KR102541128B1 - 피에조 펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 내부에 수용공간이 형성되고, 공기 유입부와 공기 배출부가 형성되는 하우징과, 전원을 공급하는 터미널과, 상기 하우징 내부에 수용되며 상기 터미널로부터 전원을 인가받아 변위되는 압전소자와, 상기 압전소자의 변위에 따라 상기 공기 유입부로 유입된 공기를 유입시키는 제1 통공이 형성되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트로부터 유입된 공기가 수용되도록 중공부가 형성되는 제2 플레이트와, 상기 중공부에 수용된 공기를 배출하기 위한 제2 통공이 중앙에 형성되는 집진기와, 상기 제2 통공으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제3 통공이 중앙에 형성되는 진동판과, 상기 제3 통공으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제4 통공이 중앙에 형성되는 체크밸브시트 및 상기 제4 통공으로부터 배출되는 공기를 상기 공기 배출부로 배출하기 위한 제5 통공이 중앙에 형성되며, 상기 터미널과 함께 전원을 공급하는 아웃렛 체크밸브를 포함하는 피에조 펌프를 제공한다.

Description

피에조 펌프{PIEZO PUMP}
본 발명은 구조가 개선된 피에조 펌프에 관한 것이다.
피에조 펌프(Piezo Pump)는 압전 성질, 즉 전기를 공급하면 수축 혹은 팽창하는 성질을 갖는 압전 소자를 펌프에 적용한 것으로, 초소형 경량화, 저가격화, 신뢰성 향상에 매우 유리하며 그 응용분야도 다양하다.
압전 소자는 변위가 약 0.1% 정도로 작지만, 경량, 고속응답, 대발생역과 같은 특징이 있기 때문에, 압전 소자를 사용하는 피에조 펌프는 전동식 유축기로 사용될 수 있으며, 미소 변위의 제어, 기계 구조물의 진동제어 등에 적용되고 있다.
피에조 펌프를 활용한 압전 마이크로 블로어는 예를 들어, 휴대형 전자기기의 케이스 내부에서 발생하는 열을 효과적으로 방출하거나, 또는 연료 전지로 발전하는데 필요한 산소를 공급하기 위한 송풍용 블로어로 사용되거나, 전동식 유축기 등 다수의 산업제품에 사용될 수 있다.
하지만, 기존의 피에조 펌프는 압전 소자의 수축 또는 팽창으로 인한 역류의 가능성을 배제할 수 없으며, 펌프의 출력 강도가 다소 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 피에조 펌프의 동작 시 역류를 방지하며, 출력이 개선된 피에조 펌프를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명은, 내부에 수용공간이 형성되고, 공기 유입부와 공기 배출부가 형성되는 하우징과, 전원을 공급하는 터미널과, 상기 하우징 내부에 수용되며 상기 터미널로부터 전원을 인가받아 변위되는 압전소자와, 상기 압전소자의 변위에 따라 상기 공기 유입부로 유입된 공기를 유입시키는 제1 통공이 형성되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트로부터 유입된 공기가 수용되도록 중공부가 형성되는 제2 플레이트와, 상기 중공부에 수용된 공기를 배출하기 위한 제2 통공이 중앙에 형성되는 집진기와, 상기 제2 통공으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제3 통공이 중앙에 형성되는 진동판과, 상기 제3 통공으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제4 통공이 중앙에 형성되는 체크밸브시트 및 상기 제4 통공으로부터 배출되는 공기를 상기 공기 배출부로 배출하기 위한 제5 통공이 중앙에 형성되며, 상기 터미널과 함께 전원을 공급하는 아웃렛 체크밸브를 포함하는 피에조 펌프를 제공한다.
또한, 상기 하우징은, 내부에 수용공간이 형성되도록 상측이 개구되어 형성되는 바텀커버 및 상기 바텀커버의 개구부를 폐쇄하는 탑커버를 포함할 수 있다.
또한, 상기 바텀커버는, 상기 수용공간과 탑커버 사이로 외부 공기가 유입되도록 상기 공기 유입부가 일측 상단에 형성되고 상기 수용공간의 하측으로 공기가 배출되도록 상기 공기 배출부가 타측 하단에 형성될 수 있다.
또한, 상기 압전소자는 제1 지름으로 형성되고, 상기 제1 플레이트는 제1 지름보다 큰 제2 지름으로 형성되며, 중앙부는 상기 압전소자가 배치되어 상기 압전소자와 함께 변위되고, 상기 제1 통공은 다수 개가 환형으로 상기 중앙부의 외측으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제2 플레이트의 중공부는 상기 제1 통공과 연통되는 크기로 형성될 수 있다.
또한, 상기 집진기의 제2 통공은 다수 개가 형성되며, 상기 제2 통공의 전부 또는 일부가 상기 진동판 방향으로 갈수록 지름이 작아지도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 집진기의 제2 통공은 다수 개가 형성되며, 절단면으로 봤을 때, 상기 제2 통공은 상측의 지름이 하측의 지름보다 크게 단차지도록 형성되되 상측의 지름의 높이와 하측의 지름의 높이의 비는 3:1이 되도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 진동판의 제3 통공과 상기 체크밸브시트의 제4 통공은 각각 다수개가 형성되되, 상기 제3 통공과 제4 통공은 서로 대응되지 아니한 위치에 형성될 수 있다.
본 발명은 체크밸브시트가 압전소자의 변위에 따라 위치가 이동되고, 진동판의 제3 통공과 체크밸브시트의 제4 통공이 비대칭 구조를 가짐으로써, 피에조 펌프의 공기 압축성을 향상시키고 역류를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 집진기에 포함된 제2 통공의 구조로 인하여 출력이 향상된 피에조 펌프를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 피에조 펌프의 분해 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 하우징의 사시도.
도 3은 집진기의 일 예를 나타낸 측단면도.
도 4 및 도 5는 진동판, 체크밸브시트 및 아웃렛 체크밸브의 일 예를 나타낸 도면.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 피에조 펌프의 동작을 설명하기 위한 피에조 펌프의 개략적인 측단면도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예는 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
특별한 정의가 없는 한 본 명세서의 모든 용어는 당업자가 이해하는 용어의 일반적인 의미와 동일하고, 만약 본 명세서에서 사용된 용어가 당해 용어의 일반적인 의미와 충돌하는 경우에는 본 명세서에 사용된 정의에 따른다.
다만, 이하에 기술될 발명은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리범위를 한정하기 위한 것은 아니며, 명세서 전반에 걸쳐서 동일하게 사용된 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 피에조 펌프의 분해 사시도, 도 2는 도 1에 도시된 하우징의 사시도, 도 3은 집진기의 일 예를 나타낸 측단면도, 도 4 및 도 5는 진동판, 체크밸브시트 및 아웃렛 체크밸브의 일 예를 나타낸 도면, 및 도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 피에조 펌프의 동작을 설명하기 위한 피에조 펌프의 개략적인 측단면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 피에조 펌프(10)는 하우징(100), 터미널(200), 압전소자(300), 제1 플레이트(400), 제2 플레이트(500), 집진기(600), 진동판(700), 체크밸브시트(800), 및 아웃렛 체크밸브(900)를 포함할 수 있다.
상기 피에조 펌프(10)는 체크밸브시트(800)가 압전소자(300)의 변위에 따라 위치가 이동되고, 진동판(700)의 제3 통공(710)과 체크밸브시트(800)의 제4 통공(810)이 비대칭 구조를 가짐으로써, 역류를 방지할 수 있다.
상기 피에조 펌프(10)는 집진기(600)에 포함된 제2 통공(610)의 구조로 인하여 출력이 향상된 피에조 펌프(10)를 제공할 수 있다.
예를 들어, 피에조 펌프(10)는 전동식 유축기에 적용되는 압전펌프유닛으로 구현될 수 있다.
상기 하우징(100)은 내부에 수용공간이 형성될 수 있다.
상기 하우징(100)은 탑커버(110) 및 바텀커버(120)를 포함할 수 있다.
상기 탑커버(110)는 상기 바텀커버(120)의 개구부를 폐쇄할 수 있다.
상기 바텀커버(120)는 내부에 수용공간이 형성되도록 상측이 개구되어 형성될 수 있다.
상기 바텀커버(120)는 공기 유입부(121)와 공기 배출부(122)가 형성될 수 있다.
상기 바텀커버(120)는 상기 수용공간과 탑커버(110) 사이로 외부 공기가 유입되도록 상기 공기 유입부(121)가 일측 상단에 형성되고 상기 수용공간의 하측으로 공기가 배출되도록 상기 공기 배출부(122)가 타측 하단에 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 탑커버(110) 및 바텀커버(120)는 실리콘 도포를 통해 밀폐될 수 있다.
예를 들어, 상기 탑커버(110)는 107*69.5*21.8(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 바텀커버(120)는 107*69.5*32.8(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 탑커버(110) 및 바텀커버(120)의 재질은 ABS GLASS(20%)로 형성될 수 있다.
상기 터미널(200)은 전원을 공급할 수 있다.
상기 터미널(200)은 상기 압전소자(300)에 전원을 인가할 수 있다.
예를 들어, 상기 터미널(200)은 상기 압전소자(300)에 주파수를 인가할 수 있다.
상기 터미널(200)은 납땜 또는 에폭시 등으로 고정될 수 있다.
예를 들어, 상기 터미널(200)은 14.8*2, t=0.1(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 터미널(200)은 인청동(phosphor bronze)으로 형성될 수 있다.
상기 압전소자(300)는 상기 하우징(100) 내부에 수용되며 상기 터미널(200)로부터 주파수를 인가받아 변위될 수 있다.
상기 압전소자(300)는 제1 지름으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 압전소자(300)는 Φ11, t=0.1(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
상기 압전소자(300)는 PZT(lead zirconate titanate)로써 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 압전소자(300)는 1초에 22,000회 동작할 수 있다.
예를 들어, 상기 압전소자(300)의 (-) 단자는 측면에서 납땜이 되는 구조로 구현될 수 있다.
상기 제1 플레이트(400)는 상기 압전소자(300)의 변위에 따라 상기 공기 유입부(121)로 유입된 공기를 유입시키는 제1 통공(410)이 형성될 수 있다.
상기 제1 플레이트(400)의 중앙부는 상기 압전소자(300)가 배치되어 상기 압전소자(300)와 함께 변위될 수 있다.
상기 제1 통공(410)은 다수 개가 환형으로 상기 중앙부의 외측으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 통공(410)은 0.4 파이(pie) 크기로 48개가 형성될 수 있다.
상기 제1 플레이트(400)는 제1 지름보다 큰 제2 지름으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 제1 플레이트(400)는 Φ17, t=0.4(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 플레이트(400)는 인청동(phosphor bronze)으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 플레이트(400)는 SUS430HD로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 플레이트(400)는 에폭시 고정될 수 있다.
상기 제2 플레이트(500)는 상기 제1 플레이트(400)로부터 유입된 공기가 수용되도록 중공부(510)가 형성될 수 있다.
제2 플레이트(500)의 중공부(510)는 상기 제1 통공(410)과 연통되는 크기로 형성될 수 있다.
제2 플레이트(500)는 제2 지름으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 제2 플레이트(500)는 Φ17.5, t=0.2(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제2 플레이트(500)는 인청동(phosphor bronze)으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제2 플레이트(500)는 SUS430HD로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제2 플레이트(500)는 에폭시 고정될 수 있다.
상기 집진기(600)는 상기 중공부(510)에 수용된 공기를 배출하기 위한 제2 통공(610)이 중앙에 형성될 수 있다.
상기 집진기(600)의 제2 통공(610)은 다수 개가 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제2 통공(610)은 8개의 홀이 상부면에 0.65파이, 하부면에 0.3파이 크기로 형성될 수 있다.
상기 제2 통공(610)은 전부 또는 일부가 상기 진동판(700) 방향으로 갈수록 지름이 작아지도록 형성될 수 있다.
상기 제2 통공(610)은 절단면으로 봤을 때, 상측의 지름이 하측의 지름보다 크게 단차지도록 형성되되 상측의 지름의 높이와 하측의 지름의 높이의 비는 3:1이 되도록 형성될 수 있다.
상기 제2 통공(610)의 형상으로 인하여 상기 제2 통공(610)을 지나는 공기는 속력이 빨라지게 되고, 결론적으로 피에조 펌프(10)의 출력을 크게 향상시킬 수 있으며, 공기의 역류를 방지할 수도 있다.
상기 집진기(600)는 제2 지름으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 집진기(600)는 Φ17.5, t=0.4(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 집진기(600)는 인청동(phosphor bronze)으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 집진기(600)는 SUS430HD로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 집진기(600)는 밑면 전체가 에폭시 고정될 수 있다.
상기 진동판(700)은 상기 제2 통공(610)으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제3 통공(710)이 중앙에 형성될 수 있다.
상기 제3 통공(710)은 일부 또는 전부가 상기 제2 통공(610)과 대응되도록 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 제3 통공(710)은 0.65파이 크기로 12개가 형성될 수 있다.
상기 진동판(700)은 제2 지름보더 큰 제3 지름으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 진동판(700)은 Φ23, t=0.25(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 진동판(700)은 SUS430HD로 형성될 수 있다.
상기 체크밸브시트(800)는 상기 제3 통공(710)으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제4 통공(810)이 중앙에 형성될 수 있다.
상기 진동판(700)의 제3 통공(710)과 상기 체크밸브시트(800)의 제4 통공(810)은 각각 다수 개가 형성되되, 상기 제3 통공(710)과 제4 통공(810)은 서로 대응되지 아니한 위치에 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 체크밸브시트(800)는 상기 진동판(700) 및 상기 아웃렛 체크밸브(900)사이의 공간에서 상기 압전소자(300)의 변위에 따라 상기 진동판(700)에 접촉하거나, 상기 아웃렛 체크밸브(900)에 접촉할 수 있다.
예를 들어, 상기 체크밸브시트(800)는 상기 압전소자(300)가 상측으로 변위할 때 상기 진동판(700)에 접촉되고, 상기 제3 통공(710)과 상기 제4 통공(810)은 서로 대응되지 아니한 위치에 형성됨으로써 공기의 역류를 방지할 수 있다.
예를 들어, 상기 제4 통공(810)은 0.6파이 크기로 13개, 0.45파이 크기로 부분단자 가공이 되어 형성될 수 있다.
상기 체크밸브시트(800)는 제2 지름보다 큰 제3 지름으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 체크밸브시트(800)는 Φ19.5, t=0.05(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 체크밸브시트(800)의 재질은 커버 레이 시트로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 체크밸브시트(800)는 한쪽면에 직경 3mm 원형으로 상부면에 직경 4mm 에폭시를 도포하여 접착될 수 있다.
상기 아웃렛 체크밸브(900)는 상기 제4 통공(810)으로부터 배출 및 흡입되는 공기를 상기 공기 배출부(122)로 배출하기 위한 제5 통공(910)이 중앙에 형성될 수 있다.
상기 제5 통공(910)은 일부 또는 전부가 상기 제4 통공(810)과 대응되도록 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 체크밸브시트(800)는 상기 압전소자(300)가 하측으로 변위할 때 상기 아웃렛 체크밸브(900)에 접촉되고, 상기 제4 통공(810)과 상기 제5 통공(910)은 일부 또는 전부가 대응되어 연통됨으로써 상기 공기 배출부(122)를 통해 공기가 배출될 수 있다.
예를 들어, 상기 제5 통공(910)은 0.3파이 크기로 25개가 형성될 수 있다.
상기 아웃렛 체크밸브(900)는 상기 터미널(200)과 함께 전원을 공급할 수 있다.
예를 들어, 상기 아웃렛 체크밸브(900)는 상기 터미널(200)과 함께 상기 압전소자(300)에 전원을 공급할 수 있다.
예를 들어, 상기 아웃렛 체크밸브(900)는 24*30.5, t=0.2(mm)의 규격으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 아웃렛 체크밸브(900)는 인청동(phosphor bronze)으로 형성될 수 있다.
상기 아웃렛 체크밸브(900)는 외형에 실리콘으로 도포를 2mm 이내가 되도록 하여 접착하거나 납땜 또는 에폭시 고정될 수 있다.
예를 들어, 상기 압전소자(300) 내지 아웃렛 체크밸브(900)(300 내지 900)는 적층 사이에 전도성테이프가 사용되며, 전도성을 띌 수 있다.
도 6 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 피에조 펌프(10)의 동작을 설명하면 다음과 같다.
피에조 펌프(10)는, 압전소자(300)가 상측으로 변위(6100)함으로 인해 공기 유입부(121)를 통해 공기가 유입될 수 있다(6110).
다음으로, 유입된 공기는 제1 플레이트(400)의 제1 통공(410)을 통해 제2 플레이트(500)의 중공부(510)에 압축된다(6120).
이때, 압전소자(300)가 상측으로 변위(6100)함에 따라 체크밸브시트(800)가 진동판(700)에 접촉(6300)되고, 이 상태에서는 진동판(700)의 제3 통공(710) 및 체크밸브시트(800)의 제4 통공(810)은 서로 대응되지 아니한 위치에 있기 때문에, 체크밸브시트(800)와 진동판(700)은 밀폐된 판막을 형성할 수 있다.
이에 따라, 중공부(510)의 공기는 압축될 수 있으며, 또한, 하측으로부터 유입될 수 있는 공기를 차단하여 역류를 효과적으로 방지할 수 있다.
다음으로, 압전소자(300)가 하측으로 변위(6200)함으로 인해 중공부(510)에 압축되어 있는 공기가 진동판(700)과 접촉되어 있는 체크밸브시트(800)를 밀어낼 수 있으며, 이로 인하여 체크밸브시트(800)와 아웃렛 체크밸브(900)의 홀이 연통(6400)되어 공기 배출부(122)를 통해 공기가 배출될 수 있다(6210 및 6220).
이때, 집진기(600)의 제2 통공(610)이 예를 들어 상측의 지름이 하측의 지름보다 크게 단차지도록 형성되거나 또는 진동판(700) 방향으로 갈수록 지름이 작아지도록 형성된 경우, 압전소자(300)가 하측으로 변위(6200)함으로 인해 중공부(510)에 압축되어 있는 공기를 밀어냄과 동시에 공기가 집진기(600)의 제2 통공(610)의 좁은 공간을 지날 때 속력이 증가하게 되므로, 피에조 펌프(10)의 출력을 크게 향상시킬 수 있다.
또한, 제2 통공(610)이 상측의 지름이 하측의 지름보다 크게 단차지도록 형성되되 상측의 지름의 높이와 하측의 지름의 높이의 비는 3:1이 되도록 형성될 때, 상측에 더욱 많은 공기가 압축되어 하측의 좁은 공간을 지나게 되어 속력이 더욱 증가하게 되므로, 피에조 펌프(10)의 출력을 더욱 크게 향상시킬 수 있다.
요컨대, 본 발명은 진동판의 제3 통공과 체크밸브시트의 제4 통공이 비대칭 구조를 가지고, 체크밸브시트가 압전소자의 변위에 따라 위치가 이동됨으로써, 피에조 펌프의 공기 압축성을 향상시키고 역류를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 집진기에 포함된 제2 통공의 구조로 인하여 출력이 향상된 피에조 펌프를 제공할 수 있다.
이상, 상기 설명에 의해 당업자라면 본 발명의 기술적 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이며, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위 및 그와 균등한 범위에 의하여 정해져야 한다.
10: 피에조 펌프 100: 하우징
110: 탑커버 120: 바텀커버
121: 공기유입부 122: 공기 배출부
200: 터미널 300: 압전소자
400: 제1 플레이트 410: 제1 통공
500: 제2 플레이트 510: 중공부
600: 집진기 610: 제2 통공
700: 진동판 710: 제3 통공
800: 체크밸브시트 810: 제4 통공
900: 아웃렛 체크밸브 910: 제5 통공

Claims (8)

  1. 내부에 수용공간이 형성되고, 공기 유입부와 공기 배출부가 형성되는 하우징;
    전원을 공급하는 터미널;
    상기 하우징 내부에 수용되며 상기 터미널로부터 전원을 인가받아 변위되는 압전소자;
    상기 압전소자의 변위에 따라 상기 공기 유입부로 유입된 공기를 유입시키는 제1 통공이 형성되는 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트로부터 유입된 공기가 수용되도록 중공부가 형성되는 제2 플레이트;
    상기 중공부에 수용된 공기를 배출하기 위한 제2 통공이 중앙에 형성되는 집진기;
    상기 제2 통공으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제3 통공이 중앙에 형성되는 진동판;
    상기 제3 통공으로부터 배출되는 공기를 배출하기 위한 제4 통공이 중앙에 형성되는 체크밸브시트; 및
    상기 제4 통공으로부터 배출되는 공기를 상기 공기 배출부로 배출하기 위한 제5 통공이 중앙에 형성되며, 상기 터미널과 함께 전원을 공급하는 아웃렛 체크밸브;를 포함하는 피에조 펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하우징은,
    내부에 수용공간이 형성되도록 상측이 개구되어 형성되는 바텀커버; 및
    상기 바텀커버의 개구부를 폐쇄하는 탑커버;를 포함하는 피에조 펌프.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 바텀커버는,
    상기 수용공간과 탑커버 사이로 외부 공기가 유입되도록 상기 공기 유입부가 일측 상단에 형성되고 상기 수용공간의 하측으로 공기가 배출되도록 상기 공기 배출부가 타측 하단에 형성되는 피에조 펌프.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 압전소자는 제1 지름으로 형성되고,
    상기 제1 플레이트는 제1 지름보다 큰 제2 지름으로 형성되며, 중앙부는 상기 압전소자가 배치되어 상기 압전소자와 함께 변위되고, 상기 제1 통공은 다수 개가 환형으로 상기 중앙부의 외측으로 형성되는 피에조 펌프.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 플레이트의 중공부는 상기 제1 통공과 연통되는 크기로 형성되는 피에조 펌프.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 집진기의 제2 통공은 다수 개가 형성되며,
    상기 제2 통공의 전부 또는 일부가 상기 진동판 방향으로 갈수록 지름이 작아지도록 형성되는 피에조 펌프.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 집진기의 제2 통공은 다수 개가 형성되며,
    절단면으로 봤을 때, 상기 제2 통공은 상측의 지름이 하측의 지름보다 크게 단차지도록 형성되되 상측의 지름의 높이와 하측의 지름의 높이의 비는 3:1이 되도록 형성되는 피에조 펌프.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 진동판의 제3 통공과 상기 체크밸브시트의 제4 통공은 각각 다수개가 형성되되,
    상기 제3 통공과 제4 통공은 서로 대응되지 아니한 위치에 형성되는 피에조 펌프.
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