泵 |
KR20230046608A (ko) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 주식회사 위일트로닉 | 피에조 펌프 |
KR102541128B1 (ko) | 2021-09-30 | 2023-06-12 | 주식회사 위일트로닉 | 피에조 펌프 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201700865A (zh) | 2017-01-01 |
TWI557321B (zh) | 2016-11-11 |
US20160377072A1 (en) | 2016-12-29 |
US10393109B2 (en) | 2019-08-27 |
CN106286241B (zh) | 2019-03-12 |
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Legal Events
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |